JPH0785507B2 - 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ - Google Patents
双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タInfo
- Publication number
- JPH0785507B2 JPH0785507B2 JP61053887A JP5388786A JPH0785507B2 JP H0785507 B2 JPH0785507 B2 JP H0785507B2 JP 61053887 A JP61053887 A JP 61053887A JP 5388786 A JP5388786 A JP 5388786A JP H0785507 B2 JPH0785507 B2 JP H0785507B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric bimorph
- actuator
- bimorph
- hole
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、圧電横効果を利用し電気的入力エネルギを変
位や力の機械エネルギに変換する圧電バイモルフアクチ
ュエータに関し、特に１素子中に２箇所の変位部を有す
る双動作型アクチュエータに関するものである。
位や力の機械エネルギに変換する圧電バイモルフアクチ
ュエータに関し、特に１素子中に２箇所の変位部を有す
る双動作型アクチュエータに関するものである。
従来のバイモルフ型圧電アクチュエータは、片端固定、
片持ち梁の曲げ変位を利用するのが一般的である。とこ
ろが、最近の電子機器やメカトロニクスデバイスの小型
化、高精度化に伴ない、限られた空間内に複数のアクチ
ュエータを収納し、それらを別個独立に駆動させるよう
な要求が強まりつつある。
片持ち梁の曲げ変位を利用するのが一般的である。とこ
ろが、最近の電子機器やメカトロニクスデバイスの小型
化、高精度化に伴ない、限られた空間内に複数のアクチ
ュエータを収納し、それらを別個独立に駆動させるよう
な要求が強まりつつある。
しかしながら、従来の片持ち梁型のバイモルフアクチュ
エータを限られた空間内に複数収納するには、アクチュ
エータの性能劣化をきたすという問題点がある また、アクチュエータを組み込んだ装置自体を高速で回
転させるような要求に対して、回転中心軸の取り付けが
必要であるが、従来の片持ち梁型のバイモルフアクチュ
エータでは、点又は線対称の構造でないので、結局、ア
クチュエータ自体を小型せざるを得ず、前述と同様にバ
イモルフ性能の劣化をきたすという問題点がある。
エータを限られた空間内に複数収納するには、アクチュ
エータの性能劣化をきたすという問題点がある また、アクチュエータを組み込んだ装置自体を高速で回
転させるような要求に対して、回転中心軸の取り付けが
必要であるが、従来の片持ち梁型のバイモルフアクチュ
エータでは、点又は線対称の構造でないので、結局、ア
クチュエータ自体を小型せざるを得ず、前述と同様にバ
イモルフ性能の劣化をきたすという問題点がある。
本発明はかかる点に鑑み、限られた空間内に複数の圧電
バイモルフアクチュエータを収納する必要がなく、デバ
イス自体が高速で回転し得、変位や発生力の性能劣化の
少ない双動作型圧電バイモルフアクチュエータを提案す
ることを主たる目的とする。
バイモルフアクチュエータを収納する必要がなく、デバ
イス自体が高速で回転し得、変位や発生力の性能劣化の
少ない双動作型圧電バイモルフアクチュエータを提案す
ることを主たる目的とする。
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第１図及び第２図は本発明の一例を示す平面図及び断面
図である。図中、10は圧電バイモルフ素子を示し、長さ
方向の中間位置で支持板11により固定されており、支持
板11を中心として素子10の長さ方向の両端が第２図中矢
印の方向に夫々独立して変位することができるようにし
ている。12は支持板11の固定用13は固定部11の中心位置
にバイモルフ素子を回転させるための回転軸取付用貫通
孔を、12は貫通孔13の中心に対し点又は線対称位置に穿
設した２個の固定用ねじ孔を夫々示す。貫通孔13の方向
はバイモルフ素子の厚み方向に穿設される。
図である。図中、10は圧電バイモルフ素子を示し、長さ
方向の中間位置で支持板11により固定されており、支持
板11を中心として素子10の長さ方向の両端が第２図中矢
印の方向に夫々独立して変位することができるようにし
ている。12は支持板11の固定用13は固定部11の中心位置
にバイモルフ素子を回転させるための回転軸取付用貫通
孔を、12は貫通孔13の中心に対し点又は線対称位置に穿
設した２個の固定用ねじ孔を夫々示す。貫通孔13の方向
はバイモルフ素子の厚み方向に穿設される。
すなわち、第３図及び第４図に示す如く、表裏面に銀17
をメタライズした厚み150μｍ、幅10mm、長さ90mmの圧
電性セラミック板14を２枚、幅・長さの等しい黄銅板15
に接着し、長さ方向の中心に幅10mm、長さ20mmの技持板
11を取り付け、中心固定の圧電バイモルファクチュエー
タ20とし、更に支持板11の中心に直径5mmの孔13を穿設
して、回転中心軸を取り付け得るようにしている。表裏
面にメタライズした銀電極17は、第３図に示す如く、長
さ方向に２分割されており、素子10の両端は支持板11を
固定端として夫々独立して変位することが可能となる。
をメタライズした厚み150μｍ、幅10mm、長さ90mmの圧
電性セラミック板14を２枚、幅・長さの等しい黄銅板15
に接着し、長さ方向の中心に幅10mm、長さ20mmの技持板
11を取り付け、中心固定の圧電バイモルファクチュエー
タ20とし、更に支持板11の中心に直径5mmの孔13を穿設
して、回転中心軸を取り付け得るようにしている。表裏
面にメタライズした銀電極17は、第３図に示す如く、長
さ方向に２分割されており、素子10の両端は支持板11を
固定端として夫々独立して変位することが可能となる。
他方、厚膜積層の技術を用い、圧電性セラミックスの未
焼成生シートに銀パラジウム系の電極ペーストを印刷後
10枚積層し、熱圧着することにより、未焼成バイモルフ
の積層体とし、この生シートの厚みを70μｍとし、次
に、長さ方向の中心に回転中心軸用の孔を穿設した後、
1120℃で焼結し、しかる後に長さ方向の中心に回転中心
軸用の孔を有する支持板を取り付けて構成することもで
きる。この場合、積層型圧電バイモルフの寸法は長さ40
mm、幅10mm、厚み0.6mmである。
焼成生シートに銀パラジウム系の電極ペーストを印刷後
10枚積層し、熱圧着することにより、未焼成バイモルフ
の積層体とし、この生シートの厚みを70μｍとし、次
に、長さ方向の中心に回転中心軸用の孔を穿設した後、
1120℃で焼結し、しかる後に長さ方向の中心に回転中心
軸用の孔を有する支持板を取り付けて構成することもで
きる。この場合、積層型圧電バイモルフの寸法は長さ40
mm、幅10mm、厚み0.6mmである。
この積層型圧電バイモルフアクチュエータの性能を第１
表に示す。尚、点及び線対称なので夫々左右での性能測
定結果を示す。
表に示す。尚、点及び線対称なので夫々左右での性能測
定結果を示す。
以上述べたごとく本考案によれば、長さ方向の中央位置
を固定部としたバイモルフ素子において、該素子の長さ
方向の両端を夫々独立して変位させる２組の対向電極及
び固定部に穿設した固定用孔が点又は線対照に形成さ
れ、固定部を中央に回転させるための回転軸取付用貫通
孔が上記バイモルフ素子の厚み方向に穿設されるように
構成したので １素子中に２箇所の独立した変位点を有することにな
り、全体として回転軸取付用貫通孔を中心に点又は線対
称となるため回転軸に対し回転可能に取付け得、回転し
ながらバイモルフ素子の両端で作用し得る圧電バイモル
フアクチュエータが得られる。したがって、従来の片持
ち梁型の圧電バイモルフ素子に比較して、中心軸固定部
を基準として両端の２箇所に変位部を有し、かつ点又は
線対称で回転可能な圧電バイモルフアクチュエータを得
ることができるので、狭い空間に設置して好適である。
を固定部としたバイモルフ素子において、該素子の長さ
方向の両端を夫々独立して変位させる２組の対向電極及
び固定部に穿設した固定用孔が点又は線対照に形成さ
れ、固定部を中央に回転させるための回転軸取付用貫通
孔が上記バイモルフ素子の厚み方向に穿設されるように
構成したので １素子中に２箇所の独立した変位点を有することにな
り、全体として回転軸取付用貫通孔を中心に点又は線対
称となるため回転軸に対し回転可能に取付け得、回転し
ながらバイモルフ素子の両端で作用し得る圧電バイモル
フアクチュエータが得られる。したがって、従来の片持
ち梁型の圧電バイモルフ素子に比較して、中心軸固定部
を基準として両端の２箇所に変位部を有し、かつ点又は
線対称で回転可能な圧電バイモルフアクチュエータを得
ることができるので、狭い空間に設置して好適である。
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示す平面図及び
断面図、第３図及び第４図は同じく一実施例を示す平面
図及び断面図である。 10……圧電バイモルフ素子、11……支持板、12……固定
用ねじ孔、13……回転中心軸取り付け孔、14……圧電性
セラミック板、15……黄銅板、17……銀電極、20……双
動作型圧電バイモルフアクチュエータ。
断面図、第３図及び第４図は同じく一実施例を示す平面
図及び断面図である。 10……圧電バイモルフ素子、11……支持板、12……固定
用ねじ孔、13……回転中心軸取り付け孔、14……圧電性
セラミック板、15……黄銅板、17……銀電極、20……双
動作型圧電バイモルフアクチュエータ。
Claims (1)
- 【請求項１】長さ方向の中央位置を固定部としたバイモ
ルフ素子において、該素子の長さ方向の両端を夫々独立
して変位させる２組の対向電極及び固定部に穿設した固
定用孔が点又は線対照に形成され、固定部を中心に回転
させるための回転軸取付用貫通孔が上記バイモルフ素子
の厚み方向に穿設されるように構成したことを特徴とす
る双動作型圧電バイモルフアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61053887A JPH0785507B2 (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61053887A JPH0785507B2 (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62210684A JPS62210684A (ja) | 1987-09-16 |
| JPH0785507B2 true JPH0785507B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=12955239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61053887A Expired - Lifetime JPH0785507B2 (ja) | 1986-03-12 | 1986-03-12 | 双動作型圧電バイモルフアクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785507B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4332966A1 (de) * | 1993-09-28 | 1995-03-30 | Philips Patentverwaltung | Torsionsaktuator und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2538757B2 (ja) * | 1993-11-04 | 1996-10-02 | 山一電機株式会社 | 圧電振動ユニット |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61117263U (ja) * | 1984-12-29 | 1986-07-24 |
-
1986
- 1986-03-12 JP JP61053887A patent/JPH0785507B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62210684A (ja) | 1987-09-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |