JPH0797021B2

JPH0797021B2 - ３次元形状計測装置

Info

Publication number: JPH0797021B2
Application number: JP1274527A
Authority: JP
Inventors: 和則樋口; 修小関; 新山本
Original assignee: Toyota Central R&D Labs Inc
Current assignee: Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date: 1989-10-20
Filing date: 1989-10-20
Publication date: 1995-10-18
Anticipated expiration: 2010-10-18
Also published as: JPH03259704A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は３次元形状計測装置、特にパルススリット光を
投射した瞬間のアクチュエータ位置とセンサから得られ
た３次元座標値から光切断線に沿って対象物の３次元形
状を高速で計測する装置の改良に関する。

〔従来の技術〕

機械部品や製品の生産工程などにおいては、その寸法計
測や検査を行うため、対象物の３次元形状を高速に検出
したいという要望が多い。特に対象物が３次元形状をし
ている場合にはその形状的な特徴を把握するため、対象
物表面の多点における３次元座標を高速検出し当該対象
物の３次元形状を効率良く正確に測定したいという要望
が強い。従来の測定手法としては、物体の表面に投射し
た光線の反射光を受光して対象物との距離を検出する変
位計により、この変位計を駆動テーブルに取り付けて３
次元的に駆動すると共に変位計の取付角度を角度変化機
構により変更し、演算制御機構により変位計による距離
の測定値と駆動テーブルの駆動量及び変位計の取付角度
を入力して演算し駆動テーブルと角度変化機構の動きを
制御することにより、対象物の断面形状を測定点の集合
として連続的に測定し、各測定点で求めた変位計と測定
点との距離及び測定点における物体断面の法線と照射光
軸のなす角が測定限定範囲内か否かを測定し、範囲外の
場合には次の測定前に前記範囲内に戻す制御を行うもの
がある（特開昭59−154308号公報、特開昭64−78108号
公報、特開昭58−47209号公報）。上記構成からなる従
来の測定手法は対象物の形状を測定点の集合として測定
するため、また測定限度範囲内外の判別を行うと共に範
囲外の場合には範囲内への修正制御を必要とし長時間を
要する不都合がある。測定に長時間を要する特に、対象
物の端部を測定するときは、端部を測定データから見つ
けるために、駆動テーブルと変位計の位置・角度・制御
を細かく行う必要があり測定に極めて長い時間がかか
る。

パルススリット光を対象物に照射し撮像素子に到達する
スリット光以外の外乱光を光学的チョッパにより低減し
ようとするものがある（特開昭63−212073号公報）。

上記従来技術は計測時以外は、センサ受光部に入射する
外乱光をカットする目的で、パルススリット光を撮像部
と同期させて発光するだけであり、スリット光投射時の
アクチュエータの位置が分からなく、対象物の３次元形
状を効率良く正確に計測することができない実用上の不
具合がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、３次元座標検出センサの測定範囲を越
える任意の大きさで、かつ自由曲面を有する対象物の３
次元形状や輪郭形状や幅、高さ等の寸法諸元をパルスス
リット光を投射した瞬間のアクチュエータ位置とセンサ
から得られた３次元座標値から高速でかつ高精度に測定
し得る３次元形状計測装置を提供するにある。

〔発明の構成〕

本発明の３次元形状計測装置は、対象物表面に向け所定
角度で投光されるスリット光源からのパルススリット光
により対象物表面に形成される光切断線をパルススリッ
ト光の投射と同期して撮像するTVカメラを有する撮像部
と前期TVカメラのビデオ信号から光切断線の水平走行方
向の中心位置を水平光切断位置として検出する水平光切
断位置検出回路により検出し、TVカメラの水平同期信号
をカウントし、垂直光切断位置を垂直光切断位置検出回
路により検出し、予め水平光切断位置および垂直光切断
位置と実際の対象物表面の３次元座標値との対応関係を
テーブル化して記憶し検出した水平光切断位置および垂
直光切断位置に基づき、対象物表面の３次元座標値をル
ックアップテーブルにより出力し当該出力される３次元
座標値を記憶回路により記憶する座標演算部と、前記撮
像部と対象物の少なくとも一方を移動・位置決めさせる
直交３軸および回転３軸のうちの少なくとも１軸をもつ
アクチュエータを駆動して撮像部、または対象物を移動
・位置決めする駆動制御部と、撮像部、または対象物の
移動時に、撮像部のTVカメラのFLD信号に同期してパル
ススリット光を投射し、さらにこのパルススリット光投
射と同期して前記座標演算部による３次元座標演算を座
標演算部に実行させ、このパルススリット光の投射した
瞬間のアクチュエータの位置を検出し得られた３次元座
標値とアクチュエータの位置から求めた対象物の３次元
形状を表示あるいは記憶させることを順次繰り返し制御
する演算制御部とから構成される。

ここでFLD信号とは、TVカメラのフィールド信号のこと
をいう。かかるフィールド信号は、TVカメラの走査フィ
ールドのODDフィールドとEVENフィールドに対応する出
力信号であり、ODDとEVENのフィールドが交替するとき
に反転するものである。

〔発明の作用・効果〕

上記構成からなる本発明の３次元形状計測装置は、高速
に３次元形状を計測できる。すなわち、撮像部のTVカメ
ラはCCD撮像素子でつくられている。撮像部は、演算制
御部からの測定開始信号により駆動制御部に例えば、予
めプログラムされた３次元位置情報にしたがって連続移
動する。演算制御部は、TVカメラのFLD信号（例えば立
ち下がり）に同期して撮像部のスリット光源にパルス信
号を送る。このパルス信号によりパルススリット光が対
象物に投射される。このパルススリット光の投射された
後の最初の１フレーム期間の間、座標演算部により３次
元座標が演算される。撮像部のTVカメラがCCDであるの
で、演算されたこれらの３次元座標はパルススリット光
が投射された瞬間の対象物の３次元座標となる。一方こ
のパルススリット光の投射の瞬間と同時にアクチュエー
タの位置情報が駆動制御部から演算制御部に出力され
る。このアクチュエータの位置情報と３次元座標値は、
座標演算部よる３次元座標演算の終了と同時に記憶装置
に記憶される。これらの動作の繰り返しにより、撮像部
を１回ずつ位置決めしないで連続移動させながら対象物
の３次元形状を計測できるので、より高速の３次元形状
計測が可能となる。

上記本発明にあっては対象物の倣い計測（３次元位置情
報が予めプログラムされていない）の場合には、座標演
算部、演算制御部より得られる対象物の３次元座標値よ
り対象物又は撮像部の少なくとも一方をアクチュエータ
により位置決め制御して対象物の３次元形状を計測する
こともできる。

また、上記構成からなる本発明の３次元形状計測装置
は、代表的な例の対象物について説明する。すなわち、
平滑状や円弧状、屈曲状の板状部材の場合、対象物の全
体又は部分に対する測定範囲を座標演算部、座標制御部
に入力し撮像部に対し駆動制御部としてのステージ上の
対象物をＸ−Ｙ方向に移動させ、当該対象物の３次元形
状を計測する。このとき、撮像部のＺ方向撮影範囲内に
対象物があればＺ方向（高さ）は一定でよい。すなわ
ち、撮像部又は対象物のＺ方向の高さは一定として測定
できる。また、対象物形状が自らによって死角を形成す
るもの、すなわち対象物が凸状もしくは凹状又はこれら
の組み合わせ形状からなる物体の場合には、該物体上面
よりTVカメラから見て段付根部は死角となり撮像部によ
る撮影ができない。かかる場合には撮像部をＺ軸まわり
に例えば、180゜回転させて当該段付根部における形状
を計測する。

なお、前記物体の上面と段付面が一度に測定できない場
合（撮像部のＺ方向の測定範囲以上）は前記上面と段付
面のＺ方向に関する位置と範囲を座標演算部、演算制御
部に入力し撮像部に対しステージ上の対象物をＸ−Ｙ方
向に移動して当該対象物の３次元形状を計測する。

さらに、対象物が表面滑らかに変化している大型なもの
は当該対象物をＸ方向に移動しながら撮像部で測定した
場合、撮像部で計測したデータがしきい値以上の測定範
囲外（Ｚ方向）となったとき、当該方向と逆方向に撮像
部を移動させて、測定を継続する。すなわち、対象物が
Ｘ方向におけるX₁に移行したら該対象物をＺ方向におけ
るZ₁に降下し、さらにX₂に移行したらZ₂に降下して当該
対象物の３次元形状を計測する。

また、撮像部のスリット方向における凸状対象物の側面
を計測するには、該撮像部の測定値の隣接するデータの
２点間の３次元的距離がしきい値以上となる場合、当該
点のデータが存在しないのは、当該部位に物体がないの
か、それとも垂直に近いのか或いはオーバハングになっ
ていて死角となっているのが明らかでないことがある。
この場合には、外部からの入力或いは予め用意するCAD
データを用いて判断し、もし死角によるデータ欠落なら
ば撮像部をＸ軸まわりに回転させて当該対象物の３次元
形状を計測する。なお、前記回転方向は凸状面が観察で
きる方向ゆえ一義的に決定される。さらに対象物が立方
体の垂直面（Ｘ−Ｚ面）を計測する場合、CADデータか
ら撮像部をＺ軸、Ｘ軸まわりに回転させたのみでは、他
のデータとの整合が難しく正規のデータが得られないと
きはＹ軸まわりに撮像部を回転させることにより正規の
データを得ることができる。

また本発明装置は、前記死角を少なくかつ精度良く測定
するには、上記の他に、撮像部のＹ軸まわりの角度制御
を、対象物が互いに隣合うＸ方向の２断面が大きな差が
なく連続的にＸ方向に形状が変化する場合に対応して各
断面毎をＸ方向に比較して対象物のＹ−Ｚ方向の平均的
な又は注目する特徴点間の法線方向を計算し当該方向か
ら３次元形状を測定する。これによっても見出せなけれ
ば同じ角度或いは上面より測定することにより計測すべ
き３次元形状を測定することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例の３次元形状計測装置を図面に
基づき説明する。

第１図、第２図はその装置全体構成を示す概要図で、基
板１にはアクチュエータ２を介して３次元的に移動可能
（直交３軸）とし平滑面を有する各ステージ3X、3Y、3
Z、が設置されている。すなわち、基台１上には、アク
チュエータとしてのパルスモータ2Zが取付けられ、該パ
ルスモータ2Zにより回転駆動され直交３軸のＺ軸方向に
沿って連接する送りねじ4Zと螺合してステージ3ZをＺ軸
方向に移動可能とされている。

ステージ3Z上には、ステージ3Yが取付けられパルスモー
タ2Yにより回転駆動され直交３軸中のＹ軸方向に沿って
連接する送りねじ4Yと螺合してステージ3YをＹ軸方向に
移動可能とされている。

ステージ3Y上にはステージ3Xが取付けられパルスモータ
2Xにより回転駆動され直交３軸中のＸ軸方向に沿って連
接する送りねじ4Xと螺合してステージ3XをＸ軸方向に移
動可能とされている。このステージ3X上には測定すべき
対象物４が設置される。この対象物４の上方には、撮像
部らが３次元的に角度を変更可能（回転３軸）にアクチ
ュエータ６を介してクロスヘッド７に取付けられてい
る。このクロスヘッド７はその一端をステージ3Zに取付
けられＺ軸方向に移動可能とされている。そして、クロ
スヘッド７はその他端にＹ軸方向に沿って連接する回転
軸8Yを結合して回転駆動するアクチュエータ６としての
モータ6Yが取付けられている。これにより撮像部５はＹ
軸回り回転可能とされＹ軸回りの角度を変更し得る。回
転軸8Yはその他端にクロスヘッド7Yを取付け、このクロ
スヘッド7YにはＺ軸方向に沿って連接する回転軸8Zを結
合して回転駆動するモータ6Zが取付けられている。これ
により撮像部５はＺ軸回り回転可能とされＺ軸回りの角
度を変更し得る。回転軸8Zはその他端にクロスヘッド7Z
を取付けこのクロスヘッド7ZにはＸ軸方向に沿って連接
する回転軸8Xを結合して回転駆動するモータ6Xが取付け
られている。この回転軸8Xには撮像部５がＸ軸回り回転
可能に設けられＸ軸回りの角度を変更し得る。撮像部５
は、第２図、第３図々示のようにスリット光源12とTVカ
メラ14とを含む。

そして、第４図に示すごとく、スリット光源12から３次
元対象物４に向けスリット光100を所定角度で投光し、
対象物４上に構成される光切断200をTVカメラ14を用い
て撮影する。

このTVカメラ14から出力されるビデオ信号300は、TVカ
メラ14のクロック周期に同期してA/D変換回路20により
デジタルビデオ信号Viに変換され、光切断線抽出回路2
2、累積加算回路30、累積乗算回路32に入力される。

また、しきい値設定回路24には、ビデオ信号から光切断
線200を抽出するためのしきい値Vsが設定されており、
設定されたしきい値Vsとは光切断線抽出回路22へ入力さ
れている。

本実施例の光切断線抽出回路22は比較器を用いて形成さ
れ、第５図に示すように、入力されるビデオ信号Viとし
きい値Vsとを比較し、ビデオ信号Viがしきい値Vsを上回
っている期間だけ、光切断線抽出信号を累積加算回路30
および累積乗算回路32へ向け出力する。

また、本実施例の水平アドレス発生回路28は、カウンタ
を用いて形成され、TVカメラ14から出力されるクロック
信号をカウントし、このカウント値Kiを撮像素子14bの
水平方向位置を表す水平方向アドレスとして累積乗算回
路32へ向け出力する。

前記累積加算回路30は、ハードウエアの乗算累積器を用
いて構成されている。そして光切断線抽出回路22が光切
断線200を抽出出力している間、A/D変換回路20の出力Vi
と値「１」とを乗算し、その累積値、を順次演算出力する。

この累積演算は、TVカメラ14から水平同期信号が出力さ
れる毎に新たに繰り返して行われる。

従って、この累積加算回路30からは、TVカメラ14が水平
走査ビデオ信号を出力する毎に、前記第（１）式の分母
が演算出力されることになる。

また、前記累積乗算回路32はハードウェアの乗算累積器
を用いて構成されている。そして、光切断線抽出回路22
が光切断線抽出回路信号を出力している間、A/D変換回
路20から出力される信号Viと水平アドレス発生回路28の
出力する水平方向アドレスKiとを乗算し、その累積値を順次演算出力する。

この累積演算は、TVカメラ14から水平同期信号が出力さ
れる毎にあらたに繰り返して行われる。

従って、この累積乗算回路32からは、TVカメラ14が水平
走査ビデオ信号を出力する毎に前記第（１）式の分子が
演算出力されることになる。

そして、前記２つの累積演算値ΣViおよびΣVi×Kiは、
割算器で構成された水平光切断位置検出回路26に入力さ
れ、ここで後者を前者で割算する演算が行われ、前記第
（１）式に示す水平光切断位置Ksが求められる。

また本実施例の垂直光切断位置検出回路38は、カウンタ
を用いて形成され、TVカメラ14から出力される水平同期
信号をカウントし、TVカメラ14が現在走査している水平
ラインの番号、すなわち垂直光切断位置Lsを検出する。

本実施例においては、累積加算回路30、累積乗算回路32
がハードウエアで構成され、その演算遅れ時間は数十ns
ecである。このため、本実施例においては、最も遅い場
合でも第５図の有効水平走査の終了数十nsecでΣVi、Σ
Vi×Ki、Lsを検出することができる。

さらに、本実施例において、水平光切断位置検出回路38
として市販の標準的なハードウェア割算器を用いると、
割算時間は数μsecであるため、第５図の有効水平走査
終了後５〜６μsec以内で水平光切断位置Ksを検出する
ことができる。

そして、このようにして検出された各ポイントＰの水平
光切断位置Ksおよび垂直光切断位置Lsはルックアックテ
ーブル40へ入力される。

本実施例のルックアップテーブル40は、水平光切断位置
Ksおよび垂直光切断位置Lsと、実際の３次元対象物10の
表面各点における３次元座標値（Ｘ、Ｙ、Ｚ）との対応
関係が予めテーブル化して記憶されている。そして、水
平光切断位置Ksおよび垂直光切断位置Lsが入力される毎
に、対応する３次元座標値（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を記憶回路48
に向け出力する。

従って、本実施例によれば、水平および垂直光切断位置
Ks、Lsが検出されるごとに、何ら特別な演算やソフトウ
ェア処理を行うことなく、対象物10の測定点Ｐにおける
３次元座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を迅速に出力することができ
る。

本実施例において、このルックアップテーブル40はＸ座
標テーブル42、Ｙ座標テーブル44、Ｚ座標テーブル46か
ら構成される。各テーブル、そして、垂直光切断位置回
路38から出力される垂直光切断位置Ls（TVカメラ14の水
平ラインの番号）で指定されたアドレスに、テーブル4
2、44、46から出力される３次元座標値（Ｘ、Ｙ、Ｚ）
を順次記憶する。このようにコンピュータを介さないで
メモリ50のアドレスを直接指定することをDMA（ダイレ
クトメモリアドレシング）という。

なお、このように半導体メモリ50に直接データを記憶さ
せる場合には、メモリ50に座標値が入力されてから数10
0nsecでデータ記憶が終了する。すなわち、前記有効水
平走査期間終了後約１μsec以内で一点の３次元座標値
（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の記憶が完了する。

このようにして、本実施例の装置によれば、水平ライン
上の光切断200に対応する一点の３次元座標値（Ｘ、
Ｙ、Ｚ）の検出記憶動作をTVカメラ14の有効水平走査期
間終了後、約６〜７μsec程度、すなわちその帰線期間
内に完了することができる。42、44、46は、それぞれ前
記Ks、Lsと各３次元座標値Ｘ、Ｙ、Ｚの対応テーブルが
予め記憶されたROMを用いて形成されている。

そして、第５図に示す各有効水平走査期間が終了すると
同時に、Ks、Lsが各テーブル42、44、46に入力される
と、これら各テーブル42、44、46、からは、その後数10
0nsec後に対応した３次元座標値（Ｘ、Ｙ、Ｚ）が出力
され記憶回路48に書き込まれる。

実施例において、この記憶回路48は、TVカメラ14の水平
ラインの各番号と対応するアドレスをもった半導体メモ
リ50を用いて構成されている。

この結果、本実施例によれば、TVカメラ14の水平走査周
期（63.5μsec）で一点の３次元座標値の検出が可能と
なり、光切断200に沿った各点P0、P1・・・の３次元座
標値を実時間で測定することができる。また、本実施例
においては、水平光切断位置Ksの検出のための割算と、
Ｘ、Ｙ、Ｚ座標値の半導体メモリ50への書込みに、マイ
クロコンピュータによるソフトウェア処理を利用するこ
ともできる。

このときは、割算に約20μsec、メモリ50への書込み20
μsec必要なため、そのままでは帰線時間内にこれらの
処理を行えない。

しかし、第６図に示す如く、まずΣViとΣViKiをマイク
ロコンピュータに取込み割算を行って水平光切断位置Ks
を求め、次にこのKsを別途設けられたラッチ回路に１水
平走査期間だけ記憶させ、そのラッチ出力をルックアッ
プテーブル40に入力する。

このようにすれば、ルックアップテーブル40の出力は第
６図に示すように１水平走査期間保持される。

従って、この保持時間の間に、ルックアップテーブル40
から出力されるＸ、Ｙ、Ｚ座標値をマイクロコンピュー
タを用い半導体メモリ50へ書き込めば良い。

このような手法は、当該水平ライン上に存在する測定点
Ｐの座標データを次の水平ライン走査期間中に記憶する
ものであり、パイプライン処理の１つである。

このような処理を行うことにより、水平光切断位置Ksの
演算と半導体メモリ50へのデータの書込みにマイクロコ
ンピュータを用いた場合でも一水平走査分の遅れはある
ものの、１点の３次元座標値の検出記憶を水平走査時間
（63.5μsec）周期で行い、光切断線200に沿った各点P
0、P1、・・・の３次元座標値を実時間で測定すること
ができる。

上記構成からなる本実施例の３次元形状計測装置は、駆
動制御部が、モータコントローラとモータドライバから
なり、演算制御部からの制御命令に従いアクチュエータ
を駆動し撮像部を所定の位置に位置決めする。演算制御
部は、座標演算部と駆動制御部を制御する。以下第７
図、第８図に基づき作用効果を説明する。

演算制御部は予め決められた３次元位置に撮像部を移動
・位置決めするように駆動制御部に制御命令を送る。こ
の制御命令に従い、駆動制御部はアクチュエータを駆動
する。そして、駆動制御部はアクチュエータの駆動を終
了すると演算制御部に駆動終了信号を出力する。演算制
御部は、駆動制御部からの駆動終了信号を検出した後、
座標演算部のTVカメラのFLD信号の立ち上がりに同期し
て座標演算部に３次元座標演算の開始を命令する。座標
演算部は、１フレーム時間（FLD信号の立ち上がりから
次の立ち上がりまで）の間の、座標演算を実行する。本
実施例において撮像部のTVカメラはCCD撮像素子で作ら
れている。撮像部は、演算制御部からの測定開始信号に
より駆動制御部に予めプログラムされた３次元位置情報
にしたがって連続移動する。演算制御部は、座標演算部
のFLD信号（例えば立ち下がり）に同期して撮像部のス
リット光源にパルス信号を送る。このパルス信号により
パルススリット光が対象物に投射される。このパルスス
リット光の投射された後の最初の１フレーム期間の間、
座標演算部により３次元座標が演算される。撮像部のTV
カメラがCCDであるので、演算されたこれらの３次元座
標はパルススリット光が投射された瞬間の対象物の３次
元座標となる。一方このパルススリット光の投射の瞬間
と同時にアクチュエータ内に取付けられたエンコーダか
らの位置情報が演算制御部に出力される。このアクチュ
エータの位置情報と３次元座標値は、座標演算部による
３次元座標演算の終了と同時に記憶装置に記憶される。
これらの動作の繰り返しにより、本実施例は撮像部を１
回ずつ位置決めしないで連続移動させながら対象物の３
次元形状を計測できるので、より高速の３次元形状計測
が可能となる。上記実施例に限らず測定部位が予めプロ
グラムされていない、すなわち、倣い測定するような対
象物の３次元形状を計測することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の３次元形状計測装置の斜視
図、第２図は本発明の一実施例装置のブロック線図、第
３図は本発明に係る３次元形状計測装置の好適な一実施
例のブロック図、第４図はスリット光源とTVカメラとの
相対位置関係を示す説明図、第５図及び第６図はTVカメ
ラから出力されるビデオ信号の説明図であり第５図はビ
デオ信号としきい値との関係を示す説明図、第６図はビ
デオ信号とルックアップテーブルから出力される３次元
座標値との出力タイミングを示す説明図、第７図及び第
８図は本発明の一実施例をそれぞれ示すフローチャート
図及びタイミングチャート図である。１……基板、２……アクチュエータ、 2X、2Y、2Z……パルスモータ、 3X、3Y、3Z……ステージ、５……撮像部、 7X、7Y、7Z……クロスヘッド、 8X、8Y、8Z……回転軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭64−78108（ＪＰ，Ａ) 特開昭58−47209（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−212073（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】対象物表面に向け所定角度で投光されるス
リット光源からのパルススリツト光により対象物表面に
形成される光切断線をパルススリット光の投射と同期し
て撮像するTVカメラを有する撮像部と、前記TVカメラのビデオ信号から光切断線の水平操作方向
の中心位置を水平光切断位置として検出する水平光切断
位置検出回路により検出し、TVカメラの水平同期信号を
カウントし、垂直光切断位置を垂直光切断位置検出回路
により検出し、予め水平光切断位置および垂直光切断位
置と実際の対象物表面の３次元座標値との対応関係をテ
ーブル化して記憶し検出した水平光切断位置および垂直
光切断位置に基づき、対象物表面の３次元座標値をルッ
クアップテーブルにより出力し当該出力される３次元座
標値を記憶回路により記憶する座標演算部と、前記撮像部と対象物の少なくとも一方を移動・位置決め
させる直交３軸および回転３軸のうちの少なくとも１軸
をもつアクチュエータを駆動して撮像部、または対象物
を移動・位置決めする駆動制御部と、撮像部、または対象物の移動時に、撮像部のTVカメラの
FLD信号に同期してパルススリット光を投射し、さらに
このパルススリット光投射と同期して前記座標演算部に
よる３次元座標演算を座標演算部に実行させ、このパル
ススリット光の投射した瞬間のアクチュエータの位置を
検出し得られた３次元座標値とアクチュエータの位置か
ら求めた対象物の３次元形状を表示あるいは記憶させる
ことを順次繰り返し制御する演算制御部とからなり、光
切断線に沿って対象物の３次元形状を実時間で計測する
ことを特徴とする３次元形状計測装置。