JPH0795704A - 磁気浮上スライダ - Google Patents
磁気浮上スライダInfo
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- JPH0795704A JPH0795704A JP23646393A JP23646393A JPH0795704A JP H0795704 A JPH0795704 A JP H0795704A JP 23646393 A JP23646393 A JP 23646393A JP 23646393 A JP23646393 A JP 23646393A JP H0795704 A JPH0795704 A JP H0795704A
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気浮上スライダの走行路であるレールの施
設精度を測定することができるような磁気浮上スライダ
を提供する。 【構成】 電磁石取付台９の四隅のうち３つの隅に電磁
石１１ａ，１１ｂ，１１ｃがギャップセンサ１２ａ，１
２ｂ，１２ｃとともに設けられ、電磁石１１ａ，１１
ｂ，１１ｃの設けられていない隅にはギャップセンサ１
２ｄのみが設けられる。ギャップセンサ１２ａ，１２ｂ
の上方には案内用レール１３ａが設けられ、ギャップセ
ンサ１２ｄ，１２ｃの上方には案内用のレール１３ｂが
設けられており、ギャップセンサ１２ａ，１２ｂ，１２
ｃの出力で電磁石１１ａ，１１ｂ，１１ｃを制御して所
定のギャップにしておき、ギャップセンサ１２ｄの出力
を検出してレール１３ａ，１３ｂの精度を測定する。
設精度を測定することができるような磁気浮上スライダ
を提供する。 【構成】 電磁石取付台９の四隅のうち３つの隅に電磁
石１１ａ，１１ｂ，１１ｃがギャップセンサ１２ａ，１
２ｂ，１２ｃとともに設けられ、電磁石１１ａ，１１
ｂ，１１ｃの設けられていない隅にはギャップセンサ１
２ｄのみが設けられる。ギャップセンサ１２ａ，１２ｂ
の上方には案内用レール１３ａが設けられ、ギャップセ
ンサ１２ｄ，１２ｃの上方には案内用のレール１３ｂが
設けられており、ギャップセンサ１２ａ，１２ｂ，１２
ｃの出力で電磁石１１ａ，１１ｂ，１１ｃを制御して所
定のギャップにしておき、ギャップセンサ１２ｄの出力
を検出してレール１３ａ，１３ｂの精度を測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気浮上スライダに
関し、特に、磁気浮上スライダの走行路であるレールの
施設精度を測定することができるような磁気浮上スライ
ダに関する。
関し、特に、磁気浮上スライダの走行路であるレールの
施設精度を測定することができるような磁気浮上スライ
ダに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気浮上スライダは、半導体産業などク
リーンルーム内で搬送装置として用いられ、四隅に設け
られた電磁石で磁気浮上し、案内用レールとの間の隙間
を一定にして走行する。したがって、走行時に必要なレ
ールの施設精度は、磁気浮上スライダの走行安定性に影
響するものであり、レールは理想的に施設されることが
望まれる。
リーンルーム内で搬送装置として用いられ、四隅に設け
られた電磁石で磁気浮上し、案内用レールとの間の隙間
を一定にして走行する。したがって、走行時に必要なレ
ールの施設精度は、磁気浮上スライダの走行安定性に影
響するものであり、レールは理想的に施設されることが
望まれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図５は、レールの施設
精度を測定する必要性を説明するための図である。
精度を測定する必要性を説明するための図である。
【０００４】ところで、レールが理想的に敷設されてい
れば、レールとの間の隙間を完全に一定にすることは、
電磁石を制御することで簡単に行なわれる。しかし、図
５に示すように、レール１ａ，１ｂは、天井３から吊下
げられた部材５上に固定された部材７ａ，７ｂに保持さ
れているため、レール１ａ，１ｂによってできる面の精
度をチェックし、調整することは困難である。ただし、
磁気浮上スライダは、４個の電磁石が比較的剛性の小さ
な部材に固定されているので、撓みを利用してレールと
の間の隙間をある程度の精度で補正できるものの限界が
ある。さらに、レールの施設精度は長いレールにおいて
すべての部分で要求されるわけではなく、走行方向のス
ライダの長さに相当する区間内で、ある所定精度範囲内
であれば、スライダの走行に対しての問題は起こらな
い。
れば、レールとの間の隙間を完全に一定にすることは、
電磁石を制御することで簡単に行なわれる。しかし、図
５に示すように、レール１ａ，１ｂは、天井３から吊下
げられた部材５上に固定された部材７ａ，７ｂに保持さ
れているため、レール１ａ，１ｂによってできる面の精
度をチェックし、調整することは困難である。ただし、
磁気浮上スライダは、４個の電磁石が比較的剛性の小さ
な部材に固定されているので、撓みを利用してレールと
の間の隙間をある程度の精度で補正できるものの限界が
ある。さらに、レールの施設精度は長いレールにおいて
すべての部分で要求されるわけではなく、走行方向のス
ライダの長さに相当する区間内で、ある所定精度範囲内
であれば、スライダの走行に対しての問題は起こらな
い。
【０００５】ゆえに、この発明は、上記のような問題を
解決し、レールの施設精度が許容範囲内であるかを判断
するために、レールの施設精度を測定することができる
ような磁気浮上スライダを提供することである。
解決し、レールの施設精度が許容範囲内であるかを判断
するために、レールの施設精度を測定することができる
ような磁気浮上スライダを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る磁
気浮上スライダは、複数のギャップセンサによってレー
ルとの間の隙間を検出し、電磁石によってスライダがレ
ール上を浮上しながら走行する磁気浮上スライダにおい
て、複数のギャップセンサのうち少なくとも１つのギャ
ップセンサの出力によって、レールの精度を測定する。
気浮上スライダは、複数のギャップセンサによってレー
ルとの間の隙間を検出し、電磁石によってスライダがレ
ール上を浮上しながら走行する磁気浮上スライダにおい
て、複数のギャップセンサのうち少なくとも１つのギャ
ップセンサの出力によって、レールの精度を測定する。
【０００７】請求項２では、請求項１のスライダの四隅
にはそれぞれギャップセンサが設けられ、スライダの３
つの隅にはそれぞれ電磁石が設けられていて、４個のギ
ャップセンサのうち３個のギャップセンサの出力で、レ
ールとの隙間が一定となるように３個の電磁石を制御す
る制御手段を備え、残余のギャップセンサの出力によっ
て、レールの精度を測定する。
にはそれぞれギャップセンサが設けられ、スライダの３
つの隅にはそれぞれ電磁石が設けられていて、４個のギ
ャップセンサのうち３個のギャップセンサの出力で、レ
ールとの隙間が一定となるように３個の電磁石を制御す
る制御手段を備え、残余のギャップセンサの出力によっ
て、レールの精度を測定する。
【０００８】請求項３では、請求項２の磁気浮上スライ
ダは、残余のギャップセンサに対して走行方向に設けら
れたギャップセンサに近接する電磁石を、残余のギャッ
プセンサと走行方向に設けられたギャップセンサとの間
に設けることにより構成される。
ダは、残余のギャップセンサに対して走行方向に設けら
れたギャップセンサに近接する電磁石を、残余のギャッ
プセンサと走行方向に設けられたギャップセンサとの間
に設けることにより構成される。
【０００９】請求項４では、請求項１のスライダの四隅
にはそれぞれギャップセンサと電磁石が設けられてい
て、４個のギャップセンサのうち任意に選択された２個
のギャップセンサの出力で、レールとの隙間が一定とな
るようにそれぞれのギャップセンサに近接する２個の電
磁石を制御する第１の制御手段と、残余の２個のギャッ
プセンサの出力の和が選択された２個のギャップセンサ
の出力の和に等しくなるように残余の２個の電磁石を制
御する第２の制御手段とを備え、残余の２個のギャップ
センサの出力の差によって、レールの精度を測定する。
にはそれぞれギャップセンサと電磁石が設けられてい
て、４個のギャップセンサのうち任意に選択された２個
のギャップセンサの出力で、レールとの隙間が一定とな
るようにそれぞれのギャップセンサに近接する２個の電
磁石を制御する第１の制御手段と、残余の２個のギャッ
プセンサの出力の和が選択された２個のギャップセンサ
の出力の和に等しくなるように残余の２個の電磁石を制
御する第２の制御手段とを備え、残余の２個のギャップ
センサの出力の差によって、レールの精度を測定する。
【００１０】
【作用】この発明に係る磁気浮上スライダは、たとえば
四隅に設けられたギャップセンサの出力によって、レー
ルとスライダの４点との間の隙間をすべて一定の値にす
るのではなく、選択された３つまたは２つのギャップセ
ンサの出力によって３点または２点というような特定の
位置とレールとの間の隙間を一定の値になるように電磁
石に制御し、残りのギャップセンサの出力によってレー
ルの施設精度を測定する。
四隅に設けられたギャップセンサの出力によって、レー
ルとスライダの４点との間の隙間をすべて一定の値にす
るのではなく、選択された３つまたは２つのギャップセ
ンサの出力によって３点または２点というような特定の
位置とレールとの間の隙間を一定の値になるように電磁
石に制御し、残りのギャップセンサの出力によってレー
ルの施設精度を測定する。
【００１１】
【実施例】図１は、この発明の第１の実施例による磁気
浮上スライダの概略を示した図であり、特に、図１
（ａ）はその磁気浮上スライダの平面図であり、図１
（ｂ）は図１（ａ）の上方から見た側面図であり、図１
（ｃ）は図１（ａ）の下方から見た側面図である。
浮上スライダの概略を示した図であり、特に、図１
（ａ）はその磁気浮上スライダの平面図であり、図１
（ｂ）は図１（ａ）の上方から見た側面図であり、図１
（ｃ）は図１（ａ）の下方から見た側面図である。
【００１２】図１を参照して、剛性の大きな電磁石取付
台９の３つの隅に、電磁石１１ａ，１１ｂ，１１ｃが設
けられ、電磁石１１ａ，１１ｂ，１１ｃに近接してギャ
ップセンサ１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられる。さら
に、ギャップセンサ１２ｄが電磁石１２ａ，１２ｂ，１
２ｃの設けられていない隅に設けられる。電磁石１１
ａ，１１ｂおよびギャップセンサ１２ａ，１２ｂの上方
には、図１（ｂ）に示すように案内用のレール１３ａが
設けられ、電磁石１１ｃおよびギャップセンサ１２ｃ，
１２ｄの上方には図１（ｃ）に示すように案内用のレー
ル１３ｂが設けられていて、レール１３ａとレール１３
ｂは平行して設けられている。
台９の３つの隅に、電磁石１１ａ，１１ｂ，１１ｃが設
けられ、電磁石１１ａ，１１ｂ，１１ｃに近接してギャ
ップセンサ１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられる。さら
に、ギャップセンサ１２ｄが電磁石１２ａ，１２ｂ，１
２ｃの設けられていない隅に設けられる。電磁石１１
ａ，１１ｂおよびギャップセンサ１２ａ，１２ｂの上方
には、図１（ｂ）に示すように案内用のレール１３ａが
設けられ、電磁石１１ｃおよびギャップセンサ１２ｃ，
１２ｄの上方には図１（ｃ）に示すように案内用のレー
ル１３ｂが設けられていて、レール１３ａとレール１３
ｂは平行して設けられている。
【００１３】次に、動作について説明する。ギャップセ
ンサ１２ａ，１２ｂの出力によって、レール１３ａとギ
ャップセンサ１２ａ，１２ｂとの間の隙間を幅δのギャ
ップになるように電磁石１１ａ，１１ｂを図示しない制
御部で制御し、ギャップセンサ１２ｃの出力によって、
レール１３ｂとギャップセンサ１２ｃとの間の隙間を幅
δのギャップになるように電磁石１１ｃを図示しない制
御部で制御する。レール１３ｂが図１（ｃ）に示すよう
に右下がりであれば、レール１３ｂとギャップセンサ１
２ｄとの間の隙間は幅δ′（δ′＞δ）となっている。
したがって、ギャップセンサ１２ｄの出力がギャップセ
ンサ１２ａ，１２ｂ，１２ｃの出力に比較されれば、そ
の位置でのレールの施設精度は測定される。これによ
り、磁気浮上スライダをレールに沿って走行させること
でレール全体の施設精度は測定される。
ンサ１２ａ，１２ｂの出力によって、レール１３ａとギ
ャップセンサ１２ａ，１２ｂとの間の隙間を幅δのギャ
ップになるように電磁石１１ａ，１１ｂを図示しない制
御部で制御し、ギャップセンサ１２ｃの出力によって、
レール１３ｂとギャップセンサ１２ｃとの間の隙間を幅
δのギャップになるように電磁石１１ｃを図示しない制
御部で制御する。レール１３ｂが図１（ｃ）に示すよう
に右下がりであれば、レール１３ｂとギャップセンサ１
２ｄとの間の隙間は幅δ′（δ′＞δ）となっている。
したがって、ギャップセンサ１２ｄの出力がギャップセ
ンサ１２ａ，１２ｂ，１２ｃの出力に比較されれば、そ
の位置でのレールの施設精度は測定される。これによ
り、磁気浮上スライダをレールに沿って走行させること
でレール全体の施設精度は測定される。
【００１４】図２は、この発明の第２の実施例による磁
気浮上スライダの概略を示した図であり、特に、図２
（ａ）はその磁気浮上スライダの平面図であり、図２
（ｂ）は図２（ａ）の上方から見た側面図であり、図２
（ｃ）は図３（ａ）の下方から見た側面図である。
気浮上スライダの概略を示した図であり、特に、図２
（ａ）はその磁気浮上スライダの平面図であり、図２
（ｂ）は図２（ａ）の上方から見た側面図であり、図２
（ｃ）は図３（ａ）の下方から見た側面図である。
【００１５】図２を参照して、図１に示した第１の実施
例と異なる部分についてのみ説明する。
例と異なる部分についてのみ説明する。
【００１６】電磁石取付台９の四隅のうちの１つに設け
られた電磁石１１ｃは、ギャップセンサ１２ｃの外側に
設けられるのではなく、ギャップセンサ１２ｄとギャッ
プセンサ１２ｃの間に設けられる。これにより、動作の
上ではスライダ自体が安定して走行できるため、図１に
示した実施例よりも精度よくレールの施設精度は測定さ
れる。
られた電磁石１１ｃは、ギャップセンサ１２ｃの外側に
設けられるのではなく、ギャップセンサ１２ｄとギャッ
プセンサ１２ｃの間に設けられる。これにより、動作の
上ではスライダ自体が安定して走行できるため、図１に
示した実施例よりも精度よくレールの施設精度は測定さ
れる。
【００１７】図３は、この発明の第３の実施例による磁
気浮上スライダの概略を示した図であり、特に、図３
（ａ）はその磁気浮上スライダの平面図であり、図３
（ｂ）は図３（ａ）の上方から見た側面図であり、図３
（ｃ）は図３（ａ）の下方から見た側面図である。
気浮上スライダの概略を示した図であり、特に、図３
（ａ）はその磁気浮上スライダの平面図であり、図３
（ｂ）は図３（ａ）の上方から見た側面図であり、図３
（ｃ）は図３（ａ）の下方から見た側面図である。
【００１８】図３を参照して、図１に示した第１の実施
例と異なる部分についてのみ説明する。電磁石取付台９
の四隅に電磁石とギャップセンサがともに取付けられ
る。すなわち、電磁石取付台９の四隅のうちギャップセ
ンサ１２ｄしか取付けられていない隅に、電磁石１１ｄ
が取付けられる。このような構成は、通常の磁気浮上ス
ライダと同じものであるが、以下に示すような制御手段
を用いてレール１３ａとギャップセンサ１２ａ，１２ｂ
との間の隙間およびレール１３ｂとギャップセンサ１２
ｃ，１２ｄとの間の隙間を制御し、その隙間を検出する
ギャップセンサの出力に基づいてレールの施設精度を測
定する。
例と異なる部分についてのみ説明する。電磁石取付台９
の四隅に電磁石とギャップセンサがともに取付けられ
る。すなわち、電磁石取付台９の四隅のうちギャップセ
ンサ１２ｄしか取付けられていない隅に、電磁石１１ｄ
が取付けられる。このような構成は、通常の磁気浮上ス
ライダと同じものであるが、以下に示すような制御手段
を用いてレール１３ａとギャップセンサ１２ａ，１２ｂ
との間の隙間およびレール１３ｂとギャップセンサ１２
ｃ，１２ｄとの間の隙間を制御し、その隙間を検出する
ギャップセンサの出力に基づいてレールの施設精度を測
定する。
【００１９】図４は、図３に示した第３の実施例による
磁気浮上スライダにおける電磁石の制御を説明するため
の図である。
磁気浮上スライダにおける電磁石の制御を説明するため
の図である。
【００２０】図４を参照して、ギャップセンサ１２ａ，
１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの出力を表わす信号をそれぞれ
信号Ｓ1 ，Ｓ2 ，Ｓ3 ，Ｓ4 とし、信号Ｓ1 と信号Ｓ4
から浮上方向制御信号１７（Ｓ1 ＋Ｓ4 ）を生成し、信
号Ｓ2 と信号Ｓ3 から浮上方向制御信号１９（Ｓ2 ＋Ｓ
3 ）およびローリング制御信号２１（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）を
生成する。
１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの出力を表わす信号をそれぞれ
信号Ｓ1 ，Ｓ2 ，Ｓ3 ，Ｓ4 とし、信号Ｓ1 と信号Ｓ4
から浮上方向制御信号１７（Ｓ1 ＋Ｓ4 ）を生成し、信
号Ｓ2 と信号Ｓ3 から浮上方向制御信号１９（Ｓ2 ＋Ｓ
3 ）およびローリング制御信号２１（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）を
生成する。
【００２１】浮上方向制御信号１７（Ｓ1 ＋Ｓ4 ）は、
抵抗３０を介して演算回路４３の−端子（入力された信
号に−１を掛ける端子）に入力されるとともに、抵抗２
３を介して演算回路４４の−端子に入力される。浮上方
向制御信号１９（Ｓ2 ＋Ｓ3）は、抵抗２３を介して演
算回路４１の−端子に入力されるとともに、抵抗２６を
介して演算回路４２の−端子に入力される。ローリング
制御信号２１（−Ｓ2＋Ｓ3 ）は、抵抗２５を介して演
算回路４１の＋端子（入力された信号に＋１を掛ける端
子）、抵抗２８を介して演算回路４２の−端子、抵抗３
１を介して演算回路４３の＋端子および抵抗３４を介し
て演算回路４４の−端子に入力される。
抵抗３０を介して演算回路４３の−端子（入力された信
号に−１を掛ける端子）に入力されるとともに、抵抗２
３を介して演算回路４４の−端子に入力される。浮上方
向制御信号１９（Ｓ2 ＋Ｓ3）は、抵抗２３を介して演
算回路４１の−端子に入力されるとともに、抵抗２６を
介して演算回路４２の−端子に入力される。ローリング
制御信号２１（−Ｓ2＋Ｓ3 ）は、抵抗２５を介して演
算回路４１の＋端子（入力された信号に＋１を掛ける端
子）、抵抗２８を介して演算回路４２の−端子、抵抗３
１を介して演算回路４３の＋端子および抵抗３４を介し
て演算回路４４の−端子に入力される。
【００２２】さらに、抵抗２３の出力側は、演算回路４
１の出力側と接続された抵抗２４に接続されており、抵
抗２６，２８の出力側は、演算回路４２の出力側に接続
された抵抗２７に接続されており、演算回路４２の＋端
子は、接地された抵抗３６に接続されている。また、抵
抗３０の出力側は、演算回路４３の出力側と接続された
抵抗２９に接続されており、抵抗３３，３４の出力側
は、演算回路４４の出力側に接続された抵抗３２に接続
されており、演算回路４３の＋端子は接地された抵抗３
５に接続されている。
１の出力側と接続された抵抗２４に接続されており、抵
抗２６，２８の出力側は、演算回路４２の出力側に接続
された抵抗２７に接続されており、演算回路４２の＋端
子は、接地された抵抗３６に接続されている。また、抵
抗３０の出力側は、演算回路４３の出力側と接続された
抵抗２９に接続されており、抵抗３３，３４の出力側
は、演算回路４４の出力側に接続された抵抗３２に接続
されており、演算回路４３の＋端子は接地された抵抗３
５に接続されている。
【００２３】演算回路４１の出力は、−Ｓ2 ＋Ｓ3 −
（Ｓ2 ＋Ｓ3 ）＝−２Ｓ2 を表わす信号であり、電磁石
１１ｂに制御信号として入力され、演算回路４２の出力
は、−（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）−（Ｓ2 ＋Ｓ3 ）＝−２Ｓ3 を
表わす信号であり、電磁石１１ｃに制御信号として入力
される。同様に、演算回路４３の出力は、−Ｓ2 ＋Ｓ3
−（Ｓ1 ＋Ｓ4 ）を表わす信号であり、電磁石１１ａに
制御信号として入力され、演算回路４４の出力は、−
（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）−（Ｓ1 ＋Ｓ4 ）を表わす信号であ
り、電磁石１１ｄに制御信号として入力される。
（Ｓ2 ＋Ｓ3 ）＝−２Ｓ2 を表わす信号であり、電磁石
１１ｂに制御信号として入力され、演算回路４２の出力
は、−（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）−（Ｓ2 ＋Ｓ3 ）＝−２Ｓ3 を
表わす信号であり、電磁石１１ｃに制御信号として入力
される。同様に、演算回路４３の出力は、−Ｓ2 ＋Ｓ3
−（Ｓ1 ＋Ｓ4 ）を表わす信号であり、電磁石１１ａに
制御信号として入力され、演算回路４４の出力は、−
（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）−（Ｓ1 ＋Ｓ4 ）を表わす信号であ
り、電磁石１１ｄに制御信号として入力される。
【００２４】このような回路によって、電磁石１１ｂ，
１１ｃは、浮上方向制御信号１９およびローリング制御
信号２１の加減算が入力されて制御される。そこで、ギ
ャップセンサ１２ｂの出力である信号Ｓ2 とギャップセ
ンサ１２ｃの出力である信号Ｓ3 とがともに０となるよ
うな制御を行なう。これにより、図３（ｂ）および図３
（ｃ）に示すようにレール１３ａとギャップセンサ１２
ｂとの間の隙間およびレール１３ｂとギャップセンサ１
２ｃとの間の隙間はともに一定の幅δのギャップとな
る。これによって、電磁石１１ａ，１１ｄに入力される
信号は、Ｓ2 ＝Ｓ 3 ＝０によっていずれも−（Ｓ1 ＋Ｓ
4 ）となり、浮上位置はＳ1 ＋Ｓ4 ＝０で決定される。
このときの条件は、Ｓ1 ＝Ｓ4 ＝０を含む｜Ｓ1 ｜＝｜
Ｓ4 ｜で信号Ｓ1 が信号Ｓ4 の反対符号の場合である。
１１ｃは、浮上方向制御信号１９およびローリング制御
信号２１の加減算が入力されて制御される。そこで、ギ
ャップセンサ１２ｂの出力である信号Ｓ2 とギャップセ
ンサ１２ｃの出力である信号Ｓ3 とがともに０となるよ
うな制御を行なう。これにより、図３（ｂ）および図３
（ｃ）に示すようにレール１３ａとギャップセンサ１２
ｂとの間の隙間およびレール１３ｂとギャップセンサ１
２ｃとの間の隙間はともに一定の幅δのギャップとな
る。これによって、電磁石１１ａ，１１ｄに入力される
信号は、Ｓ2 ＝Ｓ 3 ＝０によっていずれも−（Ｓ1 ＋Ｓ
4 ）となり、浮上位置はＳ1 ＋Ｓ4 ＝０で決定される。
このときの条件は、Ｓ1 ＝Ｓ4 ＝０を含む｜Ｓ1 ｜＝｜
Ｓ4 ｜で信号Ｓ1 が信号Ｓ4 の反対符号の場合である。
【００２５】したがって、図３（ｂ）および図３（ｃ）
に示すようにレール１３ａとギャップセンサ１２ｂとの
間の隙間の幅をδ′とし、レール１３ｂとギャップセン
サ１２ｄとの間の隙間の幅をδ″とすれば、δ″＋δ′
＝２δであるような制御が行なわれることになる。ここ
で、Ｓ1 ＝Ｓ4 ＝０のときはレールの施設精度が理想的
なことを表わしていて、δ′＝δ″＝δの場合であり、
Ｓ1 ＝−Ｓ4 のときはレールの施設精度の悪いことを表
わしていてδ′＝δ＋α，δ″＝δ−α（αは定数）の
場合である。
に示すようにレール１３ａとギャップセンサ１２ｂとの
間の隙間の幅をδ′とし、レール１３ｂとギャップセン
サ１２ｄとの間の隙間の幅をδ″とすれば、δ″＋δ′
＝２δであるような制御が行なわれることになる。ここ
で、Ｓ1 ＝Ｓ4 ＝０のときはレールの施設精度が理想的
なことを表わしていて、δ′＝δ″＝δの場合であり、
Ｓ1 ＝−Ｓ4 のときはレールの施設精度の悪いことを表
わしていてδ′＝δ＋α，δ″＝δ−α（αは定数）の
場合である。
【００２６】以上のような制御によって、電磁石１１ａ
と１１ｄに近接するギャップセンサ１２ａとギャップセ
ンサ１２ｄの出力の差は、施設精度を表わすことがで
き、出力差が０であればレールは理想的に敷設されてお
り、出力差が正または負の値にずれていればいるほどレ
ールの施設精度は悪いことになる。これにより磁気浮上
スライダを上述した制御手段で制御しながらレールに沿
って走行させれば、ギャップセンサ１２ａと１２ｄの出
力を検出することで、レールの施設精度が測定される。
と１１ｄに近接するギャップセンサ１２ａとギャップセ
ンサ１２ｄの出力の差は、施設精度を表わすことがで
き、出力差が０であればレールは理想的に敷設されてお
り、出力差が正または負の値にずれていればいるほどレ
ールの施設精度は悪いことになる。これにより磁気浮上
スライダを上述した制御手段で制御しながらレールに沿
って走行させれば、ギャップセンサ１２ａと１２ｄの出
力を検出することで、レールの施設精度が測定される。
【００２７】なお、図３に示した実施例では、ギャップ
センサ１２ａとギャップセンサ１２ｄのそれぞれの出力
である信号Ｓ1 ，Ｓ4 から浮上方向制御信号（Ｓ1 ＋Ｓ
4 ）を作り、ギャップセンサ１２ｂとギャップセンサ１
２ｃのそれぞれの出力である信号Ｓ2 ，Ｓ3 から浮上方
向制御信号（Ｓ2 ＋Ｓ3 ）およびローリング制御信号
（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）を作ったが、ギャップセンサの組合わ
せ方は任意であってよい。
センサ１２ａとギャップセンサ１２ｄのそれぞれの出力
である信号Ｓ1 ，Ｓ4 から浮上方向制御信号（Ｓ1 ＋Ｓ
4 ）を作り、ギャップセンサ１２ｂとギャップセンサ１
２ｃのそれぞれの出力である信号Ｓ2 ，Ｓ3 から浮上方
向制御信号（Ｓ2 ＋Ｓ3 ）およびローリング制御信号
（−Ｓ2 ＋Ｓ3 ）を作ったが、ギャップセンサの組合わ
せ方は任意であってよい。
【００２８】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、ある値
で保持される必要のあるスライダの位置とレールとの距
離をギャップセンサの出力で電磁石を制御して支持し、
多少の変動が許されたスライダの位置とレールとの距離
を他のギャップセンサの出力で検出するので、その検出
出力に基づいてレールの施設精度を測定できる。さら
に、磁気浮上スライダの走行には、リニアモータを用い
ることで容易に行なわれるので、各ギャップセンサの出
力を記録装置などで記録しておけばレールの不良箇所を
短時間で見つけることができる。さらに、レールの施設
精度の測定は、レールを新設するときはもちろんのこ
と、既に施設されたレールのメンテナンス点検として行
なわれることもできる。
で保持される必要のあるスライダの位置とレールとの距
離をギャップセンサの出力で電磁石を制御して支持し、
多少の変動が許されたスライダの位置とレールとの距離
を他のギャップセンサの出力で検出するので、その検出
出力に基づいてレールの施設精度を測定できる。さら
に、磁気浮上スライダの走行には、リニアモータを用い
ることで容易に行なわれるので、各ギャップセンサの出
力を記録装置などで記録しておけばレールの不良箇所を
短時間で見つけることができる。さらに、レールの施設
精度の測定は、レールを新設するときはもちろんのこ
と、既に施設されたレールのメンテナンス点検として行
なわれることもできる。
【図１】この発明の第１の実施例による磁気浮上スライ
ダの概略を示した図である。
ダの概略を示した図である。
【図２】この発明の第２の実施例による磁気浮上スライ
ダの概略を示した図である。
ダの概略を示した図である。
【図３】この発明の第３の実施例による磁気浮上スライ
ダの概略を示した図である。
ダの概略を示した図である。
【図４】図４に示した磁気浮上スライダにおける電磁石
の制御について説明するための図である。
の制御について説明するための図である。
【図５】磁気浮上スライダの走行路として用いられるレ
ールの設けられた状態について説明するための図であ
る。
ールの設けられた状態について説明するための図であ
る。
１ａ，１ｂ，１３ レール ９ 電磁石取付台 １１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ 電磁石 １２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ ギャップセンサ １５ 制御部 ２３ ２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３
１，３２，３３，３４，３５，３６ 抵抗 ４１，４２，４３，４４ 演算回路
１，３２，３３，３４，３５，３６ 抵抗 ４１，４２，４３，４４ 演算回路
Claims (4)
- 【請求項１】 複数のギャップセンサによってレールと
の間の隙間を検出し、電磁石によってスライダがレール
上を浮上しながら走行する磁気浮上スライダにおいて、 前記複数のギャップセンサのうち少なくとも１つのギャ
ップセンサの出力によって、前記レールの精度を測定す
ることを特徴とする、磁気浮上スライダ。 - 【請求項２】 前記スライダの四隅にはそれぞれギャッ
プセンサが設けられ、スライダの３つの隅にはそれぞれ
電磁石が設けられていて、 前記４個のギャップセンサのうち３個のギャップセンサ
の出力で、前記レールとの隙間が一定となるように前記
３個の電磁石を制御する制御手段を備え、 残余のギャップセンサの出力によって、前記レールの精
度を測定することを特徴とする、請求項１記載の磁気浮
上スライダ。 - 【請求項３】 前記残余のギャップセンサに対して走行
方向に設けられたギャップセンサに近接する電磁石を、
前記残余のギャップセンサと前記走行方向に設けられた
ギャップセンサとの間に設けることを特徴とする、請求
項２記載の磁気浮上スライダ。 - 【請求項４】 前記スライダの四隅にはそれぞれギャッ
プセンサと電磁石が設けられていて、 前記４個のギャップセンサのうち任意に選択された２個
のギャップセンサの出力で、前記レールとの隙間が一定
となるようにそれぞれのギャップセンサに近接する２個
の電磁石を制御する第１の制御手段と、 残余の２個のギャップセンサの出力の和が前記選択され
た２個のギャップセンサの出力の和に等しくなるように
残余の２個の電磁石を制御する第２の制御手段とを備
え、 前記残余の２個のギャップセンサの出力の差によって、
前記レールの精度を測定することを特徴とする、請求項
１記載の磁気浮上スライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23646393A JPH0795704A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 磁気浮上スライダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23646393A JPH0795704A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 磁気浮上スライダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0795704A true JPH0795704A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=17001121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23646393A Withdrawn JPH0795704A (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 磁気浮上スライダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795704A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115493507A (zh) * | 2022-10-28 | 2022-12-20 | 成都市新筑路桥机械股份有限公司 | 一种内嵌式中低速磁浮交通系统轨道检测设备 |
-
1993
- 1993-09-22 JP JP23646393A patent/JPH0795704A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115493507A (zh) * | 2022-10-28 | 2022-12-20 | 成都市新筑路桥机械股份有限公司 | 一种内嵌式中低速磁浮交通系统轨道检测设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001128 |