JPH0776768A - アルミニウム蒸発法 - Google Patents
アルミニウム蒸発法Info
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- JPH0776768A JPH0776768A JP24644093A JP24644093A JPH0776768A JP H0776768 A JPH0776768 A JP H0776768A JP 24644093 A JP24644093 A JP 24644093A JP 24644093 A JP24644093 A JP 24644093A JP H0776768 A JPH0776768 A JP H0776768A
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 63
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 黒鉛るつぼをそのまま使用することができ、
しかもアルミニウムとの反応やチタンの突沸等が生じる
ことも無く、安定した状態でアルミニウムを蒸発される
ことができるアルミニウム蒸発法を提供すること。 【構成】 予めアルミニウムとチタンとを溶融して合金
化しておき、これを材料としてアルミニウムを黒鉛るつ
ぼで蒸発するようにする。これにより、アルミニウムと
チタンとが溶融時に反応して突沸することを防止でき、
チタンと黒鉛との反応による保護膜も形成でき、安定し
た状態でアルミニウムを蒸発させることができるように
なる。
しかもアルミニウムとの反応やチタンの突沸等が生じる
ことも無く、安定した状態でアルミニウムを蒸発される
ことができるアルミニウム蒸発法を提供すること。 【構成】 予めアルミニウムとチタンとを溶融して合金
化しておき、これを材料としてアルミニウムを黒鉛るつ
ぼで蒸発するようにする。これにより、アルミニウムと
チタンとが溶融時に反応して突沸することを防止でき、
チタンと黒鉛との反応による保護膜も形成でき、安定し
た状態でアルミニウムを蒸発させることができるように
なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、アルミニウムの真空
蒸着などを行う場合のアルミニウム蒸発法に関し、アル
ミニウムと黒鉛るつぼとの反応やアルミニウムとチタン
との突沸を防止できるようにしたものである。
蒸着などを行う場合のアルミニウム蒸発法に関し、アル
ミニウムと黒鉛るつぼとの反応やアルミニウムとチタン
との突沸を防止できるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウムの真空蒸着法は防蝕用等の
薄膜として広く利用されており、高速で成膜する場合に
は、電子ビームを用いた真空蒸着法やイオンプレーティ
ング法が適用される。
薄膜として広く利用されており、高速で成膜する場合に
は、電子ビームを用いた真空蒸着法やイオンプレーティ
ング法が適用される。
【０００３】このような場合には、アルミニウムに加え
た熱が外部に放熱されることを防止するため、断熱され
た黒鉛るつぼが使用される。
た熱が外部に放熱されることを防止するため、断熱され
た黒鉛るつぼが使用される。
【０００４】一方、この黒鉛るつぼにアルミニウム粒を
いれて外部から加熱して蒸発させると、アルミニウムと
黒鉛とが反応するため、これを防止する必要があり、従
来、アルミニウム粒に加えてチタン粒をいれ、アルミニ
ウムと黒鉛が反応する前にチタンと黒鉛とでチタン・カ
ーバイドを形成して保護膜とするようにしている。
いれて外部から加熱して蒸発させると、アルミニウムと
黒鉛とが反応するため、これを防止する必要があり、従
来、アルミニウム粒に加えてチタン粒をいれ、アルミニ
ウムと黒鉛が反応する前にチタンと黒鉛とでチタン・カ
ーバイドを形成して保護膜とするようにしている。
【０００５】ところが、チタン粒が溶融する時にアルミ
ニウムと反応して高温を発し、突沸が起こり、黒鉛るつ
ぼ内の材料がまわりに飛び出すなどして黒鉛るつぼが熱
的に接触して断熱状態を維持できないなどの問題があ
る。
ニウムと反応して高温を発し、突沸が起こり、黒鉛るつ
ぼ内の材料がまわりに飛び出すなどして黒鉛るつぼが熱
的に接触して断熱状態を維持できないなどの問題があ
る。
【０００６】そこで、黒鉛るつぼに予め保護膜を形成す
ることが提案されており、たとえば特開平３−２４９１
７２号公報には、黒鉛るつぼ表面にイオンプレーティン
グ法によってチタンまたはジルコニウムを蒸着し、次い
で熱拡散を行なったるつぼを用いることが有効であると
されている。
ることが提案されており、たとえば特開平３−２４９１
７２号公報には、黒鉛るつぼ表面にイオンプレーティン
グ法によってチタンまたはジルコニウムを蒸着し、次い
で熱拡散を行なったるつぼを用いることが有効であると
されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、黒鉛る
つぼに予め保護膜を形成することは、繁雑であり、高価
となるなどの問題がある。
つぼに予め保護膜を形成することは、繁雑であり、高価
となるなどの問題がある。
【０００８】この発明はかかる従来技術の問題点に鑑み
てなされたもので、黒鉛るつぼをそのまま使用すること
ができ、しかもアルミニウムとの反応やチタンの突沸等
が生じることも無く、安定した状態でアルミニウムを蒸
発されることができるアルミニウム蒸発法を提供しよう
とするものである。
てなされたもので、黒鉛るつぼをそのまま使用すること
ができ、しかもアルミニウムとの反応やチタンの突沸等
が生じることも無く、安定した状態でアルミニウムを蒸
発されることができるアルミニウム蒸発法を提供しよう
とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めこの発明のアルミニウム蒸発法は、黒鉛るつぼ内の蒸
発材料を加熱してアルミニウムを蒸発させるに際し、予
めアルミニウムとチタンとを溶融して合金化したものを
前記蒸発材料とすることを特徴とするものである。
めこの発明のアルミニウム蒸発法は、黒鉛るつぼ内の蒸
発材料を加熱してアルミニウムを蒸発させるに際し、予
めアルミニウムとチタンとを溶融して合金化したものを
前記蒸発材料とすることを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】このアルミニウム蒸発法によれば、予めアルミ
ニウムとチタンとを溶融して合金化しておき、これを材
料としてアルミニウムを黒鉛るつぼで蒸発するようにし
ており、アルミニウムとチタンとが溶融時に反応して突
沸することを防止でき、チタンと黒鉛との反応による保
護膜も形成でき、安定した状態でアルミニウムを蒸発さ
せることができるようになる。
ニウムとチタンとを溶融して合金化しておき、これを材
料としてアルミニウムを黒鉛るつぼで蒸発するようにし
ており、アルミニウムとチタンとが溶融時に反応して突
沸することを防止でき、チタンと黒鉛との反応による保
護膜も形成でき、安定した状態でアルミニウムを蒸発さ
せることができるようになる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照しな
がら詳細に説明する。図１はこの発明のアルミニム蒸発
法の一実施例が適用される真空蒸着装置の概略構成図で
ある。
がら詳細に説明する。図１はこの発明のアルミニム蒸発
法の一実施例が適用される真空蒸着装置の概略構成図で
ある。
【００１２】このアルミニウム蒸発法は、アルミニウム
の薄膜を高速で成膜する場合の電子ビームを用いる真空
蒸着法やイオンプレーティング法などで用いられる断熱
された黒鉛るつぼに適用するものである。
の薄膜を高速で成膜する場合の電子ビームを用いる真空
蒸着法やイオンプレーティング法などで用いられる断熱
された黒鉛るつぼに適用するものである。
【００１３】このアルミニウム蒸発法では、黒鉛るつぼ
１にいれてアルミニウムを蒸発させる場合の蒸発材料と
してアルミニウムとチタンとを溶融・合金化したものが
用いられる。
１にいれてアルミニウムを蒸発させる場合の蒸発材料と
してアルミニウムとチタンとを溶融・合金化したものが
用いられる。
【００１４】この蒸発材料は、アルミニウムに対してチ
タンを０．５〜３０％を加え、これを予め溶融して合金
化する。
タンを０．５〜３０％を加え、これを予め溶融して合金
化する。
【００１５】このようなアルミニウムとチタンを合金化
した蒸発材料は、これまでと同様に、黒鉛るつぼ１にい
れられる。
した蒸発材料は、これまでと同様に、黒鉛るつぼ１にい
れられる。
【００１６】そして、真空蒸着装置の真空容器２内にこ
の黒鉛るつぼ１を設置したのち、真空排気系３によって
内部を真空状態とし、次いで加熱源である電子銃４で黒
鉛るつぼ１内の蒸発材料を加熱する。
の黒鉛るつぼ１を設置したのち、真空排気系３によって
内部を真空状態とし、次いで加熱源である電子銃４で黒
鉛るつぼ１内の蒸発材料を加熱する。
【００１７】すると、アルミニウムとチタンの合金であ
る蒸発材料が溶融するが、チタンが溶融する際に予めア
ルミニウムとチタンが合金化してアルミ・チタン化合物
となっているので、新たにアルミニウムとチタンが反応
して高温を発して突沸が生じることがなく、黒鉛るつぼ
１内の溶融金属がまわりに飛び出して熱的な接触が生
じ、黒鉛るつぼ１の断熱性を損なうことを防止すること
ができる。
る蒸発材料が溶融するが、チタンが溶融する際に予めア
ルミニウムとチタンが合金化してアルミ・チタン化合物
となっているので、新たにアルミニウムとチタンが反応
して高温を発して突沸が生じることがなく、黒鉛るつぼ
１内の溶融金属がまわりに飛び出して熱的な接触が生
じ、黒鉛るつぼ１の断熱性を損なうことを防止すること
ができる。
【００１８】また、溶融したアルミ・チタン化合物のう
ちチタンは、黒鉛るつぼの黒鉛と反応してチタン・カー
バイドが形成され、黒鉛るつぼ１の内面を覆って保護膜
を形成することによってアルミニムと黒鉛が反応するこ
とを防止する。
ちチタンは、黒鉛るつぼの黒鉛と反応してチタン・カー
バイドが形成され、黒鉛るつぼ１の内面を覆って保護膜
を形成することによってアルミニムと黒鉛が反応するこ
とを防止する。
【００１９】一方、黒鉛るつぼ１からは、蒸気圧の低い
チタンは溶融状態のまま維持されてアルミニウムのみが
蒸発し、シャッター５を介して基板６に付着・凝固さ
れ、アルミニウムの真空蒸着が行われる。
チタンは溶融状態のまま維持されてアルミニウムのみが
蒸発し、シャッター５を介して基板６に付着・凝固さ
れ、アルミニウムの真空蒸着が行われる。
【００２０】このようなアルミニウムとチタンを合金化
した蒸発材料を用いる場合と、従来のアルミニウム粒と
チタン粒とを蒸発材料として用いる場合について実験を
行った。
した蒸発材料を用いる場合と、従来のアルミニウム粒と
チタン粒とを蒸発材料として用いる場合について実験を
行った。
【００２１】実験では、蒸発材料として用いたアルミ・
チタン合金はアルミ・チタン化合物とアルミニウムの混
晶でチタンの含有量を５％としたものであり、従来法で
は、アルミニウム粒と５％のチタン粒を蒸発材料とし
た。
チタン合金はアルミ・チタン化合物とアルミニウムの混
晶でチタンの含有量を５％としたものであり、従来法で
は、アルミニウム粒と５％のチタン粒を蒸発材料とし
た。
【００２２】これら蒸発材料を蒸発した後の黒鉛るつぼ
を観察したところ、この発明のアルミ・チタン合金を用
いた場合には、黒鉛るつぼの内面にチタン・カーバイド
の保護膜が形成されるとともに、るつぼの外側にまわり
込む蒸発材料はなく、正常な状態を保つことができた。
を観察したところ、この発明のアルミ・チタン合金を用
いた場合には、黒鉛るつぼの内面にチタン・カーバイド
の保護膜が形成されるとともに、るつぼの外側にまわり
込む蒸発材料はなく、正常な状態を保つことができた。
【００２３】これに対して、従来の蒸発材料では、黒鉛
るつぼの外側に突沸による蒸発材料の付着が相当量あ
り、そのまま蒸着を続けることができないだけでなく、
再使用もできない状態となった。
るつぼの外側に突沸による蒸発材料の付着が相当量あ
り、そのまま蒸着を続けることができないだけでなく、
再使用もできない状態となった。
【００２４】以上の実験からも予め黒鉛るつぼにアルミ
ニウムとの反応を防止する保護膜をイオンプレーティン
グ等で成膜すること無く、蒸発材料をアルミニウムとチ
タンの合金を用いることで、アルミニウムを安定した状
態で蒸発させることができることが確認できた。
ニウムとの反応を防止する保護膜をイオンプレーティン
グ等で成膜すること無く、蒸発材料をアルミニウムとチ
タンの合金を用いることで、アルミニウムを安定した状
態で蒸発させることができることが確認できた。
【００２５】なお、この発明は、上記実施例に限定する
ものでなく、この発明の要旨を変更しない範囲で各構成
要素に変更を加えるようにしても良い。
ものでなく、この発明の要旨を変更しない範囲で各構成
要素に変更を加えるようにしても良い。
【００２６】
【発明の効果】以上、一実施例とともに具体的に説明し
たようにこの発明のアルミニウム蒸発法によれば、予め
アルミニウムとチタンとを溶融して合金化しておき、こ
れを材料としてアルミニウムを黒鉛るつぼで蒸発するよ
うにしたので、アルミニウムとチタンとが溶融時に反応
して突沸することを防止でき、チタンと黒鉛との反応に
よる保護膜も形成でき、安定した状態でアルミニウムを
蒸発させることができる。
たようにこの発明のアルミニウム蒸発法によれば、予め
アルミニウムとチタンとを溶融して合金化しておき、こ
れを材料としてアルミニウムを黒鉛るつぼで蒸発するよ
うにしたので、アルミニウムとチタンとが溶融時に反応
して突沸することを防止でき、チタンと黒鉛との反応に
よる保護膜も形成でき、安定した状態でアルミニウムを
蒸発させることができる。
【図１】この発明のアルミニム蒸発法の一実施例が適用
される真空蒸着装置の概略構成図である。
される真空蒸着装置の概略構成図である。
１ 黒鉛るつぼ ２ 真空容器 ３ 真空排気系 ４ 電子銃 ５ シャッター ６ 基板
Claims (1)
- 【請求項１】 黒鉛るつぼ内の蒸発材料を加熱してアル
ミニウムを蒸発させるに際し、予めアルミニウムとチタ
ンとを溶融して合金化したものを前記蒸発材料とするこ
とを特徴とするアルミニウム蒸発法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24644093A JPH0776768A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | アルミニウム蒸発法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24644093A JPH0776768A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | アルミニウム蒸発法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0776768A true JPH0776768A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=17148497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24644093A Pending JPH0776768A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | アルミニウム蒸発法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0776768A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685827B1 (ko) * | 2005-02-28 | 2007-02-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증발원, 증착장치 및 박막 형성 방법 |
-
1993
- 1993-09-07 JP JP24644093A patent/JPH0776768A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685827B1 (ko) * | 2005-02-28 | 2007-02-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증발원, 증착장치 및 박막 형성 방법 |
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