JPH078815U - ガイド光ミラーホルダ - Google Patents
ガイド光ミラーホルダInfo
- Publication number
- JPH078815U JPH078815U JP035814U JP3581493U JPH078815U JP H078815 U JPH078815 U JP H078815U JP 035814 U JP035814 U JP 035814U JP 3581493 U JP3581493 U JP 3581493U JP H078815 U JPH078815 U JP H078815U
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- guide light
- mirror
- light mirror
- support shaft
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガイド光の光路を直交する2軸方向の1軸方
向のみに対しても精度良く変化させることができ、光路
調整が極めて容易となり、組立も容易であるガイド光ミ
ラーホルダを提供すること。 【構成】 ガイド光ミラー14を姿勢制御自在に支持す
るガイド光ミラーホルダ25において、ホルダ本体26
に球面滑り軸受28を介して支持軸30を装着し、前記
ガイド光ミラー14の鏡面をこの支持軸30と直交させ
るとともに、鏡面の中心を支持軸30の軸心と合致させ
て支持軸30に取付け、前記鏡面の中心を通る直交2方
向の位置にそれぞれ前記ガイド光ミラー14を前記支持
軸30と平行な方向に往復移動せしめる位置調整機構3
3a,33b,35を設けたことを特徴とする。
向のみに対しても精度良く変化させることができ、光路
調整が極めて容易となり、組立も容易であるガイド光ミ
ラーホルダを提供すること。 【構成】 ガイド光ミラー14を姿勢制御自在に支持す
るガイド光ミラーホルダ25において、ホルダ本体26
に球面滑り軸受28を介して支持軸30を装着し、前記
ガイド光ミラー14の鏡面をこの支持軸30と直交させ
るとともに、鏡面の中心を支持軸30の軸心と合致させ
て支持軸30に取付け、前記鏡面の中心を通る直交2方
向の位置にそれぞれ前記ガイド光ミラー14を前記支持
軸30と平行な方向に往復移動せしめる位置調整機構3
3a,33b,35を設けたことを特徴とする。
Description
【0001】
本考案は、ガイド光ミラーホルダに係り、特に光学機器の光軸合せ用に照射さ れるガイド光の光路を調整するガイド光ミラーを姿勢制御自在に支持するガイド 光ミラーホルダに関する。
【0002】
一般に、光学機器の組立時や保守、点検時等に行なわれる光軸合せにおいては 、例えばレーザ装置より可視光等からなるビーム状のガイド光を照射し、このガ イド光に光学機器の構成各部の光軸を合致させて全体の光軸合せを行なっている 。この場合に、ガイド光の光路を光学機器を設置すべき所定位置に予め合致させ るために、重量の大きい前記レーザ装置は固定的に配設し、ガイド光ミラーホル ダに支持されている軽量なガイド光ミラーを姿勢制御することにより反射される ガイド光の光路を移動させて調整している。
【0003】 この光軸合せを図4に示す光学機器の1種であるYAGレーザ加工機1により 説明する。
【0004】 光学機器の1種であるYAGレーザ加工機1においては、全反射ミラー2と出 力ミラー3との間にYAGロッド4を設け、励起ランプ5からの光により前記Y AGロッド4内の原子を励起させ、その後出力ミラー3を通してレーザ光Laを 発射させ、更にこのレーザ光Laを分岐ミラー6および入射ユニット7を通して 複数に分岐出力可能にされている。各入射ユニット7からは光ファイバ8および 出射ユニット9を順に通して被加工物10にレーザ光Laを照射できるようにさ れている。YAGロッド4と全反射ミラー2および出力ミラー3との間には、そ れぞれ安全保持用のシャッタ11が配設されている。出力ミラー3と分岐ミラー 6との間には、出力状態をチェックするためのパワーモニタ12が配設されてい る。
【0005】 このように形成されているYAGレーザ加工機1の光学系の光軸合せを行なう ために、光軸合せ用のHe−Neレーザ等のレーザ発生装置13からビーム状の ガイド光Lbを照射し、2個のガイド光ミラー14、14を用いてガイド光Lb の光路を前記YAGレーザ加工機1の光学系を設置する所定位置に合致させるよ うにしている。その後、このガイド光Lbの光路に前記YAGレーザ加工機1の 光学系の構成各部の光軸を合致させてから、構成各部をYAGレーザ加工機1の 本体の所定箇所に固着させている。
【0006】 前記ガイド光ミラー14は、図5および図6に示すガイド光ミラーホルダ15 に支持されている。すなわち、このガイド光ミラーホルダ15においては、略L 字形のホルダ本体16の立壁部16aにガイド光ミラー14を姿勢制御自在に支 持するように形成されている。このガイド光ミラー14は略正方形状に形成され ており、同じく略正方形状に形成されているミラー支持板17の前面側に接着等 により固着されている。ミラー支持板17の背面側には、2本の引張ばね18、 18の一端分がそれぞれ止めねじ19をもって固着されており、各引張ばね18 の中間部は立壁部16aに穿設された透孔20を貫通し、他端のフック部18a を止めピン21をもって立壁部16aの背面側に係止されており、これによりガ イド光ミラー14およびミラー支持板17が立壁部16aに連結される。立壁部 16aの前面とミラー支持板17の背面との間には、ガイド光ミラー14の1つ の頂点(図6において左下位置)に合せて支点ボール22が介装されている。そ して、ガイド光ミラー14の支点ボール22が配設されている頂点の両隣の頂点 位置に合せて、前記立壁部16aに前記ミラー支持板17に向けて2本の位置調 整ねじ23a、23bが貫通螺入されている。両方の位置調整ねじ23a、23 bの先端は半球状に形成されており、一方の位置調整ねじ23aはミラー支持板 17の平坦状の背面に当接され、他方の位置調整ねじ23bはミラー支持板17 に形成したV型溝24に当接させられている。また、ガイド光ミラーホルダ15 はホルダ本体16の水平部16bをもって所定位置に固着される。
【0007】 このように形成されているガイド光ミラーホルダ15によるガイド光Lbの光 路の調整は、2本の位置調整ねじ23a、23bの螺入量を調整することにより 行なわれる。すなわち、引張ばね18の弾力により支点ボール22および2本の 位置調整ねじ23a、23bに押圧されているミラー支持板17に対して、両位 置調整ねじ23a、23bの螺入量を変化させると、ミラー支持板17は支点ボ ール22を支点として姿勢を変化させられ、ガイド光Lbのガイド光ミラー14 に対する入射角および反射角を変化させられ、ガイド光Lbの光路を図において X軸方向、Y軸方向に変化させる。
【0008】
しかしながら、前記した従来のガイド光ミラーホルダ15においては、ガイド 光ミラー14の姿勢を変化させる支点となる支点ボール22が当該ガイド光ミラ ー14の4辺の頂点部分に配設されており、しかもガイド光Lbの入反射点は前 記支点から離れているガイド光ミラー14の鏡面のほぼ中心部であるために、X 軸方向およびY軸方向のいずれか一方を変化させるために両位置調整ねじ23a 、23bのいずれか一方の螺入量を調整すると、必然的にX軸方向およびY軸方 向がともに変化し、ガイド光ミラー14の鏡面におけるガイド光Lbの入反射点 の移動量も大きいために、常にX軸方向およびY軸方向の両方を調整しなければ ならないという不都合があった。そのために調整作業が極めて繁雑となり、特に ガイド光ミラーホルダ15を複数設置した場合には、調整に非常に長時間を要す るという不都合があった。更に、前記従来例においては、2本の引張ばね18の フック部18aに止めピン21を差込む作業が、引張ばね18を引張しながら行 なわなければならず、極めて面倒なものである。
【0009】 本考案はこれらの点に鑑みてなされたものであり、ガイド光の光路を直交する 2軸方向の1軸方向のみに対しても精度良く変化させることができ、光路調整が 極めて容易となり、組立も容易であるガイド光ミラーホルダを提供することを目 的とする。
【0010】
前記目的を達成するために本考案のガイド光ミラーホルダは、ガイド光ミラー を姿勢制御自在に支持するガイド光ミラーホルダにおいて、ホルダ本体に球面滑 り軸受を介して支持軸を装着し、前記ガイド光ミラーの鏡面をこの支持軸と直交 させるとともに、鏡面の中心を支持軸の軸心と合致させて支持軸に取付け、前記 鏡面の中心を通る直交2方向の位置にそれぞれ前記ガイド光ミラーを前記支持軸 と平行な方向に往復移動せしめる位置調整機構を設けたことを特徴とする。
【0011】
本考案によれば、ガイド光ミラーはその鏡面の中心を支点として角度の変更調 整が可能となり、その鏡面の中心点部分に入反射されるガイド光の光路を直交す る2軸方向の1軸方向のみに対して精度良く変化させることができる。
【0012】
以下、本考案の実施例を図1から図3について説明する。
【0013】 図1から図3は本考案の1実施例を示し、従来と同一部分には同一符号を付し てある。
【0014】 本実施例のガイド光ミラーホルダ25においては、略L字形のホルダ本体26 の立壁部26aにガイド光ミラー14を姿勢制御自在に支持するように形成され ている。この立壁部26aの上部の幅方向中心に穿設された軸受装着孔27内に は、球面滑り軸受28が環状の固定部28aをもって嵌挿され、固定用ねじ29 により固着されている。この球面滑り軸受28の環状の可動部28bには、ガイ ド光ミラー14を支持する支持軸となる支持ボルト30が先端部を立壁部26a の前面に向けて貫通固着されている。この支持ボルト30の先端部には、ガイド 光ミラー14が前面に固着されているミラー支持板31が前記ガイド光ミラー1 4の鏡面の中心を支持ボルト30の軸心と合致させて固着されている。これによ り、ガイド光ミラー14の鏡面と支持ボルト30の軸心とは直交状態とされ、ミ ラー支持板31は立壁部26aの前面から所定間隔だけ離間して支持される。支 持ボルト30のミラー支持板31と立壁部26aとの間にはスペーサ32が嵌挿 されている。また、前記ガイド光ミラー14の鏡面の中心を通る直交2方向の位 置、すなわち本実施例においては図3における上側のX軸方向および右側のY軸 方向の位置に、それぞれ前記ガイド光ミラー14を前記支持ボルト30と平行な 方向に往復移動せしめる位置調整機構を形成する2本の位置調整ねじ33a、3 3bが、前記立壁部26aに前記ミラー支持板31に向けて貫通螺入されている 。両方の位置調整ねじ33a、33bの先端は半球状に形成されており、一方の 位置調整ねじ33aはミラー支持板31の平坦状の背面に当接され、他方の位置 調整ねじ33bはミラー支持板31に形成したV型溝34に当接させられている 。そして、ミラー支持板31と立壁部26aとの間の支持ボルト30の左斜め下 部分には、ミラー支持板31を常に両方の位置調整ねじ33a、33bに当接さ せる弾力を付与する圧縮ばね35が介装されている。また、ガイド光ミラーホル ダ25はホルダ本体26の水平部26bをもって所定位置に固着される。
【0015】 次に、本実施例の作用を説明する。
【0016】 このように形成されているガイド光ミラーホルダ25は、レーザ発生装置13 から照射されるガイド光Lbがガイド光ミラー14の鏡面の中心部で入反射する 位置に設置される。
【0017】 そして、ガイド光Lbの光路の調整は、2本の位置調整ねじ33a、33bの 螺入量を調整することにより行なわれる。すなわち、圧縮ばね35の弾力により 2本の位置調整ねじ33a、33bに押圧されているミラー支持板31に対して 、両位置調整ねじ33a、33bの螺入量を変化させると、ミラー支持板31は 球面滑り軸受28を支点として姿勢を変化させられ、ガイド光Lbのガイド光ミ ラー14に対する入射角および反射角を変化させられ、ガイド光Lbの光路を図 においてX軸方向、Y軸方向に変化させる。
【0018】 特に、本実施例においては、ガイド光ミラー14の鏡面の中心と球面滑り軸受 28および支持ボルト30中心とを合致させており、しかもガイド光Lbをガイ ド光ミラー14の鏡面の中心に入反射させるものであるために、両位置調整ねじ 33a、33bのいずれか一方の螺入量を変化させると、ガイド光Lbの光路を X軸方向およびY軸方向のいずれか一方に限定して変化させることができる。特 に、前記ガイド光Lbの光路の調整時における角度変化量を小さく抑えるように することにより、一層精度の良い1方向の光路調整を行なうことができる。
【0019】 従って、ガイド光Lbの光路の調整作業を極めて容易に行なうことができ、し かもガイド光ミラーを複数用いる場合においても同様に光路の調整作業を極めて 容易に行なうことができる。
【0020】 更に、本考案においては、従来例に比べて圧縮ばね35を用いているために、 組立作業が非常に容易となる。
【0021】 なお、本考案は前記実施例に限定されるものではなく、必要に応じて変更する ことができる。
【0022】
このように本考案のガイド光ミラーホルダは構成され作用するものであるから 、ガイド光ミラーはその鏡面の中心を支点として角度の変更調整が可能となり、 その鏡面の中心点部分に入反射されるガイド光の光路を直交する2軸方向の1軸 方向のみに対しても精度良く変化させることができ、しかも光路調整が極めて容 易となり、組立も容易となる等の効果を奏する。
【図1】本考案のガイド光ミラーホルダの1実施例を示
す分解斜視図
す分解斜視図
【図2】本考案のガイド光ミラーホルダの正面図
【図3】図2の左側面図
【図4】YAGレーザ加工機における光学系の概要を示
す構成図
す構成図
【図5】従来のガイド光ミラーホルダを示す分解斜視図
【図6】従来のガイド光ミラーホルダを示す図3と同様
の図
の図
14 ガイド光ミラー 25 ガイド光ミラーホルダ 26 ホルダ本体 28 球面滑り軸受 30 支持ボルト 33a、33b 位置調整ねじ 35 圧縮ばね
Claims (1)
- 【請求項1】 ガイド光ミラーを姿勢制御自在に支持す
るガイド光ミラーホルダにおいて、ホルダ本体に球面滑
り軸受を介して支持軸を装着し、前記ガイド光ミラーの
鏡面をこの支持軸と直交させるとともに、鏡面の中心を
支持軸の軸心と合致させて支持軸に取付け、前記鏡面の
中心を通る直交2方向の位置にそれぞれ前記ガイド光ミ
ラーを前記支持軸と平行な方向に往復移動せしめる位置
調整機構を設けたことを特徴とするガイド光ミラーホル
ダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993035814U JP2594868Y2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | ガイド光ミラーホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993035814U JP2594868Y2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | ガイド光ミラーホルダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH078815U true JPH078815U (ja) | 1995-02-07 |
| JP2594868Y2 JP2594868Y2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=12452405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993035814U Expired - Lifetime JP2594868Y2 (ja) | 1993-06-30 | 1993-06-30 | ガイド光ミラーホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2594868Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006072081A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Keyence Corp | 顕微鏡装置 |
| KR20200114642A (ko) * | 2019-03-29 | 2020-10-07 | 엘케이제작소 주식회사 | Cnc 레이저 절단기용 얼라이먼트 조절기 |
| CN113203078A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-03 | 深圳市皓龙激光设备有限公司 | 一种光源整形调节系统 |
| JPWO2023037587A1 (ja) * | 2021-09-13 | 2023-03-16 |
-
1993
- 1993-06-30 JP JP1993035814U patent/JP2594868Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006072081A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Keyence Corp | 顕微鏡装置 |
| KR20200114642A (ko) * | 2019-03-29 | 2020-10-07 | 엘케이제작소 주식회사 | Cnc 레이저 절단기용 얼라이먼트 조절기 |
| CN113203078A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-03 | 深圳市皓龙激光设备有限公司 | 一种光源整形调节系统 |
| JPWO2023037587A1 (ja) * | 2021-09-13 | 2023-03-16 | ||
| EP4403903A4 (en) * | 2021-09-13 | 2025-09-17 | Shimadzu Corp | MICROSCOPIC RAMAN SPECTROSCOPY DEVICE, AND ANGLE ADJUSTING ELEMENT FOR OPTICAL ELEMENT |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2594868Y2 (ja) | 1999-05-10 |
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