JPH0782076B2 - プローブコンタクト用ステージ装置 - Google Patents
プローブコンタクト用ステージ装置Info
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- JPH0782076B2 JPH0782076B2 JP34752092A JP34752092A JPH0782076B2 JP H0782076 B2 JPH0782076 B2 JP H0782076B2 JP 34752092 A JP34752092 A JP 34752092A JP 34752092 A JP34752092 A JP 34752092A JP H0782076 B2 JPH0782076 B2 JP H0782076B2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示デバイス
（ＬＣＤと称する）の接続パターン等にプローブを接触
させて、試験、検査等を行うのに利用されるプローブコ
ンタクト用ステージ装置に関するものである。
（ＬＣＤと称する）の接続パターン等にプローブを接触
させて、試験、検査等を行うのに利用されるプローブコ
ンタクト用ステージ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤの点灯状態を試験、検査する場
合、ＬＣＤをパレット上に平面的に載置し、このパレッ
トを平面的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、回転（θ）方向に位
置調整し、所定位置に設置されているプローブを近付け
て、接続パターンに電気的接触を行い、試験、検査を行
っている。
合、ＬＣＤをパレット上に平面的に載置し、このパレッ
トを平面的にＸ軸方向、Ｙ軸方向、回転（θ）方向に位
置調整し、所定位置に設置されているプローブを近付け
て、接続パターンに電気的接触を行い、試験、検査を行
っている。
【０００３】ここで、パレットを調整する装置は、Ｘ軸
方向用のステージ、Ｙ軸方向用のステージ、θ方向用の
ステージを積み重ねることにより構成されている。そし
て、パレット及びその上面のＬＣＤを位置調整する場
合、ビデオカメラにより監視しており、調整位置パター
ンを写し出して調整作業を行っている。
方向用のステージ、Ｙ軸方向用のステージ、θ方向用の
ステージを積み重ねることにより構成されている。そし
て、パレット及びその上面のＬＣＤを位置調整する場
合、ビデオカメラにより監視しており、調整位置パター
ンを写し出して調整作業を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】まず従来のステージ装
置によると、Ｘ、Ｙ軸、θ方向の各ステージが積み重ね
られているために、厚みが非常に大きく、ステージ全体
の高さが高く、作業者の視点も高くなり見にくいと言う
問題がある。また、ビデオカメラにより調整状況を監視
する場合、ビデオカメラの配置位置が問題となる。調整
位置パターンを監視する場合、ビデオカメラをＬＣＤの
鉛直方向の上側、または下側に配置することになるが、
上側に配置した場合、作業側にカメラが突出し危険であ
る。またＬＣＤの装着や取り外し時にカメラが邪魔にな
り作業性が悪い。カメラが作業者に接触することがあ
り、このような場合、カメラの光軸が狂い正確な位置パ
ターンの監視が得られなくなる。ＬＣＤの下側にカメラ
を配置して監視する場合、バックライトと干渉し、良好
な監視像を得られなくなる。また、ＬＣＤの配置位置を
高くせざるを得ず、作業者の視点が高くなり作業性が悪
い。
置によると、Ｘ、Ｙ軸、θ方向の各ステージが積み重ね
られているために、厚みが非常に大きく、ステージ全体
の高さが高く、作業者の視点も高くなり見にくいと言う
問題がある。また、ビデオカメラにより調整状況を監視
する場合、ビデオカメラの配置位置が問題となる。調整
位置パターンを監視する場合、ビデオカメラをＬＣＤの
鉛直方向の上側、または下側に配置することになるが、
上側に配置した場合、作業側にカメラが突出し危険であ
る。またＬＣＤの装着や取り外し時にカメラが邪魔にな
り作業性が悪い。カメラが作業者に接触することがあ
り、このような場合、カメラの光軸が狂い正確な位置パ
ターンの監視が得られなくなる。ＬＣＤの下側にカメラ
を配置して監視する場合、バックライトと干渉し、良好
な監視像を得られなくなる。また、ＬＣＤの配置位置を
高くせざるを得ず、作業者の視点が高くなり作業性が悪
い。
【０００５】そこでこの発明は、位置調整ステージが薄
型化し、調整作業が容易であり、また監視用ビデオカメ
ラの配置空間に余裕が得られ、ビデオカメラのために作
業上で支障が生じることのないようにし精度の高いコン
タクトが行えるステージ装置を提供することを目的とす
る。
型化し、調整作業が容易であり、また監視用ビデオカメ
ラの配置空間に余裕が得られ、ビデオカメラのために作
業上で支障が生じることのないようにし精度の高いコン
タクトが行えるステージ装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、被検査板体
が所定位置に載置されるパレットと、前記パレットを上
面で平面的に可動自在に受けるベースと、前記ベース上
の前記パレットをそのエッジ方向から駆動して、Ｘ軸方
向、これと直交するＹ軸方向、及び平面回転方向に位置
調整する調整手段と、光導入部を前記ベース上面に配置
し、途中を前記ベース内部に通し、光導出部を前記ベー
スのエッジに導き、さらにこの光導出部をカメラ部に導
くことにより、前記調整手段により上記パレットが位置
調整される状態を前記カメラ部に接続されたモニタで監
視できるようにした光学系路とを備えるものである。
が所定位置に載置されるパレットと、前記パレットを上
面で平面的に可動自在に受けるベースと、前記ベース上
の前記パレットをそのエッジ方向から駆動して、Ｘ軸方
向、これと直交するＹ軸方向、及び平面回転方向に位置
調整する調整手段と、光導入部を前記ベース上面に配置
し、途中を前記ベース内部に通し、光導出部を前記ベー
スのエッジに導き、さらにこの光導出部をカメラ部に導
くことにより、前記調整手段により上記パレットが位置
調整される状態を前記カメラ部に接続されたモニタで監
視できるようにした光学系路とを備えるものである。
【０００７】
【０００８】
【作用】上記の手段により、調整手段が平面的であり、
装置全体を薄型化することができ、かつ光学系路により
監視用ビデオカメラをパレット周辺から隔離した位置に
配置できる。
装置全体を薄型化することができ、かつ光学系路により
監視用ビデオカメラをパレット周辺から隔離した位置に
配置できる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１０】図１はこの発明の一実施例である。１００
は長方形のベースである。このベース１００は例えばプ
ローブの下側の所定位置に配設されている。ベース１０
０の上面中央には、長方形のパレット２００が載置され
る。このパレット２００の面積は、ベース１００のそれ
よりも小さく、ベース上を平面的に可動自在なように、
スライドベアリング１１１（図１（Ｂ）参照）を介して
載置されている。
は長方形のベースである。このベース１００は例えばプ
ローブの下側の所定位置に配設されている。ベース１０
０の上面中央には、長方形のパレット２００が載置され
る。このパレット２００の面積は、ベース１００のそれ
よりも小さく、ベース上を平面的に可動自在なように、
スライドベアリング１１１（図１（Ｂ）参照）を介して
載置されている。
【００１１】ベース１００のＸ軸方向の一辺側の上面に
は、例えばプランジャー１０１、１０１が取り付けら
れ、パレット２００のエッジを弾性的に矢印Ｘ（−）方
向へ押さえるように構成されている。このプランジャー
１０１、１０１に対向したベース１００の他方の辺側の
上面には、調整ねじ１０４が軸受け１０３に縲合されて
おり、この調整ねじ１０４を所定方向に回転すると、パ
レット２００のエッジを押し、Ｘ（＋）方向にパレット
２００を駆動することができる。また、ベース１００の
Ｙ軸方向の一辺側の上面には、例えばプランジャー１０
２、１０２が取り付けられ、パレット２００のエッジを
弾性的に矢印Ｙ（−）方向へ押さえるように構成されて
いる。このプランジャー１０２、１０２に対向したベー
ス１００の他方の辺側の上面には、調整ねじ１０６、１
０８が軸受け１０５、１０７に縲合されており、この調
整ねじ１０６、１０８を所定方向に回転すると、パレッ
ト２００のエッジを押し、Ｙ（＋）方向にパレット２０
０を駆動することができる。回転（θ）方向の調整は、
調整ねじ１０６、１０８の回転量により調整することが
できる。
は、例えばプランジャー１０１、１０１が取り付けら
れ、パレット２００のエッジを弾性的に矢印Ｘ（−）方
向へ押さえるように構成されている。このプランジャー
１０１、１０１に対向したベース１００の他方の辺側の
上面には、調整ねじ１０４が軸受け１０３に縲合されて
おり、この調整ねじ１０４を所定方向に回転すると、パ
レット２００のエッジを押し、Ｘ（＋）方向にパレット
２００を駆動することができる。また、ベース１００の
Ｙ軸方向の一辺側の上面には、例えばプランジャー１０
２、１０２が取り付けられ、パレット２００のエッジを
弾性的に矢印Ｙ（−）方向へ押さえるように構成されて
いる。このプランジャー１０２、１０２に対向したベー
ス１００の他方の辺側の上面には、調整ねじ１０６、１
０８が軸受け１０５、１０７に縲合されており、この調
整ねじ１０６、１０８を所定方向に回転すると、パレッ
ト２００のエッジを押し、Ｙ（＋）方向にパレット２０
０を駆動することができる。回転（θ）方向の調整は、
調整ねじ１０６、１０８の回転量により調整することが
できる。
【００１２】次に、パレット２００の中央部の所定位置
には、液晶表示デバイス（ＬＣＤ）３００を配置できる
ようになっている。パレット２００の位置調整を行うこ
とにより、ＬＣＤ３００のコンタクトに対する位置決め
が行われる。
には、液晶表示デバイス（ＬＣＤ）３００を配置できる
ようになっている。パレット２００の位置調整を行うこ
とにより、ＬＣＤ３００のコンタクトに対する位置決め
が行われる。
【００１３】ところでこのシステムによると、パレット
２００の位置決め（つまりＬＣＤ３００の位置決め）を
行う際、ＬＣＤ３００の例えば配線パターンをビデオカ
メラにより拡大撮像して、メモリに記憶している基準パ
ターンと画面上で比較し、配線パターンと基準パターン
とが一致するようにパレット２００の位置を調整する仕
組みになっている。
２００の位置決め（つまりＬＣＤ３００の位置決め）を
行う際、ＬＣＤ３００の例えば配線パターンをビデオカ
メラにより拡大撮像して、メモリに記憶している基準パ
ターンと画面上で比較し、配線パターンと基準パターン
とが一致するようにパレット２００の位置を調整する仕
組みになっている。
【００１４】そこで、ベース１００からパレット２００
の開口を通して、ＬＣＤ３００の例えばエッジ部の２か
所（必ずしもこの位置に限定されない）を見て位置合わ
せが行われる。そのために、ベース１００には、上面側
を向いて例えば２か所に光導入部４０１ａ、４０２ａが
設けられている。光導入部４０１ａ、４０２ａには、Ｌ
ＣＤの配線パターンの映像が、上から導入される。この
光導入部４０１ａ、４０２ａに導入された光は、直角に
導かれ、ベース１００のエッジ部の光導出部４０１ｂ、
４０２ｂ（図１（Ｂ）参照）に導出されるように構成さ
れている。この光学系路には、例えば直角プリズムある
は反射鏡が用いられている。光導出部４０１ｂ、４０２
ｂの光は、ビデオカメラに導かれる。ビデオカメラで撮
像された像は、モニタに表示される。モニタでは例えば
基準パターンが映出され、その基準パターンにＬＣＤ３
００の配線パターンが合致するように上記の位置調整手
段によりパレット位置（ＬＣＤ位置）が調整される。パ
ターンが一致した状態では、上側から降下されてくるプ
ローブがＬＣＤの所定の接続ポイントに合致するように
設定されている。つまり、ビデオカメラの撮像位置とプ
ローブ装置のプローブ位置とは予め所定の位置関係に設
定されている。なお、光導入部は、単数でも複数でも良
いし、面積は任意である。
の開口を通して、ＬＣＤ３００の例えばエッジ部の２か
所（必ずしもこの位置に限定されない）を見て位置合わ
せが行われる。そのために、ベース１００には、上面側
を向いて例えば２か所に光導入部４０１ａ、４０２ａが
設けられている。光導入部４０１ａ、４０２ａには、Ｌ
ＣＤの配線パターンの映像が、上から導入される。この
光導入部４０１ａ、４０２ａに導入された光は、直角に
導かれ、ベース１００のエッジ部の光導出部４０１ｂ、
４０２ｂ（図１（Ｂ）参照）に導出されるように構成さ
れている。この光学系路には、例えば直角プリズムある
は反射鏡が用いられている。光導出部４０１ｂ、４０２
ｂの光は、ビデオカメラに導かれる。ビデオカメラで撮
像された像は、モニタに表示される。モニタでは例えば
基準パターンが映出され、その基準パターンにＬＣＤ３
００の配線パターンが合致するように上記の位置調整手
段によりパレット位置（ＬＣＤ位置）が調整される。パ
ターンが一致した状態では、上側から降下されてくるプ
ローブがＬＣＤの所定の接続ポイントに合致するように
設定されている。つまり、ビデオカメラの撮像位置とプ
ローブ装置のプローブ位置とは予め所定の位置関係に設
定されている。なお、光導入部は、単数でも複数でも良
いし、面積は任意である。
【００１５】図２はこの発明の他の実施例である。先の
実施例は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のいずれも調整ねじ１０
４、１０６、１０８により調整したが、図２の実施例
は、Ｘ軸方向へ調整する手段として、ベース１００の軸
受け部を貫通したシャフト５０を設け、これを調整モー
タ５１により回転させることで調整できるようにしたも
のである。よって、先の実施例の調整ねじ１０４の代わ
りに、ベース１００にはボールベアリング５３が設けら
れ、これにより、パレット２００のエッジが押さえられ
ている。また、５４はＸ軸方向ガイド棒である。
実施例は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のいずれも調整ねじ１０
４、１０６、１０８により調整したが、図２の実施例
は、Ｘ軸方向へ調整する手段として、ベース１００の軸
受け部を貫通したシャフト５０を設け、これを調整モー
タ５１により回転させることで調整できるようにしたも
のである。よって、先の実施例の調整ねじ１０４の代わ
りに、ベース１００にはボールベアリング５３が設けら
れ、これにより、パレット２００のエッジが押さえられ
ている。また、５４はＸ軸方向ガイド棒である。
【００１６】なお上記の実施例では、ベース１００に対
してパレット２００を可動自在に支持する手段としてス
ライドベアリング１１１を用いたが、調整の後、真空吸
着装置を用いてパレット２００をベース１００に引き付
け固定状態にするようにしても良い。また調整ねじの駆
動は自動であっても手動であっても良い。さらに、調整
ねじの代わりにマイクロメータまたはリニアアクチュエ
ータであっても適用可能である。
してパレット２００を可動自在に支持する手段としてス
ライドベアリング１１１を用いたが、調整の後、真空吸
着装置を用いてパレット２００をベース１００に引き付
け固定状態にするようにしても良い。また調整ねじの駆
動は自動であっても手動であっても良い。さらに、調整
ねじの代わりにマイクロメータまたはリニアアクチュエ
ータであっても適用可能である。
【００１７】
【発明の効果】上記したこの発明によると、まず、Ｘ
軸、Ｙ軸方向、θ方向の調整手段が平面的に配列される
ために、装置全体が薄型化する。加えて、位置決めを行
うためにビデオシステムで監視する場合、その撮像のた
めの光学系路が、ベースのエッジ側へ光学像を導く構成
になっているために、ベースの上下にビデオカメラ等が
存在しない。このために、ＬＣＤの装着、離脱作業が従
来に比べて極めて容易になり、作業性が向上する。また
テーブル全体の高さも低くなり、作業者が見やすくな
る。さらには、プローブをコンタクトする位置と、ビデ
オカメラにてパターンを撮像する位置が等しいため、精
度の高いコンタクトが行える。
軸、Ｙ軸方向、θ方向の調整手段が平面的に配列される
ために、装置全体が薄型化する。加えて、位置決めを行
うためにビデオシステムで監視する場合、その撮像のた
めの光学系路が、ベースのエッジ側へ光学像を導く構成
になっているために、ベースの上下にビデオカメラ等が
存在しない。このために、ＬＣＤの装着、離脱作業が従
来に比べて極めて容易になり、作業性が向上する。また
テーブル全体の高さも低くなり、作業者が見やすくな
る。さらには、プローブをコンタクトする位置と、ビデ
オカメラにてパターンを撮像する位置が等しいため、精
度の高いコンタクトが行える。
【図１】この発明の一実施例を示す平面図と側面図。
【図２】この発明の他の実施例を示す平面図。
１００…ベース、２００…パレット、３００…ＬＣＤ、
１０１、１０２…プランジャー、１０４、１０６、１０
８…調整ねじ、４０１ａ、４０１ｂ…光導入部。
１０１、１０２…プランジャー、１０４、１０６、１０
８…調整ねじ、４０１ａ、４０１ｂ…光導入部。
Claims (1)
- 【請求項１】被検査板体が所定位置に載置されるパレッ
トと、 前記パレットを上面で平面的に可動自在に受けるベース
と、 前記ベース上の前記パレットをそのエッジ方向から駆動
して、Ｘ軸方向、これと直交するＹ軸方向、及び平面回
転方向に位置調整する調整手段と、光導入部を前記ベース上面に配置し、途中を前記ベース
内部に通し、光導出部を前記ベースのエッジに導き、さ
らにこの光導出部をカメラ部に導くことにより、前記調
整手段により上記パレットが位置調整される状態を前記
カメラ部に接続されたモニタで監視できるようにした 光
学系路と を具備したことを特徴とするプローブコンタクト用ステ
ージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34752092A JPH0782076B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローブコンタクト用ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34752092A JPH0782076B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローブコンタクト用ステージ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201784A JPH06201784A (ja) | 1994-07-22 |
| JPH0782076B2 true JPH0782076B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=18390784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34752092A Expired - Fee Related JPH0782076B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | プローブコンタクト用ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782076B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100646161B1 (ko) * | 1999-06-03 | 2006-11-14 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 기판 얼라인 장치 |
| DE112006002529T5 (de) * | 2005-09-23 | 2008-08-14 | Delta Design, Inc., Poway | Dreipunkt-Sicht-Ausrichtsystem mit einer einzigen Kamera für ein Vorrichtungs-Handhabungsgerät |
| US7842912B2 (en) | 2008-05-23 | 2010-11-30 | Delta Design, Inc. | Camera based vision alignment with device group guiding for semiconductor device testing handlers |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP34752092A patent/JPH0782076B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06201784A (ja) | 1994-07-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |