JPH0786648B2 - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPH0786648B2 JPH0786648B2 JP1775587A JP1775587A JPH0786648B2 JP H0786648 B2 JPH0786648 B2 JP H0786648B2 JP 1775587 A JP1775587 A JP 1775587A JP 1775587 A JP1775587 A JP 1775587A JP H0786648 B2 JPH0786648 B2 JP H0786648B2
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Landscapes
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕 本発明は分解された各原稿フィルムを合成してカラー画
像を作成し、印刷用製版の修正を本刷り前に行う工程等
の原稿フィルムの露光装置の改良に関する。 〔従来の技術〕 一般にカラー印刷の印刷工程はイエロー(Y)のインク
で印刷するY版とマゼンタ(M)のインクで印刷するM
版とシアン(C)のインクで印刷するC版と黒(BL)の
インクで印刷するBL版の各印刷版を用いて、同一の印刷
用紙の上に各単色の印刷を順次重ね合わせて行い所要の
カラー印刷ができ上るようにしてある。この各印刷版は
原画をC、M、Y、BLに分解して撮影し、集版によって
作成した各ポジフィルムを用いてPS版等に焼付けて得ら
れるもので、この各印刷版を用いて本刷りを行うが本製
版前にチェックして欠陥脱落等を修正しておかないで本
刷り後欠陥を発見したのでは非常な損失になることは明
らかである。これを防止するためにC、M、Y、BLに分
解され印刷物と等寸大に作られた各原稿フィルムを等倍
の大きさに再合成してカラー感材に焼付けてその画像を
観察することによって文字の訂正変更、色違い、網のか
け合せ等が指示通り行われているかをチェックすること
がのぞましい。 その際第4図の平面図及び第5図の一部を断面にした側
面図に示すように例えば原稿台ボックス11の内部に設け
られたランプ19によって一様に照射された原稿台ガラス
12上に先ずBLに分解された原稿フィルム13とYに分解さ
れた原稿フィルム14Aが重ね合わされておかれる。これ
等の原稿フィルムはポジであり、該原稿フィルムにはポ
ジフィルムを作成するまでの過程で画像合せの共通の基
準とされる方法で基準孔のピン孔18′が所定の領域に間
隔を定めて少くとも2ヶ所あけられている。これに対応
したピンバー17のピン18が前記ピン孔18′と同寸法に該
ピンバー上に植えられている。そして前記原稿ガラスの
端部の適当な位置に前記ピンバーをテープで貼付して固
定する。その固定されたピンバーのピン18に前記原稿フ
ィルム13及び14Aのピン孔18′が嵌入している。更にそ
の上に透明なカバーシート15がかぶせられているが該カ
バーシートにも前記ピン18に嵌合するピン孔18″があけ
られている。 このような状態でサクション装置を作動させると原稿台
ボックス11に密着固接された原稿台ガラス12の周辺部の
該ボックスにうがたれた溝22につながる通気孔21、通気
補助部材27に設けられた通気孔23及びそれにつながる導
通パイプ28、26を通じて接続されたモータ24で駆動され
る真空ポンプ25によって原稿台ガラス12と透明なカバー
シート15との間の空気が抜かれ各原稿13、14Aとカバー
シート15は原稿台ガラス12に押圧密着されるようになり
各原稿間の画像ずれを生ずることなく平面性が維持でき
るようになっている。この状態でフィルムでYの補色の
青(B)光による、露光撮影が等倍でなされ静止された
カラー感材上に結像される。 このようにしてY、BLの組合せ露光撮影が終了するとY
原稿フィルム14Aのピン孔18′をピン18から外し、Mの
原稿フィルム14Bのピン孔18′をピン18に嵌入し、同様
にカバーシートのピン孔18″を該ピン18に嵌入し、前記
同様のサクション操作によりBL、Mの原稿フィルムを重
ね合せ画像の位置ずれ防止と平面性を維持した状態でM
の補色のグリーン(G)光により前記感材上に重ね露光
撮影を完了すると、更に前記同様Mの原稿フィルム14B
とカバーシート15をピン18から外しCの原稿フィルム14
Cのピン孔18′とカバーシート15のピン孔18″をピン18
にはめかえ再びサクションを作動させた上で、Cの補色
の赤光による露光撮影を前記静止感材上に重ね焼きさせ
て画像形成露光を完了する。これをカラー現像すること
によって実物印刷と同じ大きさで同じ感覚のカラー画像
が仕上る。これを観察して印刷意図に対する脱落や欠陥
の有無をチェックできる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 前述のような原稿位置決め方法では原稿交換のたびに原
稿フィルムだけでなくカバーシート15のはめかえを行わ
なければならず、またピン18に対するピン孔18″も各原
稿のピン孔18′と同じぐらいの寸法精度にしておかねば
ならず、又ピンバー17を少し別位置に移動したりすると
そのカバーシートは使えなくなり、別のそれに見合うカ
バーシートを用意しなければならずましてや第4図、第
5図で示すような横位置だけでなくそれに直角な縦位置
にピンバー17を置くような場合にも別の位置に孔を明け
た別のカバーシートが必要になるといった面倒さもあり
時間がかかる。 又ピンバーそのものがいろいろいのピン寸法及びピン間
間隔をもっているためカバーシートもそれに対応したも
のを多数用意しなければならないという複雑さが介在し
た。 そしてカバーシートにも孔があけられるためサクション
効率が悪く時間もかかる。このように作業性、操作性が
悪く、所要の作業時間が長くかかり操作に熟練が要求さ
れる。 本発明はこのような問題点を解決し、効率のよい原稿の
露光装置を提供することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 この目的は、感光材料上に原稿の画像を露光し、該露光
を順次繰り返して、合成画像を得る露光装置において、
原稿を載置する原稿台と、 前記原稿台上に原稿の位置決めを行うための突起部を有
する突起部材と、 前記原稿台上の原稿を覆う光透過性のカバーシートと、 原稿を前記原稿台に密着させるために、前記カバーシー
トを吸引する吸引手段と、を有し、 前記カバーシートは、少なくとも前記突起部材の突起部
を覆う部分に窓が開けられており、かつ、少なくとも前
記窓部分が弾性材料からなるピンカバーシートにより覆
われていることを特徴とする露光装置によって達成され
る。 〔実施例〕 本発明の装置を用いた第1の実施例を第1−A図の原稿
台平面図及び第2−A図の原稿台の一部を断面にした側
面図及び第3図の本発明の装置を用いた撮影装置の概略
図を用いて説明する。従来例と同じ機能をもつ部材は同
一の番号が付してある。 原稿台ボックス11の透明なカバーシート15Aの端部は柔
軟なビニールシート15Bで接着接合され該ビニールシー
ト部は前記ボックス11の端部に設けられたブラケット11
Aの所で接着又は止め金具15Cで固定される。カバーシー
ト15Aは、該カバーシートとビニールシート15Bの境界線
のところで自由に折りまげられて開閉自在になるように
なっており、更にカバーシート15Aには窓15Dがあけられ
ゴム板のような気密性弾性材料よりなるピンカバーシー
ト16が前記窓15Dの縁辺部15Eのところで接合貼付されて
いる。 このようにしておくとBL、Y、M、Cの各原稿フィルム
を順次組合わせて原稿台へ載置するとき透明なカバーシ
ート15Aを従来のように位置決めするための突起部材と
してのピン18に嵌入させるピン孔を設ける必要がなくな
り原稿フィルムの差しかえに当ってはカバーシート15A
を前記ビニールシートの接合部で折りかえして開閉作業
をすることだけで準備が完了できる。そして、ピンバー
17の位置が多少の範囲ずれたとしても、位置決め精度や
重ね合わせ精度が崩れる心配は少しもない。しかし勿論
1つの合成重ね合せ画像処理が完了するまではピンバー
17の位置はしっかり粘着テープで固定されてなければな
らない。又ピンバーのピン寸法及びピン間間隔寸法はい
ろいろなものがあるが、それ等を適用するに当って従来
例のように異る孔寸法のカバーシートを用意する必要は
全くない。 このカバーシート15Aを使う原稿の露光装置によって原
稿位置合せする工数は従来の原稿位置合せ作業時間が全
合成画面を露光し終るのに6分程度かかっていたのに本
発明の露光装置を採用することにより位置合せ時間を2
分に縮めることができた。 尚、ピンカバーシート16の貼付は短辺側の図で示すとこ
ろにかぎらず図示してないが長辺側の位置に設けておく
ことも小サイズの原稿の合成露光に対して便利である。 又、窓15Dとピンカバーシート16の周囲間でオーバーラ
ップする部分である縁辺部15Eは接着しておく方がよい
が、接着しないでただのせてあるだけでも有効である。 又、カバーシート15Aには前述のような開閉部を設けず
該シート15Aをそのまま原稿台上に置くだけの方法をと
ってもよい。 本発明の露光装置に用いるカバーシート15Aとピンカバ
ーシート16は、第1の実施例とは異る第2の実施例での
場合も有効なのでこれは第1−B図、第2−B図を用い
て説明する。 即ち、各原稿の画面設定部位13′,14A′,14B′,14C′は
第1−A図、第1−B図、第4図に2点鎖線で図示され
た通りであるが、少くともこの領域を含みピン18を除く
ところをカバーシート15Aでかぶさるようにし、少くと
もピン18を含み前記画面設定部位領域を含まない範囲を
ピンカバーシート16でかぶせるようにすればよいのでカ
バーシート15Aもピンカバーシート16も長方形のものに
し、ピンカバーシート16の端部とカバーシート15Aの端
部15D′に囲まれた第1−B図のハッチを入れた部分15
E′をオーバーラップさせて、原稿台にかぶせるように
してある。この場合、前記ハッチを入れた領域は接合し
てある。そしてピンカバーシート16の端部は原稿台端部
ブラケット11Aのところにビニールシート15Bを介して又
は直接に固定して折り曲げ自在にしてある。 しかし、上述のように端部に固定して折り曲げ自在にし
ないでただ原稿台に載せたり、はずしたりする単純な構
造の手段をとることも勿論可能で効果がある。 そして前記オーバーラップ部分15E′のところを接着し
ないでおいても有効な手段であることが実験によって確
かめられている。 又、前述の第1,第2の実施例では基準位置を定めるのに
ピンバーを用いたがピンバーのかわりにばらピンを組み
合わせて原稿台にテープで固定して使用してもかまわな
い。 さて本発明のような効率化された原稿の位置決めと照明
手段を具備した原稿台10を組みこみ各色分解露光を行う
フィルタ変換装置やレンズを含む光学系40により結像位
置60に静止したカラー感光材料上に画像露光させるよう
にしたのが第3図に示すような撮影光学系露光装置であ
る。撮影時には原稿台は90°回転して垂直にたてられ暗
室ボックスにした撮影光学系40が形成されるようになっ
ている。 又、このような撮影光学系の他に密着露光系もある。 これは図示していないが、原稿台上の原稿フィルムに感
光材料を重ねB,G,Rの各フィルタを変換しながら各原稿
の密着露光を繰返すことによって露光を完了させること
ができる。 以上で実施例の説明を終るが本発明はこれらの実施態様
に限定されるものではない。
像を作成し、印刷用製版の修正を本刷り前に行う工程等
の原稿フィルムの露光装置の改良に関する。 〔従来の技術〕 一般にカラー印刷の印刷工程はイエロー(Y)のインク
で印刷するY版とマゼンタ(M)のインクで印刷するM
版とシアン(C)のインクで印刷するC版と黒(BL)の
インクで印刷するBL版の各印刷版を用いて、同一の印刷
用紙の上に各単色の印刷を順次重ね合わせて行い所要の
カラー印刷ができ上るようにしてある。この各印刷版は
原画をC、M、Y、BLに分解して撮影し、集版によって
作成した各ポジフィルムを用いてPS版等に焼付けて得ら
れるもので、この各印刷版を用いて本刷りを行うが本製
版前にチェックして欠陥脱落等を修正しておかないで本
刷り後欠陥を発見したのでは非常な損失になることは明
らかである。これを防止するためにC、M、Y、BLに分
解され印刷物と等寸大に作られた各原稿フィルムを等倍
の大きさに再合成してカラー感材に焼付けてその画像を
観察することによって文字の訂正変更、色違い、網のか
け合せ等が指示通り行われているかをチェックすること
がのぞましい。 その際第4図の平面図及び第5図の一部を断面にした側
面図に示すように例えば原稿台ボックス11の内部に設け
られたランプ19によって一様に照射された原稿台ガラス
12上に先ずBLに分解された原稿フィルム13とYに分解さ
れた原稿フィルム14Aが重ね合わされておかれる。これ
等の原稿フィルムはポジであり、該原稿フィルムにはポ
ジフィルムを作成するまでの過程で画像合せの共通の基
準とされる方法で基準孔のピン孔18′が所定の領域に間
隔を定めて少くとも2ヶ所あけられている。これに対応
したピンバー17のピン18が前記ピン孔18′と同寸法に該
ピンバー上に植えられている。そして前記原稿ガラスの
端部の適当な位置に前記ピンバーをテープで貼付して固
定する。その固定されたピンバーのピン18に前記原稿フ
ィルム13及び14Aのピン孔18′が嵌入している。更にそ
の上に透明なカバーシート15がかぶせられているが該カ
バーシートにも前記ピン18に嵌合するピン孔18″があけ
られている。 このような状態でサクション装置を作動させると原稿台
ボックス11に密着固接された原稿台ガラス12の周辺部の
該ボックスにうがたれた溝22につながる通気孔21、通気
補助部材27に設けられた通気孔23及びそれにつながる導
通パイプ28、26を通じて接続されたモータ24で駆動され
る真空ポンプ25によって原稿台ガラス12と透明なカバー
シート15との間の空気が抜かれ各原稿13、14Aとカバー
シート15は原稿台ガラス12に押圧密着されるようになり
各原稿間の画像ずれを生ずることなく平面性が維持でき
るようになっている。この状態でフィルムでYの補色の
青(B)光による、露光撮影が等倍でなされ静止された
カラー感材上に結像される。 このようにしてY、BLの組合せ露光撮影が終了するとY
原稿フィルム14Aのピン孔18′をピン18から外し、Mの
原稿フィルム14Bのピン孔18′をピン18に嵌入し、同様
にカバーシートのピン孔18″を該ピン18に嵌入し、前記
同様のサクション操作によりBL、Mの原稿フィルムを重
ね合せ画像の位置ずれ防止と平面性を維持した状態でM
の補色のグリーン(G)光により前記感材上に重ね露光
撮影を完了すると、更に前記同様Mの原稿フィルム14B
とカバーシート15をピン18から外しCの原稿フィルム14
Cのピン孔18′とカバーシート15のピン孔18″をピン18
にはめかえ再びサクションを作動させた上で、Cの補色
の赤光による露光撮影を前記静止感材上に重ね焼きさせ
て画像形成露光を完了する。これをカラー現像すること
によって実物印刷と同じ大きさで同じ感覚のカラー画像
が仕上る。これを観察して印刷意図に対する脱落や欠陥
の有無をチェックできる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 前述のような原稿位置決め方法では原稿交換のたびに原
稿フィルムだけでなくカバーシート15のはめかえを行わ
なければならず、またピン18に対するピン孔18″も各原
稿のピン孔18′と同じぐらいの寸法精度にしておかねば
ならず、又ピンバー17を少し別位置に移動したりすると
そのカバーシートは使えなくなり、別のそれに見合うカ
バーシートを用意しなければならずましてや第4図、第
5図で示すような横位置だけでなくそれに直角な縦位置
にピンバー17を置くような場合にも別の位置に孔を明け
た別のカバーシートが必要になるといった面倒さもあり
時間がかかる。 又ピンバーそのものがいろいろいのピン寸法及びピン間
間隔をもっているためカバーシートもそれに対応したも
のを多数用意しなければならないという複雑さが介在し
た。 そしてカバーシートにも孔があけられるためサクション
効率が悪く時間もかかる。このように作業性、操作性が
悪く、所要の作業時間が長くかかり操作に熟練が要求さ
れる。 本発明はこのような問題点を解決し、効率のよい原稿の
露光装置を提供することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 この目的は、感光材料上に原稿の画像を露光し、該露光
を順次繰り返して、合成画像を得る露光装置において、
原稿を載置する原稿台と、 前記原稿台上に原稿の位置決めを行うための突起部を有
する突起部材と、 前記原稿台上の原稿を覆う光透過性のカバーシートと、 原稿を前記原稿台に密着させるために、前記カバーシー
トを吸引する吸引手段と、を有し、 前記カバーシートは、少なくとも前記突起部材の突起部
を覆う部分に窓が開けられており、かつ、少なくとも前
記窓部分が弾性材料からなるピンカバーシートにより覆
われていることを特徴とする露光装置によって達成され
る。 〔実施例〕 本発明の装置を用いた第1の実施例を第1−A図の原稿
台平面図及び第2−A図の原稿台の一部を断面にした側
面図及び第3図の本発明の装置を用いた撮影装置の概略
図を用いて説明する。従来例と同じ機能をもつ部材は同
一の番号が付してある。 原稿台ボックス11の透明なカバーシート15Aの端部は柔
軟なビニールシート15Bで接着接合され該ビニールシー
ト部は前記ボックス11の端部に設けられたブラケット11
Aの所で接着又は止め金具15Cで固定される。カバーシー
ト15Aは、該カバーシートとビニールシート15Bの境界線
のところで自由に折りまげられて開閉自在になるように
なっており、更にカバーシート15Aには窓15Dがあけられ
ゴム板のような気密性弾性材料よりなるピンカバーシー
ト16が前記窓15Dの縁辺部15Eのところで接合貼付されて
いる。 このようにしておくとBL、Y、M、Cの各原稿フィルム
を順次組合わせて原稿台へ載置するとき透明なカバーシ
ート15Aを従来のように位置決めするための突起部材と
してのピン18に嵌入させるピン孔を設ける必要がなくな
り原稿フィルムの差しかえに当ってはカバーシート15A
を前記ビニールシートの接合部で折りかえして開閉作業
をすることだけで準備が完了できる。そして、ピンバー
17の位置が多少の範囲ずれたとしても、位置決め精度や
重ね合わせ精度が崩れる心配は少しもない。しかし勿論
1つの合成重ね合せ画像処理が完了するまではピンバー
17の位置はしっかり粘着テープで固定されてなければな
らない。又ピンバーのピン寸法及びピン間間隔寸法はい
ろいろなものがあるが、それ等を適用するに当って従来
例のように異る孔寸法のカバーシートを用意する必要は
全くない。 このカバーシート15Aを使う原稿の露光装置によって原
稿位置合せする工数は従来の原稿位置合せ作業時間が全
合成画面を露光し終るのに6分程度かかっていたのに本
発明の露光装置を採用することにより位置合せ時間を2
分に縮めることができた。 尚、ピンカバーシート16の貼付は短辺側の図で示すとこ
ろにかぎらず図示してないが長辺側の位置に設けておく
ことも小サイズの原稿の合成露光に対して便利である。 又、窓15Dとピンカバーシート16の周囲間でオーバーラ
ップする部分である縁辺部15Eは接着しておく方がよい
が、接着しないでただのせてあるだけでも有効である。 又、カバーシート15Aには前述のような開閉部を設けず
該シート15Aをそのまま原稿台上に置くだけの方法をと
ってもよい。 本発明の露光装置に用いるカバーシート15Aとピンカバ
ーシート16は、第1の実施例とは異る第2の実施例での
場合も有効なのでこれは第1−B図、第2−B図を用い
て説明する。 即ち、各原稿の画面設定部位13′,14A′,14B′,14C′は
第1−A図、第1−B図、第4図に2点鎖線で図示され
た通りであるが、少くともこの領域を含みピン18を除く
ところをカバーシート15Aでかぶさるようにし、少くと
もピン18を含み前記画面設定部位領域を含まない範囲を
ピンカバーシート16でかぶせるようにすればよいのでカ
バーシート15Aもピンカバーシート16も長方形のものに
し、ピンカバーシート16の端部とカバーシート15Aの端
部15D′に囲まれた第1−B図のハッチを入れた部分15
E′をオーバーラップさせて、原稿台にかぶせるように
してある。この場合、前記ハッチを入れた領域は接合し
てある。そしてピンカバーシート16の端部は原稿台端部
ブラケット11Aのところにビニールシート15Bを介して又
は直接に固定して折り曲げ自在にしてある。 しかし、上述のように端部に固定して折り曲げ自在にし
ないでただ原稿台に載せたり、はずしたりする単純な構
造の手段をとることも勿論可能で効果がある。 そして前記オーバーラップ部分15E′のところを接着し
ないでおいても有効な手段であることが実験によって確
かめられている。 又、前述の第1,第2の実施例では基準位置を定めるのに
ピンバーを用いたがピンバーのかわりにばらピンを組み
合わせて原稿台にテープで固定して使用してもかまわな
い。 さて本発明のような効率化された原稿の位置決めと照明
手段を具備した原稿台10を組みこみ各色分解露光を行う
フィルタ変換装置やレンズを含む光学系40により結像位
置60に静止したカラー感光材料上に画像露光させるよう
にしたのが第3図に示すような撮影光学系露光装置であ
る。撮影時には原稿台は90°回転して垂直にたてられ暗
室ボックスにした撮影光学系40が形成されるようになっ
ている。 又、このような撮影光学系の他に密着露光系もある。 これは図示していないが、原稿台上の原稿フィルムに感
光材料を重ねB,G,Rの各フィルタを変換しながら各原稿
の密着露光を繰返すことによって露光を完了させること
ができる。 以上で実施例の説明を終るが本発明はこれらの実施態様
に限定されるものではない。
本発明の露光装置により原稿台上の原稿載置操作が楽に
なった上時間が3分の1に短縮され平面性及び重ね合わ
せ精度が向上し、印刷原版検査作業が効率化される等の
大きな効果が得られた。
なった上時間が3分の1に短縮され平面性及び重ね合わ
せ精度が向上し、印刷原版検査作業が効率化される等の
大きな効果が得られた。
第1−A図及び第1−B図は、それぞれ本発明の露光装
置を採用した第1及び第2の実施例の原稿台の平面図。 第2−A図及び第2−B図は各実施例の原稿台の一部を
断面にした側面図。 第3図はそれ等の原稿台を組みこんだ撮影光学系露光装
置の概略図。 第4図は従来の原稿台の平面図。 第5図は従来の原稿台の一部を断面にした側面図。 10……原稿台、11……原稿台ボックス 12……原稿台ガラス 15,15A……カバーシート 15B……ビニールシート 15D……窓、15E……縁辺部 16……ピンカバーシート 17……ピンバー 18……ピン、18′,18″……ピン孔 22……溝、21,23……通気孔 25……真空ポンプ、40……光学系 60……結像位置
置を採用した第1及び第2の実施例の原稿台の平面図。 第2−A図及び第2−B図は各実施例の原稿台の一部を
断面にした側面図。 第3図はそれ等の原稿台を組みこんだ撮影光学系露光装
置の概略図。 第4図は従来の原稿台の平面図。 第5図は従来の原稿台の一部を断面にした側面図。 10……原稿台、11……原稿台ボックス 12……原稿台ガラス 15,15A……カバーシート 15B……ビニールシート 15D……窓、15E……縁辺部 16……ピンカバーシート 17……ピンバー 18……ピン、18′,18″……ピン孔 22……溝、21,23……通気孔 25……真空ポンプ、40……光学系 60……結像位置
Claims (1)
- 【請求項1】感光材料上に原稿の画像を露光し、該露光
を順次繰り返して、合成画像を得る露光装置において、
原稿を載置する原稿台と、 前記原稿台上に原稿の位置決めを行うための突起部を有
する突起部材と、 前記原稿台上の原稿を覆う光透過性のカバーシートと、 原稿を前記原稿台に密着させるために、前記カバーシー
トを吸引する吸引手段と、を有し、 前記カバーシートは、少なくとも前記突起部材の突起部
を覆う部分に窓が開けられており、かつ、少なくとも前
記窓部分が弾性材料からなるピンカバーシートにより覆
われていることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1775587A JPH0786648B2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1775587A JPH0786648B2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63186226A JPS63186226A (ja) | 1988-08-01 |
| JPH0786648B2 true JPH0786648B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=11952545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1775587A Expired - Lifetime JPH0786648B2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0786648B2 (ja) |
-
1987
- 1987-01-28 JP JP1775587A patent/JPH0786648B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63186226A (ja) | 1988-08-01 |
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Legal Events
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