JPH0773809A - 表示素子 - Google Patents
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- JPH0773809A JPH0773809A JP5220746A JP22074693A JPH0773809A JP H0773809 A JPH0773809 A JP H0773809A JP 5220746 A JP5220746 A JP 5220746A JP 22074693 A JP22074693 A JP 22074693A JP H0773809 A JPH0773809 A JP H0773809A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 13
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Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】絶縁層で被覆するときにバス電極が浮き上が
り、透明電極と導通がとれなくなることを防止し、従来
の困難なプロセスを排除して高精細な表示を容易に得
る。 【構成】前面基板１上に金属バス電極２を形成し、この
金属バス電極２を透明電極３で被覆した後、更にバス電
極２と透明電極３とを低融点鉛ガラスの絶縁層４で被覆
する。
り、透明電極と導通がとれなくなることを防止し、従来
の困難なプロセスを排除して高精細な表示を容易に得
る。 【構成】前面基板１上に金属バス電極２を形成し、この
金属バス電極２を透明電極３で被覆した後、更にバス電
極２と透明電極３とを低融点鉛ガラスの絶縁層４で被覆
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表示素子に関し、特に情
報表示端末や平面テレビなどに用いられる表示素子に関
する。
報表示端末や平面テレビなどに用いられる表示素子に関
する。
【０００２】
【従来の技術】透明電極と金属バス電極とをガラス厚膜
で被覆した構造の表示素子にプラズマディスプレイパネ
ルがある。このプラズマディスプレイパネルにはＮｅの
発光色を利用するモノクロパネルと蛍光体の発光色を利
用するカラーパネルとがある。このカラープラズマディ
スプレイパネルは、情報端末や平面型テレビなどに用い
る表示素子として期待が持たれている。カラープラズマ
ディスプレイパネルはガス放電によって発生した紫外線
によって蛍光体を励起発光させ可視光を得て表示動作さ
せるディスプレイであるが、放電方式によりＡＣ型とＤ
Ｃ型に分類できる。ＡＣ型の中でも反射型ＡＣ面放電型
が輝度，発光効率，寿命の点で優れている。
で被覆した構造の表示素子にプラズマディスプレイパネ
ルがある。このプラズマディスプレイパネルにはＮｅの
発光色を利用するモノクロパネルと蛍光体の発光色を利
用するカラーパネルとがある。このカラープラズマディ
スプレイパネルは、情報端末や平面型テレビなどに用い
る表示素子として期待が持たれている。カラープラズマ
ディスプレイパネルはガス放電によって発生した紫外線
によって蛍光体を励起発光させ可視光を得て表示動作さ
せるディスプレイであるが、放電方式によりＡＣ型とＤ
Ｃ型に分類できる。ＡＣ型の中でも反射型ＡＣ面放電型
が輝度，発光効率，寿命の点で優れている。
【０００３】図２は従来の反射型ＡＣ面放電型プラズマ
ディスプレイパネルの一例の要部断面図である。図２に
示すように、まず、、ガラスの前面基板１に複数の透明
電極３を形成する。この隣合う透明電極３の間に通常数
十ｋＨｚから数百ｋＨｚのパルス状ＡＣ電圧を印加し表
示放電を得るのであるが、透明電極３に通常用いられる
酸化錫の膜は、シート抵抗が通常数十Ω／□と高いため
い、特に大型パネルや高精細パネルでは電極抵抗が数十
ｋΩになり、印加電圧パルスが十分に立ち上がらず駆動
が困難になる。そこで透明電極３の上に通常金属厚膜等
によるバス電極２を形成し電極の抵抗値を下げる。次
に、この透明電極３とバス電極２の上を絶縁層４で被覆
する。絶縁層４は通常低融点鉛ガラスからなる厚膜であ
る。しかし、低融点鉛ガラスの厚膜の形成には６００℃
程度の焼成プロセスが必要であり、このとき金属厚膜等
によるバス電極２と透明電極３の間に軟化した低融点鉛
ガラスが侵入しバス電極２が絶縁層４の中に浮き上がっ
たような状態となり、透明電極３とバス電極２の間の電
気的な接触がとれなくなる。従って、バス電極２の機能
を果たさなくなる。これは透明電極に通常用いられる酸
化錫の透明導電膜と、金属厚膜の密着力が弱いために起
こる。この現象を防ぐために、透明電極３の一部に小さ
な穴を開け、バス電極２の一部が前面基板１に直接接触
するようにする。前面基板１はガラス板なので、金属厚
膜との密着性が高く、低融点鉛ガラスの絶縁層４を形成
する焼成プロセスでもバス電極２は浮き上がることがな
く、バス電極２と透明電極３の電気的接触は確保され
る。次に絶縁層４の上に保護層５を形成する。保護層５
は例えばＭｇＯの薄膜、もしくは厚膜で形成する。
ディスプレイパネルの一例の要部断面図である。図２に
示すように、まず、、ガラスの前面基板１に複数の透明
電極３を形成する。この隣合う透明電極３の間に通常数
十ｋＨｚから数百ｋＨｚのパルス状ＡＣ電圧を印加し表
示放電を得るのであるが、透明電極３に通常用いられる
酸化錫の膜は、シート抵抗が通常数十Ω／□と高いため
い、特に大型パネルや高精細パネルでは電極抵抗が数十
ｋΩになり、印加電圧パルスが十分に立ち上がらず駆動
が困難になる。そこで透明電極３の上に通常金属厚膜等
によるバス電極２を形成し電極の抵抗値を下げる。次
に、この透明電極３とバス電極２の上を絶縁層４で被覆
する。絶縁層４は通常低融点鉛ガラスからなる厚膜であ
る。しかし、低融点鉛ガラスの厚膜の形成には６００℃
程度の焼成プロセスが必要であり、このとき金属厚膜等
によるバス電極２と透明電極３の間に軟化した低融点鉛
ガラスが侵入しバス電極２が絶縁層４の中に浮き上がっ
たような状態となり、透明電極３とバス電極２の間の電
気的な接触がとれなくなる。従って、バス電極２の機能
を果たさなくなる。これは透明電極に通常用いられる酸
化錫の透明導電膜と、金属厚膜の密着力が弱いために起
こる。この現象を防ぐために、透明電極３の一部に小さ
な穴を開け、バス電極２の一部が前面基板１に直接接触
するようにする。前面基板１はガラス板なので、金属厚
膜との密着性が高く、低融点鉛ガラスの絶縁層４を形成
する焼成プロセスでもバス電極２は浮き上がることがな
く、バス電極２と透明電極３の電気的接触は確保され
る。次に絶縁層４の上に保護層５を形成する。保護層５
は例えばＭｇＯの薄膜、もしくは厚膜で形成する。
【０００４】一方、後面基板１１には表示データを書き
込むデータ電極１０を形成し、これを絶縁層９で被覆
し、更に各画素になる部分に各画素の発光色の蛍光体８
を塗布する。この後面基板１１に前述の前面基板１上に
形成した黒色隔壁６と後面基板１１上に形成した白色隔
壁７とを介して張り合わせ気密封止し内部に放電可能な
ガス、例えばＨｅとＸｅの混合ガスを３００ｔｏｒｒ程
度封入する。隣合う透明電極３の間にパルス状の交流電
圧を印加するとガス放電がおき、放電セル内にプラズマ
が生成される。ここで発生した紫外光で蛍光体８を励起
し可視光を発生させ、前面基板１を通して表示発光を得
る。
込むデータ電極１０を形成し、これを絶縁層９で被覆
し、更に各画素になる部分に各画素の発光色の蛍光体８
を塗布する。この後面基板１１に前述の前面基板１上に
形成した黒色隔壁６と後面基板１１上に形成した白色隔
壁７とを介して張り合わせ気密封止し内部に放電可能な
ガス、例えばＨｅとＸｅの混合ガスを３００ｔｏｒｒ程
度封入する。隣合う透明電極３の間にパルス状の交流電
圧を印加するとガス放電がおき、放電セル内にプラズマ
が生成される。ここで発生した紫外光で蛍光体８を励起
し可視光を発生させ、前面基板１を通して表示発光を得
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の表示素子で
は、透明電極にバス電極を重ねて形成し、これを低融点
鉛ガラスで被覆したとき、バス電極が透明電極から離れ
て浮き上がり、バス電極と透明電極の電気的接続が確保
できなくなることを防ぐために、透明電極に小さな穴を
形成しているが、通常用いられる酸化錫を主成分とする
透明電極は非常にエッチング性が悪く、小さな穴を形成
することが困難であった。また、パターンが複雑になる
ため歩留りが低下する欠点があった。これらは特に電極
幅の狭い高精細パネルに於いて顕著となる。
は、透明電極にバス電極を重ねて形成し、これを低融点
鉛ガラスで被覆したとき、バス電極が透明電極から離れ
て浮き上がり、バス電極と透明電極の電気的接続が確保
できなくなることを防ぐために、透明電極に小さな穴を
形成しているが、通常用いられる酸化錫を主成分とする
透明電極は非常にエッチング性が悪く、小さな穴を形成
することが困難であった。また、パターンが複雑になる
ため歩留りが低下する欠点があった。これらは特に電極
幅の狭い高精細パネルに於いて顕著となる。
【０００６】本発明の目的は、バス電極が透明電極から
離れて浮き上がることがなくバス電極と透明電極の電気
的接続が確保でき、小さな穴の形成が不要で高精細の表
示が容易に得られる表示素子を提供することにある。
離れて浮き上がることがなくバス電極と透明電極の電気
的接続が確保でき、小さな穴の形成が不要で高精細の表
示が容易に得られる表示素子を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の表示素子は、ガ
ラス基板と、このガラス基板上に形成された金属バス電
極と、この金属バス電極を被覆する透明電極と、この透
明電極を被覆するガラス厚膜からなる絶縁層とを有す
る。
ラス基板と、このガラス基板上に形成された金属バス電
極と、この金属バス電極を被覆する透明電極と、この透
明電極を被覆するガラス厚膜からなる絶縁層とを有す
る。
【０００８】
【作用】ガラス基板上にバス電極を形成し、この上を透
明電極で被覆する。バス電極はガラス基板に直接密着
し、更に透明電極で被覆される。従って透明電極に小さ
な穴を形成するという困難なプロセスを用いなくても、
これらを低融点鉛ガラスの絶縁層で被覆する時、バス電
極と透明電極の間に低融点鉛ガラスが侵入することはな
く電気的な接触が確保される。
明電極で被覆する。バス電極はガラス基板に直接密着
し、更に透明電極で被覆される。従って透明電極に小さ
な穴を形成するという困難なプロセスを用いなくても、
これらを低融点鉛ガラスの絶縁層で被覆する時、バス電
極と透明電極の間に低融点鉛ガラスが侵入することはな
く電気的な接触が確保される。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１は本発明の一実施例の要部断面図であ
る。図１に示すように、基本的構造は、図２に示す従来
例と同じであるが、透明電極３と前面基板１の間にバス
電極２を形成した点と、透明電極３に小さな穴を形成し
ていない点が異なる。バス電極２は、例えば銀の厚膜で
形成する。銀の厚膜は、ガラス基板には非常に密着性が
高いので剥離しにくい。更にこのバス電極２を、例えば
酸化錫に微量のアンチモンをドープした透明導電膜をＣ
ＶＤによって形成して被覆する。この透明導電膜を電極
形状にパターンニングして透明電極３を形成した後に、
低融点鉛ガラスの粉末を、例えばスクリーン印刷によっ
て塗布し、これを６００℃程度の温度で焼成して絶縁層
４を形成する。このときもバス電極２は前面基板１に密
着しており、更に透明電極３によって被覆されているの
で、絶縁層４の低融点鉛ガラス層の中に、バス電極２が
浮き上がり電気的な接続が失われることはなくなった。
従って、非常な困難を伴う酸化錫の透明電極３に小さな
穴を形成するプロセスが不用となった。
る。図１に示すように、基本的構造は、図２に示す従来
例と同じであるが、透明電極３と前面基板１の間にバス
電極２を形成した点と、透明電極３に小さな穴を形成し
ていない点が異なる。バス電極２は、例えば銀の厚膜で
形成する。銀の厚膜は、ガラス基板には非常に密着性が
高いので剥離しにくい。更にこのバス電極２を、例えば
酸化錫に微量のアンチモンをドープした透明導電膜をＣ
ＶＤによって形成して被覆する。この透明導電膜を電極
形状にパターンニングして透明電極３を形成した後に、
低融点鉛ガラスの粉末を、例えばスクリーン印刷によっ
て塗布し、これを６００℃程度の温度で焼成して絶縁層
４を形成する。このときもバス電極２は前面基板１に密
着しており、更に透明電極３によって被覆されているの
で、絶縁層４の低融点鉛ガラス層の中に、バス電極２が
浮き上がり電気的な接続が失われることはなくなった。
従って、非常な困難を伴う酸化錫の透明電極３に小さな
穴を形成するプロセスが不用となった。
【００１１】なお、本実施例ではバス電極２を透明電極
３で完全に被覆する構造を例に採ったが、バス電極２の
一部を透明電極２で被覆した構造であっても、同様な効
果が得られる事は、言うまでもない。
３で完全に被覆する構造を例に採ったが、バス電極２の
一部を透明電極２で被覆した構造であっても、同様な効
果が得られる事は、言うまでもない。
【００１２】また、本発明は、酸化錫以外の透明電極、
例えばＩＴＯ等に対しても有効であり、金属バス電極
も、金属厚膜に限らず、アルミニウム，クロム−銅−ク
ロム等の薄膜にも有効である。
例えばＩＴＯ等に対しても有効であり、金属バス電極
も、金属厚膜に限らず、アルミニウム，クロム−銅−ク
ロム等の薄膜にも有効である。
【００１３】更に本実施例ではプラズマディスプレイパ
ネルを例に採って説明したが、蛍光表示管等にも適用で
きる。
ネルを例に採って説明したが、蛍光表示管等にも適用で
きる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、前面基板
上に金属バス電極を形成し、この金属バス電極を透明電
極で被覆する構造を用いることにより、透明電極を低融
点鉛ガラスで被覆しても、バス電極が低融点鉛ガラスの
絶縁層の中に浮き上がり、透明電極とバス電極の導通が
とれなくなることが無くなった。従って、透明電極に小
さな穴を開けるという困難なプロセスが無くなり、高精
細の表示が容易に得られるという効果がある。
上に金属バス電極を形成し、この金属バス電極を透明電
極で被覆する構造を用いることにより、透明電極を低融
点鉛ガラスで被覆しても、バス電極が低融点鉛ガラスの
絶縁層の中に浮き上がり、透明電極とバス電極の導通が
とれなくなることが無くなった。従って、透明電極に小
さな穴を開けるという困難なプロセスが無くなり、高精
細の表示が容易に得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例の要部断面図である。
【図２】従来の反射型ＡＣ面放電型プラズマディスプレ
イパネルの一例の要部断面図である。
イパネルの一例の要部断面図である。
１ 前面基板 ２ バス電極 ３ 透明電極 ４ 絶縁層 ５ 保護層 ６ 黒色隔壁 ７ 白色隔壁 ９ 絶縁層 １０ データ電極 １１ 後面基板
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス基板上に金属バス電極を形成し、
この金属バス電極を透明電極で被覆し、さらに前記透明
電極をガラス厚膜からなる絶縁層で被覆した構造を、少
なくとも有することを特徴とする表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5220746A JPH0773809A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5220746A JPH0773809A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773809A true JPH0773809A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16755893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5220746A Pending JPH0773809A (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773809A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990011560A (ko) * | 1997-07-24 | 1999-02-18 | 구자홍 | 플라즈마 표시장치 제조방법 |
| KR19990012629A (ko) * | 1997-07-30 | 1999-02-25 | 엄길용 | 플라즈마 표시소자의 전면전극 형성방법 |
| KR19990020133A (ko) * | 1997-08-30 | 1999-03-25 | 엄길용 | 플라즈마 표시소자 |
| KR19990086911A (ko) * | 1998-05-30 | 1999-12-15 | 김영남 | 플라즈마 표시소자의 금속전극 형성방법 |
| KR100526700B1 (ko) * | 1998-05-30 | 2006-01-27 | 오리온전기 주식회사 | 플라즈마 표시소자의 제조방법 |
| KR100530640B1 (ko) * | 1998-01-21 | 2006-02-21 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 표시패널의 전극구조 및 구동방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4942437A (ja) * | 1972-04-05 | 1974-04-22 |
-
1993
- 1993-09-06 JP JP5220746A patent/JPH0773809A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4942437A (ja) * | 1972-04-05 | 1974-04-22 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990011560A (ko) * | 1997-07-24 | 1999-02-18 | 구자홍 | 플라즈마 표시장치 제조방법 |
| KR19990012629A (ko) * | 1997-07-30 | 1999-02-25 | 엄길용 | 플라즈마 표시소자의 전면전극 형성방법 |
| KR19990020133A (ko) * | 1997-08-30 | 1999-03-25 | 엄길용 | 플라즈마 표시소자 |
| KR100530640B1 (ko) * | 1998-01-21 | 2006-02-21 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 표시패널의 전극구조 및 구동방법 |
| KR19990086911A (ko) * | 1998-05-30 | 1999-12-15 | 김영남 | 플라즈마 표시소자의 금속전극 형성방법 |
| KR100526700B1 (ko) * | 1998-05-30 | 2006-01-27 | 오리온전기 주식회사 | 플라즈마 표시소자의 제조방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960528 |