JPH0797268A - 複合セラミックス及びその製造方法 - Google Patents
複合セラミックス及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0797268A JPH0797268A JP5249718A JP24971893A JPH0797268A JP H0797268 A JPH0797268 A JP H0797268A JP 5249718 A JP5249718 A JP 5249718A JP 24971893 A JP24971893 A JP 24971893A JP H0797268 A JPH0797268 A JP H0797268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- composite
- composite ceramic
- phase
- phases
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、軽量で低熱伝導率である複合セラ
ミックス及びその製造方法を提供することである。 【構成】 この複合セラミックスは、Ｓｉ及び複合酸化
物から成る混合粉末を原料とし、該混合粉末を成形して
成形体を作製し、該成形体を窒化焼成して焼結体を作製
し、次いで、前記焼結体を酸化処理して製造することが
できる。そして、この複合セラミックスは、Ｓｉ，Ｏ，
Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍｇの
元素群から少なくとも１種以上でなる相を持ち、且つ比
重が２．６以下であり、前記相にＳｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎ及
びＳｉ，Ｏ，Ｎでなる相がそれぞれ形成されているもの
である。
ミックス及びその製造方法を提供することである。 【構成】 この複合セラミックスは、Ｓｉ及び複合酸化
物から成る混合粉末を原料とし、該混合粉末を成形して
成形体を作製し、該成形体を窒化焼成して焼結体を作製
し、次いで、前記焼結体を酸化処理して製造することが
できる。そして、この複合セラミックスは、Ｓｉ，Ｏ，
Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍｇの
元素群から少なくとも１種以上でなる相を持ち、且つ比
重が２．６以下であり、前記相にＳｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎ及
びＳｉ，Ｏ，Ｎでなる相がそれぞれ形成されているもの
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、軽量で低い熱伝導率
を有する複合セラミックス及びその製造方法に関する。
を有する複合セラミックス及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ケイ素Ｓｉに、窒化の促進、高強
度化を目的として酸化物を添加、反応焼結する方法は、
例えば、特開昭５８−８８１７３号公報、特開昭５９−
１５２２７１号公報、特開昭５９−２０７８７６号公
報、特開昭５９−２０７８７７号公報、特開昭５９−２
１７６７３号公報、特開昭６０−１８６４７０号公報、
特公昭５９−３４６７７号公報、特公昭５９−３４６７
８号公報に開示されている。また、低熱伝導セラミック
スとしては、チタン酸アルミニウムＡｌ2 ＴｉＯ5、部
分安定化ジルコニアＺｒＯ2 等がエンジン用材料として
既に検討され、一部実用化されている。
度化を目的として酸化物を添加、反応焼結する方法は、
例えば、特開昭５８−８８１７３号公報、特開昭５９−
１５２２７１号公報、特開昭５９−２０７８７６号公
報、特開昭５９−２０７８７７号公報、特開昭５９−２
１７６７３号公報、特開昭６０−１８６４７０号公報、
特公昭５９−３４６７７号公報、特公昭５９−３４６７
８号公報に開示されている。また、低熱伝導セラミック
スとしては、チタン酸アルミニウムＡｌ2 ＴｉＯ5、部
分安定化ジルコニアＺｒＯ2 等がエンジン用材料として
既に検討され、一部実用化されている。
【０００３】また、特開平３−２６１６６２号公報には
セラミック組成物及びそれによるセラミック部材の製造
方法が開示されている。該セラミックス組成物は、金属
Ｓｉ粉末又は該粉末にセラミック粉末を加えた混合粉
末、合計重量の６〜２５ｗｔ％の添加量範囲の有機バイ
ンダ、解膠剤及び水を含むものである。また、セラミッ
クス粉末は、Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ａｌ2 ＴｉＯ5 、ムライト、
チタン酸カリウムの少なくとも１種含んでおり、窒素ガ
ス雰囲気で焼成したものである。
セラミック組成物及びそれによるセラミック部材の製造
方法が開示されている。該セラミックス組成物は、金属
Ｓｉ粉末又は該粉末にセラミック粉末を加えた混合粉
末、合計重量の６〜２５ｗｔ％の添加量範囲の有機バイ
ンダ、解膠剤及び水を含むものである。また、セラミッ
クス粉末は、Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ａｌ2 ＴｉＯ5 、ムライト、
チタン酸カリウムの少なくとも１種含んでおり、窒素ガ
ス雰囲気で焼成したものである。
【０００４】また、特開平２−２９６７７１号公報には
複合セラミックス及びその製造方法が開示されている。
該複合セラミックスは、第１セラミックスにそれより焼
結温度が低温度である第２セラミックス粒子が分散含有
されている素材で形成された複合粒子から成る緻密な焼
結体であり、第１セラミックスより第２セラミックスが
熱伝導率が小さいものである。
複合セラミックス及びその製造方法が開示されている。
該複合セラミックスは、第１セラミックスにそれより焼
結温度が低温度である第２セラミックス粒子が分散含有
されている素材で形成された複合粒子から成る緻密な焼
結体であり、第１セラミックスより第２セラミックスが
熱伝導率が小さいものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ケイ素Ｓｉに、窒化の促進、高強度化を目的として酸化
物を添加、反応焼結したセラミックスでは、十分に低熱
伝導化されていないのが現状である。また、Ａｌ2 Ｔｉ
Ｏ5 は強度が５０ＭＰａ以下であり、エンジン等の構造
用セラミックスとしては強度が低く、そのままでは使用
できないものである。更に、ＺｒＯ2 は強度が高いが、
熱膨張係数が大きく、高い熱応力が発生することが欠点
である。
ケイ素Ｓｉに、窒化の促進、高強度化を目的として酸化
物を添加、反応焼結したセラミックスでは、十分に低熱
伝導化されていないのが現状である。また、Ａｌ2 Ｔｉ
Ｏ5 は強度が５０ＭＰａ以下であり、エンジン等の構造
用セラミックスとしては強度が低く、そのままでは使用
できないものである。更に、ＺｒＯ2 は強度が高いが、
熱膨張係数が大きく、高い熱応力が発生することが欠点
である。
【０００６】また、部材に対しての非定常状態における
伝熱量Ｑは、次式で表すことができる。即ち、Ｑ＝（２
・κ・ｃ・ρ・Ｔ／π）1 / 2 ×Δθ0 ×Ａである。但
し、Ａ；表面積、Δθ0 ；表面での温度振幅、Ｔ；表面
での温度、κ；熱伝導率、ｃ；熱容量即ち比熱、ρ；密
度即ち比重を示す。
伝熱量Ｑは、次式で表すことができる。即ち、Ｑ＝（２
・κ・ｃ・ρ・Ｔ／π）1 / 2 ×Δθ0 ×Ａである。但
し、Ａ；表面積、Δθ0 ；表面での温度振幅、Ｔ；表面
での温度、κ；熱伝導率、ｃ；熱容量即ち比熱、ρ；密
度即ち比重を示す。
【０００７】上記の式から分かるように、Ｑを小さくす
るには、使用する材料の物性値として、熱伝導率κ×比
熱ｃ×比重ρの積を小さくする必要がある。しかしなが
ら、ＺｒＯ2 ではその値の平方根（κ×ｃ×ρ）1 / 2
は５であり、Ｓｉ3 Ｎ4 ではその値の平方根（κ×ｃ×
ρ）1 / 2 は８．７である。そこで、熱伝導率κ、比熱
ｃ及び比重ρが仮に小さくなると、例えば、熱伝導率κ
が２．１ｗ／ｍ・Ｋであり、比熱ｃが０．７Ｊ／ｇ・Ｋ
であり、比重ρが２．２程度の軽量で低熱伝導材であれ
ば、上記の値は１．８程度になり、伝熱量Ｑは、ＺｒＯ
2 並びにＳｉ3Ｎ4 に比較して約３６％、２０％程度と
小さくすることができる。
るには、使用する材料の物性値として、熱伝導率κ×比
熱ｃ×比重ρの積を小さくする必要がある。しかしなが
ら、ＺｒＯ2 ではその値の平方根（κ×ｃ×ρ）1 / 2
は５であり、Ｓｉ3 Ｎ4 ではその値の平方根（κ×ｃ×
ρ）1 / 2 は８．７である。そこで、熱伝導率κ、比熱
ｃ及び比重ρが仮に小さくなると、例えば、熱伝導率κ
が２．１ｗ／ｍ・Ｋであり、比熱ｃが０．７Ｊ／ｇ・Ｋ
であり、比重ρが２．２程度の軽量で低熱伝導材であれ
ば、上記の値は１．８程度になり、伝熱量Ｑは、ＺｒＯ
2 並びにＳｉ3Ｎ4 に比較して約３６％、２０％程度と
小さくすることができる。
【０００８】そこで、この発明の目的は、上記の課題を
解決することであり、Ｓｉと複合酸化物から成る混合粉
末を原料として、窒化焼成即ち窒素雰囲気で反応焼結し
た後、酸化処理即ち大気雰囲気で熱処理し、軽量で且つ
従来の単一酸化物との複合に比較して低熱伝導率を有す
る材料を得るものであり、複合酸化物として、Ａｌ6Ｓ
ｉ2 Ｏ1 3 （ムライト），（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，Ｌｉ
2 Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 即ちＬＡＳ，ＭｇＯ・Ａｌ
2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 即ちＭＡＳ，Ａｌ2 ＴｉＯ5（チタン
酸アルミニウム）を使用できる複合セラミックス及びそ
の製造方法を提供することである。
解決することであり、Ｓｉと複合酸化物から成る混合粉
末を原料として、窒化焼成即ち窒素雰囲気で反応焼結し
た後、酸化処理即ち大気雰囲気で熱処理し、軽量で且つ
従来の単一酸化物との複合に比較して低熱伝導率を有す
る材料を得るものであり、複合酸化物として、Ａｌ6Ｓ
ｉ2 Ｏ1 3 （ムライト），（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，Ｌｉ
2 Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 即ちＬＡＳ，ＭｇＯ・Ａｌ
2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 即ちＭＡＳ，Ａｌ2 ＴｉＯ5（チタン
酸アルミニウム）を使用できる複合セラミックス及びそ
の製造方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、Ｓｉ，Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，
Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍｇの元素群から少なくとも１種以上
でなる相を持ち、且つ比重が２．６以下であることを特
徴とする複合セラミックスに関する。
を達成するために、次のように構成されている。即ち、
この発明は、Ｓｉ，Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，
Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍｇの元素群から少なくとも１種以上
でなる相を持ち、且つ比重が２．６以下であることを特
徴とする複合セラミックスに関する。
【００１０】また、この複合セラミックスは、Ｓｉ，
Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｌｉ，
Ｐの元素群から少なくとも１種以上の元素からなり、１
つの分散相が隣接する複数の相或いは取り巻かれた複数
の相から構成されているものである。
Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｌｉ，
Ｐの元素群から少なくとも１種以上の元素からなり、１
つの分散相が隣接する複数の相或いは取り巻かれた複数
の相から構成されているものである。
【００１１】また、この複合セラミックスは、前記相又
は前記分散相には、Ｓｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎ及びＳｉ，Ｏ，
Ｎでなる相がそれぞれ形成されているものである。
は前記分散相には、Ｓｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎ及びＳｉ，Ｏ，
Ｎでなる相がそれぞれ形成されているものである。
【００１２】また、この複合セラミックスは、前記相又
は前記分散相がその中心にＡｌがリッチな相を有してい
るものである。
は前記分散相がその中心にＡｌがリッチな相を有してい
るものである。
【００１３】また、この複合セラミックスは、ポート、
マニホルド、ピストンヘッドに適用できるものである。
マニホルド、ピストンヘッドに適用できるものである。
【００１４】又は、この発明は、Ｓｉ及び複合酸化物か
ら成る混合粉末を原料とし、該混合粉末を成形して成形
体を作製し、該成形体を窒化焼成して焼結体を作製し、
次いで、前記焼結体を酸化処理したことを特徴とする複
合セラミックスの製造方法に関する。
ら成る混合粉末を原料とし、該混合粉末を成形して成形
体を作製し、該成形体を窒化焼成して焼結体を作製し、
次いで、前記焼結体を酸化処理したことを特徴とする複
合セラミックスの製造方法に関する。
【００１５】また、この複合セラミックスの製造方法に
おいて、前記複合酸化物はＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ，Ｌｉ2
Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，Ｍ
ｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，Ａｌ2 ＴｉＯ5 の群のう
ちの少なくとも１種を含んでいるものである。
おいて、前記複合酸化物はＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ，Ｌｉ2
Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，Ｍ
ｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，Ａｌ2 ＴｉＯ5 の群のう
ちの少なくとも１種を含んでいるものである。
【００１６】また、この複合セラミックスの製造方法に
おいて、前記複合酸化物は重量に換算して１５〜６５ｗ
ｔ％含まれているものである。
おいて、前記複合酸化物は重量に換算して１５〜６５ｗ
ｔ％含まれているものである。
【００１７】
【作用】この発明による複合セラミックス及びその製造
方法は、上記のように構成されており、次のように作用
する。即ち、この複合セラミックスは、Ｓｉ，Ｏ，Ｎの
全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍｇ，Ｔｉ
の元素群から少なくとも１種以上の元素からなり、比重
が２．６以下であるので、１つの相に複数の相が隣接す
るか、或いは１つの相を複数の相が取り囲まれ、軽量で
且つ低熱伝導率の複合セラミックスを提供できる。
方法は、上記のように構成されており、次のように作用
する。即ち、この複合セラミックスは、Ｓｉ，Ｏ，Ｎの
全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍｇ，Ｔｉ
の元素群から少なくとも１種以上の元素からなり、比重
が２．６以下であるので、１つの相に複数の相が隣接す
るか、或いは１つの相を複数の相が取り囲まれ、軽量で
且つ低熱伝導率の複合セラミックスを提供できる。
【００１８】また、この複合セラミックスは、Ｓｉ，
Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍ
ｇ，Ｔｉの元素群から少なくとも１種以上の元素からな
り、１つの分散相が隣接する複数の相或いは取り巻かれ
た複数の相から構成されているので、軽量で且つ低熱伝
導率の複合セラミックスを提供できる。
Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍ
ｇ，Ｔｉの元素群から少なくとも１種以上の元素からな
り、１つの分散相が隣接する複数の相或いは取り巻かれ
た複数の相から構成されているので、軽量で且つ低熱伝
導率の複合セラミックスを提供できる。
【００１９】又は、この複合セラミックスは、Ｓｉと複
合酸化物を原料として窒化、熱処理を行うことによって
製造されるので、単なる酸化物との複合化に比較してナ
ノレベルでの混合相、或いは特異な固溶体が形成され、
それらがフォノン散乱を促進するために、低熱伝導率に
なる。
合酸化物を原料として窒化、熱処理を行うことによって
製造されるので、単なる酸化物との複合化に比較してナ
ノレベルでの混合相、或いは特異な固溶体が形成され、
それらがフォノン散乱を促進するために、低熱伝導率に
なる。
【００２０】
【実施例】以下、図面及び表を参照して、この発明によ
る複合セラミックス及びその製造方法の実施例を説明す
る。図１は各種酸化物粉末とＳｉから成る混合粉末を原
料として作製した反応焼結セラミックスの熱伝導率を示
すグラフ、図２はＳｉとＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 とを原料と
して反応焼結させ、更に酸化処理した複合セラミックス
の微細組織を示す説明図、及び図３は図２の複合セラミ
ックスの生成相のＸ線回折による同定結果を示す線図で
ある。
る複合セラミックス及びその製造方法の実施例を説明す
る。図１は各種酸化物粉末とＳｉから成る混合粉末を原
料として作製した反応焼結セラミックスの熱伝導率を示
すグラフ、図２はＳｉとＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 とを原料と
して反応焼結させ、更に酸化処理した複合セラミックス
の微細組織を示す説明図、及び図３は図２の複合セラミ
ックスの生成相のＸ線回折による同定結果を示す線図で
ある。
【００２１】この複合セラミックスの製造方法におい
て、Ｓｉ及び酸化物粉末でなる原料を所定量秤量し、粉
末総重量の１．５倍の蒸留水を加え、Ｓｉ3 Ｎ4 ボール
を媒体として、ボールミルで約２４時間混合して混合物
を作った。この混合物を十分乾燥させた後、ボールミル
を使用して乾燥混合物を約１５時間かけて粉砕して混合
粉末を作製した。この混合粉末を金型内に入れ、一軸加
圧により予備成形後、ＣＩＰにより約１５×１５×８０
ｍｍの成形体を作製した。この成形体を焼成炉内に入
れ、０．９３ＭＰａのＮ2 雰囲気で最高１４００℃まで
加熱して焼結体を作製した。この焼結体を酸化処理し
た。酸化処理は、大気中において３２０℃／ｈｒで昇温
し、所定温度まで加熱した後、その温度状態で１時間保
持した。
て、Ｓｉ及び酸化物粉末でなる原料を所定量秤量し、粉
末総重量の１．５倍の蒸留水を加え、Ｓｉ3 Ｎ4 ボール
を媒体として、ボールミルで約２４時間混合して混合物
を作った。この混合物を十分乾燥させた後、ボールミル
を使用して乾燥混合物を約１５時間かけて粉砕して混合
粉末を作製した。この混合粉末を金型内に入れ、一軸加
圧により予備成形後、ＣＩＰにより約１５×１５×８０
ｍｍの成形体を作製した。この成形体を焼成炉内に入
れ、０．９３ＭＰａのＮ2 雰囲気で最高１４００℃まで
加熱して焼結体を作製した。この焼結体を酸化処理し
た。酸化処理は、大気中において３２０℃／ｈｒで昇温
し、所定温度まで加熱した後、その温度状態で１時間保
持した。
【００２２】得られた焼結体の熱伝導率を測定するた
め、その焼結体から熱伝導率用として１．５±０．０３
ｍｍのペレットを熱伝導率測定試験片にし、また、曲げ
試験用として３×４×４０ｍｍになるように研削加工し
て曲げ試験片を作製した。熱伝導率の測定は、レーザー
フラッシュ法により室温で行った。また、強度の測定
は、４点曲げにより行った。試験片の本数は、各酸化処
理条件に付き２０本以上、スパンは３０ｍｍ、クロスヘ
ッドスピードは５ｍｍ／分とした。
め、その焼結体から熱伝導率用として１．５±０．０３
ｍｍのペレットを熱伝導率測定試験片にし、また、曲げ
試験用として３×４×４０ｍｍになるように研削加工し
て曲げ試験片を作製した。熱伝導率の測定は、レーザー
フラッシュ法により室温で行った。また、強度の測定
は、４点曲げにより行った。試験片の本数は、各酸化処
理条件に付き２０本以上、スパンは３０ｍｍ、クロスヘ
ッドスピードは５ｍｍ／分とした。
【００２３】試験片を減圧容器内で水中に沈め、６０ｍ
ｍＨｇ以下になるまで減圧し、その状態で約４８時間保
持した。表面に付着した水滴をペーパータオルで軽く拭
った後、重量を測定し、吸水前後での重量の増加量をそ
の温度における水の密度と試験片堆積で除した値を求
め、その値を気孔率とした。多孔体中の固体部分の熱伝
導率の算出にあたっては固体部分の熱伝導率λS が既知
の場合、多孔材における熱伝導率λを未知数とし、その
気孔率との関係は次式で表される。本発明では、同様に
式を使って、λ，Ｐを実験から求め、λS を算出した。 λ＝１／Ａ＋Ｂ 但し、Ａ；（１−Ｐ1 / 3 ）／λS Ｂ；Ｐ1 / 3 ／〔（１−Ｐ2 / 3 ）×λS ＋Ｐ2 / 3 ×
λg 〕である。 Ｐ；気孔率、λ；多孔体の熱伝導率、λS ；固体部分の
熱伝導率、λg ；気体の熱伝導率であり、空気の熱伝導
率（＝０．０４７８ｗ／ｍ・Ｋ）を用いた。
ｍＨｇ以下になるまで減圧し、その状態で約４８時間保
持した。表面に付着した水滴をペーパータオルで軽く拭
った後、重量を測定し、吸水前後での重量の増加量をそ
の温度における水の密度と試験片堆積で除した値を求
め、その値を気孔率とした。多孔体中の固体部分の熱伝
導率の算出にあたっては固体部分の熱伝導率λS が既知
の場合、多孔材における熱伝導率λを未知数とし、その
気孔率との関係は次式で表される。本発明では、同様に
式を使って、λ，Ｐを実験から求め、λS を算出した。 λ＝１／Ａ＋Ｂ 但し、Ａ；（１−Ｐ1 / 3 ）／λS Ｂ；Ｐ1 / 3 ／〔（１−Ｐ2 / 3 ）×λS ＋Ｐ2 / 3 ×
λg 〕である。 Ｐ；気孔率、λ；多孔体の熱伝導率、λS ；固体部分の
熱伝導率、λg ；気体の熱伝導率であり、空気の熱伝導
率（＝０．０４７８ｗ／ｍ・Ｋ）を用いた。
【００２４】図１には、数種の酸化物及び窒化物を添加
物とし、これらの添加物粉末とＳｉ粉末から成る混合粉
末を原料として作製した反応焼結複合材即ち複合セラミ
ックスの固体部分の熱伝導率λS を示している。図１で
は、縦軸に固体部分の熱伝導率λS をとり、熱伝導率λ
S は、熱伝導率の実測値λと気孔率から上記式を用いて
算出した値（ｗ／ｍ・Ｋ）である。図１では、横軸に酸
化物及び窒化物の添加物の配合割合をとり、添加物は全
重量に対する配合割合をｍｏｌ％で示している。用いた
添加物については、Ａｌ2 ＴｉＯ5 ，Ａｌ2 Ｏ3 ＋Ｔｉ
Ｏ2 ，ＺｒＯ2，Ａｌ2 Ｏ3 ，（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，
Ｌｉ2 Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 （即ちＬＡＳ），Ｙ2
Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ，ＴｉＮ，ＭｇＯ
・Ａｌ2Ｏ3 ・ＳｉＯ2 （即ちＭＡＳ），Ｓｉ単独の各
種である。
物とし、これらの添加物粉末とＳｉ粉末から成る混合粉
末を原料として作製した反応焼結複合材即ち複合セラミ
ックスの固体部分の熱伝導率λS を示している。図１で
は、縦軸に固体部分の熱伝導率λS をとり、熱伝導率λ
S は、熱伝導率の実測値λと気孔率から上記式を用いて
算出した値（ｗ／ｍ・Ｋ）である。図１では、横軸に酸
化物及び窒化物の添加物の配合割合をとり、添加物は全
重量に対する配合割合をｍｏｌ％で示している。用いた
添加物については、Ａｌ2 ＴｉＯ5 ，Ａｌ2 Ｏ3 ＋Ｔｉ
Ｏ2 ，ＺｒＯ2，Ａｌ2 Ｏ3 ，（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，
Ｌｉ2 Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 （即ちＬＡＳ），Ｙ2
Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ，ＴｉＮ，ＭｇＯ
・Ａｌ2Ｏ3 ・ＳｉＯ2 （即ちＭＡＳ），Ｓｉ単独の各
種である。
【００２５】図１に示した熱伝導率（ｗ／ｍ・Ｋ）を考
慮すると、熱伝導率の低減率は添加物の種類によって異
なることが分かる。例えば、Ａｌ2 Ｏ3 や、Ａｌ2 Ｏ3
とＴｉＯ2 を同時に添加した複合材に比べ、或いは複合
酸化物であるＡｌ2 ＴｉＯ5，Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ，
（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，ＬＡＳ，ＭＡＳといった酸化物
は、熱伝導率の低減効果が大きいことが分かる。また、
ＺｒＯ2 ，Ｌａ2 Ｏ3 ，ＣｅＯ2 ，Ｙ2 Ｏ3 を添加した
材料では大気中、８００℃で加熱した後、微小亀裂が発
生し、強度が著しく低下していた。
慮すると、熱伝導率の低減率は添加物の種類によって異
なることが分かる。例えば、Ａｌ2 Ｏ3 や、Ａｌ2 Ｏ3
とＴｉＯ2 を同時に添加した複合材に比べ、或いは複合
酸化物であるＡｌ2 ＴｉＯ5，Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ，
（ＺｒＯ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，ＬＡＳ，ＭＡＳといった酸化物
は、熱伝導率の低減効果が大きいことが分かる。また、
ＺｒＯ2 ，Ｌａ2 Ｏ3 ，ＣｅＯ2 ，Ｙ2 Ｏ3 を添加した
材料では大気中、８００℃で加熱した後、微小亀裂が発
生し、強度が著しく低下していた。
【００２６】次に、Ｓｉと複合酸化物の混合粉末を原料
として得られた焼結体の特性を表１に示す。表１におい
て、作製条件における配合量（ｗｔ％）は、酸化物重量
を全体粉末重量（Ｓｉ＋酸化物重量）で除し、１００を
掛けた値である。
として得られた焼結体の特性を表１に示す。表１におい
て、作製条件における配合量（ｗｔ％）は、酸化物重量
を全体粉末重量（Ｓｉ＋酸化物重量）で除し、１００を
掛けた値である。
【表１】
【００２７】この複合セラミックスの製造方法におい
て、Ｓｉの６５ｗｔ％にＡｌ6 Ｓｉ2Ｏ1 3 の３５ｗｔ
％を配合して混合粉末を作製し、該混合粉末を原料とし
て成形し、その成形体を１４００℃で反応焼結して焼結
体を作製し、この焼結体を大気中で１０００℃で加熱処
理即ち酸化処理して複合セラミックスの焼結体を作製し
た。このようにして作製した複合セラミックスを切断
し、切断面を研磨処理した後、Ｘ線マイクロアナライザ
ーによってその元素分布を調査したところ、図２及び図
３に示す結果を得た。
て、Ｓｉの６５ｗｔ％にＡｌ6 Ｓｉ2Ｏ1 3 の３５ｗｔ
％を配合して混合粉末を作製し、該混合粉末を原料とし
て成形し、その成形体を１４００℃で反応焼結して焼結
体を作製し、この焼結体を大気中で１０００℃で加熱処
理即ち酸化処理して複合セラミックスの焼結体を作製し
た。このようにして作製した複合セラミックスを切断
し、切断面を研磨処理した後、Ｘ線マイクロアナライザ
ーによってその元素分布を調査したところ、図２及び図
３に示す結果を得た。
【００２８】図２は、得られた焼結体の微細組織、及び
生成相の同定結果をＸ線マイクロアナライザーによって
示したものであり、Ｓｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎの存在状態を示
すために模写したものである。或いは、図３は、この複
合セラミックスの製造方法で作製した複合セラミックス
の組織のＸ線マイクロアナライザーで作図した分析図で
ある。図３において、最も黒く濃い部分がＡｌ2 Ｏ
3 （Ａｌ−Ｏ）であり、次に黒く濃い部分がＳｉ−Ｏ−
Ｎであり、白い部分がＳｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ（Ｓｉ3Ａｌ
3 Ｏ3 Ｎ5 ）であり、白い部分に細かく点在する部分が
Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ（Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ）である。図２又
は図３から分かるように、Ｓｉ−Ｏ−Ｎ相即ちＳｉ，Ｏ
がリッチな相を中心にして、それを取り囲むようにして
Ｓｉ，Ａｌ，Ｏがリッチな相が形成され、その周りにＡ
ｌ，Ｏがリッチな相が形成されていることが分かる。
生成相の同定結果をＸ線マイクロアナライザーによって
示したものであり、Ｓｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎの存在状態を示
すために模写したものである。或いは、図３は、この複
合セラミックスの製造方法で作製した複合セラミックス
の組織のＸ線マイクロアナライザーで作図した分析図で
ある。図３において、最も黒く濃い部分がＡｌ2 Ｏ
3 （Ａｌ−Ｏ）であり、次に黒く濃い部分がＳｉ−Ｏ−
Ｎであり、白い部分がＳｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ（Ｓｉ3Ａｌ
3 Ｏ3 Ｎ5 ）であり、白い部分に細かく点在する部分が
Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ（Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ）である。図２又
は図３から分かるように、Ｓｉ−Ｏ−Ｎ相即ちＳｉ，Ｏ
がリッチな相を中心にして、それを取り囲むようにして
Ｓｉ，Ａｌ，Ｏがリッチな相が形成され、その周りにＡ
ｌ，Ｏがリッチな相が形成されていることが分かる。
【００２９】また、図６には、ＳｉにＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ
1 3 の３５ｗｔ％を配合して得られた焼結体の生成相の
Ｘ線回折による同定結果即ちＸ線回折パターンを示す
が、Ｓｉ3 Ａｌ3 Ｏ3 Ｎ5 が検出された。Ｘ線回折パタ
ーンでは、Ｘ線マイクロアナライザーで検出されたＳｉ
ＯＮが検出されなかったことから考慮すると、ＳｉＯＮ
は非晶質である可能性がある。また、ＳｉＡｌＯＮ相も
固溶体であって熱伝導率は低いと考えられる。
1 3 の３５ｗｔ％を配合して得られた焼結体の生成相の
Ｘ線回折による同定結果即ちＸ線回折パターンを示す
が、Ｓｉ3 Ａｌ3 Ｏ3 Ｎ5 が検出された。Ｘ線回折パタ
ーンでは、Ｘ線マイクロアナライザーで検出されたＳｉ
ＯＮが検出されなかったことから考慮すると、ＳｉＯＮ
は非晶質である可能性がある。また、ＳｉＡｌＯＮ相も
固溶体であって熱伝導率は低いと考えられる。
【００３０】従って、この複合セラミックスは、ＳｉＯ
Ｎの非晶質或いはＳｉＡｌＯＮ相の固溶体が極めて微細
なレベルで形成され、多重相を構成していることがフォ
ノン散乱を促進し、低熱伝導化されていると考えられ
る。
Ｎの非晶質或いはＳｉＡｌＯＮ相の固溶体が極めて微細
なレベルで形成され、多重相を構成していることがフォ
ノン散乱を促進し、低熱伝導化されていると考えられ
る。
【００３１】また、この発明による複合セラミックスの
製造方法において、ＳｉとＡｌ2 ＴｉＯ5 の混合粉末を
原料として作製した複合セラミックスを、図４及び図５
に示す。図４はこの複合セラミックスの製造方法で作製
した複合セラミックスの組織のＸ線マイクロアナライザ
ーで作図した分析図、及び図５は図４の分析図の一部を
説明する説明図である。この複合セラミックスは、Ｓｉ
を６５ｗｔ％とＡｌ2ＴｉＯ5 を３５ｗｔ％とから混合
粉末を原料とし、その混合粉末を成形した後、１４００
℃の窒素雰囲気内で反応焼結し、次いで、１０００℃の
大気中にて加熱処理即ち酸化処理を行うことによって製
造できる。このようにして作製した複合セラミックスを
切断し、切断面を研磨処理した後、Ｘ線マイクロアナラ
イザーによってその元素分布を調査したところ、図４及
び図５に示す結果を得た。図４において、最も黒く濃い
コア部分がＡｌ2 Ｏ3 （Ａｌ−Ｏ）であり、次に黒く濃
い部分がＳｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎであり、白い部分がＳｉ−
Ａｌ−Ｔｉ−Ｏ−Ｎであり、Ａｌ2 Ｏ3 の濃いコア部分
を取り巻く相がＴｉ−Ｏのリッチな相である。図４及び
図５から分かるように、Ａｌがリッチな相を中心にして
その外側にＴｉ，Ａｌがリッチな相が隣接し、更にＴ
ｉ，Ａｌがリッチな相を取り囲むようにＳｉ−Ａｌ−Ｔ
ｉ−Ｏ−Ｎの相が存在していることが分かる。
製造方法において、ＳｉとＡｌ2 ＴｉＯ5 の混合粉末を
原料として作製した複合セラミックスを、図４及び図５
に示す。図４はこの複合セラミックスの製造方法で作製
した複合セラミックスの組織のＸ線マイクロアナライザ
ーで作図した分析図、及び図５は図４の分析図の一部を
説明する説明図である。この複合セラミックスは、Ｓｉ
を６５ｗｔ％とＡｌ2ＴｉＯ5 を３５ｗｔ％とから混合
粉末を原料とし、その混合粉末を成形した後、１４００
℃の窒素雰囲気内で反応焼結し、次いで、１０００℃の
大気中にて加熱処理即ち酸化処理を行うことによって製
造できる。このようにして作製した複合セラミックスを
切断し、切断面を研磨処理した後、Ｘ線マイクロアナラ
イザーによってその元素分布を調査したところ、図４及
び図５に示す結果を得た。図４において、最も黒く濃い
コア部分がＡｌ2 Ｏ3 （Ａｌ−Ｏ）であり、次に黒く濃
い部分がＳｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎであり、白い部分がＳｉ−
Ａｌ−Ｔｉ−Ｏ−Ｎであり、Ａｌ2 Ｏ3 の濃いコア部分
を取り巻く相がＴｉ−Ｏのリッチな相である。図４及び
図５から分かるように、Ａｌがリッチな相を中心にして
その外側にＴｉ，Ａｌがリッチな相が隣接し、更にＴ
ｉ，Ａｌがリッチな相を取り囲むようにＳｉ−Ａｌ−Ｔ
ｉ−Ｏ−Ｎの相が存在していることが分かる。
【００３２】以上のことより、この複合セラミックスで
は、チタン酸アルミニウム（Ａｌ2ＴｉＯ5 ）やムライ
ト（Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ）等の複合酸化物とＳｉとを原
料にして作製した混合物を、窒化焼成した場合に製造で
きる複合セラミックスは、従来のような単一酸化物、例
えば、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）の添加によって
作製したセラミックスと異なり、分散相が多重に構成さ
れていることが特徴である。この多重の相は、複合酸化
物の窒化焼成時における分解、並びにＳｉや窒素ガス
（Ｎ2 ）雰囲気との複雑な反応によって形成されたと考
えられる。そして、複合セラミックスにおける多重相に
よって、熱のキャリヤであるフォノン散乱が境界部分で
生じ、複合セラミックスが低熱伝導の性質になると考え
られる。
は、チタン酸アルミニウム（Ａｌ2ＴｉＯ5 ）やムライ
ト（Ａｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 ）等の複合酸化物とＳｉとを原
料にして作製した混合物を、窒化焼成した場合に製造で
きる複合セラミックスは、従来のような単一酸化物、例
えば、酸化アルミニウム（Ａｌ2 Ｏ3 ）の添加によって
作製したセラミックスと異なり、分散相が多重に構成さ
れていることが特徴である。この多重の相は、複合酸化
物の窒化焼成時における分解、並びにＳｉや窒素ガス
（Ｎ2 ）雰囲気との複雑な反応によって形成されたと考
えられる。そして、複合セラミックスにおける多重相に
よって、熱のキャリヤであるフォノン散乱が境界部分で
生じ、複合セラミックスが低熱伝導の性質になると考え
られる。
【００３３】
【発明の効果】この発明による複合セラミックス及びそ
の製造方法は、上記のように構成されており、次のよう
な効果を有する。即ち、この複合セラミックスは、Ｓ
ｉ，Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，
Ｐ，Ｍｇの元素群から少なくとも１種以上でなる相を持
ち、且つ比重が２．６以下であるので、軽量であり、熱
伝導率の小さいセラミックスを作製するとができ、従っ
て、エンジン等の部品の遮熱部品に適用した場合に、非
定常状態での伝熱量を低減することができる。
の製造方法は、上記のように構成されており、次のよう
な効果を有する。即ち、この複合セラミックスは、Ｓ
ｉ，Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，
Ｐ，Ｍｇの元素群から少なくとも１種以上でなる相を持
ち、且つ比重が２．６以下であるので、軽量であり、熱
伝導率の小さいセラミックスを作製するとができ、従っ
て、エンジン等の部品の遮熱部品に適用した場合に、非
定常状態での伝熱量を低減することができる。
【００３４】また、この複合セラミックスの製造方法
は、Ｓｉ及び複合酸化物から成る混合粉末を原料とし、
該混合粉末を成形して成形体を作製し、該成形体を窒化
焼成して焼結体を作製し、次いで、前記焼結体を酸化処
理したものであり、前記複合酸化物としては、Ａｌ6 Ｓ
ｉ2 Ｏ1 3 ，Ｌｉ2 Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，（Ｚｒ
Ｏ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，ＭｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 を使用
できるものである。
は、Ｓｉ及び複合酸化物から成る混合粉末を原料とし、
該混合粉末を成形して成形体を作製し、該成形体を窒化
焼成して焼結体を作製し、次いで、前記焼結体を酸化処
理したものであり、前記複合酸化物としては、Ａｌ6 Ｓ
ｉ2 Ｏ1 3 ，Ｌｉ2 Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，（Ｚｒ
Ｏ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，ＭｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 を使用
できるものである。
【００３５】この複合セラミックスは、Ａｌ2 ＴｉＯ5
やＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 等の複合酸化物とＳｉとを原料に
して作製した混合物を、窒化焼成し、次いで酸化処理し
て製造できるので、従来のようなＡｌ2 Ｏ3 のような単
一酸化物の添加によって作製したセラミックスと異な
り、分散相が多重に構成される。この多重の相は、複合
酸化物の窒化焼成時における分解、並びにＳｉやＮ2 雰
囲気との反応によって形成される。そして、この複合セ
ラミックスは、その多重相によって熱のキャリヤである
フォノン散乱が境界部分で生じ、低熱伝導の性質を有す
るようになる。
やＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 等の複合酸化物とＳｉとを原料に
して作製した混合物を、窒化焼成し、次いで酸化処理し
て製造できるので、従来のようなＡｌ2 Ｏ3 のような単
一酸化物の添加によって作製したセラミックスと異な
り、分散相が多重に構成される。この多重の相は、複合
酸化物の窒化焼成時における分解、並びにＳｉやＮ2 雰
囲気との反応によって形成される。そして、この複合セ
ラミックスは、その多重相によって熱のキャリヤである
フォノン散乱が境界部分で生じ、低熱伝導の性質を有す
るようになる。
【図１】各種酸化物粉末とＳｉから成る混合粉末を原料
として作製した反応焼結セラミックスの熱伝導率を示す
グラフである。
として作製した反応焼結セラミックスの熱伝導率を示す
グラフである。
【図２】ＳｉとＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 とを原料として反応
焼結させ、更に酸化処理した複合セラミックスの微細組
織を示す説明図である。
焼結させ、更に酸化処理した複合セラミックスの微細組
織を示す説明図である。
【図３】この複合セラミックスの製造方法において、Ｓ
ｉとＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 との混合物を反応焼結させ、酸
化処理した複合セラミックスの組織のＸ線マイクロアナ
ライザーで作図した分析図である。
ｉとＡｌ6 Ｓｉ2 Ｏ1 3 との混合物を反応焼結させ、酸
化処理した複合セラミックスの組織のＸ線マイクロアナ
ライザーで作図した分析図である。
【図４】この複合セラミックスの製造方法において、Ｓ
ｉとＡｌ2 ＴｉＯ5 との混合物を反応焼結させ、酸化処
理した複合セラミックスの組織のＸ線マイクロアナライ
ザーで作図した分析図である。
ｉとＡｌ2 ＴｉＯ5 との混合物を反応焼結させ、酸化処
理した複合セラミックスの組織のＸ線マイクロアナライ
ザーで作図した分析図である。
【図５】図４の分析図の一部を説明する説明図である。
【図６】図２の複合セラミックスの生成相のＸ線回折に
よる同定結果を示す線図である。
よる同定結果を示す線図である。
Claims (11)
- 【請求項１】 Ｓｉ，Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡ
ｌ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐ，Ｍｇの元素群から少なくとも１種
以上でなる相を持ち、且つ比重が２．６以下であること
を特徴とする複合セラミックス。 - 【請求項２】 １つの前記相は隣接する複数の相或いは
取り巻かれた複数の相から構成されていることを特徴と
する請求項１に記載の複合セラミックス。 - 【請求項３】 前記相には、Ｓｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎ及びＳ
ｉ，Ｏ，Ｎでなる相がそれぞれ形成されていることを特
徴とする請求項１に記載の複合セラミックス。 - 【請求項４】 前記相がその中心にＡｌがリッチな相を
有していることを特徴とする請求項１に記載の複合セラ
ミックス。 - 【請求項５】 Ｓｉ，Ｏ，Ｎの全ての元素、並びにＡ
ｌ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｐの元素群から少なくとも１種
以上の元素からなり、１つの分散相が隣接する複数の相
或いは取り巻かれた複数の相から構成されていることを
特徴とする複合セラミックス。 - 【請求項６】 前記分散相には、Ｓｉ，Ａｌ，Ｏ，Ｎ及
びＳｉ，Ｏ，Ｎでなる相がそれぞれ形成されていること
を特徴とする請求項５に記載の複合セラミックス。 - 【請求項７】 前記分散相がその中心にＡｌがリッチな
相を有していることを特徴とする請求項５に記載の複合
セラミックス。 - 【請求項８】 ポート、マニホルド、ピストンヘッドに
適用できることを特徴とする請求項１又は請求項５に記
載の複合セラミックス。 - 【請求項９】 Ｓｉ及び複合酸化物から成る混合粉末を
原料とし、該混合粉末を成形して成形体を作製し、該成
形体を窒化焼成して焼結体を作製し、次いで、前記焼結
体を酸化処理したことを特徴とする複合セラミックスの
製造方法。 - 【請求項１０】 前記複合酸化物はＡｌ6 Ｓｉ
2 Ｏ1 3 ，Ｌｉ2 Ｏ・Ａｌ2Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，（Ｚｒ
Ｏ）2 Ｐ2 Ｏ7 ，ＭｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ・ＳｉＯ2 ，Ａｌ
2 ＴｉＯ5 の群のうちの少なくとも１種を含んでいるこ
とを特徴とする請求項９に記載の複合セラミックスの製
造方法。 - 【請求項１１】 前記複合酸化物は重量に換算して１５
〜６５ｗｔ％含まれていることを特徴とする請求項９に
記載の複合セラミックスの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5249718A JPH0797268A (ja) | 1993-06-14 | 1993-09-13 | 複合セラミックス及びその製造方法 |
| DE4432182A DE4432182A1 (de) | 1993-09-13 | 1994-09-09 | Verbundkeramik und Verfahren zu deren Herstellung |
| US08/593,282 US5616527A (en) | 1993-09-13 | 1996-01-30 | Composite ceramic |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-165976 | 1993-06-14 | ||
| JP16597693 | 1993-06-14 | ||
| JP5249718A JPH0797268A (ja) | 1993-06-14 | 1993-09-13 | 複合セラミックス及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0797268A true JPH0797268A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=26490517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5249718A Pending JPH0797268A (ja) | 1993-06-14 | 1993-09-13 | 複合セラミックス及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0797268A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010150123A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-07-08 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化珪素・メリライト複合焼結体及びそれを用いた装置 |
-
1993
- 1993-09-13 JP JP5249718A patent/JPH0797268A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010150123A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-07-08 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化珪素・メリライト複合焼結体及びそれを用いた装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR940011452B1 (ko) | 개질된 실리콘 질화물 결합을 갖는 실리콘 탄화물 내화성 제품 | |
| JPH0829975B2 (ja) | アルミナ基セラミックス焼結体 | |
| JPH0212893B2 (ja) | ||
| JPH0797268A (ja) | 複合セラミックス及びその製造方法 | |
| JP3091085B2 (ja) | 希土類珪酸化物系焼結体及びその製造方法 | |
| JPS6050750B2 (ja) | 窒化珪素質複合焼結体 | |
| US5616527A (en) | Composite ceramic | |
| EP0648717A2 (en) | Reaction sintered ceramics and method of producing the same | |
| JP2526598B2 (ja) | 窒化ケイ素セラミックスの製造方法 | |
| Yoshida et al. | Formation, powder characterization and sintering of MgCr2O4 by the hydrazine method | |
| JPH05279129A (ja) | 低熱伝導セラミックス及びその製造方法 | |
| US5545362A (en) | Production method of sintered silicon nitride | |
| JPH0694390B2 (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
| JPS6042188B2 (ja) | 窒化珪素成形体の製法 | |
| JP3176203B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| KR101090275B1 (ko) | 뮬라이트 결합 탄화규소 세라믹스 소재 제조용 조성물, 세라믹스 및 그 제조방법 | |
| JPS61251578A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
| Kazakos-Kijowski et al. | Multi-phasic Nanocomposite Sol-Gel Processing of Cordierite | |
| JP2632046B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JP3216236B2 (ja) | 低熱伝導セラミックスの製造方法 | |
| JPH11217270A (ja) | ハニカム構造体 | |
| JPH0553753B2 (ja) | ||
| JPS6125676B2 (ja) | ||
| JPH05238829A (ja) | 窒化けい素セラミックス焼結体 | |
| JP3567001B2 (ja) | 炭化珪素と窒化珪素の複合焼結体の製造方法 |