JPH0768463A - 研磨用メディア - Google Patents
研磨用メディアInfo
- Publication number
- JPH0768463A JPH0768463A JP5242021A JP24202193A JPH0768463A JP H0768463 A JPH0768463 A JP H0768463A JP 5242021 A JP5242021 A JP 5242021A JP 24202193 A JP24202193 A JP 24202193A JP H0768463 A JPH0768463 A JP H0768463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- media
- abrasive
- synthetic resin
- powder
- fine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000227 grinding Methods 0.000 title abstract description 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 43
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims abstract description 35
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims abstract description 35
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 7
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 abstract description 12
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 abstract description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 abstract description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000004088 foaming agent Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000010907 mechanical stirring Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- JHWNWJKBPDFINM-UHFFFAOYSA-N Laurolactam Chemical compound O=C1CCCCCCCCCCCN1 JHWNWJKBPDFINM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000299 Nylon 12 Polymers 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 1
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000000113 methacrylic resin Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
- B24D3/20—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially organic
- B24D3/28—Resins or natural or synthetic macromolecular compounds
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明の目的はドレッシング性および研削性に
優れた研磨用メディアを提供することにある。 【構成】合成樹脂マトリクス中に微小気泡と、粗粒研削
材と、微粉研削材との混合研削材とを分散せしめ、粗粒
研削材で研削効果を向上させ、微粉研削材でメディア表
面の磨耗性を高めて研削面の更新を円滑に行なう。
優れた研磨用メディアを提供することにある。 【構成】合成樹脂マトリクス中に微小気泡と、粗粒研削
材と、微粉研削材との混合研削材とを分散せしめ、粗粒
研削材で研削効果を向上させ、微粉研削材でメディア表
面の磨耗性を高めて研削面の更新を円滑に行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は主として金属のバレル研
磨に用いられるメディアに関するものである。
磨に用いられるメディアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】バレル研磨とはワークとメディアとをバ
レル内に入れ、該バレルに回転や振動を与えて該メディ
アを該ワーク表面で擦過させ研磨を行なう方法である。
従来からこのようなメディアとしては合成樹脂マトリク
ス中に、微小気泡と、研削材粉末とを分散させたものが
使用されている（例えば特開昭６０−２４２９６０号公
報、実公平２−４３６５２号公報等）。上記メディアは
ワーク表面を擦過する際に該メディア表面に露出してい
る研削材粒子がワーク表面を研削するが、同時に微小気
泡によってメディアはワーク表面との擦過による外力に
よって容易に弾性変性してメディアとワーク表面との接
触効率が高まり、またメディア表面が円滑に磨耗して内
側の研削材粒子が逐次表面側に露出してメディア研削面
が更新されるドレッシング効果により研削効率が高い優
れたメディアである。
レル内に入れ、該バレルに回転や振動を与えて該メディ
アを該ワーク表面で擦過させ研磨を行なう方法である。
従来からこのようなメディアとしては合成樹脂マトリク
ス中に、微小気泡と、研削材粉末とを分散させたものが
使用されている（例えば特開昭６０−２４２９６０号公
報、実公平２−４３６５２号公報等）。上記メディアは
ワーク表面を擦過する際に該メディア表面に露出してい
る研削材粒子がワーク表面を研削するが、同時に微小気
泡によってメディアはワーク表面との擦過による外力に
よって容易に弾性変性してメディアとワーク表面との接
触効率が高まり、またメディア表面が円滑に磨耗して内
側の研削材粒子が逐次表面側に露出してメディア研削面
が更新されるドレッシング効果により研削効率が高い優
れたメディアである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記メディアにおい
て、研削効率を更に向上させるには、研削材として粒径
の大きな粗いものを使用することが望ましい。しかしな
がら粒径の大きな粗な研削材を使用した場合、研削材の
添加量を一定とすると粒径が大きく粗になればなる程該
研削材粒子のメディア内における分散密度が低くなり、
沈殿・分離・かたよりが起りメディア内の粗密が発生し
やすい。したがって研削中にメディア表面の研削材粒子
が脱落すると、内側の研削材粒子が表面に露出して研削
面が更新されるまでに、メディアには研削材粒子の存在
しない表面が存在することになる。そして該研削材粒子
の存在しない表面には研削材粒子が脱落した跡の凹部や
表面に開いている気泡が多数存在するから、該凹部内や
気泡に研削粉が入り込んで目詰まり現象を起し、また油
等が付着して研削効率が著るしく低下してしまう。そし
てこのように目詰まりや油等が付着したメディア表面は
磨耗しにくゝなって更に研削面が更新されにくゝなり、
ドレッシング効果が著しく低下すると言う問題点があ
る。
て、研削効率を更に向上させるには、研削材として粒径
の大きな粗いものを使用することが望ましい。しかしな
がら粒径の大きな粗な研削材を使用した場合、研削材の
添加量を一定とすると粒径が大きく粗になればなる程該
研削材粒子のメディア内における分散密度が低くなり、
沈殿・分離・かたよりが起りメディア内の粗密が発生し
やすい。したがって研削中にメディア表面の研削材粒子
が脱落すると、内側の研削材粒子が表面に露出して研削
面が更新されるまでに、メディアには研削材粒子の存在
しない表面が存在することになる。そして該研削材粒子
の存在しない表面には研削材粒子が脱落した跡の凹部や
表面に開いている気泡が多数存在するから、該凹部内や
気泡に研削粉が入り込んで目詰まり現象を起し、また油
等が付着して研削効率が著るしく低下してしまう。そし
てこのように目詰まりや油等が付着したメディア表面は
磨耗しにくゝなって更に研削面が更新されにくゝなり、
ドレッシング効果が著しく低下すると言う問題点があ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記従来の課題
を解決するための手段として、合成樹脂マトリクス中
に、微小気泡と、粗粒研削材と、微粉研削材とを分散さ
せたバレル研磨用メディアを提供し、更に高周波加熱に
よって合成樹脂粉末を溶着することによって形成された
合成樹脂マトリクス中に、微小気泡と、粗粒研削材と、
微粉研削材と、低抵抗粉末とを分散させ、該低抵抗粉末
の周りに大きい気泡を形成せしめた研磨用メディアを提
供するものである。
を解決するための手段として、合成樹脂マトリクス中
に、微小気泡と、粗粒研削材と、微粉研削材とを分散さ
せたバレル研磨用メディアを提供し、更に高周波加熱に
よって合成樹脂粉末を溶着することによって形成された
合成樹脂マトリクス中に、微小気泡と、粗粒研削材と、
微粉研削材と、低抵抗粉末とを分散させ、該低抵抗粉末
の周りに大きい気泡を形成せしめた研磨用メディアを提
供するものである。
【０００５】［合成樹脂］本発明においてメディアのマ
トリクスとして使用される合成樹脂としては、例えばフ
ェノ−ル樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂等の熱硬化性合成樹脂、セルローズト
リアセテート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリカーボネ
ート樹脂、メタクリル樹脂、ポリスチロール樹脂、ポリ
アミド樹脂（ナイロン６、ナイロン１２等）、アクリロ
ニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂等の熱可塑性合成
樹脂等である。
トリクスとして使用される合成樹脂としては、例えばフ
ェノ−ル樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂等の熱硬化性合成樹脂、セルローズト
リアセテート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリカーボネ
ート樹脂、メタクリル樹脂、ポリスチロール樹脂、ポリ
アミド樹脂（ナイロン６、ナイロン１２等）、アクリロ
ニトリル−ブタジエン−スチレン樹脂等の熱可塑性合成
樹脂等である。
【０００６】［研削材］本発明において上記合成樹脂マ
トリクス中に分散される研削材としては、例えばアルミ
ナ質、シリカ質、ジルコニア質、チタニア質、窒化ホウ
素、窒化ケイ素等の従来から研削材として使用されてい
る酸化型または準酸化型のセラミクス粉末があるが、本
発明においては粗粒研削材と微粉研削材とが併用され
る。上記粗粒研削材はおおむね粒径が＃２２０以上の研
削材であり、上記微粉研削材はおおむね粒径が＃２４０
以下の研削材である。
トリクス中に分散される研削材としては、例えばアルミ
ナ質、シリカ質、ジルコニア質、チタニア質、窒化ホウ
素、窒化ケイ素等の従来から研削材として使用されてい
る酸化型または準酸化型のセラミクス粉末があるが、本
発明においては粗粒研削材と微粉研削材とが併用され
る。上記粗粒研削材はおおむね粒径が＃２２０以上の研
削材であり、上記微粉研削材はおおむね粒径が＃２４０
以下の研削材である。
【０００７】［低抵抗粉末］本発明において使用される
低抵抗粉末は体積固有抵抗が１０6 （Ω・cm）以下のも
のであり、このような低抵抗粉末としては例えば炭化ケ
イ素粉末、金属粉末、炭素粉末等があり、上記粉末の粒
度は上記微粉研削材に近いものが望ましい。
低抵抗粉末は体積固有抵抗が１０6 （Ω・cm）以下のも
のであり、このような低抵抗粉末としては例えば炭化ケ
イ素粉末、金属粉末、炭素粉末等があり、上記粉末の粒
度は上記微粉研削材に近いものが望ましい。
【０００８】［配合］本発明において合成樹脂と研削材
との比率は通常重量比で４０：６０〜１０：９０であ
り、粗粒研削材と微粉研削材との比率は通常重量比で３
０：７０〜７０：３０、望ましくは４０：６０〜６０：
４０である。低抵抗粉末を添加する場合は合成樹脂に対
して通常１０重量％以下、望ましくは５重量％以下とす
る。
との比率は通常重量比で４０：６０〜１０：９０であ
り、粗粒研削材と微粉研削材との比率は通常重量比で３
０：７０〜７０：３０、望ましくは４０：６０〜６０：
４０である。低抵抗粉末を添加する場合は合成樹脂に対
して通常１０重量％以下、望ましくは５重量％以下とす
る。
【０００９】［製造方法］本発明のメディアを製造する
方法としては、合成樹脂として熱可塑性合成樹脂を使用
する場合には、該合成樹脂の溶融物に研削材粉末を分散
させ、射出成形、押出成形、鋳込成形等によって所定の
形状に成形する方法、合成樹脂の粉末に研削材粉末を混
合して所定の型内に充填して、加熱することによって該
合成樹脂の粉末相互を溶着する方法等がある。前者の方
法においてメディア中に微小気泡を分散させるには化学
発泡剤の添加、または機械的攪拌による気泡の混合等が
あり、後者の方法では合成樹脂粉末を半溶着させて粒子
間に空隙を形成する方法がある。後者の方法において、
合成樹脂の加熱には通常の電気加熱の他高周波加熱があ
る。高周波加熱においては誘電加熱効率を大きくするた
めに誘電体である合成樹脂の力率を通常の高周波の使用
周波数１０C/S から１０6C/Sの範囲で０．０２以上のも
のを選択することが望ましい。また上記高周波加熱を適
応する場合には上記低抵抗粉末を添加すると、該低抵抗
粉末は高周波誘導加熱により選択的に高温に加熱される
から、合成樹脂マトリクス中において該低抵抗粉末の周
りに比較的大きな気泡が形成される。このような比較的
大きな気泡はメディア表面の磨耗を促進してドレッシン
グ効果を向上させる。しかし低抵抗粉末の混合量が合成
樹脂に対して１０重量％を越えると高周波をチャージし
た際にスパークが発生し加熱不能となるおそれがある。
熱硬化性合成樹脂を用いる場合には、通常上記熱硬化性
合成樹脂の未硬化物、モノマー、オリゴマー、プレポリ
マー等に研削材粉末を混合し、化学発泡剤または機械的
攪拌によって気泡を混合して鋳込成形によりメディアを
製造する。上記製造方法において望ましいことはメディ
ア表面のスキン層形成を防止して研削面に研削材を露出
せしめることである。このためには加熱を調節すること
によって（通常加熱時間を短縮する）、スキン層の形成
を防止するか、あるいは形成したスキン層を研削あるい
は溶剤による溶出処理等によって除去する。
方法としては、合成樹脂として熱可塑性合成樹脂を使用
する場合には、該合成樹脂の溶融物に研削材粉末を分散
させ、射出成形、押出成形、鋳込成形等によって所定の
形状に成形する方法、合成樹脂の粉末に研削材粉末を混
合して所定の型内に充填して、加熱することによって該
合成樹脂の粉末相互を溶着する方法等がある。前者の方
法においてメディア中に微小気泡を分散させるには化学
発泡剤の添加、または機械的攪拌による気泡の混合等が
あり、後者の方法では合成樹脂粉末を半溶着させて粒子
間に空隙を形成する方法がある。後者の方法において、
合成樹脂の加熱には通常の電気加熱の他高周波加熱があ
る。高周波加熱においては誘電加熱効率を大きくするた
めに誘電体である合成樹脂の力率を通常の高周波の使用
周波数１０C/S から１０6C/Sの範囲で０．０２以上のも
のを選択することが望ましい。また上記高周波加熱を適
応する場合には上記低抵抗粉末を添加すると、該低抵抗
粉末は高周波誘導加熱により選択的に高温に加熱される
から、合成樹脂マトリクス中において該低抵抗粉末の周
りに比較的大きな気泡が形成される。このような比較的
大きな気泡はメディア表面の磨耗を促進してドレッシン
グ効果を向上させる。しかし低抵抗粉末の混合量が合成
樹脂に対して１０重量％を越えると高周波をチャージし
た際にスパークが発生し加熱不能となるおそれがある。
熱硬化性合成樹脂を用いる場合には、通常上記熱硬化性
合成樹脂の未硬化物、モノマー、オリゴマー、プレポリ
マー等に研削材粉末を混合し、化学発泡剤または機械的
攪拌によって気泡を混合して鋳込成形によりメディアを
製造する。上記製造方法において望ましいことはメディ
ア表面のスキン層形成を防止して研削面に研削材を露出
せしめることである。このためには加熱を調節すること
によって（通常加熱時間を短縮する）、スキン層の形成
を防止するか、あるいは形成したスキン層を研削あるい
は溶剤による溶出処理等によって除去する。
【００１０】
【作用】本発明においてはメディア中の粗粒研削材によ
って研削効率が向上し、微粉研削材は該粗粒研削材の間
を充填し、メディア表面から脱落することによってメデ
ィア表面の磨耗を円滑にし、もってドレッシング効果を
良好に維持して目詰まりや油付着を防止し、更に粗粒研
削材のメディア内の分散を助け、沈殿・分離・かたより
をなくす効果を生む。更に合成樹脂を高周波加熱によっ
て溶着する場合には低抵抗粉末を添加するとその周りに
比較的大きな気泡が出来、ドレッシング効果が向上す
る。また低抵抗粉末が高周波誘導加熱されることによっ
て成形時の加熱時間も短縮される。
って研削効率が向上し、微粉研削材は該粗粒研削材の間
を充填し、メディア表面から脱落することによってメデ
ィア表面の磨耗を円滑にし、もってドレッシング効果を
良好に維持して目詰まりや油付着を防止し、更に粗粒研
削材のメディア内の分散を助け、沈殿・分離・かたより
をなくす効果を生む。更に合成樹脂を高周波加熱によっ
て溶着する場合には低抵抗粉末を添加するとその周りに
比較的大きな気泡が出来、ドレッシング効果が向上す
る。また低抵抗粉末が高周波誘導加熱されることによっ
て成形時の加熱時間も短縮される。
【００１１】
［実施例１］ナイロン６粉末とアルミナ質研削材とを２
５：７５重量比で混合する。該研削材としては平均粒度
＃１５０の粗粒研削材と平均粒度＃６００の微粉研削材
とを重量比で４５：５５に混合した混合研削材を使用す
る。上記混合粉末(3) は図１に示すように型板(1) に形
成されている型穴(2) に充填し電極間に設置して高周波
加熱を行ない、合成樹脂粉末相互を溶着させる。上記型
板(1) は合成樹脂等の誘電体を材料とするが、望ましい
材料としてポリ弗化ビニル樹脂、シリコンゴム等があ
る。
５：７５重量比で混合する。該研削材としては平均粒度
＃１５０の粗粒研削材と平均粒度＃６００の微粉研削材
とを重量比で４５：５５に混合した混合研削材を使用す
る。上記混合粉末(3) は図１に示すように型板(1) に形
成されている型穴(2) に充填し電極間に設置して高周波
加熱を行ない、合成樹脂粉末相互を溶着させる。上記型
板(1) は合成樹脂等の誘電体を材料とするが、望ましい
材料としてポリ弗化ビニル樹脂、シリコンゴム等があ
る。
【００１２】上記高周波加熱條件として電圧３００〜１
０００ボルト、周波数１０C/S 〜１０6C/Sとして通常
０．５〜３分間加熱する。このような短時間加熱によれ
ば合成樹脂粉末は完全に融着せず、成形されるメディア
内に微小気泡が分散され、そしてメディア表面にスキン
層が形成されない。そして上記高周波加熱の後上記型板
(1) の型穴(2) に充填された混合物は押型によって軽く
押圧されメディア形状を整えられ、冷却後に成形された
メディアは型板(1) の型穴(2) から取出される。このよ
うにして径8mm のメディアＮo.１が製造される。メディ
アＮo.１の構造を図２に示す。図において(3) は合成樹
脂マトリクス、(4) は粗粒研削材、(5) は細粒研削材、
(6) は気泡である。
０００ボルト、周波数１０C/S 〜１０6C/Sとして通常
０．５〜３分間加熱する。このような短時間加熱によれ
ば合成樹脂粉末は完全に融着せず、成形されるメディア
内に微小気泡が分散され、そしてメディア表面にスキン
層が形成されない。そして上記高周波加熱の後上記型板
(1) の型穴(2) に充填された混合物は押型によって軽く
押圧されメディア形状を整えられ、冷却後に成形された
メディアは型板(1) の型穴(2) から取出される。このよ
うにして径8mm のメディアＮo.１が製造される。メディ
アＮo.１の構造を図２に示す。図において(3) は合成樹
脂マトリクス、(4) は粗粒研削材、(5) は細粒研削材、
(6) は気泡である。
【００１３】［実施例２］ナイロン６粉末とアルミナ質
研削材と低抵抗粉末（炭化ケイ素＃６００）とを２５：
７０：５重量比で混合し、該混合物を使用して実施例１
と同様に径８mmのメディアを製造する。該メディアをメ
ディアＮo.２とする。メディアＮo.２の構造を図３に示
す。図において(3) は合成樹脂マトリクス、(4) は粗粒
研削材、(5) は細粒研削材、(6) は気泡、(7) は低抵抗
粉末、(8) は該低抵抗粉末の周りに形成された大きな気
泡である。
研削材と低抵抗粉末（炭化ケイ素＃６００）とを２５：
７０：５重量比で混合し、該混合物を使用して実施例１
と同様に径８mmのメディアを製造する。該メディアをメ
ディアＮo.２とする。メディアＮo.２の構造を図３に示
す。図において(3) は合成樹脂マトリクス、(4) は粗粒
研削材、(5) は細粒研削材、(6) は気泡、(7) は低抵抗
粉末、(8) は該低抵抗粉末の周りに形成された大きな気
泡である。
【００１４】［比較例１］ナイロン６粉末と平均粒度＃
１５０の粗粒研削材とを２５：７５重量比で混合し、該
混合物を実施例１、２と同様に成形してメディアＮo.３
を得る。
１５０の粗粒研削材とを２５：７５重量比で混合し、該
混合物を実施例１、２と同様に成形してメディアＮo.３
を得る。
【００１５】［試験］上記メディアＮo.１，Ｎo.２，Ｎ
o.３について表面粗さＲmax 、平均面粗度Ｒa 、メディ
ア磨耗性（ドレッシング性）およびワーク研削試験を行
なった。メディアＮo.１，Ｎo.２，Ｎo.３の表面粗さを
表１に示す。
o.３について表面粗さＲmax 、平均面粗度Ｒa 、メディ
ア磨耗性（ドレッシング性）およびワーク研削試験を行
なった。メディアＮo.１，Ｎo.２，Ｎo.３の表面粗さを
表１に示す。
【表１】
【００１６】表１を参照すると、粗粒研削材と微粉研削
材との混合研削材を用いたメディアＮo.１，Ｎo.２でも
粗粒研削材のみも用いたメディアＮo.３とほぼ同じ面粗
度を得ることが出来、微粉研削材を添加することによる
大きな面粗度変化は発生しない。
材との混合研削材を用いたメディアＮo.１，Ｎo.２でも
粗粒研削材のみも用いたメディアＮo.３とほぼ同じ面粗
度を得ることが出来、微粉研削材を添加することによる
大きな面粗度変化は発生しない。
【００１７】メディアのドレッシング性としては各メデ
ィア試験を４２０rpm で回転する遠心バレル中に入れ、
メディア磨耗量と時間との関係を求めた。この結果を図
４に示す。図４に示されるようにドレッシング効果は粗
粒研削材のみを用いたメディアＮo.３よりも粗粒研削材
と微粉研削材との混合研削材を用いたメディアＮo.１、
Ｎo.２の方が良好であり、特に低抵抗粉末を混合したＮ
o.２のドレッシング効果は格段に大きい。
ィア試験を４２０rpm で回転する遠心バレル中に入れ、
メディア磨耗量と時間との関係を求めた。この結果を図
４に示す。図４に示されるようにドレッシング効果は粗
粒研削材のみを用いたメディアＮo.３よりも粗粒研削材
と微粉研削材との混合研削材を用いたメディアＮo.１、
Ｎo.２の方が良好であり、特に低抵抗粉末を混合したＮ
o.２のドレッシング効果は格段に大きい。
【００１８】ワーク研削試験としては各メディア試料と
ＳＵＳ３０４の５０×２０×１．２mm薄板をワークとし
て４２０rpm で回転する遠心バレル中に入れ、ワーク研
削量と時間との関係を求めた。この結果を図５に示す。
図５に示されるようにワーク研削効果は粗粒研削材のみ
を用いたメディアＮo.３よりも粗粒研削材と微粉研削材
との混合研削材を用いたメディアＮo.１、Ｎo.２の方が
良好であり、特に低抵抗粉末を混合したＮo.２のワーク
研削効果は大きい。
ＳＵＳ３０４の５０×２０×１．２mm薄板をワークとし
て４２０rpm で回転する遠心バレル中に入れ、ワーク研
削量と時間との関係を求めた。この結果を図５に示す。
図５に示されるようにワーク研削効果は粗粒研削材のみ
を用いたメディアＮo.３よりも粗粒研削材と微粉研削材
との混合研削材を用いたメディアＮo.１、Ｎo.２の方が
良好であり、特に低抵抗粉末を混合したＮo.２のワーク
研削効果は大きい。
【００１９】
【発明の効果】したがって本発明においてはドレッシン
グ効果の非常に高い（目づまりしにくい）かつ研削性の
非常に良い研削用メディアが得られる。
グ効果の非常に高い（目づまりしにくい）かつ研削性の
非常に良い研削用メディアが得られる。
【図１】成形説明図
【図２】メディアＮo.１の構造説明図
【図３】メディアＮo.２の構造説明図
【図４】メディア磨耗性試験のグラフ
【図５】ワーク研削試験のグラフ
●────● メディアＮo.１のグラフ ○────○ メディアＮo.２のグラフ ×────× メディアＮo.３のグラフ 1 型板 2 型穴 3 混合粉末
Claims (2)
- 【請求項１】合成樹脂マトリクス中に、微小気泡と、粗
粒研削材と、微粉研削材とを分散させたことを特徴とす
るバレル研磨用メディア - 【請求項２】高周波加熱によって合成樹脂粉末を溶着す
ることによって形成された合成樹脂マトリクス中に、微
小気泡と、粗粒研削材と、微粉研削材と、低抵抗粉末と
を分散させ、該低抵抗粉末の周りに大きい気泡を形成せ
しめたことを特徴とする研磨用メディア
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5242021A JP2797286B2 (ja) | 1993-09-01 | 1993-09-01 | 研磨用メディアの製造方法 |
| US08/298,142 US5647879A (en) | 1993-09-01 | 1994-08-30 | Grinding media and a production method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5242021A JP2797286B2 (ja) | 1993-09-01 | 1993-09-01 | 研磨用メディアの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0768463A true JPH0768463A (ja) | 1995-03-14 |
| JP2797286B2 JP2797286B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=17083094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5242021A Expired - Lifetime JP2797286B2 (ja) | 1993-09-01 | 1993-09-01 | 研磨用メディアの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5647879A (ja) |
| JP (1) | JP2797286B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001287165A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-10-16 | Tipton Mfg Corp | バレル研磨用メディア及びその製造方法並びにバレル研磨方法 |
| JP2001322069A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-20 | Ujiden Chemical Industry Co Ltd | 研磨用メディア |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6099394A (en) | 1998-02-10 | 2000-08-08 | Rodel Holdings, Inc. | Polishing system having a multi-phase polishing substrate and methods relating thereto |
| US6069080A (en) * | 1992-08-19 | 2000-05-30 | Rodel Holdings, Inc. | Fixed abrasive polishing system for the manufacture of semiconductor devices, memory disks and the like |
| US6099954A (en) | 1995-04-24 | 2000-08-08 | Rodel Holdings, Inc. | Polishing material and method of polishing a surface |
| US6245679B1 (en) | 1996-08-16 | 2001-06-12 | Rodel Holdings, Inc | Apparatus and methods for chemical-mechanical polishing of semiconductor wafers |
| US6210525B1 (en) | 1996-08-16 | 2001-04-03 | Rodel Holdings, Inc. | Apparatus and methods for chemical-mechanical polishing of semiconductor wafers |
| US6537137B2 (en) | 1996-08-16 | 2003-03-25 | Rodel Holdings, Inc | Methods for chemical-mechanical polishing of semiconductor wafers |
| US5942015A (en) * | 1997-09-16 | 1999-08-24 | 3M Innovative Properties Company | Abrasive slurries and abrasive articles comprising multiple abrasive particle grades |
| KR100341850B1 (ko) * | 1999-06-25 | 2002-06-26 | 박종섭 | 연마 패드의 제조 방법 |
| CN109664209A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-04-23 | 张江元 | 一种研磨石 |
| WO2022023848A1 (en) * | 2020-07-30 | 2022-02-03 | 3M Innovative Properties Company | Method of abrading a workpiece |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946670U (ja) * | 1982-09-21 | 1984-03-28 | 株式会社東芝 | 研摩材 |
| JPS5959256U (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-18 | 株式会社東邦金剛 | 遊離研削研摩材 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3925034A (en) * | 1973-05-14 | 1975-12-09 | Res Abrasive Products Inc | Resin bonded grinding wheel containing gas-filled thermoplastic resin beads and method of making it |
| US4132533A (en) * | 1975-04-12 | 1979-01-02 | The Carborundum Company | Process for the production of spherical bonded abrasive from abrasive grain |
| US4588420A (en) * | 1982-07-22 | 1986-05-13 | Superior Finishers, Inc. | Methods of manufacturing abrasive articles |
| JPH0747267B2 (ja) * | 1986-06-26 | 1995-05-24 | 東亜製砥工業株式会社 | 発泡研摩体の製造方法 |
| DE8803413U1 (de) * | 1988-03-14 | 1989-07-13 | Norddeutsche Schleifmittel-Industrie Christiansen & Co (GmbH & Co), 2000 Hamburg | Flexibles Schleifwerkzeug |
| US5441549A (en) * | 1993-04-19 | 1995-08-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive articles comprising a grinding aid dispersed in a polymeric blend binder |
| US5405648A (en) * | 1993-05-10 | 1995-04-11 | Hermann; Paul F. | Coating particulate material with a polymer film |
-
1993
- 1993-09-01 JP JP5242021A patent/JP2797286B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-08-30 US US08/298,142 patent/US5647879A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5946670U (ja) * | 1982-09-21 | 1984-03-28 | 株式会社東芝 | 研摩材 |
| JPS5959256U (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-18 | 株式会社東邦金剛 | 遊離研削研摩材 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001287165A (ja) * | 2000-04-04 | 2001-10-16 | Tipton Mfg Corp | バレル研磨用メディア及びその製造方法並びにバレル研磨方法 |
| JP2001322069A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-20 | Ujiden Chemical Industry Co Ltd | 研磨用メディア |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5647879A (en) | 1997-07-15 |
| JP2797286B2 (ja) | 1998-09-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100623900B1 (ko) | 다공성 연마 공구 및 그 제조 방법 | |
| JPH06190733A (ja) | 研摩剤艶出し装置 | |
| US3867795A (en) | Composite resinoid bonded abrasive wheels | |
| JPH0768463A (ja) | 研磨用メディア | |
| CN1082869C (zh) | 含助磨剂的磨料制品及其制造方法 | |
| JP3256226B2 (ja) | 浸蝕性凝集体を有する被覆研磨材料 | |
| CN103492126B (zh) | 磨削方法和磨料制品 | |
| WO1995020469A1 (en) | Coated abrasive containing erodible agglomerates | |
| US3613317A (en) | Media for finishing plastics and soft metals | |
| JPH11156725A (ja) | レジノイド研削砥石 | |
| US4720941A (en) | Self-cooling, non-loading abrading tool | |
| JP2004050364A (ja) | 導電性砥石、並びに、その製造方法およびドレッシング方法 | |
| EP1737618A1 (en) | Abrasive articles, compositions, and methods of making the same | |
| JPH11207632A (ja) | ポリシャ及びその製造方法並びに研磨工具 | |
| JP2003062754A (ja) | 研磨具及び研磨具の製造方法 | |
| JP2000198075A (ja) | 複合ボンド砥石及び樹脂結合相を有する砥石 | |
| US20070128995A1 (en) | Polishing grindstone and method for producing same | |
| JP2889124B2 (ja) | ラッピング研磨装置の研磨定盤 | |
| JP3320194B2 (ja) | 電解ドレッシング研削方法及び装置 | |
| JP3122374B2 (ja) | 多孔質レジノイド砥石の製造方法 | |
| KR100221643B1 (ko) | 도금법에 의하여 제조되는 다이아몬드 연마구 및 그 제조장치 | |
| JPH02145261A (ja) | 電着砥石 | |
| JPH05277956A (ja) | レジンボンド砥石 | |
| JPH08155840A (ja) | 凝集砥粒砥石 | |
| JP2005219169A (ja) | 砥石及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971125 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980526 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100703 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140703 Year of fee payment: 16 |