JPH0785837A - 誘電体バリヤ放電ランプ - Google Patents
誘電体バリヤ放電ランプInfo
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- JPH0785837A JPH0785837A JP5250979A JP25097993A JPH0785837A JP H0785837 A JPH0785837 A JP H0785837A JP 5250979 A JP5250979 A JP 5250979A JP 25097993 A JP25097993 A JP 25097993A JP H0785837 A JPH0785837 A JP H0785837A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 光出力の空間的な均一性および時間的な安定
性が良好で、かつ、発光効率が高い円筒状誘電体バリヤ
放電ランプを提供する。 【構成】 放電容器１に誘電体バリヤ放電によってエキ
シマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器
の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ね
ており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子
から放射される光に対して光透過性であり、該誘電体の
少なくとも一部に導電性薄膜電極５あるいは導電性網状
電極４が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、
該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の電極端部１
０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂの厚さを、該導電性薄膜
電極あるいは導電性網状電極の平均的な厚さを越えてい
るように構成する。
性が良好で、かつ、発光効率が高い円筒状誘電体バリヤ
放電ランプを提供する。 【構成】 放電容器１に誘電体バリヤ放電によってエキ
シマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器
の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ね
ており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子
から放射される光に対して光透過性であり、該誘電体の
少なくとも一部に導電性薄膜電極５あるいは導電性網状
電極４が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、
該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の電極端部１
０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂの厚さを、該導電性薄膜
電極あるいは導電性網状電極の平均的な厚さを越えてい
るように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用
の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘
電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキ
シマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体バ
リヤ放電ランプの改良に関する。
の紫外線光源として使用される放電ランプの一種で、誘
電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成し、該エキ
シマ分子から放射される光を利用するいわゆる誘電体バ
リヤ放電ランプの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平２ー７３５３号があり、そこ
には、少なくとも放電容器にエキシマ分子を形成する放
電用ガスを充填し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ
放電あるいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハ
ンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ
参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ
分子から放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電
体バリヤ放電ランプについて記載されており、該放電容
器は円筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘
電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少な
くとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して
光透過性であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に
導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプの
構造が記載されている。上記のような誘電体バリヤ放電
ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電
ランプには無い種々の特長を有しているため有用であ
る。しかし、上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、
光出力の空間的な均一性および時間的な安定性が必ずし
も十分では無く、また、発光効率が必ずしも十分では無
いという問題があった。
ば、日本国公開特許公報平２ー７３５３号があり、そこ
には、少なくとも放電容器にエキシマ分子を形成する放
電用ガスを充填し、誘電体バリヤ放電（別名オゾナイザ
放電あるいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハ
ンドブック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ
参照）によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ
分子から放射される光を取り出す放射器、すなわち誘電
体バリヤ放電ランプについて記載されており、該放電容
器は円筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘
電体バリヤ放電の誘電体を兼ねており、該誘電体の少な
くとも一部は該エキシマ分子から放射される光に対して
光透過性であり、該光透過性誘電体の少なくとも一部に
導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプの
構造が記載されている。上記のような誘電体バリヤ放電
ランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧アーク放電
ランプには無い種々の特長を有しているため有用であ
る。しかし、上記のような誘電体バリヤ放電ランプは、
光出力の空間的な均一性および時間的な安定性が必ずし
も十分では無く、また、発光効率が必ずしも十分では無
いという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、光出
力の空間的な均一性および時間的な安定性が良好で、か
つ、発光効率が高い円筒状誘電体バリヤ放電ランプを提
供することである。
力の空間的な均一性および時間的な安定性が良好で、か
つ、発光効率が高い円筒状誘電体バリヤ放電ランプを提
供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は、少
なくとも放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ
分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少
なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から
放射される光に対して光透過性であり、該誘電体の少な
くとも一部に導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極が
設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性
薄膜電極あるいは導電性網状電極の電極端部の厚さを、
該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の平均的な厚
さを越えているように構成することによって達成され
る。また、該放電容器の外形が概略円筒状であり、該導
電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極を該放電容器の
外側に設け、該導電性薄膜電極あるいは該導電性網状電
極の電極端部に針金、金属より線、金属テープ、金属網
テープの中から選ばれた少なくとも一種を巻きつけた構
成にすること、さらには、軸方向に伸縮性を有するシー
ムレスの円筒状導電性網からなる該円筒状網電極の端部
を折り曲げた構成にすることによって、本発明の目的は
よりいっそう達成できる。
なくとも放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ
分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容器の少
なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼ねてお
り、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分子から
放射される光に対して光透過性であり、該誘電体の少な
くとも一部に導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極が
設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該導電性
薄膜電極あるいは導電性網状電極の電極端部の厚さを、
該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の平均的な厚
さを越えているように構成することによって達成され
る。また、該放電容器の外形が概略円筒状であり、該導
電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極を該放電容器の
外側に設け、該導電性薄膜電極あるいは該導電性網状電
極の電極端部に針金、金属より線、金属テープ、金属網
テープの中から選ばれた少なくとも一種を巻きつけた構
成にすること、さらには、軸方向に伸縮性を有するシー
ムレスの円筒状導電性網からなる該円筒状網電極の端部
を折り曲げた構成にすることによって、本発明の目的は
よりいっそう達成できる。
【０００５】さらに、該円筒状導電性網の端部に巻きつ
けた該針金、金属縒り線、金属テープ、金属網テープの
中から選ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード線
を接続した構成、あるいは、該導電性薄膜電極あるいは
導電性網状電極の端部に導電性ペーストを塗布した構成
にすることによって、本発明の目的はよりいっそう達成
できる。
けた該針金、金属縒り線、金属テープ、金属網テープの
中から選ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード線
を接続した構成、あるいは、該導電性薄膜電極あるいは
導電性網状電極の端部に導電性ペーストを塗布した構成
にすることによって、本発明の目的はよりいっそう達成
できる。
【０００６】
【作用】誘電体バリヤ放電は、該「放電ハンドブック」
に記載されているように、プラズマの直径が非常に小さ
く、かつ、放電の持続時間が非常に短い微小な放電プラ
ズマ（以後これをマイクロプラズマと記す）の多数の集
まりである。我々は、少なくとも放電容器に誘電体バリ
ヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充
填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ
放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一
部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性
であり、該誘電体の少なくとも一部に導電性薄膜電極あ
るいは導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ラ
ンプにおいては、光出力の安定性、空間的な均一性、お
よび発光効率は、誘電体に設けられた導電性薄膜電極あ
るいは導電性網状電極の端部によって影響されること、
さらに、導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の端部
の厚さを該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の平
均的な厚さを越えるように構成することによって、上記
した課題を解決できることを実験的に発見した。
に記載されているように、プラズマの直径が非常に小さ
く、かつ、放電の持続時間が非常に短い微小な放電プラ
ズマ（以後これをマイクロプラズマと記す）の多数の集
まりである。我々は、少なくとも放電容器に誘電体バリ
ヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充
填され、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ
放電の誘電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一
部は該エキシマ分子から放射される光に対して光透過性
であり、該誘電体の少なくとも一部に導電性薄膜電極あ
るいは導電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ラ
ンプにおいては、光出力の安定性、空間的な均一性、お
よび発光効率は、誘電体に設けられた導電性薄膜電極あ
るいは導電性網状電極の端部によって影響されること、
さらに、導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の端部
の厚さを該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の平
均的な厚さを越えるように構成することによって、上記
した課題を解決できることを実験的に発見した。
【０００７】上記の光出力の時間的な安定性、空間的な
均一性、および発光効率の改善の機構は、必ずしも明確
ではないが、以下のようであると考えられる。すなわ
ち、導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極は、そもそ
も薄く、かつ、その終端部はナイフ刃状あるいは針状に
なりやすいので、その端部においては電界強度が不均
一、かつ大きくなりやすい。従って、導電性薄膜電極あ
るいは導電性網状電極の終端部において、放電用ガスで
はなく、空気などの雰囲気ガス中で沿面放電状の放電が
発生したり、さらには、電極端部にマイクロプラズマが
集中的に、多数発生する。その結果、放電が不安定にな
り、さらには電極端部の部分における光出力が大きくな
り、即ち、光出力の時間的なゆらぎが大きくなり、光出
力の空間的な均一性が悪くなる。また、空気などの雰囲
気ガス中で沿面放電状の放電が発生したり、マイクロプ
ラズマが集中し過ぎると、発光効率も低下する。
均一性、および発光効率の改善の機構は、必ずしも明確
ではないが、以下のようであると考えられる。すなわ
ち、導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極は、そもそ
も薄く、かつ、その終端部はナイフ刃状あるいは針状に
なりやすいので、その端部においては電界強度が不均
一、かつ大きくなりやすい。従って、導電性薄膜電極あ
るいは導電性網状電極の終端部において、放電用ガスで
はなく、空気などの雰囲気ガス中で沿面放電状の放電が
発生したり、さらには、電極端部にマイクロプラズマが
集中的に、多数発生する。その結果、放電が不安定にな
り、さらには電極端部の部分における光出力が大きくな
り、即ち、光出力の時間的なゆらぎが大きくなり、光出
力の空間的な均一性が悪くなる。また、空気などの雰囲
気ガス中で沿面放電状の放電が発生したり、マイクロプ
ラズマが集中し過ぎると、発光効率も低下する。
【０００８】少なくとも放電容器に誘電体バリヤ放電に
よってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、
該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エ
キシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、
該誘電体の少なくとも一部に導電性薄膜電極あるいは導
電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにお
いて、該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の電極
端部の平均的厚さを該導電性薄膜電極あるいは導電性網
状電極の平均的な厚さを越えているように構成すると、
電極端部における電界強度の集中が少なくなり、従っ
て、電界強度が比較的均一になり、また、その強度も弱
くなる。その結果、光出力の空間的な均一性、光出力の
時間的なゆらぎおよび発光効率が改善される。本発明に
おける電極端部とは、電極終端部、すなわち誘電体バリ
ヤ放電の誘電体に沿った電極が途切れる部分から、誘電
体バリヤ放電の放電ギャップ長と同じ長さ以下の電極部
分を言う。
よってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、
該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘
電体を兼ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エ
キシマ分子から放射される光に対して光透過性であり、
該誘電体の少なくとも一部に導電性薄膜電極あるいは導
電性網状電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにお
いて、該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の電極
端部の平均的厚さを該導電性薄膜電極あるいは導電性網
状電極の平均的な厚さを越えているように構成すると、
電極端部における電界強度の集中が少なくなり、従っ
て、電界強度が比較的均一になり、また、その強度も弱
くなる。その結果、光出力の空間的な均一性、光出力の
時間的なゆらぎおよび発光効率が改善される。本発明に
おける電極端部とは、電極終端部、すなわち誘電体バリ
ヤ放電の誘電体に沿った電極が途切れる部分から、誘電
体バリヤ放電の放電ギャップ長と同じ長さ以下の電極部
分を言う。
【０００９】該放電容器の外形が概略円筒状であり、該
導電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極が該放電容器
の外側に設けられ、該導電性薄膜電極あるいは該導電性
網状電極の電極端部に針金、金属より線、金属テープ、
金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種を巻きつ
けた構成にすると、あるいは、該円筒状網電極の端部を
折り曲げると、簡単な作業で、かつ、均一に電極端部の
厚さを増すことが可能になる。また、該導電性薄膜電極
あるいは該導電性網状電極の電極端部に巻きつけた該針
金、金属より線、金属テープ、金属網テープの中から選
ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード線を接続す
ると、該導電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極の接
続が高い機械強度で、確実に行われるため、高信頼の誘
電体バリヤ放電ランプが得られる。
導電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極が該放電容器
の外側に設けられ、該導電性薄膜電極あるいは該導電性
網状電極の電極端部に針金、金属より線、金属テープ、
金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種を巻きつ
けた構成にすると、あるいは、該円筒状網電極の端部を
折り曲げると、簡単な作業で、かつ、均一に電極端部の
厚さを増すことが可能になる。また、該導電性薄膜電極
あるいは該導電性網状電極の電極端部に巻きつけた該針
金、金属より線、金属テープ、金属網テープの中から選
ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード線を接続す
ると、該導電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極の接
続が高い機械強度で、確実に行われるため、高信頼の誘
電体バリヤ放電ランプが得られる。
【００１０】該導電性網状電極を軸方向に伸縮性を有す
るシームレスの円筒状導電性網で構成すると、該円筒状
導電性網の中に概略円筒状である放電容器を挿入したの
ち、該円筒状導電性網を軸方向に引っ張ると、該導電性
網状電極の半径は収縮して概略円筒状である該光透過性
誘電体と該導電性網状電極は完全に密着するので一部分
に空隙が生じることが無く、その結果、余分な放電が発
生することがなく、この余分な放電によって、ランプの
周辺における有害な化合物が発生せず、かつ、放電が安
定になって光出力が安定になり、さらに、発光効率が上
昇する。つまり、平板状の網状電極を丸めて、縫合線部
を形成するような重なりが該導電性網状電極に生ずるこ
とはなく、該導電性網状電極は概略円筒状である該光透
過性誘電体の表面において十分に均一であり、その結
果、空間的に均一な放電が発生し、放電が安定になり光
出力が安定な誘電体バリヤ放電ランプを得ることが出来
る。
るシームレスの円筒状導電性網で構成すると、該円筒状
導電性網の中に概略円筒状である放電容器を挿入したの
ち、該円筒状導電性網を軸方向に引っ張ると、該導電性
網状電極の半径は収縮して概略円筒状である該光透過性
誘電体と該導電性網状電極は完全に密着するので一部分
に空隙が生じることが無く、その結果、余分な放電が発
生することがなく、この余分な放電によって、ランプの
周辺における有害な化合物が発生せず、かつ、放電が安
定になって光出力が安定になり、さらに、発光効率が上
昇する。つまり、平板状の網状電極を丸めて、縫合線部
を形成するような重なりが該導電性網状電極に生ずるこ
とはなく、該導電性網状電極は概略円筒状である該光透
過性誘電体の表面において十分に均一であり、その結
果、空間的に均一な放電が発生し、放電が安定になり光
出力が安定な誘電体バリヤ放電ランプを得ることが出来
る。
【００１１】該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極
の電極端部に、銀、金、ニッケル、カーボン等を主成分
にした導電性ペーストを塗布すると、簡単な作業で、任
意な形状で電極端部の厚さを厚くすることが出来、従っ
て電界強度の均一性をより改善できる。電極端部に巻き
つけた該針金、金属より線、金属テープ、金属網テープ
の中から選ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード
線を接続した部分に導電性ペーストを塗布すると、該導
電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極の接続がより高
い機械強度で、確実に行われるため、高信頼の誘電体バ
リヤ放電ランプが得られる。
の電極端部に、銀、金、ニッケル、カーボン等を主成分
にした導電性ペーストを塗布すると、簡単な作業で、任
意な形状で電極端部の厚さを厚くすることが出来、従っ
て電界強度の均一性をより改善できる。電極端部に巻き
つけた該針金、金属より線、金属テープ、金属網テープ
の中から選ばれた少なくとも一種の部材に、電極リード
線を接続した部分に導電性ペーストを塗布すると、該導
電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極の接続がより高
い機械強度で、確実に行われるため、高信頼の誘電体バ
リヤ放電ランプが得られる。
【００１２】
【実施例】本発明の第１の実施例である同軸円筒形誘電
体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１
は全長約１５０ｍｍの石英ガラス製で、外径１４ｍｍの
内側管２、内径約２５ｍｍの外側管３を同軸に配置して
中空円筒状にしたものである。外側管３は誘電体バリヤ
放電の誘電体バリヤと光取り出し窓部材を兼用してお
り、外面には光を透過する金属製網状電極４が設けられ
ている。内側管２の外面には、光反射板を兼ねた厚さ
０．００５ｍｍのアルミニウム蒸着膜電極５が設けられ
ている。放電ギャップ７の距離は、５．５ｍｍになる。
また、放電容器１の一端には、バリウムゲッター６が設
けられている。
体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１
は全長約１５０ｍｍの石英ガラス製で、外径１４ｍｍの
内側管２、内径約２５ｍｍの外側管３を同軸に配置して
中空円筒状にしたものである。外側管３は誘電体バリヤ
放電の誘電体バリヤと光取り出し窓部材を兼用してお
り、外面には光を透過する金属製網状電極４が設けられ
ている。内側管２の外面には、光反射板を兼ねた厚さ
０．００５ｍｍのアルミニウム蒸着膜電極５が設けられ
ている。放電ギャップ７の距離は、５．５ｍｍになる。
また、放電容器１の一端には、バリウムゲッター６が設
けられている。
【００１３】網状電極４は、図２にその一部を示すよう
に、一本の金属線２３で、シームレスに円筒状に編んだ
もので円筒の円周方向２２ａ，２２ｂにループを繰り返
し形成した構造の円筒状網で、金属線は直径０．１ｍｍ
のモネルで、大きな網目２４および小さな網目２５の面
積は、それぞれ約２および１平方ミリメートルである。
該円筒状金属網のなかに放電容器１を挿入し、ランプの
軸方向に引っ張ることによって外側管３の外側に密接さ
れた網状電極４が形成された。すなわち、本発明の上記
の構成によって、それぞれの円筒状網電極４は外側管３
に隙間を有うさないで密着した。円筒状網電極４の電極
端部１１ａ，１１ｂに、直径０．１ｍｍのステンレス線
１２ａ，１２ｂをランプの軸方向に３ｍｍにわたって巻
きつけた。ステンレス線１２ａに電極リード線９を接続
し、その上に銀ペースト１３を約０．５ｍｍの厚さで塗
布した。内側電極５の電極端部１０ａ，１０ｂには、銀
ペースト１４ａ，１４ｂを厚さ約０．５ｍｍで、長さ５
ｍｍにわたって塗布した。放電容器の放電ギャップ７に
放電用ガスとしてキセノンガスを３００Ｔｏｒｒ封入し
た。周波数２０キロヘルツの電源８でランプ長１ｃｍあ
たり２ワットの電力で放電させたところ、光出力の空間
的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよび発光効率が
改善された誘電体バリヤ放電ランプが得られた。
に、一本の金属線２３で、シームレスに円筒状に編んだ
もので円筒の円周方向２２ａ，２２ｂにループを繰り返
し形成した構造の円筒状網で、金属線は直径０．１ｍｍ
のモネルで、大きな網目２４および小さな網目２５の面
積は、それぞれ約２および１平方ミリメートルである。
該円筒状金属網のなかに放電容器１を挿入し、ランプの
軸方向に引っ張ることによって外側管３の外側に密接さ
れた網状電極４が形成された。すなわち、本発明の上記
の構成によって、それぞれの円筒状網電極４は外側管３
に隙間を有うさないで密着した。円筒状網電極４の電極
端部１１ａ，１１ｂに、直径０．１ｍｍのステンレス線
１２ａ，１２ｂをランプの軸方向に３ｍｍにわたって巻
きつけた。ステンレス線１２ａに電極リード線９を接続
し、その上に銀ペースト１３を約０．５ｍｍの厚さで塗
布した。内側電極５の電極端部１０ａ，１０ｂには、銀
ペースト１４ａ，１４ｂを厚さ約０．５ｍｍで、長さ５
ｍｍにわたって塗布した。放電容器の放電ギャップ７に
放電用ガスとしてキセノンガスを３００Ｔｏｒｒ封入し
た。周波数２０キロヘルツの電源８でランプ長１ｃｍあ
たり２ワットの電力で放電させたところ、光出力の空間
的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよび発光効率が
改善された誘電体バリヤ放電ランプが得られた。
【００１４】本発明の第２の実施例である同軸円筒形誘
電体バリヤ放電ランプの概略図を図３に示す。円筒状網
電極４の電極端部１１ａ，１１ｂの構造以外は、第一の
実施例と同一構成である。円筒状網電極４の電極端部を
折り曲げて重ね、折り曲げ部３０ａ，３０ｂを形成し、
その上にニッケルペースト３１ａ，３１ｂを約１ｍｍの
厚さで塗布した。光出力の空間的な均一性、光出力の時
間的なゆらぎおよび発光効率が改善された誘電体バリア
放電ランプが得られた。
電体バリヤ放電ランプの概略図を図３に示す。円筒状網
電極４の電極端部１１ａ，１１ｂの構造以外は、第一の
実施例と同一構成である。円筒状網電極４の電極端部を
折り曲げて重ね、折り曲げ部３０ａ，３０ｂを形成し、
その上にニッケルペースト３１ａ，３１ｂを約１ｍｍの
厚さで塗布した。光出力の空間的な均一性、光出力の時
間的なゆらぎおよび発光効率が改善された誘電体バリア
放電ランプが得られた。
【００１５】本発明の第３の実施例である円盤形誘電体
バリヤ放電ランプの概略図を図４に示す。直径１００ｍ
ｍ，厚さ１．５ｍｍの合成石英ガラス板からなる平板状
誘電体４１と、アルミニウム製の平板状放電容器部材４
５と、円筒状の石英ガラス４６によって、円盤形の放電
容器４９を形成する。平板状誘電体４１は、誘電体バリ
ヤ放電用誘電体と光取りだし窓部材を兼任しており、そ
の外表面には直径０．１ｍｍのステンレス素線を２ｍｍ
間隔で直交して編んだ構造の直径８０ｍｍの金属網電極
４３が設けられている。内部電極は、平板状放電容器部
材４５の中心に取り付けられた直径１ｍｍのアルミニウ
ム棒からなる電極４４ａ、電極４４ａと同軸に平板状放
電容器部材４５に取り付けられた肉厚１ｍｍのアルミニ
ウムリングから成る電極４４ｂ，４４ｃから成り立って
いる。また、電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、平板状誘
電体１の大気圧に対する補強部材を兼ねている。電極４
４ａ，４４ｂ，４４ｃは、平板状誘電体４１に接してい
るだけで、平板状誘電体４１に機械的に固定されていな
い。電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃおよび平板状放電容器
部材４５の放電空間に面した部分を、ＭｇＦ2 からなる
誘電体４０で覆った。金属網電極４３の電極端部４８
に、内径７５ｍｍ，外形８５ｍｍ，高さ２ｍｍのステン
レスのリング５０を、金属網電極４３に電気的に接触さ
せて設けた。リング５０の平板状誘電体４１への固定
は、シリコンゴム系の接着剤５１を用いて行った。
バリヤ放電ランプの概略図を図４に示す。直径１００ｍ
ｍ，厚さ１．５ｍｍの合成石英ガラス板からなる平板状
誘電体４１と、アルミニウム製の平板状放電容器部材４
５と、円筒状の石英ガラス４６によって、円盤形の放電
容器４９を形成する。平板状誘電体４１は、誘電体バリ
ヤ放電用誘電体と光取りだし窓部材を兼任しており、そ
の外表面には直径０．１ｍｍのステンレス素線を２ｍｍ
間隔で直交して編んだ構造の直径８０ｍｍの金属網電極
４３が設けられている。内部電極は、平板状放電容器部
材４５の中心に取り付けられた直径１ｍｍのアルミニウ
ム棒からなる電極４４ａ、電極４４ａと同軸に平板状放
電容器部材４５に取り付けられた肉厚１ｍｍのアルミニ
ウムリングから成る電極４４ｂ，４４ｃから成り立って
いる。また、電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、平板状誘
電体１の大気圧に対する補強部材を兼ねている。電極４
４ａ，４４ｂ，４４ｃは、平板状誘電体４１に接してい
るだけで、平板状誘電体４１に機械的に固定されていな
い。電極４４ａ，４４ｂ，４４ｃおよび平板状放電容器
部材４５の放電空間に面した部分を、ＭｇＦ2 からなる
誘電体４０で覆った。金属網電極４３の電極端部４８
に、内径７５ｍｍ，外形８５ｍｍ，高さ２ｍｍのステン
レスのリング５０を、金属網電極４３に電気的に接触さ
せて設けた。リング５０の平板状誘電体４１への固定
は、シリコンゴム系の接着剤５１を用いて行った。
【００１６】放電用ガスとして３５０Ｔｏｒｒのキセノ
ンガスを空所４７に封入し、電極４３と電極４４ａ，４
４ｂ，４４ｃの間に電源８で交流電圧を印加したとこ
ろ、沿面放電プラズマ５２が平板状誘電体４１の近傍に
発生し、キセノンのエキシマ分子から波長１７２ｎｍと
その付近に最大値を有する紫外線が効率よく放射され、
光出力の空間的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよ
び発光効率が改善された、小型の誘電体バリヤ放電ラン
プが得られた。
ンガスを空所４７に封入し、電極４３と電極４４ａ，４
４ｂ，４４ｃの間に電源８で交流電圧を印加したとこ
ろ、沿面放電プラズマ５２が平板状誘電体４１の近傍に
発生し、キセノンのエキシマ分子から波長１７２ｎｍと
その付近に最大値を有する紫外線が効率よく放射され、
光出力の空間的な均一性、光出力の時間的なゆらぎおよ
び発光効率が改善された、小型の誘電体バリヤ放電ラン
プが得られた。
【００１７】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、光出
力の空間的な均一性および時間的な安定性が良好で、か
つ、発光効率が高い誘電体バリヤ放電ランプを提供でき
る。
力の空間的な均一性および時間的な安定性が良好で、か
つ、発光効率が高い誘電体バリヤ放電ランプを提供でき
る。
【図１】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの実施例の説
明図である。
明図である。
【図２】網状電極の説明図である。
【図３】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの他の実施例
の説明図である。
の説明図である。
【図４】本発明の誘電体バリヤ放電ランプの他の実施例
の説明図である。
の説明図である。
１ 放電容器 ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 網電極 ５ アルミニウム蒸着膜
電極 ６ ゲッター ８ 電源 ２３ 素線 ２４，２５ 網目 １０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ 電極端部 １２ａ，１２ｂ ステンレス線 １３，１４ａ，１４ｂ 銀ペースト ３０ａ，３０ｂ 円筒状網電極の折り
返し部 ３１ａ，３１ｂ ニッケルペースト ４１ 平板状誘電体 ４３ 光透過性網電極 ４４ａ，４４ｂ，４４ｃ 内部電極 ４５ 平板状放電容器部材 ４６ 石英ガラス
電極 ６ ゲッター ８ 電源 ２３ 素線 ２４，２５ 網目 １０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂ 電極端部 １２ａ，１２ｂ ステンレス線 １３，１４ａ，１４ｂ 銀ペースト ３０ａ，３０ｂ 円筒状網電極の折り
返し部 ３１ａ，３１ｂ ニッケルペースト ４１ 平板状誘電体 ４３ 光透過性網電極 ４４ａ，４４ｂ，４４ｃ 内部電極 ４５ 平板状放電容器部材 ４６ 石英ガラス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 笠木 邦雄 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 朝比奈 隆 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内 (72)発明者 若畑 康彦 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 放電容器に誘電体バリヤ放電によってエ
キシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、該放電容
器の少なくとも一部は該誘電体バリヤ放電の誘電体を兼
ねており、該放電容器の少なくとも一部は該エキシマ分
子から放射される光に対して光透過性であり、該誘電体
の少なくとも一部に導電性薄膜電極あるいは導電性網状
電極が設けられた誘電体バリヤ放電ランプにおいて、該
導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の電極端部の平
均的厚さが該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電極の
平均的な厚さを越えているように構成したことを特徴と
した誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項２】 該放電容器の外形が概略円筒状であり、
該導電性薄膜電極あるいは該導電性網状電極が該放電容
器の外側に設けられ、該導電性薄膜電極あるいは該導電
性網状電極の電極端部に針金、金属より線、金属テー
プ、金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種を巻
きつけた構成にしたことを特徴とした請求項１に記載の
誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項３】 該導電性薄膜電極あるいは該導電性網状
電極の電極端部に巻きつけた該針金、金属縒り線、金属
テープ、金属網テープの中から選ばれた少なくとも一種
の部材に、電極リード線を接続したことを特徴とした請
求項２に記載の誘電体バリヤ放電ランプ。 - 【請求項４】 該放電容器の外形が概略円筒状であり、
該円筒状網電極の端部を折り曲げた構成にしたことを特
徴とした請求項１から請求項３に記載の誘電体バリヤ放
電ランプ。 - 【請求項５】 該導電性網状電極が軸方向に伸縮性を有
するシームレスの円筒状導電性網からなることを特徴と
した請求項３から請求項４に記載の誘電体バリヤ放電ラ
ンプ。 - 【請求項６】 該導電性薄膜電極あるいは導電性網状電
極の電極端部に導電性ペーストを塗布したことを特徴と
した請求項１から請求項５に記載の誘電体バリヤ放電ラ
ンプ。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25097993A JP2836056B2 (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
| TW086106221A TW348262B (en) | 1993-09-08 | 1994-09-01 | Dielectric barrier discharge lamp |
| TW083108047A TW324106B (en) | 1993-09-08 | 1994-09-01 | Dielectric barrier layer discharge lamp |
| DE69402491T DE69402491T2 (de) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Dielektrikumbegrenzte Entladungslampe |
| EP94114054A EP0642153B1 (en) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Dielectric barrier discharge lamp |
| DE69419163T DE69419163T2 (de) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Entladungslampe mit dieelektrischer Barriere |
| EP96103794A EP0721204B1 (en) | 1993-09-08 | 1994-09-07 | Dielectric barrier discharge lamp |
| US08/303,033 US5581152A (en) | 1993-09-08 | 1994-09-08 | Dielectric barrier discharge lamp |
| KR1019940022656A KR100238642B1 (ko) | 1993-09-08 | 1994-09-08 | 유전체 배리어 방전램프 |
| KR1019990026316A KR100268706B1 (ko) | 1993-09-08 | 1999-07-01 | 유전체 배리어 방전램프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25097993A JP2836056B2 (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0785837A true JPH0785837A (ja) | 1995-03-31 |
| JP2836056B2 JP2836056B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=17215874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25097993A Expired - Lifetime JP2836056B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-14 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2836056B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004507054A (ja) * | 2000-08-14 | 2004-03-04 | シュテファン ブルーム | マイクロリアクタ |
| KR100403407B1 (ko) * | 1995-10-02 | 2004-03-24 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 유전체배리어방전램프 |
| JP2010027255A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
| JP2011504638A (ja) * | 2007-11-26 | 2011-02-10 | オスラム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 二重管構造の誘電体バリア放電ランプ |
| KR101143712B1 (ko) * | 2007-10-11 | 2012-05-09 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 |
| JP2016039028A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 株式会社オーク製作所 | 放電ランプ |
-
1993
- 1993-09-14 JP JP25097993A patent/JP2836056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100403407B1 (ko) * | 1995-10-02 | 2004-03-24 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 유전체배리어방전램프 |
| JP2004507054A (ja) * | 2000-08-14 | 2004-03-04 | シュテファン ブルーム | マイクロリアクタ |
| KR101143712B1 (ko) * | 2007-10-11 | 2012-05-09 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 |
| JP2011504638A (ja) * | 2007-11-26 | 2011-02-10 | オスラム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 二重管構造の誘電体バリア放電ランプ |
| JP2010027255A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
| JP2016039028A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 株式会社オーク製作所 | 放電ランプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2836056B2 (ja) | 1998-12-14 |
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