JPH0782973B2 - 電解コンデンサ素子の電解液真空含浸方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電解コンデンサ素子の電解液真空含浸方法及
び装置に係り、特に真空とした貯溜槽内で電解液中の空
気を真空脱泡した後該電解液を真空含浸槽へ真空圧によ
り吸い上げて供給して電解コンデンサ素子に電解液を含
浸させることにより、大型の電解コンデンサ素子の中心
部にまで電解液を含浸させ、電気的特性の優れた電解コ
ンデンサ素子を製作することができる電解コンデンサ素
子の電解液真空含浸方法及び装置に関する。

従来の技術 従来、複数の電解コンデンサ素子のリード線をクランプ
治具によって整列挾持して電解コンデンサ素子を真空含
浸槽内に搬送して、該真空含浸槽内を真空状態にして電
解コンデンサ素子の本体内部の空気を排除した後、電解
液を供給してこれを該素子の本体内部に含浸させる方法
及び装置が実用に供されている。

しかし該従来方法及び装置によると、真空含浸槽に供給
される電解液は大気中に解放されていて該液内部に空気
を含んでいるため該電解液が真空とされた真空含浸槽へ
供給されたとき該液内部に含まれていた空気が細かい気
泡となって拡散してその一部が電解コンデンサ素子内部
へ電解液と共に浸入してピンホール状の未含浸部分を形
成してしまい、該素子を用いた電解コンデンサの電気的
特性を劣化させるという欠点があった。また真空含浸槽
内において電解液中の空気が急速に泡となって拡散する
ので該電解液が沸騰状態となって各部に飛び跳ね、例え
ばリード線に付着して後工程での半田付け作業での半田
付け不良の原因となる欠点があった。またこれが、自動
組立機の稼動率を低下させる原因ともなっていた。

更に、電解液の脱泡が真空含浸槽内で行われるため、真
空含浸槽内の圧力を必要とする真空度にまで高めるため
には比較的長い時間を要して含浸作業の作業効率が低下
すると共に、大型の電解コンデンサ素子の中心部にまで
十分電解液を含浸させることができないという欠点があ
った。またこのような現象は高耐圧の電解コンデンサに
使用される粘度の高い電解液においては著しく、粘度の
高い電解液を含浸させるためには大型の装置を用いなけ
ればならないという欠点があった。

また、真空含浸の終了後真空含浸槽内の残余の電解液を
貯溜槽へ返送るためダイヤフラム式ポンプ等の専用ポン
プを備えていたので、装置が大型となると共に製作費が
高価となる欠点があった。

目 的 本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされ
たものであって、その目的とするところは、真空とした
貯溜槽内で電解液中の空気を真空脱泡した後、該電解液
を真空含浸槽へ真空圧により吸い上げて供給して電解コ
ンデンサ素子に電解液を含浸させることによって、ピン
ホールの発生を防止すると共に、大型の電解コンデンサ
素子であってもその中心にまで電解液を含浸させること
であり、これによって電解コンデンサ素子の電気的特性
を高めることである。

また他の目的は、真空含浸槽内での電解液の沸騰をなく
すことにより、該電解液の飛び跳ねを防止してリード線
等への電解液の付着を皆無とし、半田付け不良を防止す
ることである。

更に他の目的は、真空含浸槽内に保持された電解コンデ
ンサ素子に真空脱泡して空気を含まない電解液を供給し
て浸漬させて含浸させることにより、比較的小型の装置
を用いて粘度の高い電解液を大型の電解コンデンサ素子
の中心部にまで含浸させて高耐圧の電解コンデンサ素子
を製作できるようにすることである。

また他の目的は、真空含浸槽、貯溜槽、脱液槽及び予備
槽を夫々開閉弁を介してパイプで連通接続して真空圧を
用いて真空含浸槽及び脱液槽内の電解液を貯溜槽へ回収
すると共に該貯溜槽の電解液が不足したとき予備槽から
電解液を補給することにより、電解液供給及び回収のた
めの専用ポンプを不用として装置の製作費を安価にする
と共に、電解液が大気圧に開放される時間を最小として
該液への空気の混入を防止することである。

構 成 要するに本発明方法（請求項１）は、電解コンデンサ素
子に電解液を真空中で含浸させる真空含浸槽と前記電解
液を貯溜する貯溜槽とを開閉弁を介して前記電解液の供
給パイプ及び回収パイプとで連通接続し、前記貯溜槽を
真空として該貯溜槽内の前記電解液中の空気を真空脱泡
した後前記貯溜槽の圧力を大気圧とすると共に前記真空
含浸槽内を真空として前記貯溜槽内の前記電解液を前記
供給パイプから真空圧により吸い上げて供給して前記電
解コンデンサ素子に前記電解液を含浸させた後、前記真
空含浸槽内の圧力を大気圧とすると共に前記貯溜槽内を
真空として前記真空含浸槽内の前記電解液を前記回収パ
イプから真空圧により前記貯溜槽に回収することによ
り、前記電解液中の空気を脱泡した状態で前記電解コン
デンサ素子に含浸させることを特徴とするものである。

また、本発明方法（請求項２）は、貯溜槽内の電解液の
空気を真空脱泡した後真空とした真空含浸槽へ供給して
電解コンデンサ素子に前記電解液を含浸させ、残余の前
記電解液を真空とした前記貯溜槽へ回収すると共に、前
記含浸した電解コンデンサ素子から滴下する前記電解液
を受ける脱液槽に溜まった前記電解液を真空とした前記
貯溜槽に真空圧により回収し、また前記貯溜槽内の前記
電解液が所定の量より少なくなったとき予備槽内の前記
電解液を真空にした前記貯溜槽へ真空圧により補充する
ことを特徴とするものである。

また、本発明装置（請求項３）は、電解コンデンサ素子
を収容して真空中で電解液を含浸させる真空含浸槽と、
前記電解液を貯溜すると共に内部の圧力を真空とするこ
とにより前記電解液中の空気を真空脱泡して前記真空含
浸槽に前記電解液を供給し、また前記真空含浸槽から前
記電解液を回収する貯溜槽と、前記真空含浸槽及び該貯
溜槽内の圧力を所定のタイミングに従って真空とする真
空装置とを備えたことを特徴とするものである。

また、本発明装置（請求項４）は、電解コンデンサ素子
を収容した真空中で電解液を含浸させる真空含浸槽と、
前記電解液を貯溜すると共に内部の圧力を真空とするこ
とにより前記電解液中の空気を真空脱泡して前記真空含
浸槽に前記電解液を供給しまた前記真空含浸槽から前記
電解液を回収する貯溜槽と、前記電解液を含浸した前記
電解コンデンサ素子から滴下する前記電解液を受けて前
記貯溜槽に返送する脱液槽と、前記電解液を貯え前記貯
溜槽の前記電解液の量が所定量より少なくなったとき前
記電解液を補充する予備槽と、前記真空含浸槽と前記貯
溜槽、前記脱液槽と前記貯溜槽及び前記予備槽と前記貯
溜槽とを夫々連通接続して前記各槽間で前記電解液を授
受する開閉弁を備えたパイプ群と、前記真空含浸槽及び
前記貯溜槽内の圧力を所定のタイミングに従って真空と
する真空装置とを備えたことを特徴とするものである。

以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。本発
明に係る電解コンデンサ素子の真空含浸装置１は、真空
含浸槽２と、貯溜槽３と、脱液槽４と、予備槽５と、パ
イプ群６と、真空装置８とを備えている。

第１図及び第２図において、真空含浸槽２は、クランプ
治具９により搬送された複数の電解コンデンサ素子10を
収容して真空にされ、その中に電解液11が供給されて該
電解液が電解コンデンサ素子10に含浸されるようにした
もので、高品質のアルミニウム合金鋳物等の材料で製作
されており、箱形状の含浸槽本体12と密閉蓋13とから構
成されていて、含浸槽本体12の上端部12aにはＯリング
等のシール部材14が装着され、密閉蓋13で密閉できるよ
うになっている。

含浸槽本体12は仕切り板12bにより液室12cと溢水室12d
とに分離されていて、液室12c内に電解液11を注入して
電解コンデンサ素子10に含浸させ、余分の電解液11を仕
切り板12bから流出させ電解コンデンサ素子10のリード
線10aへの付着を防止するようにしてある。また液室12c
の底部には供給口12e及び排出口12fが、溢泡水室12dの
底部には排出口12gが形成されていて、夫々後述する如
くパイプ群６が接続されている。また液室12c内には電
解コンデンサ素子10の本体10bを挾持する挾持部材15と
挾持弾性体16とが対向して配設されていて、揺動軸18を
図示しない装置により揺動させることにより互いに接近
又は離脱する方向に移動させるようになっている。

密閉蓋13には蓋支え軸19が固着されていてＬ字形案内溝
20で案内されながら移動させることにより開閉するよう
になっている。

クランプ治具９は、第３図も参照して、複数の電解コン
デンサ素子10のリード線10aの上端を挾持して該電解コ
ンデンサ素子を搬送するようにしたものであって、一対
の支持部21と、該支持部に回動自在に枢着された一対の
平行板22,23とからなる。支持部21にはクランプ治具９
を搬送装置（図示せず）によって搬送するための搬送溝
21aが形成されており、ひんじ軸24には複数のねじりば
ね25が嵌装され、該ねじりばねの両端（図示せず）は平
行板22,23に固定され、該平行板をその下端22a,23aが互
いに閉じる方向に押圧付勢している。平行板22,23の上
端22b,23bには図示しない外部の作動機構によってこれ
らの平行板を開くための突起22c,22cが夫々一対ずつ形
成されている。

貯溜槽３は、電解液11を貯溜すると共に該電解液を真空
脱泡して真空含浸槽２へ供給するものであって、例え
ば、約500cc程度の容積を持つガラス、ポリプロピレン
等の樹脂、アルミニウム又はステンレス等の金属で製作
された密閉容器である。上部3aにはパイプ群６及び貯溜
された電解液11の液面高さを検知する液面センサ26が配
設され、該液面が所定の高さより低くなると予備槽５か
ら電解液11を補充するようになっている。

脱液槽４は、含浸された電解コンデンサ素子10から滴下
する余剰の電解液11を受けるための箱であって、底部4a
には排出口4bが形成され、該排出口に接続されたパイプ
を通して該電解液を貯溜槽３へ返送するようになってい
る。

予備槽５は、電解液11を収納する箱であって、貯溜槽３
内の電解液11が所定量より少なくなったとき該予備槽内
の電解液を貯溜槽３へ補給するように常時大気圧に開放
されている。

パイプ群６は、真空含浸槽２、貯溜槽３、脱液槽４及び
予備槽５とを互いに連通接続して所定のタイミングで夫
々の電解液を給排するためのものであって、真空含浸槽
２の供給口12eは、開閉弁28aを途中に備えた供給パイプ
29によって貯溜槽３の底部3bより10mm程度上方の位置と
連通接続され、貯溜槽３内の電解液11を真空圧により真
空含浸槽２へ供給するようになっている。また真空含浸
槽２の２つの排出口12f及び12gは、同じく開閉弁28b及
び28cを介して回収パイプ30により貯溜槽３の上方部3c
と連通接続されて液室12c及び溢水室12d内の電解液11を
貯溜槽３へ返送するようになっている。更に、パイプ30
の中間点30a及び30bには、夫々脱液槽４の排出口4bに接
続されたパイプ31及び予備槽５の底部5aよりわずか上方
に一端を開口したパイプ32が開閉弁28d及び28eを介して
連通接続されている。

真空装置８は、真空含浸槽２及び貯溜槽３内の圧力を真
空にするためのものであって公知の真空ポンプ33の回転
軸34に固定されたプーリ35とモータ36の回転軸38に固定
されたプーリ39とにベルト40が巻き掛けられていてモー
タ36の回転が真空ポンプ33に伝達されるようになってい
る。そして真空ポンプ33は、ホース41によってエアバル
ブ42を介して真空含浸槽２と、またホース43によってエ
アバルブ44を介して貯溜槽３と連通接続されている。ま
た真空含浸槽２及び貯溜槽３には、夫々の内部圧力を検
知する真空度センサ45が、更に真空含浸槽２には真空と
された内部を大気と連通されることにより大気圧にもど
すための開放弁46が設けられている。

そして本発明方法（請求項１）は、電解コンデンサ素子
10に電解液11を真空中で含浸される真空含浸槽２と電解
液11を貯溜する貯溜槽３とを開閉弁28a,28b及び28cを介
して電解液の供給パイプ29及び回収パイプ30とで連通接
続し、貯溜槽３を真空として貯溜槽３内の電解液11内の
空気を真空脱泡した後貯溜槽３の圧力を大気圧とすると
共に、真空含浸槽２内を真空として貯溜槽３内の電解液
11を供給パイプ29から真空圧により吸い上げて供給して
電解コンデンサ素子10に電解液11を含浸させた後、真空
含浸槽２内の圧力を大気圧とすると共に貯溜槽３内を真
空として真空含浸槽２内の電解液11を回収パイプ30から
真空圧により貯溜槽３に回収することにより、電解液11
中の空気を脱泡した状態で電解コンデンサ素子10に含浸
させる方法である。

また本発明方法（請求項２）は、貯留槽３内の電解液11
の空気を真空脱泡した後、真空とした真空含浸槽２へ供
給して電解コンデンサ素子10に電解液11を含浸させ、残
余の電解液11を真空とした貯溜槽３へ回収すると共に、
含浸した電解コンデンサ素子10から滴下する電解液11を
受ける脱液槽４に溜まった電解液11を真空とした貯溜槽
３に真空圧により回収し、また貯溜槽３内の電解液11が
所定の量より少なくなったとき予備槽５内の電解液11を
真空にした貯溜槽３へ真空圧により補充する方法であ
る。

作 用 本発明は、上記のように構成されており、以下その作用
について説明する。第１図及び第５図において、複数個
の電解コンデンサ素子10を整列挾持したクランプ治具９
（第３図参照）が図示しない搬送装置により真空含浸槽
２の上方まで搬送され、密閉該13の開いた含浸槽本体12
内に搬入されて該電解コンデンサ素子を挾持部材15と挾
持弾性体16とが液室12c内で挾持した後、平行板22及び2
3が開かれてリード線10aの挾持を開放し電解コンデンサ
素子10を含浸槽本体12の内部に残してクランプ治具９の
みが退避する。該搬入作業と並行して、真空装置８の作
用によりエアバルブ44を開いて貯溜槽３内の空気を吸引
して真空状態として、電解液11内の空気を吸引して脱泡
する。

ここで第５図のタイムチャート線が示す如く密閉蓋13が
真空含浸槽２を密閉する（点ａ）と共にエアバルブ42を
開いて（点ｂ）を真空装置８により真空含浸槽２内の空
気を吸引して真空にする。また、開閉弁28dを開く（点
ｃ）とにより、今まで真空とされていた貯溜槽３内へ脱
液槽４に溜まっていた電解液11が大気と共に開閉弁28
d、パイプ31を通って流入して貯溜槽３の圧力は大気圧
となる。一方真空含浸槽２内の空気は真空装置８により
吸引されて時間と共に真空度が高められ、該真空度が約
20トールに達すると、これを真空度センサ45が検知して
エアバルブ42が閉じられる（点ｄ）。次に開閉弁28aが
開かれる（点ｅ）と貯溜槽３内の脱泡の終了した電解液
11は真空圧によって真空含浸槽２へ供給パイプ29及び開
閉弁28aを通って吸い上げられて液室12cに供給され、該
液室12cに挾持された電解コンデンサ素子10を浸漬して
所定時間保持されるので、該電解コンデンサ素子内部に
あった空気は気泡48として排出されて該電解コンデンサ
素子の中心部にまで電解液11が浸透する（第４図参
照）。また、真空含浸槽２へ供給される電解液11は、貯
溜槽３で脱泡されているので、従来装置のように真空含
浸槽２内で沸騰することがないので、リード線10aを電
解液11で汚すこともない。所定の含浸時間が経過すると
開閉弁28aは閉じられ、（点ｆ）次いで開放弁46が開放
され（点ｇ）て真空含浸槽２の圧力を大気圧にすると共
に、開閉弁28dが閉じられる（点ｈ）。そして所定時間
（t₁）後エアバルブ44が開かれるので（点ｉ）、貯溜槽
３内の空気は再び真空装置８によりホース43を通って吸
引されて該貯溜槽内３は真空となる。貯留槽３の圧力が
所定の真空圧に達すると真空センサ45がこれを検知して
開閉弁28bを開き（点ｊ）、大気圧とされた液室12c内の
電解液11を真空圧によって開閉弁28b及び回収パイプ30
を通して吸引し、貯溜槽３に回収する。また、同時に含
浸の終了した電解コンデンサ素子10を該真空含浸槽から
搬出するために密閉蓋13が図示しない装置により開放さ
れる（点ｈ）。そして液室12c内の電解液11を回収する
に十分な所定時間が経過すると開閉弁28bが閉じられ
（点ｌ）、開閉弁28cが開けられ（点ｍ）て溢水室12d内
にある電解液11を回収パイプ30を通し、同様にして貯溜
槽３に真空圧によって回収した後開閉弁28cを閉じる
（点ｎ）。

次に電解コンデンサ素子10に電解液11を含浸させたこと
により消費された量の電解液11を補充するため、開閉弁
28cが閉じられてから時間t₂経過後に開閉弁28eが開かれ
る（点ｏ）と、大気圧状態の予備槽５に収納されている
電解液11は貯溜槽３の真空圧によって吸引されてパイプ
32及び開閉弁28eを通って貯溜槽３へ補充され、該貯溜
槽３の電解液11の液面11aが所定の高さになると液面セ
ンサ26がこれを検知して開閉弁28eを閉じて（点ｐ）、
電解液11の補充が終了する。このようにして常に消費さ
れた量だけの電解液11が補充されるので貯溜槽３には一
定量の電解液11が確保されており、作業者は予備槽５へ
適宜電解液11を注入するだけで、貯溜槽３の電解液11の
量に特別の注意を払う必要はない。

一方、密閉蓋13が開放された真空含浸槽２内にクランプ
治具１が再び搬入され（点ｑ）、平行板22及び23でリー
ド線10aを挾持して含浸された電解コンデンサ素子10を
搬出し（点ｒ）、脱液槽４に搬送して余剰の電解液11を
滴下させ、又は圧縮空気を吹き付けて取り除く。そして
再び新しい電解コンデンサ素子10を整列挾持したクラン
プ治具９を搬送して真空含浸槽２へ搬入し（点ｓ）て、
挾持部材15と挾持弾性体16との間で挾持した後クランプ
治具９のみを搬出し（点ｔ）、次にエアバルブ44を閉じ
て（点ｕ）貯溜槽３を真空状態に保持して電解液11を真
空脱泡して１サイクルの動作を終了する。

上記した含浸のサイクルが次々と繰り返されて自動的に
電解コンデンサ素子10の含浸が行われる。そして電解液
11は含浸工程のほとんどの時間真空中にあるので、外部
から空気が浸入する機会が少なく、また脱泡された状態
で電解コンデンサ素子10を含浸するので従来、例えば外
径16mm程度のものまでしか処理できなかった容器の装置
においても外径18mm以上の電解コンデンサ素子10の中心
部にまで高粘度の電解液11を完全に含浸させることがで
きる。また、電解液11の各槽間の授受は真空圧だけによ
って行われ、専用のポンプ等を必要としないので、故障
のおそれもなく、また装置の製作費も大幅に低減させる
ことができる。

効 果 本発明は、上記のように真空とした貯溜槽内で電解液中
の空気を真空脱泡した後、該電解液を真空含浸槽へ真空
圧により吸い上げて供給して電解コンデンサ素子に電解
液を含浸させるようにしたので、ピンホール等による未
含浸部の発生が防止できると共に、大型の電解コンデン
サ素子であってもその中心部にまで電解液を含浸させる
ことができる効果があり、またこの結果電解コンデンサ
素子の電気的特性を高めることができる効果がある。ま
た真空含浸槽内での電解液の沸騰をなくしたので、該液
の飛び跳ねを防止してリード線への電解液の付着を皆無
にできる効果があり、またこの結果半田付け不良の発生
が防止できる効果がある。

更に真空とされた真空含浸槽内に保持された電解コンデ
ンサ素子に真空脱泡して空気を含まない電解液を供給し
て浸漬させて含浸させるようにしたので、比較的小型の
装置を用いて粘度の高い電解液を大型の電解コンデンサ
素子の中心部にまで含浸されて高耐圧の電解コンデンサ
素子を製作することができる効果がある。

また、真空含浸槽、貯溜槽、脱液槽及び予備槽を夫々開
閉弁を介してパイプで連通接続して真空圧を用いて真空
含浸及び脱液槽内の電解液を貯溜槽へ回収すると共に、
該貯溜槽の電解液が不足したとき予備槽から電解液を補
給するようにしたので、電解液を供給又は回収するため
の専用ポンプを不要化できる効果があり、またこの結果
装置を安価に製作することができる効果がある。また電
解液が大気圧に解放される時間を最小として該液への空
気の混入を防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例に係り、第１図は電解液真空含浸
装置の全体構成を示す説明図、第２図は真空含浸槽の部
分縦断面図、第３図は電解コンデンサ素子を挾持する状
態を示すクランプ治具の斜視図、第４図は電解コンデン
サ素子が電解液に浸漬されて含浸される状態を示す部分
縦断面拡大図、第５図は電解液真空含浸装置の作動の様
子を説明するタイムチャートである。 １は電解液真空含浸装置、２は真空含浸槽、３は貯溜
槽、４は脱液槽、５は予備槽、６はパイプ群、８は真空
装置、10は電解コンデンサ素子、11は電解液、28a,28b,
28c,28d,28eは開閉弁、29は供給パイプ、30は回収パイ
プである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中澤 健 長野県南安曇郡穂高町大字有明5292番地の １ ファーイーストエンジニアリング株式 会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電解コンデンサ素子に電解液を真空中で含
   浸させる真空含浸槽と前記電解液を貯溜する貯溜槽とを
   開閉弁を介して前記電解液の供給パイプ及び回収パイプ
   とで連通接続し、前記貯溜槽を真空として該貯溜槽内の
   前記電解液中の空気を真空脱泡した後前記貯溜槽の圧力
   を大気圧とすると共に前記真空含浸槽内を真空として前
   記貯溜槽内の前記電解液を前記供給パイプから真空圧に
   より吸い上げて供給して前記電解コンデンサ素子に前記
   電解液を含浸させた後、前記真空含浸槽内の圧力を大気
   圧とすると共に前記貯溜槽内を真空として前記真空含浸
   槽内の前記電解液を前記回収パイプから真空圧により前
   記貯溜槽に回収することにより、前記電解液中の空気を
   脱泡した状態で前記電解コンデンサ素子に含浸させるこ
   とを特徴とする電解コンデンサ素子の電解液真空含浸方
   法。
2. 【請求項２】貯溜槽内の電解液の空気を真空脱泡した後
   真空とした真空含浸槽へ供給して電解コンデンサ素子に
   前記電解液を含浸させ、残余の前記電解液を真空とした
   前記貯溜槽へ回収すると共に、前記含浸した電解コンデ
   ンサ素子から滴下する前記電解液を受ける脱液槽に溜ま
   った前記電解液を真空とした前記貯溜槽に真空圧により
   回収し、また前記貯溜槽内の前記電解液が所定の量より
   少なくなったとき予備槽内の前記電解液を真空にした前
   記貯溜槽へ真空圧により補充することを特徴とする電解
   コンデンサ素子の真空含浸方法。
3. 【請求項３】電解コンデンサ素子を収容して真空中で電
   解液を含浸させる真空含浸槽と、前記電解液を貯溜する
   と共に内部の圧力を真空とすることにより前記電解液中
   の空気を真空脱泡して前記真空含浸槽に前記電解液を供
   給し、また前記真空含浸槽から前記電解液を回収する貯
   溜槽と、前記真空含浸槽及び該貯溜槽内の圧力を所定の
   タイミングに従って真空とする真空装置とを備えたこと
   を特徴とする電解コンデンサ素子の電解液真空含浸装
   置。
4. 【請求項４】電解コンデンサ素子を収容した真空中で電
   解液を含浸させる真空含浸槽と、前記電解液を貯溜する
   と共に内部の圧力を真空とすることにより前記電解液中
   の真空脱泡して前記真空含浸槽に前記電解液を供給しま
   た前記真空含浸槽から前記電解液を回収する貯溜槽と、
   前記電解液を含浸した前記電解コンデンサ素子から滴下
   する前記電解液を受けて前記貯溜槽に返送する脱液槽
   と、前記電解液を貯え前記貯溜槽の前記電解液の量が所
   定量より少なくなったとき前記電解液を補充する予備槽
   と、前記真空含浸槽と前記貯溜槽、前記脱液槽と前記貯
   溜槽及び前記予備槽と前記貯溜槽とを夫々連通接続して
   前記各槽間で前記電解液を授受する開閉弁を備えたパイ
   プ群と、前記真空含浸槽及び前記貯溜槽内の圧力を所定
   のタイミングに従って真空とする真空装置とを備えたこ
   とを特徴とする電解コンデンサ素子の電解液真空含浸装
   置。