JPH0796703B2 - 真空蒸着方法 - Google Patents
真空蒸着方法Info
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- JPH0796703B2 JPH0796703B2 JP15258888A JP15258888A JPH0796703B2 JP H0796703 B2 JPH0796703 B2 JP H0796703B2 JP 15258888 A JP15258888 A JP 15258888A JP 15258888 A JP15258888 A JP 15258888A JP H0796703 B2 JPH0796703 B2 JP H0796703B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ポリフェニレンスルフィドフィルムの真空蒸
着方法に関するものである。
着方法に関するものである。
［従来の技術］ 従来、特開昭60−255978などに、ポリフェニレンスルフ
ィドフィルムにアルミニウムなどを真空蒸着して金属化
フィルムとすること、およびその金属化フィルムをコン
デンサなどの用途に用いることが開示されている。ま
た、金属化フィルムの製造に巻取式真空蒸着機を用いる
ことも広く知られている。
ィドフィルムにアルミニウムなどを真空蒸着して金属化
フィルムとすること、およびその金属化フィルムをコン
デンサなどの用途に用いることが開示されている。ま
た、金属化フィルムの製造に巻取式真空蒸着機を用いる
ことも広く知られている。
［発明が解決しようとする課題］ しかし従来、ポリフェニレンスルフィドフィルムに、巻
取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時、蒸着機の冷却キ
ャン上でフィルムにしわが生じやすく、蒸発金属の潜熱
でしわが固定されて、金属化フィルムにしわが残って平
面性が悪くなる現象（以下「熱負け」ということがあ
る）が起こりやすいという欠点があった。この「熱負
け」が発生した金属化フィルムを、切断してコンデンサ
用テープなどを製造しようとすると、寸法精度が悪くな
り、例えばマージン部（非蒸着部）の幅が変動して、コ
ンデンサの不良の原因となるなどの悪影響がある。
取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時、蒸着機の冷却キ
ャン上でフィルムにしわが生じやすく、蒸発金属の潜熱
でしわが固定されて、金属化フィルムにしわが残って平
面性が悪くなる現象（以下「熱負け」ということがあ
る）が起こりやすいという欠点があった。この「熱負
け」が発生した金属化フィルムを、切断してコンデンサ
用テープなどを製造しようとすると、寸法精度が悪くな
り、例えばマージン部（非蒸着部）の幅が変動して、コ
ンデンサの不良の原因となるなどの悪影響がある。
本発明の目的は、上記の様な従来のポリフェニレンスル
フィドフィルムの真空蒸着時に生じる欠点を解消し、巻
取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時に「熱負け」を生
じ難いポリフェニレンスルフィドフィルムの蒸着方法を
提供することにある。
フィドフィルムの真空蒸着時に生じる欠点を解消し、巻
取式真空蒸着機で金属蒸着を行なう時に「熱負け」を生
じ難いポリフェニレンスルフィドフィルムの蒸着方法を
提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は上記の目的を達成するため、巻取式真空蒸着機
によって、ポリフェニレンスルフィドフィルムの少なく
とも片面に、金属を真空蒸着する方法において、該フィ
ルムとして、フィルム長手方向に断面積１平方ミリメー
トル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃まで10℃
／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸びが0.4％以
下であるポリフェニレンスルフィドフィルムを用い、か
つ蒸着機の冷却キャン上でのフィルムの長手方向平均張
力を、フィルムの断面積１平方ミリメートル当たり0.5
〜3kgとすることを特徴とするポリフェニレンスルフィ
ドフィルムの真空蒸着方法である。
によって、ポリフェニレンスルフィドフィルムの少なく
とも片面に、金属を真空蒸着する方法において、該フィ
ルムとして、フィルム長手方向に断面積１平方ミリメー
トル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃まで10℃
／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸びが0.4％以
下であるポリフェニレンスルフィドフィルムを用い、か
つ蒸着機の冷却キャン上でのフィルムの長手方向平均張
力を、フィルムの断面積１平方ミリメートル当たり0.5
〜3kgとすることを特徴とするポリフェニレンスルフィ
ドフィルムの真空蒸着方法である。
本発明において、ポリフェニレンスルフィドフィルム
（以下、PPSフィルムと略称することがある）とは、ポ
リ−ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とする樹脂組成
物の二軸配向フィルムである。該フィルムの厚さは、0.
4〜25μｍの範囲であるが、0.4〜10μｍの範囲が効果が
大きい。該フィルムの平均表面粗さRaは、巻回時の作業
性および巻回後の加熱プレス時の密着性の点から、0.03
〜0.10の範囲が好ましい。またＸ線回折法による結晶化
度25％〜45％の結晶化フィルムであることが好ましい。
さらに、広角Ｘ線回折で２θ＝20〜21℃の結晶ピークに
ついて求めた配向度OFがEnd方向およびEdge方向で0.07
〜0.5、Through方向で0.6〜1.0の範囲にある二軸配向フ
ィルムであることが好ましい。
（以下、PPSフィルムと略称することがある）とは、ポ
リ−ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とする樹脂組成
物の二軸配向フィルムである。該フィルムの厚さは、0.
4〜25μｍの範囲であるが、0.4〜10μｍの範囲が効果が
大きい。該フィルムの平均表面粗さRaは、巻回時の作業
性および巻回後の加熱プレス時の密着性の点から、0.03
〜0.10の範囲が好ましい。またＸ線回折法による結晶化
度25％〜45％の結晶化フィルムであることが好ましい。
さらに、広角Ｘ線回折で２θ＝20〜21℃の結晶ピークに
ついて求めた配向度OFがEnd方向およびEdge方向で0.07
〜0.5、Through方向で0.6〜1.0の範囲にある二軸配向フ
ィルムであることが好ましい。
ここでポリ−ｐ−フェニレンスルフィドを主成分とする
樹脂組成物（以下、PPS系組成物と略称することがあ
る）とは、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィドを70重量％
以上含む組成物を言う。ポリ−ｐ−フェニレンスルフィ
ドの含有量が70重量％未満では、組成物としての結晶
性、熱転移温度等が低くなり、該組成物からなるフィル
ムの特長である耐熱性、寸法安定性、機械的特性等を損
なう。該組成物中の残りの30重量％未満はポリ−ｐ−フ
ェニレンスルフィド以外のポリマ、無機または有機のフ
ィラー、滑剤、着色剤、紫外線吸収剤などの添加物を含
むことも差し支えない。該樹脂組成物の溶融粘度は、温
度300℃、せん断速度2001/secのもとで、500〜12000ポ
イズ（より好ましくは700〜10000ポイズ）の範囲がフィ
ルムの成形性の点で好ましい。該樹脂組成物の溶融粘度
は、最終的に得られるポリフェニレンスルフィドフィル
ムの、溶融粘度に等しい。
樹脂組成物（以下、PPS系組成物と略称することがあ
る）とは、ポリ−ｐ−フェニレンスルフィドを70重量％
以上含む組成物を言う。ポリ−ｐ−フェニレンスルフィ
ドの含有量が70重量％未満では、組成物としての結晶
性、熱転移温度等が低くなり、該組成物からなるフィル
ムの特長である耐熱性、寸法安定性、機械的特性等を損
なう。該組成物中の残りの30重量％未満はポリ−ｐ−フ
ェニレンスルフィド以外のポリマ、無機または有機のフ
ィラー、滑剤、着色剤、紫外線吸収剤などの添加物を含
むことも差し支えない。該樹脂組成物の溶融粘度は、温
度300℃、せん断速度2001/secのもとで、500〜12000ポ
イズ（より好ましくは700〜10000ポイズ）の範囲がフィ
ルムの成形性の点で好ましい。該樹脂組成物の溶融粘度
は、最終的に得られるポリフェニレンスルフィドフィル
ムの、溶融粘度に等しい。
本発明においてポリ−ｐ−フェニレンスルフィド（以
下、PPSと略称することがある）とは、繰り返し単位の7
0モル％以上（好ましくは85モル％以上）が構造式 で示される構成単位からなる重合体をいう。係る成分が
70モル％未満ではポリマの結晶性、熱転移温度等が低く
なりPPSを主成分とする樹脂組成物からなるフィルムの
特長である耐熱性、寸法安定性、機械的特性等を損な
う。
下、PPSと略称することがある）とは、繰り返し単位の7
0モル％以上（好ましくは85モル％以上）が構造式 で示される構成単位からなる重合体をいう。係る成分が
70モル％未満ではポリマの結晶性、熱転移温度等が低く
なりPPSを主成分とする樹脂組成物からなるフィルムの
特長である耐熱性、寸法安定性、機械的特性等を損な
う。
繰り返し単位の30モル％未満、好ましくは15モル％未満
であれば共重合可能なスルフィド結合を含有する単位が
含まれていても差し支えない。
であれば共重合可能なスルフィド結合を含有する単位が
含まれていても差し支えない。
また本発明のフィルム中に、表面粗さを整える目的など
のために、無機の微粒子を含有することは好ましい。
のために、無機の微粒子を含有することは好ましい。
本発明においては、フィルムの長手方向に断面積１平方
ミリメートル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃
まで10℃／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸びが
0.4％以下であるポリフェニレンスルフィドフィルムを
用いる必要がある。係る伸びが0.4％を越えると、真空
蒸着時に上述の「熱負け」が発生しやすくなり、本発明
の目的を達成し得ない。係る伸びの大きさは、0.3％以
下であることが好ましい。また同様の条件で50℃まで昇
温した時の伸びが0.15％以下であれば好ましい。さら
に、同様の条件で80℃まで昇温した時の伸びが0.4％以
下であればより好ましい。
ミリメートル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃
まで10℃／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸びが
0.4％以下であるポリフェニレンスルフィドフィルムを
用いる必要がある。係る伸びが0.4％を越えると、真空
蒸着時に上述の「熱負け」が発生しやすくなり、本発明
の目的を達成し得ない。係る伸びの大きさは、0.3％以
下であることが好ましい。また同様の条件で50℃まで昇
温した時の伸びが0.15％以下であれば好ましい。さら
に、同様の条件で80℃まで昇温した時の伸びが0.4％以
下であればより好ましい。
ポリフェニレンスルフィドフィルムの係る伸びを上記の
範囲とする方法は特に問わないが、例えば、特開昭55−
111235等に記載された周知の方法でポリ−ｐ−フェニレ
ンスルフィドを主成分とする樹脂組成物を、押出機など
に供給して溶融し、Ｔダイから冷却ドラム上に押し出し
て無配向シートとし、該シートを95〜115℃の温度で
縦、横に同時、もしくは逐次２軸延伸し、さらに200℃
以上、融点以下の温度で熱処理して、中間体を得、次に
該中間体を、30〜120℃（好ましくは30〜70℃）で５秒
〜10日間熱処理する方法が挙げられる。該熱処理の時間
は、温度によって適宜選定することができる。一般に低
温では長時間を要し、高温では短時間になる。該熱処理
は、フィルム製造ラインで中間体の製造と連続して行な
うこともできるし、いったん巻取ってから、行なうこと
もできる。後者では、フィルムを巻きだしながら連続的
に行なうこともできるし、ロール状で熱風オーブン中な
どに入れて行なうこともできる。また、該熱処理を、異
なる温度で二段階以上にわたって行なうこともできる。
範囲とする方法は特に問わないが、例えば、特開昭55−
111235等に記載された周知の方法でポリ−ｐ−フェニレ
ンスルフィドを主成分とする樹脂組成物を、押出機など
に供給して溶融し、Ｔダイから冷却ドラム上に押し出し
て無配向シートとし、該シートを95〜115℃の温度で
縦、横に同時、もしくは逐次２軸延伸し、さらに200℃
以上、融点以下の温度で熱処理して、中間体を得、次に
該中間体を、30〜120℃（好ましくは30〜70℃）で５秒
〜10日間熱処理する方法が挙げられる。該熱処理の時間
は、温度によって適宜選定することができる。一般に低
温では長時間を要し、高温では短時間になる。該熱処理
は、フィルム製造ラインで中間体の製造と連続して行な
うこともできるし、いったん巻取ってから、行なうこと
もできる。後者では、フィルムを巻きだしながら連続的
に行なうこともできるし、ロール状で熱風オーブン中な
どに入れて行なうこともできる。また、該熱処理を、異
なる温度で二段階以上にわたって行なうこともできる。
該フィルムに連続巻取式蒸着機によって、その少なくと
も片面に、金属を真空蒸着する。この際、蒸着機の冷却
キャン上でのフィルムの長手方向平均張力を、フィルム
の断面積１平方ミリメートル当たり0.5〜3kgとする必要
がある。該張力が低過ぎても高過ぎても熱巻けが発生し
易くなる。ここで、冷却キャン上でのフィルムの長手方
向平均張力とは、フィルムが冷却キャンに接触する直前
の長手方向張力と、冷却キャンを離れた直後の長手方向
張力との算術平均値を言う。フィルムの両面を連続して
蒸着するため２個の冷却キャンを備えた蒸着機では、各
冷却キャン毎に、上記の張力条件を満たす必要がある。
も片面に、金属を真空蒸着する。この際、蒸着機の冷却
キャン上でのフィルムの長手方向平均張力を、フィルム
の断面積１平方ミリメートル当たり0.5〜3kgとする必要
がある。該張力が低過ぎても高過ぎても熱巻けが発生し
易くなる。ここで、冷却キャン上でのフィルムの長手方
向平均張力とは、フィルムが冷却キャンに接触する直前
の長手方向張力と、冷却キャンを離れた直後の長手方向
張力との算術平均値を言う。フィルムの両面を連続して
蒸着するため２個の冷却キャンを備えた蒸着機では、各
冷却キャン毎に、上記の張力条件を満たす必要がある。
冷却キャン内を循環する冷媒の温度は、−15℃以下にす
ることが、熱負けをより少なくする上で好ましい。
ることが、熱負けをより少なくする上で好ましい。
真空蒸着する金属については、その種類を問わないが、
アルミニウム、亜鉛、錫、銅、金、銀など例示できる。
また、真空蒸着する金属を加熱する方法も、抵抗加熱
法、電子ビーム加熱法など特に問わない。
アルミニウム、亜鉛、錫、銅、金、銀など例示できる。
また、真空蒸着する金属を加熱する方法も、抵抗加熱
法、電子ビーム加熱法など特に問わない。
［特性の測定方法および評価方法］ （１）伸びS70（もしくはS50、S80） 本発明における、フィルムの長手方向に断面積１平方ミ
リメートル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃
（もしくは50℃もしくは80℃）まで10℃／分の速さで昇
温した時の、長手方向の伸びを測定するには、フィルム
長手方向に長さ1100mm、幅10mmの試験片を切り出し、該
試験片の断面積１平方mm当たり3kgに相当する荷重を下
端に付けて、温度を25℃に保った熱風オーブンのなかに
吊し、約1000mmの間隔でフィルムの両端付近に付けた標
線の間隔L0を２台の光学式位置検出機（ラインセンサ
ー）で読み取り、熱風オーブンの温度を10℃／分の速さ
で昇温して70℃（もしくは50℃もしくは80℃）に達した
瞬間の標線の間隔Ｌを再び読み取って、100X（Ｌ−L0）
/L0（単位％）として、伸びS70（もしくはS50もしくはS
80）を算出する。
リメートル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃
（もしくは50℃もしくは80℃）まで10℃／分の速さで昇
温した時の、長手方向の伸びを測定するには、フィルム
長手方向に長さ1100mm、幅10mmの試験片を切り出し、該
試験片の断面積１平方mm当たり3kgに相当する荷重を下
端に付けて、温度を25℃に保った熱風オーブンのなかに
吊し、約1000mmの間隔でフィルムの両端付近に付けた標
線の間隔L0を２台の光学式位置検出機（ラインセンサ
ー）で読み取り、熱風オーブンの温度を10℃／分の速さ
で昇温して70℃（もしくは50℃もしくは80℃）に達した
瞬間の標線の間隔Ｌを再び読み取って、100X（Ｌ−L0）
/L0（単位％）として、伸びS70（もしくはS50もしくはS
80）を算出する。
（２）蒸着時の「熱負け」の程度 日本真空技研（株）製の連続巻取式片面蒸着機を用い
て、幅500mmのフィルム試料にアルミニウムを蒸着し
た。この時、冷却キャン内循環の冷媒温度は−30℃と
し、9mm幅の蒸着部と1mm幅の非蒸着部が交互に繰り返さ
れるストライプ状に蒸着した。
て、幅500mmのフィルム試料にアルミニウムを蒸着し
た。この時、冷却キャン内循環の冷媒温度は−30℃と
し、9mm幅の蒸着部と1mm幅の非蒸着部が交互に繰り返さ
れるストライプ状に蒸着した。
蒸着後に金属化フィルムを観察し、次の基準で「熱負
け」の程度を判定した。
け」の程度を判定した。
○：金属化フィルムの縦方向に走る十数本以下のしわが
見られるが、他の部分は平面性が良好である。
見られるが、他の部分は平面性が良好である。
△：金属化フィルムの縦方向に走る十数本以上のしわに
加え、全体にうねりが見られるが、張力を加えている間
しわが消える。
加え、全体にうねりが見られるが、張力を加えている間
しわが消える。
×：金属化フィルムの縦方向に走る十数本以上のしわに
加え、全体にうねりが見られ、張力を加えてもしわが残
る。
加え、全体にうねりが見られ、張力を加えてもしわが残
る。
［発明の効果］ 本発明の真空蒸着方法は、上記の構成としたことによ
り、従来、ポリフェニレンスルフィドフィルムに巻取式
蒸着機で金属を真空蒸着する際の欠点であった蒸着時の
「熱負け」が起こり難くなり、その結果、得られる金属
化フィルムを切断してコンデンサ用テープとする時など
に寸法精度が向上し、コンデンサの不良率が小さくなる
などの効果が得られる。また、いわゆるラッカーコーチ
ングタイプの積層コンデンサを製造する目的などのため
に、得られた金属化フィルムにコーチングを行なう場合
にも、コーチングパターンとの寸法ずれが起こり難いと
いう効果もある。
り、従来、ポリフェニレンスルフィドフィルムに巻取式
蒸着機で金属を真空蒸着する際の欠点であった蒸着時の
「熱負け」が起こり難くなり、その結果、得られる金属
化フィルムを切断してコンデンサ用テープとする時など
に寸法精度が向上し、コンデンサの不良率が小さくなる
などの効果が得られる。また、いわゆるラッカーコーチ
ングタイプの積層コンデンサを製造する目的などのため
に、得られた金属化フィルムにコーチングを行なう場合
にも、コーチングパターンとの寸法ずれが起こり難いと
いう効果もある。
［作用］ 本発明の真空蒸着方法によって何故に蒸着時の「熱負
け」を生じ難くなるのか明確ではないが、本発明にいう
フィルム長手方向の伸びが大きいと、蒸着時にフィルム
が冷却キャン上を通過する際に、フィルムにかかる張力
でフィルムが伸びてしわになり冷却キャンとの接触が悪
くなり、そのうえに金属蒸気が飛来した時にその凝縮潜
熱をキャンに逃がすことができなくなり、熱によるフィ
ルムの変形が生じるのに対し、本発明にいうフィルム長
手方向の伸びが小さいと、このような現象が起こり難い
ためと考えられる。
け」を生じ難くなるのか明確ではないが、本発明にいう
フィルム長手方向の伸びが大きいと、蒸着時にフィルム
が冷却キャン上を通過する際に、フィルムにかかる張力
でフィルムが伸びてしわになり冷却キャンとの接触が悪
くなり、そのうえに金属蒸気が飛来した時にその凝縮潜
熱をキャンに逃がすことができなくなり、熱によるフィ
ルムの変形が生じるのに対し、本発明にいうフィルム長
手方向の伸びが小さいと、このような現象が起こり難い
ためと考えられる。
［実施例］ 次に本発明の実施例を挙げて、さらに詳細に説明する。
実施例 １ （１）本発明に用いるPPS−BOの製造 オートクレーブに、硫化ナトリウム32.6kg（250モル、
結晶水40wt％を含む）、水酸化ナトリウム100g、安息香
酸ナトリウム36.1kg（250モル）、及びＮ−メチル−２
−ピロリドン（以下NMPと略称することがある）79.2kg
を仕込み205℃で脱水したのち、1,4ジクロルベンゼン
（ｐ−DCBと略称する）37.5kg（255モル）、及びNMP20.
0kgを加え、265℃で４時間反応させた。反応生成物を水
洗、乾燥して、ｐ−フェニレンスルフィド100モル％か
らなり、溶融粘度3100ポイズのポリ−ｐ−フェニレンス
ルフィド21.1kg（収率78％）を得た。
結晶水40wt％を含む）、水酸化ナトリウム100g、安息香
酸ナトリウム36.1kg（250モル）、及びＮ−メチル−２
−ピロリドン（以下NMPと略称することがある）79.2kg
を仕込み205℃で脱水したのち、1,4ジクロルベンゼン
（ｐ−DCBと略称する）37.5kg（255モル）、及びNMP20.
0kgを加え、265℃で４時間反応させた。反応生成物を水
洗、乾燥して、ｐ−フェニレンスルフィド100モル％か
らなり、溶融粘度3100ポイズのポリ−ｐ−フェニレンス
ルフィド21.1kg（収率78％）を得た。
この組成物に、平均粒子径0.7μｍのシリカ微粉末0.1wt
％、ステアリン酸カルシウム0.05wt％を添加し、40mm径
のエクストルーダによって310℃で溶融し、金属繊維を
用いた95％カット孔径10μｍのフィルタでろ過したのち
長さ400mm、間隙1.5mmの直線状リップを有するＴダイか
ら押し出し、表面を25℃に保った金属ドラム上にキャス
トして冷却固化し、厚さ約20μｍの未延伸フィルムを得
た。
％、ステアリン酸カルシウム0.05wt％を添加し、40mm径
のエクストルーダによって310℃で溶融し、金属繊維を
用いた95％カット孔径10μｍのフィルタでろ過したのち
長さ400mm、間隙1.5mmの直線状リップを有するＴダイか
ら押し出し、表面を25℃に保った金属ドラム上にキャス
トして冷却固化し、厚さ約20μｍの未延伸フィルムを得
た。
このフィルムをロール群から成る縦延伸装置によって、
フィルム温度100℃、延伸速度30000％／分で3.6倍延伸
し、続いてテンタを用いて、温度100℃、延伸速度1000
％／分で3.5倍延伸し、さらに同一テンタ内の後続する
熱処理室で、270℃で10秒間緊張下に熱処理して、厚さ
２μｍの中間体（中間体−１）を得た。
フィルム温度100℃、延伸速度30000％／分で3.6倍延伸
し、続いてテンタを用いて、温度100℃、延伸速度1000
％／分で3.5倍延伸し、さらに同一テンタ内の後続する
熱処理室で、270℃で10秒間緊張下に熱処理して、厚さ
２μｍの中間体（中間体−１）を得た。
該中間体を、ロール状に巻取り、該ロールを50℃のオー
ブン中で72時間熱処理して、ポリフェニレンスルフィド
フィルム（フィルム−１）を得た。該フィルムの本発明
にいう「伸び」S70は、0.24％で、本発明に用いるフィ
ルムの条件を満たしていた。
ブン中で72時間熱処理して、ポリフェニレンスルフィド
フィルム（フィルム−１）を得た。該フィルムの本発明
にいう「伸び」S70は、0.24％で、本発明に用いるフィ
ルムの条件を満たしていた。
このフィルム−１に、日本真空技研（株）製の連続巻取
式片面蒸着機を用いて、幅500mmのフィルム試料にアル
ミニウムを蒸着した。この時、冷却キャン内循環の冷媒
温度は−30℃とし、9mm幅の蒸着部と1mm幅の非蒸着部が
交互に繰り返されるストライプ状に蒸着した。このとき
冷却キャン上の平均張力を表−１のように変更して、５
種類の条件で蒸着し、５種類の金属化PPSフィルムをえ
た。表−１から、本発明に規定したフィルムを、本発明
の条件下で蒸着したときに、「熱負け」が顕著に改良さ
れることが判る。
式片面蒸着機を用いて、幅500mmのフィルム試料にアル
ミニウムを蒸着した。この時、冷却キャン内循環の冷媒
温度は−30℃とし、9mm幅の蒸着部と1mm幅の非蒸着部が
交互に繰り返されるストライプ状に蒸着した。このとき
冷却キャン上の平均張力を表−１のように変更して、５
種類の条件で蒸着し、５種類の金属化PPSフィルムをえ
た。表−１から、本発明に規定したフィルムを、本発明
の条件下で蒸着したときに、「熱負け」が顕著に改良さ
れることが判る。
実施例 ２ 実施例１で得た中間体−１をロール状に巻取り、熱処理
の温度と時間の適当に変えて、実施例１と同様に熱処理
して、本発明にいうフィルムの長手方向に断面積１平方
ミリメートル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃
まで10℃／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸びS
70の異なる５種類のフィルム（フィルム−２〜フィルム
−６）を得た。これらのフィルムに実施例１と同様にし
て、表−２に示すような冷却キャン上の平面張力下でア
ルミニウムを真空蒸着した。評価結果を表−２に示す。
表−２から、本発明の方法で蒸着すると、蒸着時の「熱
負け」が起こり難いことがわかる。
の温度と時間の適当に変えて、実施例１と同様に熱処理
して、本発明にいうフィルムの長手方向に断面積１平方
ミリメートル当たり3kgの張力を加えつつ25℃から70℃
まで10℃／分の速さで昇温した時の、長手方向の伸びS
70の異なる５種類のフィルム（フィルム−２〜フィルム
−６）を得た。これらのフィルムに実施例１と同様にし
て、表−２に示すような冷却キャン上の平面張力下でア
ルミニウムを真空蒸着した。評価結果を表−２に示す。
表−２から、本発明の方法で蒸着すると、蒸着時の「熱
負け」が起こり難いことがわかる。
Claims (1)
- 【請求項１】巻取式真空蒸着機によって、ポリフェニレ
ンスルフィドフィルムの少なくとも片面に、金属を真空
蒸着する方法において、該フィルムとして、フィルム長
手方向に断面積１平方ミリメートル当たり3kgの張力を
加えつつ25℃から70℃まで10℃／分の速さで昇温した時
の、長手方向の伸びが0.4％以下であるポリフェニレン
スルフィドフィルムを用い、かつ蒸着機の冷却キャン上
でのフィルムの長手方向平均張力を、フィルムの断面積
１平方ミリメートル当たり0.5〜3kgとすることを特徴と
する、ポリフェニレンスルフィドフィルムの真空蒸着方
法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15258888A JPH0796703B2 (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 真空蒸着方法 |
| KR1019890702365A KR960013069B1 (ko) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | 폴리페닐렌술피드 필름, 그 제조방법 및 그 진공증착방법 |
| HK98106578A HK1007294A1 (en) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | Polyphenylene sulfide film, process for its production, and process for subjecting the film to vacuum deposition |
| PCT/JP1989/000426 WO1989010252A1 (fr) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | Pellicule en sulfure de polyphenylene, son procede de production et procede d'exposition de la pellicule a une deposition sous vide |
| EP89905212A EP0365692B1 (en) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | Polyphenylene sulfide film, process for its production, and process for subjecting the film to vacuum deposition |
| DE68919645T DE68919645T2 (de) | 1988-04-22 | 1989-04-20 | Polyphenylensulfidfilm, verfahren zur herstellung und verfahren zum behandeln des filmes mit vakuumniederschlag. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15258888A JPH0796703B2 (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 | 真空蒸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01319669A JPH01319669A (ja) | 1989-12-25 |
| JPH0796703B2 true JPH0796703B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=15543734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15258888A Expired - Fee Related JPH0796703B2 (ja) | 1988-04-22 | 1988-06-21 | 真空蒸着方法 |
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| JPS60255978A (ja) * | 1984-06-01 | 1985-12-17 | Toray Ind Inc | 金属化フイルム |
| JPS6174143A (ja) * | 1984-09-20 | 1986-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1988
- 1988-06-21 JP JP15258888A patent/JPH0796703B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01319669A (ja) | 1989-12-25 |
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