JPH0793525B2 - 多素子整合器を使用するマイクロ波自動負荷整合回路 - Google Patents
多素子整合器を使用するマイクロ波自動負荷整合回路Info
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- JPH0793525B2 JPH0793525B2 JP1070232A JP7023289A JPH0793525B2 JP H0793525 B2 JPH0793525 B2 JP H0793525B2 JP 1070232 A JP1070232 A JP 1070232A JP 7023289 A JP7023289 A JP 7023289A JP H0793525 B2 JPH0793525 B2 JP H0793525B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H7/00—Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
- H03H7/38—Impedance-matching networks
- H03H7/40—Automatic matching of load impedance to source impedance
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- Plasma Technology (AREA)
- Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
- Amplifiers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えば導波管や同軸管等の伝送線路におけるマ
イクロ波自動負荷整合回路、特に多素子整合器を使用す
るマイクロ波自動負荷整合回路に関する。
イクロ波自動負荷整合回路、特に多素子整合器を使用す
るマイクロ波自動負荷整合回路に関する。
各種産業のエネルギ源は、品質管理上特に安定であるこ
とを必要とする。マイクロ波電力を各種産業のエネルギ
源として採用することは、他の場合に比し、特殊な効果
を発揮することが多く、有効な利用が期待されている
が、負荷の変化範囲が広く、然も急激に変動することが
多いため、運転中マイクロ波電力を常に安定に供給する
ことが、品質管理上特に希望されており、そのためにい
わゆる負荷整合が行われている。
とを必要とする。マイクロ波電力を各種産業のエネルギ
源として採用することは、他の場合に比し、特殊な効果
を発揮することが多く、有効な利用が期待されている
が、負荷の変化範囲が広く、然も急激に変動することが
多いため、運転中マイクロ波電力を常に安定に供給する
ことが、品質管理上特に希望されており、そのためにい
わゆる負荷整合が行われている。
従来、マイクロ波帯における負荷整合は、負荷への進行
波電力および負荷からの反射電力を監視しながら、３個
以上のスタブ整合器やE/H整合器等を手動で操作し、反
射電力最小で進行波電力最大の点に調整していた。
波電力および負荷からの反射電力を監視しながら、３個
以上のスタブ整合器やE/H整合器等を手動で操作し、反
射電力最小で進行波電力最大の点に調整していた。
ところが、上記のような手動による負荷整合操作では、
絶えず負荷の変動を監視し、対応動作を速やかに実施し
なければならず、急激な変動に対して正しく迅速に対応
することは非常に困難である。そのために負荷状態の急
変に際しての適切な応答が遅れ、品質管理上問題があっ
た。
絶えず負荷の変動を監視し、対応動作を速やかに実施し
なければならず、急激な変動に対して正しく迅速に対応
することは非常に困難である。そのために負荷状態の急
変に際しての適切な応答が遅れ、品質管理上問題があっ
た。
そこで本出願人は先に特開昭63−15502号において上記
のような負荷整合を自動的に行うマイクロ波自動負荷整
合回路を提案し、一応の目的は達成したが、なお整合不
可能区域が存在するなど、不満足な点が残った。またそ
の後、特開昭63−264892号および特開昭63−264893号に
おいて、E/H整合器を使用するものを提案したが、共に
制御回路がやや複雑になった。
のような負荷整合を自動的に行うマイクロ波自動負荷整
合回路を提案し、一応の目的は達成したが、なお整合不
可能区域が存在するなど、不満足な点が残った。またそ
の後、特開昭63−264892号および特開昭63−264893号に
おいて、E/H整合器を使用するものを提案したが、共に
制御回路がやや複雑になった。
本発明は上記の問題点を解決すると共に、負荷の急変に
際しても自動的に負荷整合を実施し、常に安定な電力供
給を行い、有効な品質管理を実現することのできる負荷
整合回路を提供することを目的とする。
際しても自動的に負荷整合を実施し、常に安定な電力供
給を行い、有効な品質管理を実現することのできる負荷
整合回路を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために本発明は以下の構成とした
ものである。即ち、本発明は伝送線路系において、信号
源と負荷回路の間に検出回路と整合器を置き、整合器を
含む負荷回路への進行波成分並びに、反射波成分を検出
し、それらの強度並びに位相差に基づき、負荷回路の反
射係数｜Γ｜とその偏角θの余弦積｜Γ|cosθ並びに正
弦積｜Γ|sinθに相当する検出回路出力を得、この２信
号によって整合器を駆動して自動負荷整合を行わせるも
ので、その整合器として以下に述べる２種類の整合器の
いずれかを使用する。
ものである。即ち、本発明は伝送線路系において、信号
源と負荷回路の間に検出回路と整合器を置き、整合器を
含む負荷回路への進行波成分並びに、反射波成分を検出
し、それらの強度並びに位相差に基づき、負荷回路の反
射係数｜Γ｜とその偏角θの余弦積｜Γ|cosθ並びに正
弦積｜Γ|sinθに相当する検出回路出力を得、この２信
号によって整合器を駆動して自動負荷整合を行わせるも
ので、その整合器として以下に述べる２種類の整合器の
いずれかを使用する。
第１の整合器としては、線路上ほぼ線路内波長の1/8の
奇数倍の間隔に、並列または直列分岐の３個の整合素子
を備え、このうち両端の２個は、それらの入力等価リア
クタンスまたは等価サセプタンスが共にゼロとなる点付
近から正逆相反する方向に連動せしめ、これを一方の検
出電圧で駆動し、中央の整合素子を他方の検出変圧で駆
動することによって自動整合を行わせる。
奇数倍の間隔に、並列または直列分岐の３個の整合素子
を備え、このうち両端の２個は、それらの入力等価リア
クタンスまたは等価サセプタンスが共にゼロとなる点付
近から正逆相反する方向に連動せしめ、これを一方の検
出電圧で駆動し、中央の整合素子を他方の検出変圧で駆
動することによって自動整合を行わせる。
第２の整合器においては、伝送線路上、線路内波長の約
1/4の奇数倍の距離にある並列分岐または直列分岐の２
個の整合素子を上記第１の整合器の場合と同様に短絡器
移動距離を反対方向に連動させ、一方の検出電圧でこれ
を駆動し、これらよりも線路内波長の約1/8の奇数倍だ
け負荷側に寄った距離にある１個の整合素子を他方の検
出電圧で駆動することによって、自動的に整合を行わせ
る。なお、このとき前者の連動整合素子のうち１個の移
動量は他方よりも一定比率少なくすると効果的である。
1/4の奇数倍の距離にある並列分岐または直列分岐の２
個の整合素子を上記第１の整合器の場合と同様に短絡器
移動距離を反対方向に連動させ、一方の検出電圧でこれ
を駆動し、これらよりも線路内波長の約1/8の奇数倍だ
け負荷側に寄った距離にある１個の整合素子を他方の検
出電圧で駆動することによって、自動的に整合を行わせ
る。なお、このとき前者の連動整合素子のうち１個の移
動量は他方よりも一定比率少なくすると効果的である。
負荷の反射係数ベクトルΓとその偏角θとから余弦積｜
Γ|cosθと正弦積｜Γ|sinθを検出回路で作り、この両
者を駆動電圧として上記各整合器における整合素子のモ
ータ等を駆動することによって自動整合を行わせること
が可能となる。
Γ|cosθと正弦積｜Γ|sinθを検出回路で作り、この両
者を駆動電圧として上記各整合器における整合素子のモ
ータ等を駆動することによって自動整合を行わせること
が可能となる。
負荷の反射係数を抽出するには、多探針法や方向性結合
器回路を使用するもの等種々あるが、ここではその一例
として四探針法を説明する。これはインピーダンス直視
装置用として使用されたもので、例えば、小口文一・太
田正光共著“マイクロ波・ミリ波測定”（コロナ社版）
84〜86頁に記載されており、このうち本発明の実施例に
おいては第１図に例示する四探針法を利用した。
器回路を使用するもの等種々あるが、ここではその一例
として四探針法を説明する。これはインピーダンス直視
装置用として使用されたもので、例えば、小口文一・太
田正光共著“マイクロ波・ミリ波測定”（コロナ社版）
84〜86頁に記載されており、このうち本発明の実施例に
おいては第１図に例示する四探針法を利用した。
なお以後の実施例では伝送線路として方形導波管を例に
して説明するが、同軸管線路などにおいても効果は同様
である。
して説明するが、同軸管線路などにおいても効果は同様
である。
第１図において、１は方形導波管で、その電界に沿って
1/8管内波長間隔に探針21・22・23・24が並んでいる。
この各探針出力には検波器31・32・33・34が接続されて
いる。各検波特性が二乗特性だとすると、各出力電圧は
検波感度をＫ、入射波振幅をVi、探針21から見た整合器
５を含む負荷の反射係数を｜Γ|exp（ｊθ）として、次
式で示される。
1/8管内波長間隔に探針21・22・23・24が並んでいる。
この各探針出力には検波器31・32・33・34が接続されて
いる。各検波特性が二乗特性だとすると、各出力電圧は
検波感度をＫ、入射波振幅をVi、探針21から見た整合器
５を含む負荷の反射係数を｜Γ|exp（ｊθ）として、次
式で示される。
V1＝K|Vi|2（１＋｜Γ|2＋2|Γ|cosθ） V2＝K|Vi|2（１＋｜Γ|2−2|Γ|sinθ） V3＝K|Vi|2（１＋｜Γ|2−2|Γ|cosθ） V4＝K|Vi|2（１＋｜Γ|2＋2|Γ|sinθ） 差動増幅器41の入力にV1とV3、同42の入力にV2とV4を印
加すると、差動増幅器41と42の出力は、 Vc＝V1−V3＝4K|Vi|2|Γ|cosθ Vs＝V4−V2＝4K|Vi|2|Γ|sinθ となり、余弦積Vcと正弦積Vsに比例するものとなる。こ
れらを駆動電圧として整合器５内の２組の整合素子にそ
れぞれ印加して、自動整合を行わせる。
加すると、差動増幅器41と42の出力は、 Vc＝V1−V3＝4K|Vi|2|Γ|cosθ Vs＝V4−V2＝4K|Vi|2|Γ|sinθ となり、余弦積Vcと正弦積Vsに比例するものとなる。こ
れらを駆動電圧として整合器５内の２組の整合素子にそ
れぞれ印加して、自動整合を行わせる。
整合素子は、例えば方形導波管の広面に設けた直列分岐
や狭面に設けた並列分岐導波管６中に可動短絡片（短絡
器）７を入れ、外部の電動機８によって短絡片を移動さ
せる。
や狭面に設けた並列分岐導波管６中に可動短絡片（短絡
器）７を入れ、外部の電動機８によって短絡片を移動さ
せる。
今、並列分岐導波管内で短絡位置を移動させたときの入
力サセプタンスの変化、ｂ＝−jY0cot（２πl/λ）を第
２図に示している。即ち、短絡長ｌが管内波長λの1/4
のとき、入力サセプタンスはゼロとなり、それよりも長
くなると、容量性サセプアンスとなり、短くなると誘導
性サセプタンスとなって、負荷アドミッタンスに付加さ
れることになる。
力サセプタンスの変化、ｂ＝−jY0cot（２πl/λ）を第
２図に示している。即ち、短絡長ｌが管内波長λの1/4
のとき、入力サセプタンスはゼロとなり、それよりも長
くなると、容量性サセプアンスとなり、短くなると誘導
性サセプタンスとなって、負荷アドミッタンスに付加さ
れることになる。
また、直列分岐導波管内の短絡片の移動特性は第３図の
如く、挿入長ゼロから1/4管内波長までは誘導性リアク
タンスを呈するが、それを越すと容量性リアクタンスと
なり、1/2管内波長の点で等価リアクタンスはゼロとな
り、これ以上挿入されると再び誘導性リアクタンスを呈
する。この場合には、負荷インピーダンスに等価リアク
タンスが付加されることになる。
如く、挿入長ゼロから1/4管内波長までは誘導性リアク
タンスを呈するが、それを越すと容量性リアクタンスと
なり、1/2管内波長の点で等価リアクタンスはゼロとな
り、これ以上挿入されると再び誘導性リアクタンスを呈
する。この場合には、負荷インピーダンスに等価リアク
タンスが付加されることになる。
前記第１の整合器は、例えば第４図の如く方形導波管１
上にほぼ1/8管内波長の奇数倍の間隔で、共に直列また
は並列分岐導波管６を取り付け、その内部に短絡片７を
設けて３個の整合素子として使用する。このうち両端の
２個は短絡片が反対方向に移動する如くする。即ち、並
列分岐導波管整合素子の場合には、短絡片位相が共にほ
ぼ1/4管内波長にある所から、一方は正方向、他方は逆
方向に移動する如く、電動機の接続方向を変更するなど
しておき、余弦積出力電圧または正弦積出力で駆動し、
中央の整合素子の電動機は他方の出力電圧で駆動する。
上にほぼ1/8管内波長の奇数倍の間隔で、共に直列また
は並列分岐導波管６を取り付け、その内部に短絡片７を
設けて３個の整合素子として使用する。このうち両端の
２個は短絡片が反対方向に移動する如くする。即ち、並
列分岐導波管整合素子の場合には、短絡片位相が共にほ
ぼ1/4管内波長にある所から、一方は正方向、他方は逆
方向に移動する如く、電動機の接続方向を変更するなど
しておき、余弦積出力電圧または正弦積出力で駆動し、
中央の整合素子の電動機は他方の出力電圧で駆動する。
第４図はこの状態の概略図で、整合素子は信号源側から
S1・S2・S3とし、それぞれ電動機M1・M2・M3で駆動さ
れ、例えばM1とM3は正弦積出力電圧Vsで、またM2は余弦
積電圧Vcで駆動されるものとし、このうちM1による短絡
片の移動は、S3の逆方向としている。この３個の整合素
子は空間的に1/8管内波長ずれているから、第５図のス
ミス線図で見ると、S1が中心から∞までの線上を中心と
して移動するのに対して、S2はこれより信号源方向へ図
上で90度回転した所の軌跡上を移動し、S3は更に90度反
時計方向に回転する。
S1・S2・S3とし、それぞれ電動機M1・M2・M3で駆動さ
れ、例えばM1とM3は正弦積出力電圧Vsで、またM2は余弦
積電圧Vcで駆動されるものとし、このうちM1による短絡
片の移動は、S3の逆方向としている。この３個の整合素
子は空間的に1/8管内波長ずれているから、第５図のス
ミス線図で見ると、S1が中心から∞までの線上を中心と
して移動するのに対して、S2はこれより信号源方向へ図
上で90度回転した所の軌跡上を移動し、S3は更に90度反
時計方向に回転する。
今、第４図の各分岐は並列分岐とし、正弦積電圧Vsの増
加で、整合素子S1の短絡片距離lS1は減少し、整合素子S
3の短絡片距離lS3は増大するとし、中央の整合素子S2の
矩形片距離lS2は余弦積電圧Vcの増加で増大するように
設定したとする。このときVcとVsの増加による各整合素
子のサセプタンス変化は、第２図を参照して下表のよう
になる。
加で、整合素子S1の短絡片距離lS1は減少し、整合素子S
3の短絡片距離lS3は増大するとし、中央の整合素子S2の
矩形片距離lS2は余弦積電圧Vcの増加で増大するように
設定したとする。このときVcとVsの増加による各整合素
子のサセプタンス変化は、第２図を参照して下表のよう
になる。
従って、いま第１図の如き検出回路で、整合器を含む負
荷回路の反射係数Γ１が第６図の第Ｉ象限内にあって、
その規準化アドミッタンスが（1.2＋j0.8）だったとす
る。この第Ｉ象限内では｜Γ1|cosθと｜Γ1|sinθは共
に正値だから、整合素子S1はlS1が減少し、サセプタン
スを減少させるので、第６図上ｇ＝1.2の円上をサセプ
タンスが0.8よりも減少の方向へ移動し、整合素子S2はl
S2が増加し、サセプタンスが増加するが、第６図上でΓ
１の点はS2の地点では、負のサセプタンス領域なので時
計廻りとなり、整合に近付ける方向となり、その上S2上
の回転によって、コンダクタンス分もｇ＝1.2から1.1の
方向へ減少する。
荷回路の反射係数Γ１が第６図の第Ｉ象限内にあって、
その規準化アドミッタンスが（1.2＋j0.8）だったとす
る。この第Ｉ象限内では｜Γ1|cosθと｜Γ1|sinθは共
に正値だから、整合素子S1はlS1が減少し、サセプタン
スを減少させるので、第６図上ｇ＝1.2の円上をサセプ
タンスが0.8よりも減少の方向へ移動し、整合素子S2はl
S2が増加し、サセプタンスが増加するが、第６図上でΓ
１の点はS2の地点では、負のサセプタンス領域なので時
計廻りとなり、整合に近付ける方向となり、その上S2上
の回転によって、コンダクタンス分もｇ＝1.2から1.1の
方向へ減少する。
また、整合素子S3の方もVsの正値によってlS3が増加
し、サセプタンスが増加するが、Γ１はS3にとって負サ
セプタンス領域だから、整合に近付けることになり、３
個の整数素子が共同して｜Γ1|を０即ち（１＋j0）点の
整合に導くように動作する。
し、サセプタンスが増加するが、Γ１はS3にとって負サ
セプタンス領域だから、整合に近付けることになり、３
個の整数素子が共同して｜Γ1|を０即ち（１＋j0）点の
整合に導くように動作する。
また負荷の反射係数Γ２が、第II象限内にあって（ｙ＝
0.5＋j0.4）だったとする。このとき余弦積｜Γ|cosθ
＜０で、正弦積｜Γ|sinθ＞０だから、S1のlS1は減少
しサセプタンスは減少するので、ｇ＝0.5の円上をサセ
プタンスが減少する方向即ち下方へ動き、素子S2では正
サセプタンス領域だから、Vcの減少でlS2が減少しサセ
プタンスが減少する。また素子S3ではVsの増加で負サセ
プタンス領域からサセプタンスが増加し整合に近付く。
このとき素子S2とS3の動きによって、図から判るように
ｇも１に近付いて行き、｜Γ｜＝０即ちｙ＝１＋j0の整
合点に到達する。
0.5＋j0.4）だったとする。このとき余弦積｜Γ|cosθ
＜０で、正弦積｜Γ|sinθ＞０だから、S1のlS1は減少
しサセプタンスは減少するので、ｇ＝0.5の円上をサセ
プタンスが減少する方向即ち下方へ動き、素子S2では正
サセプタンス領域だから、Vcの減少でlS2が減少しサセ
プタンスが減少する。また素子S3ではVsの増加で負サセ
プタンス領域からサセプタンスが増加し整合に近付く。
このとき素子S2とS3の動きによって、図から判るように
ｇも１に近付いて行き、｜Γ｜＝０即ちｙ＝１＋j0の整
合点に到達する。
第III象限や第IV象限の負荷に対しても同様に、２種の
余弦積電圧Vcと正弦積電圧Vsによって３個の整合素子が
同時に短絡点移動を開始して速やかに整合に到るのであ
る。
余弦積電圧Vcと正弦積電圧Vsによって３個の整合素子が
同時に短絡点移動を開始して速やかに整合に到るのであ
る。
前記第２の整合器は第７図の如く上記と同様ほぼ管内波
長の1/4の奇数倍の距離にある並列または直列分岐導波
管６内に短絡片７を入れ、両者が共にサセプタンスゼロ
またはリアクタンスゼロ付近を中心として相反する方向
に短絡片を移動させるが、その一方には反転減衰回路９
を使用するか或いは、機械的にその短絡片移動距離をＫ
倍（Ｋ＜１）として、相反する方向に移動させる。この
とき、信号源側の整合素子S1の地点で負荷側を見たイミ
ッタンスIMは実数部を１、虚数部をｂとして、 となり、Ｋ＝0.15、0.2および0.3としたときの特性変化
は第８図のように（１＋j0）点を通りほぼ直角に並ぶ。
従って、これらよりも管内波長で1/8の奇数倍の所に他
の１個の整合素子を置く第７図の回路では、第８図中点
線で示す小円でさえもＫ＝0.15〜0.3の特性曲線と交わ
るので、その一方を余弦積出力、他方を正弦積出力電圧
で電動機により短絡点を移動させれば、ほぼ全域の自動
整合が行われる。
長の1/4の奇数倍の距離にある並列または直列分岐導波
管６内に短絡片７を入れ、両者が共にサセプタンスゼロ
またはリアクタンスゼロ付近を中心として相反する方向
に短絡片を移動させるが、その一方には反転減衰回路９
を使用するか或いは、機械的にその短絡片移動距離をＫ
倍（Ｋ＜１）として、相反する方向に移動させる。この
とき、信号源側の整合素子S1の地点で負荷側を見たイミ
ッタンスIMは実数部を１、虚数部をｂとして、 となり、Ｋ＝0.15、0.2および0.3としたときの特性変化
は第８図のように（１＋j0）点を通りほぼ直角に並ぶ。
従って、これらよりも管内波長で1/8の奇数倍の所に他
の１個の整合素子を置く第７図の回路では、第８図中点
線で示す小円でさえもＫ＝0.15〜0.3の特性曲線と交わ
るので、その一方を余弦積出力、他方を正弦積出力電圧
で電動機により短絡点を移動させれば、ほぼ全域の自動
整合が行われる。
以上説明したように本発明によれば、全域の自動負荷整
合回路が可能となった。整合器を含む負荷回路の反射波
を検出し、その余弦積電圧｜Γ|cosθと正弦積電圧｜Γ
|sinθを求めることにより、例えば２組の多素子整合器
を駆動し、全自動に負荷整合が行えることになった。応
答速度も通常の使用に当たり、急速な負荷変動に対して
も満足する結果を示した。例えば、周波数2.45GHzで、V
SWR10の負荷を接続したところ、本発明の前記第１〜第
２の整合器による整合回路は共に１秒以内にVSWR1.05以
内に整合できた。
合回路が可能となった。整合器を含む負荷回路の反射波
を検出し、その余弦積電圧｜Γ|cosθと正弦積電圧｜Γ
|sinθを求めることにより、例えば２組の多素子整合器
を駆動し、全自動に負荷整合が行えることになった。応
答速度も通常の使用に当たり、急速な負荷変動に対して
も満足する結果を示した。例えば、周波数2.45GHzで、V
SWR10の負荷を接続したところ、本発明の前記第１〜第
２の整合器による整合回路は共に１秒以内にVSWR1.05以
内に整合できた。
尚、並列分岐整合器を有する同軸管回路においても同様
の結果が得られた。
の結果が得られた。
第１図は四探針法を採用した場合の制御電圧検出回路の
一例を示す説明図、第２図は並列形整合器の短絡長変化
に基づくサセプタンス変化特性を示すグラフ、第３図は
直列形整合器の同リアクタンス変化特性を示すグラフ、
第４図は本発明に基づく第１の整合器の構成例を示す説
明図、第５図はその整合器の各短絡片移動によるスミス
線図上の変化特性を示す図、第６図はその整合器の動作
説明図、第７図は第２の整合器の構成例を示す説明図、
第８図はその整合器の動作説明図である。 １は方形導波管、21・22・23・24は検出用探針、31・32
・33・34は検波器、41・42は差動増幅器、５は整合器、
６は整合素子の分岐導波管、７は可変短絡片、８は駆動
用電動機、９は反転減衰回路。
一例を示す説明図、第２図は並列形整合器の短絡長変化
に基づくサセプタンス変化特性を示すグラフ、第３図は
直列形整合器の同リアクタンス変化特性を示すグラフ、
第４図は本発明に基づく第１の整合器の構成例を示す説
明図、第５図はその整合器の各短絡片移動によるスミス
線図上の変化特性を示す図、第６図はその整合器の動作
説明図、第７図は第２の整合器の構成例を示す説明図、
第８図はその整合器の動作説明図である。 １は方形導波管、21・22・23・24は検出用探針、31・32
・33・34は検波器、41・42は差動増幅器、５は整合器、
６は整合素子の分岐導波管、７は可変短絡片、８は駆動
用電動機、９は反転減衰回路。
Claims (2)
- 【請求項１】負荷回路を接続した整合器の信号源側に信
号検出回路を置き、整合器を含む負荷回路への進行波成
分並びに反射波成分を検出し、それらの強度および位相
差に基づき、反射係数の絶対値｜Γ｜とその偏角θの余
弦積｜Γ|cosθおよび正弦積｜Γ|sinθに相当する検出
回路出力を得、これらによって整合器を調整して負荷回
路を自動的に整合せしめる回路において、 伝送線路上、ほぼ線路内波長の1/8の奇数倍の間隔で３
個の整合素子を備え、両端の整合素子はその短絡長変化
が互いに相反する如く連結して、余弦積出力か正弦積出
力の内の何れか一方でこれを駆動し、他方の出力をもっ
て中央の整合素子を駆動する如く構成したマイクロ波自
動負荷整合回路。 - 【請求項２】負荷回路を接続した整合器の信号源側に信
号検出回路を置き、整合器を含む負荷回路への進行波成
分並びに反射波成分を検出し、それらの強度および位相
差に基づき、反射係数の絶対値｜Γ｜とその偏角θの余
弦積｜Γ|cosθおよび正弦積｜Γ|sinθに相当する検出
回路出力を得、これらによって整合器を調整して負荷回
路を自動的に整合せしめる回路において、 伝送線路上、ほぼ線路内波長の1/4の奇数倍の距離にあ
る２個の整合素子の短絡長変化が一定比率をもって相反
する如く連結し、これらよりも負荷側に線路内波長の1/
8の奇数倍付近の距離に１個の整合素子を置き、一方を
余弦積出力電圧、他方を正弦積出力電圧で駆動する如く
構成したマイクロ波自動負荷整合回路。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1070232A JPH0793525B2 (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 多素子整合器を使用するマイクロ波自動負荷整合回路 |
| US07/497,001 US5041803A (en) | 1989-03-22 | 1990-03-21 | Automatic load matching circuit for microwaves using multi-element matching device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1070232A JPH0793525B2 (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 多素子整合器を使用するマイクロ波自動負荷整合回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02249301A JPH02249301A (ja) | 1990-10-05 |
| JPH0793525B2 true JPH0793525B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13425611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1070232A Expired - Lifetime JPH0793525B2 (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 多素子整合器を使用するマイクロ波自動負荷整合回路 |
Country Status (2)
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|---|---|
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| JP (1) | JPH0793525B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9001973B2 (en) | 2003-04-25 | 2015-04-07 | Rapiscan Systems, Inc. | X-ray sources |
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1990
- 1990-03-21 US US07/497,001 patent/US5041803A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5041803A (en) | 1991-08-20 |
| JPH02249301A (ja) | 1990-10-05 |
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