JPH0779170B2 - 太陽電池及びその製法 - Google Patents

太陽電池及びその製法

Info

Publication number
JPH0779170B2
JPH0779170B2 JP59270577A JP27057784A JPH0779170B2 JP H0779170 B2 JPH0779170 B2 JP H0779170B2 JP 59270577 A JP59270577 A JP 59270577A JP 27057784 A JP27057784 A JP 27057784A JP H0779170 B2 JPH0779170 B2 JP H0779170B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solar cell
upper layer
groove
grooves
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59270577A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60158678A (ja
Inventor
ロス ウエンハム スチユアート
アンドリユー グリーン マーチン
Original Assignee
ユニサーチ リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ユニサーチ リミテッド filed Critical ユニサーチ リミテッド
Publication of JPS60158678A publication Critical patent/JPS60158678A/ja
Publication of JPH0779170B2 publication Critical patent/JPH0779170B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/70—Surface textures, e.g. pyramid structures
    • H10F77/703—Surface textures, e.g. pyramid structures of the semiconductor bodies, e.g. textured active layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one photovoltaic cell covered by group H10F10/00, e.g. photovoltaic modules
    • H10F19/20—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one photovoltaic cell covered by group H10F10/00, e.g. photovoltaic modules comprising photovoltaic cells in arrays in or on a single semiconductor substrate, the photovoltaic cells having planar junctions
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/20—Electrodes
    • H10F77/206—Electrodes for devices having potential barriers
    • H10F77/211—Electrodes for devices having potential barriers for photovoltaic cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
    • Y10S438/94—Laser ablative material removal

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は太陽電池及びその製造方法に関する。
太陽電池を照りつける長波長光は、吸収される前に、平
均して、短波長光より電池内により深く侵入する。それ
ゆえ、長波長光の光子により生じた少数キャリヤは電池
の整流接合によって収集される前により多く移動しなけ
ればならない。その結果、長波長光子から生ずる少数キ
ャリヤが再結晶が生じる前に収集される機会は、短波長
光子から生ずる少数キャリヤのそれより非常に少ない。
この結果は、宇宙環境で使用される太陽電池において非
常に著しい。それは、少数キャリヤの寿命の減少を生じ
る放射線損傷によるからである。
宇宙空間環境における少数キャリヤの寿命の減少という
結果に打勝つための試みにおいて、複数の溝が、電池の
整流接合の形成前に、基板の表面に化学的エッチングに
よって製造され、溝内に設けられた接合が基板深部に形
成された少数キャリヤの収集を助けるように基板内に深
く侵入した太陽電池が生産されている。
しかしながら、基板への溝の形成は短絡回路電流密度に
改良を与えるが、化学的エッチングに関連する複雑化は
この解決策の実施を高価にする。特に、大量生産される
地上用太陽電池の場合は顕著である。
溝付き太陽電池は溝なし太陽電池と比べて高い変換効率
を有している。しかしながら、より高い交換効率を有す
る太陽電池が要求されている。
一方、地上使用用に製造された溝なし太陽電池において
は、上部層につけられた金属接点グリッドはコストを最
小に保つためにスクリーン印刷によりしばしばつけられ
る。しかし、スクリーン印刷は達成できる最小寸法に制
限がある。これら制限は一般に150μｍの最小接点幅お
よび少なくとも3mmの最小接点間隔である。これら接点
寸法では、横方向の抵抗を最小にするためには、25Ω／
□から50Ω／□程度の上部層面積抵抗率を提供すること
が必要である。しかし、面積抵抗率のこのような低い値
は光起電力効果を劣化させる。この問題は宇宙空間用の
太陽電池においては、際だっていない。なぜならば、宇
宙空間用の太陽電池におていては、もっと複雑な接点形
成方法が使用されており、その方法はずっと狭い間隔を
有した細い接点の使用を可能にしている。その結果、電
池の直列抵抗を落とすことなく、高い面積抵抗率が使用
され得る。しかしながら、宇宙空間用電池に使用される
接点形成方法はそれらの製造コストに相当に加算され
る。
従って、本発明の目的は、より高い変換効率を有する低
コストの太陽電池及びその製造方法を提供することであ
る。
本発明による太陽電池は、表面に複数の溝又は凹みが形
成された半導体基板と、該半導体基板とは反対の不純物
タイプの半導体材料で形成された上部層と、前記基板と
前記上部層との間に形成された整流接合とを有した太陽
電池において、更に、前記電池の表面に少くとも２つの
メタル導体を有し、このメタル導体と前記溝又は凹みが
交差して前記溝又は凹み中の上層部が前記メタル導体に
電気的に接続され、更に前記上部層は該上部層の前記溝
又は凹み間の領域が前記溝又は凹み内の領域より大きい
面積抵抗率を有する ことを特徴としている。
本発明による太陽電池の製法は、半導体基板の表面に溝
又は凹みのパターンをけがく工程と、前記半導体基板の
表面に前記半導体基板とは反対の不純物タイプの半導体
材料で、前記基板との間に前記溝又は凹み内に延在する
整流接合を形成するように、上部層を形成する工程とを
有し、更に前記電池の表面に少くとも２つのメタル導体
を形成して、このメタル導体と前記溝又は凹みが交差し
て前記溝又は凹み中の上部層が前記メタル導体に電気的
に接続されるよう形成し、更に前記けがき工程はレーザ
ーけがき装置によって行われており、前記上部層は該上
部層の前記溝又は凹み間の領域が前記溝又は凹み内の領
域より大きい面積抵抗率を有するように形成されている
ことを特徴としている。
レーザけがきは結晶損傷を引き起こす。結晶損傷は、次
の高温度処理の間、基板内の不純物がそこへ向かって移
動するゲッタリング部位を提供し、これによって、基板
内の少数キャリヤの寿命を伸ばすことによって太陽電池
の性能を高める。本発明者は、レーザーけがきによる溝
付き太陽電池は化学的エッチングによって溝を形成した
太陽電池と比較して、少数キャリヤの寿命を50％以上も
伸ばすことを実験により確認した。溝又は凹み間の領域
が高抵抗率を有することは光起電力効果を高め、太陽電
池の性能を高める。溝又は凹み内の領域が低抵抗率を有
することは太陽電池全体の直列抵抗を減少させると共に
上部層から電流を導通させるのに使用される接点フィン
ガーの間隔をより広くすることを可能にし、それによ
り、低コストの接点フィンガー形成方法の使用を許す。
レーザーけがきもまた化学的エッチングと比べてより低
コストの成形方法である。故に、太陽電池の製造コスト
は低減される。
本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。
第１図を参照すると、基板10は裏面接点11および上部表
面に整流接合12とを有する。ｐ−タイプまたはｎ−タイ
プの半導体材料のいずれかであるが、本実施例ではｐ−
タイプの半導体材料である基板10と、基板の上部表面に
延在し、基板10とは反対の不純物タイプの半導体材料で
形成された上部層13との間に整流接合12は形成されてい
る。整流接合12の形成前に、レーザーけがき針によって
基板の上部表面にけがかれた溝又は凹み14は、整流接合
面積を大いに増加し、同時に少数キャリヤが生じる区域
により近い領域に整流接合部分を置くことによって、基
板内深くに生じた少数キャリヤ15の収集を容易にする。
本発明による溝又は凹み付き太陽電池の直列抵抗は、溝
又は凹み間の上部層部分で用いられる面積抵抗率よりも
溝14内に形成された上部層13の部分の面積抵抗率を小さ
くするよことによって減少させている。
本発明により作られた溝付太陽電池の場合には、25Ω／
□から50Ω／□程度の面積抵抗率が溝14内の上部層13の
部分に付与され、一方100Ω／□から200Ω／□程度の面
積抵抗率が溝間の上部層の部分に付与される。典型的に
溝は、幅50μｍ、溝間の間隔100μｍであり、金属接点
フィンガー17（第２図参照）は、溝に直角な方向に走
り、スクリーン印刷接点に関して前述した寸法を有して
いる。
溝内の上部層の低い面積抵抗率は、上部層厚さ増加によ
って、短波長（青色）光に対する電池の応答について有
害な結果を有する。それ故、選択された面積抵抗率は、
低い直列抵抗を与える値と青色光への応答をひどく下げ
ない値との間の妥協値である。しかしながら、低い面積
抵抗率が青色光への応答を下げるが、低い直列抵抗、接
合面積の増加による改良された電流密度および基板深部
内への整流接合部分の設置の有益な効果はこの応答低下
を埋め合せる以上のものである。さらに、溝内の低面積
抵抗率は長波長（赤色）光への電池の応答に重要な影響
を与えない。
溝内の低面積抵抗率の上部層の宇宙空間用電池への使用
は、これら電池の接点フィンガーをもっと広間隔にする
ことを可能にし、これによって、安価な構成方法の使用
を許し、従って、電池の製造コストを低減する。
溝内領域が溝間領域より低い面積抵抗を持つ事は種々の
方法で達成される。例えば、以下のような方法がある。
（イ） 拡散特性が拡散原料の付着される層の厚さに依
存するスピンオン（spin−on）又はスプレーオン（spra
y−on）拡散を使用する方法。スピンオンあるいはスプ
レーオンに適した多くの液体拡散源は付着される層が最
大の厚さである領域に、より多くの拡散を自動的に生ぜ
しめる。溝間の部分より溝内の部分に、より厚い層を付
着させる事は比較的簡単である。なぜならば、重力、毛
細管現象及び表面張力の総てが、拡散原料の単位面積当
たり大なる量が溝間の部分より溝内の部分に付着するこ
とに寄与するからである。よって、溝内領域は溝間領域
より小さい面積抵抗率を持つ。
（ロ） （溝及び溝間の部分を含む）全面に大量の拡散
を施し、大量に拡散されたシリコンの一部を化学エッチ
ングまたはプラズマエッチングによって除去する方法。
希釈異方性エッチング液（水酸化カリウム又は水酸化ナ
トリウム等）あるいは希釈等方性エッチング液（硝酸及
び酢酸と組合された希釈弗化水素等）に基づく化学エッ
チング液は、溝内の部分では少ないエッチング率を生ず
る。それは、エッチング液が自然枯渇によって溝内に届
きにくい事及び溝間の領域のエッチング液と比較して溝
内のエッチング液にはエッチング液を補充することが比
較的困難であることによる。そのために、エッチングが
最大である上面に、より大きい面積抵抗率が、エッチン
グが妨げられる溝内に、より小さい面積抵抗率が生ず
る。プラズマエッチングは、見えるところにある領域す
なわち溝間領域が溝の側壁等の隠された領域すなわち溝
内領域より、より大なる率でエッチングすることができ
る。エッチング率が小さい領域は、より小さい面積抵抗
率である。
（ハ） 拡散源の適用の後に、シリコンを局部的に加熱
するためにレーザーを使用する方法。下方にあるシリコ
ン中への添加物（dopant）の拡散は、拡散されるシリコ
ンの温度によって非常に大きく決定される。レーザーに
よるスキャンはシリコンの局部的加熱を可能にし、それ
故、スキャンされた領域内により多くの拡散を可能にす
る。本発明においては、溝内の部分である。よって、溝
内領域は溝間領域より小さい面積抵抗率を持つ。
（ニ） 溝形成前にシリコン面を酸化物あるいは絶縁層
でカバーする方法。溝形成前にシリコン面が酸化物ある
いは絶縁層でカバーされている、即ち、保護されている
ならば、拡散過程において、添加物（dopant）が、シリ
コンが直接露出された溝内よりも保護された領域のシリ
コン内に侵入することはずっと困難である。従って、よ
り多くの拡散が、上面すなわち溝間領域よりも溝内領域
に生ずる。よって、溝内領域は溝間領域より小さい面積
抵抗率を持つ。
電池表面内の溝14は、また、遮光通路として作用するこ
とによって電池の反−反射特性を改良する。溝間の電池
の表面を照射し電池によって吸収されない光16aは表面
によって反射され消耗する。しかしながら、溝14内の１
つの表面を照射し吸収されない光16bは、光の投射の角
度と溝の形状によるが、一般的には溝の他の表面上に反
射される。電池の上部表面に直角に落ちる光16aのため
に、溝14内の反射数は大きくなり、これによって溝から
外へ反射される光の割合は減少する。
溝内の整流接合の位置及び整流接合の面積増加による電
流密度の改良と同様に、より以上の改良は、基板表面の
レーザーけがきの間、ゲッタリング部位が作られ、それ
によってその後の高温度処理の間ゲッタリングが増進さ
れることによると考えられる。
ゲッタリングとは、高温度処理の間、不純物が基板の特
定領域に引かれる工程であり、代表的なゲッタリング部
位は拡散工程によって生じた応力集中区域であり、レー
ザーけがきによって生じた結晶構造損傷の領域である。
レーザーけがき工程は、結晶構造に著しい量の損傷を生
ぜしめ、従って沢山のゲッタリング部位がこの工程によ
って生じる。
基板内の不純物の個数の減少は、ゲッタリングの結果、
少数キャリヤの寿命を増加し、従って再結合が生じる前
に整流接合12が収集される少数キャリヤの確率を増加す
る効果を有している。本発明の発明者によれば、レーザ
ーけがきによる溝付き太陽電池は化学的エッチングによ
る溝付き太陽電池と比較して、少数キャリヤの寿命を50
％以上も伸ばすことが実験により確認されている。
第３図を参照すると、該実施例においては、第２図の金
属接点フィンガー17は金属絶縁半導体（MIS）接点によ
って置換され、上部層13が薄くドープされた区域であ
り、整流接合12の整流効果は、上部層上の絶縁材18の薄
い層と、該絶縁材18の層上に形成された金属または厚く
ドープされた多結晶の接点フィンガー19とを有するMIS
接点によって補強されている。フィンガー19は第２図に
示された金属接点フィンガー17と同様な形状に配列され
る。しかし、絶縁層はシリコン酸化物のような透明な絶
縁層を用いることによって電池の全表面上に形成される
か、あるいはフィンガー19の領域内のみで形成されるか
のいずれかである。
本発明においては、溝又は凹みはレーザーけがきによっ
て形成されており、又、上部層は溝内領域より溝間領域
の方が高い面積抵抗率を有している。レーザーけがき工
程は結晶損失を引き起こす。結晶損傷は、次の高温度処
理の間、基板内の不純物がそこへ向かって移動するゲッ
タリング部位を提供し、これによって、基板内の少数キ
ャリヤの寿命を伸ばすことによって太陽電池の性能を高
める。溝又は凹み間の領域が高抵抗率を有することは光
起電力効果を高め、太陽電池の性能を高める。従って、
高変換効率を有する太陽電池が提供される。溝又は凹み
内の領域が低抵抗率を有することは太陽電池全体の直列
抵抗を減少させると共に上部層から電流を導通させるの
に使用される接点フィンガーの間隔をより広くすること
を可能にし、それにより、低コストの接点フィンガー形
成方法の使用を許す。レーザーけがきもまた化学的エッ
チングと比べてより低コストの成形方法である。故に、
太陽電池の製造コストは低減され、低コスト太陽電池が
提供される。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明によって製造された太陽電池の第一実施
例の概略断面図。第２図は第一実施例の上面図、第３図
は本発明によって製造された太陽電池の第二実施例の概
略断面図である。 10……基板、11……裏面接点、12……整流接合、13……
上部層、14……溝又は凹み、15……少数キャリヤ、16a,
16b……光、17……接点フィンガー、18……絶縁材、19
……接点フィンガー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マーチン アンドリユー グリーン オーストラリア国ニユー サウス ウエー ルズ，ウエイバーリイ，ブランドフオード アベニユー 10 (56)参考文献 特開 昭51−36087（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−39483（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−125551（ＪＰ，Ｕ)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】表面に複数の溝又は凹みが形成された半導
    体基板と、該半導体基板とは反対の不純物タイプの半導
    体材料で形成された上部層と、前記基板と前記上部層と
    の間に形成された整流接合とを有した太陽電池におい
    て、 更に、前記電池の表面に少くとも２つのメタル導体を有
    し、このメタル導体と前記溝又は凹みが交差して前記溝
    又は凹み中の上層部が前記メタル導体に電気的に接続さ
    れ、更に 前記上部層は該上部層の前記溝又は凹み間の領域が前記
    溝又は凹み内の領域より大きい面積抵抗率を有する ことを特徴とする太陽電池。
  2. 【請求項２】特許請求の範囲第（１）項記載の太陽電池
    において、前記上部層の前記溝又は凹み間の領域の面積
    抵抗率は100−200Ω／□の範囲にあることを特徴とする
    太陽電池。
  3. 【請求項３】特許請求の範囲第（１）又は（２）項記載
    の太陽電池において、前記上部層の前記溝又は凹みの領
    域の面積抵抗率は25−50Ω／□の範囲にある ことを特徴とする太陽電池。
  4. 【請求項４】半導体基板の表面に溝又は凹みのパターン
    をけがく工程と、前記半導体基板の表面に前記半導体基
    板とは反対の不純物タイプの半導体材料で、前記基板と
    の間に前記溝又は凹み内に延在する整流接合を形成する
    ように、上部層を形成する工程とを有する太陽電池の製
    法において、 前記電池の表面に少くとも２つのメタル導体を形成し
    て、このメタル導体と前記溝又は凹みが交差して前記溝
    又は凹み中の上部層が前記メタル導体に電気的に接続さ
    れるよう形成され、更に 前記けがき工程はレーザーけがき装置によって行われて
    おり、前記上部層は該上部層の前記溝又は凹み間の領域
    が前記溝又は凹み内の領域より大きい面積抵抗率を有す
    るように形成される ことを特徴とする太陽電池の製法。
  5. 【請求項５】特許請求の範囲第４項記載の太陽電池の製
    法において、前記上部層の前記溝又は凹み間の領域の面
    積抵抗率は100−200Ω／□の範囲になるよう形成したこ
    とを特徴とする太陽電池の製法。
  6. 【請求項６】特許請求の範囲第４又は５項記載の太陽電
    池の製法において、前記上部層は、前記溝又は凹みの領
    域に於て25−50Ω／□の面積抵抗率を持つよう形成した
    ことを特徴とする太陽電池の製法。
JP59270577A 1983-12-23 1984-12-21 太陽電池及びその製法 Expired - Lifetime JPH0779170B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU3004 1983-12-23
AUPG300483 1983-12-23

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7069933A Division JP2593063B2 (ja) 1983-12-23 1995-03-28 レーザ溝付け太陽電池

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60158678A JPS60158678A (ja) 1985-08-20
JPH0779170B2 true JPH0779170B2 (ja) 1995-08-23

Family

ID=3770459

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59270577A Expired - Lifetime JPH0779170B2 (ja) 1983-12-23 1984-12-21 太陽電池及びその製法
JP7069933A Expired - Lifetime JP2593063B2 (ja) 1983-12-23 1995-03-28 レーザ溝付け太陽電池

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7069933A Expired - Lifetime JP2593063B2 (ja) 1983-12-23 1995-03-28 レーザ溝付け太陽電池

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4626613A (ja)
JP (2) JPH0779170B2 (ja)
DE (1) DE3446885A1 (ja)

Families Citing this family (90)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2579832B1 (fr) * 1985-03-26 1987-11-06 Centre Nat Etd Spatiales Procede d'allegement de cellules solaires et cellules ainsi obtenues
US4755663A (en) * 1986-12-08 1988-07-05 Bell Communications Research, Inc. Textured surface, graded gap switch for transmission line optical detectors
US5024953A (en) * 1988-03-22 1991-06-18 Hitachi, Ltd. Method for producing opto-electric transducing element
US5082791A (en) * 1988-05-13 1992-01-21 Mobil Solar Energy Corporation Method of fabricating solar cells
US5081049A (en) * 1988-07-18 1992-01-14 Unisearch Limited Sculpted solar cell surfaces
JPH0323678A (ja) * 1989-06-20 1991-01-31 Mitsubishi Electric Corp 受光発電素子
US5468652A (en) * 1993-07-14 1995-11-21 Sandia Corporation Method of making a back contacted solar cell
EP0676614B1 (en) * 1994-04-11 2001-06-20 International Business Machines Corporation Calibration standards for profilometers and methods of producing them
US5631190A (en) * 1994-10-07 1997-05-20 Cree Research, Inc. Method for producing high efficiency light-emitting diodes and resulting diode structures
US5601687A (en) * 1995-09-11 1997-02-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Mask design
AUPN703895A0 (en) * 1995-12-07 1996-01-04 Unisearch Limited Solar cell contacting machine
DE19741832A1 (de) * 1997-09-23 1999-03-25 Inst Solarenergieforschung Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle und Solarzelle
DE19819200B4 (de) * 1998-04-29 2006-01-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Solarzelle mit Kontaktstrukturen und Verfahren zur Herstellung der Kontaktstrukturen
JP3311319B2 (ja) * 1998-10-02 2002-08-05 キヤノン株式会社 光学ユニット、光学ユニットを用いた光学機器
AUPR174800A0 (en) 2000-11-29 2000-12-21 Australian National University, The Semiconductor processing
US7294779B2 (en) * 2001-01-31 2007-11-13 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Solar cell and method for producing the same
IL162190A0 (en) 2001-11-29 2005-11-20 Origin Energy Solar Pty Ltd Semiconductor texturing process
GB2392307B8 (en) * 2002-07-26 2006-09-20 Detection Technology Oy Semiconductor structure for imaging detectors
AT6980U1 (de) * 2003-05-21 2004-07-26 Haas Franz Waffelblatt
US7649141B2 (en) * 2003-06-30 2010-01-19 Advent Solar, Inc. Emitter wrap-through back contact solar cells on thin silicon wafers
DE10352423B3 (de) * 2003-11-10 2005-01-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Verminderung der Reflexion an Halbleiteroberflächen
US7144751B2 (en) * 2004-02-05 2006-12-05 Advent Solar, Inc. Back-contact solar cells and methods for fabrication
US7335555B2 (en) * 2004-02-05 2008-02-26 Advent Solar, Inc. Buried-contact solar cells with self-doping contacts
US20050172996A1 (en) 2004-02-05 2005-08-11 Advent Solar, Inc. Contact fabrication of emitter wrap-through back contact silicon solar cells
KR100580329B1 (ko) * 2004-06-25 2006-05-16 삼성전자주식회사 범프가 형성된 배선 필름, 이를 이용한 필름 패키지 및 그제조 방법
JP4393938B2 (ja) 2004-07-16 2010-01-06 信越化学工業株式会社 電極材料及び太陽電池、並びに太陽電池の製造方法
US7351448B1 (en) * 2004-07-27 2008-04-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Anti-reflective coating on patterned metals or metallic surfaces
US8420435B2 (en) * 2009-05-05 2013-04-16 Solexel, Inc. Ion implantation fabrication process for thin-film crystalline silicon solar cells
US8399331B2 (en) 2007-10-06 2013-03-19 Solexel Laser processing for high-efficiency thin crystalline silicon solar cell fabrication
US9508886B2 (en) 2007-10-06 2016-11-29 Solexel, Inc. Method for making a crystalline silicon solar cell substrate utilizing flat top laser beam
FR2881879B1 (fr) * 2005-02-08 2007-03-09 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation de contacts metal/semi-conducteur a travers un dielectrique.
US20060289777A1 (en) * 2005-06-29 2006-12-28 Wen Li Detector with electrically isolated pixels
EP1989740B2 (de) * 2006-02-28 2019-05-22 Hanwha Q CELLS GmbH Solarzellenmarkierverfahren und solarzelle
EP1892767A1 (en) * 2006-08-22 2008-02-27 BP Solar Espana, S.A. Unipersonal Photovoltaic cell and production thereof
US8035028B2 (en) * 2006-10-09 2011-10-11 Solexel, Inc. Pyramidal three-dimensional thin-film solar cells
US8512581B2 (en) 2006-10-09 2013-08-20 Solexel, Inc. Methods for liquid transfer coating of three-dimensional substrates
US7999174B2 (en) 2006-10-09 2011-08-16 Solexel, Inc. Solar module structures and assembly methods for three-dimensional thin-film solar cells
US20100304521A1 (en) * 2006-10-09 2010-12-02 Solexel, Inc. Shadow Mask Methods For Manufacturing Three-Dimensional Thin-Film Solar Cells
US8293558B2 (en) * 2006-10-09 2012-10-23 Solexel, Inc. Method for releasing a thin-film substrate
US8193076B2 (en) 2006-10-09 2012-06-05 Solexel, Inc. Method for releasing a thin semiconductor substrate from a reusable template
US8035027B2 (en) 2006-10-09 2011-10-11 Solexel, Inc. Solar module structures and assembly methods for pyramidal three-dimensional thin-film solar cells
US7851696B2 (en) * 2006-12-08 2010-12-14 Q-Cells Se Solar cell
US8257998B2 (en) * 2007-02-15 2012-09-04 Massachusetts Institute Of Technology Solar cells with textured surfaces
EP1965439A3 (de) * 2007-02-28 2010-03-24 Centrotherm Photovoltaics Technology GmbH Verfahren zur Oberflächentexturierung
JP2008235521A (ja) * 2007-03-20 2008-10-02 Sanyo Electric Co Ltd 半導体基板の割断方法及び太陽電池の割断方法並びに太陽電池
TWI354382B (en) * 2007-06-01 2011-12-11 Huga Optotech Inc Semiconductor substrate with electromagnetic-wave-
CN101868861B (zh) * 2007-09-13 2013-01-02 加斯·戴 能量接收面板中的三维光电模块
MY165985A (en) * 2007-11-05 2018-05-21 Dsm Ip Assets Bv Photovoltaic device
JP5222372B2 (ja) * 2008-03-10 2013-06-26 ソーラーエクセル ベスローテン フェノーツハップ 光起電力装置および光起電力装置の製造方法
KR101631711B1 (ko) * 2008-03-21 2016-06-17 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 확산용 인 페이스트 및 그것을 이용한 태양 전지의 제조 방법
WO2009118861A1 (ja) * 2008-03-27 2009-10-01 三菱電機株式会社 光起電力装置およびその製造方法
US20090250093A1 (en) * 2008-04-08 2009-10-08 Zupei Chen Enhanced concentrator PV pannel
US8173038B2 (en) * 2008-04-18 2012-05-08 Corning Incorporated Methods and systems for forming microstructures in glass substrates
TWI493605B (zh) * 2008-06-11 2015-07-21 Ind Tech Res Inst 背面電極層的製造方法
EP2139048A1 (en) * 2008-06-23 2009-12-30 Photon BV Photovoltaic device with improved spectral response
US8294026B2 (en) 2008-11-13 2012-10-23 Solexel, Inc. High-efficiency thin-film solar cells
US8288195B2 (en) * 2008-11-13 2012-10-16 Solexel, Inc. Method for fabricating a three-dimensional thin-film semiconductor substrate from a template
MY160251A (en) * 2008-11-26 2017-02-28 Solexel Inc Truncated pyramid -structures for see-through solar cells
US8680430B2 (en) * 2008-12-08 2014-03-25 Electro Scientific Industries, Inc. Controlling dynamic and thermal loads on laser beam positioning system to achieve high-throughput laser processing of workpiece features
US8926803B2 (en) 2009-01-15 2015-01-06 Solexel, Inc. Porous silicon electro-etching system and method
US8906218B2 (en) 2010-05-05 2014-12-09 Solexel, Inc. Apparatus and methods for uniformly forming porous semiconductor on a substrate
US9076642B2 (en) 2009-01-15 2015-07-07 Solexel, Inc. High-Throughput batch porous silicon manufacturing equipment design and processing methods
MY162405A (en) * 2009-02-06 2017-06-15 Solexel Inc Trench Formation Method For Releasing A Thin-Film Substrate From A Reusable Semiconductor Template
JP2010219407A (ja) 2009-03-18 2010-09-30 Toshiba Corp メッシュ構造を有する電極を具備した太陽電池及びその製造方法
US8828517B2 (en) 2009-03-23 2014-09-09 Solexel, Inc. Structure and method for improving solar cell efficiency and mechanical strength
CN102427971B (zh) * 2009-04-14 2015-01-07 速力斯公司 高效外延化学气相沉积(cvd)反应器
US9099584B2 (en) * 2009-04-24 2015-08-04 Solexel, Inc. Integrated three-dimensional and planar metallization structure for thin film solar cells
US9318644B2 (en) 2009-05-05 2016-04-19 Solexel, Inc. Ion implantation and annealing for thin film crystalline solar cells
EP2427914A4 (en) 2009-05-05 2013-06-05 Solexel Inc HIGH PRODUCTION PLANT FOR THE PRODUCTION OF POROUS SEMICONDUCTORS
US8445314B2 (en) * 2009-05-22 2013-05-21 Solexel, Inc. Method of creating reusable template for detachable thin film substrate
US8551866B2 (en) * 2009-05-29 2013-10-08 Solexel, Inc. Three-dimensional thin-film semiconductor substrate with through-holes and methods of manufacturing
US20110061711A1 (en) * 2009-09-12 2011-03-17 Yuhao Luo Building-integrated solar photovoltaic panel
US8324015B2 (en) 2009-12-01 2012-12-04 Sunpower Corporation Solar cell contact formation using laser ablation
MY166305A (en) 2009-12-09 2018-06-25 Solexel Inc High-efficiency photovoltaic back-contact solar cell structures and manufacturing methods using thin planar semiconductor absorbers
WO2011100647A2 (en) 2010-02-12 2011-08-18 Solexel, Inc. Double-sided reusable template for fabrication of semiconductor substrates for photovoltaic cell and microelectronics device manufacturing
JP5318285B2 (ja) * 2010-05-17 2013-10-16 三菱電機株式会社 光起電力装置の製造方法
US9870937B2 (en) 2010-06-09 2018-01-16 Ob Realty, Llc High productivity deposition reactor comprising a gas flow chamber having a tapered gas flow space
US9991407B1 (en) * 2010-06-22 2018-06-05 Banpil Photonics Inc. Process for creating high efficiency photovoltaic cells
US8263899B2 (en) 2010-07-01 2012-09-11 Sunpower Corporation High throughput solar cell ablation system
US9108269B2 (en) * 2010-07-26 2015-08-18 Hamamatsu Photonics K. K. Method for manufacturing light-absorbing substrate and method for manufacturing mold for making same
EP2601687A4 (en) 2010-08-05 2018-03-07 Solexel, Inc. Backplane reinforcement and interconnects for solar cells
US8735213B2 (en) * 2010-12-23 2014-05-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Electrode, photoelectric conversion device using the electrode, and manufacturing method thereof
US9153713B2 (en) 2011-04-02 2015-10-06 Csi Cells Co., Ltd Solar cell modules and methods of manufacturing the same
EP2710639A4 (en) 2011-05-20 2015-11-25 Solexel Inc SELF-ACTIVATED FRONT PANEL PRE-VOLTAGE FOR A SOLAR CELL
US8916410B2 (en) 2011-05-27 2014-12-23 Csi Cells Co., Ltd Methods of manufacturing light to current converter devices
CN102268702A (zh) * 2011-07-07 2011-12-07 中南大学 铜铟镓硒薄膜的光电化学沉积制备法
US20130025663A1 (en) * 2011-07-27 2013-01-31 International Business Machines Corporation Inverted pyramid texture formation on single-crystalline silicon
CN107322167A (zh) * 2017-07-10 2017-11-07 北京工业大学 一种在玻璃表面产生规则纹理结构的方法
USD945952S1 (en) 2019-05-07 2022-03-15 Louis Fredrick Kiefer, III Solar tower
US12615012B1 (en) * 2025-07-02 2026-04-28 Armando Moncada Linearly corrugated panel system for solar panels and other radiation-based applications

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3150999A (en) * 1961-02-17 1964-09-29 Transitron Electronic Corp Radiant energy transducer
US3278337A (en) * 1962-08-24 1966-10-11 Int Rectifier Corp Device for converting radiant energy into electrical energy
JPS5162663A (ja) * 1974-11-27 1976-05-31 New Nippon Electric Co Mesagatahandotaisoshino seizohoho
US4081289A (en) * 1975-12-24 1978-03-28 Campbell Iii William Patrick Solar energy system
US4044222A (en) * 1976-01-16 1977-08-23 Western Electric Company, Inc. Method of forming tapered apertures in thin films with an energy beam
US4348254A (en) * 1978-12-27 1982-09-07 Solarex Corporation Method of making solar cell
JPS55108762U (ja) * 1979-01-22 1980-07-30
US4352948A (en) * 1979-09-07 1982-10-05 Massachusetts Institute Of Technology High-intensity solid-state solar-cell device
US4300434A (en) * 1980-05-16 1981-11-17 Kawai Musical Instrument Mfg. Co., Ltd. Apparatus for tone generation with combined loudness and formant spectral variation
JPS5749278A (en) * 1980-09-08 1982-03-23 Mitsubishi Electric Corp Amorphous silicone solar cell
US4427839A (en) * 1981-11-09 1984-01-24 General Electric Company Faceted low absorptance solar cell
US4409423A (en) * 1982-03-09 1983-10-11 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Hole matrix vertical junction solar cell
JPS58159761U (ja) * 1982-04-20 1983-10-25 シャープ株式会社 太陽電池

Also Published As

Publication number Publication date
JP2593063B2 (ja) 1997-03-19
JPS60158678A (ja) 1985-08-20
US4626613A (en) 1986-12-02
DE3446885A1 (de) 1985-07-11
JPH0837318A (ja) 1996-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0779170B2 (ja) 太陽電池及びその製法
US12439730B2 (en) Solar cells
JP2023016702A (ja) 太陽電池及びその不動態化接触構造、電池モジュール並びに光起電システム
KR101655249B1 (ko) 후방 접촉 슬리버 셀
KR101160112B1 (ko) 함몰전극형 태양전지의 제조방법
JP7595198B1 (ja) 太陽電池及びその製造方法、光起電力モジュール
KR19990063990A (ko) 부분적으로 깊게 확산된 에미터가 있는 자가조정식(salde) 태양 전지 및 그 제조 방법
KR102189279B1 (ko) 기판에 보론 도핑된 영역을 제공하는 방법 및 이러한 기판을 이용한 태양 전지
KR20130052627A (ko) 선택적 전면 필드를 구비한 후면 접합 태양전지
JP2006120945A (ja) 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
EP4510806A2 (en) Heterojunction solar cell and manufacturing method thereof, and photovoltaic module
WO2023093604A1 (zh) 太阳能电池以及太阳能电池的制备方法
US8609451B2 (en) Insitu epitaxial deposition of front and back junctions in single crystal silicon solar cells
JP2011061020A (ja) 裏面コンタクト型太陽電池素子およびその製造方法
JP4325912B2 (ja) 太陽電池素子及びその製造方法
KR101153376B1 (ko) 후면전극 태양전지 및 그 제조방법
KR20100089473A (ko) 고효율 후면 전극형 태양전지 및 그 제조방법
WO2012117558A1 (ja) 光起電力装置およびその製造方法、光起電力モジュール
CN209675298U (zh) 一种太阳电池结构
JP2005260157A (ja) 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
JP3368145B2 (ja) 太陽電池セルの製造方法
Honsberg et al. New insights gained through pilot production of high‐eficiency silicon solar cells
CN209641679U (zh) 一种n型选择性发射极太阳能电池
KR20120041340A (ko) 태양 전지의 제조 방법
JP5029921B2 (ja) 太陽電池セルの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term