JPH0789470B2 - 画像表示管の製造方法 - Google Patents
画像表示管の製造方法Info
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- JPH0789470B2 JPH0789470B2 JP28992685A JP28992685A JPH0789470B2 JP H0789470 B2 JPH0789470 B2 JP H0789470B2 JP 28992685 A JP28992685 A JP 28992685A JP 28992685 A JP28992685 A JP 28992685A JP H0789470 B2 JPH0789470 B2 JP H0789470B2
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は画像表示装置に使用される平板画像表示管の製
造方法に関する。
造方法に関する。
従来の技術 近年、平板画像表示装置がさかんに開発されており、液
晶ディスプレイ（LCD）、エレクトロルミネッセンスデ
ィスプレイ（EL）、発光ダイオードディスプレイ（LE
D）などが市場に登場しているが、輝度、解像度、フル
カラー化の点でカラーブラウン管に劣っている。これら
の問題点を解消したのが、熱陰極を利用した平板テレビ
で、画質、フルカラー化の点で充分ブラウン管に筆適す
るところまで開発がすすんでいる。
晶ディスプレイ（LCD）、エレクトロルミネッセンスデ
ィスプレイ（EL）、発光ダイオードディスプレイ（LE
D）などが市場に登場しているが、輝度、解像度、フル
カラー化の点でカラーブラウン管に劣っている。これら
の問題点を解消したのが、熱陰極を利用した平板テレビ
で、画質、フルカラー化の点で充分ブラウン管に筆適す
るところまで開発がすすんでいる。
この種の平板画像表示管の構造を、第２図を参照しなが
ら説明する。本平板画像表示管は、熱電子放射を利用し
たもので、約650℃に加熱された線状熱陰極21から放射
された電子は、集束電極22により集束され垂直偏向電極
23により垂直方向に16段に偏向される（16段/cm）。垂
直に偏向した電子ビームは、変調電極24により輝度に応
じてビーム量を制限され、水平偏向電極25により水平方
向に偏向される（６段/mm）。そして、RGBの螢光体をス
トライプ状に塗布したアノード26に10kVで加速して、衝
突、発光させるのである。
ら説明する。本平板画像表示管は、熱電子放射を利用し
たもので、約650℃に加熱された線状熱陰極21から放射
された電子は、集束電極22により集束され垂直偏向電極
23により垂直方向に16段に偏向される（16段/cm）。垂
直に偏向した電子ビームは、変調電極24により輝度に応
じてビーム量を制限され、水平偏向電極25により水平方
向に偏向される（６段/mm）。そして、RGBの螢光体をス
トライプ状に塗布したアノード26に10kVで加速して、衝
突、発光させるのである。
この画像表示管の製造工程を以下で、第３図，第４図を
使って説明する。まず、第２図に示した平板状電極群を
組み立て、第３図の真空外囲器31a,31b中に組み込む。
次に電気炉により450℃に加熱し、封着部材32を溶融し
て、封着を行なう。ここで真空外囲器31a,31bは軟質ガ
ラス（熱膨脹係数100.5×10-7）を、また封着部材とし
ては、熱膨脹係数のマッチングをとるために95〜100×1
0-7のフリット（例えば、岩城硝子社製IWF−029）を用
いる。封着工程終了後、排気管33から、真空ポンプを用
いて排気し、約10-5Torr程度の圧力に保持しつつ、300
℃迄加熱して、真空外囲器3a,3b内部の脱ガスを行な
う。この排気、加熱の工程をあわせてベーキング工程と
いう。ベーキング工程終了後、真空外囲器31a,31b内部
の線状熱陰極21の熱分解を行なう。熱電子放射源として
は、（Ba,Sr,Ca）CO3を真空中において約1000℃に加熱
して（Ba,Sr,Ca）Ｏに分解したものを用いる。そして加
熱分解終了後、排気管33を加熱して封じ切り、平板画像
表示管が完成する。
使って説明する。まず、第２図に示した平板状電極群を
組み立て、第３図の真空外囲器31a,31b中に組み込む。
次に電気炉により450℃に加熱し、封着部材32を溶融し
て、封着を行なう。ここで真空外囲器31a,31bは軟質ガ
ラス（熱膨脹係数100.5×10-7）を、また封着部材とし
ては、熱膨脹係数のマッチングをとるために95〜100×1
0-7のフリット（例えば、岩城硝子社製IWF−029）を用
いる。封着工程終了後、排気管33から、真空ポンプを用
いて排気し、約10-5Torr程度の圧力に保持しつつ、300
℃迄加熱して、真空外囲器3a,3b内部の脱ガスを行な
う。この排気、加熱の工程をあわせてベーキング工程と
いう。ベーキング工程終了後、真空外囲器31a,31b内部
の線状熱陰極21の熱分解を行なう。熱電子放射源として
は、（Ba,Sr,Ca）CO3を真空中において約1000℃に加熱
して（Ba,Sr,Ca）Ｏに分解したものを用いる。そして加
熱分解終了後、排気管33を加熱して封じ切り、平板画像
表示管が完成する。
発明が解決しようとする問題点 本画像表示管のベーキング工程は、300℃がピークにな
るように加熱し、所要時間は約10時間である。一方、従
来のブラウン管では、ピーク温度が約400℃、所要時間
が約３〜４時間であり、本画像表示管と比較すると、ピ
ーク温度で約100℃、所要時間で６〜７時間の差があ
る。この所要時間の差は、本画像表示管の場合、平板電
極及びそれらを支えている枠体などの金属、セラミック
などが、ブラウン管と較べ多量に入っており、空間に対
する密度も５倍以上高く、また真空外囲器のガラスの厚
さも1.5倍ほど厚いため、ブラウン管と同じスピードで
加熱すると、真空外囲器内外の温度差が大きくなり、真
空外囲器が破損してしまうためである。また、封着部材
として使用しているフリットの軟化点は約370℃あるた
め、真空外囲器を300℃以上加熱する場合、温度コント
ロールがむずかしく、真空外囲器が破損することがあ
る。このような真空外囲器の破損に加え、真空外囲器表
面の温度が300℃に到達しても、内部は270℃程度しか上
がらず、封じ切り後発生する残留ガスにより真空度が悪
くなり、寿命が劣化する可能性があるという問題点を有
していた。
るように加熱し、所要時間は約10時間である。一方、従
来のブラウン管では、ピーク温度が約400℃、所要時間
が約３〜４時間であり、本画像表示管と比較すると、ピ
ーク温度で約100℃、所要時間で６〜７時間の差があ
る。この所要時間の差は、本画像表示管の場合、平板電
極及びそれらを支えている枠体などの金属、セラミック
などが、ブラウン管と較べ多量に入っており、空間に対
する密度も５倍以上高く、また真空外囲器のガラスの厚
さも1.5倍ほど厚いため、ブラウン管と同じスピードで
加熱すると、真空外囲器内外の温度差が大きくなり、真
空外囲器が破損してしまうためである。また、封着部材
として使用しているフリットの軟化点は約370℃あるた
め、真空外囲器を300℃以上加熱する場合、温度コント
ロールがむずかしく、真空外囲器が破損することがあ
る。このような真空外囲器の破損に加え、真空外囲器表
面の温度が300℃に到達しても、内部は270℃程度しか上
がらず、封じ切り後発生する残留ガスにより真空度が悪
くなり、寿命が劣化する可能性があるという問題点を有
していた。
本発明は上記問題点に鑑み、従来に較べ短時間の脱ガス
工程で、真空外囲器を破損せず、長寿命の画像表示管の
製造方法を提供するものである。
工程で、真空外囲器を破損せず、長寿命の画像表示管の
製造方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために、本発明の画像表示管の製
造方法は、電離気体を画像表示管内に導入し、電極に電
圧をかけ、電極に電離気体を加速、衝突させつつ、外部
から画像表示管を加熱するという構成を備えたものであ
る。
造方法は、電離気体を画像表示管内に導入し、電極に電
圧をかけ、電極に電離気体を加速、衝突させつつ、外部
から画像表示管を加熱するという構成を備えたものであ
る。
作用 本発明は、画像表示管内に導入された電離気体を、加速
して電極に衝突させることにより、電極表面に吸着され
ている気体を離脱させ、封じ切り後、圧力上昇の原因と
なる気体を排気してしまう。それに加え、電離気体の圧
力，電極電圧をコントロールすることにより、電極に流
れ込む電流で電極を加熱し、同時に画像表示管外部から
も加熱することによって、真空外囲器内外に発生する温
度差をセーブして、従来より速いスピードで加熱でき、
かつ真空外囲器の破損も発生しなくなる。
して電極に衝突させることにより、電極表面に吸着され
ている気体を離脱させ、封じ切り後、圧力上昇の原因と
なる気体を排気してしまう。それに加え、電離気体の圧
力，電極電圧をコントロールすることにより、電極に流
れ込む電流で電極を加熱し、同時に画像表示管外部から
も加熱することによって、真空外囲器内外に発生する温
度差をセーブして、従来より速いスピードで加熱でき、
かつ真空外囲器の破損も発生しなくなる。
実施例 以下本発明の一実施例の画像表示管の製造方法につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
第１図は、本発明の実施例における画像表示管の製造方
法の脱ガス工程を示す概念図である。
法の脱ガス工程を示す概念図である。
第１図において１は画像表示管の真空外囲器で、内部に
電極群が設けてあるが、ここでは簡単のため２枚に略し
てある。この真空外囲器１内に、Ar+３を排気管４から
導入する。Ar+３はAr5をバルブ６を通じて導入し、排気
管の途中に巻いてある高周波コイル７（本実施例では周
波数13.56MHzを用いた。）により電離させる。ここで、
真空度のコントロールは、ニードルバルブ８により行な
い、５×10-2Torrに保持した。電極2a,2bには−100Vの
電圧が印加されており、排気管４から導入されたAr+３
は加速され電極2a,2b表面に衝突する。この衝突によ
り、電極2a,2b表面に吸着しているH2Oを主とする気体分
子は、はじき出され、電極2a,2bの表面は洗浄化され
る。しかしAr+３を電極2a,2bに加速、衝突させただけで
は、真空外囲器１に吸着している気体分子は表面を離脱
しない。そこで上述のシステムを電気炉９に組み込み、
同時に外部から加熱することにより、真空外囲器１内全
体の脱ガスを行なう。そして、加熱、放電洗浄を続け
て、温度が300℃に到達した段階でニードルバルブ８を
閉め、バルブ６をディフュージョンポンプ10に切り換
え、真空外囲器１を真空排気し10-5Torr以下の真空度に
し、従来例と同様の工程をとる。あるいは、このディフ
ュージョンポンプ10による真空排気の工程を、昇温中に
２〜３回放電洗浄と交互に繰り返した方が、より一層脱
ガス効果が上がることは言うまでもない。
電極群が設けてあるが、ここでは簡単のため２枚に略し
てある。この真空外囲器１内に、Ar+３を排気管４から
導入する。Ar+３はAr5をバルブ６を通じて導入し、排気
管の途中に巻いてある高周波コイル７（本実施例では周
波数13.56MHzを用いた。）により電離させる。ここで、
真空度のコントロールは、ニードルバルブ８により行な
い、５×10-2Torrに保持した。電極2a,2bには−100Vの
電圧が印加されており、排気管４から導入されたAr+３
は加速され電極2a,2b表面に衝突する。この衝突によ
り、電極2a,2b表面に吸着しているH2Oを主とする気体分
子は、はじき出され、電極2a,2bの表面は洗浄化され
る。しかしAr+３を電極2a,2bに加速、衝突させただけで
は、真空外囲器１に吸着している気体分子は表面を離脱
しない。そこで上述のシステムを電気炉９に組み込み、
同時に外部から加熱することにより、真空外囲器１内全
体の脱ガスを行なう。そして、加熱、放電洗浄を続け
て、温度が300℃に到達した段階でニードルバルブ８を
閉め、バルブ６をディフュージョンポンプ10に切り換
え、真空外囲器１を真空排気し10-5Torr以下の真空度に
し、従来例と同様の工程をとる。あるいは、このディフ
ュージョンポンプ10による真空排気の工程を、昇温中に
２〜３回放電洗浄と交互に繰り返した方が、より一層脱
ガス効果が上がることは言うまでもない。
この電離気体の加速衝突するときのエネルギーは数eV〜
数100eV（この実施例では100ev）で、温度換算で、1eV
104Ｋであることから、電極の洗浄効果が上がるた
め、加熱温度が300℃でも、従来よりも格段と放出ガス
量が減少した。
数100eV（この実施例では100ev）で、温度換算で、1eV
104Ｋであることから、電極の洗浄効果が上がるた
め、加熱温度が300℃でも、従来よりも格段と放出ガス
量が減少した。
また、電極2a,2bにAr+が加速、衝突し、電流が流れるこ
とにより熱が発生する。従来、外部からのみ加熱してい
た時は、真空外囲器１の内外の温度差が大きくならない
ように加熱しなければいけなかったため、ベーキング工
程で10時間以上費やされていたが、本実施例では内部か
らも発熱するため、加熱スピードを上げることができる
ようになり、ベーキング所要時間が半分以下になった。
とにより熱が発生する。従来、外部からのみ加熱してい
た時は、真空外囲器１の内外の温度差が大きくならない
ように加熱しなければいけなかったため、ベーキング工
程で10時間以上費やされていたが、本実施例では内部か
らも発熱するため、加熱スピードを上げることができる
ようになり、ベーキング所要時間が半分以下になった。
発明の効果 以上のように本発明は、電離した気体を画像表示管中に
導入し、中に設けてある電極群に電圧を印加し、電離気
体を電極に加圧衝突させる装置を、画像表示管を加熱す
る炉に設けることにより、従来の半分の所要時間でベー
キング工程を行なえ、かつ高真空、長寿命の画像表示管
を製造することができる。
導入し、中に設けてある電極群に電圧を印加し、電離気
体を電極に加圧衝突させる装置を、画像表示管を加熱す
る炉に設けることにより、従来の半分の所要時間でベー
キング工程を行なえ、かつ高真空、長寿命の画像表示管
を製造することができる。
第１図は本発明による画像表示管の製造方法を用いるた
めの画像表示管の脱ガス装置の側断面図、第２図は画像
表示管内部の斜視図、第３図は画像表示管の真空外囲器
の斜視図である。 １……真空外囲器、２……電極、３……Ar+、４……排
気管、５……Ar、７……高周波コイル、９……電気炉。
めの画像表示管の脱ガス装置の側断面図、第２図は画像
表示管内部の斜視図、第３図は画像表示管の真空外囲器
の斜視図である。 １……真空外囲器、２……電極、３……Ar+、４……排
気管、５……Ar、７……高周波コイル、９……電気炉。
Claims (7)
- 【請求項１】少なくとも１本の排気管をもち、かつ内部
に電極群を収納配置した真空外囲器に、前記排気管から
電離した気体を導入し、前記電極群に電圧をかけ、前記
電離気体を加速、衝突させ、前記真空外囲器内を洗浄す
ることを特徴とする画像表示管の製造方法。 - 【請求項２】前記電離した気体は、前記排気管に具備せ
しめた電離手段によって、前記排気管を通過中において
前記電離手段によって電離されて、真空外囲器に導入さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の画像
表示管の製造方法。 - 【請求項３】画像表示管内を、１〜１×10-5Torrの圧力
範囲において、気体を電離させることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の画像表示管の製造方法。 - 【請求項４】画像表示管内において、電離気体を電極群
に加速、衝突させる工程を連続または断続的に行うこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の画像表示管の
製造方法。 - 【請求項５】画像表示管内において、電離気体を電極群
に加速、衝突させる工程中、または休止中、外部から真
空外囲器を加熱することを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の画像表示管の製造方法。 - 【請求項６】画像表示管を加熱する工程において、電離
気体を電極群に加速、衝突させる工程終了後に、真空排
気することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の画
像表示管の製造方法。 - 【請求項７】画像表示管内において、電離気体を電極群
に加速、衝突させる工程中、少なくとも１回真空排気を
行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の画像
表示管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28992685A JPH0789470B2 (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | 画像表示管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28992685A JPH0789470B2 (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | 画像表示管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147631A JPS62147631A (ja) | 1987-07-01 |
| JPH0789470B2 true JPH0789470B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=17749547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28992685A Expired - Fee Related JPH0789470B2 (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | 画像表示管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0789470B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2832510B2 (ja) * | 1994-05-10 | 1998-12-09 | 双葉電子工業株式会社 | 表示装置の製造方法 |
-
1985
- 1985-12-23 JP JP28992685A patent/JPH0789470B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62147631A (ja) | 1987-07-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |