JPH0773158B2 - Circuit board manufacturing method - Google Patents

Circuit board manufacturing method

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JPH0773158B2
JPH0773158B2 JP62067276A JP6727687A JPH0773158B2 JP H0773158 B2 JPH0773158 B2 JP H0773158B2 JP 62067276 A JP62067276 A JP 62067276A JP 6727687 A JP6727687 A JP 6727687A JP H0773158 B2 JPH0773158 B2 JP H0773158B2
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circuit
resin
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resin composition
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真貴雄 渡部
勇 田中
廣 菊池
齊 岡
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Hitachi Ltd
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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、プリント回路板の製造方法に係り、特にアデ
ィティブ法により回路板を製造する方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a printed circuit board, and more particularly to a method for manufacturing a circuit board by an additive method.

[従来の技術] 従来、化学銅めっきだけでプリント回路板を製造する方
法(アディティブ法)は、例えば、特公昭50−40221号
公報に開示されている。このプリント回路板の製造方法
は次の如くである。
[Prior Art] Conventionally, a method (additive method) for producing a printed circuit board only by chemical copper plating is disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 40-40221. The method of manufacturing this printed circuit board is as follows.

(a)基板上に下記感光性樹脂組成物を堆積し、 感光性樹脂組成物 1)樹脂成分(主成分ゴム) 2)元素周期律表の第1B族および第8族の金属、これら
の塩、これらの酸化物 3)樹脂成分の感光度を高める増感剤 4)樹脂成分の感光活性を増加させる染料、顔料のうち
の少なくとも1種 5)溶剤 (b)この感光性樹脂組成物を回路型の形で光源に露光
して硬化させ、 (c)現像して未露光の感光性樹脂組成物を除去し (d)光硬化させた感光性樹脂組成物上に、無電解銅め
っきにより銅めっき層を形成する。
(A) The following photosensitive resin composition is deposited on a substrate to form a photosensitive resin composition 1) a resin component (main component rubber) 2) a metal of Group 1B and Group 8 of the Periodic Table of Elements, or a salt thereof. , These oxides 3) sensitizers that increase the photosensitivity of the resin component 4) At least one of dyes and pigments that increase the photosensitivity of the resin component 5) Solvent (b) Circuit of this photosensitive resin composition In the form of a mold, the composition is exposed to a light source for curing, (c) developed to remove the unexposed photosensitive resin composition, and (d) the photocured photosensitive resin composition is coated with copper by electroless copper plating. A plating layer is formed.

[発明が解決しようとする問題点] 上記従来例は、硬化した感光性樹脂組成物よりなる樹脂
パターンをエッチングしても、表面が粗化されないた
め、樹脂パターンと無電解めっき層との密着性が悪く、
無電解めっき層が剥離するという問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] In the above-mentioned conventional example, since the surface is not roughened even when the resin pattern made of the cured photosensitive resin composition is etched, the adhesion between the resin pattern and the electroless plating layer Is bad,
There is a problem that the electroless plating layer peels off.

したがって、本発明の目的は、めっき層の密着性を向上
させ、信頼性の高い回路板の製造方法を提供することに
ある。
Therefore, an object of the present invention is to improve the adhesion of the plating layer and provide a highly reliable method for manufacturing a circuit board.

[問題点を解決するための手段] 上記目的を達成するために、本発明の回路板の製造方法
は、両面銅張積層板に貫通孔を設け、活性化し、上記積
層板上の銅箔をパターン化することにより第1の回路パ
ターンを設け、上記貫通孔部および接続部を除いて層間
絶縁レジスト層を設け、該層間絶縁樹脂層上に金属粉末
入樹脂パターンを設け、該レジストパターンの表面を粗
化し、化学銅めっきを行うことにより、回路パターンを
設けることを特徴としている。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned object, the method for producing a circuit board of the present invention provides a double-sided copper-clad laminate with through holes to activate the copper foil on the laminate. A first circuit pattern is provided by patterning, an interlayer insulating resist layer is provided except for the through holes and the connecting portions, a metal powder-filled resin pattern is provided on the interlayer insulating resin layer, and the surface of the resist pattern is provided. Is characterized in that a circuit pattern is provided by roughening and performing chemical copper plating.

上記金属粉末入レジストパターンは、金属粉末および酸
に可溶なフィラーを含む感光性樹脂組成物よりなる回路
形成用レジスト層を、予備乾燥し、パターン状に露光
し、現像して得ることができる。
The metal powder-containing resist pattern can be obtained by predrying a circuit-forming resist layer made of a photosensitive resin composition containing a metal powder and an acid-soluble filler, exposing it in a pattern, and developing it. .

また、上記感光性樹脂組成物は、更にジアリルフタレー
トのプレポリマー、多官能不飽和化合物、光重合開始
剤、エポキシ樹脂、ジシアンジアミド、ジアミノトリア
ジン変性イミダゾールを含み得る。
The photosensitive resin composition may further contain a prepolymer of diallyl phthalate, a polyfunctional unsaturated compound, a photopolymerization initiator, an epoxy resin, dicyandiamide, and a diaminotriazine modified imidazole.

上記金属粉末は、銅、ニッケル、鉄およびこれ等の合金
粉末から選択した少なくとも1種として、上記表面粗化
の後、上記金属を貴金属で置換することもできる。
The metal powder may be at least one selected from copper, nickel, iron and alloy powders thereof, and the metal may be replaced with a noble metal after the surface roughening.

以下、本発明で使用し得る材料等について説明する。Materials and the like that can be used in the present invention will be described below.

本発明で用い得る感光性樹脂組成物(回路形成用レジス
ト)は、オルト、イソ、またはテレフタル酸のジアリル
エステルのプレポリマーを含んでなるものである。かか
るプレポリマーは、β−ポリマーとも称され、例えば、
吉見直善著「ジアリルフタレート樹脂」日刊工業新聞社
刊(昭44)に、その詳細な性質、製造法が記載されてい
る。上記プレポリマーとして、例えば、大阪曹達k.k.よ
り入手することも可能である。
The photosensitive resin composition (resist for forming a circuit) that can be used in the present invention comprises a prepolymer of diallyl ester of ortho, iso or terephthalic acid. Such prepolymers are also called β-polymers, for example
“Diallyl phthalate resin” by Naomi Yoshimi, published by Nikkan Kogyo Shimbun Co., Ltd. (Sho 44), describes its detailed properties and production method. The above-mentioned prepolymer can also be obtained from Osaka Soda kk, for example.

上記プレポリマーは、分子量として約3000〜30000が好
ましいものであるが、これに制限されるものではない。
また、プレポリマーを含むとの記載は、プレポリマーの
合成に伴って、残留もしくは生成するジアリルフタレー
トモノマーもしくは3次元網状構造のγ−ポリマーの少
量が含まれることを妨げるものではない。
The prepolymer preferably has a molecular weight of about 3,000 to 30,000, but is not limited thereto.
Further, the description that the prepolymer is included does not prevent inclusion of a small amount of the diallyl phthalate monomer or the γ-polymer having a three-dimensional network structure, which remains or is formed with the synthesis of the prepolymer.

さらに本発明で用い得る回路形成用樹脂組成物は、少な
くとも2個以上のエチレン結合を分子内に有する多官能
不飽和化合物を含んでなるものである。かかる化合物
は、例えば不飽和カルボン酸と2価以上のポリヒドロキ
シ化合物とのエステル化反応によって得られる。不飽和
カルボン酸としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタ
コン酸、クロトン酸、マレイン酸等が挙げられ、2価以
上のポリヒドロキシ化合物としては、エチレングリコー
ル、プロピレングリコール、トリエチレングリコール、
ヒドロキノン、ピロガロール等が挙げられる。かかる不
飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル化
反応によって得られた化合物としては、ジエチレングリ
コールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアク
リレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、1,
5ペンタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオ
ールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスルトールトリメタクリレート、ジエチレング
リコールジメタクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、1,3ブタンジオールジメタクリレー
ト等に代表されるジアクリレート、ジメタクリレート化
合物や、ジペンタエリトリトールのトリ、テトラ、ペン
タ、ヘキサアクリレートもしくはメタクリレート、ソル
ビトールのトリ、テトラ、ペンタ、ヘキサアクリレート
もしくはメタクリレート等に代表される多価アクリレー
ト、メタクリレート化合物やオリゴエステルアクリレー
ト、オリゴエステルメタクリレート等、またエポキシ樹
脂とアクリル酸およびメタアクリル酸の反応によりでき
るエポキシ(メタ)アクリレート等を挙げることができ
る。なかでもトリメチロールプロパントリアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、ジペンタエリトリトールのト
リ、テトラ、ペンタ、ヘキサアクリレートおよびジペン
タエリトリトールのトリ、テトラ、ペンタ、ヘキサアク
リレートが、一層速く硬化するので好ましい。
Furthermore, the circuit-forming resin composition that can be used in the present invention comprises a polyfunctional unsaturated compound having at least two ethylene bonds in the molecule. Such a compound can be obtained by, for example, an esterification reaction of an unsaturated carboxylic acid and a polyhydroxy compound having a valence of 2 or more. Examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, and the like. Examples of the dihydroxy or higher polyhydroxy compound include ethylene glycol, propylene glycol, triethylene glycol,
Examples thereof include hydroquinone and pyrogallol. Examples of the compound obtained by the esterification reaction of the unsaturated carboxylic acid and the polyhydroxy compound include diethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, 1,
5 Pentanediol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, 1,3 butanediol dimethacrylate And the like, diacrylate and dimethacrylate compounds, and dipentaerythritol tri, tetra, penta, hexaacrylate or methacrylate, sorbitol tri, tetra, penta, hexaacrylate or methacrylate, and other polyvalent acrylates and methacrylates. Compounds, oligoester acrylate, oligoester methacrylate, etc., epoxy resin and acrylic acid and Examples thereof include an epoxy (meth) acrylate formed by the reaction of methacrylic acid. Among them, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol tri, tetra, penta, hexaacrylate and dipentaerythritol tri, tetra, penta, hexaacrylate are It is preferable because it cures faster.

以上の例は、単官能不飽和化合物の添加を制限するもの
ではないし、必要により多官能不飽和化合物の混合物も
使用できる。また、上記化合物は、単独で用いてもよ
く、2種以上混合して用いてもよい。
The above examples do not limit the addition of monofunctional unsaturated compounds, and mixtures of polyfunctional unsaturated compounds can be used if necessary. The above compounds may be used alone or in combination of two or more.

さらに本発明で用い得る回路形成用樹脂組成物は、光重
合開始剤を含んでなるものである。この光重合開始剤
は、例えば、アセトフェノン、アセトフェノンの誘導
体、ベンゾフェノン、ベンゾフェノンの誘導体、ミヒラ
ーケトン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインアルキル
エーテル、ベンジルアルキルケタール、チオキサント
ン、チオキサントンの誘導体、アントラキノン、アント
ラキノンの誘導体、テトラメチルチウラムモノサルファ
イド、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、
2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2
−モルフォリノ−プロペン−1に代表されるα−アミノ
ケトン化合物等が挙げられる。なかでもベンゾインアル
キルエーテル、チオキサントンの誘導体、2−メチル−
1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリ
ノ−プロペン−1に代表されるα−アミノケトン化合物
が、硬化が速いので好ましく、2−メチル−1−[4−
(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロペ
ン−1が、硬化が速いうえに保存安定性がよいのでさら
に好ましい。
Further, the circuit-forming resin composition that can be used in the present invention contains a photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is, for example, acetophenone, a derivative of acetophenone, benzophenone, a derivative of benzophenone, Michler's ketone, benzyl, benzoin, benzoin alkyl ether, benzyl alkyl ketal, thioxanthone, derivative of thioxanthone, anthraquinone, derivative of anthraquinone, tetramethylthiuram. Monosulfide, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone,
2-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2
Examples include α-aminoketone compounds represented by morpholino-propene-1. Among them, benzoin alkyl ether, thioxanthone derivative, 2-methyl-
An α-aminoketone compound typified by 1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propene-1 is preferable because of rapid curing, and 2-methyl-1- [4-
(Methylthio) phenyl] -2-morpholino-propene-1 is more preferable because it cures quickly and has good storage stability.

また、上記光重合開始剤は、単独で用いてもよく、2種
以上混合して用いてもよい。さらに、光重合開始剤の作
用を増感するアミン化合物を併用することも可能であ
る。
The photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. Further, it is possible to use together an amine compound that sensitizes the action of the photopolymerization initiator.

さらに本発明に用い得る回路形成用樹脂組成物は、アル
カリ性のめっき液中で銅箔上のソルダレジストの剥離を
防ぐために、適量のエポキシ樹脂と硬化剤を含んでなる
ものである。
Furthermore, the circuit-forming resin composition that can be used in the present invention contains an appropriate amount of an epoxy resin and a curing agent in order to prevent the solder resist on the copper foil from peeling off in an alkaline plating solution.

エポキシ樹脂としては、平均して1分子当り2個以上の
エポキシ基を有するもので、例えば、ビスフェノール
A、ハロゲン化ビスフェノールA、カテコール、レゾル
シール等のような多価フェノール、またはグリセリンの
ような多価アルコールとエピクロルヒドリンとを塩基性
触媒の存在下で反応させて得られるポリグリシジルエー
テル、あるいはポリグリシジルエステル、ノボラック型
フェノール樹脂とエピクロルフェドリンとを縮合せしめ
て得られるエポキシノボラック、過酸化法でエポキシ化
したエポキシ化ポリオレフィン、エポキシ化ポリブタジ
エン、ジシクロペンタジエン化オキサイド、あるいはエ
ポキシ化植物油等が挙げられる。
The epoxy resin has, on average, two or more epoxy groups per molecule, and examples thereof include polyphenols such as bisphenol A, halogenated bisphenol A, catechol, and resorseal, or polyhydric compounds such as glycerin. Polyglycidyl ether obtained by reacting alcohol with epichlorohydrin in the presence of a basic catalyst, or polyglycidyl ester, epoxy novolak obtained by condensing novolac type phenolic resin with epichlorfedrin, epoxy by a peroxidation method Examples thereof include epoxidized polyolefin, epoxidized polybutadiene, dicyclopentadiene oxide, and epoxidized vegetable oil.

また、硬化剤としては、ジアミノトリアジン変性イミダ
ゾール化合物とジシアンジアミドの混合物がソルダレジ
ストの剥離防止に対して好適である。
Further, as the curing agent, a mixture of a diaminotriazine-modified imidazole compound and dicyandiamide is suitable for preventing peeling of the solder resist.

本発明で用い得る上記のジアミノトリアジン変性イミダ
ゾール化合物としては、下記の一般式で示される、エポ
キサイド化合物に対して潜在硬化性を有する化合物を用
いることができる。
As the above-mentioned diaminotriazine-modified imidazole compound that can be used in the present invention, a compound having a latent curability with respect to an epoxide compound represented by the following general formula can be used.

例えば、2,4−ジアミノ−6{2′−メチルイミダゾー
ル−(1′)}エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミ
ノ−6{2′−エチル−4′−メチルイミダゾール−
(1′)}エチル−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−
6{2′−ウンデシルイミダゾール−(1′)}エチル
−S−トリアジンもしくは2,4−ジアミノ−6{2′−
メチルイミダゾール(1′)}エチル−S−トリアジン
およびイソシアヌール酸付加物等が挙げられる。なかで
も硬化速度の点から、2,4ジアミノ−6{2′−メチル
イミダゾール(1′)}エチル−S−トリアジン、およ
びそのイソシアヌル酸付加物が好ましく、2,4ジアミノ
−6−{2′−メチルイミダゾール(1′)}エチル−
S−トリアジンが更に好ましい。
For example, 2,4-diamino-6 {2'-methylimidazole- (1 ')} ethyl-S-triazine, 2,4-diamino-6 {2'-ethyl-4'-methylimidazole-
(1 ′)} Ethyl-S-triazine, 2,4-diamino-
6 {2'-undecylimidazole- (1 ')} ethyl-S-triazine or 2,4-diamino-6 {2'-
Methyl imidazole (1 ')} ethyl-S-triazine, an isocyanuric acid addition product, etc. are mentioned. Among them, 2,4 diamino-6 {2'-methylimidazole (1 ')} ethyl-S-triazine and its isocyanuric acid adduct are preferable from the viewpoint of curing rate, and 2,4 diamino-6- {2' -Methylimidazole (1 ')} ethyl-
More preferred is S-triazine.

さらに本発明で用い得る回路形成用樹脂組成物は、金属
粉末を含んでなるものである。金属粉末としては、銅、
ニッケル、鉄等の安価な金属粉末、これらの金属の合金
粉末を用いることができる。上記金属粉末は、単独で用
いてもよく、2種以上混合して用いてもよい。また、樹
脂粉末に上記金属をコーティングしたもの、上記金属粉
末に他の金属をコーティングしたものでも用いることが
できる。金属粉末の粒径としては、0.5〜10μm程度が
好ましい。
Furthermore, the circuit-forming resin composition that can be used in the present invention comprises a metal powder. As the metal powder, copper,
Inexpensive metal powders such as nickel and iron, and alloy powders of these metals can be used. The above metal powders may be used alone or in combination of two or more. Further, a resin powder coated with the above metal and a metal powder coated with another metal can also be used. The particle size of the metal powder is preferably about 0.5 to 10 μm.

さらに本発明で用い得る回路形成用レジスト組成物は、
酸に可溶なフィラーを含んでなるものである。酸に可溶
な粉末としては、例えば、(重、軽質)炭酸カルシウ
ム、タルク等が挙げられる。また、強酸に可溶なゴム変
性樹脂等を用いることもできる。なかでも、重、軽質炭
酸カルシウムは、酸に浸漬するのみで可溶なので工程が
簡単となり好ましい。
Furthermore, the resist composition for forming a circuit that can be used in the present invention is
It comprises an acid-soluble filler. Examples of the acid-soluble powder include (heavy and light) calcium carbonate, talc and the like. Further, a rubber-modified resin that is soluble in a strong acid can also be used. Of these, heavy and light calcium carbonates are preferable because they can be dissolved by simply immersing them in an acid and the process is simple.

さらに本発明で用いる回路形成用樹脂組成物は、必要で
あれば、希釈剤としての有機溶剤、消泡剤、充填剤、揺
変剤を含むこともできる。
Furthermore, the circuit-forming resin composition used in the present invention may contain an organic solvent as a diluent, an antifoaming agent, a filler, and a thixotropic agent, if necessary.

有機溶剤の適当な例としては、セロソルブ、セロソルブ
アセテート、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カ
ルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトー
ル、テルビネオール、セロソルブアセテート、ブチルセ
ロソルブアセテート等の高沸点溶剤が好ましく、なかで
も、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテー
トが、粘度調整が容易で、特に印刷に適しているので更
に好ましい。しかし、アセトン、メチルエチルケトン、
エタノール等の低沸点溶剤が使用できないわけではな
い。
Suitable examples of the organic solvent include high-boiling solvents such as cellosolve, cellosolve acetate, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, terbineol, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, and among them, cellosolve acetate. Butyl cellosolve acetate is more preferable because its viscosity can be easily adjusted and it is particularly suitable for printing. However, acetone, methyl ethyl ketone,
It does not mean that low boiling solvents such as ethanol cannot be used.

消泡剤は、シリコーンオイルに代表されるシロキサン結
合を含む有機ケイ素化合物が好んで用いられる。
As the defoaming agent, an organosilicon compound containing a siloxane bond, typified by silicone oil, is preferably used.

充填剤は、無機フィラーとしてレジスト組成物に添加す
るものであり、シリカ、アルミナ、タルク等の微粉末が
好んで用いられる。
The filler is added as an inorganic filler to the resist composition, and fine powder of silica, alumina, talc, or the like is preferably used.

揺変剤は、樹脂組成物の粘度、特にチキソトロピー性の
改善に寄与するものとして超微粉末シリカが好んで用い
られる。
As the thixotropic agent, ultrafine silica powder is preferably used because it contributes to the improvement of the viscosity of the resin composition, especially the thixotropy.

本発明で用いる回路形成用レジストの配合割合は、前記
ジアリルフタレート樹脂100重量部に対し、前記多官能
不飽和化合物1〜30重量部、前記光重合開始剤0.5〜20
重量部、前記エポキ樹脂5〜30重量部、前記金属粉末
(0.5〜10μm)10〜200重量部、前記酸に可溶なフィラ
ー(1〜30μm)30〜100重量部であり、ジアミノトリ
アジン変性イミダゾール化合物の配合割合は、前記エポ
キシ樹脂100重量部に対して、1〜20重量部、ジシアン
ジアミドの配合割合は、前記エポキシ樹脂100重量部に
対して、0.5〜15重量部である。
The mixing ratio of the circuit-forming resist used in the present invention is 100 parts by weight of the diallyl phthalate resin, 1 to 30 parts by weight of the polyfunctional unsaturated compound, 0.5 to 20 parts of the photopolymerization initiator.
Parts by weight, 5 to 30 parts by weight of the epoxy resin, 10 to 200 parts by weight of the metal powder (0.5 to 10 μm), 30 to 100 parts by weight of the acid-soluble filler (1 to 30 μm), and a diaminotriazine-modified imidazole. The compounding ratio of the compound is 1 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin, and the compounding ratio of dicyandiamide is 0.5 to 15 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the epoxy resin.

上記回路形成用樹脂組成物各成分の配合割合は、その下
限より少ないと、樹脂の感光感度および無電解めっき層
との密着性が不足して実用性上問題であり、上限を越え
ると、密着露光性、耐めっき性、耐熱性が悪くなるので
実用上問題である。
When the compounding ratio of each component of the above resin composition for forming a circuit is less than the lower limit thereof, the photosensitive sensitivity of the resin and the adhesiveness with the electroless plating layer are insufficient, which is a problem in practical use. This is a practical problem because the exposure property, plating resistance, and heat resistance deteriorate.

その他、添加剤は、スクリーン印刷性にかかわるもので
あり、適量加えて調整する。
In addition, the additives are related to the screen printability, and are adjusted by adding an appropriate amount.

本発明で用いる上記回路形成用樹脂組成物は、一般的な
スクリーン印刷法により、基板全面に印刷塗布すること
ができる。この塗膜を乾燥し、ネガマスクとの密着を可
能にして、ネガマスクを通してUV露光を行い、溶剤現像
により回路パターンを形成する。次に、この回路パター
ンを熱硬化し、酸によりフィラーをエッチングして表面
粗化を行う。この表面粗化を行った回路パターンは、所
望の耐めっき液性を確保できるものである。
The circuit-forming resin composition used in the present invention can be applied by printing on the entire surface of the substrate by a general screen printing method. This coating film is dried to enable close contact with a negative mask, UV exposure is performed through the negative mask, and a circuit pattern is formed by solvent development. Next, this circuit pattern is thermally cured, and the filler is etched with an acid to roughen the surface. The surface-roughened circuit pattern can secure desired plating solution resistance.

上記表面粗化を行ったパターンの露出表面上の上記安価
な金属をパラジウム、金、白金、銀等の貴金属で置換し
た後、化学銅めっきを行うことにより導体路を得ること
ができる。
A conductor path can be obtained by replacing the inexpensive metal on the exposed surface of the surface-roughened pattern with a noble metal such as palladium, gold, platinum or silver and then performing chemical copper plating.

上記回路形成用樹脂パターンには、必要に応じてポスト
露光および/または熱処理を加えることもできる。
Post-exposure and / or heat treatment may be added to the circuit-forming resin pattern, if necessary.

また、上記回路形成用樹脂用の組成から金属粉末を除去
したものは、層間絶縁樹脂として使用することができ
る。この層間絶縁樹脂上で上記製造工程を実施すること
により多層プリント回路板を製造することができる。
Further, the composition obtained by removing the metal powder from the composition for the circuit forming resin can be used as an interlayer insulating resin. A multilayer printed circuit board can be manufactured by performing the above manufacturing process on this interlayer insulating resin.

[作用] 本発明では、回路形成用樹脂パターンの表面を粗化する
ことにより、化学銅めっき層との密着性を改善した。粗
化の手段として、例えば、樹脂組成物に、酸に可溶なフ
ィラーを混入しておき、レジストの硬化後に塩酸等に浸
漬すれば、フィラーが容易に溶解して、表面が粗化され
る。これにより、樹脂とめっき層との結合面積が増大し
両者の密着性が向上する。
[Operation] In the present invention, the adhesion to the chemical copper plating layer is improved by roughening the surface of the circuit forming resin pattern. As a roughening means, for example, if a resin composition is mixed with an acid-soluble filler and immersed in hydrochloric acid or the like after curing of the resist, the filler is easily dissolved and the surface is roughened. . As a result, the bonding area between the resin and the plating layer is increased, and the adhesion between them is improved.

回路形成用樹脂組成物は、その組成から金属粉末を除け
ば、多層回路の層間絶縁樹脂組成物として利用できる。
The resin composition for forming a circuit can be used as an interlayer insulating resin composition for a multilayer circuit by removing the metal powder from the composition.

上記従来技術では、感光性樹脂組成物中に、Pd等の金属
が多量に混入しているため高価であったが、上述のよう
に本発明で用いる回路形成用樹脂組成物には銅、ニッケ
ル、鉄等の安価な金属粉末を混入しておき、上記表面粗
化の後、表面に露出した金属をパラジウムのような貴金
属で置換するようにすれば、必要な貴金属の量を低減す
ることができる。
In the above prior art, the photosensitive resin composition was expensive because a large amount of metal such as Pd was mixed, but as described above, the circuit-forming resin composition used in the present invention contains copper and nickel. If an inexpensive metal powder such as iron is mixed and the surface-exposed metal is replaced with a noble metal such as palladium after the surface roughening, the amount of the noble metal required can be reduced. it can.

また、上記従来の製造方法は、樹脂成分として主にアク
リロニトリルブタジエンゴムを使用しているため、感光
性樹脂組成物層を乾燥して溶剤を揮散させても、べとつ
いており、このため、マスクを密着させると、マスクに
感光性樹脂組成物が付着し、パターン精度が低下すると
いう問題もあったが、本発明で用いる回路形成用樹脂組
成物に、常態で固体であるジアリルフタレート樹脂を多
量に含ませることにより、溶剤を添加することで回路形
成用樹脂組成物として使用でき、かつスクリーン印刷法
で基板等に塗布することも容易である。塗布後、予備乾
燥で回路形成用樹脂組成物が固化し、ネガマスクを回路
形成用樹脂に密着して露光しても、ベとつくことがな
い。また、この回路回路形成用樹脂は、エポキシ樹脂と
所定の硬化剤の添加により、高温のアルカリ性のめっき
液に耐える。
Further, the above conventional manufacturing method mainly uses acrylonitrile butadiene rubber as a resin component, so even if the photosensitive resin composition layer is dried to volatilize the solvent, it is sticky, and therefore the mask However, there is also a problem that the photosensitive resin composition adheres to the mask and the pattern accuracy decreases, but the circuit-forming resin composition used in the present invention contains a large amount of diallyl phthalate resin which is normally solid. By including it in the composition, it can be used as a circuit-forming resin composition by adding a solvent, and can be easily applied to a substrate or the like by a screen printing method. After application, the circuit-forming resin composition is solidified by preliminary drying, and even if the negative mask is brought into close contact with the circuit-forming resin and exposed, it does not become sticky. Further, this circuit-circuit forming resin resists a high temperature alkaline plating solution by adding an epoxy resin and a predetermined curing agent.

[実施例] 以下、本発明の回路板の製造方法を、具体的な実施例に
より更に説明する。
[Examples] Hereinafter, the method for manufacturing a circuit board of the present invention will be further described with reference to specific examples.

まず、第1図(a)に示すような35μmの銅箔2−1を
基板1の両面に張ったガラスエポキシ両面銅張積層板
に、第1図(b)に示すようにドリルで貫通孔4を設
け、活性化するためSn/Pd触媒液中に浸漬して銅箔2−
2の表面および貫通孔4の壁面に活性化触媒3を付着さ
せた。この活性化は、貫通孔壁面に化学銅めっきを可能
にするためのものであり、活性化触媒3は、少なくとも
貫通孔壁面に付着すればよい。次いで常法により基板に
樹脂の一種であるドライフィルムをラミネートし、露
光、現像、エッチング、剥離の工程からなるテンティン
グ法により、第1図(c)に示すようにランドおよび回
路パターン2−3を形成した。
First, a glass-epoxy double-sided copper-clad laminate in which a copper foil 2-1 having a thickness of 35 μm as shown in FIG. 1 (a) is stretched on both sides of a substrate 1 is drilled through holes as shown in FIG. 1 (b). No. 4 is provided and the copper foil is soaked in a Sn / Pd catalyst solution for activation.
The activation catalyst 3 was attached to the surface of 2 and the wall surface of the through hole 4. This activation is for enabling chemical copper plating on the wall surface of the through hole, and the activation catalyst 3 may be attached to at least the wall surface of the through hole. Then, a dry film, which is a kind of resin, is laminated on the substrate by a conventional method, and a land and circuit pattern 2-3 is formed by a tenting method including the steps of exposure, development, etching and peeling, as shown in FIG. 1 (c). Was formed.

次いで、第1図(d)に示すように、前記回路形成用樹
脂組成物組成から金属粉末を除いて形成した層間絶縁レ
ジスト5をスクリーン印刷法により全面に塗布した後、
80℃で30分間予備乾燥を行って樹脂組成物表面を固化さ
せ、ネガマスクが密着可能な状態にした。なお、層間絶
縁樹脂組成物5には次のものを用いた。
Then, as shown in FIG. 1 (d), an interlayer insulating resist 5 formed by removing the metal powder from the circuit-forming resin composition composition is applied to the entire surface by screen printing,
Preliminary drying was performed at 80 ° C. for 30 minutes to solidify the surface of the resin composition, so that the negative mask could be in close contact. The following was used as the interlayer insulating resin composition 5.

層間絶縁樹脂組成物組成 (イ)ジアリルフタレート樹脂 ……65g (平均分子量7000,イソダップ、大阪曹達KK製) (ロ)トリメチロールプロパントリメタクリレート……
2.6g (ハ)エポキシ樹脂 ……10g (エピコート828,エピビス型エポキシ樹脂、油化シェル
エポキシKK製) (ニ)2−メチル−1[4−(メチル)フェニル]−2
−モルフォリノ−プロパン−1 ……1.3g (ホ)ジシアンジアミド ……0.7g (ヘ)2,4−ジアミノ−6[2′−メチルイミダゾール
−(1′)]エチル−S−トリアジン ……0.25g (ト)炭酸カルシウム ……30g (特選重質炭カル,平均粒径20μm、竹原化学KK製) (チ)珪素超微粉末アエロジルRY−200 ……0.5g (日本アエロジルKK製) (リ)シリコーンオイルSH−203 ……1.5g (ヌ)エチレングリコールモノブチルエーテル ……44g 上記成分(イ)〜(ニ)および(ヌ)を混合し、約80℃
で30分間加熱撹拌した。次いで、この加熱撹拌した混合
物に上記(ホ)〜(リ)を適量添加して3本ロールにて
混練し、感光性の層間絶縁樹脂組成物を得た。
Interlayer insulation resin composition composition (a) diallyl phthalate resin …… 65g (average molecular weight 7,000, Isodap, manufactured by Osaka Soda KK) (b) trimethylolpropane trimethacrylate ……
2.6g (c) Epoxy resin ...... 10g (Epicoat 828, epibis type epoxy resin, manufactured by Yuka Shell Epoxy KK) (d) 2-methyl-1 [4- (methyl) phenyl] -2
-Morpholino-propane-1 ...... 1.3 g (f) dicyandiamide ...... 0.7 g (f) 2,4-diamino-6 [2'-methylimidazole- (1 ')] ethyl-S-triazine 0.25 g ( G) Calcium carbonate …… 30g (Special heavy-duty carbon, average particle size 20μm, Takehara Kagaku KK) (H) Silicon ultrafine powder Aerosil RY-200 …… 0.5g (Nippon Aerosil KK) (Re) Silicone oil SH-203 …… 1.5g (nu) Ethylene glycol monobutyl ether …… 44g Mix the above components (a) to (d) and (nu) and mix at about 80 ℃.
The mixture was heated and stirred for 30 minutes. Next, an appropriate amount of the above (e) to (i) was added to this heated and stirred mixture and kneaded with a three-roll to obtain a photosensitive interlayer insulating resin composition.

次いで、予備乾燥した樹脂組成物層上にネガマスクを密
着させ、400W高圧水銀ランプを用いて0.5〜2分間、紫
外線を照射して露光し、1,1,1−トリクロルエタンを用
いてスプレー現像をした。次に、10%塩酸に2分間浸漬
し、表面粗化を行った後、150℃で30分間の加熱硬化を
施し、絶縁樹脂層5を形成した(第1図(d))。
Then, a negative mask is brought into close contact with the pre-dried resin composition layer, exposed to ultraviolet rays for 0.5 to 2 minutes using a 400 W high-pressure mercury lamp, and exposed by spray development using 1,1,1-trichloroethane. did. Next, it was immersed in 10% hydrochloric acid for 2 minutes to roughen the surface, and then heat-cured at 150 ° C. for 30 minutes to form an insulating resin layer 5 (FIG. 1 (d)).

次に、前記層間絶縁樹脂組成物に金属粉末を混合した回
路形成用樹脂組成物を、絶縁樹脂層5上に、180メッシ
ュ・ステンレス・スクリーンによりベタ印刷し、約80℃
で30分間の予備乾燥を施した。予備乾燥後は、樹脂組成
物表面が固化しておりネガマスクを密着可能な状態とな
った。回路形成用樹脂組成物には、次のものを用いた。
Next, a circuit-forming resin composition obtained by mixing the interlayer insulating resin composition with a metal powder is solid-printed on the insulating resin layer 5 with a 180-mesh stainless screen to about 80 ° C.
It was pre-dried for 30 minutes. After the preliminary drying, the surface of the resin composition was solidified so that the negative mask could be adhered thereto. The following were used as the resin composition for circuit formation.

回路形成用樹脂組成物 (ル)層間絶縁樹脂組成物 ……150g (オ)Ni粉末 ……50g (平均粒径0.5μm,三井金属鉱業KK製) 上記成分(ル)を上述と同様に合成し、成分(オ)を充
分に混練して感光性の回路形成用樹脂組成物を得た。次
いで、上述と同様に、回路形成用樹脂組成物層を露光、
クロロセン現像、酸による表面粗化処理、加熱硬化を施
して回路形成用樹脂パターン6を形成した(第1図
(e))。
Circuit forming resin composition (l) Interlayer insulating resin composition ...... 150g (e) Ni powder ...... 50g (average particle size 0.5μm, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.) The above component (l) was synthesized in the same manner as above. The component (e) was sufficiently kneaded to obtain a photosensitive circuit-forming resin composition. Then, similarly to the above, the resin composition layer for circuit formation is exposed,
Chlorocene development, surface roughening treatment with acid, and heat curing were performed to form a circuit forming resin pattern 6 (FIG. 1 (e)).

この表面粗化した樹脂パターン6を形成した基板(第1
図(e))を60℃の塩化パラジウム水溶液に30秒間浸漬
し、樹脂パターン部6のパラジウム置換を行った(図示
せず)。
The substrate on which the surface-roughened resin pattern 6 is formed (first
Figure (e)) was immersed in an aqueous solution of palladium chloride at 60 ° C for 30 seconds to replace the resin pattern portion 6 with palladium (not shown).

次に、下記組成の化学銅めっき液(シップレー社製)中
に20分間浸漬し、樹脂パターン6上に約0.4μmの薄付
け化学銅めっきを施した。
Next, the resin pattern 6 was immersed in a chemical copper plating solution (manufactured by Shipley Co., Ltd.) having the following composition for 20 minutes to perform thin chemical copper plating on the resin pattern 6 to a thickness of about 0.4 μm.

薄付け化学銅めっき液 カッパーミックス 328A ……125ml カッパーミックス 328L ……125ml カッパーミックス 328C ……25ml 蒸留水 ……全量を11とする量 その後、下記組成の化学銅めっき液を用いて、下記の条
件で厚付け化学銅めっきを行って第1図(f)に示す回
路パターン7を形成した。
Thin chemical copper plating solution Copper mix 328A …… 125 ml Copper mix 328L …… 125 ml Copper mix 328C …… 25 ml Distilled water …… Amount to make the total amount 11 Then, using the chemical copper plating solution of the following composition, the following conditions Then, thick chemical copper plating was performed to form a circuit pattern 7 shown in FIG. 1 (f).

厚付け銅めっき液 CuSO4−5H2O ……12g EDTA・2Na ……42g NaOH ……12g ポリエチレングリコールステアリルアミン ……0.1g α,α′−ジピリジル ……5mg 37%ホルマリン ……5mg Na2SiO3・9H2O ……1g 蒸留水 ……全量を11とする量 めっき条件 めっき液温度 ……70℃ pH ……12.3 時間 ……20時間 めっき槽内のめっき液成分は、自動管理により一定とし
た。
Thick copper plating solution CuSO 4 −5H 2 O …… 12g EDTA ・ 2Na …… 42g NaOH …… 12g Polyethylene glycol stearylamine …… 0.1g α, α′-dipyridyl …… 5mg 37% Formalin …… 5mg Na 2 SiO 3・ 9H 2 O …… 1g Distilled water …… Total amount is 11 Plating condition Plating solution temperature …… 70 ℃ pH …… 12.3 hours …… 20 hours The plating solution composition in the plating tank is kept constant by automatic control. did.

このようにして製造した回路板の層間絶縁樹脂パターン
5と回路形成用レジストパターン6および回路パターン
7との密着性を評価した結果、ピール強度が1Kg/cm以上
であり、良好な密着性を有することが分かった。さら
に、260℃のはんだ槽に10秒間浸漬しても樹脂パターン
に、膨れ、剥離等の劣化がなく、良好なはんだ耐熱性を
有することも分かった。
As a result of evaluating the adhesiveness between the interlayer insulating resin pattern 5 and the circuit forming resist pattern 6 and the circuit pattern 7 of the circuit board manufactured as described above, the peel strength is 1 Kg / cm or more and the adhesiveness is good. I found out. Furthermore, it was also found that even if the resin pattern was immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds, the resin pattern did not deteriorate such as swelling and peeling, and had good solder heat resistance.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、樹脂パターンと
無電解めっきとの密着性が著しく向上するため、無電界
層が剥離することがなく、信頼性が向上する。また、安
価な金属を樹脂に混入し、後で樹脂表面のみの金属を貴
金属で置換することにより、回路板の製造コストを低減
することができる。さらに、樹脂組成を上述のように選
択することにより、樹脂組成物のべたつきを防止し、樹
脂パターン精度の向上を図ることができる。
[Effect of the Invention] As described above, according to the present invention, the adhesion between the resin pattern and the electroless plating is remarkably improved, so that the electroless layer is not peeled off and the reliability is improved. Further, by mixing an inexpensive metal into the resin and then replacing the metal only on the surface of the resin with the noble metal, the manufacturing cost of the circuit board can be reduced. Furthermore, by selecting the resin composition as described above, stickiness of the resin composition can be prevented and the resin pattern accuracy can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の製造方法を示す断面図である。 1……ガラスエポキシ基板、2−1,2−2……銅箔、3
……活性化触媒、4……貫通孔、5……層間絶縁樹脂
層、6……回路形成用樹脂およびパターン、7……無電
解銅めっき。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the manufacturing method of the present invention. 1 ... Glass epoxy substrate, 2-1,2-2 ... Copper foil, 3
...... Activating catalyst, 4 ... Through holes, 5 ... Interlayer insulating resin layer, 6 ... Circuit forming resin and pattern, 7 ... Electroless copper plating.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡 齊 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 和泉 修作 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所戸塚工場内 (56)参考文献 特開 昭53−76367(JP,A) 特開 昭60−110877(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor, Osamu Oka, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama, Kanagawa Prefecture, Ltd., Production Engineering Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor, Shusaku Izumi, 216 Totsuka-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa (56) References JP-A-53-76367 (JP, A) JP-A-60-110877 (JP, A)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】両面銅張積層板に貫通孔を設け、 少なくとも該貫通孔壁面に活性化触媒を付着させ、 上記積層板上の銅箔をパターン化することにより第1の
回路パターンを設け、 上記貫通孔部および接続部を除いて層間絶縁樹脂層を設
け、 該層間絶縁樹脂層上に、金属粉末および酸に可溶なフィ
ラーを含む感光性樹脂組成物よりなる回路形成用樹脂層
を形成し、 上記回路形成用樹脂層を予備乾燥し、パターン状に露光
し、現像して、金属粉末入樹脂パターンを設け、 該樹脂パターンの表面を粗化し、 化学銅めっきを行うことにより、第2の回路パターンを
設けることを特徴とする回路板の製造方法。
1. A double-sided copper-clad laminate is provided with a through-hole, an activation catalyst is attached to at least the wall surface of the through-hole, and the copper foil on the laminate is patterned to provide a first circuit pattern, An interlayer insulating resin layer is provided except for the through hole portion and the connecting portion, and a circuit forming resin layer made of a photosensitive resin composition containing a metal powder and an acid-soluble filler is formed on the interlayer insulating resin layer. Then, the circuit-forming resin layer is pre-dried, exposed in a pattern, and developed to provide a metal powder-filled resin pattern, the surface of the resin pattern is roughened, and chemical copper plating is performed to form a second pattern. A method for manufacturing a circuit board, characterized in that the circuit pattern is provided.
【請求項2】上記感光性樹脂組成物は、更に、ジアリル
フタレートのプレポリマー、多官能不飽和化合物、光重
合開始剤、エポキシ樹脂、ジシアンジアミド、ジアミノ
トリアジン変性イミダゾールを含むことを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の回路板の製造方法。
2. The photosensitive resin composition further comprises a prepolymer of diallyl phthalate, a polyfunctional unsaturated compound, a photopolymerization initiator, an epoxy resin, dicyandiamide, and a diaminotriazine-modified imidazole. 2. A method for manufacturing a circuit board according to claim 1.
【請求項3】上記樹脂パターンの表面の粗化は、酸に浸
漬することにより行われることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の回路板の製造方法。
3. The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the roughening of the surface of the resin pattern is performed by immersing the resin pattern in an acid.
【請求項4】両面銅張積層板に貫通孔を設け、 少なくとも該貫通孔壁面に活性化触媒を付着させ、 上記積層板上の銅箔をパターン化することにより第1の
回路パターンを設け、 上記貫通孔部および接続部を除いて層間絶縁樹脂層を設
け、 該層間絶縁樹脂層上に、銅、ニッケル、鉄およびこれ等
の合金粉末から選択した少なくとも1種を含む金属粉末
入樹脂パターンを設け、 該樹脂パターンの表面を粗化し、 上記金属粉末入樹脂パターン表面に露出した上記金属粉
末を貴金属で置換し、 上記置換後の金属粉末入樹脂パターン表面に化学銅めっ
きを行うことにより、第2の回路パターンを設けること
を特徴とする回路板の製造方法。
4. A double-sided copper-clad laminate is provided with a through hole, an activation catalyst is attached to at least the wall surface of the through hole, and the copper foil on the laminate is patterned to provide a first circuit pattern, An interlayer insulating resin layer is provided except for the through hole portion and the connecting portion, and a metal powder-containing resin pattern containing at least one selected from copper, nickel, iron and alloy powders thereof is provided on the interlayer insulating resin layer. The surface of the resin pattern is roughened, the metal powder exposed on the surface of the metal powder-containing resin pattern is replaced with a noble metal, and the surface of the metal powder-containing resin pattern after the replacement is subjected to chemical copper plating. 2. A method for manufacturing a circuit board, characterized in that the circuit pattern 2 is provided.
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