JPH0793783A - ミラー駆動装置 - Google Patents
ミラー駆動装置Info
- Publication number
- JPH0793783A JPH0793783A JP23506993A JP23506993A JPH0793783A JP H0793783 A JPH0793783 A JP H0793783A JP 23506993 A JP23506993 A JP 23506993A JP 23506993 A JP23506993 A JP 23506993A JP H0793783 A JPH0793783 A JP H0793783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- twisting
- deformable portion
- driving device
- deforming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は簡単な構成で、温度変化に対してミラ
ーの傾きを防止するとともに、組み立て段階でのミラー
の傾きをも防止できるミラー駆動装置を提供することを
目的とする。 【構成】本発明は、反射面を有するミラーと、このミラ
ーに回転力を与える駆動手段と、前記ミラー11を回転
自在に支持する弾性支持体13と、この弾性支持体13
を固定するフレーム17とを具備したミラー駆動装置に
おいて、前記捩じれ変形部13bの一端を連結する前記
フレーム17に取り付け部分に、前記捩じれ変形部13
bの長手軸方向に直交する向きに沿ったスリット13e
を形成し、これにより前記捩じれ変形部13bに加わる
その長手軸方向の応力を弾性変形して吸収するアーム1
3fを形成し、このアーム13fで前記捩じれ変形部1
3bの一端を支えるものとした。
ーの傾きを防止するとともに、組み立て段階でのミラー
の傾きをも防止できるミラー駆動装置を提供することを
目的とする。 【構成】本発明は、反射面を有するミラーと、このミラ
ーに回転力を与える駆動手段と、前記ミラー11を回転
自在に支持する弾性支持体13と、この弾性支持体13
を固定するフレーム17とを具備したミラー駆動装置に
おいて、前記捩じれ変形部13bの一端を連結する前記
フレーム17に取り付け部分に、前記捩じれ変形部13
bの長手軸方向に直交する向きに沿ったスリット13e
を形成し、これにより前記捩じれ変形部13bに加わる
その長手軸方向の応力を弾性変形して吸収するアーム1
3fを形成し、このアーム13fで前記捩じれ変形部1
3bの一端を支えるものとした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば光学式情報記録
再生装置などに用いられ、ミラーを微小に回動すること
によりその光軸の傾きを調整するミラー駆動装置に関す
る。
再生装置などに用いられ、ミラーを微小に回動すること
によりその光軸の傾きを調整するミラー駆動装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光学式情報記録再生装置では、その光軸
位置を調整するため、回動可能なガルバノミラーを組み
込んでなるものが多い。例えば光ディスク装置の再生光
学系では、半導体レ−ザから出射されたレーザビ−ム
が、コリメ−タレンズ、送光プリズム、回動可能なガル
バノミラー、及び対物レンズを介して、ディスクに照射
される。そして、ディスクから反射される反射光は、上
述した経路とは逆の経路で導かれ、ビ−ムスプリッタを
介して複数の光検出器に集光されて、一方の光検出器で
再生信号が得られ、他方の光検出器でフォーカシングト
ラッキング制御用信号が得られる。
位置を調整するため、回動可能なガルバノミラーを組み
込んでなるものが多い。例えば光ディスク装置の再生光
学系では、半導体レ−ザから出射されたレーザビ−ム
が、コリメ−タレンズ、送光プリズム、回動可能なガル
バノミラー、及び対物レンズを介して、ディスクに照射
される。そして、ディスクから反射される反射光は、上
述した経路とは逆の経路で導かれ、ビ−ムスプリッタを
介して複数の光検出器に集光されて、一方の光検出器で
再生信号が得られ、他方の光検出器でフォーカシングト
ラッキング制御用信号が得られる。
【0003】前記対物レンズは、フォ−カシング制御
系、及びトラッキング制御系によって、ディスクとの相
対位置を制御しながら、再生、記録、消去の動作を行っ
ている。
系、及びトラッキング制御系によって、ディスクとの相
対位置を制御しながら、再生、記録、消去の動作を行っ
ている。
【0004】また、ディスク溝のトラッキング方向の微
小なズレは、前記ミラーを微小に回転制御することによ
って補正し、正確にビ−ムスポットがトラック上に沿う
ように追従させる。
小なズレは、前記ミラーを微小に回転制御することによ
って補正し、正確にビ−ムスポットがトラック上に沿う
ように追従させる。
【0005】前記ミラーは図13に示すようなミラー駆
動装置に組み込まれている。このミラー駆動装置は、鉄
などにより構成される固定部としてのフレ−ム部1に両
端を固定した板ばね2を設け、この板ばね2は、図11
で示すように構成されている。この板ばね2はその中央
にミラー取付け部2aを形成し、板ばね2の両端にはフ
レ−ム部1に固定する固定板部2b,2bが形成されて
いる。ミラー取付け部2aと固定板部2b,2bとの間
は、捩じれ変形部2c,2cを介して連結されている。
そして、ミラー3はミラーホルダ4を介して前記ミラー
取付け部2aに図示しない駆動コイルとともに一体的に
取り付けられている。また、捩じれ変形部2c,2c
は、図12で示すように、断面形状がが長方形状をな
し、その長辺方向を前記ミラー3の反射面3aに平行に
沿わせている。
動装置に組み込まれている。このミラー駆動装置は、鉄
などにより構成される固定部としてのフレ−ム部1に両
端を固定した板ばね2を設け、この板ばね2は、図11
で示すように構成されている。この板ばね2はその中央
にミラー取付け部2aを形成し、板ばね2の両端にはフ
レ−ム部1に固定する固定板部2b,2bが形成されて
いる。ミラー取付け部2aと固定板部2b,2bとの間
は、捩じれ変形部2c,2cを介して連結されている。
そして、ミラー3はミラーホルダ4を介して前記ミラー
取付け部2aに図示しない駆動コイルとともに一体的に
取り付けられている。また、捩じれ変形部2c,2c
は、図12で示すように、断面形状がが長方形状をな
し、その長辺方向を前記ミラー3の反射面3aに平行に
沿わせている。
【0006】前記駆動コイルへの通電により、捩じれ変
形部2c,2cの捩じれ弾性力に抗してミラー3は、そ
の駆動コイルとともに所定方向に回動され、反射面の角
度を変えることにより光軸傾きを調整するようになって
いる。
形部2c,2cの捩じれ弾性力に抗してミラー3は、そ
の駆動コイルとともに所定方向に回動され、反射面の角
度を変えることにより光軸傾きを調整するようになって
いる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この従来の
ミラー駆動装置において、前記板ばね2の平面度、前記
板ばね2とミラーホルダ4の接合部の合わせ位置の精
度、あるいは前記板ばね2の接合位置とミラー3の接着
面との平行度が十分確保されない場合には、その組み立
て段階で、板ばね2に応力が働き、ミラー3の傾きを発
生するという問題が起きる。
ミラー駆動装置において、前記板ばね2の平面度、前記
板ばね2とミラーホルダ4の接合部の合わせ位置の精
度、あるいは前記板ばね2の接合位置とミラー3の接着
面との平行度が十分確保されない場合には、その組み立
て段階で、板ばね2に応力が働き、ミラー3の傾きを発
生するという問題が起きる。
【0008】また、ミラー駆動装置の構成部品の線膨脹
係数の違いから、ミラー3の傾きを発生させることがあ
る。すなわち、固定部分たるフレ−ム部1が鉄製で、ホ
ルダ4は樹脂製で、板ばね2がりん青銅製であるなど、
各部材が異種の材料で形成されるため、温度変化に対し
て板ばね2、特に捩じれ変形部2c,2cに熱応力が加
わり、その捩じれ変形部2c,2cが前記ミラー3の反
射面3aに直交する方向に変形して前記ミラー3の反射
面3aが傾いてしまうとう問題がある。
係数の違いから、ミラー3の傾きを発生させることがあ
る。すなわち、固定部分たるフレ−ム部1が鉄製で、ホ
ルダ4は樹脂製で、板ばね2がりん青銅製であるなど、
各部材が異種の材料で形成されるため、温度変化に対し
て板ばね2、特に捩じれ変形部2c,2cに熱応力が加
わり、その捩じれ変形部2c,2cが前記ミラー3の反
射面3aに直交する方向に変形して前記ミラー3の反射
面3aが傾いてしまうとう問題がある。
【0009】このように、組付け時や温度変化によって
板ばね2に応力が加わり、ミラー3を傾きさせると、光
ディスク装置においては、前記トラッキング制御の誤差
信号に異常な信号が重畳され、あるいは、フォ−カス制
御の誤差信号に異常な信号が重畳されて記録再生消去時
にビ−ムの位置がずれたり、スポットがぼけるという問
題が発生する。
板ばね2に応力が加わり、ミラー3を傾きさせると、光
ディスク装置においては、前記トラッキング制御の誤差
信号に異常な信号が重畳され、あるいは、フォ−カス制
御の誤差信号に異常な信号が重畳されて記録再生消去時
にビ−ムの位置がずれたり、スポットがぼけるという問
題が発生する。
【0010】前述したように従来のものにおいては、部
品やその組み立て精度の誤差、温度変化を受けることに
よって、板ばね2の捩じれ変形部2c,2cに応力を受
けて変形し、その結果、ミラー3が傾き、フォ−カス及
びトラッキングの制御に誤差が発生する。
品やその組み立て精度の誤差、温度変化を受けることに
よって、板ばね2の捩じれ変形部2c,2cに応力を受
けて変形し、その結果、ミラー3が傾き、フォ−カス及
びトラッキングの制御に誤差が発生する。
【0011】そこで、本発明は簡単な構成でありなが
ら、部品やその組み立て精度の誤差、または温度変化を
受けることによってのミラーの傾きを防止できるように
したミラー駆動装置を提供することを目的とする。
ら、部品やその組み立て精度の誤差、または温度変化を
受けることによってのミラーの傾きを防止できるように
したミラー駆動装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明は、反射面を有するミラーと、このミラーに回
転力を与える駆動手段と、前記ミラーを回転自在に支持
する弾性支持体と、この弾性支持体を固定するフレーム
とを具備したミラー駆動装置において、前記弾性支持体
は、前記ミラーを保持する取付け部分と、前記フレーム
に取り付ける部分と、この両部分を連結する捩じれ変形
部とを有してなり、さらに、この弾性支持体は、前記捩
じれ変形部に加わるその長手軸方向の応力を吸収してそ
の捩じれ変形部のたわみを防止する弾性変形部を形成し
た。
に本発明は、反射面を有するミラーと、このミラーに回
転力を与える駆動手段と、前記ミラーを回転自在に支持
する弾性支持体と、この弾性支持体を固定するフレーム
とを具備したミラー駆動装置において、前記弾性支持体
は、前記ミラーを保持する取付け部分と、前記フレーム
に取り付ける部分と、この両部分を連結する捩じれ変形
部とを有してなり、さらに、この弾性支持体は、前記捩
じれ変形部に加わるその長手軸方向の応力を吸収してそ
の捩じれ変形部のたわみを防止する弾性変形部を形成し
た。
【0013】また、前記弾性変形部は、前記捩じれ変形
部の一端を連結する前記フレームに取り付け部分に、前
記捩じれ変形部の長手軸方向に直交する向きに沿ったス
リットを形成し、これにより前記捩じれ変形部に加わる
その長手軸方向の応力を弾性変形して吸収するアーム部
を形成し、このアーム部で前記捩じれ変形部の一端を支
えるものとした。
部の一端を連結する前記フレームに取り付け部分に、前
記捩じれ変形部の長手軸方向に直交する向きに沿ったス
リットを形成し、これにより前記捩じれ変形部に加わる
その長手軸方向の応力を弾性変形して吸収するアーム部
を形成し、このアーム部で前記捩じれ変形部の一端を支
えるものとした。
【0014】また、前記弾性変形部は、前記捩じれ変形
部に多数の孔を形成し、その捩じれ変形部の横断面を複
数の断面に分割したものである。さらに、前記弾性変形
部は、前記捩じれ変形部の長手軸方向に沿って長い複数
のスリットによって前記捩じれ変形部の横断面を複数の
断面に分割したものである。
部に多数の孔を形成し、その捩じれ変形部の横断面を複
数の断面に分割したものである。さらに、前記弾性変形
部は、前記捩じれ変形部の長手軸方向に沿って長い複数
のスリットによって前記捩じれ変形部の横断面を複数の
断面に分割したものである。
【0015】
【作用】前記前記弾性支持体は、温度変化等によって捩
じれ変形部に応力が加わるような場合でも、その応力は
前記弾性変形部で吸収され、捩じれ変形部がたわむこと
がない。その結果、ミラーの反射面の傾きは発生しな
い。
じれ変形部に応力が加わるような場合でも、その応力は
前記弾性変形部で吸収され、捩じれ変形部がたわむこと
がない。その結果、ミラーの反射面の傾きは発生しな
い。
【0016】
【実施例】本発明の第1の実施例を図1〜図6にもとづ
いて説明する。図1はミラー駆動装置を示し、図2およ
び図3はそのミラー駆動装置を使用した光ディスク装置
を示すものである。
いて説明する。図1はミラー駆動装置を示し、図2およ
び図3はそのミラー駆動装置を使用した光ディスク装置
を示すものである。
【0017】図2および図3中、20は光ディスク装置
のベ−スであり、このベ−ス20には図3で示すよう
に、半導体レ−ザ21が取り付けられている。前記半導
体レ−ザ21から出射されるビ−ムは、コリメ−タレン
ズ22、プリズム23、ミラー11、立上げミラー2
4、対物レンズ25からなる光学系を介してディスク2
6に照射されるようになっている。
のベ−スであり、このベ−ス20には図3で示すよう
に、半導体レ−ザ21が取り付けられている。前記半導
体レ−ザ21から出射されるビ−ムは、コリメ−タレン
ズ22、プリズム23、ミラー11、立上げミラー2
4、対物レンズ25からなる光学系を介してディスク2
6に照射されるようになっている。
【0018】そして、前記ディスク26から反射される
反射光は、上述した経路とは逆の経路で導かれ、プリズ
ム23からビ−ムスプリッタ27を介して2種類の光検
出器28,29に対してそれぞれ入射する。光検出器2
8,29からの各信号から図示しない処理回路を通じて
再生信号、フォ−カシング信号、トラッキング信号が得
られる。
反射光は、上述した経路とは逆の経路で導かれ、プリズ
ム23からビ−ムスプリッタ27を介して2種類の光検
出器28,29に対してそれぞれ入射する。光検出器2
8,29からの各信号から図示しない処理回路を通じて
再生信号、フォ−カシング信号、トラッキング信号が得
られる。
【0019】前記立上げミラー24と対物レンズ25
は、フォ−カシング制御系、およびトラッキング制御系
によって、ディスク26の半径方向に沿って移動し、デ
ィスク26との相対位置が制御されながら、再生、記
録、消去の動作を行う。
は、フォ−カシング制御系、およびトラッキング制御系
によって、ディスク26の半径方向に沿って移動し、デ
ィスク26との相対位置が制御されながら、再生、記
録、消去の動作を行う。
【0020】また、前記ディスク26のトラック溝のト
ラッキング方向の微小ズレは、前記ミラー11の微小回
転によって低減し、正確にビ−ムスポットがトラック上
にならうように操作されている。
ラッキング方向の微小ズレは、前記ミラー11の微小回
転によって低減し、正確にビ−ムスポットがトラック上
にならうように操作されている。
【0021】前記ミラー11は図1および図4で示すよ
うなミラー駆動装置10により駆動される。このミラー
駆動装置10はミラー11を含む回転可動部Aと、この
回転可動部Aを支持する固定部Bとによって構成されて
いる。
うなミラー駆動装置10により駆動される。このミラー
駆動装置10はミラー11を含む回転可動部Aと、この
回転可動部Aを支持する固定部Bとによって構成されて
いる。
【0022】前記回転可動部Aは、反射面11aを形成
した直方体形状のミラー11と、このミラー11を弾性
的に支持する支持体としての弾性ミラー支持板13と、
前記ミラー11を回転駆動するために回転力を発生させ
る駆動コイル14と、この駆動コイル14を組み込み保
持して駆動コイル14の駆動力を前記ミラー11に伝達
するためのボビン15とからなる。
した直方体形状のミラー11と、このミラー11を弾性
的に支持する支持体としての弾性ミラー支持板13と、
前記ミラー11を回転駆動するために回転力を発生させ
る駆動コイル14と、この駆動コイル14を組み込み保
持して駆動コイル14の駆動力を前記ミラー11に伝達
するためのボビン15とからなる。
【0023】一方、前記固定部Bは前記弾性ミラー支持
板13の後述する外枠13aを固定する固定部としての
フレ−ム部16と、前記駆動コイル14に通電するため
のフレシキブルリード板17と、前記駆動コイル14に
回転力を発生させるための永久磁石18と、この永久磁
石18を前記フレ−ム部17に固定するためのホルダ1
9とからなる。この固定部Bはそのフレ−ム部16ある
いは磁石固定ホルダ19を介して前記装置のベ−ス20
に固定的に取付けられる。
板13の後述する外枠13aを固定する固定部としての
フレ−ム部16と、前記駆動コイル14に通電するため
のフレシキブルリード板17と、前記駆動コイル14に
回転力を発生させるための永久磁石18と、この永久磁
石18を前記フレ−ム部17に固定するためのホルダ1
9とからなる。この固定部Bはそのフレ−ム部16ある
いは磁石固定ホルダ19を介して前記装置のベ−ス20
に固定的に取付けられる。
【0024】前記弾性ミラー支持板13は、図5で示す
ように構成されている。すなわち、長方四辺形に形成さ
れた環状の外枠部13aと、この外枠部13aの内部で
長手方向両端部からそれぞれ延出する一対の捩じり変形
部13b,13bを介して両端支持される長方形板状の
ミラー取付部13cとからなる。ミラー取付部13cに
は長円形の孔13dが形成されている。この孔13dに
は前記ボビン15の頂面に形成した突部15aを嵌め込
み、その突部15aを前記ミラー11に連結して例えば
接着によって固定するようになっている。つまり、ミラ
ー取付部13cには、ミラー11、ボビン15および駆
動コイル14が一体的に取付け固定される。
ように構成されている。すなわち、長方四辺形に形成さ
れた環状の外枠部13aと、この外枠部13aの内部で
長手方向両端部からそれぞれ延出する一対の捩じり変形
部13b,13bを介して両端支持される長方形板状の
ミラー取付部13cとからなる。ミラー取付部13cに
は長円形の孔13dが形成されている。この孔13dに
は前記ボビン15の頂面に形成した突部15aを嵌め込
み、その突部15aを前記ミラー11に連結して例えば
接着によって固定するようになっている。つまり、ミラ
ー取付部13cには、ミラー11、ボビン15および駆
動コイル14が一体的に取付け固定される。
【0025】前記弾性ミラー支持板13は、その外枠部
13a、捩じれ変形部13b,13bおよびミラー取付
部13cが同一の材料により一体構成される。また、前
記弾性ミラー支持板13の捩じれ変形部13b,13b
はその断面形状が長方形状であり、その長手辺方向をミ
ラー11の反射面11aに対して直交させる。
13a、捩じれ変形部13b,13bおよびミラー取付
部13cが同一の材料により一体構成される。また、前
記弾性ミラー支持板13の捩じれ変形部13b,13b
はその断面形状が長方形状であり、その長手辺方向をミ
ラー11の反射面11aに対して直交させる。
【0026】さらに、弾性ミラー支持板13の長手方向
側端部、つまり、捩じれ変形部13b,13bを延出す
る端縁部には、図5で示すように、その内端縁に沿って
近接するスリット13e,13eが形成され、残った部
分で両端支持形の弾性可能なアーム13f,13fを形
成している。スリット13e,13eは捩じれ変形部1
3b,13bに対して直交し、捩じれ変形部13b,1
3bはアーム13f,13fの中央位置のところで連結
している。
側端部、つまり、捩じれ変形部13b,13bを延出す
る端縁部には、図5で示すように、その内端縁に沿って
近接するスリット13e,13eが形成され、残った部
分で両端支持形の弾性可能なアーム13f,13fを形
成している。スリット13e,13eは捩じれ変形部1
3b,13bに対して直交し、捩じれ変形部13b,1
3bはアーム13f,13fの中央位置のところで連結
している。
【0027】また、図5で示すように、外枠部13aの
対角線で向き合う2か所の隅部において、前記スリット
13e,13eを避けてフレ−ム16に締結するに使用
する孔、あるいはフレ−ム16にスポット溶接される部
分13g,13gが形成されている。
対角線で向き合う2か所の隅部において、前記スリット
13e,13eを避けてフレ−ム16に締結するに使用
する孔、あるいはフレ−ム16にスポット溶接される部
分13g,13gが形成されている。
【0028】しかして、前記弾性ミラー支持板13の構
成において、温度変化を受けると、膨縮変形するが、前
記弾性ミラー支持板13は、その外枠部13a、捩じれ
変形部13b,13bおよびミラー取付部13cを含め
た全体が同一材料により一体成形してあるため、捩じれ
変形部13b,13bからミラー取付部13cにわたる
部分と、これに対応する外枠13aの範囲の部分とが、
同じ量で伸縮する。このため、その伸縮量がキャンセル
され、弾性ミラー支持板13、特に捩じれ変形部13
b,13bに発生する軸力Fの発生を低減できる。この
結果、ミラー11の反射面11aが傾くことを抑えるこ
とができる。
成において、温度変化を受けると、膨縮変形するが、前
記弾性ミラー支持板13は、その外枠部13a、捩じれ
変形部13b,13bおよびミラー取付部13cを含め
た全体が同一材料により一体成形してあるため、捩じれ
変形部13b,13bからミラー取付部13cにわたる
部分と、これに対応する外枠13aの範囲の部分とが、
同じ量で伸縮する。このため、その伸縮量がキャンセル
され、弾性ミラー支持板13、特に捩じれ変形部13
b,13bに発生する軸力Fの発生を低減できる。この
結果、ミラー11の反射面11aが傾くことを抑えるこ
とができる。
【0029】また、温度変化や取付け組立て時におい
て、弾性ミラー支持板13の捩じり変形部13b,13
bに軸力Fが発生すると、その捩じり変形部13b,1
3bが変形するが、その断面形状が前述した如く、長方
形状で、その長手方向をミラー11の反射面11aに対
して直交させるため、捩じり変形部13b,13bはミ
ラー11の反射面11aに沿う方向に変形し、ミラー1
1をその反射面11aに沿う方向に移動させる。したが
って、ミラー11の反射面11aが傾むくことが極力防
止できる。
て、弾性ミラー支持板13の捩じり変形部13b,13
bに軸力Fが発生すると、その捩じり変形部13b,1
3bが変形するが、その断面形状が前述した如く、長方
形状で、その長手方向をミラー11の反射面11aに対
して直交させるため、捩じり変形部13b,13bはミ
ラー11の反射面11aに沿う方向に変形し、ミラー1
1をその反射面11aに沿う方向に移動させる。したが
って、ミラー11の反射面11aが傾むくことが極力防
止できる。
【0030】なお、前記弾性ミラー支持板13のミラー
取付部13cにミラー11を直接に接着するため、従来
のホルダに起因するミラー11の傾き要因を排除でき、
ミラー11の接合時に傾きを生じることがない。また、
前記弾性ミラー支持板13の外枠部13aを強度のある
形状に作成することで、弾性ミラー支持板13の製造段
階、組み立て段階において変形を発生し易い捩じれ変形
部13b,13bを極力保護できる。
取付部13cにミラー11を直接に接着するため、従来
のホルダに起因するミラー11の傾き要因を排除でき、
ミラー11の接合時に傾きを生じることがない。また、
前記弾性ミラー支持板13の外枠部13aを強度のある
形状に作成することで、弾性ミラー支持板13の製造段
階、組み立て段階において変形を発生し易い捩じれ変形
部13b,13bを極力保護できる。
【0031】さらに、この弾性ミラー支持板13の構成
においてはスリット13e,13eを形成することによ
り形成したアーム13f,13fを介して捩じれ変形部
13b,13bを支持するから、温度変化や取付け組立
て時において、弾性ミラー支持板13bに応力が加わっ
た場合、次のような作用が得られる。すなわち、弾性ミ
ラー支持板13bに応力が加わって捩じれ変形部13
b,13bに軸力Fが加わろうとしても、図6で示すよ
うに、その軸力Fはアーム13f,13fの変形にとな
って逃げ、捩じれ変形部13b,13bに軸力Fが加わ
らない。このようにスリット13e,13eの外周部が
たわみ変形を発生し、捩じれ変形部13b,13bにか
かる軸力Fが低下する結果、その捩じれ変形部13b,
13bの座屈たわみは発生しない。この結果、ミラー1
1の反射面11aが傾くことを抑えることができる。つ
まり、捩じり変形部13b,13bのミラー回転方向の
剛性は一定であるが、たわみ方向の剛性を上げることの
できる。
においてはスリット13e,13eを形成することによ
り形成したアーム13f,13fを介して捩じれ変形部
13b,13bを支持するから、温度変化や取付け組立
て時において、弾性ミラー支持板13bに応力が加わっ
た場合、次のような作用が得られる。すなわち、弾性ミ
ラー支持板13bに応力が加わって捩じれ変形部13
b,13bに軸力Fが加わろうとしても、図6で示すよ
うに、その軸力Fはアーム13f,13fの変形にとな
って逃げ、捩じれ変形部13b,13bに軸力Fが加わ
らない。このようにスリット13e,13eの外周部が
たわみ変形を発生し、捩じれ変形部13b,13bにか
かる軸力Fが低下する結果、その捩じれ変形部13b,
13bの座屈たわみは発生しない。この結果、ミラー1
1の反射面11aが傾くことを抑えることができる。つ
まり、捩じり変形部13b,13bのミラー回転方向の
剛性は一定であるが、たわみ方向の剛性を上げることの
できる。
【0032】図7は本発明の第2の実施例に係る弾性ミ
ラー支持板13を示すものである。この実施例の弾性ミ
ラー支持板13は、捩じれ変形部13b,13bの断面
を複数に分割した構成としたものである。捩じれ変形部
13b,13bの横断面形状はミラー11の反射面11
aに対して平行な向きに長い長方形であり、その断面の
長手方向を分断する複数のスリット31を形成する。ス
リット31は捩じれ変形部13b,13bの長手方向に
沿って長く平行に形成される。
ラー支持板13を示すものである。この実施例の弾性ミ
ラー支持板13は、捩じれ変形部13b,13bの断面
を複数に分割した構成としたものである。捩じれ変形部
13b,13bの横断面形状はミラー11の反射面11
aに対して平行な向きに長い長方形であり、その断面の
長手方向を分断する複数のスリット31を形成する。ス
リット31は捩じれ変形部13b,13bの長手方向に
沿って長く平行に形成される。
【0033】このように捩じれ変形部13b,13bが
その長手方向に沿う複数のスリット31を持った形状と
することで、捩じれ変形部13b,13bについての、
ミラー11の反射面11aに垂直な方向のたわみ剛性を
相対的に上げることができる。図9で示す断面形状を例
にとってその剛性を概算してみると、断面積が両者につ
いて同じなので、たわみ方向の剛性は同じとなるのに対
して、ねじれ方向ばね性は60%に低下する。分割数を
増やすと、捩じれ変形部13b,13bのばね剛性は更
に小さくなる。以上の結果によると、板ばね状の捩じれ
変形部13b,13bのねじり方向の形状を複数の長孔
からなる形状にすることで、相対的に、たわみ剛性を上
げることができ、そのたわみ方向の変形を低減すること
になる。
その長手方向に沿う複数のスリット31を持った形状と
することで、捩じれ変形部13b,13bについての、
ミラー11の反射面11aに垂直な方向のたわみ剛性を
相対的に上げることができる。図9で示す断面形状を例
にとってその剛性を概算してみると、断面積が両者につ
いて同じなので、たわみ方向の剛性は同じとなるのに対
して、ねじれ方向ばね性は60%に低下する。分割数を
増やすと、捩じれ変形部13b,13bのばね剛性は更
に小さくなる。以上の結果によると、板ばね状の捩じれ
変形部13b,13bのねじり方向の形状を複数の長孔
からなる形状にすることで、相対的に、たわみ剛性を上
げることができ、そのたわみ方向の変形を低減すること
になる。
【0034】また、この方式のものを使用したミラー駆
動装置において、捩じり変形部13b,13bに熱応力
等による軸力が加わった場合、ねじり断面の各部分がミ
ラー11の反射面11aに垂直な方向に長い長方形断面
を持つため、図8に点線で示すような弾性変形が発生し
易く、また、ミラー11の反射面11aの傾きを伴う座
屈たわみ変形を発生させることがない。
動装置において、捩じり変形部13b,13bに熱応力
等による軸力が加わった場合、ねじり断面の各部分がミ
ラー11の反射面11aに垂直な方向に長い長方形断面
を持つため、図8に点線で示すような弾性変形が発生し
易く、また、ミラー11の反射面11aの傾きを伴う座
屈たわみ変形を発生させることがない。
【0035】このように捩じり変形部13b,13bの
断面形状を複数に分割し、その断面形状の縦横比が縦
(ミラーに垂直方向)に長い形状にすると、軸力Fに伴
う変形をミラー反射面内の変形として吸収でき、ミラー
11の傾きを低減することが可能となる。さらに、断面
形状を複数に分割することで、たわみ方向(ミラー反射
面に垂直な方向)のバネ定数はほぼ一定であるにも拘ら
ず、ねじりバネ定数は低下する。このことは、ねじり方
向のバネ定数を変えること無く、たわみ方向の剛性を大
きくできることを示すものである。この結果、たわみ方
向の剛性が上がることで、製造段階での変形を低減する
ことも可能となる。
断面形状を複数に分割し、その断面形状の縦横比が縦
(ミラーに垂直方向)に長い形状にすると、軸力Fに伴
う変形をミラー反射面内の変形として吸収でき、ミラー
11の傾きを低減することが可能となる。さらに、断面
形状を複数に分割することで、たわみ方向(ミラー反射
面に垂直な方向)のバネ定数はほぼ一定であるにも拘ら
ず、ねじりバネ定数は低下する。このことは、ねじり方
向のバネ定数を変えること無く、たわみ方向の剛性を大
きくできることを示すものである。この結果、たわみ方
向の剛性が上がることで、製造段階での変形を低減する
ことも可能となる。
【0036】このことは図10で示した千鳥状に孔32
を明けた場合についても、そのねじり断面が複数の断面
に分割されるため、図7のものと同様の効果が期待でき
る。なお、本発明は前述した実施例のものに限られるも
のではなく、例えば回転駆動力を発生するコイル14が
ミラー11と一体に回転せず、ミラー11と一体に永久
磁石18が接合され、コイル11がフレ−ム部16に配
置される構成のミラー微小回転装置であってもよい。
を明けた場合についても、そのねじり断面が複数の断面
に分割されるため、図7のものと同様の効果が期待でき
る。なお、本発明は前述した実施例のものに限られるも
のではなく、例えば回転駆動力を発生するコイル14が
ミラー11と一体に回転せず、ミラー11と一体に永久
磁石18が接合され、コイル11がフレ−ム部16に配
置される構成のミラー微小回転装置であってもよい。
【0037】
【発明の効果】本発明によれば、温度変化等による応力
を弾性支持体が受けても、その応力が弾性支持体の内部
での変形として吸収され、ミラー反射面の傾きを防ぐこ
とができる。また、弾性支持体のたわみ方向の剛性が向
上することで、製造時の弾性支持体の変形を低減するこ
とができ、例えば光ディスク装置の性能の向上に寄与す
る。
を弾性支持体が受けても、その応力が弾性支持体の内部
での変形として吸収され、ミラー反射面の傾きを防ぐこ
とができる。また、弾性支持体のたわみ方向の剛性が向
上することで、製造時の弾性支持体の変形を低減するこ
とができ、例えば光ディスク装置の性能の向上に寄与す
る。
【図1】本発明の一実施例であるミラーの駆動装置を示
す斜視図。
す斜視図。
【図2】図1のミラー駆動装置を備える光ディスク装置
を示す側面図。
を示す側面図。
【図3】図2の光ディスク装置を示す横断断面図。
【図4】図1のミラー駆動装置を示す分解斜視図。
【図5】図1のミラー駆動装置の弾性支持板を示す平面
図。
図。
【図6】図1のミラー駆動装置のミラーの反射面と弾性
支持板の捩じれ変形部の断面形状方向との関係を示す説
明図。
支持板の捩じれ変形部の断面形状方向との関係を示す説
明図。
【図7】他のミラー駆動装置の弾性支持板を示す平面
図。
図。
【図8】図7のミラー駆動装置の弾性支持板の変形時の
平面図。
平面図。
【図9】弾性支持板における捩じれ変形部の捩じればね
定数の関係を示す説明図。
定数の関係を示す説明図。
【図10】さらに他の弾性支持板を示す平面図。
【図11】従来例のミラー駆動装置における弾性支持部
材の斜視図。
材の斜視図。
【図12】図11のミラー駆動装置における弾性支持部
材の捩じれ変形部の断面形状方向との関係を示す説明
図。
材の捩じれ変形部の断面形状方向との関係を示す説明
図。
【図13】従来例のミラー駆動装置を示す斜視図。
11…ミラー、13…弾性ミラー支持板(支持手段)、
13a…外枠部、13b,13b…捩じれ変形部、13
c…取付部、13f…アーム、13e…スリット、14
…駆動コイル(駆動手段)、17…フレ−ム部(固定
部)。
13a…外枠部、13b,13b…捩じれ変形部、13
c…取付部、13f…アーム、13e…スリット、14
…駆動コイル(駆動手段)、17…フレ−ム部(固定
部)。
Claims (4)
- 【請求項1】反射面を有するミラーと、このミラーに回
転力を与える駆動手段と、前記ミラーを回転自在に支持
する弾性支持体と、この弾性支持体を固定するフレーム
とを具備したミラー駆動装置において、 前記弾性支持体は、前記ミラーを保持する取付け部分
と、前記フレームに取り付ける部分と、この両部分を連
結する捩じれ変形部とを有してなり、さらに、この弾性
支持体には、前記捩じれ変形部に加わるその長手軸方向
の応力を吸収してその捩じれ変形部のたわみを防止する
弾性変形部を形成したことを特徴とするミラー駆動装
置。 - 【請求項2】前記弾性変形部は、前記捩じれ変形部の一
端を連結する前記フレームに取り付け部分に、前記捩じ
れ変形部の長手軸方向に直交する向きに沿ったスリット
を形成し、これにより前記捩じれ変形部に加わるその長
手軸方向の応力を弾性変形して吸収するアーム部を形成
し、このアーム部で前記捩じれ変形部の一端を支えるこ
とを特徴とする請求項1に記載のミラー駆動装置。 - 【請求項3】前記弾性変形部は、前記捩じれ変形部に多
数の孔を形成し、その捩じれ変形部の横断面を複数の断
面に分割したことを特徴とする請求項1または請求項2
に記載のミラー駆動装置。 - 【請求項4】前記弾性変形部は、前記捩じれ変形部の長
手軸方向に沿って長い複数のスリットによって前記捩じ
れ変形部の横断面を複数の断面に分割したことを特徴と
する請求項1または請求項2に記載のミラー駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23506993A JPH0793783A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | ミラー駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23506993A JPH0793783A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | ミラー駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0793783A true JPH0793783A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=16980612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23506993A Pending JPH0793783A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | ミラー駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793783A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002506A (en) * | 1997-06-11 | 1999-12-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical deflector and beam scanner using the same |
| WO2009050166A3 (de) * | 2007-10-16 | 2009-10-15 | Austriamicrosystems Ag | Halbleiterkörper und verfahren zum bearbeiten eines halbleiterkörpers |
| JP2011027973A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Fujitsu Ltd | マイクロ素子 |
| CN111983774A (zh) * | 2019-05-22 | 2020-11-24 | 新思考电机有限公司 | 光学元件驱动装置、照相机装置以及电子设备 |
| US11256061B2 (en) | 2019-05-22 | 2022-02-22 | New Shicoh Motor Co., Ltd | Optical element driving device, camera device and electronic apparatus |
| US12345950B2 (en) | 2019-05-22 | 2025-07-01 | New Shicoh Motor Co., Ltd | Optical element driving device, camera device and electronic apparatus |
-
1993
- 1993-09-21 JP JP23506993A patent/JPH0793783A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6002506A (en) * | 1997-06-11 | 1999-12-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical deflector and beam scanner using the same |
| WO2009050166A3 (de) * | 2007-10-16 | 2009-10-15 | Austriamicrosystems Ag | Halbleiterkörper und verfahren zum bearbeiten eines halbleiterkörpers |
| JP2011027973A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Fujitsu Ltd | マイクロ素子 |
| CN111983774A (zh) * | 2019-05-22 | 2020-11-24 | 新思考电机有限公司 | 光学元件驱动装置、照相机装置以及电子设备 |
| JP2020190651A (ja) * | 2019-05-22 | 2020-11-26 | 新シコー科技株式会社 | 光学素子駆動装置、カメラ装置、及び電子機器 |
| US11256061B2 (en) | 2019-05-22 | 2022-02-22 | New Shicoh Motor Co., Ltd | Optical element driving device, camera device and electronic apparatus |
| CN111983774B (zh) * | 2019-05-22 | 2024-10-18 | 新思考电机有限公司 | 光学元件驱动装置、照相机装置以及电子设备 |
| US12345950B2 (en) | 2019-05-22 | 2025-07-01 | New Shicoh Motor Co., Ltd | Optical element driving device, camera device and electronic apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0712121A2 (en) | Galvanomirror and optical disk drive using the same | |
| JP2684738B2 (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JP2002074708A (ja) | 可動部材の傾斜補正方法、光ディスク用対物レンズの傾斜補正方法および光ディスク用対物レンズ駆動装置 | |
| JPH0793783A (ja) | ミラー駆動装置 | |
| JP3489151B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JP2004095133A (ja) | 対物レンズ駆動装置および光ピックアップ装置ならびに光ディスク装置 | |
| JPH10275354A (ja) | 対物レンズ支持装置および対物レンズ駆動装置 | |
| JPH0785480A (ja) | ミラ−駆動装置 | |
| JPH0773486A (ja) | 光学式情報記録再生装置 | |
| JP3670784B2 (ja) | 光路偏向装置 | |
| JP3998862B2 (ja) | 光ピックアップのアクチュエータ | |
| JP4257341B2 (ja) | 光路偏向装置 | |
| JP3494165B2 (ja) | 光ディスク装置の対物レンズ駆動機構 | |
| JPH07113974A (ja) | 光走査装置 | |
| JP2618391B2 (ja) | 光ピツクアツプ | |
| JP2563412Y2 (ja) | ガルバノミラー | |
| JPH0226297B2 (ja) | ||
| JP3099426B2 (ja) | ガルバノミラー | |
| JP2001229558A (ja) | ピックアップ用アクチュエータ | |
| JP3206933B2 (ja) | 光学ヘッド | |
| JPH0223849B2 (ja) | ||
| JPS6252724A (ja) | 光学式ピツクアツプの傾き調整装置 | |
| JP3836926B2 (ja) | 光路偏向装置 | |
| KR0126423B1 (ko) | 코마수차보정형 유한광학계를 갖춘 광픽업장치 | |
| JP3548694B2 (ja) | 光ピックアップ装置およびその製造方法 |