JPH0769377B2 - エージング基板の検査装置及びそれを用いた検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばＩＣ等の電子部
品の初期不良検査に使用するエージング基板が、繰り返
しの使用によって断線や短絡を生じていないか否かを検
査するための装置及びそれを用いた検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ＩＣ等の電子部品は、使用開始
後数百時間以内に故障を生じる確率が高く、この初期不
良期間経過後は、その耐久限度まで長期間の使用に耐え
られることがほとんどである。このため、電子部品につ
いては、出荷前に、過酷な高温下で一定時間駆動させ、
初期不良を生じたものを取り除くことが行われている。

【０００３】上記初期不良検査において、多量の電子部
品を取り付けて一度に駆動するために用いられるのがエ
ージング基板である。

【０００４】更にエージング基板について説明すると、
一般にエージング基板は、取り付けた電子部品を駆動す
るための電源を受け入れる複数の入力端子と、電子部品
を取り付ける複数の試料用ソケットを有し、各試料用ソ
ケットには電子部品の各接続端子に対応して複数の試料
用端子が設けられている。

【０００５】各試料用端子は、夫々電子部品を駆動する
に適した電気的特性の回路に接続されており、入力端子
は、この回路の電気的特性に応じて設けられているもの
である。

【０００６】ところで、このエージング基板は、繰り返
し使用され、また高温下にさらされることになる。高温
下での繰り返し使用によってエージング基板が劣化し、
断線や短絡を生じた場合、正常な電子部品の駆動ができ
なくなり、初期不良検査の意味が失われることになるの
で、このエージング基板の管理が必要となる。

【０００７】従来、エージング基板の管理は、一定期間
毎に、作業員が、導通試験のできるテスター等で主要部
分を一端子ごとに検査することや、このような検査を行
わずに、不良の有無に拘わらず、一定期間使用したエー
ジング基板は新しいものと交換してしまうこと等によっ
て行われている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、テスタ
ーでいちいち検査するのは極めて手間がかかると共に、
エージング基板の全配線をくまなく検査することはほと
んど不可能であり、検査精度上も問題がある。

【０００９】また、一定期間経過後無条件でエージング
基板を交換してしまうのは、十分使用できるエージング
基板を廃棄してしまう無駄を生む。

【００１０】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、エージング基板の異常の有無を、簡便にし
かも高精度で検査できるようにすることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】このために請求項１の発
明では、エージング基板の各入力端子１に接続されて各
入力端子１に定電流源２を接続するための電源端子３
と、各電源端子３と定電流源２との間に介在された電源
スイッチ４とを備え、各電源端子３をエージング基板の
各入力端子１に接続することでエージング基板の入力端
子１側に接続される入力側回路と、エージング基板の少
なくとも１つの試料用ソケット５の各試料用端子６に各
々接続される複数の検査用端子７と、各検査用端子７に
順次接続された第１検査用スイッチ８及び第２検査用ス
イッチ９と、この各第１検査用スイッチ８と第２検査用
スイッチ９の間に介在された接地抵抗１０と、各第２検
査用スイッチ９が接続された電圧検出器１１とを備え、
各検査用端子７を、エージング基板の少なくとも１つの
試料用ソケット５の各試料用端子６に接続することでエ
ージング基板の試料用ソケット５側に接続される出力側
回路とを有するエージング基板の検査装置としているも
のである。

【００１２】また、請求項２の発明では、上記エージン
グ基板の検査装置の電源端子３をエージング基板の各入
力端子１に接続すると共に、エージング基板の少なくと
も１つの試料用ソケット５の各試料用端子６に検査用端
子７を接続し、検査用端子７が接続された試料用端子６
の内、検査対象として選択した１つの試料用端子６が接
続されている１つの電源スイッチ４をＯＮにする一方、
他の電源スイッチ４を全てＯＦＦとし、選択した試料用
端子６以外の試料用端子６であって、選択した試料用端
子６と同じ回路属性の試料用端子６に接続された第１検
査用スイッチ８を全てＯＦＦとする一方、選択した試料
用端子６及び選択した試料用端子６と異なる回路属性の
試料用端子６に接続された第１検査用スイッチ８を全て
ＯＮとし、選択した試料用端子６に接続された第２検査
用スイッチ９をＯＮにする一方、他の第２検査用スイッ
チ９を全てＯＦＦとし、電圧検出器１１で第２検査用ス
イッチ９の出力端子とグラウンド間の出力電圧を測定す
ることとしているものである。

【００１３】更に請求項３の発明では、上記電源スイッ
チ４、第１検査用スイッチ８及び第２検査用スイッチ９
のＯＮ・ＯＦＦを、記憶装置１２と制御器１３によって
自動的に行うこととしているものである。

【００１４】尚、本明細書において、回路属性とは、回
路の電気的特性のことで、回路に供給される信号の種類
によって分類されるものである。この回路属性は、ある
周波数のクロックが印加される、所謂「クロック型」、
グラウンドに接続された、所謂「グラウンド型」、電源
電圧が供給される、所謂「電源型」に大別され、クロッ
ク型は、そのクロックの周波数毎に異なる回路属性とし
て分類されるものである。本明細書では、この周波数の
異なるクロック型を、「クロック１型」、「クロック２
型」、……として区別して記載する。また、クロック１
型、クロック２型、……の信号に抵抗を介して接続され
る信号回路はクロック１型、クロック２型、……に含ま
れ、グラウンドに抵抗を介して接続された信号回路はグ
ラウンド型に含まれ、抵抗を介して電源電圧が印加され
る、所謂プルアップされた信号回路は電源型に含まれる
ものである。

【００１５】

【作用】請求項１の発明において、電源スイッチ４は、
エージング基板の入力端子１の内、いずれか１つに検査
用の定電流源２を接続するためのもので、いずれの試料
用端子６を検査するかによって切り換えられる。

【００１６】第１検査用スイッチ８は、検査対象となる
試料用端子６と、この検査対象となる試料用端子６が接
続された回路からのリークによって、検査対象となる試
料用端子６に悪影響を与える回路に接続された他の試料
用端子６を選択するためのものである。

【００１７】第２検査用スイッチ９は、検査対象となる
試料用端子６のみを選択するためのものである。

【００１８】また、請求項１の発明における接地抵抗１
０は、第２検査用スイッチ９の出力端子とグラウンド間
の出力電圧を電圧検出器１１で測定できるようにするた
めのものである。

【００１９】請求項２の発明において、検査対象として
選択した試料用端子６が接続された１つの電源スイッチ
４のみをＯＮとしているのは、この選択した試料用端子
６が接続された回路の状態を、他の回路からの影響を受
けずに正確に検査できるようにするためのものである。

【００２０】選択した試料用端子６と異なる回路属性の
試料用端子６に接続された第１検査用スイッチを全てＯ
Ｎとしているのは、異なる回路属性の回路間でリークを
生じたときにリーク電流が接地抵抗１０を通してグラウ
ンドに流れ、第２検査用スイッチ９の出力端子とグラウ
ンド間の出力電圧に変化を生じさせるためである。ま
た、選択した試料用端子６以外の試料用端子６であっ
て、選択した試料用端子と同じ回路属性の試料用端子６
に接続された第１検査用スイッチ８を全てＯＦＦにして
いるのは、同じ回路属性の回路間が電気的に絶縁されて
いないため、リークが生じないようにするためである。

【００２１】更に請求項２の発明において、選択した試
料用端子６に接続された第２検査用スイッチ９のみをＯ
Ｎとしているのは、定電流源２を、選択した試料用端子
６の回路のみを介して電圧検出器１１に接続し、この回
路における断線の有無を検査できるようにするものであ
る。

【００２２】そして、電圧検出器１１で第２検査用スイ
ッチ９の出力端子とグラウンド間の出力電圧を測定する
ことにより、リークを出力電圧の低下、断線を出力電圧
の非検出として捕らえることができる。

【００２３】特に請求項３の発明は、検査操作の多くの
部分を自動化させるものである。

【００２４】

【実施例】図１は、本発明に係るエージング基板の検査
装置の一例を示すもので、図２はこの検査装置の検査対
象たるエージング基板の回路例を示すものである。

【００２５】本検査装置は、各電源端子３をエージング
基板の各入力端子１に接続することでエージング基板の
入力端子１側に接続される入力側回路と、各検査用端子
７を、エージング基板の１つの試料用ソケット５の各試
料用端子６に接続することでエージング基板の試料用ソ
ケット５側に接続される出力側回路とを有するものとな
っている。入力側回路は、定電流源２をエージング基板
の入力端子１に接続するための電源端子３と、定電流源
２と電源端子３との間に介在された電源スイッチ４とを
有している。

【００２６】本実施例におけるエージング基板は、Ｄ１
〜Ｄ７の７つの入力端子１を有しており、本検査装置の
定電流源２及び電源端子３も、これに合わせて７つずつ
用意されている。また、各定電流源２と電源端子３の間
に、Ａ１〜Ａ７の７つの電源スイッチが夫々介在されて
いる。

【００２７】一方、本検査装置の出力側回路は、エージ
ング基板の１つのソケット５に設けられている全ての試
料用端子６（本実施例ではＥ１〜Ｅ１０の１０個）に夫
々接続される１０個の検査用端子７と、この検査用端子
７に夫々順次接続されたＢ１〜Ｂ１０の１０個の第１検
査用スイッチ８及びＣ１〜Ｃ１０の１０個の第２検査用
スイッチ９と、各第１検査用スイッチ８と第２検査用ス
イッチ９の間に介在された１０個の接地抵抗１０とを有
している。また、各第２検査用スイッチ９の出力端子
は、電圧検出器１１に接続されている。

【００２８】尚、本実施例では１つの試料用ソケット５
に対応して検査用端子７を設けているが、複数の試料用
ソケット５に対応して検査用端子７を用意することもで
きる。即ち、図示されるような１０個の検査用端子７を
更に１組又は２組以上用意し、同時に複数の試料用ソケ
ット５についての検査を行えるようにすることもでき
る。この場合、１組の検査用端子７群毎に出力電圧を測
定できるようにしておけばよい。

【００２９】次に、本検査装置を用いた検査方法につい
て説明する。

【００３０】まず、本検査装置の電源端子３を夫々エー
ジング基板の入力端子１に接続し、入力側回路をエージ
ング基板の入力端子１側に接続すると共に、本検査装置
の検査用端子７を夫々エージング基板の１つの試料用ソ
ケット５の試料用端子６に接続し、出力側回路をエージ
ング基板の試料用ソケット５側に接続する。

【００３１】説明の便宜上、Ａ１〜Ａ７の電源スイッチ
４に接続された電源端子３が順次Ｄ１〜Ｄ７の入力端子
１に接続され、Ｂ１〜Ｂ１０の第１検査用スイッチ８が
接続された検査用端子７が順次Ｅ１〜Ｅ１０の試料用端
子６に接続されたものとして説明する。また、図２に示
されるエージング基板のＬ１〜Ｌ１０のラインの回路属
性は一例として次表の通りとする。

【００３２】

【表１】

【００３３】電源端子３と検査用端子７の接続後、電源
スイッチ４、第１検査用スイッチ８及び第２検査用スイ
ッチ９を適宜ＯＮ・ＯＦＦして検査を行う。

【００３４】電源スイッチ４は、いずれか１つのみをＯ
Ｎとする。いずれの電源スイッチ４をＯＮとするかは、
いずれの試料用端子６を検査対象として選択するかによ
って選択される。

【００３５】例えばＥ１０の試料用端子６を検査対象と
して選択した場合、このＥ１０の試料用端子６はＬ６の
ラインに接続されており、このＬ６のラインの入力端子
１はＤ５であるので、これに接続されたＡ５の電源スイ
ッチ４がＯＮとされる。また、例えばＥ５の試料用端子
６を選択した場合、このＥ５の試料用端子６はＬ２のラ
インに接続されており、このＬ２のラインの入力端子１
はＤ２とＤ３であるので、これに接続された電源スイッ
チ４としてはＡ２とＡ３が存在する。この場合、どちら
を選んでもよいが、いずれか一方のみをＯＮとする。

【００３６】第１検査用スイッチ８のＯＮ・ＯＦＦは、
次の３つの条件によって行われる。

【００３７】（１）検査対象として選択した試料用端子
７に接続された第１検査用スイッチ８をＯＮにする。

【００３８】（２）選択した試料用端子７と同じ回路属
性の他の試料用端子７に接続された第１検査用スイッチ
８を全てＯＦＦにする。

【００３９】（３）選択した試料用端子７と異なる回路
属性の試料用端子７に接続された第１検査用スイッチ８
を全てＯＮにする。

【００４０】更に具体的に説明すると、Ｅ１０の試料用
端子６が接続されているＬ６のラインは、前記表から
「電源型」であるので、このＥ１０の試料用端子の回路
属性は「電源型」となる。また、Ｅ５の試料用端子６が
接続されているＬ２のラインは、やはり前記表から「グ
ラウンド型」であるので、このＥ５の試料用端子６の回
路属性は「グラウンド型」となる。同様にして他の試料
用端子６の回路属性を整理すると、Ｅ１はクロック１
型、Ｅ２はグラウンド型、Ｅ３はグラウンド型、Ｅ４は
グラウンド型、Ｅ６はクロック２型、Ｅ７はクロック２
型、Ｅ８は電源型、Ｅ９は電源型である。

【００４１】例えばＥ１０の試料用端子６を検査対象と
して選択した場合、このＥ１０に接続されたＢ１０の第
１検査用スイッチ８をＯＮにする。ところで、このＥ１
０の回路属性は上記のように「電源型」であるので、こ
の「電源型」の他の試料用端子６に接続された第１検査
用スイッチ８、即ちＥ８及びＥ９の試料用端子６に接続
されたＢ８及びＢ９の第１検査用スイッチ８を全てＯＦ
Ｆにする。また、「電源型」以外の回路属性の試料用端
子６、即ちＥ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４、Ｅ５、Ｅ６及びＥ
７に接続されたＢ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４、Ｂ５、Ｂ６及
びＢ７の第１検査用スイッチ８を全てＯＮにする。

【００４２】例えばＥ５の試料用端子６を検査対象とし
て選択した場合については、Ｂ５の第１検査用スイッチ
８をＯＮにする一方、Ｅ５が「グラウンド型」であるの
で、「グラウンド型」の他の試料用端子６に接続された
Ｂ２、Ｂ３及びＢ４の第１検査用スイッチ８を全てＯＦ
Ｆにする。また、「グラウンド型」以外の回路属性の試
料用端子６に接続されたＢ１、Ｂ６、Ｂ７、Ｂ８、Ｂ９
及びＢ１０の第１検査用スイッチ８を全てＯＮにする。

【００４３】更に、第２検査用スイッチ９のＯＮ・ＯＦ
Ｆは、検査対象として選択した試料用端子６に接続され
た第２検査用スイッチ９のみをＯＮにし、他の第２検査
用スイッチ９を全てＯＦＦにすることで行われる。

【００４４】例えばＥ１０の試料用端子６を選択した場
合、Ｃ１０の第２検査用スイッチ９のみをＯＮにし、他
の第２検査用スイッチ９は全てＯＦＦにする。また、例
えばＥ５の試料用端子６を選択した場合、Ｃ５の第２検
査用スイッチ９のみをＯＮにし、他の第２検査用スイッ
チ９を全てＯＦＦにする。

【００４５】以上の操作をした後、電圧検出器１１で、
第２検査用スイッチ９の出力端子とグラウンド間の出力
電圧を測定する。そして、測定された出力電圧の大小か
ら、選択された試料用端子６が接続されている回路の異
常を判別することができる。即ち、測定された出力電圧
が基準値より小さければリークを生じていると認めら
れ、またほとんど出力電圧が測定されないときには断線
を生じていると認められる。尚、出力電圧の基準値は、
定電流電源２による電流値、エージング基板の回路特
性、接地抵抗１０の抵抗値等に基づいて定められ、どの
程度厳格な検査とするかに応じて、やや低く設定したり
やや高く設定することもできる。

【００４６】本検査装置を用いた検査方法は、電源スイ
ッチ４、第１検査用スイッチ８及び第２検査用スイッチ
９のＯＮ・ＯＦＦ操作を全て手動で行って実施すること
も可能であるが、図３に示されるように記憶装置１２及
び制御器１３を用いて行うと、これらのＯＮ・ＯＦＦ操
作を自動化することができ、操作が極めて容易となり、
操作ミスを防止することができる。

【００４７】これについて更に説明する。

【００４８】各電源スイッチ４と、各第１検査用スイッ
チ８と、各第２検査用スイッチ９は、各々制御器１３に
接続されており、制御器１３からの信号によってＯＮ・
ＯＦＦされるものとなっている。各第２検査用スイッチ
９は、電圧検出器１１を介して制御器１３に接続されて
おり、更に制御器１３には入力装置１４、記憶装置１２
及び表示器１５が接続されている。

【００４９】まず、いずれの試料用端子６を検査対象と
して選択したときにいずれの電源スイッチ４をＯＮとす
るかを記憶装置１２に記憶させる。これと同時に、各試
料用端子６の回路属性と、どの試料用端子６にどの検査
用端子７が接続されているか、換言するとどの試料用端
子６にどの第１検査用スイッチ８と第２検査用スイッチ
９が接続されているかを記憶装置１２に記憶させる。こ
の記憶は、入力装置１４によって行われ、常に同じエー
ジング基板の同じ位置に各電源端子３と検査用端子７を
接続する場合、１度記憶させた後はこの記憶を繰り返し
利用することが可能である。

【００５０】そして、いずれかの試料用端子６が検査対
象として選択されると、選択された試料用端子６に対応
して記憶されている１つの電源スイッチ４のみがＯＮさ
れると共に、この選択された試料用端子６について記憶
されている回路属性と、その他の試料用端子６について
記憶されている回路属性とに基づき、前述の３つの条件
に合わせて第１検査用スイッチ８が自動的にＯＮ・ＯＦ
Ｆされ、また選択された試料用端子６に接続されている
ことが記憶されている第２検査用スイッチ９のみがＯＮ
される。

【００５１】上記ＯＮ・ＯＦＦ制御は、制御器１３とし
て例えばＣＰＵを用い、記憶装置１２の記憶に基づい
て、各電源スイッチ４、第１検査用スイッチ８及び第２
検査用スイッチ９に対し選択的に制御器１３からＯＮ・
ＯＦＦ信号を送ることで行われる。そして、このＯＮ・
ＯＦＦ制御後に、電圧検出器１１からの信号が制御器１
３に送られ、この信号が示す出力電圧値と、予め記憶装
置１２に記憶されている基準値が比較され、その結果が
表示器１５に表示されるものである。

【００５２】この検査方法において、検査対象としてい
ずれの試料用端子６を選択するかは、入力装置１４から
手動で入力することで行ってもよいが、予め選択順を記
憶装置１２に記憶させておき、その順番で順次検査対象
となる試料用端子６を自動的に切り換えながら検査して
もよい。

【００５３】

【発明の効果】本発明は、以上説明した通りのものであ
り、エージング基板の１つの回路を検査するときに、当
該回路と他の回路との関係をも加味した検査ができるの
で、厳格で無駄の無い検査が行え、異常を生じたエージ
ング基板を継続使用することによる初期不良検査の不全
や、使用できるエージング基板の無駄な廃棄を防止でき
るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエージング基板の検査装置の一実
施例を示す回路図である。

【図２】図１の検査装置の検査対象であるエージング基
板の一例を示す回路図である。

【図３】本発明の他の実施例に係るエージング基板の検
査装置を示す回路図である。

【符号の説明】

１ 入力端子 ２ 定電流源 ３ 電源端子 ４ 電源スイッチ ５ 試料用ソケット ６ 試料用端子 ７ 検査用端子 ８ 第１検査用スイッチ ９ 第２検査用スイッチ １０ 接地抵抗 １１ 電圧検出器 １２ 記憶装置 １３ 制御器 １４ 入力装置 １５ 表示器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エージング基板の各入力端子に接続され
   て各入力端子に定電流源を接続するための電源端子と、
   各電源端子と定電流源との間に介在された電源スイッチ
   とを備え、各電源端子をエージング基板の各入力端子に
   接続することでエージング基板の入力端子側に接続され
   る入力側回路と、 エージング基板の少なくとも１つの試料用ソケットの各
   試料用端子に各々接続される複数の検査用端子と、各検
   査用端子に順次接続された第１検査用スイッチ及び第２
   検査用スイッチと、この各第１検査用スイッチと第２検
   査用スイッチの間に介在された接地抵抗と、各第２検査
   用スイッチが接続された電圧検出器とを備え、各検査用
   端子を、エージング基板の少なくとも１つの試料用ソケ
   ットの各試料用端子に接続することでエージング基板の
   試料用ソケット側に接続される出力側回路とを有するこ
   とを特徴とするエージング基板の検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１のエージング基板の検査装置の
   電源端子をエージング基板の各入力端子に接続すると共
   に、エージング基板の少なくとも１つの試料用ソケット
   の各試料用端子に検査用端子を接続し、 検査用端子が接続された試料用端子の内、検査対象とし
   て選択した１つの試料用端子が接続されている１つの電
   源スイッチをＯＮにする一方、他の電源スイッチを全て
   ＯＦＦとし、 選択した試料用端子以外の試料用端子であって、選択し
   た試料用端子と同じ回路属性の試料用端子に接続された
   第１検査用スイッチを全てＯＦＦとする一方、選択した
   試料用端子及び選択した試料用端子と異なる回路属性の
   試料用端子に接続された第１検査用スイッチを全てＯＮ
   とし、 選択した試料用端子に接続された第２検査用スイッチを
   ＯＮにする一方、他の第２検査用スイッチを全てＯＦＦ
   とし、 電圧検出器で第２検査用スイッチの出力端子とグラウン
   ド間の出力電圧を測定することを特徴とするエージング
   基板の検査方法。
3. 【請求項３】 各試料用端子の回路属性及び各試料用端
   子に対応する１つの電源スイッチを記憶装置に記憶さ
   せ、１つの試料用端子を検査対象として選択したとき
   に、この記憶装置の記憶に基づいて、制御器によって、
   電源スイッチ、第１検査用スイッチ及び第２検査用スイ
   ッチのＯＮ・ＯＦＦを自動的に行うことを特徴とする請
   求項２のエージング基板の検査方法。