JPH0798256A - 駆動力測定装置 - Google Patents
駆動力測定装置Info
- Publication number
- JPH0798256A JPH0798256A JP5265687A JP26568793A JPH0798256A JP H0798256 A JPH0798256 A JP H0798256A JP 5265687 A JP5265687 A JP 5265687A JP 26568793 A JP26568793 A JP 26568793A JP H0798256 A JPH0798256 A JP H0798256A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear
- driving force
- motor
- mover
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リニアモータ等において固定子と可動子の相
対位置の変化に基づく駆動力の変化を測定する。 【構成】 一対のロードセル１ａ，１ｂをリニアモータ
Ｒ1 のリニアコイルＣ1の両端に当接する。サーボモー
タ５によってリニアモータＲ1 のリニアマグネットＭ1
をリニアコイルＣ1 に沿って移動させながら、両ロード
セル１ａ，１ｂの出力の差を算出し、リニアエンコーダ
６によって検出されたリニアマグネットＭ1 の位置とと
もにメモリ回路８に記憶させる。
対位置の変化に基づく駆動力の変化を測定する。 【構成】 一対のロードセル１ａ，１ｂをリニアモータ
Ｒ1 のリニアコイルＣ1の両端に当接する。サーボモー
タ５によってリニアモータＲ1 のリニアマグネットＭ1
をリニアコイルＣ1 に沿って移動させながら、両ロード
セル１ａ，１ｂの出力の差を算出し、リニアエンコーダ
６によって検出されたリニアマグネットＭ1 の位置とと
もにメモリ回路８に記憶させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体露光装置、ＩＣ
ボンディング装置、各種産業用ロボット、ＮＣ機械など
に用いられるリニアモータ等の駆動装置の駆動力の変化
を測定する駆動力測定装置に関するものである。
ボンディング装置、各種産業用ロボット、ＮＣ機械など
に用いられるリニアモータ等の駆動装置の駆動力の変化
を測定する駆動力測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体露光装置、ＩＣボンディング装
置、各種産業用ロボット、ＮＣ機械などにおいては、位
置決めステージやロボットハンド等の可動体を高精度で
制御することが必要であり、これらを駆動するリニアモ
ータ等の直動モータやサーボ回転モータ等の回転モータ
の駆動力には高度の均一性が要求される。ところが、リ
ニアモータ等の直動モータは可動子の移動に伴って駆動
力が変化する傾向があり、また、一般的な回転モータも
回転数や１回転中の回転角度に応じて多少のトルク変動
があるのが普通である。従って、前述のように位置決め
ステージやロボットハンド等の可動体の移動を高精度で
制御するためには、直動モータや回転モータの駆動力の
変化を高精度で測定し、これを補償することが必要であ
る。
置、各種産業用ロボット、ＮＣ機械などにおいては、位
置決めステージやロボットハンド等の可動体を高精度で
制御することが必要であり、これらを駆動するリニアモ
ータ等の直動モータやサーボ回転モータ等の回転モータ
の駆動力には高度の均一性が要求される。ところが、リ
ニアモータ等の直動モータは可動子の移動に伴って駆動
力が変化する傾向があり、また、一般的な回転モータも
回転数や１回転中の回転角度に応じて多少のトルク変動
があるのが普通である。従って、前述のように位置決め
ステージやロボットハンド等の可動体の移動を高精度で
制御するためには、直動モータや回転モータの駆動力の
変化を高精度で測定し、これを補償することが必要であ
る。
【０００３】従来は、可動体に固定したロードセルによ
ってこれに作用する推力を測定する推力測定器や、ある
いは、回転モータの回転数に対するトルクの変動を測定
するトルク測定器などが用いられていた。
ってこれに作用する推力を測定する推力測定器や、ある
いは、回転モータの回転数に対するトルクの変動を測定
するトルク測定器などが用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、リニアモータ等の直動モータや各種回
転モータの固定子に対する可動子の相対位置の変化に基
づく駆動力の変化を測定するものではないうえに、測定
値に駆動力の変化以外の外乱が含まれることが多く、従
って駆動力の補償を充分に行うことができず、その結
果、位置決めステージやロボットハンド等を高精度で制
御することが難しい。
の技術によれば、リニアモータ等の直動モータや各種回
転モータの固定子に対する可動子の相対位置の変化に基
づく駆動力の変化を測定するものではないうえに、測定
値に駆動力の変化以外の外乱が含まれることが多く、従
って駆動力の補償を充分に行うことができず、その結
果、位置決めステージやロボットハンド等を高精度で制
御することが難しい。
【０００５】本発明は上記従来の技術の有する問題点に
課題に鑑みてなされたものであり、リニアモータ等の直
動モータや各種回転モータにおいて、前記モータの固定
子に対する可動子の相対位置の変化やヒステリシスに基
づく駆動力の変化を測定することのできる駆動力測定装
置を提供することを目的とするものである。
課題に鑑みてなされたものであり、リニアモータ等の直
動モータや各種回転モータにおいて、前記モータの固定
子に対する可動子の相対位置の変化やヒステリシスに基
づく駆動力の変化を測定することのできる駆動力測定装
置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の駆動力測定装置は、駆動装置の可動子と固定
子のいずれか一方との間に少くとも１個の圧力検出手段
を挟持する第１の保持手段と、前記可動子と固定子の他
方を保持する第２の保持手段と、前記第１および前記第
２の保持手段を相対的に移動させる駆動手段と、前記可
動子と固定子の相対位置を検出する位置検出手段からな
ることを特徴とする。
め本発明の駆動力測定装置は、駆動装置の可動子と固定
子のいずれか一方との間に少くとも１個の圧力検出手段
を挟持する第１の保持手段と、前記可動子と固定子の他
方を保持する第２の保持手段と、前記第１および前記第
２の保持手段を相対的に移動させる駆動手段と、前記可
動子と固定子の相対位置を検出する位置検出手段からな
ることを特徴とする。
【０００７】また、それぞれ駆動装置の可動子および固
定子の一方の両面に当接される一対の圧力検出手段が設
けられているとよい。
定子の一方の両面に当接される一対の圧力検出手段が設
けられているとよい。
【０００８】
【作用】両保持手段の相対位置を変化させることで両者
に保持された駆動装置の可動子と固定子の相対位置を変
化させながら駆動装置を駆動する。圧力検出手段の出力
に基づいて駆動装置の駆動力を検出するとともに可動子
と固定子の相対位置を検出することによって、駆動装置
の可動子と固定子の相対位置の変化に基づく駆動力の変
化を測定することができる。
に保持された駆動装置の可動子と固定子の相対位置を変
化させながら駆動装置を駆動する。圧力検出手段の出力
に基づいて駆動装置の駆動力を検出するとともに可動子
と固定子の相対位置を検出することによって、駆動装置
の可動子と固定子の相対位置の変化に基づく駆動力の変
化を測定することができる。
【０００９】それぞれ駆動手段の可動子と固定子のいず
れか一方の両面に当接される一対の圧力検出手段が設け
られていれば、測定値に含まれる外乱を相殺し、測定精
度を向上させることができる。
れか一方の両面に当接される一対の圧力検出手段が設け
られていれば、測定値に含まれる外乱を相殺し、測定精
度を向上させることができる。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図面に基いて説明する。
【００１１】図１は一実施例による駆動力測定装置を説
明する説明図であって、これは公知のステッパ（縮小投
影型半導体露光装置）のＸＹステージ等を駆動する駆動
装置であるリニアモータの駆動力の変化を測定するもの
であり、リニアモータＲ1 の固定子であるリニアコイル
Ｃ1 の両端にそれぞれ当接自在な圧力検出手段である一
対のロードセル１ａ，１ｂを有し、一方のロードセル１
ａは第１の保持手段である支持体２の一端の支柱２ａに
固定され、他方のロードセル１ｂは、調節ねじ３によっ
て前記支柱２ａに対する離間距離を調節自在であるブロ
ック１ｃを介して支持体２の他端の支柱２ｂに支持され
ている。
明する説明図であって、これは公知のステッパ（縮小投
影型半導体露光装置）のＸＹステージ等を駆動する駆動
装置であるリニアモータの駆動力の変化を測定するもの
であり、リニアモータＲ1 の固定子であるリニアコイル
Ｃ1 の両端にそれぞれ当接自在な圧力検出手段である一
対のロードセル１ａ，１ｂを有し、一方のロードセル１
ａは第１の保持手段である支持体２の一端の支柱２ａに
固定され、他方のロードセル１ｂは、調節ねじ３によっ
て前記支柱２ａに対する離間距離を調節自在であるブロ
ック１ｃを介して支持体２の他端の支柱２ｂに支持され
ている。
【００１２】リニアモータＲ1 の可動子であるリニアマ
グネットＭ1 は、支持体２に設けられた低摩擦あるいは
無摩擦のガイド２ｃに沿ってリニアコイルＣ1 と平行に
往復移動自在な第２の保持手段である可動テーブル４に
保持され、可動テーブル４と一体である保持部材４ａは
サーボモータ５によって回転されるボールねじ５ａによ
りリニアコイルＣ1 に平行に往復移動される。サーボモ
ータ５の駆動によってリニアマグネットＭ1 がリニアコ
イルＣ1 に沿って移動すると、可動テーブル４に支持さ
れた位置検出手段であるリニアエンコーダ６がリニアマ
グネットＭ1 の移動量を検出する。カウンタ６ａはリニ
アエンコーダ６の出力からリニアマグネットＭ1 の新た
な位置を算出し、これを記憶手段であるメモリ回路８に
記憶させる。他方、リニアモータＲ1 の駆動電流はＤＡ
コンバータ９からドライバアンプ９ａを経てリニアコイ
ルＣ1 に供給され、これを励磁する。
グネットＭ1 は、支持体２に設けられた低摩擦あるいは
無摩擦のガイド２ｃに沿ってリニアコイルＣ1 と平行に
往復移動自在な第２の保持手段である可動テーブル４に
保持され、可動テーブル４と一体である保持部材４ａは
サーボモータ５によって回転されるボールねじ５ａによ
りリニアコイルＣ1 に平行に往復移動される。サーボモ
ータ５の駆動によってリニアマグネットＭ1 がリニアコ
イルＣ1 に沿って移動すると、可動テーブル４に支持さ
れた位置検出手段であるリニアエンコーダ６がリニアマ
グネットＭ1 の移動量を検出する。カウンタ６ａはリニ
アエンコーダ６の出力からリニアマグネットＭ1 の新た
な位置を算出し、これを記憶手段であるメモリ回路８に
記憶させる。他方、リニアモータＲ1 の駆動電流はＤＡ
コンバータ９からドライバアンプ９ａを経てリニアコイ
ルＣ1 に供給され、これを励磁する。
【００１３】リニアコイルＣ1 が励磁されると、リニア
マグネットＭ1 に作用する推力の反力によって両ロード
セル１ａ，１ｂの一方の圧力測定値が増加し、他方の圧
力測定値が減少する。両ロードセル１ａ，１ｂのそれぞ
れの出力はロードセルアンプ１０ａ，１０ｂを経て差分
器１０ｃへ導入され、差分器１０ｃの出力はＡＤコンバ
ータ１０ｄを経てカウンタ６ａの出力とともにメモり回
路８に記憶される。なお、サーボモータ５はＩ／Ｏポー
ト１１ａの指令信号とリニアエンコーダ６の出力に基い
てサーボドライバ１１によって駆動される。
マグネットＭ1 に作用する推力の反力によって両ロード
セル１ａ，１ｂの一方の圧力測定値が増加し、他方の圧
力測定値が減少する。両ロードセル１ａ，１ｂのそれぞ
れの出力はロードセルアンプ１０ａ，１０ｂを経て差分
器１０ｃへ導入され、差分器１０ｃの出力はＡＤコンバ
ータ１０ｄを経てカウンタ６ａの出力とともにメモり回
路８に記憶される。なお、サーボモータ５はＩ／Ｏポー
ト１１ａの指令信号とリニアエンコーダ６の出力に基い
てサーボドライバ１１によって駆動される。
【００１４】リニアモータＲ1 のリニアマグネットＭ1
の移動に基づく駆動力の変化の測定は以下のように行わ
れる。
の移動に基づく駆動力の変化の測定は以下のように行わ
れる。
【００１５】まず、両ロードセル１ａ，１ｂの間にリニ
アモータＲ1 のリニアコイルＣ1 およびリニアマグネッ
トＭ1 をセットする前に、各ロードセル１ａ，１ｂの無
負荷状態において各ロードセルアンプ１０ａ，１０ｂの
出力がゼロになるようにそのオフセット量を調節する。
次いで両ロードセル１ａ，１ｂの間にリニアモータＲ1
をセットし、両ロードセル１ａ，１ｂに作用する予圧を
調節ねじ３によって調節し、各ロードセルアンプ１０
ａ，１０ｂの出力が同じになるようにゲインの調節を行
う。続いて、Ｉ／Ｏポート１１ａからサーボドライバ１
１へ送信される指令信号によって、サーボモータ５が駆
動され、リニアマグネットＭ1 を所定の原点位置へ移動
させ、これによって測定準備が完了する。
アモータＲ1 のリニアコイルＣ1 およびリニアマグネッ
トＭ1 をセットする前に、各ロードセル１ａ，１ｂの無
負荷状態において各ロードセルアンプ１０ａ，１０ｂの
出力がゼロになるようにそのオフセット量を調節する。
次いで両ロードセル１ａ，１ｂの間にリニアモータＲ1
をセットし、両ロードセル１ａ，１ｂに作用する予圧を
調節ねじ３によって調節し、各ロードセルアンプ１０
ａ，１０ｂの出力が同じになるようにゲインの調節を行
う。続いて、Ｉ／Ｏポート１１ａからサーボドライバ１
１へ送信される指令信号によって、サーボモータ５が駆
動され、リニアマグネットＭ1 を所定の原点位置へ移動
させ、これによって測定準備が完了する。
【００１６】ＤＡコンバータ９からドライバアンプ９ａ
を経て所定の駆動電流がリニアコイルＣ1 へ供給され、
これを励磁すると、前述のようにリニアマグネットＭ1
に作用する推力の反力によってロードセル１ａ，１ｂの
うちの一方の圧力測定値が減少し、他方の圧力測定値が
増加し、両者の出力は各ロードセルアンプ１０ａ，１０
ｂを経て差分器１０ｃへ送られてその差が算出される。
このように両ロードセル１ａ，１ｂの出力の差を求める
ことで、各ロードセル１ａ，１ｂの温度ドリフトやヒス
テリシス等による測定誤差を相殺し、リニアマグネット
Ｍ1 に作用する推力を極めて高精度で測定することがで
きる。
を経て所定の駆動電流がリニアコイルＣ1 へ供給され、
これを励磁すると、前述のようにリニアマグネットＭ1
に作用する推力の反力によってロードセル１ａ，１ｂの
うちの一方の圧力測定値が減少し、他方の圧力測定値が
増加し、両者の出力は各ロードセルアンプ１０ａ，１０
ｂを経て差分器１０ｃへ送られてその差が算出される。
このように両ロードセル１ａ，１ｂの出力の差を求める
ことで、各ロードセル１ａ，１ｂの温度ドリフトやヒス
テリシス等による測定誤差を相殺し、リニアマグネット
Ｍ1 に作用する推力を極めて高精度で測定することがで
きる。
【００１７】差分器１０ｃの出力をリニアマグネットＭ
1 の原点におけるリニアモータＲ1の駆動力としてメモ
リ回路８に記憶させたうえで、Ｉ／Ｏポート１１ａの指
令信号によってサーボドライバ１１を駆動し、サーボモ
ータ５を回転させて所定の移動速度でリニアマグネット
Ｍ1 を移動させながら前述のようにリニアエンコーダ６
によって検出されるリニアマグネットＭ1 の位置と両ロ
ードセル１ａ，１ｂの出力に基いて算出される駆動力を
メモリ回路８に記憶させる。
1 の原点におけるリニアモータＲ1の駆動力としてメモ
リ回路８に記憶させたうえで、Ｉ／Ｏポート１１ａの指
令信号によってサーボドライバ１１を駆動し、サーボモ
ータ５を回転させて所定の移動速度でリニアマグネット
Ｍ1 を移動させながら前述のようにリニアエンコーダ６
によって検出されるリニアマグネットＭ1 の位置と両ロ
ードセル１ａ，１ｂの出力に基いて算出される駆動力を
メモリ回路８に記憶させる。
【００１８】メモリ回路８に記憶されたデータは、プロ
ッタ８ａまたはＣＰＵ（コンピュータ）８ｂのディスプ
レイ装置によって表示され、必要であればディスク装置
８ｃに保存される。
ッタ８ａまたはＣＰＵ（コンピュータ）８ｂのディスプ
レイ装置によって表示され、必要であればディスク装置
８ｃに保存される。
【００１９】また、リニアモータＲ1 の所定の位置での
駆動力のヒステリシス特性を測定するには、所定の位置
へリニアマグネットＭ1 を移動させてリニアコイルＣ1
へ供給する駆動電流を往復に変化させながら、その時の
駆動電流指令値と圧力測定値をメモリ回路８に記憶させ
ればよい。
駆動力のヒステリシス特性を測定するには、所定の位置
へリニアマグネットＭ1 を移動させてリニアコイルＣ1
へ供給する駆動電流を往復に変化させながら、その時の
駆動電流指令値と圧力測定値をメモリ回路８に記憶させ
ればよい。
【００２０】本実施例によれば、リニアモータの可動子
の位置の変化による駆動力の変化や所定の位置の駆動力
のヒステリシス特性を極めて高精度で測定できるため、
これらに応じてリニアモータの駆動電流等を変化させる
ことによって駆動力の変化やヒステリシスを補償し、駆
動力を常に一定に保つことができる。その結果、位置決
めステージやロボットハンドを高精度で制御できる。
の位置の変化による駆動力の変化や所定の位置の駆動力
のヒステリシス特性を極めて高精度で測定できるため、
これらに応じてリニアモータの駆動電流等を変化させる
ことによって駆動力の変化やヒステリシスを補償し、駆
動力を常に一定に保つことができる。その結果、位置決
めステージやロボットハンドを高精度で制御できる。
【００２１】図２は本実施例の一変形例を示すもので、
これは、本実施例のリニアモータＲ1 のリニアコイルＣ
1 の両端にロードセル１ａ，１ｂを当接させる替わり
に、リニアモータＲ2 のリニアコイルＣ2 の両端を支持
体２に固定し、リニアマグネットＭ2 の突出部の両面に
ロードセル２１ａ，２１ｂをそれぞれ当接し、これらを
挟持する保持部材２４ａにサーボモータ５の駆動力を伝
達するように構成したものである。本変形例は、リニア
コイルＣ2 が支持体２に固定されているため、リニアエ
ンコーダ６の出力に各ロードセル２１ａ，２１ｂの変形
による測定誤差が含まれるおそれがないという利点を有
する。
これは、本実施例のリニアモータＲ1 のリニアコイルＣ
1 の両端にロードセル１ａ，１ｂを当接させる替わり
に、リニアモータＲ2 のリニアコイルＣ2 の両端を支持
体２に固定し、リニアマグネットＭ2 の突出部の両面に
ロードセル２１ａ，２１ｂをそれぞれ当接し、これらを
挟持する保持部材２４ａにサーボモータ５の駆動力を伝
達するように構成したものである。本変形例は、リニア
コイルＣ2 が支持体２に固定されているため、リニアエ
ンコーダ６の出力に各ロードセル２１ａ，２１ｂの変形
による測定誤差が含まれるおそれがないという利点を有
する。
【００２２】また、回転モータの回転軸が１回転する間
のトルクの変動を測定するには、図３に示すように、回
転軸Ｓ3 に設けられた突出部の両面にロードセル３１
ａ，３１ｂをそれぞれ当接し、これらを環状の支持体３
２の切欠部３２ａに挟持させ、両ロードセル３１ａ，３
１ｂの出力の差から前述と同様の方法で回転軸Ｓ3 に付
与されるトルクを算出するとよい。
のトルクの変動を測定するには、図３に示すように、回
転軸Ｓ3 に設けられた突出部の両面にロードセル３１
ａ，３１ｂをそれぞれ当接し、これらを環状の支持体３
２の切欠部３２ａに挟持させ、両ロードセル３１ａ，３
１ｂの出力の差から前述と同様の方法で回転軸Ｓ3 に付
与されるトルクを算出するとよい。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、上述のように構成されている
ので、以下に記載するような効果を奏する。
ので、以下に記載するような効果を奏する。
【００２４】リニアモータ等の直動モータや各種回転モ
ータにおいて、前記モータの固定子に対する可動子の相
対位置の変化に基づく駆動力の変化やヒステリシス特性
を高精度で測定できる。得られた測定値に基づいてモー
タの駆動力を補償すれば、均一な駆動力で位置決めステ
ージやロボットハンド等を駆動し、これらを高精度で制
御できる。
ータにおいて、前記モータの固定子に対する可動子の相
対位置の変化に基づく駆動力の変化やヒステリシス特性
を高精度で測定できる。得られた測定値に基づいてモー
タの駆動力を補償すれば、均一な駆動力で位置決めステ
ージやロボットハンド等を駆動し、これらを高精度で制
御できる。
【図１】一実施例を説明する説明図である。
【図２】図１の装置の一変形例を説明する説明図であ
る。
る。
【図３】図１の装置の別の変形例を説明する説明図であ
る。
る。
１ａ，１ｂ，２１ａ，２１ｂ，３１ａ，３１ｂ ロー
ドセル ２，３２ 支持体 ３ 調節ねじ ４ 可動テーブル ４ａ，２４ａ 保持部材 ５ サーボモータ ６ リニアエンコーダ ８ メモリ回路 １０ｃ 差分器 １１ サーボドライバ
ドセル ２，３２ 支持体 ３ 調節ねじ ４ 可動テーブル ４ａ，２４ａ 保持部材 ５ サーボモータ ６ リニアエンコーダ ８ メモリ回路 １０ｃ 差分器 １１ サーボドライバ
Claims (3)
- 【請求項１】 駆動装置の可動子と固定子のいずれか一
方との間に少くとも１個の圧力検出手段を挟持する第１
の保持手段と、前記可動子と固定子の他方を保持する第
２の保持手段と、前記第１および前記第２の保持手段を
相対的に移動させる駆動手段と、前記可動子と固定子の
相対位置を検出する位置検出手段からなる駆動力測定装
置。 - 【請求項２】 それぞれ駆動装置の可動子と固定子のい
ずれか一方の両面に当接される一対の圧力検出手段が設
けられていることを特徴とする請求項１記載の駆動力測
定装置。 - 【請求項３】 圧力検出手段の出力を位置検出手段の出
力とともに記憶する記憶手段が設けられていることを特
徴とする請求項１または２記載の駆動力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265687A JPH0798256A (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 駆動力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5265687A JPH0798256A (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 駆動力測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798256A true JPH0798256A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17420613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5265687A Pending JPH0798256A (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 駆動力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798256A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007271275A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Tdk Corp | トルク検出方法及びトルク検出装置 |
| JP2011035381A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-02-17 | Asml Holding Nv | 可動物体の位置を制御する方法、位置決め装置を制御する制御システム、およびリソグラフィ装置 |
| JP2021033068A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | ステージ姿勢推定装置、搬送装置、ステージ姿勢推定方法、および搬送方法 |
| JP2021119587A (ja) * | 2020-01-30 | 2021-08-12 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 搬送装置および搬送方法 |
-
1993
- 1993-09-29 JP JP5265687A patent/JPH0798256A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007271275A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Tdk Corp | トルク検出方法及びトルク検出装置 |
| JP2011035381A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-02-17 | Asml Holding Nv | 可動物体の位置を制御する方法、位置決め装置を制御する制御システム、およびリソグラフィ装置 |
| JP2021033068A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | ステージ姿勢推定装置、搬送装置、ステージ姿勢推定方法、および搬送方法 |
| JP2021119587A (ja) * | 2020-01-30 | 2021-08-12 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 搬送装置および搬送方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6230070B1 (en) | Work position adjusting apparatus and adjusting method | |
| US20080201005A1 (en) | Machine tool having workpiece reference position setting function by contact detection | |
| US6107771A (en) | Move command correction method and servo control system with correction of move command | |
| JP4684330B2 (ja) | ねじ締め装置 | |
| JP4962488B2 (ja) | トルク測定装置 | |
| US4961034A (en) | Numerical control device | |
| JPH0667716A (ja) | 数値制御装置並びに数値制御方法 | |
| JPS6294251A (ja) | 位置制御装置 | |
| JPH10138075A (ja) | ワーク姿勢調整装置、調整具及び調整方法 | |
| JP4104306B2 (ja) | スキャナ装置 | |
| JPH0798256A (ja) | 駆動力測定装置 | |
| JP2000176761A (ja) | 垂直軸直動機構 | |
| US5274564A (en) | Method and apparatus for machining a non-circular workpiece | |
| JP3412208B2 (ja) | バイト移動式切削装置 | |
| JP2607533B2 (ja) | 加工装置及び加工方法 | |
| JPH06225564A (ja) | 電動機駆動系の負荷定数測定方法 | |
| JPH0563807B2 (ja) | ||
| JP2002006958A (ja) | 位置決め制御装置 | |
| JPS60119402A (ja) | 触覚装置 | |
| JPH07136801A (ja) | バイト移動式切削装置 | |
| JPH0612111A (ja) | ロボットアームの位置制御方法及び位置制御装置 | |
| Zhang et al. | Design of a control system for precision two-dimensional positioning platform of small desktop scanning electron microscope | |
| JPH0876849A (ja) | 位置決め制御装置 | |
| JP2700066B2 (ja) | 操作感触測定方法及びその装置 | |
| JPS63140311A (ja) | 角度変動補正制御装置 |