JPH0779094A - 電子部品実装装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装着されたノズルの判別、ノズルの装着状態
の判定、確認、あるいはこれに基づく実装制御に用いら
れる制御パラメータの調整などを自動的に実行できる電
子部品実装装置を提供する。 【構成】 ヘッド１は、ｘ軸５およびｙ軸６上に支持さ
れており、このヘッド上の吸着シャフト５１には吸着ノ
ズル５０をＡＴＣ１９により着脱可能である。吸着ノズ
ル５０により吸着した電子部品の姿勢、位置、ないしサ
イズの検出のために設けられたレーザーセンサヘッド４
を利用して吸着ノズル５０ないし吸着ノズル装着部の画
像を光学的に読み取り、この画像をＣＰＵ１７で解析す
ることにより吸着ノズルの装着状態を判定する。「吸着
ノズルの装着状態の判定」には吸着ノズルの結合状態の
判定および確認、吸着ノズルの種別の判定、ないし吸着
ノズルの偏心、変形、減りの判定などが含まれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子部品実装装置、特に
着脱可能な吸着ノズルを介して電子部品を吸着し、回路
基板上に実装する電子部品実装装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、チップマウンタなどの実装装
置において、回路基板にＩＣなどの電子部品を実装する
場合、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸に沿った３次元方向に移動可能な吸
着ノズルにより、供給された部品を負圧により吸着し、
その部品を吸着ノズルの中心を基準として、基板上の指
定された位置に搬送する。

【０００３】吸着ノズルは、実装すべき部品に応じて、
種々のサイズないし形状のものをヘッド部分に着脱でき
るようになっている。ノズルの内径は、０．２〜数mm程
度のものが用意される。

【０００４】各種の吸着ノズルは、装置の所定位置に配
列され、実装シーケンス中であってもヘッドをその位置
に移動して目的の吸着ノズルをヘッドに装着できるよう
にした装置が知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この種の装置において
は、目的の吸着ノズルが確実にヘッドに装着されていな
ければ、部品の正確な実装が不可能になるのはいうまで
もない。このために、従来装置では、吸引機構に設けら
れた真空圧センサを利用してノズルの装着の有無を検出
するようにしたものがある。

【０００６】ところが、このような従来の検出系は、吸
引系内の負圧を検出するものであるために、せいぜいノ
ズルがヘッドに装着されているか否かをチェックする程
度の能力しかなく、たとえば、 ・ノズルが完全にヘッドに嵌合しているか ・目的の内径、あるいは形状のノズルが装着されている
か ・ノズルの変形や曲りなどの不具合があるか などの判定は不可能であった。このため、従来では、目
視、手動操作により、装着状態の確認や調整が不可欠で
あり、たとえば、ノズルの偏心などはピックテスタなど
を用いて手動操作により測定し、制御パラメータとして
装置に入力しなければならなかった。

【０００７】本発明の課題は、以上の問題を解決し、装
着されたノズルの判別、ノズルの装着状態の判定、確
認、あるいはこれに基づく実装制御に用いられる制御パ
ラメータの調整などを自動的に実行できる電子部品実装
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本発明においては、吸着ノズルの画像を読み取
り、この画像データに基いて吸着ノズルの装着状態、つ
まり、吸着ノズルの結合状態の判定および確認、吸着ノ
ズルの種別の判定、ないし吸着ノズルの偏心、変形ない
し減りの判定などを行ない、また、必要な場合はその結
果に基づき実装制御パラメータの補正を行なう構成を採
用した。

【０００９】

【作用】以上の構成によれば、真空圧センサを利用した
従来構成よりも、きめ細かくノズルの判別、ノズルの装
着状態を判定することができ、ノズルの装着、交換など
の動作の大部分を自動的に実行できるようになる。

【００１０】

【実施例】以下、図面に示す実施例に基づき、本発明を
詳細に説明する。

【００１１】図１に本発明を採用した電子部品実装装置
の構造を示す。図１において符号１は部品を吸着し、搬
送するためのヘッドで、このヘッド１は、ｘ軸５および
ｙ軸６上に支持されており、ＤＣサーボモータからなる
ｘ軸モータ７およびｙ軸モータ８の駆動により、不図示
の基台上でｘｙ方向に、また、ｚモータ３により、ｘｙ
平面に直交するｚ軸方向に移動可能となっている。さら
に、ヘッド１には吸着した部品を回転させるために、θ
モータ２が設けられている。各モータは、パルスモータ
などから構成される。

【００１２】θモータ２、ｚモータ３、ｘ軸モータ７、
ｙ軸モータ８は、それぞれ、θ軸ドライバ１６、ｚ軸ド
ライバ１５（これらドライバはパルスジェネレータ内
蔵）、ｘｙサーボドライバ１１、ｘｙパルスジェネレー
タ１４を介してＣＰＵ１７により制御される。ここで
は、パルスジェネレータとしてはｘｙパルスジェネレー
タ１４のみを図示しているが、ｘ、ｙ軸だけ特別なパル
スジェネレータが存在する理由は、ｘ、ｙ軸のパルスプ
ロフィールがｚ、θ軸の単純な台形のプロフィールに対
しｘ、ｙ軸がｓｉｎ波形で加減速をする特別なプロフィ
ールを出力する必要があるためである。ｘ軸モータ７、
ｙ軸モータ８の駆動量は、エンコーダ９、１０によりｘ
ｙサーボドライバ１１にフィードバックされる。

【００１３】吸着した部品の位置は、レーザーセンサヘ
ッド４により検出される。このレーザーセンサヘッド４
は、本発明では、後述のように吸着ノズルの装着状態の
検出にも利用される。

【００１４】ＣＰＵ１７は、ヘッドの各モータを制御す
ることにより、部品実装全体を制御するとともに、後述
の本発明に係わる制御、すなわち、吸着ノズルの装着状
態を検出する制御を行なう。ＣＰＵ１７の制御プログラ
ムは、メモリ１８内のＲＯＭなどに構成される。ＣＰＵ
１７には、ｉ／ｏ１３を介して吸着ノズル着脱機構（Ａ
ＴＣ１９）など他の周辺装置が接続される。

【００１５】図２に、ヘッド１まわりの構造を示す。図
２において符号５０は吸着ノズルであり、この吸着ノズ
ル５０は、吸着シャフト５１の先端に不図示の嵌合溝、
ないし突起などを介して嵌合される。

【００１６】吸着シャフト５１は、軸まわりに回転可能
かつ、ｚ軸（図の上下）方向に移動可能にヘッド１上に
支持される。吸着シャフト５１のｚ軸方向の移動は、ラ
ックアンドピニオン３２を介してｚモータ３により制御
される。ｚモータ３の駆動量は、ｚエンコーダ３１によ
りＣＰＵ１７にフィードバックされる。

【００１７】吸着シャフト５１のθ軸周りの回転は、ベ
ルト２２を介してθモータ２により制御される。θモー
タ２の駆動量は、θエンコーダ２１によりＣＰＵ１７に
フィードバックされる。

【００１８】吸着シャフト５１の上端には、図の上部に
示した吸引系が設けられている。吸引路６５には、真空
発生器６１が設けられており、真空発生器６１の負圧
は、電磁弁６２により制御される。真空発生器６１およ
び吸着シャフト５１間の吸引路６５には、真空圧センサ
６０が設けられており、この真空圧センサ６０を介して
ＣＰＵ１７により吸着ノズル５０に印加する負圧が制御
される。

【００１９】レーザーセンサヘッド４は、ヘッド１に固
定されたレーザーヘッド発光部４１およびレーザーヘッ
ド受光部４２から構成される。レーザーヘッド発光部４
１はレーザーダイオード４３およびレンズ４４から、ま
た、レーザーヘッド受光部４２は、レーザーヘッド発光
部４１の照射するレーザー光４５を受光するリニアＣＣ
Ｄアレイ４６から構成される。

【００２０】吸着ノズル５０ないしこれに吸着された部
品は、θモータ２およびｚモータ３の制御によりレーザ
ーセンサヘッド４のレーザー光４５の光路に挿入、離脱
できるようになっている。

【００２１】図３は、吸着ノズル５０の着脱機構（ＡＴ
Ｃ：Automatic Tool Change）を示している。スライ
ドプレート５２は、装置の基台上の所定位置に矢印方向
に移動可能に支持され、スライドプレート５２の位置
は、たとえばエアシリンダ５３などの駆動手段により制
御される。

【００２２】スライドプレート５２上には、種々の形
状、サイズを有する吸着ノズル５０が配列されており、
吸着シャフト５１をスライドプレート５２上の所定位置
に移動し、エアシリンダ５３によりスライドプレート５
２を移動して所望の吸着ノズル５０を吸着シャフト５１
下部に整列させ、吸着シャフト５１を下降させることに
より、不図示の吸着ノズル５０および吸着シャフト５１
の嵌合機構を介して吸着ノズル５０を装着できる。

【００２３】スライドプレート５２には、図示のように
一部が狭く構成された開口があり、この開口の狭い部分
により吸着ノズル５０とスライドプレート５２が係合す
る。したがって、吸着ノズル５０の装着後、吸着シャフ
ト５１を上昇させる際、エアシリンダ５３により開口の
広い部分に吸着ノズル５０が移動するようにスライドプ
レート５２の位置を調節することにより、目的の吸着ノ
ズル５０をスライドプレート５２から外すことができ
る。

【００２４】図４は、レーザーセンサヘッド４の要部を
示している。レーザーダイオード４３の光はレンズ４４
により平行光に変換され、リニアＣＣＤアレイ４６方向
に照射される。リニアＣＣＤアレイ４６は、たとえば、
２５００ピクセル程度から構成され、１４μm／ピクセ
ル程度の解像度を有する。

【００２５】ヘッド１上でのリニアＣＣＤアレイ４６の
位置はあらかじめ精密に決定されており、レーザーセン
サヘッド４内に吸着した部品を位置決めし、レーザー光
４５の遮光部分の位置、サイズ（幅）を検出することに
より、部品の位置、姿勢を検出することができる。

【００２６】本発明では、レーザーセンサヘッド４は吸
着シャフト５１に吸着ノズル５０の装着状態を検出する
ためにも使用する。ここで、レーザーセンサヘッド４に
より検出できる「吸着ノズル５０の装着状態」には、吸
着ノズル５０の有無、装着された吸着ノズル５０の種類
（形状、サイズ）、ｚ軸方向の吸着ノズル５０の吸着シ
ャフト５１への嵌合状態、ｚ軸周りの吸着ノズル５０の
吸着シャフト５１への嵌合（偏心）状態、吸着ノズル５
０の変形や曲り、などが含まれる。

【００２７】図５以下に、ＣＰＵ１７により実行される
吸着ノズル５０の装着状態判定処理を各種示す。図示の
手順は、ＣＰＵ１７の制御プログラムとしてメモリ１８
に格納される。

【００２８】図５は、ＡＴＣ１９（図３）により吸着ノ
ズル５０を交換する際、交換が正常に行なわれたか否か
を判定する処理を示している。

【００２９】ステップＳ１〜Ｓ３は、交換前の判定で、
ステップＳ１では、レーザーセンサヘッド４のレーザー
光４５の位置に吸着ノズル５０の高さを合せる。これ
は、レーザーセンサヘッド４のリニアＣＣＤアレイ４６
の出力を監視しながらｚモータ３を駆動することにより
行なう。吸着ノズル５０の高さが合ったら、ステップＳ
２において装着されている吸着ノズル５０の画像データ
をリニアＣＣＤアレイ４６から取得する。

【００３０】ステップＳ３では、取得した吸着ノズル５
０の画像データの影の幅（図４のｒ）をチェックするこ
とによりノズルの有無を判定する。ここで、規定の幅が
得られなかった場合には、既に吸着シャフト５１から吸
着ノズル５０の脱落（あるいは変形など）が生じている
可能性があるので、ステップＳ１２に移行する。ステッ
プＳ１２では、ブザー音やランプ点滅などにより操作者
に警告を発生する。

【００３１】ステップＳ４〜Ｓ７では、装着されている
吸着ノズル５０をＡＴＣ１９に戻す際の判定を行なう。
ステップＳ４ではｘ軸モータ７、ｙ軸モータ８を駆動
し、ヘッド１をＡＴＣ１９上に移動する。そして、ステ
ップＳ５においてｚモータ３を駆動し、吸着ノズル５０
をＡＴＣ１９の規定の位置に戻す。詳細には、ここでス
ライドプレート５２を操作し、その狭い開口部にこの開
口の狭い部分により吸着ノズル５０を係合させる操作が
行なわれる（図３参照）。

【００３２】ステップＳ６、Ｓ７では、ステップＳ２、
Ｓ３同様に吸着ノズル５０の画像データを取得し、その
影の幅をチェックすることによりノズルの有無を判定す
る。ただし、ここでは、ノズルのＡＴＣ１９への戻し処
理を行なった直後であるから、ノズルが有りと判定され
た場合にステップＳ１２に移行して警告を発生する。

【００３３】ステップＳ８〜Ｓ１１は、別の吸着ノズル
５０を装填する際の判定を示している。ここでは、ステ
ップＳ８において、スライドプレート５２を移動するこ
とによりヘッド１を装填すべき別のノズル上に移動す
る。ステップＳ９では、ｚモータ３により吸着シャフト
５１を降下させて、吸着シャフト５１の嵌合機構を介し
て吸着ノズル５０を吸着シャフト５１に装着する。

【００３４】ステップＳ６、Ｓ１０では、ステップＳ
２、Ｓ３同様に吸着ノズル５０の画像データを取得し、
その影の幅をチェックすることによりノズルの有無を判
定する。ここでは、吸着ノズル５０の装着処理を行なっ
た直後であるから、ノズルが無しと判定された場合にス
テップＳ１２に移行して警告を発生する。

【００３５】ステップＳ１３では、吸着ノズル５０が正
常に装着されているので、必要に応じてランプ点灯など
によりその旨を表示する。

【００３６】図５では、吸着ノズル５０の装着状態は、
ノズルの有無の判断として示したが、図６のように吸着
ノズル５０と吸着シャフト５１の嵌合状態を識別するこ
ともできる。ここでは、ステップＳ１４で吸着ノズル５
０を吸着シャフト５１に装着し、ステップＳ１５であら
かじめ判っている吸着ノズル５０の長さに応じて、吸着
ノズル５０の先端がレーザーセンサヘッド４のレーザー
光４５よりもｚモータ３の駆動ステップ幅で２ステップ
分だけ高くなるようにｚモータ３を制御して吸着ノズル
５０を位置決めする。

【００３７】なお、この動作は、リニアＣＣＤアレイ４
６の出力については開ループ制御とし、ｚモータ３の駆
動制御はｚエンコーダ３１のみを使用して行なう。ここ
で２ステップ分だけ吸着ノズル５０がレーザー光４５よ
りも高くなるようにするのは、サーボ系の誤差を見込ん
だものである。

【００３８】ステップＳ１６では、リニアＣＣＤアレイ
４６から画像データを取得し、そのデータをステップＳ
１７で解析することより、図７左側のように吸着ノズル
５０の先端を検出していない場合のみ正常な装着と判定
（ステップＳ１８）し、一方、吸着ノズル５０が定位置
まで吸着シャフト５１に嵌合しておらず、図７右側のよ
うに吸着ノズル５０の先端を検出している場合不完全な
装着と判定（ステップＳ１９）する。

【００３９】図６の処理は、たとえば、図５のステップ
Ｓ３、Ｓ１１などにおいて実行することができる。

【００４０】また、レーザーセンサヘッド４による光学
的な測定により、図８のようにしてノズルの曲りを判定
することもできる。ここでは、ノズルの曲りは、偏心を
介して測定する。

【００４１】図８のステップＳ２０では、吸着ノズル５
０を吸着シャフト５１に装着し、ｚモータ３により吸着
ノズル５０先端がレーザーセンサヘッド４のレーザー光
４５を遮る位置まで移動する。

【００４２】ステップＳ２２〜Ｓ２５では、リニアＣＣ
Ｄアレイ４６の画像取得（ステップＳ２２）、ノズルの
中心位置の検出（ステップＳ２３）、およびθモータ２
を駆動して吸着ノズル５０を４５°回転させる（ステッ
プＳ２４）処理を、ステップＳ２５で吸着ノズル５０が
１回転したことを検出するまで繰り返す（図９）。ステ
ップＳ２３のノズルの中心位置（図４のＣ）の検出は、
吸着ノズル５０先端の影の幅の中点を求めることにより
行なう。

【００４３】ステップＳ２６では、ステップＳ２３で検
出したノズルの中心位置の｜最大値−最小値｜を求める
（リニアＣＣＤアレイ４６の一端から他端へ座標軸が延
びているものとする）。

【００４４】ノズルの中心位置の｜最大値−最小値｜
は、図９における２Ｒに相当し、ステップＳ２７におい
て、この絶対値が所定以上の場合には、ノズルの偏心大
と判定し（ステップＳ２９）、絶対値が所定未満の場合
には、ノズルの偏心小と判定する（ステップＳ２８）。

【００４５】吸着ノズル５０の偏心が大と判定された場
合には、なんらかの理由でノズル先端が曲っていると判
断できる。

【００４６】図１０は、吸着ノズル５０先端の減りを検
出する処理を示している。図１０のステップＳ３０〜Ｓ
３５は、図６のステップＳ１４〜Ｓ１９とそれぞれほぼ
同じであり、ステップＳ３１の処理のみが異なってい
る。

【００４７】ステップＳ３１では、吸着ノズル５０の先
端がレーザーセンサヘッド４のレーザー光４５を遮る位
置に移動する。この処理も、リニアＣＣＤアレイ４６の
出力については開ループの制御でｚモータ３を制御する
ことにより行なう。吸着ノズル５０の先端が減っている
場合には、ステップＳ３３において、吸着ノズル５０の
幅として図１１のように所定の幅をレーザー光４５から
検出できないので、この場合にはノズルの減り（あるい
は欠落）と判定（ステップＳ３５）する。

【００４８】図１２は、ノズルの種類の判定処理を示
す。ユーザがＡＴＣ１９へのノズルの装填順序を誤まる
ことも考えられるので、ノズルの種類を判定可能とする
ことは正確な部品実装を行なう上で極めて重要である。

【００４９】図１２では、まず、目的の吸着ノズル５０
を吸着シャフト５１に装着（ステップＳ３６）し、ｚモ
ータ３を駆動して、吸着ノズル５０を、その所定部がレ
ーザーセンサヘッド４のレーザー光４５を遮る位置まで
移動する（ステップＳ３７）。そして画像データを取得
（ステップＳ３８）し、吸着ノズル５０の幅を測定する
（ステップＳ３９）。

【００５０】各吸着ノズル５０のサイズはあらかじめ判
っているから、測定した吸着ノズル５０の幅をステップ
Ｓ４０で解析することにより、所期の吸着ノズル５０が
装着されているかどうか（ステップＳ４１、Ｓ４２）を
判定することができる。

【００５１】ところで、吸着ノズル５０は、吸着シャフ
ト５１（θ軸）について偏心して装着される場合がある
が、また、吸着シャフト５１そのものが偏心しているこ
とも考えられる。図１３のような手順により、このよう
な偏心状態を検出し、補正パラメータとして記憶してお
けば、真の吸着ノズル（部品）中心位置を基準として部
品実装が行なえるようになる。

【００５２】図１３の手順では、実際に部品実装に使用
する吸着ノズル５０のかわりに治具ノズルを吸着シャフ
ト５１に装填して使用する。この治具ノズルは、きわめ
て精度よく成型されたノズルで図１３のキャリブレーシ
ョン処理のみにおいて使用される。図１３のステップＳ
４３では、この治具ノズルを装着し、ステップＳ４４で
ｚモータ３を駆動して、治具ノズルの所定部がレーザー
センサヘッド４のレーザー光４５を遮る位置まで移動す
る。

【００５３】ステップＳ４５では、θモータ２を回転駆
動し、所定のθ＝０°の位置まで吸着シャフト５１を回
転させる。ステップＳ４６〜Ｓ４９では、吸着シャフト
５１（θ軸）を９０°づつ回転させながら（ステップＳ
４８）、画像データを取得（ステップＳ４６）し、ノズ
ル中心位置をメモリ１８のＥＥＰＲＯＭ領域などに記憶
する（ステップＳ４７）。この処理は、３６０°のθ軸
回転が検出されるまで続行される。

【００５４】このようにして、θ＝０°、９０°、１８
０°、３６０°におけるノズル中心位置を偏心データと
してメモリ１８に記憶できるので、この偏心データに基
づき実際の部品実装時に部品の中心位置を真の位置に補
正することができ、より正確な実装処理が可能になる。

【００５５】従来のノズルの偏心補正では、ピックテス
タなどを用いて手動操作により測定し、補正パラメータ
として手動入力するなどの面倒な操作が必要であった
が、図１３の処理によれば、自動的に偏心補正を行なう
ことができ、装置の取り扱いは極めて容易になる。

【００５６】

【発明の効果】以上から明らかなように、本発明によれ
ば、吸着ノズルの画像を読み取り、この画像データに基
いて吸着ノズルの装着状態、つまり、吸着ノズルの結合
状態の判定および確認、吸着ノズルの種別の判定、ない
し吸着ノズルの偏心、変形ないし減りの判定などを行な
い、また、必要な場合はその結果に基づき実装制御パラ
メータの補正を行なう構成を採用しているので、従来構
成よりもきめ細かくノズルの判別、吸着ノズルの装着状
態を判定することができ、吸着ノズルの装着、交換など
の動作の大部分を自動的に実行できるようになり、取り
扱いが簡単で確実な吸着ノズルの装着に基づき、正確な
部品実装を行なえる優れた電子部品実装装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を採用した電子部品実装装置の制御系の
構成を示したブロック図である。

【図２】図１の装置のヘッド部分を示した説明図であ
る。

【図３】図１の装置のＡＴＣ部分を示した説明図であ
る。

【図４】図１の装置のレーザーセンサヘッドの要部を示
した説明図である。

【図５】図１の装置における吸着ノズル交換時の制御を
示したフローチャート図である。

【図６】図１の装置における吸着ノズル装着状態の判定
を示したフローチャート図である。

【図７】図６の検出制御を示した説明図である。

【図８】図１の装置における吸着ノズルの曲り（偏心）
を検出する制御を示したフローチャート図である。

【図９】図８の検出制御を示した説明図である。

【図１０】図１の装置における吸着ノズルの減りを検出
する制御を示したフローチャート図である。

【図１１】図１０の検出制御を示した説明図である。

【図１２】図１の装置における吸着ノズルの種類を検出
する制御を示したフローチャート図である。

【図１３】図１の装置における吸着ノズルの偏心を自動
補正する制御を示したフローチャート図である。

【符号の説明】

１ ヘッド ２ θモータ ３ ｚモータ ４ レーザーセンサヘッド ５ ｘ軸 ６ ｙ軸 ７ ｘ軸モータ ８ ｙ軸モータ １１ ｘｙサーボドライバ １４ ｘｙパルスジェネレータ １５ ｚ軸ドライバ １６ θ軸ドライバ １７ ＣＰＵ １８ メモリ １９ ＡＴＣ ２２ ベルト ３２ ラックアンドピニオン ４１ レーザーヘッド発光部 ４２ レーザーヘッド受光部 ４３ レーザーダイオード ４４ レンズ ４６ リニアＣＣＤアレイ ５０ 吸着ノズル ５１ 吸着シャフト ５２ スライドプレート ５３ エアシリンダ ６０ 真空圧センサ ６１ 真空発生器 ６２ 電磁弁 ６５ 吸引路

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 着脱可能な吸着ノズルを介して電子部品
   を吸着し、回路基板上に実装する電子部品実装装置にお
   いて、 吸着ノズルないし装置の吸着ノズル装着部の画像を光学
   的に読み取る手段と、 前記読み取り手段により読み取られた画像を解析するこ
   とにより吸着ノズルの装着状態を判定する判定手段を有
   することを特徴とする電子部品実装装置。
2. 【請求項２】 前記の、吸着ノズルの装着状態の判定処
   理には吸着ノズルの結合状態の判定および確認、吸着ノ
   ズルの種別の判定、ないし吸着ノズルの偏心、変形ない
   し減りの判定のいずれかが含まれることを特徴とする請
   求項１に記載の電子部品実装装置。
3. 【請求項３】 前記読み取り手段は、吸着した部品の姿
   勢、位置、ないしサイズの検出のために画像読み取りを
   行なう手段を兼ねることを特徴とする請求項１に記載の
   電子部品実装装置。
4. 【請求項４】 吸着ノズル交換のための着脱機構を有
   し、この着脱機構による吸着ノズル着脱処理中の所定タ
   イミングにおいて吸着ノズルの装着状態判定を行なうこ
   とを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装装置。
5. 【請求項５】 前記読み取り手段から取得した画像デー
   タに基いて、吸着ノズルの偏心状態に対応する補正デー
   タを取得し、この補正データに基いて電子部品ないし吸
   着ノズルの位置を真の位置に補正することを特徴とする
   請求項１に記載の電子部品実装装置。