JPH077667Y2 - High vacuum pressure valve - Google Patents
High vacuum pressure valveInfo
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- JPH077667Y2 JPH077667Y2 JP1990017117U JP1711790U JPH077667Y2 JP H077667 Y2 JPH077667 Y2 JP H077667Y2 JP 1990017117 U JP1990017117 U JP 1990017117U JP 1711790 U JP1711790 U JP 1711790U JP H077667 Y2 JPH077667 Y2 JP H077667Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、高真空圧バルブに関するものであり、特に詳
しくは、弁座シール材の交換が容易な高真空圧バルブに
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial application] The present invention relates to a high vacuum pressure valve, and more particularly to a high vacuum pressure valve in which a valve seat sealing material can be easily replaced.
［従来の技術］ 10 Torr程度の高真空圧バルブは、弁座シール材として
ガス透過性のないメタルシール材が使用されている。[Prior Art] A high vacuum pressure valve of about 10 Torr uses a metal seal material having no gas permeability as a valve seat seal material.
上記メタルシール材は、破損、疲労等によってシール機
能が低下した場合に交換する必要があるが、溶接等によ
って弁体に気密に固着されているために、シール材の交
換に手数を要するという問題がある。The metal seal material needs to be replaced when the sealing function is deteriorated due to damage, fatigue, etc., but it is troublesome to replace the seal material because it is airtightly fixed to the valve body by welding or the like. There is.
この問題を解決するために、シール材を固着した弁体全
部を交換することが考えられるが、高真空圧バルブにお
いては、弁体とボンネットとに、弁棒をシールするため
のベローズの両端が気密に固着されているので、弁体の
取外しに多大な手数を要するばかりでなく、交換した弁
体とベローズを再度気密に固着する手数も必要になる。In order to solve this problem, it is conceivable to replace the entire valve body to which the sealing material is fixed.However, in a high vacuum pressure valve, both ends of the bellows for sealing the valve rod are provided on the valve body and the bonnet. Since it is airtightly fixed, not only is it necessary to remove the valve body enormously, but it is also necessary to fix the replaced valve body and the bellows airtightly again.
［考案が解決しようとする課題］ 本考案が解決しようとする課題は、弁座シール材の交換
が容易な高真空圧バルブを提供することにある。[Problems to be Solved by the Invention] An object to be solved by the present invention is to provide a high vacuum pressure valve in which the valve seat sealing material can be easily replaced.
［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本考案は、複数のポート、こ
れらのポートを連通させる流路中の弁座、及び該弁座の
開口方向に形成した開口部を有する弁本体と、上記開口
部に分離可能に取付けたボンネットと、弁体を有し上記
ボンネットに進退可能に設けた弁棒と、両端がボンネッ
トと弁体とにそれぞれ気密に固着されたベローズとを備
え、弁棒の進退によって弁体に固着したメタルシール材
が弁座を開閉する高真空圧バルブにおいて、上記弁体
が、ベローズの一端が気密に固着された弁台と、該弁台
に分離可能に取付けられた弁圧子とを備え、上記メタル
シール材を、金属線材を螺旋状に密に巻回してエンドレ
スにした弾性材と、該弾性材の外周を覆う被覆部及び該
被覆部に延長させた取付部を有する金属製のジャケット
とを備えたメタルシールリングで構成し、上記ジャケッ
トの取付部が、弁圧子の弁座との対向面の外縁に気密に
固着されていることを特徴としている。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, the present invention provides a plurality of ports, a valve seat in a flow path communicating these ports, and an opening formed in the opening direction of the valve seat. A valve body having, a bonnet separably attached to the opening, a valve rod having a valve body and capable of advancing and retreating to the bonnet, and bellows having both ends hermetically fixed to the bonnet and the valve body, respectively. In a high vacuum pressure valve in which a metal seal material fixed to the valve body opens and closes the valve seat by advancing and retracting the valve rod, the valve body has a valve base with one end of a bellows airtightly fixed, and An elastic material that includes a valve indenter that is separably attached, and that has the metal seal material wound endlessly by closely winding a metal wire in a spiral shape, and a covering portion that covers the outer periphery of the elastic material and a covering portion. Made of metal with extended mounting And a mounting portion of the jacket is airtightly fixed to the outer edge of the surface of the valve indenter facing the valve seat.
また、同様の課題を解決するため、上記高真空圧バルブ
において、弁圧子の弁座との対向面に取付用の段部を設
け、ジャケットの取付部が上記段部の外縁に気密に固着
されていること、または、弁圧子の弁座との対向面に溝
とその内方の取付用の段部とを設け、弾性材が上記溝に
挿入されジャケットの取付部が上記段部内縁に気密に固
着されていること、或いは、弁台と弁圧子の弁座との対
向面に凹部とフランジとを設け、弾性材が上記凹部に挿
入され、ジャケットの取付部が上記フランジの周縁に気
密に固着されていることを特徴としている。In order to solve the same problem, in the above high vacuum pressure valve, a mounting step is provided on the surface of the valve indenter facing the valve seat, and the mounting part of the jacket is airtightly fixed to the outer edge of the step. Or a groove and a mounting step inside the groove are provided on the surface of the valve indenter facing the valve seat, and the elastic member is inserted into the groove so that the mounting part of the jacket is airtight to the inner edge of the step. Or a recess and a flange are provided on the surface facing the valve seat and the valve seat of the valve indenter, the elastic member is inserted into the recess, and the mounting portion of the jacket is airtight to the peripheral edge of the flange. It is characterized by being fixed.
［作用］ 弁本体からボンネットを分離すると、弁体とメタルシー
ル材をボンネットとともに弁本体外に取出すことがで
き、次いで弁台と弁圧子とを分離して、メタルシール材
を固着した別の弁圧子を弁台に取付けることにより、メ
タルシール材を交換することができる。[Operation] When the bonnet is separated from the valve body, the valve body and the metal seal material can be taken out of the valve body together with the bonnet. Then, the valve base and the valve indenter are separated, and another valve with the metal seal material is fixed. The metal seal material can be replaced by attaching the indenter to the valve base.
この場合、ベローズの一端を弁圧子とは別の弁台に固着
したので、メタルシール材の交換に際してベローズと弁
台とを分離する必要がなく、また弁圧子を弁台に気密に
取付ける必要がないので、メタルシール材の交換が簡単
である。In this case, since one end of the bellows is fixed to a valve base different from the valve indenter, it is not necessary to separate the bellows and the valve base when replacing the metal seal material, and it is not necessary to attach the valve indenter to the valve base airtightly. Since there is no metal seal material, it is easy to replace it.
また、金属製のジャケットに設けた取付部によってメタ
ルシール材を弁圧子に気密に固着したので、メタルシー
ル材の弁圧子への取付けが容易である。Further, since the metal seal material is airtightly fixed to the valve indenter by the attachment portion provided on the metal jacket, the metal seal material can be easily attached to the valve indenter.
さらに、ジャケットを圧子に固着したことにより、ジャ
ケットのシール面が一か所でよく、しかもメタルシール
材を弁圧子に固着した状態でシール面の加工できるの
で、シール面の加工がきわめて容易である。Further, since the jacket is fixed to the indenter, the sealing surface of the jacket is required only at one place, and the sealing surface can be processed in the state where the metal seal material is fixed to the valve indenter, so that the processing of the sealing surface is extremely easy. .
［実施例］ 第１図及び第２図は本考案の第１実施例を示し、この高
真空圧バルブ10の弁本体11は、ポート12と13、これらの
ポート外周のフランジ12aと13a、これらのポートを連通
させる流路14中の弁座15、及び該弁座の開口方向に形設
した開口部16を備え、開口部16に、ボンネット17が取付
ボルト（図示省略）等の適宜の手段によって分離可能に
取付けられている。[Embodiment] FIG. 1 and FIG. 2 show a first embodiment of the present invention. The valve body 11 of this high vacuum pressure valve 10 has ports 12 and 13, flanges 12a and 13a around these ports, and these. A valve seat 15 in the flow path 14 for communicating the ports of the valve seat 14 and an opening 16 formed in the opening direction of the valve seat, and the bonnet 17 is provided in the opening 16 with appropriate means such as a mounting bolt (not shown). Are separably mounted by.
中間部分がボンネット17のねじ孔に螺着された弁棒19
は、一端に弁体20を構成する弁台20aが一体往復動及び
相対可能に、ボンネット17外に突出する他端にハンドル
24がそれぞれ取付けられており、弁台20aに適宜の手段
によって分離可能に取付けられた弁圧子20bは、弁座15
との対向面にメタルシール材を構成するメタルシールリ
ング21が気密に固着され、弁台20aと弁圧子20b間にエア
抜き用のポート20cが開設されている。The valve rod 19 with the middle part screwed into the screw hole of the bonnet 17
Is a handle at the other end that protrudes outside the bonnet 17 so that the valve base 20a that constitutes the valve body 20 at one end can integrally reciprocate and can be opposed.
24, each of which is attached to the valve base 20a so as to be separable by an appropriate means, has a valve seat 15
A metal seal ring 21 which constitutes a metal seal material is airtightly fixed to the surface facing to, and an air vent port 20c is opened between the valve base 20a and the valve indenter 20b.
上記メタルシールリング21は、ステンレス鋼等の断面円
形の金属線材を螺旋状に密に巻回してエンドレスにした
弾性材22（第３図参照）と、アルミニウム、ニッケル、
銅等の軟質金属板で形成したジャケット23とを備え、弾
性材22によって径方向の弾性が与えられており、ジャケ
ット23は、弾性材22の外周を覆う被覆部23aと、該被覆
部23aの一端を弾性材22の接線方向に延長させた取付部2
3bとを備えている（第２図参照）。The metal seal ring 21 is made of an elastic material 22 (see FIG. 3) in which a metal wire rod having a circular cross section such as stainless steel is densely wound in a spiral shape to be endless, aluminum, nickel,
A jacket 23 formed of a soft metal plate such as copper is provided, and elasticity in the radial direction is given by the elastic material 22. The jacket 23 covers the outer periphery of the elastic material 22 and a covering portion 23a of the covering portion 23a. Mounting part 2 with one end extended in the tangential direction of the elastic material 22
3b and (see FIG. 2).
弁圧子20bは、弁座側の外周にメタルシールリング取付
用の段部25を有し、メタルシールリング21の取付部23b
は、段部25の底部外縁に、中心に向く電子ビームまたは
レーザによる溶接、或いは鑞付けによって気密に固着さ
れている。The valve indenter 20b has a step portion 25 for mounting a metal seal ring on the outer periphery on the valve seat side, and a mounting portion 23b of the metal seal ring 21.
Is hermetically fixed to the outer edge of the bottom of the step portion 25 by welding toward the center with an electron beam or a laser, or by brazing.
上記弁本体11とボンネット17間のシール面は、弾性材22
と同様に断面円形の金属線材を螺旋状に密に巻回してエ
ンドレスにしたエンドレスばね27と、メタルベローズプ
レート28外周の薄肉部とによって気密にシールされ、メ
タルベローズ29の端部は、メタルベローズプレート28の
内周縁と弁台20aの外周縁に溶接等によって気密に固着
されており、これらによって、ボンネット17を、高真空
圧が作用する流路14に対して気密にシールしている。The sealing surface between the valve body 11 and the bonnet 17 is made of elastic material 22
Similarly, a metal wire rod having a circular cross section is tightly wound spirally into an endless spring 27 and a thin portion around the outer circumference of a metal bellows plate 28 is hermetically sealed, and the end of the metal bellows 29 is a metal bellows. The inner peripheral edge of the plate 28 and the outer peripheral edge of the valve base 20a are airtightly fixed to each other by welding or the like, and by these, the bonnet 17 is airtightly sealed to the flow path 14 under the high vacuum pressure.
上記高真空圧バルブ10は、ボンネット17を弁本体11から
分離すると弁棒19、弁体20及びメタルシールリング21を
弁本体11外に取出すことができ、弁圧子20bを弁台20aか
ら分離して予めシールリング21が固着されている別の弁
圧子を弁台20aに取付けることによって、メタルシール
リングを交換することができる。In the high vacuum pressure valve 10, when the bonnet 17 is separated from the valve body 11, the valve rod 19, the valve body 20 and the metal seal ring 21 can be taken out of the valve body 11, and the valve indenter 20b is separated from the valve base 20a. The metal seal ring can be replaced by attaching another valve indenter to which the seal ring 21 is fixed in advance to the valve base 20a.
この場合、弁圧子20bを弁台20aに気密に取付ける必要は
なく、また弁台20aとメタルベローズ29との固着部を分
離する必要もないので、メタルシールリングの交換が容
易であり、交換後ボンネット17を弁本体11に取付けるこ
とによって、ボンネット17が流路14に対して気密にシー
ルされる。In this case, since it is not necessary to attach the valve indenter 20b to the valve base 20a in an airtight manner and it is not necessary to separate the fixed portion between the valve base 20a and the metal bellows 29, the metal seal ring can be easily replaced. By attaching the bonnet 17 to the valve body 11, the bonnet 17 is hermetically sealed to the flow path 14.
また、上記メタルシールリング21は、弁圧子20bに固着
した後、弁圧子20bを把持してジャケット23のシール面
を加工することができ、しかも弁圧子20bへの取付けに
よってシール面が一か所でよいので、シール面の加工が
きわめて容易なばかりでなく、取扱に際してシール面に
疵がつかないので、シール機能が向上する。Further, the metal seal ring 21 is capable of processing the sealing surface of the jacket 23 by gripping the valve indenter 20b after being fixed to the valve indenter 20b, and moreover, when the valve indenter 20b is attached, the sealing surface is located at one place. Therefore, not only is it extremely easy to process the sealing surface, but also the sealing surface is not scratched during handling, so the sealing function is improved.
第４図は本考案の第２実施例を示し、第２実施例の弁体
31は、分離可能な弁台31aと弁圧子31bとを備え、これら
の間にエア抜きのポート31cが形成されており、メタル
シールリング21のジャケット32の取付部32bは、弾性材2
2の接線方向と略直交する方向に延長されている。FIG. 4 shows the second embodiment of the present invention, and the valve body of the second embodiment.
The reference numeral 31 includes a separable valve base 31a and a valve indenter 31b, and an air bleeding port 31c is formed between them, and a mounting portion 32b of a jacket 32 of the metal seal ring 21 is made of an elastic material 2.
It extends in a direction substantially orthogonal to the tangential direction of 2.
上記弁圧子31bは、弁座15との対向面に、上記弾性材22
が挿入される溝33aとその径方向内方の段部33bとを備
え、取付部32bが、段部33bの内側縁に、軸線方向の電子
ビーム等によって気密に固着されている。The valve indenter 31b has the elastic member 22 on the surface facing the valve seat 15.
It has a groove 33a into which is inserted and a step portion 33b radially inward thereof, and a mounting portion 32b is airtightly fixed to the inner edge of the step portion 33b by an electron beam in the axial direction.
第２実施例は、被覆部32aを単独に成形し、溝33aに弾性
材22を入れてから被覆部32aを段部33bに気密に固着でき
るので、弾性材22とジャケット32を別個に熱処理するこ
とができる。In the second embodiment, since the covering portion 32a can be molded independently and the elastic material 22 can be put into the groove 33a and then the covering portion 32a can be airtightly fixed to the step portion 33b, the elastic material 22 and the jacket 32 are heat-treated separately. be able to.
第２実施例の他の構成及び作用は、第１実施例と同じで
ある。Other configurations and operations of the second embodiment are the same as those of the first embodiment.
第５図は本考案の第３実施例を示し、第３実施例の弁体
35は、分離可能な弁台35aと弁圧子35bとを備え、これら
の間にエア抜きのポート35cが形成されており、メタル
シールリング21のジャケット36の取付部36bは、弾性材2
2の接線方向に延長されている。FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention, and a valve body of the third embodiment.
35 includes a separable valve base 35a and a valve indenter 35b, and an air bleeding port 35c is formed between them, and the attachment portion 36b of the jacket 36 of the metal seal ring 21 is made of elastic material 2
It is extended in the tangential direction of 2.
上記弁台35aと弁圧子35bは、弁座15との対向面に側に弾
性材22が挿入される段部37とフランジ38とを備え、取付
部36bは、フランジ38の端面に、軸線方向の電子ビーム
等によって気密に固着されている。The valve base 35a and the valve indenter 35b are provided with a step portion 37 and a flange 38 into which the elastic material 22 is inserted on the side facing the valve seat 15, and the mounting portion 36b is provided on the end surface of the flange 38 in the axial direction. It is airtightly fixed by the electron beam or the like.
上記第３実施例の被覆部36aも弾性材22を包持する必要
がなく、かつジャケット36を弁圧子35bに固着後に、弾
性材22を装着することができる。The covering portion 36a of the third embodiment does not need to enclose the elastic material 22, and the elastic material 22 can be attached after the jacket 36 is fixed to the valve indenter 35b.
第３実施例の他の構成及び作用は、第２実施例と同じで
ある。Other configurations and operations of the third embodiment are the same as those of the second embodiment.
［考案の効果］ 本考案は、弁体を分離可能な弁台と弁圧子で構成すると
ともに、メタルシール材を弁圧子に固着し、ベローズの
両端を弁台とボンネットとに固着したことにより、弁圧
子を弁台から分離することによってメタルシール材を交
換することができ、しかも弁台と弁圧子とを気密に取付
ける必要がないのでメタルシール材の交換が極めて容易
であり、かつメタルシール材の交換によって高真空圧の
シール機能が低下することもない。[Advantages of the Invention] The present invention comprises a valve base and a valve indenter capable of separating the valve body, and a metal seal member is fixed to the valve indenter, and both ends of the bellows are fixed to the valve base and the bonnet. The metal seal material can be replaced by separating the valve indenter from the valve base, and since it is not necessary to attach the valve base and the valve indenter airtightly, the metal seal material can be replaced very easily, and the metal seal material can be replaced. There is no reduction in the high-vacuum pressure sealing function due to the replacement of.
また、メタルシール材を、金属線材を螺旋状に密に巻回
してエンドレスにした弾性材と、該弾性材の外周を覆う
被覆部及び該被覆部を延長させた取付部とを有する金属
製のジャケットを備えたメタルシールリングで構成し、
上記取付部によって弁圧子の弁座側、弁座側に設けた取
付用の段部、または弁圧子のフランジに固着したので、
弁圧子へのメタルシール材の取付けが容易である。In addition, a metal seal material is made of metal and has an elastic material in which a metal wire is densely wound in a spiral shape and is made endless, a covering portion that covers the outer periphery of the elastic material, and a mounting portion that extends the covering portion. Consists of a metal seal ring with a jacket,
Since it is fixed to the valve seat side of the valve indenter, the mounting step provided on the valve seat side, or the flange of the valve indenter by the above-mentioned mounting portion,
It is easy to attach the metal seal material to the valve indenter.
さらに、メタルシールリングを弁圧子に固着した後、該
弁圧子を把持してジャケットのシール面を加工すること
ができ、しかも弁圧子への固着によってシール面が一か
所でよいので、シール面の加工がきわめて容易なばかり
でなく、取扱に際してシール面に疵がつかないので、シ
ール機能が向上する。Further, after the metal seal ring is fixed to the valve indenter, the valve indenter can be gripped to process the seal surface of the jacket, and since the seal surface need only be in one place by fixing to the valve indenter, the seal surface Not only is it extremely easy to process, but the sealing surface is not flawed during handling, improving the sealing function.
第１図は本考案の第１実施例の要部縦断正面図、第２図
は同要部の拡大断面図、第３図は弾性材の要部を示す縦
断面図、第４図及び第５図は第２実施例及び第３実施例
の要部を示す拡大断面図である。 10……高真空圧バルブ、11……弁本体、12,13……ポー
ト、14……流路、15……弁座、16……開口部、17……ボ
ンネット、19……弁棒、20,31,35……弁体、20a,31a,35
a……弁台、20b,31b,35b……弁圧子、21……メタルシー
ルリング、22……弾性材、23,32,36……ジャケット、23
a,32a,36a……被覆部、23b,32b,36b……取付部、25,33
b,37……段部、32a……溝、38……フランジ。FIG. 1 is a vertical sectional front view of a main part of a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged sectional view of the main part, and FIG. 3 is a vertical sectional view showing a main part of an elastic material, FIG. 4 and FIG. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the main parts of the second and third embodiments. 10 …… High vacuum pressure valve, 11 …… Valve body, 12,13 …… Port, 14 …… Flow passage, 15 …… Valve seat, 16 …… Opening part, 17 …… Bonnet, 19 …… Valve rod, 20,31,35 …… Valve, 20a, 31a, 35
a …… Valve seat, 20b, 31b, 35b …… Valve indenter, 21 …… Metal seal ring, 22 …… Elastic material, 23,32,36 …… Jacket, 23
a, 32a, 36a …… Coating part, 23b, 32b, 36b …… Mounting part, 25,33
b, 37: step, 32a: groove, 38: flange.
Claims (4)
る流路中の弁座、及び該弁座の開口方向に形成した開口
部を有する弁本体と、上記開口部に分離可能に取付けた
ボンネットと、弁体を有し上記ボンネットに進退可能に
設けた弁棒と、両端がボンネットと弁体とにそれぞれ気
密に固着されたベローズとを備え、弁棒の進退によって
弁体に固着したメタルシール材が弁座を開閉する高真空
圧バルブにおいて、 上記弁体が、ベローズの一端が気密に固着された弁台
と、該弁台に分離可能に取付けられた弁圧子とを備え、 上記メタルシール材を、金属線材を螺旋状に密に巻回し
てエンドレスにした弾性材と、該弾性材の外周を覆う被
覆部及び該被覆部を延長させた取付部を有する金属製の
ジャケットとを備えたメタルシールリングで構成し、 上記ジャケットの取付部が、弁圧子の弁座との対向面の
外縁に気密に固着されている、 ことを特徴とする高真空圧バルブ。1. A valve main body having a plurality of ports, a valve seat in a flow path communicating these ports, an opening formed in the opening direction of the valve seat, and a bonnet detachably attached to the opening. A metal seal fixed to the valve body by advancing and retreating the valve rod, and a valve rod having a valve body and provided to the bonnet so as to be able to move forward and backward, and bellows having both ends airtightly fixed to the bonnet and the valve body, respectively. In a high vacuum pressure valve in which a material opens and closes a valve seat, the valve body includes a valve base to which one end of a bellows is airtightly fixed, and a valve indenter detachably attached to the valve base, and the metal seal The material is provided with an elastic material in which a metal wire is densely wound in a spiral shape to be endless, and a metal jacket having a covering portion that covers the outer periphery of the elastic material and a mounting portion that extends the covering portion. It consists of a metal seal ring, High vacuum valve mounting portion of the serial jacket is hermetically fixed to an outer edge of the surface facing the valve seat of the valve indenter, characterized in that.
を設け、 ジャケットの取付部が、上記段部の外縁に気密に固着さ
れている、 ことを特徴とする請求項１に記載した高真空圧バルブ。2. A mounting step portion is provided on a surface of the valve indenter facing the valve seat, and a mounting portion of the jacket is airtightly fixed to an outer edge of the step portion. The high vacuum pressure valve described in 1.
の取付用の段部とを設け、 弾性材が上記溝に挿入され、ジャケットの取付部が上記
段部内縁に気密に固着されている、 ことを特徴とする請求項１に記載した高真空圧バルブ。3. A groove and a mounting step portion inside thereof are provided on a surface of the valve indenter facing the valve seat, an elastic member is inserted into the groove, and a mounting portion of the jacket is formed on an inner edge of the step portion. The high vacuum pressure valve according to claim 1, wherein the high vacuum pressure valve is airtightly fixed.
フランジとを設け、 弾性材が上記凹部に挿入され、ジャケットの取付部が上
記フランジの周縁に気密に固着されている、 ことを特徴とする請求項１に記載した高真空圧バルブ。4. A recess and a flange are provided on a surface of the valve seat facing the valve seat of the valve indenter, an elastic member is inserted into the recess, and a mounting portion of the jacket is airtightly fixed to a peripheral edge of the flange. The high vacuum pressure valve according to claim 1, wherein:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990017117U JPH077667Y2 (en) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | High vacuum pressure valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990017117U JPH077667Y2 (en) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | High vacuum pressure valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03107588U JPH03107588U (en) | 1991-11-06 |
| JPH077667Y2 true JPH077667Y2 (en) | 1995-02-22 |
Family
ID=31520348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990017117U Expired - Lifetime JPH077667Y2 (en) | 1990-02-22 | 1990-02-22 | High vacuum pressure valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077667Y2 (en) |
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|---|---|---|---|---|
| KR20200137371A (en) * | 2019-05-30 | 2020-12-09 | 주식회사 원익아이피에스 | Valve assembly and substrate processing apparatus having the same |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5968869U (en) * | 1982-11-01 | 1984-05-10 | 富士精工株式会社 | Valve with annular metal seal part |
| JPS6138270A (en) * | 1984-07-31 | 1986-02-24 | Fuji Seikou Kk | Gate valve having metal seal |
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-
1990
- 1990-02-22 JP JP1990017117U patent/JPH077667Y2/en not_active Expired - Lifetime
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| KR20200137371A (en) * | 2019-05-30 | 2020-12-09 | 주식회사 원익아이피에스 | Valve assembly and substrate processing apparatus having the same |
Also Published As
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|---|---|
| JPH03107588U (en) | 1991-11-06 |
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