JPH0791485A - アクティブ除振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 性能やコストを犠牲にすることなく、より大
きな推力で制振制御が行えるようにする。 【構成】 除振台１と、前記除振台を防振支持する１以
上の支持機構２ａ，２ｂ２ｃ，２ｄと、前記支持機構に
並列に配置され、かつ前記除振台への作用が同じ複数の
アクチュエータ３ａ，３ｂを有するアクチュエータ組の
１組以上と、前記除振台の振動を検出する振動センサ４
と、前記振動センサの出力に基づいて前記アクチュエー
タにより前記除振台の振動を能動的に抑制するための前
記アクチュエータの制御量を演算する振動制御演算手段
５と、前記振動制御演算手段から出力される制御量に基
づき前記アクチュエータを駆動する駆動回路６ａ，６ｂ
とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＸＹステージのような
高加速度で移動する機器が搭載された半導体露光装置等
の精密機器の構成ユニットとして好適に使用され、除振
効果を損なうことなく制振性能を向上させることを可能
としたアクティブ除振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子顕微鏡、半導体露光装置等の精密機
器の高精度化に伴い、それらを搭載する精密除振装置の
高性能化が求められている。特に半導体露光装置におい
ては適切かつ迅速な露光を行なわせるために、設置床振
動等外部から伝達する振動を極力除去した除振台が必要
とされる。これは半導体の露光の際に露光用ＸＹステー
ジが完全停止の状態で行なわれねばならないからであ
る。また、露光用ＸＹステージはステップ＆リピートと
いう間欠動作を特徴とし、これによる繰返しのステップ
振動が除振台自身の振動を励起する。従って精密除振台
には、外部振動に対する除振性能と、機器自身の動作に
より発生する振動に対する制振性能とを同時に実現する
ことが求められている。このような要求に対しては、除
振台の振動を振動センサで検出し、その出力信号を補償
してアクチュエータにフィードバックすることにより能
動的に振動制御を行なうアクティブ除振装置が実用化さ
れている。アクティブ除振装置は、バネやダンパだけで
構成された受動的な除振装置では困難であった除振と制
振の同時実現を可能にする。

【０００３】アクティブ除振装置には除振台を支持する
空気バネの空気圧を制御するものや、ボイスコイルモー
タにより振動制御を行なうものなどがある。ボイスコイ
ルモータはその応答性が良好なことから制御用のアクチ
ュエータとして優れた性能を有している。従ってこれを
用いたアクティブ除振装置は、空気バネの空気圧制御を
行なう装置に比較して優れた制振および除振性能を、広
い周波数領域で実現できる。ボイスコイルモータを用い
た場合は漏洩磁束があり、電子顕微鏡のような磁気の影
響をきらう機器の除振装置としては問題があるが、半導
体露光装置等では特に問題はない。むしろ半導体露光装
置では前記のように除振台上に搭載されたＸＹステージ
のステップ＆リピート動作によって発生する振動を迅速
に減衰させる必要があり、ボイスコイルモータのような
応答性の優れたアクチュエータを用いることが望まし
い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、精密機器は一
般に大きな負荷重量を有しており、この振動を能動的に
制御するためにはアクチュエータに大きな推力が要求さ
れる。また、半導体露光装置ではＸＹステージのステッ
プ＆リピート動作がより高速、高精度化することに伴い
その移動反力が増大する傾向にあり、これによって発生
する機器本体の振動を抑制するためにアクチュエータに
対して、より大きな推力が要求されている。ボイスコイ
ルモータは前記のように優れた応答性を有しているが、
空気バネの空気圧制御を行なう方式に比較して大推力を
発生することが容易ではない。そのために必要推力の増
大に応じて振動制御に用いるボイスコイルモータを増設
する必要がある。しかし、アクティブ除振装置において
アクチュエータを増設した場合、一般にはその配置台数
に応じて除振台の振動を検出するセンサも増設する必要
がある。つまり、除振台も含めた機器全体を剛体とみな
すことが不可能でその固有の振動モードを無視できない
場合や、機器全体の重心位置がその幾何中心と大きく異
なる等の場合では、除振台各部での振動が異なるため
に、振動センサをアクチュエータの十分近くに配置す
る、いわゆるコロケーションを実現することが望まし
い。そのためには、アクチュエータと同数の振動センサ
が必要となり、アクチュエータだけではなく振動センサ
も増設する必要が生じる。しかし、これは産業用機器の
大きな命題であるコストダウンの観点から問題がある。

【０００５】同一作用方向に複数のアクチュエータを配
置したアクティブ除振装置としては特開平４−２５４０
２５「除振台の水平位置の維持と水平振動の除去方法並
びにその回路」に、水平方向に互いに逆方向に伸縮する
一対の空気バネを用いた制御方法が開示されている。し
かし、この方法は、必ずしも振動センサとのコロケーシ
ョンの実現を考慮してアクチュエータの推力不足に対応
するというものではなかった。また、搭載機器の自由度
方向と除振装置の自由度方向にある角度を持たせること
によりアクチュエータの運転効率を向上させる方法もあ
るが、必要推力がアクチュエータの推力に比較して非常
に大きい場合には、アクチュエータを増設する必要があ
る。

【０００６】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、アクティブ除振装置において、性能やコス
トを犠牲にすることなく、より大きな推力で制振制御が
行えるようにすることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明のアクティブ除振装置は、除振台と、前記除振台
を防振支持する１以上の支持機構と、前記支持機構に並
列に配置され、かつ前記除振台への作用が同じ複数のア
クチュエータを有するアクチュエータ組の１組以上と、
前記除振台の振動を検出する振動センサと、前記振動セ
ンサの出力に基づいて前記アクチュエータにより前記除
振台の振動を能動的に抑制するための前記アクチュエー
タの制御量を演算する振動制御演算手段と、前記振動制
御演算手段から出力される制御量に基づき前記アクチュ
エータを駆動する駆動回路とを具備することを特徴とす
る。

【０００８】さらに、基準位置に対する前記除振台の変
位を検出する位置センサと、前記位置センサの出力に基
づいて前記アクチュエータにより前記除振台の位置を制
御するための前記アクチュエータの制御量を演算する位
置制御演算手段とを備え、前記駆動回路は、この位置制
御演算手段と前記振動制御演算手段とから出力される制
御量を加算した制御量に基づき前記アクチュエータを駆
動するものであるのが好ましい。

【０００９】振動制御演算手段または位置制御演算手段
は、前記除振台の各運動モードの情報を前記振動センサ
または位置センサの出力から抽出する運動モード演算手
段と、前記運動モード演算手段の出力に基づいて各運動
モードごとに独立に振動制御や位置制御を行うための制
御量の演算を行なう非干渉制御演算手段と、前記非干渉
制御演算手段の出力を各アクチュエータに分配して出力
する手段とを備え、アクティブ除振装置は前記除振台の
各運動モードごとに独立して制御を行なうものであって
もよい。

【００１０】前記除振台は、駆動手段を備えたＸＹステ
ージ等の精密機器を搭載したものであり、この搭載機器
の自由度方向と前記アクティブ除振装置の自由度方向と
の間に所定の角度を有するものであってもよい。

【００１１】前記アクチュエータとしてはボイスコイル
モータを使用することができる。

【００１２】より具体的には、例えば、除振台本体への
推力、モーメント等の作用が同じ複数のボイスコイルモ
ータを１組とするボイスコイルモータ組が１以上配置さ
れ、除振台の振動が振動センサによって検出され、その
出力が振動制御演算手段において補償され、得られた制
御量がこれらのボイスコイルモータに適切に分配され、
能動的に除振台の振動制御が行なわれる。特に水平方向
の振動制御を行なう場合において機器全体が剛体とみな
すことが可能でその重心位置が機器全体の幾何中心にあ
る場合には、ボイスコイルモータを、その作用方向の同
一直線上に複数配置することができる。ボイスコイルモ
ータの取り付け方向は複数のボイスコイルモータがすべ
て同一方向であっても、そのうちの何台かがそれとは１
８０°反転した逆方向であっても、除振台への作用が同
じであれば差しつかえない。ボイスコイルモータには、
それらすべてが同一方向に取り付けられている場合には
同相の操作量が、何台かのボイスコイルモータが逆方向
に取付けられている場合には逆方向に取付けられている
ものだけに正負反転した操作量が、それぞれ適切に分配
して加えられる。振動検出に用いる振動センサの配置台
数は除振台本体への作用が同じであるボイスコイルモー
タすべてに対して１台でよく、その配置はこれら複数の
ボイスコイルモータのうち１台の作用を考慮したもので
よい。

【００１３】

【作用】ボイスコイルモータを用いたアクティブ除振装
置はアクチュエータの優れた応答性から精密機器の能動
的な振動制御に好適に使用できるが、除振台を支持する
空気バネの空気圧を制御するものと比較して大推力を発
生することが容易ではないために、外乱力を抑制するた
めの推力が不足する場合にはアクチュエータを増設する
必要がある。しかし、アクティブ除振装置においては一
般にセンサとアクチュエータのコロケーションを実現す
ることが望ましいために、アクチュエータを増設すると
それに応じて振動センサも増設する必要があった。これ
に対し、本発明では、除振台への推力、モーメント等の
作用が同じになるように複数のボイスコイルモータ１組
として配置することにより、１つのアクチュエータ組に
ついて振動センサを１つ配置すればよく、アクチュエー
タ組の各アクチュエータごとに振動センサを配置する必
要がない。したがって、振動センサを増設することな
く、アクチュエータ推力不足に対応させてアクチュエー
タが増設され、性能やコストを犠牲にすることなく、よ
り大きな推力で制振制御が行えるようになり、アクティ
ブ除振装置の価格抑制に寄与することが可能となる。

【００１４】また、除振台に搭載する精密機器の仕様変
更等にともない、既に設置済みのアクティブ除振装置に
対してより大きな推力が必要とされるような場合にも、
本発明によりアクチュエータを増設すれば新たなセンサ
を配置する必要がなく、制御演算装置における制御パラ
メータの調整の負担も低減することが可能となる。

【００１５】ＸＹステージ等の除振台の搭載機器の自由
度方向と除振装置の自由度方向とにある角度を持たせる
ようにした場合は、前記搭載機器の移動反力等の外乱力
がより多くの支持機構およびアクチュエータに分散され
るため、自由度方向が一致している場合に比べ、外乱力
の作用方向に対する剛性が高められる。

【００１６】

【実施例】

（実施例１）図１は本発明の第１の実施例に係るアクテ
ィブ除振装置を示すブロック図であり、本発明の特徴を
最もよく表す図である。この装置では２台のボイスコイ
ルモータ３ａおよび３ｂを直列的に用いているが、３台
以上のボイスコイルモータを直列的に用いた場合も本発
明に含まれる。

【００１７】この装置は、半導体露光装置等の精密機器
を搭載する除振台１、これを防振支持する機構２ａ，２
ｂ，２ｃ，２ｄ、除振台１の振動制御を行なうアクチュ
エータであるボイスコイルモータ３ａ，３ｂ、除振台１
の振動を検出する振動センサ４、振動センサ４で検出さ
れた除振台１の振動を補償して操作量を演算する制御演
算装置５、制御演算装置５から得られる操作量によりボ
イスコイルモータ３ａ，３ｂを駆動する駆動回路６ａ，
６ｂ、およびボイスコイルモータ３ａ，３ｂを支持する
ボイスコイルモータ支持部材７を備える。

【００１８】この装置においては、バネおよびダンパ特
性を有する支持機構２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ等によって
水平および鉛直方向に防振支持された精密機器搭載用の
除振台１の振動を能動的に抑制するために、まず振動セ
ンサ４により除振台の振動を検出する。そして、振動セ
ンサ４の出力を制御演算装置５において補償し、得られ
た操作量を駆動回路６ａ，６ｂに適切に分配して与える
ことによりボイスコイルモータ３ａ，３ｂを制御して除
振台１の振動を能動的に抑制する。

【００１９】このようなボイスコイルモータは、除振台
１上に搭載されたＸＹステージ等による外乱力に起因す
る振動を抑制するために十分な推力を発生できる台数を
配置する。推力増大のために複数配置するこれらのボイ
スコイルモータは、除振台本体への推力、モーメント等
の作用がいずれも同じとなるように配置する。ここで
は、ボイスコイルモータ支持部材７を用いてボイスコイ
ルモータ３ａ，３ｂを同一方向に直列的に支持し、これ
らボイスコイルモータ３ａ，３ｂの除振台１への作用点
が１点となるようにしてボイスコイルモータ３ａ，３ｂ
の除振台本体への推力、モーメント等の作用が同じにな
るようにしている。このようにボイスコイルモータがす
べて同一方向に取付けられている場合、各ボイスコイル
モータに分配する操作量はすべて同相とする。

【００２０】なお、図１は水平１自由度の振動制御の例
を示しているが、多自由度の振動を制御する場合は、振
動を抑制しようとする除振台の運動モードをすべて制御
できるような適切な方向に、必要な台数を配置すればよ
い。また、振動検出に用いる振動センサの配置台数は、
除振台本体に同じ作用をおよぼすすべてのボイスコイル
モータに対して少なくとも１台あればよい。

【００２１】アクティブ除振装置において、除振台も含
めた機器全体を剛体とみなすことが不可能で、それらの
固有の振動モードが無視できない場合や、機器全体の重
心位置が除振台の幾何中心と大きく異なる場合などでは
除振台各部での振動が異なり、振動センサをアクチュエ
ータの十分近くに配置する、いわゆるコロケーションを
実現することが望ましい。従って、一般にはボイスコイ
ルモータと同数の振動センサが必要である。しかし、本
実施例によれば、ボイスコイルモータを増設してアクチ
ュエータの推力を増大させても、増設したボイスコイル
モータの除振台本体に対する推力、モーメント等の作用
がすべて同じであるために、振動センサを増設すること
なく推力不足を効果的に改善することができる。したが
って、必要最小限のセンサ、アクチュエータで所定の性
能を実現できるために、産業用機器の重要な命題のひと
つである価格抑制に寄与することができる。

【００２２】（実施例２）実施例１では除振台１への推
力、モーメント等の作用がすべて同じボイスコイルモー
タをすべて同一方向に取り付けているが、これらのボイ
スコイルモータの取付け方向は、そのうちの何台かがそ
れとは１８０°反転した逆方向であってもよい。図２は
この例として、２台のボイスコイルモータ３ａ，３ｂ
を、ボイスコイルモータ支持部材７により互いに逆方向
に取り付けた場合を示す。

【００２３】この場合も各ボイスコイルモータには制御
演算装置５から得られた操作量を適切に分配して加える
が、その際、逆方向に取り付けられているボイスコイル
モータ３ａに対しては、分配された信号を、反転演算回
路８を介し正負反転させて入力するすることにより、ボ
イスコイルモータ３ａと３ｂがプッシュプル方向に作用
するように制御する。

【００２４】振動検出に用いる振動センサ４はの配置台
数は、実施例１と同様に、除振台本体に同じ作用を及ぼ
すすべてのボイスコイルモータに対して少なくとも１台
あればよい。

【００２５】本実施例ではボイスコイルモータを２台用
いているが、もちろん３台以上用いてもよい。また、実
施例１と同様に、多自由度の振動を制御する場合は、振
動を抑制しようとする除振台の運動モードをすべて制御
できるような適切な方向に必要な台数を配置すればよ
い。

【００２６】（実施例３）水平方向の振動制御を行なう
場合において、特に機器全体を剛体とみなすことが可能
で、その重心位置が除振台の幾何中心にある場合には、
ボイスコイルモータをその作用方向が同一線上に位置す
るように複数配置することができる。このような配置が
可能であるのは、作用方向が同一線上に位置するように
配置された複数のボイスコイルモータの除振台本体に対
する推力、モーメント等の作用がすべて同じとなるから
である。図３は水平方向の振動を抑制するこのようなア
クティブ除振装置の１例を示す。この構成では、作用方
向が同一線上に位置するように２台のボイスコイルモー
タ３ａ，３ｂを互いに逆方向に取り付けている。もちろ
んすべてのボイスコイルモータを同一方向に取付けても
よいし、ボイスコイルモータを３台以上配置してもよ
い。すべてのボイスコイルモータを同一方向に取り付け
る場合、反転演算回路８は必要ない。また、このときボ
イスコイルモータ３ａ，３ｂの除振台本体への作用点と
振動センサ４との位置関係は必ずしもコロケーションを
実現する必要はない。

【００２７】機器全体を剛体とみなすことが可能で、そ
の重心位置が除振台の幾何中心にある場合には、本実施
例のようにボイスコイルモータやセンサの配置位置の制
約が実施例１および２に比較して小さくなるために、装
置の設計も容易になる。

【００２８】（実施例４）図１および図２では水平方向
の振動制御の例を示したが、鉛直方向の振動制御も同様
に可能である。図４にその構成例を示す。この例では図
４に示すように、バネおよびダンパ特性を有する支持機
構２ａ，２ｂ等によって鉛直方向に防振支持された、精
密機器搭載用の除振台１の振動を能動的に抑制するため
に、まず振動センサ４により除振台１の鉛直方向の振動
を検出する。そして、振動センサ４の出力を制御演算装
置５において補償し、得られた操作量を駆動回路６ａ，
６ｂに適切に分配して加えることによりボイスコイルモ
ータ３ａ，３ｂを制御して除振台１の振動を能動的に抑
制する。

【００２９】この場合、除振台１への推力、モーメント
等の作用が同じとなるボイスコイルモータ３ａ，３ｂの
取付け方向を互いに逆方向としている。このため、ボイ
スコイルモータ３ａに対しては、反転演算回路８を用い
てボイスコイルモータ３ｂとは正負反転した操作量を加
えている。除振台１の振動を検出する振動センサの配置
台数は、図４に示すように、除振台本体に同じ作用をお
よぼすすべてのボイスコイルモータに対して少なくとも
１台配置すればよい。

【００３０】（実施例５）実施例１〜４は、振動センサ
で検出した除振台の振動を補償して能動的に除振台の振
動制御を行なうものであるが、例えば図５に示すよう
に、振動センサ４の他にさらに位置センサ９を設けて除
振台１の変位を検出し、位置制御演算装置１０において
これを補償し、加算器１１において振動センサ４の出力
を補償した信号と加算し、ボイスコイルモータ３ａ，３
ｂにフィードバックして除振台１の振動制御とともに位
置制御を能動的に行なってもよい。この場合、位置セン
サ９は振動センサと同様に位置制御を行なう上で必要最
小限の台数を配置すればよい。従って、除振台の基準位
置を維持するための位置制御を、必要最小限の位置セン
サにより実現することが可能となり、産業用機器の重要
な命題のひとつである価格抑制にも寄与する。

【００３１】また、この例は、図５に示すように水平方
向の振動制御および位置制御を行なう例であるが、もち
ろん鉛直方向の制御を行なう場合も本発明に含まれる。

【００３２】（実施例６）実施例１〜５において、特願
平４−２９９０８６号公報に開示された除振台の制御装
置のように、振動センサや位置センサの出力から除振台
の各運動モードの情報を抽出し、これを各運動モードご
とに独立に制御演算を行なう非干渉制御演算装置におい
て補償し、得られた操作量を各ボイスコイルモータに分
配することにより、除振台の各運動モードごとに独立に
制御を行なう構成にしてもよい。

【００３３】（実施例７）駆動手段を備えたＸＹステー
ジ等の精密機器を搭載した前記除振台において、除振装
置の自由度方向とＸＹステージ等の搭載機器の自由度方
向とに角度を持たせることにより、前記搭載機器の発生
する移動反力等の外乱力をより多くの支持機構およびボ
イスコイルモータに分散させる構成にしてもよい。図６
に示す装置は、このような除振装置の自由度方向と除振
台に搭載されたＸＹステージの自由度方向とに角度を持
たせた場合のボイスコイルモータの配置例を示す。

【００３４】この装置は、図６に示すように、支持機構
２で防振支持された除振台１の振動を、振動センサ４で
検出し、これを補償してボイスコイルモータ３ａ，３ｂ
により能動的に制御するアクティブ除振装置と、除振台
１上に搭載されたＸステージ１２、Ｙステージ１３、Ｘ
ステージ駆動手段１４、Ｙステージ駆動手段１５からな
るＸＹステージなどにより構成される。

【００３５】例えば、Ｘステージ１２が、Ｘステージ駆
動手段１４によりＸ方向に駆動されると、その移動反力
により除振台１が振動するが、その振動は振動センサ４
で検出され、これを補償してボイスコイルモータ３ａ，
３ｂにより能動的に抑制される。このとき除振台１に搭
載されているＸステージ１２の自由度方向と前記アクテ
ィブ除振装置の自由度方向とに角度があるために、Ｘス
テージ１２の駆動により発生する移動反力等の外乱力
が、より多くの支持機構およびボイスコイルモータに分
散される。従って、Ｘステージ１２とアクティブ除振装
置の自由度方向が一致している場合に比較して、外乱力
に対する剛性を高くすることができる。Ｙステージ１３
がＹステージ駆動手段１５によりＹ方向に駆動される場
合も同様である。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、除
振台への推力、モーメント等の作用が同じになるように
複数のアクチュエータを１組として配置するようにした
ため、振動センサを増設することなく、振動制御に必要
な推力を獲得することができる。従って、必要最小限の
センサ、アクチュエータで所定の性能を実現することが
可能であり、産業用機器の重要な命題のひとつである価
格抑制に寄与する。

【００３７】また、除振台に搭載する精密機器の仕様変
更等にともない、既に設置済みのアクティブ除振装置に
対してより大きな推力が必要とされるような場合にも、
本発明によりアクチュエータを増設すれば新たなセンサ
を配置する必要がなく、制御演算装置における制御パラ
メータの調整の負担も低減することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係るアクティブ除振
装置を示すブロック図である。

【図２】 本発明の第２の実施例に係る図であり、ボイ
スコイルモータをプッシュプル方向に配置した場合のア
クティブ除振装置を示すブロック構成図である。

【図３】 本発明の第３の実施例に係るブロック図であ
り、機器全体が剛体とみなせる場合の水平振動制御の一
実施例を表す図である。

【図４】 本発明の第４の実施例に係る図であり、鉛直
方向の振動を制御する場合のブロック構成図である。

【図５】 本発明の第５の実施例に係る図であり、振動
制御とともに位置制御を行なう場合のブロック構成図で
ある。

【図６】 本発明の第７の実施例に係る図であり、除振
装置と搭載機器との自由度方向に角度を持たせた場合の
ボイスコイルモータの配置例を表すブロック図である。

【符号の説明】

１：除振台、２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ：除振台１の
支持機構、３ａ，３ｂ：ボイスコイルモータ、４：振動
センサ、５：制御演算装置、６ａ，６ｂ：ボイスコイル
モータ駆動回路、７：ボイスコイルモータ支持部材、
８：反転演算回路、９：位置センサ、１０：位置制御演
算装置、１１：加算器、１２：Ｘステージ、１３：Ｙス
テージ、１４：Ｘステージ駆動手段、１５：Ｙステージ
駆動手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２３Ｑ 1/00 8107−3Ｃ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 除振台と、前記除振台を防振支持する１
   以上の支持機構と、前記支持機構に並列に配置され、か
   つ前記除振台への作用が同じ複数のアクチュエータを有
   するアクチュエータ組の１組以上と、前記除振台の振動
   を検出する振動センサと、前記振動センサの出力に基づ
   いて前記アクチュエータにより前記除振台の振動を能動
   的に抑制するための前記アクチュエータの制御量を演算
   する振動制御演算手段と、前記振動制御演算手段から出
   力される制御量に基づき前記アクチュエータを駆動する
   駆動回路とを具備することを特徴とするアクティブ除振
   装置。
2. 【請求項２】 基準位置に対する前記除振台の変位を検
   出する位置センサと、前記位置センサの出力に基づいて
   前記アクチュエータにより前記除振台の位置を制御する
   ための前記アクチュエータの制御量を演算する位置制御
   演算手段とを備え、前記駆動回路は、この位置制御演算
   手段と前記振動制御演算手段とから出力される制御量を
   加算した制御量に基づき前記アクチュエータを駆動する
   ものであることを特徴とする請求項１記載のアクティブ
   除振装置。
3. 【請求項３】 振動制御演算手段または位置制御演算手
   段は、前記除振台の各運動モードの情報を前記振動セン
   サまたは位置センサの出力から抽出する運動モード演算
   手段と、前記運動モード演算手段の出力に基づいて各運
   動モードごとに独立に振動制御や位置制御を行うための
   制御量の演算を行なう非干渉制御演算手段と、前記非干
   渉制御演算手段の出力を各アクチュエータに分配して出
   力する手段とを備え、アクティブ除振装置は前記除振台
   の各運動モードごとに独立して制御を行なうことを特徴
   とする請求項１または２記載のアクティブ除振装置。
4. 【請求項４】 前記除振台は、駆動手段を備えたＸＹス
   テージ等の精密機器を搭載したものであり、この搭載機
   器の自由度方向と前記アクティブ除振装置の自由度方向
   との間に所定の角度を有することを特徴とする請求項１
   〜３記載のアクティブ除振装置。
5. 【請求項５】 前記アクチュエータはボイスコイルモー
   タであることを特徴とする請求項１〜４記載のアクティ
   ブ除振装置。