JPH0774069A - 半導体製造装置の処理プログラム比較処理装置 - Google Patents
半導体製造装置の処理プログラム比較処理装置Info
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- JPH0774069A JPH0774069A JP5218867A JP21886793A JPH0774069A JP H0774069 A JPH0774069 A JP H0774069A JP 5218867 A JP5218867 A JP 5218867A JP 21886793 A JP21886793 A JP 21886793A JP H0774069 A JPH0774069 A JP H0774069A
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- Japan
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- processing program
- semiconductor manufacturing
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 14
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】処理プログラムの制定文書の内容と半導体製造
装置に入力される処理プログラムの内容の整合性を保証
する。 【構成】ホストコンピュ−タおよびハ−ドディスクと処
理プログラム文書作成用パソコンおよびプリンタと半導
体製造装置および半導体製造装置コントロ−ラとホスト
コンピュ−タ用操作端末がすべてネットワ−クで結ばれ
ている処理プログラム文書作成用パソコンで作成された
処理プログラムはホストコンピュ−タに送られて、ハ−
ドディスクに格納される。一方、処理プログラムは、プ
リンタからも印刷されて制定文書として半導体製造装置
が設置されている工場内に送られて、作業者により半導
体製造装置コントロ−ラから入力される。入力された処
理プログラムとホストコンピュ−タのハ−ドディスクに
格納されている処理プログラムを比較し結果をホストコ
ンピュ−タ用操作端末に表示させる。
装置に入力される処理プログラムの内容の整合性を保証
する。 【構成】ホストコンピュ−タおよびハ−ドディスクと処
理プログラム文書作成用パソコンおよびプリンタと半導
体製造装置および半導体製造装置コントロ−ラとホスト
コンピュ−タ用操作端末がすべてネットワ−クで結ばれ
ている処理プログラム文書作成用パソコンで作成された
処理プログラムはホストコンピュ−タに送られて、ハ−
ドディスクに格納される。一方、処理プログラムは、プ
リンタからも印刷されて制定文書として半導体製造装置
が設置されている工場内に送られて、作業者により半導
体製造装置コントロ−ラから入力される。入力された処
理プログラムとホストコンピュ−タのハ−ドディスクに
格納されている処理プログラムを比較し結果をホストコ
ンピュ−タ用操作端末に表示させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の処理
プログラム比較処理装置に関する。
プログラム比較処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、図２に示す一例のように、技術
スタッフが処理プログラム文書作成用パソコン１０３に
て作成した処理プログラムは、プリンタ１０４より印刷
されて、制定文書１０８として半導体製造装置１０５が
設置されている工場内に送られ、工場内では送られてき
た制定文書１０８としての処理プログラムを参照しなが
ら作業者が半導体製造装置コントロ−ラに設けられてい
るキ−ボ−ドなどの入力装置から直接入力をおこなって
いた。
スタッフが処理プログラム文書作成用パソコン１０３に
て作成した処理プログラムは、プリンタ１０４より印刷
されて、制定文書１０８として半導体製造装置１０５が
設置されている工場内に送られ、工場内では送られてき
た制定文書１０８としての処理プログラムを参照しなが
ら作業者が半導体製造装置コントロ−ラに設けられてい
るキ−ボ−ドなどの入力装置から直接入力をおこなって
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし前述の従来技術
では、処理プログラムの制定文書を、作業者が半導体製
造装置コントロ−ラに設けられているキ−ボ−ドなどの
入力装置から入力する際に入力ミスをおかしてしまうと
いう問題点を有していた。
では、処理プログラムの制定文書を、作業者が半導体製
造装置コントロ−ラに設けられているキ−ボ−ドなどの
入力装置から入力する際に入力ミスをおかしてしまうと
いう問題点を有していた。
【０００４】本発明は、このような問題点を解決するた
めに、処理プログラムの制定文書の内容と半導体製造装
置に入力される処理プログラムの内容の整合性を保証す
ることを目的とする。
めに、処理プログラムの制定文書の内容と半導体製造装
置に入力される処理プログラムの内容の整合性を保証す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体製造装置
の処理プログラム比較処理装置は、半導体製造装置をホ
ストコンピュ−タとネットワ−ク化したオンラインシス
テムにおいて、処理プログラムの制定文書と、前記制定
文書に基づいて半導体製造装置に入力される処理プログ
ラムとの整合性を保つ手段をとる。
の処理プログラム比較処理装置は、半導体製造装置をホ
ストコンピュ−タとネットワ−ク化したオンラインシス
テムにおいて、処理プログラムの制定文書と、前記制定
文書に基づいて半導体製造装置に入力される処理プログ
ラムとの整合性を保つ手段をとる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面をもとに説明
する。図１は本発明の実施例の半導体製造装置の処理プ
ログラム比較処理装置である。
する。図１は本発明の実施例の半導体製造装置の処理プ
ログラム比較処理装置である。
【０００７】まず、例えば拡散炉などの半導体製造装置
５でウェハ−の加工処理を行うために必要な処理プログ
ラムを文書として作成するために、処理プログラム文書
作成用パソコン３にて処理プログラムを作成する。この
時に作成される処理プログラムの文書の内容としては、
処理プログラムそのものを記述したものに加え、処理プ
ログラムを識別するための処理プログラムナンバ−、処
理プログラム文書の改訂履歴を識別するための処理プロ
グラム文書リビジョンナンバ−がある。このようにして
作成された処理プログラム文書は、ホストコンピュ−タ
１に登録される。処理プログラム文書作成用パソコン３
にて作成した処理プログラム文書を、処理プログラム文
書作成用パソコン３とネットワ−ク０を介して接続され
ているホストコンピュ−タ１に対してファイル転送す
る。一方、ホストコンピュ−タ１は処理プログラム文書
作成用パソコン３から送られてきた処理プログラム文書
を受信すると、受信した処理プログラム文書の中に記述
されている処理プログラムナンバ−と処理プログラム文
書リビジョンナンバ−に基づいて、処理プログラム文書
をホストコンピュ−タ１上で識別するための処理プログ
ラム文書識別コ−ド（以下ＩＤと記述する）を処理プロ
グラム文書作成用パソコン３に送り返し、同時に処理プ
ログラム文書を処理プログラムＩＤと結び付けてホスト
コンピュ−タ１のハ−ドディスク２上に登録する。その
後、ホストコンピュ−タ１に対して処理プログラムをフ
ァイル転送し、処理プログラム文書ＩＤが返送されてき
た処理プログラム文書作成用パソコン３では、処理プロ
グラム文書を制定するために、プリンタ−４より処理プ
ログラム文書を印刷し、処理プログラム文書を制定文書
８とする。この時、ホストコンピュ−タ１から送られて
きた処理プログラム文書ＩＤもあわせて印刷される。こ
のようにして、プリンタ−４により印刷された処理プロ
グラムの制定文書８は配布処理という人間系による伝達
手段によって、半導体製造装置５が設置されている工場
内へ送られる。
５でウェハ−の加工処理を行うために必要な処理プログ
ラムを文書として作成するために、処理プログラム文書
作成用パソコン３にて処理プログラムを作成する。この
時に作成される処理プログラムの文書の内容としては、
処理プログラムそのものを記述したものに加え、処理プ
ログラムを識別するための処理プログラムナンバ−、処
理プログラム文書の改訂履歴を識別するための処理プロ
グラム文書リビジョンナンバ−がある。このようにして
作成された処理プログラム文書は、ホストコンピュ−タ
１に登録される。処理プログラム文書作成用パソコン３
にて作成した処理プログラム文書を、処理プログラム文
書作成用パソコン３とネットワ−ク０を介して接続され
ているホストコンピュ−タ１に対してファイル転送す
る。一方、ホストコンピュ−タ１は処理プログラム文書
作成用パソコン３から送られてきた処理プログラム文書
を受信すると、受信した処理プログラム文書の中に記述
されている処理プログラムナンバ−と処理プログラム文
書リビジョンナンバ−に基づいて、処理プログラム文書
をホストコンピュ−タ１上で識別するための処理プログ
ラム文書識別コ−ド（以下ＩＤと記述する）を処理プロ
グラム文書作成用パソコン３に送り返し、同時に処理プ
ログラム文書を処理プログラムＩＤと結び付けてホスト
コンピュ−タ１のハ−ドディスク２上に登録する。その
後、ホストコンピュ−タ１に対して処理プログラムをフ
ァイル転送し、処理プログラム文書ＩＤが返送されてき
た処理プログラム文書作成用パソコン３では、処理プロ
グラム文書を制定するために、プリンタ−４より処理プ
ログラム文書を印刷し、処理プログラム文書を制定文書
８とする。この時、ホストコンピュ−タ１から送られて
きた処理プログラム文書ＩＤもあわせて印刷される。こ
のようにして、プリンタ−４により印刷された処理プロ
グラムの制定文書８は配布処理という人間系による伝達
手段によって、半導体製造装置５が設置されている工場
内へ送られる。
【０００８】半導体製造装置５が設置されている工場内
では、作業者が、送られてきた処理プログラムの制定文
書８を参照しながら半導体製造装置コントロ−ラ６の入
力装置（一般的にはキ−ボ−ド）から処理プログラムを
入力し、半導体製造装置５自身で使用するための処理プ
ログラムを作成し、半導体製造装置コントロ−ラ６に登
録する。ここで、作業者によって半導体製造装置コント
ロ−ラ６に入力された処理プログラムの内容が処理プロ
グラムの制定文書８の内容と等しいかどうかの確認を行
うために、半導体製造装置専用のホストコンピュ−タ用
操作端末７より処理プログラム文書ＩＤを入力する。ホ
ストコンピュ−タ用操作端末７より入力された処理プロ
グラム文書ＩＤはホストコンピュ−タ１に送られる。ホ
ストコンピュ−タ１は、ホストコンピュ−タ用操作端末
７から入力された処理プログラム文書ＩＤに対応する処
理プログラム文書をハ−ドディスク２上から検索する。
引き続き、処理プログラム文書ＩＤが送られてきたホス
トコンピュ−タ用操作端末７に対応する半導体製造装置
コントロ−ラ６に登録されている、検索された処理プロ
グラム文書中に記述されている処理プログラムナンバ−
の処理プログラムを、ホストコンピュ−タ１に転送する
ように半導体製造装置コントロ−ラ６にリクエストを出
す。リクエストを受けた半導体製造装置コントロ−ラ６
は、リクエストされた処理プログラムナンバ−に対応す
る処理プログラムをホストコンピュ−タ１に転送する。
その後、ホストコンピュ−タ１では、半導体製造装置コ
ントロ−ラ６から転送されてきた処理プログラムを、先
ほど検索した結果得られた処理プログラム文書中に記述
されている処理プログラムと内容の比較を行う。処理プ
ログラムの内容比較手段としては、検索した結果得られ
た処理プログラム文書中に記述されている処理プログラ
ムと半導体製造装置コントロ−ラ６から転送されてきた
処理プログラムをそれぞれ先頭からバイナリデ−タとみ
なして、１バイトずつ照合していく。このようにして比
較した結果、両者の内容が一致すれば、その旨をホスト
コンピュ−タ用操作端末７に表示する。また、比較した
結果が一致しない場合、両者の処理プログラムと一致し
ない箇所をホストコンピュ−タ用操作端末７に表示し
て、作業者に対し、処理プログラムの修正入力を促す。
修正入力後、処理プログラムの内容確認を行うため、再
度半導体製造装置専用のホストコンピュ−タ用操作端末
７より処理プログラム文書ＩＤを入力し、処理プログラ
ムの内容確認を実施する。これを内容が一致するまで繰
り返し、半導体製造装置コントロ−ラ６に処理プログラ
ム文書と内容が完全に一致する処理プログラムを登録す
る。
では、作業者が、送られてきた処理プログラムの制定文
書８を参照しながら半導体製造装置コントロ−ラ６の入
力装置（一般的にはキ−ボ−ド）から処理プログラムを
入力し、半導体製造装置５自身で使用するための処理プ
ログラムを作成し、半導体製造装置コントロ−ラ６に登
録する。ここで、作業者によって半導体製造装置コント
ロ−ラ６に入力された処理プログラムの内容が処理プロ
グラムの制定文書８の内容と等しいかどうかの確認を行
うために、半導体製造装置専用のホストコンピュ−タ用
操作端末７より処理プログラム文書ＩＤを入力する。ホ
ストコンピュ−タ用操作端末７より入力された処理プロ
グラム文書ＩＤはホストコンピュ−タ１に送られる。ホ
ストコンピュ−タ１は、ホストコンピュ−タ用操作端末
７から入力された処理プログラム文書ＩＤに対応する処
理プログラム文書をハ−ドディスク２上から検索する。
引き続き、処理プログラム文書ＩＤが送られてきたホス
トコンピュ−タ用操作端末７に対応する半導体製造装置
コントロ−ラ６に登録されている、検索された処理プロ
グラム文書中に記述されている処理プログラムナンバ−
の処理プログラムを、ホストコンピュ−タ１に転送する
ように半導体製造装置コントロ−ラ６にリクエストを出
す。リクエストを受けた半導体製造装置コントロ−ラ６
は、リクエストされた処理プログラムナンバ−に対応す
る処理プログラムをホストコンピュ−タ１に転送する。
その後、ホストコンピュ−タ１では、半導体製造装置コ
ントロ−ラ６から転送されてきた処理プログラムを、先
ほど検索した結果得られた処理プログラム文書中に記述
されている処理プログラムと内容の比較を行う。処理プ
ログラムの内容比較手段としては、検索した結果得られ
た処理プログラム文書中に記述されている処理プログラ
ムと半導体製造装置コントロ−ラ６から転送されてきた
処理プログラムをそれぞれ先頭からバイナリデ−タとみ
なして、１バイトずつ照合していく。このようにして比
較した結果、両者の内容が一致すれば、その旨をホスト
コンピュ−タ用操作端末７に表示する。また、比較した
結果が一致しない場合、両者の処理プログラムと一致し
ない箇所をホストコンピュ−タ用操作端末７に表示し
て、作業者に対し、処理プログラムの修正入力を促す。
修正入力後、処理プログラムの内容確認を行うため、再
度半導体製造装置専用のホストコンピュ−タ用操作端末
７より処理プログラム文書ＩＤを入力し、処理プログラ
ムの内容確認を実施する。これを内容が一致するまで繰
り返し、半導体製造装置コントロ−ラ６に処理プログラ
ム文書と内容が完全に一致する処理プログラムを登録す
る。
【０００９】図３（ａ）、（ｂ）にフロ−チャ−トを示
す。
す。
【００１０】
【発明の効果】本発明の半導体製造装置の処理プログラ
ム比較処理装置は、以上説明したように、半導体製造装
置でウェハ−の加工処理を行うために必要な処理プログ
ラムを制定文書と整合性が完全に保たれた状態で半導体
製造装置コントロ−ラに登録することが可能となり、作
業者が半導体製造装置コントロ−ラに入力する際の単純
ミスを、半導体製造装置にてウェハ−加工処理を実施す
るより前にチェックすることができる。
ム比較処理装置は、以上説明したように、半導体製造装
置でウェハ−の加工処理を行うために必要な処理プログ
ラムを制定文書と整合性が完全に保たれた状態で半導体
製造装置コントロ−ラに登録することが可能となり、作
業者が半導体製造装置コントロ−ラに入力する際の単純
ミスを、半導体製造装置にてウェハ−加工処理を実施す
るより前にチェックすることができる。
【図１】本発明の実施例の構成図である。
【図２】従来の方法による構成図である。
【図３】本発明のフロ−チャ−トである。
０ ・・・ ネットワ−クケ−ブル １ ・・・ ホストコンピュ−タ ２ ・・・ ハ−ドディスク ３ ・・・ 処理プログラム文書作成用パソコン ４ ・・・ プリンタ ５ ・・・ 半導体製造装置 ６ ・・・ 半導体製造装置コントロ−ラ ７ ・・・ ホストコンピュ−タ用操作端末 ８ ・・・ 処理プログラム制定文書 １０３ ・・・ 処理プログラム文書作成用パソコン １０４ ・・・ プリンタ １０５ ・・・ 半導体製造装置 １０６ ・・・ 半導体製造装置コントロ−ラ １０８ ・・・ 処理プログラム制定文書
Claims (1)
- 【請求項１】半導体製造装置とホストコンピュ−タとを
ネットワ−ク化したオンラインシステムを有する半導体
製造装置の処理プログラム比較処理装置において、処理
プログラムの制定文書と、前記制定文書に基づいて半導
体製造装置に入力される処理プログラムとの整合性を保
つ手段を備えたことを特徴とする半導体製造装置の処理
プログラム比較処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218867A JPH0774069A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | 半導体製造装置の処理プログラム比較処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5218867A JPH0774069A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | 半導体製造装置の処理プログラム比較処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0774069A true JPH0774069A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16726556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5218867A Pending JPH0774069A (ja) | 1993-09-02 | 1993-09-02 | 半導体製造装置の処理プログラム比較処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0774069A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100576816B1 (ko) * | 1999-12-07 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 시스템에서 변경 파라메터 입력에 따른 문서생성 방법 |
-
1993
- 1993-09-02 JP JP5218867A patent/JPH0774069A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100576816B1 (ko) * | 1999-12-07 | 2006-05-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조 시스템에서 변경 파라메터 입력에 따른 문서생성 방법 |
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