JPH0793930A - 薄膜磁気ヘッドスライダ - Google Patents
薄膜磁気ヘッドスライダInfo
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- JPH0793930A JPH0793930A JP5239659A JP23965993A JPH0793930A JP H0793930 A JPH0793930 A JP H0793930A JP 5239659 A JP5239659 A JP 5239659A JP 23965993 A JP23965993 A JP 23965993A JP H0793930 A JPH0793930 A JP H0793930A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低浮上量域で安定に動作する薄膜磁気ヘッド
スライダを提供することを目的とする。 【構成】 磁気ディスク表面に対向する浮上面に、浮上
面の空気流出端から空気流入側に向かって延びる少なく
とも一本の空気ベアリング面（ＡＢＳ）２５，２６と、
空気ベアリング面２５，２６の空気流出端側面に、積層
して形成されたコイル３１を含む記録再生素子部３０と
を備えた薄膜磁気ヘッドスライダ２４において、空気ベ
アリング面２５，２６の側縁に空気ベアリング面２５，
２６に対して２〜４５°の側テーパ部３２〜３５を形成
した。 【効果】この構成によりコイル幅Ｗ１よりも狭いＡＢＳ
幅を実現し、低浮上量域で安定に動作する薄膜磁気ヘッ
ドスライダを得ることができる。
スライダを提供することを目的とする。 【構成】 磁気ディスク表面に対向する浮上面に、浮上
面の空気流出端から空気流入側に向かって延びる少なく
とも一本の空気ベアリング面（ＡＢＳ）２５，２６と、
空気ベアリング面２５，２６の空気流出端側面に、積層
して形成されたコイル３１を含む記録再生素子部３０と
を備えた薄膜磁気ヘッドスライダ２４において、空気ベ
アリング面２５，２６の側縁に空気ベアリング面２５，
２６に対して２〜４５°の側テーパ部３２〜３５を形成
した。 【効果】この構成によりコイル幅Ｗ１よりも狭いＡＢＳ
幅を実現し、低浮上量域で安定に動作する薄膜磁気ヘッ
ドスライダを得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスク装置に
用いられる薄膜磁気ヘッドスライダに関するものであ
る。
用いられる薄膜磁気ヘッドスライダに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータの外部記憶装置は、
その高速性や大容量性からハードディスク装置の普及が
広まりつつある。コンピュータの高性能化に伴いハード
ディスク装置の小型化、高容量化が要求されており、特
に小型化に伴い、磁気ヘッドと記録媒体間の相対速度が
低下してきている。従って磁気ディスクからデータを読
み出す際に、信号出力が記録媒体との相対速度に依存し
ない薄膜磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下薄膜ＭＲ型磁
気ヘッドと称す）の必要性が高くなっている。この薄膜
ＭＲ型磁気ヘッドは従来の誘導型の薄膜記録再生素子を
記録専用素子とし、薄膜磁気抵抗素子（以下薄膜ＭＲ素
子と称す）を再生専用素子として使用した、いわゆる複
合型薄膜磁気ヘッドである。薄膜ＭＲ型磁気ヘッドで
は、薄膜ＭＲ素子を再生専用素子として使用しているた
め、読み取り出力が記録媒体との相対速度に依存せず、
原理的には記録媒体が低速でもデータを読み取ることが
できる。
その高速性や大容量性からハードディスク装置の普及が
広まりつつある。コンピュータの高性能化に伴いハード
ディスク装置の小型化、高容量化が要求されており、特
に小型化に伴い、磁気ヘッドと記録媒体間の相対速度が
低下してきている。従って磁気ディスクからデータを読
み出す際に、信号出力が記録媒体との相対速度に依存し
ない薄膜磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下薄膜ＭＲ型磁
気ヘッドと称す）の必要性が高くなっている。この薄膜
ＭＲ型磁気ヘッドは従来の誘導型の薄膜記録再生素子を
記録専用素子とし、薄膜磁気抵抗素子（以下薄膜ＭＲ素
子と称す）を再生専用素子として使用した、いわゆる複
合型薄膜磁気ヘッドである。薄膜ＭＲ型磁気ヘッドで
は、薄膜ＭＲ素子を再生専用素子として使用しているた
め、読み取り出力が記録媒体との相対速度に依存せず、
原理的には記録媒体が低速でもデータを読み取ることが
できる。
【０００３】ところで、上述した薄膜ＭＲ型磁気ヘッド
としては、薄膜ＭＲ素子の位置により３種類のタイプが
提案されている。その１つは、記録専用素子の磁気回路
の一部に薄膜ＭＲ素子を形成したヨーク型、その２は記
録専用素子のエアーギャップの間に薄膜ＭＲ素子を形成
したインギャップ型、さらにその３は薄膜ＭＲ素子を形
成後、その上に記録専用素子を形成したピギーバック型
がある。近年、ハードディスク用薄膜ＭＲ型磁気ヘッド
の主流になっているのはピギーバック型である。
としては、薄膜ＭＲ素子の位置により３種類のタイプが
提案されている。その１つは、記録専用素子の磁気回路
の一部に薄膜ＭＲ素子を形成したヨーク型、その２は記
録専用素子のエアーギャップの間に薄膜ＭＲ素子を形成
したインギャップ型、さらにその３は薄膜ＭＲ素子を形
成後、その上に記録専用素子を形成したピギーバック型
がある。近年、ハードディスク用薄膜ＭＲ型磁気ヘッド
の主流になっているのはピギーバック型である。
【０００４】したがって、薄膜ＭＲ型磁気ヘッドのう
ち、特にピギーバック型の薄膜ＭＲ型磁気ヘッドについ
て以下に説明する。図４（ａ）は従来の薄膜ＭＲ型磁気
ヘッドの記録再生素子部の拡大断面図であり、図４
（ｂ）は従来の薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの記録再生素子部
の要部斜視図である。これはピギーバック型である。１
は薄膜磁気誘導型ヘッド等に用いられているＡｌ2 Ｏ3
とＴｉＣより形成されたアルチック基板、２はアルミナ
等の絶縁材料からなりアルチック基板１上に積層された
下地絶縁層、３は下地絶縁層２上に積層された下部シー
ルド層、４は下部シールド層３上に積層された再生専用
ヘッドＲの下部シールドギャップ層、５は下部シールド
ギャップ層４上に積層された軟磁性バイアス補助層、６
はＴａ等からなり軟磁性バイアス補助層５上に積層され
た非磁性層、７はパーマロイ等からなり非磁性層６上に
積層される磁気抵抗効果層（以下ＭＲ層と略す）、８は
ＭＲ層７上に積層された一対の引き出し電極層、９はア
ルミナ膜よりなりＭＲ層７及び引き出し電極層８上に積
層される上部シールドギャップ層、１０は上部シールド
ギャップ層９上に積層された記録専用ヘッドＷの下部コ
アとなる下部磁性層、１１は下部磁性層１０上に磁気ギ
ャップ１２を介して形成されて記録専用ヘッドＷの上部
コアとなる上部磁性層である。図４（ｂ）において、１
３はコイルである。なお、磁気誘導効果型薄膜ヘッド
は、図４（ａ）に示した薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの記録専
用ヘッドＷのみを用いて記録再生を行う。
ち、特にピギーバック型の薄膜ＭＲ型磁気ヘッドについ
て以下に説明する。図４（ａ）は従来の薄膜ＭＲ型磁気
ヘッドの記録再生素子部の拡大断面図であり、図４
（ｂ）は従来の薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの記録再生素子部
の要部斜視図である。これはピギーバック型である。１
は薄膜磁気誘導型ヘッド等に用いられているＡｌ2 Ｏ3
とＴｉＣより形成されたアルチック基板、２はアルミナ
等の絶縁材料からなりアルチック基板１上に積層された
下地絶縁層、３は下地絶縁層２上に積層された下部シー
ルド層、４は下部シールド層３上に積層された再生専用
ヘッドＲの下部シールドギャップ層、５は下部シールド
ギャップ層４上に積層された軟磁性バイアス補助層、６
はＴａ等からなり軟磁性バイアス補助層５上に積層され
た非磁性層、７はパーマロイ等からなり非磁性層６上に
積層される磁気抵抗効果層（以下ＭＲ層と略す）、８は
ＭＲ層７上に積層された一対の引き出し電極層、９はア
ルミナ膜よりなりＭＲ層７及び引き出し電極層８上に積
層される上部シールドギャップ層、１０は上部シールド
ギャップ層９上に積層された記録専用ヘッドＷの下部コ
アとなる下部磁性層、１１は下部磁性層１０上に磁気ギ
ャップ１２を介して形成されて記録専用ヘッドＷの上部
コアとなる上部磁性層である。図４（ｂ）において、１
３はコイルである。なお、磁気誘導効果型薄膜ヘッド
は、図４（ａ）に示した薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの記録専
用ヘッドＷのみを用いて記録再生を行う。
【０００５】また、小型のハードディスク装置で高容量
を実現するため、記録再生素子と磁気ディスクとの間隙
（以下、浮上量と呼ぶ）をより低くする必要が生じてき
ている。しかしながら、浮上量を低くすると、磁気ディ
スクと薄膜磁気ヘッドスライダ（以下、スライダと称
す）とが接触しやすくなり、磁気ディスクの記録面を破
壊する可能性が高くなる。そのため、これらの浮上面を
有するスライダでは、浮上量を低く一定に維持すること
が望まれる。
を実現するため、記録再生素子と磁気ディスクとの間隙
（以下、浮上量と呼ぶ）をより低くする必要が生じてき
ている。しかしながら、浮上量を低くすると、磁気ディ
スクと薄膜磁気ヘッドスライダ（以下、スライダと称
す）とが接触しやすくなり、磁気ディスクの記録面を破
壊する可能性が高くなる。そのため、これらの浮上面を
有するスライダでは、浮上量を低く一定に維持すること
が望まれる。
【０００６】図５は従来の薄膜磁気ヘッドスライダの斜
視図である。これはテーパーフラットスライダと呼ばれ
るタイプであり、製造コストが低いことから、従来一般
的に用いられてきた。スライダ１４は、アルチック基板
１に形成された浮上面である２本の空気ベアリング面
（以下ＡＢＳと称す）１５，１６と、このＡＢＳ１５，
１６の間にある溝部１７と、ＡＢＳ１５，１６の前端部
にまたがって形成されたテーパ部１８，１９で構成され
ており、ＡＢＳ１５の空気流出端側面には記録再生素子
部２０およびコイル１３が配置されている。なお、溝部
１７のＡＢＳ１５，１６からの深さＤは、浮上面中央部
に余分な浮上力を発生させず、スライダ押圧荷重回りの
圧力モーメントを増加させるため、通常２０μｍ以上に
形成される。
視図である。これはテーパーフラットスライダと呼ばれ
るタイプであり、製造コストが低いことから、従来一般
的に用いられてきた。スライダ１４は、アルチック基板
１に形成された浮上面である２本の空気ベアリング面
（以下ＡＢＳと称す）１５，１６と、このＡＢＳ１５，
１６の間にある溝部１７と、ＡＢＳ１５，１６の前端部
にまたがって形成されたテーパ部１８，１９で構成され
ており、ＡＢＳ１５の空気流出端側面には記録再生素子
部２０およびコイル１３が配置されている。なお、溝部
１７のＡＢＳ１５，１６からの深さＤは、浮上面中央部
に余分な浮上力を発生させず、スライダ押圧荷重回りの
圧力モーメントを増加させるため、通常２０μｍ以上に
形成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】現在、ハードディスク
装置の小型化の要求から、回転形アクチュエータを有す
るハードディスク装置が主流である。図６は従来の回転
形アクチュエータを有するハードディスク装置の模式図
である。スライダ１４は、接着剤や合成樹脂などにより
サスペンション２１に固定され、さらにサスペンション
２１は駆動アーム２２にかしめ固定されている。スライ
ダ１４は、サスペンション２１によって、磁気ディスク
２３に対する押圧荷重が加えられている。
装置の小型化の要求から、回転形アクチュエータを有す
るハードディスク装置が主流である。図６は従来の回転
形アクチュエータを有するハードディスク装置の模式図
である。スライダ１４は、接着剤や合成樹脂などにより
サスペンション２１に固定され、さらにサスペンション
２１は駆動アーム２２にかしめ固定されている。スライ
ダ１４は、サスペンション２１によって、磁気ディスク
２３に対する押圧荷重が加えられている。
【０００８】低浮上量を実現する方法としては、（１）
スライダの小型化、（２）荷重を大きくする、（３）Ａ
ＢＳ幅を狭くすることが考えられる。しかし、（２）の
荷重を大きくする方法は、磁気ディスク２３を回転させ
るために必要なモータ駆動トルクを大きくし、ハードデ
ィスク装置の消費電力の増大を招くため望ましくない。
また、ディスク回転のスタート／ストップ時における磁
気ディスク２３とスライダ１４の磨耗をも促進し、ハー
ドディスク装置の信頼性を低下させる。一方、（１）の
スライダの小型化は磁気ディスク２３のうねりに対する
追従性を向上させ、（３）のＡＢＳ幅を狭くする方法は
空気膜剛性を向上させるため、通常（１）のスライダの
小型化と（３）のＡＢＳ幅を狭くする方法を組み合わせ
て低浮上量が実現される。
スライダの小型化、（２）荷重を大きくする、（３）Ａ
ＢＳ幅を狭くすることが考えられる。しかし、（２）の
荷重を大きくする方法は、磁気ディスク２３を回転させ
るために必要なモータ駆動トルクを大きくし、ハードデ
ィスク装置の消費電力の増大を招くため望ましくない。
また、ディスク回転のスタート／ストップ時における磁
気ディスク２３とスライダ１４の磨耗をも促進し、ハー
ドディスク装置の信頼性を低下させる。一方、（１）の
スライダの小型化は磁気ディスク２３のうねりに対する
追従性を向上させ、（３）のＡＢＳ幅を狭くする方法は
空気膜剛性を向上させるため、通常（１）のスライダの
小型化と（３）のＡＢＳ幅を狭くする方法を組み合わせ
て低浮上量が実現される。
【０００９】ところで、誘導効果型薄膜磁気ヘッドある
いは薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの場合、ＡＢＳ１５の空気流
出端側面の形成されるコイル１３は、インダクタンスを
小さくするため、磁路長が小さくなるＡＢＳ１５近くに
配置されることが望ましい。しかし、この場合のＡＢＳ
１５の最少幅Ｗ２は、コイル１３の占有する幅Ｗ１、Ａ
ＢＳ１５の加工精度、コイル１３の位置ズレ精度によっ
て決定され、通常Ｗ２＞Ｗ１である。そのため、ＡＢＳ
設計の自由度が小さくなるという問題点がある。例え
ば、適正なＡＢＳ幅がＷ２を下回った場合、押圧荷重を
大きくせざるをえず、磁気ディスク２３を回転させるた
めに必要なモータ駆動トルクが大きくなりハードディス
ク装置の消費電力が増大する。ディスク回転のスタート
／ストップ時における磁気ディスク２３とスライダ１４
の摩耗が促進されてハードディスク装置の信頼性が低下
するという問題点が生じる。
いは薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの場合、ＡＢＳ１５の空気流
出端側面の形成されるコイル１３は、インダクタンスを
小さくするため、磁路長が小さくなるＡＢＳ１５近くに
配置されることが望ましい。しかし、この場合のＡＢＳ
１５の最少幅Ｗ２は、コイル１３の占有する幅Ｗ１、Ａ
ＢＳ１５の加工精度、コイル１３の位置ズレ精度によっ
て決定され、通常Ｗ２＞Ｗ１である。そのため、ＡＢＳ
設計の自由度が小さくなるという問題点がある。例え
ば、適正なＡＢＳ幅がＷ２を下回った場合、押圧荷重を
大きくせざるをえず、磁気ディスク２３を回転させるた
めに必要なモータ駆動トルクが大きくなりハードディス
ク装置の消費電力が増大する。ディスク回転のスタート
／ストップ時における磁気ディスク２３とスライダ１４
の摩耗が促進されてハードディスク装置の信頼性が低下
するという問題点が生じる。
【００１０】そこで本発明は、コイル幅よりも狭いＡＢ
Ｓ幅を実現し、低浮上量域で安定動作できるスライダを
提供することを目的とする。
Ｓ幅を実現し、低浮上量域で安定動作できるスライダを
提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、磁
気ディスク表面に対向する浮上面に、浮上面の空気流出
端から空気流入側に向かって延びる少なくとも一本の空
気ベアリング面と、空気ベアリング面の空気流出端側面
に形成されたコイルを含む記録再生素子部とを備えた薄
膜磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング面の側
縁に２〜４５°の側テーパ部あるいは５〜１０μｍの段
差部を形成したものである。
気ディスク表面に対向する浮上面に、浮上面の空気流出
端から空気流入側に向かって延びる少なくとも一本の空
気ベアリング面と、空気ベアリング面の空気流出端側面
に形成されたコイルを含む記録再生素子部とを備えた薄
膜磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング面の側
縁に２〜４５°の側テーパ部あるいは５〜１０μｍの段
差部を形成したものである。
【００１２】
【作用】本発明は上記の構成により、コイル幅よりも狭
いＡＢＳ幅を形成し、低浮上量域で安定に動作する薄膜
磁気ヘッドスライダを得ることができ、ひいては小型、
高容量、高信頼性、低消費電力のハードディスク装置を
実現できる。
いＡＢＳ幅を形成し、低浮上量域で安定に動作する薄膜
磁気ヘッドスライダを得ることができ、ひいては小型、
高容量、高信頼性、低消費電力のハードディスク装置を
実現できる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
説明する。
【００１４】（実施例１）図１は本発明の第１の実施例
における薄膜磁気ヘッドスライダの斜視図である。図１
において、２４はスライダ、２５，２６はＡＢＳであ
る。スライダ２４の中央部の溝部２７は、浮上面中央部
に余分な浮上力を発生させず、スライダ押圧荷重回りの
圧力モーメントを増加させるため、通常２０μｍ以上に
形成される。ＡＢＳ２５，２６の空気流入側の前端部に
は各々テーパ部２８，２９が形成されており、ＡＢＳ２
５の空気流出端には記録再生素子部３０およびコイル３
１が形成されている。またＡＢＳ２５，２６の側縁部に
は、側テーパ部３２〜３５が形成されている。側テーパ
部３２〜３５は、楕円状に形成されたコイル３１に対し
信頼性上の問題が生じない寸法に設定される。
における薄膜磁気ヘッドスライダの斜視図である。図１
において、２４はスライダ、２５，２６はＡＢＳであ
る。スライダ２４の中央部の溝部２７は、浮上面中央部
に余分な浮上力を発生させず、スライダ押圧荷重回りの
圧力モーメントを増加させるため、通常２０μｍ以上に
形成される。ＡＢＳ２５，２６の空気流入側の前端部に
は各々テーパ部２８，２９が形成されており、ＡＢＳ２
５の空気流出端には記録再生素子部３０およびコイル３
１が形成されている。またＡＢＳ２５，２６の側縁部に
は、側テーパ部３２〜３５が形成されている。側テーパ
部３２〜３５は、楕円状に形成されたコイル３１に対し
信頼性上の問題が生じない寸法に設定される。
【００１５】図５の従来例との比較から明らかなよう
に、コイル形状が同一でコイル３１の占有する幅がＷ１
に等しい場合、本実施例でのＡＢＳ２５の最少幅Ｗ３
は、従来例でのＡＢＳ１５の最少幅Ｗ２よりも狭く、さ
らにコイル３１の占有する幅Ｗ１よりも狭くできる。そ
のため本実施例では、コイル３１の磁路長を長くするこ
となくＡＢＳ２５の幅を狭くでき、押圧荷重を増加させ
ることなく低浮上量を実現できる。このことは、（１）
空気膜剛性が向上して浮上量が安定する、（２）モータ
駆動トルクを小さく、ハードディスク装置の消費電力を
小さくできる、（３）ディスク回転のスタート／ストッ
プ時における磁気ディスクとスライダの摩耗を抑制して
ハードディスク装置の信頼性を低下させることがない、
といった利点を生じる。
に、コイル形状が同一でコイル３１の占有する幅がＷ１
に等しい場合、本実施例でのＡＢＳ２５の最少幅Ｗ３
は、従来例でのＡＢＳ１５の最少幅Ｗ２よりも狭く、さ
らにコイル３１の占有する幅Ｗ１よりも狭くできる。そ
のため本実施例では、コイル３１の磁路長を長くするこ
となくＡＢＳ２５の幅を狭くでき、押圧荷重を増加させ
ることなく低浮上量を実現できる。このことは、（１）
空気膜剛性が向上して浮上量が安定する、（２）モータ
駆動トルクを小さく、ハードディスク装置の消費電力を
小さくできる、（３）ディスク回転のスタート／ストッ
プ時における磁気ディスクとスライダの摩耗を抑制して
ハードディスク装置の信頼性を低下させることがない、
といった利点を生じる。
【００１６】なお、側テーパ部３２〜３５のＡＢＳ２
５，２６に対する角度θは２〜４５°の角度に形成す
る。何故ならば、角度θが小さく２°以下の場合、側テ
ーパ部３２〜３５は横方向の流入空気に対して余分な加
圧力を生じ、浮上量が本来の設計値よりも高くなる。し
たがって、横方向の流入空気に対して余分な加圧力を生
じない２°以上の角度が必要である。また、従来スライ
ダ材料として硬度が低いＭｎＺｎフェライトを用いたモ
ノリシックヘッドの場合、加工の際に生じるＡＢＳ側縁
の欠けを除去する目的で、ＡＢＳ側縁に４５°前後の側
テーパを設けることが行われてきた。しかし、ＡＢＳ側
縁の側テーパ部３２〜３５はＡＢＳ２５の最少幅Ｗ３を
狭くするためのものであるため、角度θを少なくとも４
５°以下の角度とすることが効果的である。なお、薄膜
磁気ヘッドにおいては、スライダ材料として硬度がより
高いアルチックを用いることが一般的であり、ＡＢＳ側
縁に側テーパを設けることは従来行われていなかった。
５，２６に対する角度θは２〜４５°の角度に形成す
る。何故ならば、角度θが小さく２°以下の場合、側テ
ーパ部３２〜３５は横方向の流入空気に対して余分な加
圧力を生じ、浮上量が本来の設計値よりも高くなる。し
たがって、横方向の流入空気に対して余分な加圧力を生
じない２°以上の角度が必要である。また、従来スライ
ダ材料として硬度が低いＭｎＺｎフェライトを用いたモ
ノリシックヘッドの場合、加工の際に生じるＡＢＳ側縁
の欠けを除去する目的で、ＡＢＳ側縁に４５°前後の側
テーパを設けることが行われてきた。しかし、ＡＢＳ側
縁の側テーパ部３２〜３５はＡＢＳ２５の最少幅Ｗ３を
狭くするためのものであるため、角度θを少なくとも４
５°以下の角度とすることが効果的である。なお、薄膜
磁気ヘッドにおいては、スライダ材料として硬度がより
高いアルチックを用いることが一般的であり、ＡＢＳ側
縁に側テーパを設けることは従来行われていなかった。
【００１７】（実施例２）次に本発明の第２の実施例を
図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第２の実
施例におけるスライダの斜視図である。図２において、
３６はスライダ、３７，３８はＡＢＳであり、スライダ
３６の中央部には溝部３９が形成されている。ＡＢＳ３
７，３８の空気流入側の前端部には各々テーパ部４０，
４１が形成されており、ＡＢＳ３７の空気流出端には記
録再生素子部４２およびコイル４３が形成されている。
ＡＢＳ３７，３８の側縁部には、段差部４４〜４７が形
成されている。段差部４４〜４７は、楕円状に形成され
たコイル４３に対し信頼性上の問題が生じない寸法に設
定される。なお、段差部４４〜４７を設けたことによる
利点は（実施例１）と同じである。
図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第２の実
施例におけるスライダの斜視図である。図２において、
３６はスライダ、３７，３８はＡＢＳであり、スライダ
３６の中央部には溝部３９が形成されている。ＡＢＳ３
７，３８の空気流入側の前端部には各々テーパ部４０，
４１が形成されており、ＡＢＳ３７の空気流出端には記
録再生素子部４２およびコイル４３が形成されている。
ＡＢＳ３７，３８の側縁部には、段差部４４〜４７が形
成されている。段差部４４〜４７は、楕円状に形成され
たコイル４３に対し信頼性上の問題が生じない寸法に設
定される。なお、段差部４４〜４７を設けたことによる
利点は（実施例１）と同じである。
【００１８】段差部４４〜４７のＡＢＳ３７，３８から
の深さＤ２は５〜１０μｍに形成する。深さＤ２が浅く
５μｍ以下の場合、段差部４４〜４７は横方向の流入空
気に対して余分な加圧力を生じ、浮上量が本来の設計値
に対して高くなる。そのため、横方向の流入空気に対し
て余分な加圧力を生じない５μｍ以上の深さが必要であ
る。また、深さＤ２が深くなると、段差部４４〜４７と
コイル４３との距離を一定に保つために、ＡＢＳ３７の
最少幅Ｗ４を大きくせざるをえない。そのため、深さＤ
２については１０μｍ以下とすることが効果的である。
の深さＤ２は５〜１０μｍに形成する。深さＤ２が浅く
５μｍ以下の場合、段差部４４〜４７は横方向の流入空
気に対して余分な加圧力を生じ、浮上量が本来の設計値
に対して高くなる。そのため、横方向の流入空気に対し
て余分な加圧力を生じない５μｍ以上の深さが必要であ
る。また、深さＤ２が深くなると、段差部４４〜４７と
コイル４３との距離を一定に保つために、ＡＢＳ３７の
最少幅Ｗ４を大きくせざるをえない。そのため、深さＤ
２については１０μｍ以下とすることが効果的である。
【００１９】（実施例３）次に本発明の第３の実施例を
図面を参照しながら説明する。図３は本発明の第３の実
施例におけるスライダの斜視図である。図３において、
４８はスライダ、４９，５０はＡＢＳであり、スライダ
４８の中央部には溝部５１が形成されている。ＡＢＳ４
９，５０の空気流入側の前端部には各々テーパ部５２，
５３が形成されており、ＡＢＳ４９の空気流出端には記
録再生素子部５４およびコイル５５が形成されている。
ＡＢＳ４９，５０の記録再生素子側の側縁部にのみ段差
部５６〜５９が形成されている。段差部５６〜５９は、
楕円状に形成されたコイル５５に対し信頼性上の問題が
生じない寸法に設定される。なお、段差部５６〜５９を
設けたことによる利点は（実施例１）と同じである。ま
た、（実施例２）と同様の理由から、段差部５６〜５９
のＡＢＳ４９，５０からの深さＤ２を５〜１０μｍに形
成する。
図面を参照しながら説明する。図３は本発明の第３の実
施例におけるスライダの斜視図である。図３において、
４８はスライダ、４９，５０はＡＢＳであり、スライダ
４８の中央部には溝部５１が形成されている。ＡＢＳ４
９，５０の空気流入側の前端部には各々テーパ部５２，
５３が形成されており、ＡＢＳ４９の空気流出端には記
録再生素子部５４およびコイル５５が形成されている。
ＡＢＳ４９，５０の記録再生素子側の側縁部にのみ段差
部５６〜５９が形成されている。段差部５６〜５９は、
楕円状に形成されたコイル５５に対し信頼性上の問題が
生じない寸法に設定される。なお、段差部５６〜５９を
設けたことによる利点は（実施例１）と同じである。ま
た、（実施例２）と同様の理由から、段差部５６〜５９
のＡＢＳ４９，５０からの深さＤ２を５〜１０μｍに形
成する。
【００２０】記録再生素子部５４の浮上量は、記録再生
素子部５４に近い部分のＡＢＳ４９，５０の幅によって
ほぼ決定される。そのため、本実施例のように、ＡＢＳ
４９，５０の記録再生素子部５４側の側縁部にのみ段差
部５６〜５９を設けた場合でも、低浮上量を実現するこ
とができ、（実施例１）及び（実施例２）と同様の効果
を得ることができるのである。
素子部５４に近い部分のＡＢＳ４９，５０の幅によって
ほぼ決定される。そのため、本実施例のように、ＡＢＳ
４９，５０の記録再生素子部５４側の側縁部にのみ段差
部５６〜５９を設けた場合でも、低浮上量を実現するこ
とができ、（実施例１）及び（実施例２）と同様の効果
を得ることができるのである。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、磁気ディス
ク表面に対向する浮上面に、浮上面の空気流出端から流
入側に向かって延びる少なくとも一本の空気ベアリング
面と、空気ベアリング面の空気流出端側面に、積層して
形成されたコイルを含む記録再生素子部とを備えた薄膜
磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング面の側縁
に２〜４５°の側テーパ部あるいは５〜１０μｍの段差
部を形成したことによって、コイル幅よりも小さなＡＢ
Ｓ幅を実現し、低浮上量域で安定に動作する薄膜磁気ヘ
ッドスライダを得ることができ、小型、高容量、高信頼
性、低消費電力のハードディスク装置を実現することが
できる。
ク表面に対向する浮上面に、浮上面の空気流出端から流
入側に向かって延びる少なくとも一本の空気ベアリング
面と、空気ベアリング面の空気流出端側面に、積層して
形成されたコイルを含む記録再生素子部とを備えた薄膜
磁気ヘッドスライダにおいて、空気ベアリング面の側縁
に２〜４５°の側テーパ部あるいは５〜１０μｍの段差
部を形成したことによって、コイル幅よりも小さなＡＢ
Ｓ幅を実現し、低浮上量域で安定に動作する薄膜磁気ヘ
ッドスライダを得ることができ、小型、高容量、高信頼
性、低消費電力のハードディスク装置を実現することが
できる。
【図１】本発明の第１の実施例における薄膜磁気ヘッド
スライダの斜視図
スライダの斜視図
【図２】本発明の第２の実施例における薄膜磁気ヘッド
スライダの斜視図
スライダの斜視図
【図３】本発明の第３の実施例における薄膜磁気ヘッド
スライダの斜視図
スライダの斜視図
【図４】（ａ）は従来の薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの記録再
生素子部の拡大断面図 （ｂ）は従来の薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの記録再生素子部
の要部斜視図
生素子部の拡大断面図 （ｂ）は従来の薄膜ＭＲ型磁気ヘッドの記録再生素子部
の要部斜視図
【図５】従来の薄膜磁気ヘッドスライダの斜視図
【図６】従来の回転形アクチュエータを有するハードデ
ィスク装置の模式図
ィスク装置の模式図
７ 磁気抵抗効果層（ＭＲ層） １４ 薄膜磁気ヘッドスライダ（スライダ） ２４ 薄膜磁気ヘッドスライダ（スライダ） ２５，２６ 空気ベアリング ３０ 記録再生素子部 ３１ コイル ３２〜３５ 側テーパ部 ４４〜４７ 段差部
Claims (2)
- 【請求項１】磁気ディスク表面に対向する浮上面に、こ
の浮上面の空気流出端から空気流入側に向かって延びる
少なくとも一本の空気ベアリング面と、この空気ベアリ
ング面の空気流出端側面に形成されたコイルを含む記録
再生素子部とを備えた薄膜磁気ヘッドスライダであっ
て、前記空気ベアリング面の側縁に前記空気ベアリング
面に対して２〜４５°の角度を有する側テーパ部を形成
したことを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】磁気ディスク表面に対向する浮上面に、こ
の浮上面の空気流出端から空気流入側に向かって延びる
少なくとも一本の空気ベアリング面と、この空気ベアリ
ング面の空気流出端側面に形成されたコイルを含む記録
再生素子部とを備えた薄膜磁気ヘッドスライダであっ
て、前記空気ベアリング面の側縁に前記空気ベアリング
面からの深さが５〜１０μｍである段差部を形成したこ
とを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5239659A JPH0793930A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 薄膜磁気ヘッドスライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5239659A JPH0793930A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 薄膜磁気ヘッドスライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0793930A true JPH0793930A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=17047995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5239659A Pending JPH0793930A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 薄膜磁気ヘッドスライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0793930A (ja) |
-
1993
- 1993-09-27 JP JP5239659A patent/JPH0793930A/ja active Pending
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