JPH0786112A - 生産管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 作業者が容易に処理順を選択でき、かつ効率
の良い搬送により製品の生産性を向上できる生産管理方
法を提供すること。 【構成】 一のロット以前のロットの製造処理装置にお
ける処理時間と先に計測した処理時間との平均値を算出
するとともに、この一のロット以前のロットの製造処理
装置における処理待ち時間と先に計測した処理待ち時間
との平均値を算出し、これに基づいててクリティカリテ
ィ値を求める。また、ロットの処理が終了した時点で、
次の製造工程における処理が可能な製造処理装置のうち
の製造情報ファイルに記憶された処理待ち数が最も少な
いものを選択し、この製造処理装置に対応する倉庫へ装
置を搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、製品をロット単位で製
造処理装置へ搬送し、製造工程順に処理を進めて製品を
完成させる間の生産管理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置等の製造工程では、ウエハか
ら成る材料を２５枚程度収納できるカセットに入れた状
態で搬送しており、製造処理装置には、このカセットを
搬入してまとめて処理を行ういわゆるバッチ処理装置
や、カセットから１枚ずつ取り出して個々に処理を行う
いわゆる枚葉処理装置がある。このような製造処理装置
を備えた製造工場では数十種類の品種から成る製品を生
産しており、それぞれの品種に応じて製造工程の順序
（工程フロー）が設定されている。この品種に応じた工
程フローや、製造工程で用いる製造処理装置の処理条件
等のデータは、管理の単位（以下、ロットとする）毎に
データベースに記憶されており、全ての工程フローにお
いてロット単位で処理が進められることになる。

【０００３】図９は、従来の生産管理装置の構成図であ
り、生産管理装置は主として生産管理、工程管理を行う
ためのホストコンピュータ１と、回線１１を介して接続
されるデータベース１０と、通信回線２０とターミナル
サーバー４０とを介してホストコンピュータ１と接続さ
れる複数の端末４とから構成されるものである。

【０００４】データベース１０は、例えばハードディス
クから成る記憶手段に記憶されているものであり、図１
０に示すようなテーブル形式の工程情報ファイルから構
築されている。工程情報ファイルは、製品名１０ｆに対
応して、処理順毎の工程名（工程フロー）１０ｃとその
処理条件１０ｉ、処理可能な製造装置名１０ｊとが記録
されたものであり、各製品名１０ｆ単位で記憶されてい
る。

【０００５】このため、作業者が図９に示す端末４から
所望の製品名１０ｆと工程名１０ｃを入力することによ
り、それに対応する製造装置名１０ｊや処理条件１０ｉ
をホストコンピュータ１が検索し、そのデータを通信回
線２０を介して端末４のディスプレイに表示させること
ができる。このような製造工場において、作業者が担当
する製造装置で処理できる製品は複数の品種や多数の製
造工程にわたっており、これらの処理順を決めることは
容易でない。

【０００６】そこで、この処理順を決定する指標の一つ
としてクリティカリティ値と呼ばれるものがある。図１
１は、このクリティカリティ値を説明する図であり、こ
れに基づいてある品種の工程フローにおけるクリティカ
リティ値の算出方法を説明する。すなわち、投入工程か
ら出来工程まで複数の工程があり、ある時点（現在の仕
掛り工程）におけるクリティカリティ値を算出するに
は、先ず、現在の日時から指定納期である出来指定日ま
での残りの時間（単位：日）を求める。次に、現在の仕
掛り工程から出来工程までの各設定サイクルタイムの総
和を求め、先に算出した残りの時間をこの設定サイクル
タイムの総和で割る。

【０００７】設定サイクルタイム（Ｔ_i ）とは、各工程
毎に予め設定された処理待ち時間と処理時間との和から
求められるものである。例えば、全工程フローを出来指
定日までに完了できなかった場合には、クリティカリテ
ィ値が「負」の値となり、また、ある工程での完了予定
と一致した処理が成されるとクリティカリティ値は
「１」の値となる。また、完了予定より処理が遅れてい
る場合にはクリティカリティ値が「０〜１」の間とな
り、反対に完了予定より処理が進んでる場合にはクリテ
ィカリティ値が「１」よりも大きい値となる。

【０００８】したがって、このクリティカリティ値の順
に製品を並べることにより、どの製品の工程が遅れてい
るか、または進んでいるかが容易に分かることになり、
作業者が処理順を決定するうえでの参考となる。

【０００９】一方、半導体装置の製造工場において、ウ
エハから成る材料をカセットに収納して搬送する場合、
ウエハへのダストの付着防止という観点から作業者とウ
エハとをなるべく隔離するために搬送の自動化が推進さ
れている。近年では、製造工場内に有軌道式の天井走行
型リニアモータ駆動搬送車が備えられており、ウエハ等
の製品をカセット単位で保管用の倉庫から各製造工程に
おける製造処理装置に自動搬送できるようになってい
る。このような製造工場では、これらの製造処理装置と
コンピュータとを通信回線を介して接続し、各種の情報
を交換したり情報管理を行うことにより製造工程におけ
る自動搬送を制御することで生産管理を行っている。

【００１０】図１２は、このような生産管理を行う場合
の各種のファイルを説明する図である。すなわち、これ
らの各種のファイルは、図９に示すホストコンピュータ
１と接続されたデータベース１０内に記憶されており、
図１２（ａ）に示すよう工程情報ファイルには、各製品
名１２ｆに応じて工程順に記載された工程名（工程フロ
ー）１２ｃや処理条件１２ｉ、製品が保管されている倉
庫名１２ｓが記憶されている。

【００１１】また、図１２（ｂ）に示すように、製造工
場内に存在する全ての製品（ロット単位）の現段階にお
ける仕掛り情報ファイルとして、ロット名１２ａと仕掛
り工程名１２ｋ、製品名１２ｆ、数量（枚数）１２ｍが
記憶されている。これらのファイルに基づいて、各倉庫
間の自動搬送や製品の保管管理を行っている。

【００１２】つまり、あるロットを投入して倉庫内にそ
のロットが入庫されると、そのロット名およびそれに付
随する情報が図９に示すホストコンピュータ１に送信さ
れ、ホストコンピュータ１は、接続されたデータベース
１０の仕掛り情報ファイルを検索する。そして、その図
１２（ｂ）に示す仕掛り情報ファイルの中から、送信さ
れたロット名１２ａに対応する現時点での仕掛り工程名
１２ｋを抽出する。続いて、その仕掛り工程名１２ｋに
基づいて、図１２（ａ）に示す工程情報ファイルを検索
し、先に抽出された仕掛り工程名１２ｋに対応する工程
名１２ｃを抽出し、その工程名１２ｃに対応する倉庫名
１２ｓと次の処理順に記載された工程名１２ｃとを抽出
する。

【００１３】この時点でホストコンピュータ１からの指
示により、抽出された倉庫名１２ｓと工程名１２ｋを指
定して、処理の終了後その倉庫名１２ｓの示す倉庫へ一
旦製品を格納する。そして、次の工程名１２ｋにおける
製造処理装置からの要求により、保管された倉庫から製
品を搬送して要求元の製造処理装置へセットする。この
搬送と同時に、工程情報ファイルに記載された処理条件
１２ｉをその製造処理装置へ送り込み、所定の処理を行
う。処理が終了した時点で、そのロット名１２ａがホス
トコンピュータ１へ送信されると、仕掛り情報ファイル
のそのロット名１２ａに対応する仕掛り工程名１２ｋを
次の工程名１２ｃに更新する。このような動作を繰り返
すことにより最終工程までの生産管理を行う。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな生産管理方法には次のような問題がある。すなわ
ち、作業者が処理順の決定の参考とするクリティカリテ
ィ値を算出するためには多数の工程における設定サイク
ルタイムを求める必要があり多大な労力を強いられるこ
とになる。また、設定サイクルタイムのうちの処理待ち
時間は製造処理装置の稼働状況や中間在庫等の生産環境
によって様々であり、同一の品種、工程においても一律
のものとは限らない。このため、予め定められた設定サ
イクルタイムに基づいて算出したクリティカリティ値の
有効性が損なわれてしまうとともに、作業者が現実的な
データを求めて設定サイクルタイムを算出するには非常
な困難を伴うことになる。

【００１５】また、自動搬送による製造工場での生産管
理を行う場合、先に述べた工程情報ファイルには工程名
と対応した倉庫名が記載されているだけであり、同一の
工程で複数の製造処理装置が備えられていると、その工
程内に製品を搬送する倉庫が登録されることで各製造処
理装置に効率良く製品を搬送するのが困難となる。ま
た、同一の工程における複数の製造処理装置に対して、
各製造処理装置に特有な特徴を加味した処理条件を設定
することが不可能であり、精密な処理制御を施しにくい
ものとなる。よって、本発明は作業者が容易に処理順を
選択でき、しかも効率の良い搬送により製品の生産性を
向上できる生産管理方法を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために成された生産管理方法である。すなわ
ち、ロット単位で製造処理装置に投入し、決められた各
製造工程に沿って設定納期までに順次製品を製造してい
く生産管理方法において、一のロットに対する処理が製
造処理装置により実際に行われた処理時間と、その製造
処理装置による処理の一つ前の製造工程の処理が終了し
てから製造処理装置による処理が開始されるまでの処理
待ち時間とを各製造工程毎に計測する。

【００１７】そして、一のロット以前のロットの製造処
理装置における処理時間と先に計測した処理時間との平
均値を算出するとともに、この一のロット以前のロット
の製造処理装置における処理待ち時間と先に計測した処
理待ち時間との平均値を算出する。このロットの所定時
点における処理の進捗状況を、所定時点以降の各製造工
程における処理時間の平均値と処理待ち時間の平均値と
の総和時間に対する所定時点から設定納期までの残り時
間の割合により表すようにしたものである。

【００１８】また、所定の製造工程における製品のロッ
ト単位の処理が終了した時点で搬送手段を介して製品を
所定の倉庫に格納し、倉庫から次の製造工程における処
理が可能な製造処理装置へ製品を搬送するように生産の
管理を行う生産管理方法においては、予め、製品を製造
するための複数の製造工程を工程順に記憶しておくとと
もに、各製造工程における処理が可能な製造処理装置の
装置名を少なくとも１つ以上記憶した工程情報ファイル
を作成し、さらに、製造処理装置へ搬入する製品を一時
的に格納しておく倉庫の倉庫名と、製造処理装置におけ
る処理を待機しているロット数から成る処理待ち数とを
各製造処理装置毎に記憶しておく装置情報ファイルを作
成しておく。

【００１９】そして、所定の製造工程によるロットの処
理が終了した時点で、工程情報ファイルに記憶された製
造工程の次の製造工程を読み出すとともに、次の製造工
程における処理が可能な製造処理装置のうちの製造情報
ファイルに記憶された処理待ち数が最も少ないものを選
択し、かつ、選択された製造処理装置に対応する倉庫の
倉庫名を製造情報ファイルから読み出す。このロットの
処理を終了した製造処理装置から読み出された倉庫名が
示す倉庫へ製品を搬送し、その倉庫から次の製造工程に
おける処理が可能な製造処理装置へ製品を搬入するよう
にしたものである。

【００２０】

【作用】ロット単位で製造処理装置に投入し、決められ
た製造工程に沿って設定納期までに順次製品を製造する
生産管理方法においては、一のロットに対する製造処理
装置での処理が実際に行われた処理時間と、一つ前の製
造工程の処理が終了してからその処理が開始されるまで
の処理待ち時間とを各製造工程毎に計測することによ
り、正確な設定サイクルタイムを得ることができる。さ
らに、一のロット以前のロットの製造処理装置における
処理時間と先に計測した処理時間との平均値を算出する
とともに、一のロット以前のロットの製造処理装置にお
ける処理待ち時間と先に計測した処理待ち時間との平均
値を求めることで、数多くのロットが処理されるたびに
平均的な設定サイクルタイムを得ることができる。この
ようにして得た設定サイクルタイムに基づいて所定時点
以降の各製造工程の処理時間と処理待ち時間との総和時
間に対する所定時点から設定納期までの残り時間の割合
を表すことで正確なクリティカリティ値を得ることがで
きる。

【００２１】また、所定の製造工程における製品のロッ
ト単位の処理が終了した時点で搬送手段を介して製品を
所定の倉庫に格納し、その倉庫から次の製造工程におけ
る処理が可能な製造処理装置へ製品を搬送するように生
産の管理を行う生産管理方法においては、予め、製品に
応じた複数の製造工程を工程順に記憶しておくととも
に、各製造工程における処理が可能な製造処理装置の装
置名を少なくとも１つ以上記憶した工程情報ファイルを
作成することで、同一工程で処理可能な複数の製造処理
装置に対応した処理条件を設定できるようになる。さら
に、これら複数の製造処理装置による処理を待機してい
るロット数を記憶しておき、待ち数の最も少ないものに
製品を搬送するようにして効率的な搬送を行う。

【００２２】

【実施例】以下に、本発明の生産管理方法の実施例を図
に基づいて説明する。図１は本発明の生産管理方法の要
部を説明する流れ図、図２は本発明の生産管理方法を行
うための生産管理装置の構成図である。先ず、本発明の
生産管理方法の説明に先立ち、生産管理装置の説明を行
う。図２に示すように、この生産管理装置は、生産管理
および工程管理の機能をもつホストコンピュータ１と、
ホストコンピュータ１に回線１１を介して接続されたハ
ードディスクから成るデータベース１０と、ＬＡＮ等の
通信回線２０を介して製造装置群や同一のライン、エリ
ア毎に接続された複数のローカルコンピュータ２と、通
信回線２０とターミナルサーバー４０とを介して接続さ
れた端末４とから構成されている。

【００２３】ローカルコンピュータ２には、通信回線２
０ａを介して直接つながるオンライン製造装置３１が接
続されたものや、通信回線２０ｂと情報入出力端末であ
る例えばハンディターミナル３０を介してつながるオフ
ライン製造装置３２が接続されたものがある。このロー
カルコンピュータ２は、通信回線２０を介してホストコ
ンピュータ１に種々の形態で収集された情報を定型化し
て送信したり、データベース１０内の情報を読み出して
オンライン製造装置３１やオフライン製造装置３２に提
供する役割を果たす。

【００２４】また、端末４は、ホストコンピュータ１の
情報入出力端末であり、生産管理装置の起動、停止や部
分的な停止時において、情報収集のバックアップを行う
ために使用するものであり、ターミナルサーバー４０お
よび通信回線２０を介してホストコンピュータ１、各ロ
ーカルコンピュータ２と接続されている。

【００２５】ホストコンピュータ１により管理されるデ
ータベース１０には、図３に示すような各種のファイル
が記憶されている。すなわち、図３（ａ）は製造処理履
歴ファイルを示したものであり、あるロット名３ａのロ
ットに対して処理が成された時刻３ｂ、工程名３ｃ、処
理サイズ３ｄ（バッチ処理装置による処理には「Ｂ」、
枚葉処理装置による処理には「Ｅ」）、処理内容３ｅ
（「処理開始」や「処理終了」等）がオンライン製造装
置３１やオフライン製造装置３２と各ローカルコンピュ
ータ２との相互の通信の実行によって各ロット毎に記録
されている。

【００２６】また、図３（ｂ）は工程情報ファイルを示
したものであり、製品名３ｆに応じた工程名３ｃ、処理
サイズ３ｄ、後述する待ち時間３ｇと処理時間３ｈとか
ら成るサイクルタイム、処理条件３ｉ、処理可能な製造
装置名３ｊが各製品名３ｆ毎に記録されている。さら
に、図３（ｃ）は仕掛り情報ファイルを示したものであ
り、ロット名３ａに対する現在の仕掛り工程名３ｋと、
製品名３ｆ、数量３ｍ、出来指示日３ｎ、処理状態３
ｐ、図１１に示すクリティカリティ値３ｑとが記憶され
ている。

【００２７】次に、この生産管理装置と先に説明した各
種のファイルとを用いた生産管理方法を説明する。先
ず、ロットを投入する時点で、オンライン装置３１ある
いはオフライン装置３２のハンディターミナル３０を操
作することにより、「処理開始問い合わせ」をローカル
コンピュータ２を介してホストコンピュータ１へ送信す
る。この際の「処理開始問い合わせ」には、これから処
理を行うロット名３ａとそのロットの処理に使用する製
造装置名３ｊとが含まれている。この通知をホストコン
ピュータ１が受けた段階で、ホストコンピュータ１はデ
ータベース１０内の仕掛り情報ファイルを参照し、通知
されたロット名３ａに対応する仕掛り工程名３ｋと製品
名３ｆとを読み出す。

【００２８】続いて、工程情報ファイルを参照し、読み
出した製品名３ｆと工程名３ｃとに対応する処理可能な
製造装置名３ｊが、「処理開始問い合わせ」を送信して
きた処理装置と一致するかをチェックし、合致すればホ
ストコンピュータ１からローカルコンピュータ２へ「処
理開始指示」を送信する。また、同時に工程情報ファイ
ルから処理サイズ３ｄのデータを読み出して、製造処理
履歴ファイルの対応するロット名３ａの時刻３ｂの欄に
処理開始時刻と、工程名３ｃと、処理サイズ３ｄ、処理
内容３ｅとを記録する。

【００２９】そして、処理が完了した時点で、「処理完
了」が上述と同様な経路によりホストコンピュータ１に
通知されるが、この通知のデータ内容には実績としての
ロット名３ａと、使用装置名、数量３ｍが含まれてい
る。これらのデータに基づいて、仕掛り情報ファイル、
工程情報ファイルの順に参照していき、該当するロット
に関する情報を読み出して、最終的には仕掛り情報ファ
イルの処理状態３ｐを「処理待」とし、製造処理履歴フ
ァイルの処理内容３ｅを処理終了としてその時刻３ｂを
記録する。なお、処理の途中で中断があった場合や、そ
の中断が解除されて処理が再開した場合には、それぞれ
の処理内容３ｅ（「処理中断」や「処理再開」）とその
時刻３ｂを記録しておく。

【００３０】次に、「処理終了」のデータを記録した後
に、図１に示す流れ図に基づいてこの品種のサイクルタ
イムの再設定を行う。すなわち、ロットの処理が完了し
た時点で（ステップ１ａ）、製造処理履歴ファイルから
のデータ抽出を行い（ステップ１ｂ）、あるロットの所
定工程における処理が完了した時点で（１）式に示す処
理時間（Ｔｉｍｅ（Ａ））を計測する。

【数１】 これにより、処理が中断していた時間を除く実際の稼働
時間が計測できる。

【００３１】同様に、（２）式に示す処理待ち（Ｔｉｍ
ｅ（Ｂ））を計測する。

【数２】 そして、この処理時間（Ｔｉｍｅ（Ａ））と処理待ち
（Ｔｉｍｅ（Ｂ））との和からサイクルタイムを得る。
また、ステップ１ｃの判断により枚葉処理装置であると
判断された場合には、ステップ１ｄに進んで計測した処
理時間（Ｔｉｍｅ（Ａ））を（３）式を用いて基準枚数
処理時の値に換算しておく。

【数３】

【００３２】次に、これらの処理時間と処理待ち時間と
を用いて、工程毎のサイクルタイムを求め（ステップ１
ｅ）、（４）式を用いて処理時間、処理待ち時間それぞ
れの実績平均値を算出する。

【数４】

【００３３】これにより、一のロット以前のロットの製
造処理装置における各処理時間と、そのロットでの処理
時間との平均値が得られるとともに、一のロット以前の
ロットの製造処理装置における各処理待ち時間と、その
ロットでの処理待ち時間との平均値が得られることにな
る。ここで得られた処理時間を工程情報ファイルの処理
時間３ｈの欄に記載し、処理待ち時間を同様に処理待ち
時間３ｇの欄に記載する。つまり、第１ロットに関して
は、計測されたサイクルタイムがそのまま記載され、第
２ロット以降に関しては、それ以前のサイクルタイムを
合わせた全ロットのデータの平均値が平等に加味されて
更新されることになる。

【００３４】なお、ロットの処理の途中で製造処理装置
のトラブル等が発生して処理が中断したり、その後に復
旧して再び処理が再開した場合にも、製造処理履歴ファ
イルに各処理に対応した時刻３ｂが記録されているた
め、上記のサイクルタイムの算出にはこれらのデータが
加味されたものとなる。

【００３５】そして、このように記載されたサイクルタ
イムに基づいて、図１１に示すようなクリティカリティ
値を算出し、仕掛り情報ファイルのクリティカリティ値
３ｑの欄に記載する。作業者は、この仕掛り情報ファイ
ルのクリティカリティ値３ｑの大小によってソーティン
グしたリストを作成し、これに基づいて処理の優先順位
等の情報を得ることができるようになる。

【００３６】次に、半導体装置等の生産工場において、
ウエハから成る製品をカセットに収納して搬送する場合
の生産管理方法について説明する。図５は、工場内の搬
送路を説明する図であり、生産工場２１内には複数の製
造装置３３が配置され、これらの製造装置３３は、数台
で同一の工程の処理を行える例えばＡ群と、他の数台で
構成されるＢ群とに区分けされている。製品を搬送する
ための搬送路としては、各同一工程内で製品を搬送する
ための工程内搬送路２４と、各工程間を搬送するための
工程間搬送路２７とから構成されている。さらに、各工
程内搬送路２４には、製造装置３３へ搬送する製品を一
時的に保管するための倉庫２５ａ〜２５ｄがそれぞれ備
えられている。

【００３７】このような生産工場２１内の搬送路を用い
て製品を搬送しながら生産管理を行うには、図４に示す
ような搬送装置を用いる。すなわち、この搬送装置はホ
ストコンピュータ１により統括管理されるものであり、
各製造ラインに配置された複数の製造装置３３と、各自
動倉庫コントローラ２５、工程内搬送路２４を制御する
ための工程内搬送制御コンピュータ２６とが通信回線２
０ａ、２０ｂ…を介してローカルコンピュータ２と接続
されたものである。

【００３８】ローカルコンピュータ２は、各製造装置３
３から送信されてくる各種データを定型化してホストコ
ンピュータ１に送り、あるいは、製造装置３３からの要
求によってホストコンピュータ１の管理するデータベー
ス１０内の各種情報を各製造装置３３に提供する機能を
持つ。さらに、ローカルコンピュータ２は、同一製造ラ
イン内に位置する各製造装置３３間、および製造装置３
３と自動倉庫コントローラ２５との間の自動搬送を制御
する工程内搬送制御コンピュータ２６に対して搬送指示
を発生させる。

【００３９】このような搬送装置を用いて生産管理を行
うには、ホストコンピュータ１が管理するデータベース
１０内に図６に示すような工程情報ファイルや、装置情
報ファイル、仕掛り情報ファイルに基づいて行う。すな
わち、図６（ａ）に示す工程情報ファイルでは、各製品
名６ｆ毎に、その製品を製造するための工程名６ｃが工
程順に並べられ、各工程名６ｃを処理するための処理可
能な製造装置名６ｊが少なくとも１つ以上記載されてい
る。また、各製造装置名６ｊに記載された製造装置３３
に対応した処理条件６ｉがそれぞれ記載されており、各
製造装置３３に合わせて登録できるようになっている。

【００４０】また、図６（ｂ）に示す装置情報ファイル
には、各製造装置名６ｊに対する稼働状態６ｒと、その
製造装置名６ｊが示す製造装置３３につながる倉庫名６
ｓと、その製造装置３３による処理を待っている製品数
を示す処理待ち数６ｔとが記載されている。また、図６
（ｃ）に示す仕掛り情報ファイルでは、工場内に仕掛り
中の全製品について、そのロット名６ａと仕掛り工程名
６ｋと製品名６ｆと数量６ｍと処理状態６ｐと処理予定
装置名６ｕとが記載されている。なお、処理状態６ｐに
は、処理が開始する以前を「処理待」の状態とし、処理
が開始されてから完了するまでを「処理中」の状態とし
てその旨を記載する。

【００４１】次に、このような各種のファイルに基づい
て生産管理方法を図７、図８の流れ図、および図４、図
５、図６を参照しながら順に説明する。例えば、Ａ群の
製造装置３３による処理が終了したロットが、工程内搬
送路２４を介して倉庫２５ａに戻されたとすると、この
時点で図７に示す流れ図に基づいて管理される。すなわ
ち、このロット名が自動倉庫コントローラ２５からロー
カルコンピュータ２を介してホストコンピュータ１に通
知されると、ホストコンピュータ１はデータベース１０
内の仕掛り情報ファイルを検索し（ステップ７ａ）、そ
のロット名６ａに対応する製品名６ｆと現在仕掛り中で
ある仕掛り工程名６ｋとを読み出す。

【００４２】次に、工程情報ファイルを検索して（ステ
ップ７ｂ）、先に読み出した製品名６ｆと工程名６ｋと
の組合せに該当する処理可能な複数の製造装置名６ｊを
読み出す。そして、装置情報ファイルを検索し（ステッ
プ７ｃ）、先に読み出された製造装置名６ｊの中から稼
働状態６ｒが「ｕｐ」で、しかも処理待ち数６ｔが最小
となるものを選びだし、これに対応する倉庫名６ｓを読
み出す。それと同時に製造装置名６ｊに対応する処理待
ち数６ｔをインクリメントする。

【００４３】さらに、選ばれた製造装置名６ｊを仕掛り
情報ファイルの搬送対象となるロットのロット名６ａに
対応する処理予定装置名６ｕ内に記載する（ステップ７
ｄ）。そして、先のステップで読み出された倉庫名６ｓ
の示す倉庫をこのロットの搬送先として工程間搬送制御
コンピュータ２６に対して搬送指示を通知し（ステップ
７ｅ）、工程間搬送の指示発生の処理を完了する。

【００４４】この指示により工程間搬送路２７を介して
ロットを行き先の倉庫へ搬送し一時的に格納する。これ
により、各倉庫２５ａ〜２５ｄに対して複数の処理可能
な製造装置３３が備えられていても、しかも複数の生産
ラインにまたがっていても（Ｂ群での処理を次に行うよ
うな場合）、対象となる製造装置群の中から最も適切な
状況にある製造装置３３を選択することになり、いずれ
の製造ラインの製造装置３３にもロットが供給できるよ
うになる。

【００４５】次に、倉庫２５ａ〜２５ｄに格納された製
品を同一工程を構成する製造装置３３へ搬送する、いわ
ゆる工程内搬送を行う方法を説明する。すなわち、この
搬送は図８の流れ図に基づいて行うものであり、先ず、
前の工程から搬送されたロットが一時的に倉庫２５ａ〜
２５ｄに格納されている状態で、製造装置３３からのロ
ットの搬入要求がローカルコンピュータ２を介してホス
トコンピュータ１に通知あると、ホストコンピュータ１
はデータベース１０内の仕掛り情報ファイルを検索し
（ステップ８ａ）、ロットの要求によって通知された製
造装置名が処理予定装置名６ｕと一致するロットを選択
し、そのロットの製品名６ｆおよび仕掛り工程名６ｋを
読み出す。

【００４６】次に、工程情報ファイルにおける製品名６
ｆと工程名６ｃと製造装置名６ｊが前の処理で読み出し
たものと一致する組合せに対応する処理条件６ｉを読み
出す（ステップ８ｂ）。ここで読み出したロット名６ａ
がホストコンピュータ１からローカルコンピュータ２を
介して自動倉庫コントローラ２５に送られ、またロット
名６ａと先に読み出された処理条件６ｉとが要求元の製
造装置３３へ送られる。そして、要求元の製造装置３３
を示す製造装置名６ｊが工程内搬送制御コンピュータ２
６へ送られる（ステップ８ｃ）。

【００４７】この時点で、工程内搬送路２４を介して倉
庫２５ａ〜２５ｄから要求元の製造装置３３へ製品を搬
入することになる（ステップ８ｄ）。この製造装置３３
には処理条件が設定されているため、処理の準備が整っ
た段階で所定の処理を開始し（ステップ８ｅ）、これと
同時に製造装置３３からローカルコンピュータ２を介し
てホストコンピュータ１へその「処理開始」を通知す
る。この「処理開始」の通知により、装置情報ファイル
の該当する製造装置名６ｊにおける処理待ち数６ｔをデ
クリメントする（ステップ８ｆ）。

【００４８】その後、製造装置３３内のロットにおける
処理が完了した場合には（ステップ８ｇ）、その完了を
ローカルコンピュータ２を介してホストコンピュータ１
へ送る。ここで、ホストコンピュータ１は通知されたロ
ット名に基づいて仕掛り情報ファイルを検索し（ステッ
プ８ｈ）、そのロットの製品名６ｆと仕掛り工程名６ｋ
とを読み出す。

【００４９】次に、先のステップにて読み出した製品名
６ｆと仕掛り工程名６ｋとにより、工程情報ファイルを
検索し（ステップ８ｉ）、現在の仕掛り工程名６ｋの次
の工程名６ｃを抽出し、仕掛り情報ファイルの仕掛り工
程名６ｋにその工程名６ｃをセットして更新する（ステ
ップ８ｊ）。そして、このロット名６ａをローカルコン
ピュータ２を介して自動倉庫コントローラ２５および工
程内搬送制御コントローラ２６へ通知し（ステップ８
ｋ）、その後、工程内搬送路２７を介して製品を倉庫２
５ａ〜２５ｄに格納する。以上のようなステップを繰り
返すことにより、ロットの処理を順次進めていく。

【００５０】なお、本実施例において、生産管理を行う
対象として半導体装置の製造を例として説明したが、本
発明はこれに限定されず製造ラインにより製造されるも
のであればどんな製品の生産管理にも適用できる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の生産管理
方法を用いれば次のような効果がある。すなわち、各ロ
ットの処理に対する現実の実績データに基づいてサイク
ルタイムを自動的に設定し、このサイクルタイムに基づ
いたクリティカリティ値を得ることができるため、製品
の出来日の予想の精度を上げることが可能となる。ま
た、サイクルタイムやクリティカリティ値を現実に近い
数値で、しかもリアルタイムで参照可能となり、作業者
による処理順に決定が容易に行えることになる。

【００５２】また、同一の工程で複数の製造処理装置が
備えられていても、各製造処理装置の処理待ち数に応じ
て搬送先の倉庫を決定できるため、同一工程の製造処理
装置の存在する全てのラインに連結する倉庫へ効率よく
ロットを供給することが可能となる。しかも、製造処理
装置の稼働状態に応じてロットの供給を行えるため、全
体としてバランスよく供給することが可能となる。これ
らのことから、製品の生産性を向上させることが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産管理方法の要部を説明する流れ図
である。

【図２】生産管理装置の構成図である。

【図３】各種のファイルを説明する図で、（ａ）は製造
処理履歴ファイル、（ｂ）は工程情報ファイル、（ｃ）
は仕掛り情報ファイルである。

【図４】搬送装置の構成図である。

【図５】工場内の搬送路を説明する図である。

【図６】各種ファイルを説明する図で、（ａ）は工程情
報ファイル、（ｂ）は装置情報ファイル、（ｃ）は仕掛
り情報ファイルである。

【図７】工程間搬送の流れ図である。

【図８】工程内搬送の流れ図である。

【図９】従来例を説明する構成図である。

【図１０】従来の工程情報ファイルを説明する図であ
る。

【図１１】クリティカリティ値を説明する図である。

【図１２】従来の各種ファイルを説明する図で、（ａ）
は工程情報ファイル、（ｂ）は仕掛り情報ファイルであ
る。

【符号の説明】

１ ホストコンピュータ ２ ローカルコンピュータ ３ 工程間搬送制御コンピュータ ４ 端末 １０ データベース ２０ 通信回線 ２５ 自動倉庫コントローラ ２６ 工程内搬送制御コンピュータ ３３ 製造装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロット単位で製造処理装置に投入し、決
   められた各製造工程に沿って設定納期までに順次製品を
   製造していく生産管理方法において、 一のロットに対する処理が前記製造処理装置により実際
   に行われた処理時間と、該製造処理装置による処理の一
   つ前の製造工程の処理が終了してから該製造処理装置に
   よる処理が開始されるまでの処理待ち時間とを前記各製
   造工程毎に計測し、 前記一のロット以前のロットの前記製造処理装置におけ
   る処理時間と計測した前記処理時間との平均値を算出す
   るとともに、前記一のロット以前のロットの該製造処理
   装置における処理待ち時間と計測した前記処理待ち時間
   との平均値を算出し、 ロットの所定時点における処理の進捗状況を、該所定時
   点以降の各製造工程における前記処理時間の平均値と前
   記処理待ち時間の平均値との総和時間に対する該所定時
   点から前記設定納期までの残り時間の割合により表すよ
   うにしたことを特徴とする生産管理方法。
2. 【請求項２】 所定の製造工程における製品のロット単
   位の処理が終了した時点で搬送手段を介して該製品を所
   定の倉庫に格納し、該倉庫から次の製造工程における処
   理が可能な製造処理装置へ該製品を搬送するように生産
   の管理を行う生産管理方法において、 予め、前記製品を製造するための複数の製造工程を工程
   順に記憶しておくとともに、前記複数の製造工程の各々
   における処理が可能な製造処理装置の装置名を少なくと
   も１つ以上記憶した工程情報ファイルを作成し、 さらに、前記製造処理装置へ搬入する製品を一時的に格
   納しておく倉庫の倉庫名と、該製造処理装置における処
   理を待機しているロット数から成る処理待ち数とを各製
   造処理装置毎に記憶しておく装置情報ファイルを作成し
   ておき、 所定の前記製造工程による前記ロットの処理が終了した
   時点で、前記工程情報ファイルに記憶された該製造工程
   の次の製造工程を読み出すとともに、該次の製造工程に
   おける処理が可能な製造処理装置のうちの前記製造情報
   ファイルに記憶された処理待ち数が最も少ないものを選
   択し、かつ、選択された前記製造処理装置に対応する倉
   庫の倉庫名を該製造情報ファイルから読み出し、 前記ロットの処理が終了した製造処理装置から前記倉庫
   名が示す倉庫へ前記製品を搬送し、該倉庫から前記次の
   製造工程における処理が可能な製造処理装置へ該製品を
   搬入するようにしたことを特徴とする生産管理方法。