JPH0796606A - インクジェットプリンタヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 一対の本体プレートを接合して形成する圧力
室に圧力発生手段の駆動部を対向配置する構造で、基板
の表面に駆動部を連設した構造の圧力発生手段を樹脂部
材にインサートしたインクジェットプリンタヘッドの信
頼性と耐久性とを向上させる。 【構成】 樹脂部材３１に接合する基板２１の表面で駆
動部２３が存在しない位置に凸部材２４〜２６を突設
し、樹脂部材３１と基板２１との接合力を向上させて剥
離の発生を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、オンデマンド方式のイ
ンクジェットプリンタヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】まず、特開平3-73348号 公報のインクジ
ェットプリンタヘッドを従来例として図２９に基づいて
以下に説明する。このインクジェットプリンタヘッド１
は、一対の本体プレートである流路プレート２と駆動プ
レート３とを一体に接合した構造となっている。そし
て、これらの流路プレート２と駆動プレート３との接合
面には個々に相対向する凹部４と駆動部である凸部５と
を連設している。ここで、圧力発生手段でもある前記駆
動プレート３は、前記凸部５間に位置する凹部６内に弾
性材７を充填することで接合面が平坦になっている。そ
こで、この駆動プレート３を一体に接合することで前記
流路プレート２の凹部４が圧力室８を形成している。

【０００３】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド１では、前記圧力室８内に位置する前
記駆動プレート３の凸部５の凸面が加圧面９となってい
る。そして、この加圧面９と前記駆動プレート３の基部
１０とに駆動電源１１を接続している。なお、このイン
クジェットプリンタヘッド１では、実際には前記プレー
ト２，３の前面にオリフィスプレート（図示せず）を一
体に接合する構造となっている。

【０００４】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１では、駆動電源１１の駆動電圧に
従って駆動プレート３の凸部５が伸縮するので、この凸
部５の加圧面９の変位で流路プレート２の圧力室８内の
インク（図示せず）を加圧してオリフィスからインク滴
として吐出する。なお、このインクジェットプリンタヘ
ッド１では、圧力室８内のインクを高効率に加圧するた
め、伸縮する凸部５の横幅を圧力室８よりも狭く形成し
て凸部５間を弾性材７で充填している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したインクジェッ
トプリンタヘッド１は、駆動プレート３の凸部５で流路
プレート２の圧力室８のインクを加圧してインク滴を吐
出するようになっており、伸縮する凸部５の横幅を圧力
室８よりも狭く形成して間隙を弾性材７で充填すること
で圧力室８のインクを高効率に加圧するようになってい
る。

【０００６】しかし、このインクジェットプリンタヘッ
ド１では、印刷品質を向上させるためにオリフィスや圧
力室８等の高密度化が必要で駆動プレート３の凹部４な
ども微細化すると、ここに弾性材７を充填することが極
めて困難となって生産性が極度に低下することになる。
さらに、このインクジェットプリンタヘッド１は、駆動
プレート３と流路プレート２とを一体に接合する際に微
細な凸部５と凹部４とを精緻に位置決めする必要がある
ので、さらに生産性が低下している。

【０００７】そして、このような課題を解決するものと
して本出願人が提案したインクジェットプリンタヘッド
では、駆動部を連設した圧力発生手段を圧電性セラミッ
クの型成形の一つである射出成形で形成し、このような
圧力発生手段を樹脂部材にインサートする構造となって
いる。この圧電性セラミックは、耐蝕性や強度が良好で
あるので、圧力室などを形成する構造材としても利用可
能であり、その生産性向上と高密度化とが要望されてい
る。なお、本出願人は上述のような構造のインクジェッ
トプリンタヘッドの圧力発生手段を、圧電性セラミック
の切削加工で形成することも提案している。

【０００８】より詳細には、このインクジェットプリン
タヘッドでは、一対の本体プレートの一方である流路プ
レートは、全体を平板状に形成して接合面に多数のオリ
フィスや多数の圧力室や一つのインク槽などを一体に形
成する凹部を形成した構造となっている。また、一対の
本体プレートの他方である駆動プレートは、圧電性セラ
ミックからなる直方体状の圧電性部材の駆動部を平板状
の絶縁基板の表面に連設して圧力発生手段を形成し、こ
の圧力発生手段を駆動部の上面が露出するように樹脂部
材にインサートした構造となっている。そこで、このイ
ンクジェットプリンタヘッドでは、流路プレートと駆動
プレートとを一体に接合することで圧力室に駆動部の上
面を対向配置し、これら駆動部の上面を圧力発生手段の
加圧面としている。

【０００９】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッドでは、駆動プレートの圧電性部材の駆
動部の間隙を柔軟な樹脂部材で充填して接合面を平坦に
成形することで、流路プレートの圧力室を良好に密閉し
てインクを高効率に加圧するようになっている。そし
て、このインクジェットプリンタヘッドでは、印刷品質
を向上させるために流路プレートのオリフィスや圧力室
等と共に駆動プレートの圧力発生手段の圧電性部材の駆
動部を高密度化しても、この圧力発生手段をインサート
する樹脂部材を圧電性部材の駆動部の間隙に確実に充填
できるので生産性が極めて良好である。

【００１０】しかし、本出願人が上述のような構造のイ
ンクジェットプリンタヘッドを実際に試作したところ、
樹脂部材に圧力発生手段をインサートして駆動プレート
を形成しても、この駆動プレートの絶縁基板と樹脂部材
とに剥離が発生しやすいことが判明した。

【００１１】つまり、上述したインクジェットプリンタ
ヘッドでは、圧力発生手段の駆動部は樹脂部材に対して
微細な凹凸としてインサートしているので、この部分は
形状的に接合力が十分で剥離が発生することがないが、
圧力発生手段の絶縁基板は樹脂部材に対して単純な平面
からなる表面で接合しているだけなので、この部分は形
状的に接合力が不十分で剥離が発生しやすくなってい
る。

【００１２】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ドでは、圧力発生手段の絶縁基板や駆動部は樹脂部材と
熱膨張率が相違するので、樹脂部材に圧力発生手段をイ
ンサートして駆動プレートを製作しても、これを冷却す
ると収縮量が相違するために圧力発生手段と樹脂部材と
に剥離が発生しやすい。

【００１３】しかも、このインクジェットプリンタヘッ
ドは、構造的に駆動部が絶縁基板の中央領域の前方に集
中するようになっているので、絶縁基板の両側部や後部
などの部分は、樹脂部材に対する形状的な接合力が不足
すると共に、熱膨張率の相違による樹脂部材との収縮量
の格差も過大となっており、特に剥離が発生しやすくな
っている。

【００１４】このような課題を解決する手段としては、
樹脂部材との接合力が物性的に強固となる材料で絶縁基
板を形成することが想定できるが、このような絶縁基板
の材料として各種条件を考慮すると、実際に実用的なの
はガラスやセラミック等の絶縁性の無機材料だけであ
り、このような絶縁性の無機材料は物性的に樹脂部材に
対する接合力は不十分となる。

【００１５】このため、絶縁基板の表面に駆動部等を連
設した圧力発生手段をインサートして本体プレートの少
なくとも一方を形成するインクジェットプリンタヘッド
において、その信頼性や耐久性を向上させることが困難
となっている。

【００１６】本発明は、信頼性や耐久性が良好なインク
ジェットプリンタヘッドを得るものである。

【００１７】また、本発明は、生産性や信頼性や耐久性
が良好なインクジェットプリンタヘッドを得るものであ
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
絶縁性の無機材料で形成した基板の表面上に圧電性部材
からなる複数の駆動部を連設して圧力発生手段を形成
し、この圧力発生手段をインサートした樹脂部材で一対
の本体プレートの少なくとも一方を形成し、一対の前記
本体プレートの少なくとも一方の接合面にオリフィスと
インク供給路とが各々連通した複数の圧力室を凹部で形
成し、前記圧力室に対向する変位自在な加圧面を前記圧
力発生手段の前記駆動部で形成したインクジェットプリ
ンタヘッドにおいて、前記樹脂部材に接合する前記基板
の表面で前記駆動部が存在しない位置に凸部材を突設し
た。

【００１９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、駆動部に外側面が連通する直方体状に凸部
材を形成した。

【００２０】

【作用】請求項１記載の発明は、樹脂部材と基板との接
合力を向上させて剥離の発生を防止することができるの
で、信頼性や耐久性が良好なインクジェットプリンタヘ
ッドを得ることができる。

【００２１】請求項２記載の発明は、一個の部材のダイ
シング加工で駆動部と凸部材とを同時に形成することが
できると共に、駆動部と凸部材との間隙における樹脂部
材の原材料の流動を良好にすることもできるので、生産
性や信頼性や耐久性が良好なインクジェットプリンタヘ
ッドを得ることができる。

【００２２】

【実施例】本発明の第一の実施例を図１ないし図１０に
基づいて以下に説明する。まず、このインクジェットプ
リンタヘッド１２は、図１及び図２等に例示するよう
に、一対の本体プレートであるカバープレート１３とメ
インプレート１４とを一体に接合した構造となってい
る。そして、前記カバープレート１３は、単純な平板の
上下面にインク供給路１５を貫通させたような構造とな
っている。また、前記メインプレート１４は、単純な平
板の上面に複数のオリフィス１６と複数の圧力室１７と
複数のインク流入路１８と一つのインク槽１９とを一体
に形成する凹部２０を形成したような構造となってい
る。

【００２３】そこで、このインクジェットプリンタヘッ
ド１２の前記メインプレート１４の構造を以下に詳述す
る。まず、このメインプレート１４では、平板状の絶縁
基板２１の表面の前半部の中央領域に、圧電性セラミッ
クからなる圧電性部材２２で左右幅が狭く前後長が長い
多数の駆動部２３を連続的に突設し、前記絶縁基板２１
の表面の前半部の両側方に、前記圧電性部材２２で左右
幅が広く前後長が前記駆動部２３と同一の凸部材である
不動部２４を個々に突設し、前記絶縁基板２１の表面の
後部の中央領域に、前記圧電性部材２２で左右幅が前記
駆動部２３と同一で前後長が短い凸部材である多数の不
動部２５を連続的に突設し、前記絶縁基板２１の表面の
後部の両側方に、前記圧電性部材２２で左右幅が前記不
動部２４と同一で前後長が前記不動部２５と同一の凸部
材である不動部２６を個々に突設している。

【００２４】つまり、このメインプレート１４では、前
記絶縁基板２１の表面で前記駆動部２３が存在しない両
側部と後部との位置に、多数の前記不動部２４〜２６を
連続的に突設している。さらに、前記不動部２４，２５
を前記駆動部２３に外側面が連通する直方体状に形成
し、前記不動部２６は前記不動部２４，２５に外側面が
連通する直方体状に形成している。なお、ここで云う外
側面とは、前記絶縁基板２１の表面に直交する右側面と
左側面と前面と後面とを意味している。

【００２５】そこで、このメインプレート１４では、上
述のように前記絶縁基板２１の表面に前記圧電性部材２
２で前記駆動・不動部２３〜２６を連設することで圧力
発生手段２７を形成している。なお、この圧力発生手段
２７は、上述のように前記絶縁基板２１の表面に前記駆
動・不動部２３〜２６を連設する際、前記駆動部２３の
間隙２８と同様な形状の段部２９を前記不動部２４，２
６の両側に形成している。

【００２６】そこで、このメインプレート１４では、上
述のような構造の圧力発生手段２７を、前記駆動部２３
の上面３０が前記圧力室１７の各々の底面に位置するよ
うに樹脂部材３１にインサートすることで、前記駆動部
２３の上面３０を前記圧力発生手段２７の加圧面として
いる。なお、このメインプレート１４では、前記駆動部
２３の上面３０に共通電極３２を形成し、前記駆動部２
３と前記絶縁基板２１との境界面に個別電極３３を形成
している。

【００２７】そして、このメインプレート１４では、前
記樹脂部材３１にインサートする前記圧力発生手段２７
は、前記絶縁基板２１の表面で前記駆動部２３が存在し
ない両側部と後部との位置に多数の前記不動部２４〜２
６を連続的に突設し、前記駆動部２３の間隙２８と同様
な形状の段部２９を前記不動部２４，２６の両側に形成
しているので、前記樹脂部材３１の原材料（図示せず）
が流動する部分の断面積が全体的に均等となっている。

【００２８】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１２では、共通・個別電極３２，３
３間に選択的に印加する駆動電圧に従ってメインプレー
ト１４の圧電性部材２２が縦振動することで駆動部２３
が突出方向に伸縮するので、この駆動部２３の上面３０
の変位で圧力室１７の内部のインク（図示せず）を加圧
してオリフィス１６から吐出させることができる。この
時、メインプレート１４の樹脂部材３１は伸縮する駆動
部２３と共に変形することになるが、ＰＺＴ(Lead Zirc
o Titanate）等の圧電性セラミックからなる駆動部２３
の伸縮は、0.05〜5.0(μm)程度と微少であると共に急速
でもあるので、柔軟な樹脂部材３１は容易に変形するこ
とになる。

【００２９】なお、このようなインクジェットプリンタ
ヘッド１２で、圧力室１７の内部のインクを加圧する手
段としては、印加電圧で圧力発生手段２７の駆動部２３
を急速に突出させることの他、予め印加電圧で後退させ
ておいた駆動部２３を印加電圧の停止で急激に初期状態
に復元させることなども可能である。

【００３０】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド１２のメインプレート１４は、樹脂部材３１に圧力発
生手段２７を射出成形でインサートした構造となってい
るが、この圧力発生手段２７は絶縁基板２１の表面で駆
動部２３が存在しない両側部と後部との位置に多数の不
動部２４〜２６を突設しているので、物性的に接合力が
不足しがちな絶縁基板２１と樹脂部材３１との接合力を
形状的に全面で向上させることができると共に、成形後
の絶縁基板２１と樹脂部材３１との収縮量の格差も軽減
することができる。

【００３１】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド１２では、射出成形で形成したメイン
プレート１４の樹脂部材３１と圧力発生手段２７との接
合力が良好なので、圧力発生手段２７と樹脂部材３１と
の剥離を防止することができ、その信頼性や耐久性が良
好である。

【００３２】しかも、このインクジェットプリンタヘッ
ド１２では、上述のように樹脂部材３１と圧力発生手段
２７との接合力を駆動部２３と共に形成する不動部２４
〜２６で形状的に向上させているので、樹脂部材３１と
の接合力が物性的に強固となる材料で絶縁基板２１を形
成するような必要がなく、物性的に樹脂部材３１との接
合力が不十分となりがちなガラスやセラミック等の絶縁
性の無機材料で絶縁基板２１を形成することができるの
で、その生産性や実用性も良好に維持することができ
る。

【００３３】なお、このようなインクジェットプリンタ
ヘッド１２において、圧力発生手段２７の表面に表面活
性剤であるシランカップリング剤でコーティング層（図
示せず）を形成することで、圧力発生手段２７と樹脂部
材３１との接合力を物性的にも向上させることも実施可
能である。

【００３４】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド１２では、圧力発生手段２７は絶縁基板２１の表面の
全域に不動部２４〜２６を連続的に突設することで、樹
脂部材３１の原材料が流動する部分の断面積を全体的に
均等としている。このようにすることで、このインクジ
ェットプリンタヘッド１２では、圧力発生手段２７を配
置した成形型（図示せず）に充填する樹脂部材３１の原
材料の圧力を全体的に均一とし、成形後の収縮を全体的
に同等として圧力の不足による部分的な収縮の発生を防
止している。

【００３５】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ド１２の製作方法の具体例を、図３ないし図８に基づい
て以下に詳述する。まず、小型の平板状のＰＺＴからな
る圧電性部材２２の表裏面にアルミニウム層（図示せ
ず）を成膜し、これらのアルミニウム層を電極として圧
電性部材２２を板厚方向に分極する。なお、圧電性部材
２２には各種の圧電性セラミックが利用可能であり、電
極にも金属等の各種材料が利用可能である。

【００３６】また、予め前縁部を面取りしたガラス製の
大型の平板状の絶縁基板２１の表面の全域に導電層３４
をスパッタリングで成膜し、図３に例示するように、こ
の導電層３４の前半部の中央領域をエッチングして絶縁
基板２１が露出する矩形の空隙３５を形成する。なお、
絶縁基板２１にはセラミックなども利用可能であり、導
電層３４には金属等の各種材料が利用可能で成膜方法も
蒸着等の各種方法が利用可能である。

【００３７】つぎに、圧電性部材２２の下面の前縁部以
外の位置に導電層３６を形成し、図４に例示するよう
に、この圧電性部材２２の導電層３６を、後縁部以外は
絶縁基板２１に絶縁性接着剤（図示せず）で接着し、後
縁部のみは導電層３４に導電性接着剤３７で接着する。
なお、このような接着剤３７等はスクリーン印刷などで
塗布することができ、これは接合する部材の両方に同一
の接着剤を塗布することや、一方ずつ相違する接着剤を
塗布することが実施可能である。また、ここでは導電性
接着剤３７と絶縁性接着剤とを使い分けることを例示し
たが、これを異方導電性接着剤のみで実現することも実
施可能である。

【００３８】さらに、同図に例示するように、圧電性部
材２２より後方の位置で絶縁基板２１に圧電性セラミッ
クからなるセラミック基板３８を一般的な接着剤（図示
せず）で接着する。なお、この不動部２５，２６となる
セラミック基板３８は、駆動・不動部２３，２４となる
圧電性部材２２と同一条件で切削できることが望まし
い。そこで、このようなセラミック基板３８の材料とし
ては、圧電性セラミックの他に快削性セラミック等も好
適であるが、アルミナやジルコニアも利用可能であり、
このことは絶縁基板２１も同様である。

【００３９】そして、絶縁基板２１の下面を基準として
圧電性部材２２とセラミック基板３８との上面を研磨し
て同一平面とし、全体を所定の板厚に成形する。なお、
圧電性部材２２の板厚は0.05〜1.0(mm）程度で望ましく
は0.1 〜0.5(mm）であり、絶縁基板２１の板厚は0.5 〜
5.0(mm）程度である。

【００４０】つぎに、圧電性部材２２とセラミック基板
３８とを一体化した絶縁基板２１の上面の後半部にマス
ク（図示せず）を形成し、図５に例示するように、露出
した前半部に導電層３９をスパッタリングで成膜してか
らマスクを除去する。なお、この導電層３９は圧電性部
材２２の前面を介して絶縁基板２１の前縁部の導電層３
４に導通する必要があるので、例えば、圧電性部材２２
の前縁部に傾斜面や湾曲面（共に図示せず）を形成する
と共に圧電性部材２２の前面と絶縁基板２１の表面との
境界部に導電性ペーストの肉盛り（図示せず）を形成し
ておくことが望ましい。また、このような導電層３９に
も金属等の各種材料が利用可能であり、その成膜方法も
蒸着等の各種方法が利用可能である。

【００４１】なお、この共通電極３２となる導電層３９
は、構造的に圧力室１７などの内部でインクに接触する
ことになるので、その成膜後に接続端子４０，４１とな
る後縁部以外の部分に耐蝕性の保護層（図示せず）を成
膜することが望ましい。なお、後述するように、共通電
極３２が圧力室１７などの内部でインクに接触しない構
造も実現できるので、この場合は耐蝕性の保護層を共通
電極３２に成膜する必要はない。

【００４２】つぎに、上述のように絶縁基板２１上に一
体化した圧電性部材２２とセラミック基板３８とをダイ
シング加工で分断することで、図１及び図６に例示する
ように、複数の駆動・不動部２３〜２６を絶縁基板２１
の表面に連設した圧力発生手段２７を形成する。そし
て、ここでは不動部２４，２５を駆動部２３に外側面が
連通する直方体状に形成し、不動部２６は不動部２４，
２５に外側面が連通する直方体状に形成しているので、
駆動部２３の分断と不動部２５との分断とを一度のダイ
シング加工で実現することができ、不動部２４，２６の
分断も一度のダイシング加工で実現することができ、そ
の生産性が極めて良好である。

【００４３】なお、このダイシング加工は、駆動・不動
部２３〜２６を確実に分断するために圧電性部材２２の
板厚よりも微少に深く行なう。そして、このダイシング
加工で導電層３４，３６，３９も分断することになる
が、絶縁基板２１の面取りした前縁部の位置では導電層
３４は分断しないので、駆動部２３の上下面に共通・個
別電極３２，３３を形成することができる。

【００４４】なお、上述のようなダイシング加工で形成
する駆動部２３と間隙２８との横幅は0.05〜1.0(mm）程
度とし、駆動部２３の全長は吐出するインク滴の直径な
どの仕様によって相違するが1.0 〜30(mm)程度とする。
また、上述のようにして製作する圧力発生手段２７で
は、共通・個別電極３２，３３は絶縁基板２１の後縁部
の位置まで連続しているので、この位置で接続端子４
０，４１として機能することになる。

【００４５】なお、ここでは絶縁基板２１の全長にダイ
シング加工を行なうことで説明したが、このようなダイ
シング加工は、予め絶縁基板２１の共通・個別電極３
２，３３をエッチング等でパターニングしてあれば、分
断する必要があるのは圧電性部材２２のみで絶縁基板２
１には不要である。さらに、この絶縁基板２１と駆動部
２３とからなる圧力発生手段２７と同一形状の圧力発生
手段（図示せず）を、例えば、圧電性セラミックの射出
成形で一体に形成することも実施可能である。

【００４６】また、上述のようにして形成した圧力発生
手段２７の表面に、樹脂部材３１との接合力を向上させ
るシランカップリング剤のコーティング層（図示せず）
を成膜する場合は、“シランカップリング剤・水・アル
コール”の溶液（図示せず）に圧力発生手段２７を数分
間浸漬させてから十分に乾燥させる。

【００４７】つぎに、上述のようにして製作した圧力発
生手段２７を樹脂部材３１にインサートして射出成形す
ることで、図７に例示するように、その表面に連設した
多数の凹部２０の圧力室１７の底面に駆動部２３の上面
３０が露出したメインプレート１４を形成する。なお、
このメインプレート１４では、樹脂部材３１の凹部２０
のインク槽１９などの底面に不動部２５，２６などの上
面も露出するようになっているが、このような構造とす
る必要はない。そこで、インク槽１９などの深さや不動
部２５，２６の全高を低減すれば、インク槽１９の底面
に不動部２５，２６は露出しないので、この場合は上面
の研磨もセラミック基板３８には不要で圧電性部材２２
だけで良い。

【００４８】また、このメインプレート１４では、上述
のように圧力発生手段２７を樹脂部材３１にインサート
する際、成形型の内部に圧力発生手段２７を配置した状
態で樹脂部材３１の原材料をオリフィス１６が位置する
前方からインク槽１９が位置する後方に向かって注入す
るので、この樹脂部材３１の原材料は絶縁基板２１上で
駆動・不動部２３〜２６の左方と右方と上方とを長手方
向に流動することになる。この時、不動部２４，２５は
駆動部２３に外側面が連通する直方体状に形成し、不動
部２６は不動部２４，２５に外側面が連通する直方体状
に形成しているので、樹脂部材３１の原材料の流動が円
滑で充填が容易である。

【００４９】そして、このメインプレート１４では、上
述のように圧力発生手段２７は駆動部２３が存在しない
位置に不動部２４〜２６を突設しているので、樹脂部材
３１の原材料が流動する部分の断面積が全体的に同等と
なっている。このため、この樹脂部材３１の原材料から
駆動・不動部２３〜２６に作用する圧力が均等で圧電性
部材２２に破壊が生じることがなく、充填する樹脂部材
３１の原材料の圧力も全体的に均一となる。そこで、こ
のように均一な圧力で成形型に充填した樹脂部材３１は
成形後の収縮が全体的に同等となり、圧力の不足による
部分的に過大な収縮が発生しないので、圧力発生手段２
７との密着が良好で剥離の発生を防止することができ
る。

【００５０】なお、上述のように圧力発生手段２７を樹
脂部材３１にインサートする際、この樹脂部材３１の後
面から絶縁基板２１の後縁部を突出させることで、この
絶縁基板２１の後縁部に位置する共通・個別電極３２，
３３の接続端子４０，４１に駆動回路（図示せず）をＦ
ＰＣ(Flexible Printed Circuit)等の配線材（図示せ
ず）で接続するようになっている。

【００５１】なお、ここではメインプレート１４の樹脂
部材３１の表面に連設した凹部２０の底面に圧力発生手
段２７の駆動・不動部２３，２５等が露出することを例
示したが、このような駆動・不動部２３，２５等を樹脂
部材３１の薄膜（図示せず）下に位置させることや、露
出した駆動部２３の上面３０上に専用の保護層（図示せ
ず）を形成することなども可能であり、このようにする
ことでインクによる共通電極３２の腐蝕を防止すること
ができる。

【００５２】また、このようなメインプレート１４の樹
脂部材３１は、成形性、インクに対する耐蝕性、弾性
率、硬度、カバープレート１３との接合性等を考慮して
選択する。例えば、ＰＭＰ(Polymethylpentene）、ＬＣ
Ｐ(Liquid Cristalline Polymer)、ＰＰＳ(Polyphenyle
nesulfide)、ＰＥＳ(Polyethersulfone)、ＰＳＦ(Polys
ulfone）、ＰＰ(Polyphenylene）等が利用可能である。
なお、このような樹脂部材３１の成形温度が圧力発生手
段２７の駆動部２３のキュリー点より低ければ駆動部２
３の分極を維持できるので望ましいが、樹脂部材３１の
射出成形後でもメインプレート１４にインサートした圧
力発生手段２７の駆動部２３を共通・個別電極３２，３
３への通電で分極することは容易である。

【００５３】そして、上述のようなメインプレート１４
とは別に、単純な平板状のカバープレート１３を樹脂や
セラミックで形成し、図１及び図８に例示したように、
このカバープレート１３とメインプレート１４とを一体
に接合することで、前面にオリフィス１６を連設したイ
ンクジェットプリンタヘッド１２を得ることができる。

【００５４】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド１２では、メインプレート１４の駆動
部２３間を柔軟な樹脂部材３１で充填することで、この
樹脂部材３１で駆動部２３上に形成した圧力室１７をカ
バープレート１３で良好に密閉してインクを高効率に加
圧するようになっている。そして、このインクジェット
プリンタヘッド１２では、印刷品質を向上させるために
オリフィス１６や圧力室１７等と共にメインプレート１
４の圧力発生手段２７の駆動部２３を高密度化しても、
この圧力発生手段２７をインサートする樹脂部材３１を
駆動部２３の間隙２８に確実に充填できるので生産性が
極めて良好である。しかも、このインクジェットプリン
タヘッド１２では、圧力発生手段２７をインサートして
凹部２０を形成したメインプレート１４と一体に接合す
るカバープレート１３は単純な平板状で良く、この接合
に高度な位置精度は必要ないので生産性の向上に寄与す
ることができる。

【００５５】なお、このインクジェットプリンタヘッド
１２では、例えば、メインプレート１４に凹部２０とし
て形成するオリフィス１６の横幅と深さとは0.02〜０．
０８（ｍｍ）程度で、圧力室１７の横幅は０．０５〜1.
0(mm）程度で深さは0.02〜0.2(mm）程度となり、このよ
うな寸法の凹部２０は樹脂の射出成形で容易に形成する
ことができる。また、このようなメインプレート１４の
圧力室１７の横幅や前後長は、駆動部２３の上面３０と
同一か微少に大きい寸法で形成し、この駆動部２３や圧
力室１７の前後長でインク滴の吐出性能を調節すること
ができる。

【００５６】なお、このようなカバープレート１３の材
料は、メインプレート１４の場合と同様に成形性、イン
クに対する耐蝕性、メインプレート１４との接合性、弾
性率、硬度等を考慮して選択するが、メインプレート１
４の樹脂部材３１は圧力発生手段２７の駆動部２３と共
に良好に変形するように柔軟性が必要であるのに対し、
カバープレート１３の材料は圧力損失を防止するために
硬度が必要である。しかし、互いの接合性や温度変化に
よる伸長や生産性などを考慮するとカバープレート１３
とメインプレート１４とを同一材料で形成することが望
ましいので、例えば、メインプレート１４の樹脂部材３
１と同一の柔軟な樹脂にガラスフィラーを混入した硬質
な複合材でカバープレート１３を形成することなどが実
施可能である。なお、このようなカバープレート１３は
板厚0.5 〜5.0(mm）程度に形成し、その凹部２０を遮蔽
しない溶着等でメインプレート１４と接合することがで
きれば材料を個別化することは要しない。

【００５７】さらに、このようなインクジェットプリン
タヘッド１２では、インク内の気泡（図示せず）を良好
に排出するため、インクに対するオリフィス１６や圧力
室１７の親液性が良好な材料でカバー・メインプレート
１３，１４を形成することが望ましい。この時、樹脂は
ガラス、金属及びセラミックよりも親液性が低いが、こ
れは既存の技術であるプラズマ処理やグラフト重合等に
よって容易に改善することができる。

【００５８】一方、オリフィス１６が位置するカバー・
メインプレート１３，１４の前面は、インク滴を良好に
吐出できるように親液性が低いことが必要であるので、
上述のような親液性を向上させるための処理を行なう場
合は、カバー・メインプレート１３，１４の前面をマス
クすることや、処理後にカバー・メインプレート１３，
１４の前面を研磨することが望ましい。さらに、このよ
うなインクジェットプリンタヘッド１２の前面に既存の
技術である弗素の雰囲気中でのプラズマ処理を行なうこ
とで、よりインクに対する親液性を低下させることも実
施可能である。

【００５９】また、このインクジェットプリンタヘッド
１２では、メインプレート１４に圧力発生手段２７をイ
ンサートすると共に凹部２０を形成してカバープレート
１３は単純な平板状に形成することを例示したが、本発
明は上記構造に限定するものではなく、一対の本体プレ
ートの両方に凹部を形成したインクジェットプリンタヘ
ッド（図示せず）や、凹部のオリフィスや圧力室などを
部分的に一対の本体プレートに分散したインクジェット
プリンタヘッド（図示せず）や、一対の本体プレートの
両方に圧力発生手段をインサートしたインクジェットプ
リンタヘッド（図示せず）なども実施可能である。

【００６０】ここで、インクジェットプリンタヘッド１
２の製作方法の一変形例を図９及び図１０に基づいて以
下に説明する。なお、以下の説明において事前の説明と
同一となる部分は、同一の名称と符号とを流用して詳細
な説明は省略する。まず、予め前縁部を面取りしたガラ
ス製の大型の平板状の絶縁基板２１の表面の全域に導電
層４２をスパッタリングで成膜し、図９に例示するよう
に、この導電層４２をエッチングして共通・個別電極３
２，３３を形成する。

【００６１】以下は前述した製作方法と同様に絶縁基板
２１に圧電性部材２２やセラミック基板３８を装着して
導電層３９を形成し、図１０に例示するように、ダイシ
ング加工で圧電性部材２２は完全に分断するが、セラミ
ック基板３８の分断は不完全な状態でダイシング加工を
中断する。すると、このセラミック基板３８は、不動部
４３，４４として上部は分断されるが、底部の後半部は
一体に連通した形状となる。

【００６２】このようにすることで、複数の駆動・不動
部２３，２４，４３，４４を絶縁基板２１の表面に連設
して圧力発生手段４５を形成することができ、予めパタ
ーニングした個別電極３２はダイシング加工の分断で形
成する必要はない。そして、この圧力発生手段４５は、
不動部４３，４４は後半部が一体に連通しているので、
その機械強度が良好であると共に絶縁基板２１との接合
力も良好である。

【００６３】また、前述したインクジェットプリンタヘ
ッド１２等の製作方法では、平板状の絶縁基板２１上に
一体に接合した平板状の圧電性部材２２等をダイシング
加工で分断することで、駆動・不動部２３〜２６等を表
面に連設した圧力発生手段２７等を形成することを例示
したが、このような圧力発生手段２７をダイシング加工
することなく製作することも実施可能である。

【００６４】そこで、このような製作方法の他変形例を
図１１及び図１２に基づいて以下に説明する。まず、図
１１に例示するように、幅狭と幅広との凸部４６，４７
を基部４８の中央領域や両側部に一定の間隙２８で連設
した圧電性部材４９を圧電性セラミックの射出成形など
で形成し、凸部４６，４７の上面のみに個別電極３３を
成膜する。

【００６５】そして、図９に例示したように、絶縁基板
２１の上面に共通・個別電極３２，３３をパターニング
しておき、図１２に例示するように、この絶縁基板２１
の個別電極３３と圧電性部材４９の個別電極３３とを異
方導電性接着剤（図示せず）で接着する。つぎに、この
ようにして絶縁基板２１に接合した圧電性部材４９の基
部４８を研磨等で切除することでも、駆動・不動部２
３，２４を表面に連設した圧力発生手段２７を形成する
ことができ、これは不動部２５，２６にも同様に適用可
能である。

【００６６】なお、上述のようにして圧力発生手段２７
を製作する場合、圧電性部材４９の凸部４６，４７の上
面のみに個別電極３３を形成することや、圧電性部材４
９の基部４８の切除で形成した駆動部２４の上面３０の
みに共通電極３２を形成することが必要である。そこ
で、このような電極３２，３３の形成方法としては、必
要な部位以外をマスクや充填材で遮蔽し、この状態で蒸
着やスパッタリング法などの既存の薄膜技術で導電層を
形成してからマスクや充填材を除去することや、凹部２
８の内面を含む全面にメッキ等で導電層を形成した圧電
性部材２９の凸部４６の上面のみをドライフィルムでマ
スクし、この状態でエッチングにより凹部２８の内面の
導電層のみを除去することなどが実施可能である。

【００６７】そこで、上述のような圧電性部材４９を射
出成形で形成する製作方法の一つの具体例を図示するこ
となく以下に詳述する。まず、原材料を計量して混合と
乾燥と仮焼とを順次行い、これを有機バインダと混練し
てから粉砕することで成形材料を形成する。つぎに、こ
の成形材料を射出成形機で溶融させて成形型に充填する
ことで成形品を形成し、その有機成分を脱脂炉で揮発さ
せてから焼成炉で焼成することで、圧電性部材４９を形
成する。

【００６８】そして、この焼成した圧電性部材４９の上
下面を研磨して面出しし、研磨面にスクリーン印刷で銀
ペーストを塗布し、これを焼成して圧電性部材４９の上
下面に導電層を形成する。つぎに、この圧電性部材４９
を80〜160(℃）のシリコンオイルに浸漬して上下面の導
電層に２〜５（kV／mm）の電圧を印加し、この状態で10
〜20分間まで継続させることで圧電性部材４９を分極す
る。

【００６９】そして、このように分極した圧電性部材４
９の上下面の導電層を薬品や機械加工で除去してから上
面にメッキで導電層を形成し、この導電層を凸部４６，
４７の上面のみレジスタの転写でマスクしてからエッチ
ングでパターニングすることで個別電極３３を形成す
る。なお、このような圧電性部材４９の凸部４６，４７
の上面は、ドライフィルムでもマスクすることができ
る。

【００７０】なお、ここでは圧電性部材４９は分極用の
導電層を絶縁基板２１に接合する以前に除去することを
例示したが、凸部４６，４７の上面の導電層を剥離容易
な銀ペーストではなく最初からスパッタリングやスクリ
ーン印刷等の薄膜技術や厚膜技術で形成して最終的に個
別電極３３に利用することも実施可能である。また、圧
電性部材４９の凸部４６，４７のみに個別電極３３を形
成する方法としては、例えば、凹部にレジストを充填し
て凸部４６，４７の上面のレジストをスキージで除去
し、この上面の全域に導電層を成膜してから凹部のレジ
ストを除去することなどでも実施可能である。

【００７１】つぎに、本発明の第二の実施例を図１３及
び図１４に基づいて以下に説明する。なお、これより以
下に例示する各種の実施例においては、それより以前に
説明した実施例と同一の部分は同一の名称と符号とを流
用して詳細な説明は省略する。

【００７２】まず、このインクジェットプリンタヘッド
５０は、一対の本体プレートである流路プレート５１と
駆動プレート５２とを一体に接合した構造となってい
る。そして、前記流路プレート５１は、単純な平板の下
面にオリフィス５３と圧力室５４とインク流入路５５と
インク槽５６とを一体に形成する凹部５７を形成してイ
ンク供給路５８を貫通させた構造となっている。また、
前記駆動プレート５２は、形状的には単純な平板状で圧
力発生手段２７の駆動・不動部２３〜２６の上面３０が
樹脂部材５９の上面に露出した構造となっている。そこ
で、このインクジェットプリンタヘッド５０では、前記
流路・駆動プレート５１，５２を接合することで、圧力
室５４の各々に駆動部２３の各々の上面３０が個々に対
向している。

【００７３】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド５０では、共通・個別電極３２，３
３間に選択的に印加する駆動電圧に従って駆動プレート
５２の圧電性部材２２が縦振動することで駆動部２３が
突出方向に伸縮するので、この駆動部２３の上面３０の
変位で圧力室５４の内部のインク（図示せず）を加圧し
てオリフィス５３から吐出させることができる。

【００７４】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド５０の駆動プレート５２は、樹脂部材５９に圧力発生
手段２７を射出成形でインサートした構造となっている
が、この圧力発生手段２７は絶縁基板２１の表面で駆動
部２３が存在しない両側部と後部との位置に多数の不動
部２４〜２６を突設しているので、物性的に接合力が不
足しがちな絶縁基板２１と樹脂部材５９との接合力を形
状的に全面で向上させることができると共に、成形後の
絶縁基板２１と樹脂部材５９との収縮量の格差も軽減す
ることができる。

【００７５】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド５０では、射出成形で形成した駆動プ
レート５２の樹脂部材５９と圧力発生手段２７との接合
力が良好なので、圧力発生手段２７と樹脂部材５９との
剥離を防止することができ、その信頼性や耐久性が良好
である。

【００７６】しかも、このインクジェットプリンタヘッ
ド５０では、上述のように樹脂部材５９と圧力発生手段
２７との接合力を駆動部２３と共に形成する不動部２４
〜２６で形状的に向上させているので、樹脂部材５９と
の接合力が物性的に強固となる材料で絶縁基板２１を形
成するような必要がなく、物性的に樹脂部材５９との接
合力が不十分となりがちな絶縁性の無機材料で絶縁基板
２１を形成することができるので、その生産性や実用性
も良好に維持することができる。

【００７７】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド５０では、圧力発生手段２７は絶縁基板２１の表面の
全域に不動部２４〜２６を連続的に突設することで、樹
脂部材５９の原材料が流動する部分の断面積を全体的に
均等としている。このようにすることで、このインクジ
ェットプリンタヘッド５０では、圧力発生手段２７を配
置した成形型（図示せず）に充填する樹脂部材５９の原
材料の圧力を全体的に均一とし、成形後の収縮を全体的
に同等として圧力の不足による部分的な収縮の発生を防
止している。

【００７８】ここで、本実施例のインクジェットプリン
タヘッド５０では、一体に接合する流路・駆動プレート
５１，５２の圧力室５４と駆動部２３の上面３０との位
置を一致させる必要があるので、第一の実施例として前
述したインクジェットプリンタヘッド１２に比較すると
生産性が低下することになる。しかし、この第二の実施
例のインクジェットプリンタヘッド５０では、圧力室５
４やオリフィス５３等を形成する凹部５７を連設した流
路プレート５１は駆動部２３をインサートしていないの
で柔軟性が不要であり、その硬度を向上させることで圧
力損失を良好に防止することができる。

【００７９】つぎに、本発明の第三の実施例を図１５な
いし図２２に基づいて以下に説明する。まず、このイン
クジェットプリンタヘッド６０は、図１５及び図１６等
に例示するように、一対の本体プレートであるカバープ
レート１３とメインプレート６１とを一体に接合した構
造となっている。そして、このインプレート６１は、単
純な平板の上面にオリフィス１６や圧力室１７等を一体
に形成する凹部２０を形成したような構造となってい
る。

【００８０】そこで、このインクジェットプリンタヘッ
ド６０の前記メインプレート６１の構造を以下に詳述す
る。まず、このメインプレート６１では、平板状の絶縁
基板２１の表面の前半部の中央領域に、圧電性セラミッ
クからなる圧電性部材２２で左右幅が狭い多数の駆動部
２３を連続的に突設し、前記絶縁基板２１の表面の前半
部の両側方に、圧電性部材２２で駆動部２３より微小に
幅広の不動部６２を二個ずつ突設している。

【００８１】さらに、このメインプレート６１では、前
記不動部６２を駆動部２３に前後の外側面が連通する直
方体状に形成している。そこで、このメインプレート６
１では、上述のように絶縁基板２１の表面に圧電性部材
２２で前記駆動・不動部２３，６２を連設することで圧
力発生手段６４を形成している。

【００８２】なお、この圧力発生手段６４は、上述のよ
うに絶縁基板２１の表面に駆動・不動部２３，６２を連
設する際、駆動部２３の間隙２８と同様な間隙６３で不
動部６２を連設すると共に、前記間隙２８，６３と同様
な形状の段部２９を前記不動部６２の両側に形成してい
る。

【００８３】そして、このメインプレート６１では、上
述のような構造の前記圧力発生手段６４を、駆動部２３
の上面３０が圧力室１７の各々の底面に位置するように
樹脂部材６５にインサートすることで、駆動部２３の上
面３０を前記圧力発生手段６４の加圧面としている。

【００８４】そこで、このメインプレート６１では、樹
脂部材６５にインサートする前記圧力発生手段６４は、
絶縁基板２１の表面で駆動部２３が存在しない両側部の
位置に前記不動部６２を連続的に突設し、駆動部２３の
間隙２８，６３と同様な形状の段部２９を不動部６２の
両側に形成しているので、樹脂部材６５の原材料（図示
せず）が流動する部分の断面積が前半部では均等となっ
ている。

【００８５】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド６０では、共通・個別電極３２，３
３間に選択的に印加する駆動電圧に従ってメインプレー
ト６１の圧電性部材２２が縦振動することで駆動部２３
が突出方向に伸縮するので、この駆動部２３の上面３０
の変位で圧力室１７の内部のインク（図示せず）を加圧
してオリフィス１６から吐出させることができる。

【００８６】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド６０のメインプレート６１は、樹脂部材６５に圧力発
生手段６４を射出成形でインサートした構造となってい
るが、この圧力発生手段６４は絶縁基板２１の表面で駆
動部２３が存在しない両側部の位置に不動部６２を突設
しているので、物性的に接合力が不足しがちな絶縁基板
２１と樹脂部材６５との接合力を向上させることができ
ると共に、成形後の絶縁基板２１と樹脂部材６５との収
縮量の格差も軽減することができる。

【００８７】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド６０では、射出成形で形成したメイン
プレート６１の樹脂部材６５と圧力発生手段６４との接
合力が良好なので、圧力発生手段６４と樹脂部材６５と
の剥離を防止することができ、その信頼性や耐久性が良
好である。

【００８８】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド６０では、上述のように樹脂部材６５と圧力発生手段
６４との接合力を駆動部２３と共に形成する不動部６２
で形状的に向上させているので、樹脂部材６５との接合
力が物性的に強固となる材料で絶縁基板２１を形成する
ような必要がなく、物性的に樹脂部材６５との接合力が
不十分となりがちな絶縁性の無機材料で絶縁基板２１を
形成することができるので、その生産性や実用性も良好
に維持することができる。

【００８９】なお、このインクジェットプリンタヘッド
６０では、圧力発生手段６４と樹脂部材６５との接合力
を向上させる不動部６２を駆動部２３の両側部のみに設
けて後半部には設けていないので、この後半部にも不動
部２５，２６を設けた第一の実施例のインクジェットプ
リンタヘッド１２に比較すると、圧力発生手段６４と樹
脂部材６５との後半部の接合力が不足して剥離が発生す
る懸念がある。しかし、実際には剥離の発生が重要な問
題となるのは圧力室１７の位置なので、この両側部で圧
力発生手段６４と樹脂部材６５との接合力を向上させる
ことは実用的である。

【００９０】なお、このインクジェットプリンタヘッド
６０では、圧力発生手段６４の表面に表面活性剤である
シランカップリング剤でコーティング層（図示せず）を
形成することで、圧力発生手段６４と樹脂部材６５との
接合力を物性的にも向上させることが好適である。

【００９１】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド６０では、圧力発生手段６４は絶縁基板２１の表面で
駆動部２３の両側方に略同形状の不動部６２を同一の間
隙２８，６３を介して連設することで、樹脂部材６５の
原材料が流動する部分の断面積を前半部で精緻に均等と
している。このようにすることで、このインクジェット
プリンタヘッド６０では、圧力発生手段６４を配置した
成形型（図示せず）に充填する樹脂部材６５の原材料の
圧力を前半部で均一とし、成形後の収縮を前半部で同等
として圧力の不足による部分的な収縮の発生を防止して
いる。

【００９２】ここで、このインクジェットプリンタヘッ
ド６０の製作方法の具体例を、図１７ないし図２２に基
づいて以下に説明する。まず、ＰＺＴからなる圧電性部
材２２を表裏面に成膜したアルミニウム層（図示せず）
を電極として板厚方向に分極する。

【００９３】また、予め前縁部を面取りしたガラス製の
大型の平板状の絶縁基板２１の表面の全域に導電層３４
をスパッタリングで成膜し、図１７に例示するように、
この導電層３４の前半部の中央領域をエッチングして絶
縁基板２１が露出する矩形の空隙３５を形成する。

【００９４】つぎに、圧電性部材２２の下面の前縁部以
外の位置に導電層３６を形成し、図１８に例示するよう
に、この圧電性部材２２の導電層３６を、後縁部以外は
絶縁基板２１に絶縁性接着剤（図示せず）で接着し、後
縁部のみは導電層３４に導電性接着剤３７で接着する。

【００９５】そして、絶縁基板２１の下面を基準として
圧電性部材２２の上面を研磨して同一平面とし、全体を
所定の板厚に成形する。なお、圧電性部材２２の板厚は
0.05〜1.0(mm）程度で望ましくは0.1 〜0.5(mm）であ
り、絶縁基板２１の板厚は0.5〜5.0(mm）程度である。

【００９６】つぎに、圧電性部材２２を一体化した絶縁
基板２１の上面の後半部にマスク（図示せず）を形成
し、図１９に例示するように、露出した前半部に導電層
３９をスパッタリングで成膜してからマスクを除去す
る。

【００９７】つぎに、上述のように絶縁基板２１上に一
体化した圧電性部材２２をダイシング加工で分断するこ
とで、図１５及び図２０に例示するように、略同形状の
複数の駆動・不動部２３，６２を絶縁基板２１の表面の
前半部に同一の間隙２８，６３を介して連設した圧力発
生手段６４を形成する。そして、ここでは不動部６２を
駆動部２３に前後の外側面が連通する直方体状に形成し
ているので、これら駆動・不動部２３，６２を一個の圧
電性部材２２のダイシング加工で形成することができて
生産性が良好である。

【００９８】そして、このダイシング加工で導電層３
４，３６，３９も分断することになるが、絶縁基板２１
の面取りした前縁部の位置では導電層３４は分断しない
ので、駆動部２３の上下面に共通・個別電極３２，３３
を形成することができる。

【００９９】なお、上述のようなダイシング加工で形成
する駆動・不動部２３，６２と間隙２８，６３との横幅
は0.05〜1.0(mm）程度とし、駆動部２３の全長は吐出す
るインク滴の直径などの仕様によって相違するが1.0 〜
30(mm)程度とする。また、上述のようにして製作する圧
力発生手段６４では、共通・個別電極３２，３３は絶縁
基板２１の後縁部の位置まで連続しているので、この位
置で接続端子４０，４１として機能することになる。

【０１００】また、上述のようにして形成した圧力発生
手段６４の表面に、樹脂部材６５との接合力を向上させ
るシランカップリング剤のコーティング層（図示せず）
を成膜する場合は、“シランカップリング剤・水・アル
コール”の溶液（図示せず）に圧力発生手段６４を数分
間浸漬させてから十分に乾燥させる。なお、このような
コーティング層を形成する以前に、圧力発生手段６４の
表面にプラズマ処理や紫外線照射などを実行すること
で、さらに圧力発生手段６４と樹脂部材６５との接合力
を向上させることも実施可能である。

【０１０１】つぎに、上述のようにして製作した圧力発
生手段６４を樹脂部材６５にインサートして射出成形す
ることで、図２１に例示するように、その表面に連設し
た多数の凹部２０の圧力室１７の底面に駆動部２３の上
面３０が露出したメインプレート６１を形成する。

【０１０２】また、このメインプレート６１では、上述
のように圧力発生手段６４を樹脂部材６５にインサート
する際、成形型の内部に圧力発生手段６４を配置した状
態で樹脂部材６５の原材料をオリフィス１６が位置する
前方からインク槽１９が位置する後方に向かって注入す
るので、この樹脂部材６５の原材料は絶縁基板２１上で
駆動・不動部２３，６２の左方と右方と上方とを長手方
向に流動することになる。

【０１０３】そして、このメインプレート６１では、上
述のように圧力発生手段６４は駆動部２３が存在しない
両側方の位置に不動部６２を突設しているので、樹脂部
材３１の原材料が流動する部分の断面積が前半部で精緻
に同等となっている。このため、この樹脂部材３１の原
材料から駆動・不動部２３，６２に作用する圧力が均等
で圧電性部材２２に破壊が生じることがなく、充填する
樹脂部材３１の原材料の圧力も前半部で精緻に均一とな
る。そこで、このように均一な圧力で成形型に充填した
樹脂部材３１は成形後の収縮が前半部で同等となり、圧
力の不足による部分的に過大な収縮が前半部に発生しな
いので、圧力発生手段６４との密着が前半部で良好で剥
離の発生を防止することができる。

【０１０４】なお、このようなメインプレート６１の樹
脂部材３１は、成形性、インクに対する耐蝕性、弾性
率、硬度、カバープレート１３との接合性等を考慮して
選択する。例えば、ＰＭＰ、ＬＣＰ、ＰＰＳ、ＰＥＳ、
ＰＳＦ、ＰＰ等が利用可能である。

【０１０５】そして、上述のようなメインプレート６１
とは別に、単純な平板状のカバープレート１３を樹脂や
セラミックで形成し、図１５及び図２２に例示したよう
に、このカバープレート１３とメインプレート６１とを
一体に接合することで、前面にオリフィス１６を連設し
たインクジェットプリンタヘッド６０を得ることができ
る。

【０１０６】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド６０では、メインプレート６１の駆動
部２３間を柔軟な樹脂部材３１で充填することで、この
樹脂部材３１で駆動部２３上に形成した圧力室１７をカ
バープレート１３で良好に密閉してインクを高効率に加
圧するようになっている。そして、このインクジェット
プリンタヘッド６０では、印刷品質を向上させるために
オリフィス１６や圧力室１７等と共にメインプレート６
１の圧力発生手段６４の駆動部２３を高密度化しても、
この圧力発生手段６４をインサートする樹脂部材３１を
駆動部２３の間隙２８に確実に充填できるので生産性が
極めて良好である。しかも、このインクジェットプリン
タヘッド６０では、圧力発生手段６４をインサートして
凹部２０を形成したメインプレート６１と一体に接合す
るカバープレート１３は単純な平板状で良く、この接合
に高度な位置精度は必要ないので生産性の向上に寄与す
ることができる。

【０１０７】また、上述したインクジェットプリンタヘ
ッド６０等の製作方法では、平板状の絶縁基板２１上に
一体に接合した平板状の圧電性部材２２等をダイシング
加工で分断することで、駆動・不動部２３，６２を表面
に連設した圧力発生手段６４を形成することを例示した
が、このような圧力発生手段６４をダイシング加工する
ことなく製作することも実施可能である。

【０１０８】そこで、このような製作方法の他変形例を
図２３及び図２４に基づいて以下に説明する。まず、図
２３に例示するように、略同形状の凸部６６，６７を基
部６８の中央領域や両側部に一定の間隙２８，６３で連
設した圧電性部材６９を圧電性セラミックの射出成形な
どで形成し、凸部６６，６７の上面のみに個別電極３３
を成膜する。

【０１０９】そして、絶縁基板２１の上面に共通・個別
電極３２，３３をパターニングしておき、図２４に例示
するように、この絶縁基板２１の個別電極３３と圧電性
部材６９の個別電極３３とを異方導電性接着剤（図示せ
ず）で接着する。つぎに、このようにして絶縁基板２１
に接合した圧電性部材６９の基部６８を研磨等で切除す
ることで、駆動・不動部２３，６２を表面に連設した圧
力発生手段６４を形成することができる。

【０１１０】つぎに、本発明の第四の実施例を図２５及
び図２６に基づいて以下に説明する。まず、このインク
ジェットプリンタヘッド７０は、一対の本体プレートで
ある流路プレート５１と駆動プレート７１とを一体に接
合した構造となっている。そして、前記駆動プレート７
１は、形状的には単純な平板状で圧力発生手段６４の駆
動・不動部２３，６２の上面３０等が樹脂部材７２の上
面に露出した構造となっている。そこで、このインクジ
ェットプリンタヘッド７０では、前記流路・駆動プレー
ト５１，７１を接合することで、圧力室５４の各々に駆
動部２３の各々の上面３０が個々に対向している。

【０１１１】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド７０では、共通・個別電極３２，３
３間に選択的に印加する駆動電圧に従って駆動プレート
７１の圧電性部材２２が縦振動することで駆動部２３が
突出方向に伸縮するので、この駆動部２３の上面３０の
変位で圧力室５４の内部のインク（図示せず）を加圧し
てオリフィス５３から吐出させることができる。

【０１１２】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド７０の駆動プレート７１は、樹脂部材７２に圧力発生
手段６４を射出成形でインサートした構造となっている
が、この圧力発生手段６４は絶縁基板２１の表面で駆動
部２３が存在しない両側部の位置に不動部６２を一定の
間隙２８，６３で突設しているので、物性的に接合力が
不足しがちな絶縁基板２１と樹脂部材７２との接合力を
形状的に全面で向上させることができると共に、成形後
の絶縁基板２１と樹脂部材７２との収縮量の格差も軽減
することができる。

【０１１３】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド７０では、射出成形で形成した駆動プ
レート７１の樹脂部材７２と圧力発生手段６４との接合
力が良好なので、圧力発生手段６４と樹脂部材７２との
剥離を防止することができ、その信頼性や耐久性が良好
である。

【０１１４】しかも、このインクジェットプリンタヘッ
ド７０では、上述のように樹脂部材７２と圧力発生手段
６４との接合力を駆動部２３と共に形成する不動部６２
で形状的に向上させているので、樹脂部材７２との接合
力が物性的に強固となる材料で絶縁基板２１を形成する
ような必要がなく、物性的に樹脂部材７２との接合力が
不十分となりがちな絶縁性の無機材料で絶縁基板２１を
形成することができるので、その生産性や実用性も良好
に維持することができる。

【０１１５】なお、このインクジェットプリンタヘッド
７０では、圧力発生手段６４と樹脂部材７２との接合力
を向上させる不動部６２を駆動部２３の両側部のみに設
けて後半部には設けていないので、この後半部にも不動
部２５，２６を設けた第一の実施例のインクジェットプ
リンタヘッド１２に比較すると、圧力発生手段６４と樹
脂部材７２との後半部の接合力が不足して剥離が発生す
る懸念がある。しかし、実際には剥離の発生が重要な問
題となるのは圧力室５４の位置なので、この両側部で圧
力発生手段６４と樹脂部材７２との接合力を向上させる
ことは実用的である。

【０１１６】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド７０では、駆動プレート７１は後半部に不動部２５，
２６が位置しないので流路プレート５１との接合面にお
ける樹脂部材７２の占有割合が、後半部にも不動部２
５，２６を設けた第一の実施例のインクジェットプリン
タヘッド１２に比較すると多大である。このため、この
インクジェットプリンタヘッド７０では、特に流路・駆
動プレート５１，７１を溶着で接合する場合に接合面に
おいて樹脂同士が溶着する面積が増加しているので、第
一の実施例のインクジェットプリンタヘッド１２に比較
して流路・駆動プレート５１，７１の接合強度が向上し
ている。

【０１１７】なお、このインクジェットプリンタヘッド
７０では、圧力発生手段６４の表面に表面活性剤である
シランカップリング剤でコーティング層（図示せず）を
形成することで、圧力発生手段６４と樹脂部材７２との
接合力を物性的にも向上させることが好適である。

【０１１８】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド７０では、圧力発生手段６４は絶縁基板２１の表面で
駆動部２３の両側方に略同形状の不動部６２を同一の間
隙２８，６３を介して連設することで、樹脂部材７２の
原材料が流動する部分の断面積を前半部で精緻に均等と
している。このようにすることで、このインクジェット
プリンタヘッド７０では、圧力発生手段６４を配置した
成形型（図示せず）に充填する樹脂部材７２の原材料の
圧力を前半部で均一とし、成形後の収縮を前半部で同等
として圧力の不足による部分的な収縮の発生を防止して
いる。

【０１１９】そして、この第二の実施例のインクジェッ
トプリンタヘッド７０では、圧力室５４やオリフィス５
３等を形成する凹部５７を連設した流路プレート５１は
駆動部２３をインサートしていないので柔軟性が不要で
あり、その硬度を向上させることで圧力損失を良好に防
止することができる。

【０１２０】つぎに、本発明の第五の実施例を図２７に
基づいて以下に説明する。まず、このインクジェットプ
リンタヘッド７３は、一対の本体プレートであるカバー
プレート１３とメインプレート７４とを一体に接合した
構造となっている。そして、このメインプレート７４
は、単純な平板の上面に複数のオリフィス１６と複数の
圧力室１７と複数のインク流入路１８と一つのインク槽
１９とを一体に形成する凹部２０を形成したような構造
となっている。

【０１２１】そこで、このインクジェットプリンタヘッ
ド７３の前記メインプレート７４の構造を以下に詳述す
る。まず、このメインプレート７４では、平板状の絶縁
基板２１の表面の前半部の中央領域に、圧電性セラミッ
クからなる圧電性部材２２で左右幅が狭く前後長が長い
多数の駆動部２３を連続的に突設し、絶縁基板２１の表
面の前半部の両側方に、圧電性部材２２で左右幅が駆動
部２３より微小に広く前後長が駆動部２３と同一の凸部
材である不動部６２を二個ずつ突設し、絶縁基板２１の
表面の後部の中央領域に、圧電性部材２２で左右幅が駆
動部２３と同一で前後長が短い凸部材である多数の不動
部２５を連続的に突設し、絶縁基板２１の表面の後部の
両側方に、圧電性部材２２で左右幅が不動部６２と同一
で前後長が前記不動部２５と同一の凸部材である不動部
７５を二個ずつ突設している。

【０１２２】つまり、このメインプレート７４では、絶
縁基板２１の表面で駆動部２３が存在しない両側部と後
部との位置に、多数の前記不動部２５，６２，７５を連
続的に突設している。さらに、前記不動部２５，６２を
駆動部２３に外側面が連通する直方体状に形成し、前記
不動部７５は前記不動部２５，６２に外側面が連通する
直方体状に形成している。

【０１２３】そこで、このメインプレート７４では、上
述のように絶縁基板２１の表面に圧電性部材２２で駆動
・不動部２３，２５，６２，７５を連設することで圧力
発生手段７６を形成している。なお、この圧力発生手段
７６は、上述のように絶縁基板２１の表面に駆動・不動
部２３，２５，６２，７５を連設する際、駆動・不動部
２３，２５の間隙２８と同様な間隙６３で不動部６２，
７５を連設すると共に、前記間隙２８，６３と同様な形
状の段部２９を前記不動部６２，７５の両側に形成して
いる。

【０１２４】そこで、このメインプレート７４では、上
述のような構造の圧力発生手段７６を、駆動部２３の上
面３０が圧力室１７の各々の底面に位置するように樹脂
部材７７にインサートすることで、駆動部２３の上面３
０を前記圧力発生手段７６の加圧面としている。

【０１２５】そして、このメインプレート７４では、前
記樹脂部材７７にインサートする前記圧力発生手段７６
は、絶縁基板２１の表面で駆動部２３が存在しない両側
部と後部との位置に多数の前記不動部２５，６２，７５
を一定の間隙２８，６３で連設し、駆動部２３の間隙２
８，６３と同様な形状の段部２９を前記不動部６２，７
５の両側に形成しているので、樹脂部材７７の原材料
（図示せず）が流動する部分の断面積が全体的に精緻に
均等となっている。

【０１２６】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド７３では、共通・個別電極３２，３
３間に選択的に印加する駆動電圧に従ってメインプレー
ト７４の圧電性部材２２が縦振動することで駆動部２３
が突出方向に伸縮するので、この駆動部２３の上面３０
の変位で圧力室１７の内部のインク（図示せず）を加圧
してオリフィス１６から吐出させることができる。

【０１２７】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド７３のメインプレート７４は、樹脂部材７７に圧力発
生手段７６を射出成形でインサートした構造となってい
るが、この圧力発生手段７６は絶縁基板２１の表面で駆
動部２３が存在しない両側部と後部との位置に多数の不
動部２５，６２，７５を突設しているので、物性的に接
合力が不足しがちな絶縁基板２１と樹脂部材７７との接
合力を形状的に全面で向上させることができると共に、
成形後の絶縁基板２１と樹脂部材７７との収縮量の格差
も軽減することができる。

【０１２８】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド７３では、射出成形で形成したメイン
プレート７４の樹脂部材７７と圧力発生手段７６との接
合力が良好なので、圧力発生手段７６と樹脂部材７７と
の剥離を防止することができ、その信頼性や耐久性が良
好である。

【０１２９】しかも、このインクジェットプリンタヘッ
ド７３では、上述のように樹脂部材７７と圧力発生手段
７６との接合力を駆動部２３と共に形成する不動部２
５，６２，７５で形状的に向上させているので、樹脂部
材７７との接合力が物性的に強固となる材料で絶縁基板
２１を形成するような必要がなく、物性的に樹脂部材７
７との接合力が不十分となりがちな絶縁性の無機材料で
絶縁基板２１を形成することができるので、その生産性
や実用性も良好に維持することができる。

【０１３０】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド７３では、圧力発生手段７６は絶縁基板２１の表面の
全域に不動部２５，６２，７５を連続的に突設すること
で、樹脂部材７７の原材料が流動する部分の断面積を全
体的に精緻に均等としている。このようにすることで、
このインクジェットプリンタヘッド７３では、圧力発生
手段７６を配置した成形型（図示せず）に充填する樹脂
部材７７の原材料の圧力を全体的に精緻に均一とし、成
形後の収縮を全体的に同等として圧力の不足による部分
的な収縮の発生を防止している。

【０１３１】また、このメインプレート７４では、上述
のように圧力発生手段７６を樹脂部材７７にインサート
する際、成形型の内部に圧力発生手段７６を配置した状
態で樹脂部材７７の原材料をオリフィス１６が位置する
前方からインク槽１９が位置する後方に向かって注入す
るので、この樹脂部材７７の原材料は絶縁基板２１上で
駆動・不動部２３，２５，６２，７５の左方と右方と上
方とを長手方向に流動することになる。この時、不動部
２５，６２は駆動部２３に外側面が連通する直方体状に
形成し、不動部７５は不動部２５，６２に外側面が連通
する直方体状に形成しているので、樹脂部材７７の原材
料の流動が円滑で充填が容易である。

【０１３２】そして、このメインプレート７４では、上
述のように圧力発生手段７６は駆動部２３が存在しない
位置に不動部２５，６２，７５を突設しているので、樹
脂部材７７の原材料が流動する部分の断面積が全体的に
同等となっている。このため、この樹脂部材７７の原材
料から駆動・不動部２３，２５，６２，７５に作用する
圧力が均等で圧電性部材２２に破壊が生じることがな
く、充填する樹脂部材７７の原材料の圧力も全体的に均
一となる。そこで、このように均一な圧力で成形型に充
填した樹脂部材７７は成形後の収縮が全体的に同等とな
り、圧力の不足による部分的に過大な収縮が発生しない
ので、圧力発生手段７６との密着が良好で剥離の発生を
防止することができる。

【０１３３】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド７３では、メインプレート７４の駆動
部２３間を柔軟な樹脂部材７７で充填することで、この
樹脂部材７７で駆動部２３上に形成した圧力室１７をカ
バープレート１３で良好に密閉してインクを高効率に加
圧するようになっている。そして、このインクジェット
プリンタヘッド７３では、印刷品質を向上させるために
オリフィス１６や圧力室１７等と共にメインプレート７
４の圧力発生手段７６の駆動部２３を高密度化しても、
この圧力発生手段７６をインサートする樹脂部材７７を
駆動部２３の間隙２８に確実に充填できるので生産性が
極めて良好である。しかも、このインクジェットプリン
タヘッド７３では、圧力発生手段７６をインサートして
凹部２０を形成したメインプレート７４と一体に接合す
るカバープレート１３は単純な平板状で良く、この接合
に高度な位置精度は必要ないので生産性の向上に寄与す
ることができる。

【０１３４】つぎに、本発明の第六の実施例を図２８に
基づいて以下に説明する。まず、このインクジェットプ
リンタヘッド７８は、一対の本体プレートである流路プ
レート５１と駆動プレート７９とを一体に接合した構造
となっている。そして、この駆動プレート７９は、形状
的には単純な平板状で圧力発生手段７６の駆動・不動部
２３，２５，６２，７５の上面３０等が樹脂部材８０の
上面に露出した構造となっている。そこで、このインク
ジェットプリンタヘッド７８では、前記流路・駆動プレ
ート５１，７９を接合することで、圧力室５４の各々に
駆動部２３の各々の上面３０が個々に対向している。

【０１３５】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド７８では、共通・個別電極３２，３
３間に選択的に印加する駆動電圧に従って駆動プレート
７９の圧電性部材２２が縦振動することで駆動部２３が
突出方向に伸縮するので、この駆動部２３の上面３０の
変位で圧力室５４の内部のインク（図示せず）を加圧し
てオリフィス５３から吐出させることができる。

【０１３６】そして、このインクジェットプリンタヘッ
ド７８の駆動プレート７９は、樹脂部材８０に圧力発生
手段７６を射出成形でインサートした構造となっている
が、この圧力発生手段７６は絶縁基板２１の表面で駆動
部２３が存在しない両側部と後部との位置に多数の不動
部２５，６２，７５を突設しているので、物性的に接合
力が不足しがちな絶縁基板２１と樹脂部材８０との接合
力を形状的に全面で向上させることができると共に、成
形後の絶縁基板２１と樹脂部材８０との収縮量の格差も
軽減することができる。

【０１３７】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド７８では、射出成形で形成した駆動プ
レート７９の樹脂部材８０と圧力発生手段７６との接合
力が良好なので、圧力発生手段７６と樹脂部材８０との
剥離を防止することができ、その信頼性や耐久性が良好
である。

【０１３８】しかも、このインクジェットプリンタヘッ
ド７８では、上述のように樹脂部材８０と圧力発生手段
７６との接合力を駆動部２３と共に形成する不動部２
５，６２，７５で形状的に向上させているので、樹脂部
材８０との接合力が物性的に強固となる材料で絶縁基板
２１を形成するような必要がなく、物性的に樹脂部材８
０との接合力が不十分となりがちな絶縁性の無機材料で
絶縁基板２１を形成することができるので、その生産性
や実用性も良好に維持することができる。

【０１３９】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド７８では、圧力発生手段７６は絶縁基板２１の表面の
全域に不動部２５，６２，７５を連続的に突設すること
で、樹脂部材８０の原材料が流動する部分の断面積を全
体的に精緻に均等としている。このようにすることで、
このインクジェットプリンタヘッド７８では、圧力発生
手段７６を配置した成形型（図示せず）に充填する樹脂
部材８０の原材料の圧力を全体的に精緻に均一とし、成
形後の収縮を全体的に同等として圧力の不足による部分
的な収縮の発生を防止している。

【０１４０】さらに、このインクジェットプリンタヘッ
ド７８では、駆動プレート７９は流路プレート５１との
接合面における樹脂部材８０の占有割合が第一の実施例
のインクジェットプリンタヘッド１２に比較すると多大
であるので、特に流路・駆動プレート５１，７１を溶着
で接合する場合に樹脂同士の溶着面積が増加して接合強
度が向上している。

【０１４１】しかも、このインクジェットプリンタヘッ
ド７８では、圧力室５４やオリフィス５３等を形成する
凹部５７を連設した流路プレート５１は駆動部２３をイ
ンサートしていないので柔軟性が不要であり、その硬度
を向上させることで圧力損失を良好に防止することがで
きる。

【０１４２】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、樹脂部材に接合
する基板の表面で駆動部が存在しない位置に凸部材を突
設したことにより、樹脂部材と基板との接合力を向上さ
せて剥離の発生を防止することができるので、信頼性や
耐久性が良好なインクジェットプリンタヘッドを得るこ
とができる等の効果を有する。

【０１４３】請求項２記載の発明は、駆動部に外側面が
連通する直方体状に凸部材を形成したことにより、一個
の部材のダイシング加工で駆動部と凸部材とを同時に形
成することができると共に、駆動部と凸部材との間隙に
おける樹脂部材の原材料の流動を良好にすることもでき
るので、生産性や信頼性や耐久性が良好なインクジェッ
トプリンタヘッドを得ることができる等の効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例のインクジェットプリン
タヘッドを示す分解斜視図である。

【図２】第一の実施例のインクジェットプリンタヘッド
の内部構造を示す縦断正面図である。

【図３】インクジェットプリンタヘッドの製作工程にお
いて絶縁基板の表面に導電層を成膜した状態を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断側面図である。

【図４】製作工程において絶縁基板の表面に圧電性部材
等を装着した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦
断側面図である。

【図５】製作工程において絶縁基板と圧電性部材との表
面に導電層を成膜した状態を示し、（ａ）は平面図、
（ｂ）は縦断側面図である。

【図６】製作工程において圧力発生手段が完成した状態
を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断側面図である。

【図７】製作工程において本体プレートであるメインプ
レートが完成した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）
は縦断側面図である。

【図８】製作工程においてインクジェットプリンタヘッ
ドが完成した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦
断側面図である。

【図９】一変形例の製作工程において絶縁基板に導電層
を成膜した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断
側面図である。

【図１０】一変形例の製作工程において圧力発生手段が
完成した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断側
面図である。

【図１１】他変形例の製作工程において圧電性部材を形
成した状態を示す斜視図である。

【図１２】他変形例の製作工程において圧電性部材等を
絶縁基板に装着した状態を示す斜視図である。

【図１３】本発明の第二の実施例のインクジェットプリ
ンタヘッドを示す分解斜視図である。

【図１４】第二の実施例のインクジェットプリンタヘッ
ドの内部構造を示す縦断正面図である。

【図１５】本発明の第三の実施例のインクジェットプリ
ンタヘッドを示す分解斜視図である。

【図１６】第三の実施例のインクジェットプリンタヘッ
ドの内部構造を示す縦断正面図である。

【図１７】インクジェットプリンタヘッドの製作工程に
おいて絶縁基板の表面に導電層を成膜した状態を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断側面図である。

【図１８】製作工程において絶縁基板の表面に圧電性部
材を装着した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦
断側面図である。

【図１９】製作工程において絶縁基板と圧電性部材との
表面に導電層を成膜した状態を示し、（ａ）は平面図、
（ｂ）は縦断側面図である。

【図２０】製作工程において圧力発生手段が完成した状
態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は縦断側面図であ
る。

【図２１】製作工程において本体プレートであるメイン
プレートが完成した状態を示し、（ａ）は平面図、
（ｂ）は縦断側面図である。

【図２２】製作工程においてインクジェットプリンタヘ
ッドが完成した状態を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は
縦断側面図である。

【図２３】一変形例の製作工程において圧電性部材を形
成した状態を示す斜視図である。

【図２４】一変形例の製作工程において圧電性部材を絶
縁基板に装着した状態を示す斜視図である。

【図２５】本発明の第四の実施例のインクジェットプリ
ンタヘッドを示す分解斜視図である。

【図２６】第四の実施例のインクジェットプリンタヘッ
ドの内部構造を示す縦断正面図である。

【図２７】本発明の第五の実施例のインクジェットプリ
ンタヘッドを示す分解斜視図である。

【図２８】本発明の第六の実施例のインクジェットプリ
ンタヘッドを示す分解斜視図である。

【図２９】従来例のインクジェットプリンタヘッドの内
部構造を示す縦断正面図である。

【符号の説明】

１２，５０，６０，７０，７３，７８ インクジ
ェットプリンタヘッド １３，１４，５１，５２，６１，７３，７４，７９
本体プレート １５
インク供給路 １６，５３
オリフィス １７，５４
圧力室 ２０，５７
凹部 ２１
基板 ２２，４９，６９
圧電性部材 ２３
駆動部 ２４〜２６，４３，４４，６２，７５
凸部材 ２７，４５，６４，７６
圧力発生手段 ３０
加圧面 ３１，５９，６５，７２，７７，８０
樹脂部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の表面上に圧電性部材からなる複数
   の駆動部を連設して圧力発生手段を形成し、この圧力発
   生手段をインサートした樹脂部材で一対の本体プレート
   の少なくとも一方を形成し、一対の前記本体プレートの
   少なくとも一方の接合面にオリフィスとインク供給路と
   が各々連通した複数の圧力室を凹部で形成し、前記圧力
   室に対向する変位自在な加圧面を前記圧力発生手段の前
   記駆動部で形成したインクジェットプリンタヘッドにお
   いて、前記樹脂部材に接合する前記基板の表面で前記駆
   動部が存在しない位置に凸部材を突設したことを特徴と
   するインクジェットプリンタヘッド。
2. 【請求項２】 駆動部に外側面が連通する直方体状に凸
   部材を形成したことを特徴とする請求項１記載のインク
   ジェットプリンタヘッド。