JPH078577B2 - インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法Info
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- JPH078577B2 JPH078577B2 JP61245984A JP24598486A JPH078577B2 JP H078577 B2 JPH078577 B2 JP H078577B2 JP 61245984 A JP61245984 A JP 61245984A JP 24598486 A JP24598486 A JP 24598486A JP H078577 B2 JPH078577 B2 JP H078577B2
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- Japan
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- glass
- ink
- piezoelectric
- joining
- recording head
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明は、カバープレートと圧電体プレートからなる
２層構造のインクジェト記録ヘッドおけるプレートの接
合方法に関する。
２層構造のインクジェト記録ヘッドおけるプレートの接
合方法に関する。
PbO,ZrO2,TiO2などの主要な原料として成形・焼成の工
程を経て製造される圧電セラミック材料は、最近その応
用が多岐にわたってきている。これを伴ない圧電セラミ
ック材料単体ではなく、他の部材と接着あるいは接合し
た複合構造体として使用される例が多くなりつつある。
程を経て製造される圧電セラミック材料は、最近その応
用が多岐にわたってきている。これを伴ない圧電セラミ
ック材料単体ではなく、他の部材と接着あるいは接合し
た複合構造体として使用される例が多くなりつつある。
現状において、圧電セラミック同士および圧電セラミッ
クと異種材料（例えば金属，セラミック，ガラスなど）
の接合方法として試みられているものは以下の通りであ
る。
クと異種材料（例えば金属，セラミック，ガラスなど）
の接合方法として試みられているものは以下の通りであ
る。
（１）有機系あるいは無機系接着剤を用いる方法 （２）ハンダ，ろう材を用いて接合する方法 （３）半田ガラスなどの低融点酸化物ソルダーを用いて
接合する方法 上記の方法はそれぞれ特徴をもっているので、それを活
かした用途に適用されている。しかしながら、圧電セラ
ミック材料を用いた超精密機構部品の接合方法としては
種々の問題点を有している。例えばインクジェット記録
ヘッドには第１図に示す構成のものがある。
接合する方法 上記の方法はそれぞれ特徴をもっているので、それを活
かした用途に適用されている。しかしながら、圧電セラ
ミック材料を用いた超精密機構部品の接合方法としては
種々の問題点を有している。例えばインクジェット記録
ヘッドには第１図に示す構成のものがある。
第１図の（Ａ）はインクジェット記録ヘッドの横断面
図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。これらの図にお
いて、１は圧電セラミックから成る一枚の平板状に成形
された圧電体プレートである。この圧電体プレートには
第２図に詳細に示すようにインクキャビティ溝２および
このインクキャビティ溝２に連通するインク供給路溝３
およびインクノズル溝４が複数列形成されている。イン
クキャビティ溝２は２つの深溝部5,6および両深溝部5,6
間に設けられた浅溝部７からなる。
図、同図（Ｂ）はその縦断面図である。これらの図にお
いて、１は圧電セラミックから成る一枚の平板状に成形
された圧電体プレートである。この圧電体プレートには
第２図に詳細に示すようにインクキャビティ溝２および
このインクキャビティ溝２に連通するインク供給路溝３
およびインクノズル溝４が複数列形成されている。イン
クキャビティ溝２は２つの深溝部5,6および両深溝部5,6
間に設けられた浅溝部７からなる。
さらに第１図において、８は圧電体プレート１のインク
キャビティ溝およびインクノズル溝が形成された面に接
着または接合されたガラスからなるカバープレートであ
る。しかし、圧電体プレート１とカバープレート８との
間ではインクキャビティ溝２からインクキャビティ2A
が、インクノズル溝４からインクノズル4Aがインク供給
路溝３からインク供給路3Aがそれぞれ形成されている。
そして、インクキャビティ2Aにおいては浅溝部７を形成
する圧電体膨出部９に圧電印加用電極10がそれぞれ設け
られ、その電極10に対応する圧電体プレート１の下面に
電極11がそれぞれ設けられている。
キャビティ溝およびインクノズル溝が形成された面に接
着または接合されたガラスからなるカバープレートであ
る。しかし、圧電体プレート１とカバープレート８との
間ではインクキャビティ溝２からインクキャビティ2A
が、インクノズル溝４からインクノズル4Aがインク供給
路溝３からインク供給路3Aがそれぞれ形成されている。
そして、インクキャビティ2Aにおいては浅溝部７を形成
する圧電体膨出部９に圧電印加用電極10がそれぞれ設け
られ、その電極10に対応する圧電体プレート１の下面に
電極11がそれぞれ設けられている。
上記のように構成されたインクジェット記録ヘッドにお
いて、電極10,11間に電圧を印加すると、両電極10,11間
の圧電体が膨張して、インクキャビティ2A内の体積を減
少させ、その結果インクキャビティ2A内のインクが当該
インクキャビティ2Aに連通するインクノズル4Aから液滴
状に噴射され、図示していない記録担体上にもたらされ
る。第１図ないし第２図に示した実施例においては、第
３図に詳細に示すように、ノズル4Aの大きさは40μｍ×
40μm,ノズル4A,4Aの間隔Ｃはたとえば1mmに形成されて
いる。さらに圧電体プレートの厚さＬは0.5mm,インクキ
ャビティ2Aの幅B0は0.7mm,浅溝部７つまり圧電体膨出部
９の幅B1は0.6mmそして深溝部5,6の幅B2は50μｍに形成
されている。かかる微細で精密な構成においては、圧電
体プレート１とカバープレート８の接合が重要な要素技
術となる。例えば、前記の有機系接着剤を用いる場合は
低温で接合できる利点を有するが、接着剤がノズル4Aに
侵入してインクノズルの詰まりが発生しやすいこと、さ
らにインク中に含まれる溶剤によって接着剤が侵食され
隣接するインクキャビティ間でインクのクロストークを
起こしやすいなどの問題がある。無機系接着剤も低温で
硬化し、対溶剤性は優れているが、接合部が多孔質にな
りやすくインクのクロストークが発生しやすいことが欠
点となる。
いて、電極10,11間に電圧を印加すると、両電極10,11間
の圧電体が膨張して、インクキャビティ2A内の体積を減
少させ、その結果インクキャビティ2A内のインクが当該
インクキャビティ2Aに連通するインクノズル4Aから液滴
状に噴射され、図示していない記録担体上にもたらされ
る。第１図ないし第２図に示した実施例においては、第
３図に詳細に示すように、ノズル4Aの大きさは40μｍ×
40μm,ノズル4A,4Aの間隔Ｃはたとえば1mmに形成されて
いる。さらに圧電体プレートの厚さＬは0.5mm,インクキ
ャビティ2Aの幅B0は0.7mm,浅溝部７つまり圧電体膨出部
９の幅B1は0.6mmそして深溝部5,6の幅B2は50μｍに形成
されている。かかる微細で精密な構成においては、圧電
体プレート１とカバープレート８の接合が重要な要素技
術となる。例えば、前記の有機系接着剤を用いる場合は
低温で接合できる利点を有するが、接着剤がノズル4Aに
侵入してインクノズルの詰まりが発生しやすいこと、さ
らにインク中に含まれる溶剤によって接着剤が侵食され
隣接するインクキャビティ間でインクのクロストークを
起こしやすいなどの問題がある。無機系接着剤も低温で
硬化し、対溶剤性は優れているが、接合部が多孔質にな
りやすくインクのクロストークが発生しやすいことが欠
点となる。
一方、前記の（２）項に記載したハンダ，ろう材を用い
る方法は、圧電体プレートとガラス表面にNi,AuまたはC
uなどのメッキを施す必要があり、さらにハンダやろう
材が溶けた際にノズルに侵入して詰まりが発生しやすい
などの欠点を有している。半田ガラスなどの低融点酸化
物ソルダーを用いる（３）項の方法も接合表面に対する
酸化物ソルダー粉末の塗布時およびその溶融時にノズル
の詰まりを発生しやすいことが欠点となる。さらに
（２），（３）項の方法は有機系あるいは無機系接着剤
に比べて接合時の温度が高温となるため、圧電体プレー
トとガラスプレートの線膨張係数（α）に整合性がない
と熱応力が発生し、それが原因となって圧電体プレート
もしくはガラスプレートのいずれかが割れてしまうとい
う問題もある。
る方法は、圧電体プレートとガラス表面にNi,AuまたはC
uなどのメッキを施す必要があり、さらにハンダやろう
材が溶けた際にノズルに侵入して詰まりが発生しやすい
などの欠点を有している。半田ガラスなどの低融点酸化
物ソルダーを用いる（３）項の方法も接合表面に対する
酸化物ソルダー粉末の塗布時およびその溶融時にノズル
の詰まりを発生しやすいことが欠点となる。さらに
（２），（３）項の方法は有機系あるいは無機系接着剤
に比べて接合時の温度が高温となるため、圧電体プレー
トとガラスプレートの線膨張係数（α）に整合性がない
と熱応力が発生し、それが原因となって圧電体プレート
もしくはガラスプレートのいずれかが割れてしまうとい
う問題もある。
したがって、前記したインクジェット記録ヘッドにおい
ては、従来の接合方法ではその目的および機能を満足す
ることは困難であり、簡便でかつ信頼性に富んだ接合方
法の考案が要請されている。
ては、従来の接合方法ではその目的および機能を満足す
ることは困難であり、簡便でかつ信頼性に富んだ接合方
法の考案が要請されている。
この発明は、カバープレートと圧電体プレートを主構成
部材とする記録ヘッドにおいてプレートの接合を行うに
当たり、プレートに反りや割れを生じることなく、歩留
りよくヘッドを製造することのできるプレート接合方法
を提供することを目的とする。
部材とする記録ヘッドにおいてプレートの接合を行うに
当たり、プレートに反りや割れを生じることなく、歩留
りよくヘッドを製造することのできるプレート接合方法
を提供することを目的とする。
前記の目的は、圧電体プレートと接合するガラスの材質
としてソーダ石灰ガラスを選定し、接合条件を以下の範
囲に限定することにより達成することができる。
としてソーダ石灰ガラスを選定し、接合条件を以下の範
囲に限定することにより達成することができる。
接合温度:500゜〜750℃ 負荷荷重:0.5〜500g/cm2 加熱保持時間:5〜60min 〔発明の実施例〕 ガラス同士あるいはガラスとアルミナ，ジルコニウムな
どのセラミックは融接または熱圧着などの方法によって
接合される場合がある。融接はガラスをその作業点（溶
融点）近傍に加熱して半溶融状態にさせ、相手材に接合
さすものである。一方、熱圧着ガラスをその軟化点以上
かつ作業点以下の温度範囲に加熱し、この状態で加圧負
荷することによりガラス同士あるいはガラスと異種材料
を接合する方法である。これらの方法であれば、強固な
結合力をもった接合部を得ることが可能である。しかし
ながら、その接合時の温度はかなりの高温となるための
接合材同士の線膨張係数（α）が整合していないとその
いずれか一方にクラックが発生しやすいこと、また接合
条件が不適切であるとガラスの粘性流動（クリープ）が
大となって形状保持が困難になるなどの問題点も有して
いる。
どのセラミックは融接または熱圧着などの方法によって
接合される場合がある。融接はガラスをその作業点（溶
融点）近傍に加熱して半溶融状態にさせ、相手材に接合
さすものである。一方、熱圧着ガラスをその軟化点以上
かつ作業点以下の温度範囲に加熱し、この状態で加圧負
荷することによりガラス同士あるいはガラスと異種材料
を接合する方法である。これらの方法であれば、強固な
結合力をもった接合部を得ることが可能である。しかし
ながら、その接合時の温度はかなりの高温となるための
接合材同士の線膨張係数（α）が整合していないとその
いずれか一方にクラックが発生しやすいこと、また接合
条件が不適切であるとガラスの粘性流動（クリープ）が
大となって形状保持が困難になるなどの問題点も有して
いる。
特に、圧電セラミックにはキュリー点が存在し、この温
度以下ではその熱膨張はごくわずかであるが、キュリー
点以上の温度では熱膨張が急激に大きくなるという特異
な性質をもっている。このため、圧電体プレートとガラ
スの接合に当って、融接もしくは熱圧着の方法を用いた
例は本発明者らの知る限りでは皆無である。
度以下ではその熱膨張はごくわずかであるが、キュリー
点以上の温度では熱膨張が急激に大きくなるという特異
な性質をもっている。このため、圧電体プレートとガラ
スの接合に当って、融接もしくは熱圧着の方法を用いた
例は本発明者らの知る限りでは皆無である。
未発明者らは、前記の融接と熱圧着の利点とくに後者は
一種の固相接合であため、インクジェット記録ヘッドの
接合方法に適用した場合の効果に着目し、この発想にも
とづいて一連の試験研究を行った結果本発明の要点に記
載した条件に限定すれば、圧電体プレートとガラスにお
いて良好な接合部の得られることを確認できたものであ
る。
一種の固相接合であため、インクジェット記録ヘッドの
接合方法に適用した場合の効果に着目し、この発想にも
とづいて一連の試験研究を行った結果本発明の要点に記
載した条件に限定すれば、圧電体プレートとガラスにお
いて良好な接合部の得られることを確認できたものであ
る。
以下、この発明を達成した経過について詳細に説明す
る。本発明では、まず圧電体プレートと良好な接合性を
示すガラス材質の選定に関する試験を行った。ガラスは
入手しやすく（市販されているもの）、かつ板状に加工
しやすいものという観点から選定した。ガラス材質と、
その線膨張係数（α）と軟化点，作業点などを第１表に
示す。
る。本発明では、まず圧電体プレートと良好な接合性を
示すガラス材質の選定に関する試験を行った。ガラスは
入手しやすく（市販されているもの）、かつ板状に加工
しやすいものという観点から選定した。ガラス材質と、
その線膨張係数（α）と軟化点，作業点などを第１表に
示す。
なお、ガラスの形状は30×50×１〜1.2tとした。
一方、本発明で用いた圧電体プレートの組成はPbTiO3−
PbZrO3−Pb（Ni1/3Nb2/3）O3であり、その形状は30×50
×0.5tである。この圧電体プレートの一方の表面には1m
m間隔で、幅0.1mm,深さ0.15mmの溝をダイシングソーで
加工した。この両者を用いて第２表に示す条件で接合実
験を行い、接合の有無、クラック発生有無および圧電体
プレートの溝に対するガラスの詰まりなどを観察し、そ
の良否を判定した。その結果も第２表に示す。
PbZrO3−Pb（Ni1/3Nb2/3）O3であり、その形状は30×50
×0.5tである。この圧電体プレートの一方の表面には1m
m間隔で、幅0.1mm,深さ0.15mmの溝をダイシングソーで
加工した。この両者を用いて第２表に示す条件で接合実
験を行い、接合の有無、クラック発生有無および圧電体
プレートの溝に対するガラスの詰まりなどを観察し、そ
の良否を判定した。その結果も第２表に示す。
第２表に示した全てのガラス材質とも圧電体プレートと
接合は可能であった。しかしながら、ソーダ石灰ガラス
以外ではガラスの方にクラックが発生した。この傾向
は、第２表に示した接合条件だけではなく接合温度，負
荷荷重，保持時間の組合せを種々変化させた場合でも同
様であった。本発明のために選定したガラスの組成をみ
ると、SiO2の含有量は石英ガラス→硼硅酸ガラス→バリ
ウム硼硅酸ガラス→ソーダ石灰ガラスの順に低下し、ソ
ーダ石灰ガラスが最も少なくなっている。逆に、Na2O,K
2Oなどのアルカリ成分はソーダ石灰ガラスが最も多く含
有している。したがって、クラックの発生は圧電体プレ
ートのPbイオンがガラスの方に移行し、SiO2と結合し、
それが結晶化したために発生したのではないかと推定し
た。つまり、ソーダ石灰ガラスはSiO2の含有量が少ない
ため、クラックが発生しなかったと考えられた。
接合は可能であった。しかしながら、ソーダ石灰ガラス
以外ではガラスの方にクラックが発生した。この傾向
は、第２表に示した接合条件だけではなく接合温度，負
荷荷重，保持時間の組合せを種々変化させた場合でも同
様であった。本発明のために選定したガラスの組成をみ
ると、SiO2の含有量は石英ガラス→硼硅酸ガラス→バリ
ウム硼硅酸ガラス→ソーダ石灰ガラスの順に低下し、ソ
ーダ石灰ガラスが最も少なくなっている。逆に、Na2O,K
2Oなどのアルカリ成分はソーダ石灰ガラスが最も多く含
有している。したがって、クラックの発生は圧電体プレ
ートのPbイオンがガラスの方に移行し、SiO2と結合し、
それが結晶化したために発生したのではないかと推定し
た。つまり、ソーダ石灰ガラスはSiO2の含有量が少ない
ため、クラックが発生しなかったと考えられた。
上記の結果から、インクジェット記録ヘッドの圧電体プ
レートと接合するガラス材質としてはソーダ石灰ガラス
が最適であることを確認した。
レートと接合するガラス材質としてはソーダ石灰ガラス
が最適であることを確認した。
次に、ガラス材質としてソーダ石灰ガラスを使用して、
圧電体プレートとの最適接合条件を見出すための実験を
行い、以下の範囲が最適であることを確認した。
圧電体プレートとの最適接合条件を見出すための実験を
行い、以下の範囲が最適であることを確認した。
接合温度:500゜〜750℃ 負荷荷重:0.5〜500g/cm2 加熱保持時間:5〜60min 上記の範囲に限定した理由は次の通りである。圧電体プ
レートとソーダ石英ガラスを接合するに当って、接合温
度が高く、負荷荷重が大で、保持時間の長い方が両者の
接合部の強度は向上してくる。しかし、接合温度が750
℃以上になるとソーダ石灰ガラスの粘性流動が大となっ
て負荷荷重が小さく、かつ保持時間が短かい場合でも溝
に対してガラスが侵入してしまい、ノズルの詰まりの原
因となるため不可であった。一方、500℃以下ではソー
ダ石灰ガラスの軟化が不十分で、強固に接合させるため
にはその負荷荷重を500g/cm2以上にすることが必要であ
った。しかし、負荷荷重が500g/cm2以上になるとソーダ
石灰ガラスが破壊する確率が大きくなるため、接合温度
としては500℃以上が必要であった。
レートとソーダ石英ガラスを接合するに当って、接合温
度が高く、負荷荷重が大で、保持時間の長い方が両者の
接合部の強度は向上してくる。しかし、接合温度が750
℃以上になるとソーダ石灰ガラスの粘性流動が大となっ
て負荷荷重が小さく、かつ保持時間が短かい場合でも溝
に対してガラスが侵入してしまい、ノズルの詰まりの原
因となるため不可であった。一方、500℃以下ではソー
ダ石灰ガラスの軟化が不十分で、強固に接合させるため
にはその負荷荷重を500g/cm2以上にすることが必要であ
った。しかし、負荷荷重が500g/cm2以上になるとソーダ
石灰ガラスが破壊する確率が大きくなるため、接合温度
としては500℃以上が必要であった。
負荷荷重は500゜〜750℃の接合温度において0.5g/cm2以
下では、圧電体プレートとソーダ石灰ガラスとの接合が
不十分で、インクのクロストークが発生しやすいため、
これ以上の負荷荷重が必要であった。逆に500g/cm2以上
になると、接合温度が低い場合はソーダ石灰ガラスが割
れやすく、さらに接合温度が高い場合はソーダ石灰ガラ
スのクリープが大となって溝に対する侵入が多くなるた
め、不可であった。加熱保持時間も、5min以下では圧電
体プレートとソーダ石灰ガラスの表面拡散およびガラス
の変形が小さすぎて、強固な場合を得ることはできな
い。逆に60min以上になるとソーダ石灰ガラスのクリー
プ変形が大となって、溝に対して侵入し、ノズルの詰ま
り原因になるため、加熱保持時間はこれ以下でなければ
ならないことを実験的に確認した。
下では、圧電体プレートとソーダ石灰ガラスとの接合が
不十分で、インクのクロストークが発生しやすいため、
これ以上の負荷荷重が必要であった。逆に500g/cm2以上
になると、接合温度が低い場合はソーダ石灰ガラスが割
れやすく、さらに接合温度が高い場合はソーダ石灰ガラ
スのクリープが大となって溝に対する侵入が多くなるた
め、不可であった。加熱保持時間も、5min以下では圧電
体プレートとソーダ石灰ガラスの表面拡散およびガラス
の変形が小さすぎて、強固な場合を得ることはできな
い。逆に60min以上になるとソーダ石灰ガラスのクリー
プ変形が大となって、溝に対して侵入し、ノズルの詰ま
り原因になるため、加熱保持時間はこれ以下でなければ
ならないことを実験的に確認した。
以上の説明から明らかなように、本願発明によれば、カ
バープレートと圧電体プレートからなるマルチノズル式
インクジェット記録ヘッドにおいて、接着層を設ける必
要がないので製造工程を簡略化でき、しかも、プレート
接合時にカバープレートもしくは圧電体プレートに反り
や割れを生じることがないので、簡単かつ歩留りよく記
録ヘッドを製造することができる。また、強固なプレー
ト接合部を得ることができるので、長期に渡って信頼性
の高い記録ヘッドを提供することができる。
バープレートと圧電体プレートからなるマルチノズル式
インクジェット記録ヘッドにおいて、接着層を設ける必
要がないので製造工程を簡略化でき、しかも、プレート
接合時にカバープレートもしくは圧電体プレートに反り
や割れを生じることがないので、簡単かつ歩留りよく記
録ヘッドを製造することができる。また、強固なプレー
ト接合部を得ることができるので、長期に渡って信頼性
の高い記録ヘッドを提供することができる。
第１図は本発明に関するマルチノズル式インクジェット
記録ヘッドの構成の一例を示す横断面図および縦断面
図、第２図は第１図の圧電体プレートを示す平面図，横
断面図および縦断面図、第３図は第１図の構成の一部拡
大断面図である。 1:圧電体プレート、2:インクキャビティ溝、2A:インク
キャビティ、3:インク供給路溝、3A:インク供給路、4:
インクノズル溝、4A:インクノズル、5,6:インクキャビ
ティ深溝部、7:インクキャビティ浅溝部、8:カバープレ
ート、9:圧電体膨出部、10,11:電圧印加用電極。
記録ヘッドの構成の一例を示す横断面図および縦断面
図、第２図は第１図の圧電体プレートを示す平面図，横
断面図および縦断面図、第３図は第１図の構成の一部拡
大断面図である。 1:圧電体プレート、2:インクキャビティ溝、2A:インク
キャビティ、3:インク供給路溝、3A:インク供給路、4:
インクノズル溝、4A:インクノズル、5,6:インクキャビ
ティ深溝部、7:インクキャビティ浅溝部、8:カバープレ
ート、9:圧電体膨出部、10,11:電圧印加用電極。
Claims (1)
- 【請求項１】インクノズル、このインクノズルに連通す
るインクキャビティ、およびインク供給路から成る複数
列の流路が形成されており、かつ、圧電体膨出部に電圧
を印加するための電極部材が前記キャビティ毎に設けら
れている圧電体プレートと、この圧電体プレートの流路
側の面を覆うカバープレートとを備えたインクジェット
記録ヘッドにおいて、前記圧電体プレートと前記カバー
プレートを重ね合せ加熱，加圧することにより接合する
方法であって、 前記カバープレートの材質としてソーダ石灰ガラスを使
用し、加熱温度を500℃〜750℃、負荷荷重を0.5〜500g/
cm2、加熱保持時間を５〜60分間の範囲にしたことを特
徴とするインジェット記録ヘッドにおけるプレートの接
合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61245984A JPH078577B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61245984A JPH078577B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6399954A JPS6399954A (ja) | 1988-05-02 |
| JPH078577B2 true JPH078577B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=17141743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61245984A Expired - Lifetime JPH078577B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | インクジェット記録ヘッドにおけるプレートの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH078577B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57170763A (en) * | 1981-04-16 | 1982-10-21 | Fujitsu Ltd | Preparation of multinozzle head |
-
1986
- 1986-10-16 JP JP61245984A patent/JPH078577B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6399954A (ja) | 1988-05-02 |
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