JPH076939A

JPH076939A - 生産管理システム

Info

Publication number: JPH076939A
Application number: JP30253693A
Authority: JP
Inventors: Takemasa Iwasaki; 武正岩崎; Kazuhiko Maeda; 和彦前田; Sadao Shimosha; 貞夫下社; Hiroto Nagatomo; 宏人長友; Koichi Kubonai; 講一久保内; Yushin Matsuo; 雄紳松尾; Yoshiaki Nakamura; 佳明中村
Original assignee: Hitachi Hokkai Semiconductor Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Semiconductor Package and Test Solutions Co Ltd
Priority date: 1992-12-02
Filing date: 1993-12-02
Publication date: 1995-01-10

Abstract

(57)【要約】（修正有）【構成】半導体生産のように清浄度を必要とする微細加
工処理工程内の複数の処理設備や搬送ハンドリング設備
及びユ−ティリティと計算機とを接続し、接続した計算
機により前記各種設備群の稼働管理する情報システムに
おいて、生産ラインの管理制御情報を、清浄度別に領域
を隔離した現場事務所、作業エリア、保守エリアごとに
設備やユーティリティに対して指示や表示をする。【効果】生産ラインの管理制御に必要な情報ハンドリン
グ操作が容易になり、リアルタイム性と応答性能の確保
ができるので、生産ラインの変動にたいしても迅速な対
応が可能となる。その結果、生産性や品質の向上等が期
待できるだけでなく、多製品の生産管理制御にこの情報
システムの応用範囲を広げることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば微細加工職場の
代表者である半導体の生産システムに好適な生産管理シ
ステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体のＦＡ技術については、三
菱電機技法、Vol.63、No.11、1999に発表された「半導
体のＦＡ技術」と題する文献、ＪＭＡプロダクション
マネージメント 1990年７月号（JMA PRODUCTION MANA
GEMENT JULY 1990）に発表された「製造工程が複雑で変
化の多い半導体工場のＦＡ」と題する文献、特公昭64-6
540号公報、特開昭63-57158号公報及び特開平2-117512
号公報に記載されているような自動化ラインとその管理
制御システムが知られている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、生産
ラインに関する内容について開示されているが、清浄度
の異なる複数の領域からなる工場や生産ラインの管理に
おいては、清浄度の異なる雰囲気（例・大気等）を有す
る領域間の移動は、作業性やクリーンルーム建築のイニ
シャルコストとその運転コスト、および品質の面で課題
があった。

【０００４】本発明は、作業者や製品の領域間移動に伴
なって必要となる清浄度の異なる領域の境界面付近で
の、異なる清浄度雰囲気（例・清浄度のグラフ１の大
気）維持のため準備作業の煩雑さを軽減したり、製品の
進行制御や処理設備の運転・メンテに関する指示に必要
な管理・制御システムを簡便で必要に応じて早期に稼働
させ、生産効率向上に寄与できるような清浄度の異なる
複数の領域からなる生産ラインの管理制御に必要な生産
管理システムを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、外部より素材を搬入して清浄領域内で素
材に加工処理を加えて製品を生産する生産ラインにおい
て、清浄度別に領域を隔離している素材を加工する第１
の領域と、素材加工設備をを保全する第２の領域と、設
備や素材の加工状況を管理制御する第３の領域と、素材
が製品までの生産管理をする第４の領域とから構成され
ており領域別に異なる管理目的に着目し、前記の第１の
領域においては素材加工処理設備に対し作業の指示表示
できる手段を備え、前記第２の領域においては素材加工
処理設備の保守点検指示や表示できる手段、前記第３の
領域においては一連の素材加工処理設備群に対する作業
指示や表示手段、更に、前記第４の領域においては素材
の投入が製品までの仕掛状況出来高あるいは歩留り等の
生産管理指示や表示手段を備えた。

【０００６】

【作用】本発明は、清浄度別に領域を隔離している作業
エリア、保全エリアおよび現場事務所・工場管理事務所
に対して、各領域での管理目的に応じて、必要な状況把
握や作業指示を行なえるので、領域内での適切でない迅
速な作業指示による生産効率向上のほかに、領域間の作
業者や製品（又は素材）の移動回数を削減できる。

【０００７】この結果、領域間移動に必要なエアシャワ
ーによる準備作業の削減や、それに伴なって必要となる
出入口施設やその運転コストの低減も可能となる。又、
領域別の管理目的に従い、管理・制御システム機能の独
立・分散化したシステムにより、システム構築が容易と
なり信頼性や拡張性が図れる。

【０００８】

【実施例】図１は、例えば半導体を対象とした生産現場
（又はライン）の全体レイアウトの概要を示したもので
ある。通常、半導体の生産は、素材（ウェハ）をライン
に投入し、回路形成、成膜工程を繰返しながらウェハ上
に完成品を作る。そして、製品特性の判別テストにより
良品（完成品）をチップ上から切り出し、封止・組立て
後に製品テストを行ない、完成品を選別し、出荷する。

【０００９】通常、素材である全表面ウェハは、運搬用
カセットに入れてメーカからトラックで工場に運び込ま
れ、外気等に触れた部分に附着した異物を除去するため
にクリーニングをした後、例えば２階の現場事務所１４
に運び込まれ、事務所近くにある入出庫ストッカ１３
へ、素材である全表面ウェハを移動する。移動した鏡面
ウェハは、入出庫ストッカ１３から昇降装置６を経由し
てライン入出庫ストッカ１２に自動搬送し一時保管す
る。そして、生産計画に従って、初工程の表面酸化処理
後に搬送・保管・処理、管理単位であるロット（製品）
にまとめ、予め決められた毎日の投入量となるロットを
生成し、ウェハケースに入れて、再入庫する。

【００１０】多くの半導体生産ラインは、同種の処理機
能を持つ設備群を集めたジョブショップ生産形態を採用
しており、例えば、高い清浄度が要求されている作業エ
リア１１のようにストッカ１、エリア内ロボット９、複
数のエリア内設備８で１つのショップを形成している。
そして、、その他のプロセス処理機能を持つ作業エリア
１１’を必要に応じて設置し、消防法等の規制により、
例えば、1500ｍ²、2000ｍ²、3000ｍ²等の指定されてい
る面積の単位に、図のような防火壁１０を設けたライン
が構成される。この防火壁は、火災等の時に完全に作業
エリアを隔離する必要があるため、床上や床下にある空
気の清浄度を維持している層流部分や工程間搬送レ−ル
２や作業者用通路もただちに遮断できる構造となってい
る。作業エリア１１，１１’群間は、工程間搬送レール
２と施回装置５で閉ループ走行路を構成し、その上を搬
送車３を走らせて製品を自動搬送する。製品を搬送する
場合は、搬送要求に応じて効率的な搬送制御を搬送制御
装置７で行なっており、搬送先に到着した搬送車３は、
シフタ４によりストッカ１の出入口に移動し、ストッカ
に製品を移動する。

【００１１】ストッカ１に格納した製品は、処理要求に
応じて、エリア内ロボット９であるエリア内搬送系を介
して、必要なエリア内処理設備８に製品を搬送する。そ
して、この設備での処理が完了すると、再びエリア内搬
送系を経由してストッカ１に格納し、更に、通路内搬送
系を介して、又は、隣の作業エリアに直接ストッカ内で
受け渡しができるストッカ１５により、次工程の作業エ
リアにあるストッカに製品を搬送する。そして、エリア
内搬送系を経由して、次工程処理を行なう作業手順を繰
り返し、最終工程となるストッカに製品を搬送する。こ
の最終工程でも、製品はエリア内搬送系を介して処理し
た後に、再びストッカに戻り閉ル−プ搬送系を離れてラ
イン入出庫ストッカ１２に搬送し昇降装置６を経て、作
業事務所１４にある事務所入出庫ストッカ１３に保管
し、適宜、良品検査のために搬出する。

【００１２】このように、エリア内搬送系を分散化し、
個別に設置することにより、作業エリア単位に自動化が
順次構築が可能となり、必要に応じて自動化が展開でき
る。

【００１３】この結果、作業エリア１１，１１’は、自
動化と、人手による作業の混在も可能となる。

【００１４】図２は、空間的に離れた異なるクリーンル
ーム間搬送システムの配置例を示した図である。例え
ば、クリーンルーム（１）１は、図１で示したようなジ
ョブショップ型設備レイアウトで中央通路に対してクリ
ーン度の高い作業エリア７と設備メンテ用の保全エリア
８とから構成する。このクリーンルーム（１）１には、
階下と連絡しているクリーン階段１４の他に作業エリア
７を管理する作業事務所９、材料・治具を格納している
部材倉庫１１や作業者の入退室用のエアシャワー室１
０、材料・治具や完成品等の入出庫用の中央出入口１６
がある。又、クリーンルーム（２）２も作業エリア７’
の他にエアシャワー室１０’、作業事ム所９’が配置さ
れており、この２つの異なるクリーンルームの間には通
路１２、休憩室１５や建屋全体のユーティリティ１３が
ある。

【００１５】更に、このクリーンルーム（１）１内にス
トッカ（１）３とクリーンルーム（２）２内にストッカ
（２）４があり、その間を天井走行型のクリーンルーム
間搬送系５で連結している例を示している。このクリー
ンルーム間搬送系５は、図１と同様に、例えば、クリー
ンルーム（１）１で作業完了した製品をストッカ（１）
３に格納した後に、必要に応じて次のクリーンルーム
（２）２の工程に送る場合、該製品をウェハケースに収
納後に搬送車６に搭載し、クリーンルーム間搬送系５を
経由して、ストッカ（２）４に搬送する。そして、製品
の再生作業や空ケース等の返却にも同様に利用できる。

【００１６】図３は、垂直方向に離れたことなるクリー
ンルーム間搬送システムの配置例を示した図である。こ
れは、クリーンルーム（１Ｆ）９とクリーンルーム（２
Ｆ）７の間に昇降装置２を設け、クリーンルーム（１
Ｆ）９のストッカ（３）３とクリーンルーム（２Ｆ）７
のストッカ（１）１を設置した例である。例えば、クリ
ーンルーム（２Ｆ）７の作業エリアで処理を完了した製
品は、工程間搬送レール（１）４を経由して搬送車５で
運ばれ、ストッカ（１）１へシフタ６で送り込まれ格納
する。そして、必要に応じて該製品を搭載した搬送車５
は、シフタ６でクリーンルーム（１Ｆ）９に送られ、そ
のまま工程間搬送レール（２）８を経由して自動的に搬
送する。このような搬送設備により、１階、２階に限ら
ず階上、階下に有るクリーンルーム間の効率的な搬送が
できる。この搬送系により、高いクリーン度が要求され
る作業エリア間で作業者がエアシャワー室を２回も通過
するための準備時間やその工数と搬送人員が削減できる
だけでなく搬送時間の短縮が可能となり、設備故障によ
り該設備能力不足が発生した場合、他ラインの同程処理
設備の能力を有効に活用した生産や２つのクリーンルー
ム間が擬似的に１つの作業エリアのような工程として物
流の流れ化が実現できる。この結果、待ち間が削減でき
製作期間も従来より大巾に短縮可能である。

【００１７】図４は、全体処理フローとバッファ機能の
関係について、清浄度の異なる領域に区分した建屋の一
部分を概念的に示した図である。半導体のようにプロセ
スの処理時間が大きく異なっているプロセス例えば、成
膜，ホトレジ，エッチング，インプラの作業エリアを１
−１，１−２，１−３，１−４を実線の矢印で示したよ
うに繰り返して生産する場合には、バッファ機能が有効
である。そして、各プロセスに設けたストッカ２−１，
２−２，２−３，２−４でストック容量がオーバーした
時は中央のバッファストッカ３に破線の矢印のように一
時的に退避させながらライン全体の能力調整を行ないな
がら生産を管理・統制する。又、設備トラブルや能力不
足で作業ができなかったり、設備の重量により建屋構造
上の耐荷重や清浄度の雰囲気に関する制約等により別の
他ライン４で生産依頼を行なうことも有る。そして、プ
ロセス処理完了後、例えばテスト工程などの最終工程で
ある組立処理５に製品を送り、完成品の特性評価により
製品の選別を行なう。ストッカ２−１，２−３，２−４
は、処理時間の異なるプロセス間の処理時間を調整して
ダンゴ状態を無くすための平準化生産を行なったり、設
備・ストッカ・搬送系の能力調整や清浄度領域の異なる
ライン間のシスト差や能力調整に用いる。又、製品の着
工順序を変更して設備故障等のトラブルや、品質不良に
起因した生産遅れを挽回により、顧客納期を遵守した
り、バッファストッカは物理的に制約の有るストッカ容
量を補充するための手段としても用いる。この結果、多
品種製品の同時生産ライン化も可能となる。更に、バッ
ファ容量の適正化により仕掛の削減が可能となり製作期
間の短縮できる上に、先入先出管理の徹底による製作期
間のバラツキも少なくできる。

【００１８】図５は、情報システム全体構成を示す。こ
の情報システムは、現場事務所１、生産ライン２からな
る生産現場を管理するために必要なラインコントローラ
９、プロセス管理コントローラ１０、設備管理コントロ
ーラ１１、ショップコントローラ１２、ライン状況監視
コントローラ１３と作業エリア３内、メンテエリアおよ
びユーティリティ４内にあるプロセス設備５．５’．
５”…エリアストッカ６、エリア間搬送系７、エリア内
ロボット８を結合し、生産に必要な指示等を行なう生産
管理用ネットワーク１５、アナウンス用ネットワーク１
６、ユーティリティ管理用ネットワーク１７、エリアコ
ントローラ２２、エリア内設備ネットワーク２０、エリ
ア内ユーティリティネット２１、作業指示・実績入力端
末２３、メンテ指示・実績入力端末２４、ユーティリテ
ィ監視・実績入力端末２５、エリア間搬送コントローラ
２６、ライン内製品の状況を一括把握できる大型動態表
示装置２７、アナウンス設備２８とから構成する。

【００１９】更に、他の作業事務所１’も含めた生産ラ
イン群を統合管理する統合管理コントローラ１８が有
る。この統合管理コントローラ１８は、例えば受注情報
や製品別完成実績の授受の他に物理的に離れている生産
現場の状況等を把握、報告するための構外ネットワーク
１９を用いて効率的な管理を行なう。

【００２０】この、生産現場は、生産ライン２を管理、
統制する現場事務所１とからなり、例えば半導体ライン
の作業ルーム２は度の高い作業エリア３とそれ以外に該
作業を支援するメンテエリア及びユーティリティ４から
なる。

【００２１】具体的には、生産ライン２内に生産に必要
な設備を例えばエリア内設備群５．５’．５”…のよう
に同種処理機能を持つ設備を集めて配置し製品の処理エ
リアのみ高清浄度を維持できる作業エリア３を設け、製
品の処理順序に従って順次処理を繰り返しながら生産す
る。尚、原材料の入庫や完成品の搬出は、現場事務所１
を通じて行なうことも有る。

【００２２】そして、エリア内設備群５’側のように、
エリア内ロボット８により自動化したエリアでは、エリ
ア間搬送系７で搬送しエリアストッカ６に格納している
製品を自動的に出庫し、例えばエリア内設備５’にエリ
ア内ロボット８で自動搬送する。そして、処理完了後、
エリア内ストッカ６に戻し、次工程のエリアストッカ６
に搬送する。

【００２３】又、エリア内設備５側のように人手作業を
中心としたエリアでは、エリアストッカ６で保管してい
る複数の製品から作業者が、作業指示・実績入力端末２
３から出庫指示を行ない、該処理完了後、再び、作業実
績を作業指示・実績入力端末２３で入庫し、ストッカに
保管する。そして、作業を完了した製品は次工程のエリ
アストッカ６に搬送する。

【００２４】この場合、エリアの全てが自動化していた
り、又、逆に、人手作業のみであったり、混在する場合
も有る。又、エリアストッカ６、エリア間搬送系７が有
る場合も、逆に、人手搬送のみであったり、エリアスト
ッカ６のみがあるの組合せも考えられる。

【００２５】ここで、エリア内設備群５’、エリアスト
ッカ６、エリア内ロボット８は、エリア内設備ネットワ
ーク２０を介して、エリアコントローラ２２と結合して
おり、このエリアコントローラ２２は製品選択・出庫指
示・エリア内搬送・作業条件指示・加工処理指示・回収
実績収集・入庫およびエリアストッカ６からの搬出指示
を行なう。例えば、搬送ルート例２９に示すように自動
的に搬送できる一方、自動化していないエリアにあるエ
リア内設備群５は、作業者を介して製品の選択・搬送、
作業条件入力・加工処理指示、回収・実績収集・入庫指
示を行なう。自動化エリア内にある作業指示・実績入力
端末２３では、例えば、設備や搬送・ハントリングの故
障等の緊急時における、人手作業が発生した場合に、作
業指示や実績入力を可能とした。

【００２６】メンテエリア及びユーティリティ４に有る
メンテ指示・実績入力端末２４は主に、設備のメンテ指
示やメンテ作業の実績入力用にある。

【００２７】一方、エリアコントローラ２２より、当該
エリアで処理を完了した製品に関する情報を生産管理用
ネットワーク１５で受けたショップコントローラ１２
は、最新の作業ルールや条件管理・製品の工程追跡の他
に、製品のエリア内設備群５．５´…の稼働状況に応じ
て次工程エリアを決定し、搬送し滋養給をエリア間搬送
コントローラ２６に送る。搬送要求を受けたエリア間搬
送コントローラ２６は、搬送効率的を考慮した運行やエ
リアストッカ６の仕掛り状況を判断し、各搬送要求の有
る製品に対して順次、搬送指示をエリア間搬送系７に送
り、搬送させる。

【００２８】又、同時に、生産管理用ネットワーック１
５で製品の完成報告を受けたラインコントローラ９、プ
ロセス管理コントローラ１０、設備管理コントローラ１
１は、製品の進捗状況のほかに、設備、ストッカ、ロボ
ット等の稼働状況や部材消費状況等のライン状況を常に
把握し、凄惨に支障を起こさないように管理する。

【００２９】ラインコントローラ９は、生産現場にある
製品や設備に関するすべての情報（例えば、製品名、工
程順序、稼働設備、作業実績、設備履歴等）を管理する
とともに、更に、製品の仕掛り状況を把握して、その結
果を大型動態表示装置２７に常時表示する。そして、現
場事務所１の管理者や生産ライン２の責任者に、毎日の
生産戦略を考えるために必要な情報を提供する。この大
型動態表示装置２７は、ライン全体の仕掛り状況をリア
ルタイムに表示できるので作業エリア３内に設置しても
よい。但し、この場合、使用目的は現場事務所１の場合
とは異なって、次に行なう作業を判断・確認することに
なる。プロセス管理コントローラ１０は、製品に必要な
作業条件を管理し、条件の最適化を図るために条件検索
や実験計画および、その結果に起った条件指示も行な
う。

【００３０】設備管理コントローラ１１は、生産進行制
御で必要な設備能力を作業実績や作業条件等から計算
し、設備の性能を最高に維持させるための管理基準を算
出したり、メンテ等の適正指示・対策指示を行なう。

【００３１】ライン状態監視コントローラ１３は、製品
の進行状況や設備の稼働状況を常に把握し、歩留まり維
持や設備トラブル等の異常発生時に警報の発生と迅速な
対策指示を行なう。具体的には、設備メンテ部署への適
切な指示や、生産ラインへは、警報等がアナウンス用ネ
ットワーク１６を介してアナウンス装置２８を通して通
知できる。

【００３２】統合管理コントローラ１８は、各生産現場
のラインコントローラ９で管理している現在まで生産実
績、例えば、進行中の作業や出来高、および、今後の予
測データを、生産管理用ネットワーク１５を介して入手
し、工場全体の状況を把握管理するとともに、将来の計
画立案やその対策等の統合管理を行なう。又、他の生産
現場での異常発生が、工場全体へ波及するような対策が
緊急に必要とする場合、アナウンス用ネットワーク１６
を介して該生産現場に緊急アナウンス等を行ない安全を
確保することもできる。

【００３３】エリア内設備群５を維持していくために必
要な薬液、ガス、純水等のユーティリティの維持・管理
は、安全面からも重要である。そこで、作業環境への影
響を感知できるセンサ等を備えたユーティリティ管理・
実績入力端末２５を各エリアに設置し、現状の状況を常
に把握し、専用のユーティリティ管理ネットワーク１７
を介して、ユーティリティ管理コントローラ１４に接続
する。例えば、異常発生を感知したら、各エリアに配置
したユーティリティ管理・実績入力端末２５からの警報
の発生の他に、アナウンス用ネットワーク１６を介し
て、ラインの各エリアに設置したスピーカーやアナウン
ス装置２８を通して作業者・管理者に異常を伝達し、非
難指示やその対策指示を迅速に行なうことができる。

【００３４】このように、現場事務所１と生産ライン２
と、生産現場以外に各コントローラを分散配置し、そし
て、各コントローラに必要な入出力端末を設けることが
できる。又、エリア内設備ネットワーク２０、エリア内
ユーティリティネットワーク２１と、ユーティリティ管
理用ネットワーク１７、アナウンス用ネットワーク１
６、生産管理用ネットワーク１５、および構外ネットワ
ーク１９を階層化することにより他の生産現場へ展開の
ほかに、該生産現場での自動化構築が順次展開できるの
で、システムの拡張性にとんでいる。又、生産管理用ネ
ットワーク１５、アナウンス用ネットワーク１６、ユー
ティリティ管理用ネットワーク１７を用途に応じて設
け、各コントローラの分散化によりその応答性を一定時
間以内に押さえることが可能となり、信頼性の高いＣＩ
Ｍの構築が可能となる。

【００３５】表１は、管理レベルに応じた表示内容、ア
ナウンス内容を具体的に示したものである。これは、図
５で示した該生産現場以外と現場事務所１・生産ライン
２、更に、作業エリア３・メンテエリア及びユ−ティリ
ティ４に分類している。半導体生産においては、上記の
エリアに応じてクリ−ン度が異なっており、管理目的に
応じた表示・アナウンス内容となっている。

【００３６】

【表１】

【００３７】この結果、管理目的に適した表示方法や端
末が選択できるので、ミスの少ない安全な作業指示がで
きるので作業モラ−ルが向上する。結果として、生産性
が向上し、製作期間の短縮等の経営効果も向上する。

【００３８】図６は、生産ラインを統制管理している現
場事務所１において、日々の生産戦略を立案する時の表
示例の１つである。出来高や仕掛り管理・納期管理にお
いては、ショップ別実績や納期遅延ロット総数等のマク
ロ表示により全体的に把握し、その後、個々の問題に絞
りながらミクロ表示で対策を決定する。具体的には、ネ
ック工程を摘出して能力対策や重点管理を行ったり、遅
延ロットを摘出し特急作業指示（特急ロット）に変更し
生産目標を達成できる対策指示を行なう。これにより、
製作期間を短縮しそのバラツキを少なくした管理が可能
となる。

【００３９】図７は、図６で決定した生産目標を入力す
る表示例の１つである。これにより日々の生産目標が作
業者への指示として確実に伝えることができるので、予
算の達成と作り過ぎの予防ができる。

【００４０】図８は、設備での着工指示に関する表示例
の１つである。特に、重点管理対象となっているネック
工程での使用設備を有効に活用する場合に効果的であ
る。これにより、ネック工程の能力最大活用が可能とな
り、生産性向上や製作期間の短縮も可能となる。尚、符
号Ｘは英数字、符号９９は数字を示す記号である。

【００４１】図９は、作業者が作業を行う時の表示例の
１つである。設備号機別に着工すべきロットの着工順序
を示しているので、人手作業でも自動化作業でも確実な
作業が遂行できる。

【００４２】図１０は、生産ラインにおける空気の流れ
を示したものである。この図は、中央通路に対して平行
な断面図を示しており、同程処理設備を集めた職場であ
る。ベイ１は天井にＨＥＰＡフィルタ２を備え、床の一
部にグレーチング３を備え、ファン４より送風にするこ
とにより、天井から床へのクリーンエアの一様な流れを
作る。

【００４３】ベイ１の周辺は、パーテーション５で囲
み、両側の処理域６に処理装置７を並べ、処理装置７へ
の製品のロード・アンロードを行なう部分を、中央の作
業域８へ向ける。中央の作業域８では、自動搬送車また
は作業者が処理装置７の間の製品搬送を行なう。自動搬
送により製品搬送時に発生する塵埃については、直ち
に、グレーチング３を通して床下へ排除され、製品処理
域の汚染を防止することができる。ベイ１と隣のベイの
間にメンテ作業を行なう。保全域９を設ける。保全域９
ではメンテ担当者が、処理装置７に対して、材料の供
給、定期点検交換、修理等の保全を行なう。

【００４４】保全域９では、隣のベイ１で床下に流れ込
んだクリーンエアが、ファン４の吸入口に向かって還流
し、床から天井へクリーンエアの流れとなる。保全域で
は、ベイ１で発生した塵埃が通過し、保守作業時にも塵
埃が発生するため、ベイ１よりもクリーン度が低いが、
製品とは隔離されているため問題は無い。

【００４５】ベイ１と保全域とを隣接して交互に配置す
るので、クリーンエアが循環する経路が短くなり、ファ
ン４の動力を軽減することもできる。又、循環するクリ
ーンエアを補充するため、クリーンルームの外部よりダ
クト１０により外気を空調したエアを供給している。

【００４６】

【発明の効果】本発明によれば、生産ラインの管理制御
の機能を分散化し、清浄度別に隔離した領域の管理的に
応じて必要な情報を、随時、指示伝達できる分散システ
ムとしており、その結果、リアルタイム性と応答性能の
確保が容易となり、生産ラインの変動に対し、作業の安
全性の確保の他に迅速な対応が可能となる。その結果、
生産性や品質の向上等が期待できるだけでなく、多品種
製品の生産管理制御にも応用範囲を広げることができ
る。

【００４７】また、本発明は、清浄度の異なる複数の領
域からなる生産ラインを極めて効率良く管理制御する生
産管理システムを実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産管理システムの一実施例における
生産ラインの全体斜視図。

【図２】本発明の生産管理システムの一実施例における
ライン間搬送システムの水平方向の平面図。

【図３】本発明の生産管理システムの一実施例における
ライン間搬送システムの垂直方向の斜視図。

【図４】本発明の生産管理システムの一実施例における
全体処理フロ−を示す図。

【図５】本発明の生産管理システムの一実施例の斜視
図。

【図６】本発明において使用される表示装置の一表示例
図。

【図７】本発明において使用される表示装置の一表示例
図。

【図８】本発明において使用される表示装置の一表示例
図。

【図９】本発明において使用される表示装置の一表示例
図。

【図１０】本発明の生産管理システムの一実例における
クリーンルームの空気の流れを示す断面図である。

【符号の説明】

【図１】１…ストッカ２…工程間搬送レ−ル３…搬送車４…シフタ５…旋回装置６…昇降装置７…搬送制御装置８…エリア内設備９…エリア内ロボット１０…防火壁１１…作業エリア１２…ライン入出庫ストッカ１３…事務所入出庫ストッカ１４…作業事務所

【図２】１…クリ−ンル−ム（１）２…クリ−ンル−ム（２）３…ストッカ（１）、４…ストッカ（２）５…クリ−ンル−ム間搬送系６…搬送車７…作業エリア、８…保全エリア、９…作業事務所１０…エアシャワ−室、１１…部材倉庫１２…通路、１３…ユ−ティリティ、１４…クリ−ン階
段、１５…休憩室１６…中央出入口

【図３】１…ストッカ（１）２…昇降装置３…ストッカ（３）４…工程間搬送レ−ル（１）５…搬送車６…シフタ７…クリ−ンル−ム（２Ｆ）８…工程間搬送レ−ル（２）９…クリ−ンル−ム（１Ｆ）

【図４】１−１…成膜プロセス、１−２…ホトレ
ジプロセス、１−３…エッチングプロセス、１−４…インプラプロセ
ス２−１、２−２、２−３、２−４…ストッカ３…バッファストッカ４…他ライン５…組立処理Ｅ

【図５】１…現場事務所２…生産ライン３…作業エリア４…メンテエリアおよびユーティリティ５…プロセス設備６…エリアストッカ７…エリア間搬送系８…エリア内ロボット９…ラインコントローラ１０…プロセス管理コントローラ１１…設備管理コントローラ１２…ショップコントローラ１３…ライン状況監視コントローラ１４…ユーティリティ管理コントローラ１５…生産管理用ネットワーク１６…アナウンス用ネットワーク１７…ユーティリティ管理用ネットワーク１８…統合管理コントローラ１９…構外ネットワーク２０…エリア内設備ネットワーク２１…エリア内ユーティリティネットワ−ク２２…エリアコントローラ２３…作業指示・実績入力端末２４…メンテ指示・実績入力端末２５…ユーティリティ監視・実績入力端末２６…エリア間搬送コントローラ２７…大型動態表示装置２８…アナウンス設備２９…搬送ルート例

【図１０】１…ベイ（同種処理設備を集めた職場の単
位）２…ＨＥＰＡフィルタ３…グレーチング（床）４…ファン５…パーティション６…処理域７…処理装置８…作業域９…保全域１０…ダクト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者下社貞夫神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者長友宏人東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者久保内講一東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者松尾雄紳北海道亀田郡七飯町字中島145番地の１日立北海セミコンダクタ株式会社内 (72)発明者中村佳明北海道亀田郡七飯町字中島145番地の１日立北海セミコンダクタ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外部より素材を搬入して清浄度の高い清浄
領域内で素材に加工処理を加えて製品を生産する生産ラ
インにおいて、素材を加工する第１の領域と、素材加工
処理設備や空気・某液・純水・廃ガス・廃液等を供給・
回収する設備を保全する第２の領域と、設備や素材の加
工状況を管理制御する第３の領域と、素材が製品までの
生産管理を行なう第４の領域とから構成し、前記第１の
領域においては素材加工処理設備に対しての作業指示や
表示ができる手段を備え、前記第２の領域においては素
材加工処理設備の保守点検指示や表示ができる手段を備
え、前記第３の領域においては一連の素材加工処理設備
群から成るラインに対しての作業指示や表示ができる手
段を備え、前記第４の領域においては素材の投入が製品
までの仕掛り状況・出来高あるいは歩留まり等の生産管
理や指示や表示ができる手段を備えたことを特徴とする
生産管理システム。
【請求項２】請求項１記載の第４と第３の領域、第２の
領域、第１の領域の順に清浄度の高い環境、又は雰囲気
としたことを特徴とする請求項１記載の生産管理システ
ム。
【請求項３】各領域内に配置された各表示手段はそれぞ
れの制御手段に接続されており、各制御手段も接続され
た各表示手段に対応して領域内にそれぞれ配置されてい
ることを特徴とする請求項１あるいは２記載の生産管理
システム。
【請求項４】各領域内にはそれぞれ音声発生手段を備え
たことを特徴とする請求項１、２あるいは３記載の生産
管理システム。