JPH0798588B2

JPH0798588B2 - リ−ドフレ−ム分離装置

Info

Publication number: JPH0798588B2
Application number: JP61243975A
Authority: JP
Inventors: 英夫木村
Original assignee: ニチデン機械株式会社
Priority date: 1986-10-13
Filing date: 1986-10-13
Publication date: 1995-10-25
Anticipated expiration: 2010-10-25
Also published as: US4776743A; JPS6397540A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明はリードフレーム分離装置に関し、詳しくは樹脂
封止型半導体装置等の製造に使用されるリードフレーム
を、縦積み状態から１枚ずつ分離する装置に関するもの
である。

従来の技術例えば、トランジスタやIC等の樹脂封止型半導体装置の
製造においては、金属製のリードフレームを使用するの
が一般的である。上記半導体装置の製造工程では、縦積
み、すなわち積層された多数のリードフレームを１枚ず
つ分離した上で、そのリードフレームをペレットマウン
ト工程等の後工程へ搬送している。このリードフレーム
を縦積み状態から１枚ずつ分離する手段としては、従
来、真空吸引手段や磁気吸引手段によるものがあった。
このリードフレーム分離手段では、縦積みされた多数の
リードフレームの上方から、真空吸着パッドや磁石によ
り最上層のリードフレームを吸着して分離し、これをペ
レットマウント工程等に搬送する。上記縦積みしたリー
ドフレームはエレベータ機構に載置され、上述のような
分離動作毎にエレベータ機構でリードフレームを上昇動
させて、最上層のリードフレームを所定のポジションか
ら分離する。そしてすべてのリードフレームが分離完了
した時点で、エレベータ機構を下降動させて初期位置に
設定し、次に縦積みされたリードフレームを供給した上
で上述の分離動作を繰り返す。

発明が解決しようとする問題点ところで、上記リードフレームは、板材をエッチング加
工やプレス加工して作成されるのが一般的である。した
がってエッチング加工により作成されたリードフレーム
を他段に亘って縦積みした場合、積載重量が増して、各
リードフレームが分離し難くなるほど密着してしまうこ
とがある。またプレス加工により作成されたリードフレ
ームを縦積みした場合には、加工時に発生したバリが他
のリードフレームに引っ掛かることがあった。その為、
真空吸着パッドや磁石によって縦積み状態のリードフレ
ームを分離するに際して、１枚のリードフレームのみを
分離するのが困難で、２〜３枚のリードフレームが同時
に分離されることが多発していた。この場合、後工程へ
の搬送途中等で余分なリードフレームが落下するという
不具合があった。

また、前記真空吸着パッドや磁石による分離手段では、
縦積み状態のリードフレームの上方から最上層のリード
フレームをピックアップするため、最上層のリードフレ
ームを所定のポジション配置させるエレベータ機構を必
要とし、装置自体の複雑化及び大形化を免れ得ない。ま
た上記分離動作中にリードフレームを補充することがで
きず、すべてのリードフレームについて分離完了した時
点で、エレベータ機構を下降させて初期位置に設定した
後、新たなリードフレームを供給しなければならず、作
業性が大幅に低下するという問題点があった。更に上記
リードフレームは、サイズ的に多品種のものがあり、こ
の品種に応じて真空吸着パッドや磁石の吸着個所が異な
るため、吸着位置を変更しなければならず品種対応が困
難であった。

問題点を解決するための手段本発明は前記問題点に鑑みて提案されたもので、この問
題点を解決するための技術的手段は、所定の角度に傾斜
して配置され、複数のリードフレームをその傾斜方向に
沿って縦積み載置した平板状のストッカと、上記ストッ
カの下縁部に突設され、先頭リードフレームの下縁部を
位置規制する下部フレームストッパと、上記下部フレー
ムストッパの上方で対向する位置に配置され、先頭リー
ドフレームの上縁部を弾性的に掛止して位置規制する上
部フレームストッパと、上記上部フレームストッパの近
傍に前後動及び回転可能に設置され、この回転により、
周面上に形成された分離溝に先頭リードフレームの上縁
部を引掛けて、上部フレームストッパの弾性力に抗して
部分的に剥離するセパレータと、待機ポジジョンとチャ
ックポジション間で移動可能に、且つ、上記チャックポ
ジションで前後動可能に配設され、前記セパレータによ
り部分的に剥離された先頭リードフレームの上縁部を挾
持する開閉自在なチャック爪と、先頭リードフレームの
上縁部の外側で前後動可能に配置され、上記先頭リード
フレームを支持するメインホルダと、先頭リードフレー
ムと後続リードフレーム間で前後動可能に配置され、前
記セパレータにより部分的に剥離された先頭リードフレ
ームと後続リードフレーム間に挿入させて先頭リードフ
レームを分離すると共に、後続リードフレームを一時的
に支持するサブホルダとを含むものである。

作用本発明に係るリードフレーム分離装置によれば、ストッ
カ上に縦積み載置された複数のリードフレームのうち、
先頭リードフレームの上縁部を、該先頭リードフレーム
の上縁部に当接するセパレータの回転により部分的に剥
離する。このセパレータによる先頭リードフレームの部
分的剥離の後、チャック爪にて先頭リードフレームの上
縁部を挾持すると共に、サブホルダを上記先頭リードフ
ームと後続リードフレーム間に挿入させて先頭リードフ
レームを分離してストッカから取り出すと共に、後続リ
ードフレームを上記バスホルダで一時的に支持する。こ
れにより縦積み状態にある複数のリードフレームから１
枚ずつ確実に分離することができる。

実施例本発明に係るリードフレーム分離装置の一実施例を第１
図乃至第11図を参照しながら説明する。第１図はリード
フレー分離装置の正面図、第２図乃至第４図は第１図中
のＡ、Ｂ、Ｃ矢視図であり、更に第５図乃至第７図はセ
パレータユニットを示す。この第１図乃至第７図に示す
リードフレーム分離装置（１）において、（２）は基台
（３）の一側端部に立設した支持フレーム（４）を介し
て所定の角度で傾斜して配置された平板状のストッカ
で、このストッカ（２）上にその傾斜方向に沿って複数
のリードフレーム（５）（５）…（図示鎖線部分）が縦
積み載置される。このストッカ（２）の傾斜角度は、後
述する先頭リードフレーム分離時、後続リードフレーム
が速やかにその自重でストッカ（２）上を降下するよう
に設定される。（６）は上記ストッカ（２）の下縁部
（2a）に、リードフレーム（５）（５）…の長手方向に
亘って突設された下部フレームストッパで、ストッカ
（２）上の先頭リードフレーム（５′）を位置規制す
る。（７）は上記ストッカ（２）の下縁部近傍に埋設さ
れた反射型光センサで、ストッカ（２）上のリードフレ
ーム（５）（５）…の有無を検出することによりリード
フレーム残量を検知する。（８）は基台（３）の略中央
部分に設けられた搬送レールで、前記ストッカ（２）の
リードフレーム（５）（５）…の長手方向に沿って該リ
ードフレーム幅寸法だけ離隔配置された固定ガイドレー
ル（９）及び可動ガイドレール（10）からなり、ストッ
カ（２）から分離された１枚のリードフレーム（５）が
移載される。上記可動ガイドレール（10）は、基台
（３）上にクロスローラ（11）を介してリードフレーム
幅方向に摺動自在に装着し、クランプレバー（12）の操
作により長穴（13）を利用して上記可動ガイドレール
（10）を前後動させ、固定ガイドレール（９）との離隔
距離をリードフレーム（５）の幅寸法に設定して品種対
応を可能ならしめる。（14）は前記固定ガイドレール
（９）の内側端近傍に配置されたプッシャで、基台
（３）の下方でリードフレーム長手方向に突出退入可能
なシリンダ（15）のロッド（15a）先端に連結される。
このプッシャ（14）により搬送レール（８）上に移載さ
れたリードフレーム（５）を次工程に供給する。（16）
はチャックユニットで、このチャックユニット（16）に
おける（17）（17）は前記搬送レール（８）の可動ガイ
ドレール（10）に沿って複数個所（図では２箇所）に配
設されたチャック爪で、可動ガイドレール（10）と平行
配置されたチャックベース（18）に架設したシャフト
（19）に基端部が装着された上チャック（20）（20）
と、上記チャックベース（18）の上チャック（20）（2
0）と対応する位置に基端部がネジ止めされた下チャッ
ク（21）（21）とから構成される。この上チャック（2
0）（20）及び下チャック（21）（21）の先端部間でリ
ードフレーム（５）の上縁部を挾持する。尚、上チャッ
ク（20）（20）及び下チャック（21）（21）はシャフト
（19）及びチャックベース（18）に対してスライド可能
に装着されてリードフレーム（５）の品種対応を可能な
らしめる。（22）は前記チャックベース（18）から突設
された取付部（23）に組付けられたチャック爪開閉用シ
リンダで、このシリンダ（22）のシリンダロッド（22
a）先端は、シャフト（19）の一部に固着された開閉用
レバー（24）の遊端部（24a）に、取付部（23）とレバ
ー（24）間に張設されたバネ（25）の弾性力により常時
当接される。（26）は搬送レール（８）と直交する方向
に横架されたスイングレバーで、その先端部（26a）は
長穴（27）により調整可能にチャックベース（18）にネ
ジ止めされる。（28）は基台（３）の側端部でストッカ
（２）の下方位置に、固定ガイドレール（９）と平行し
て架設したシャフト（29）に固設された回転ブロック
で、この回転ブロック（28）に前記スイングレバー（2
6）の基端部（26b）をクロスローラ（30）を介してリー
ドフレーム幅方向で突出退入可能に装着する。また、上
記回転ブロック（28）にはチャック爪イン・アウト用シ
リンダ（31）が組付けられ、このシリンダ（31）のシリ
ンダロッド（31a）を、スイングレバー（26）の基端部
（26b）の一部に、スイングレバー（26）の基端部（26
b）と回転ブロック（28）間に張設したバネ（32）の弾
性力によって常時当接させる。上記回転ブロック（28）
を支承するシャフト（29）の一端は軸受部材（33）にて
軸支され、且つ、他端はレバー（34）を介して基台
（３）に固設されたロータリーアクチュエータ（35）の
出力軸（35a）に連結される。（36）は上記シャフト（2
9）及び出力軸（35a）に軸支されたレバー（34）の先端
下方の基台（３）上に配設されたストッパで、上記ロー
タリアクチュエータ（35）を作動させることによりスイ
ングレバー（26）をスイングさせ、待機ポジションP₁に
あるチャックユニット（16）のチャック爪（17）（17）
を移動させてチャックポジションP₂に配置する際、レバ
ー（34）の先端をストッパ（36）に当接させることによ
り前期スイングレバー（26）の上昇端位置を規制する。

（37）は基台（３）のストッカ（２）と対向する側端部
に立設された第１支持フレーム、（38）は該第１支持フ
レーム（37）にクロスローラ（39）を介してストッカ
（２）上のリードフレーム（５）（５）…の傾斜方向と
直交する方向に摺動可能に装着された第２支持フレーム
で、この第２支持フレーム（38）の位置調整は、該第２
支持フレーム（38）に穿設された長穴（40）を利用して
クランプレバー（41）の操作により行われる。（42）は
上記第２支持フレーム（38）の先端に固着された平板状
のホルダベース、（43）はホルダベース（42）の先端部
下面側にクロスローラ（44）（44）を介して摺動可能に
装着された、リードフレーム（５）の長手方向に沿って
長尺な平板状のメインホルダベースで、ホルダベース
（42）に固設されたメインホルダ用シリンダ（45）によ
り前後動する。（46）は該メインホルダベース（43）の
複数箇所（図では２箇所）に、長穴（47）によりリード
フレーム（５）の品種に応じて位置調整可能にネジ止め
されたメインホルダで、その先端部がストッカ（２）上
の先頭リードフレーム（５′）の上縁部外側に配置され
て上記先頭リードフレーム（５′）を支持する。（48）
はメインホルダベース（43）のメインホルダ（46）の外
側位置に配設されたセパレータユニットで、前記メイン
ホルダ（46）と同様、長穴（49）によりリードフレーム
（５）の品種に応じて位置調整可能にネジ止めされる。
このセパレータユニット（48）は、第５図乃至第７図に
示すように周面の一部に多数の微細な分離溝（50）が形
成されたセパレータ（51）を取付フレーム（52）に回転
可能に偏芯して軸支し、該取付フレーム（52）に固設さ
れたセパレータ用シリンダ（53）のシリンダロッド（53
a）を、上記セパレータ（51）の回転軸（54）に固着さ
れたブロック（55）から延びるピン（56）に連結する。
また、上記取付フレーム（52）の一部に板バネ（57）を
介して上部フレームストッパ（58）が装着され、前述し
たストッカ（２）の下部フレームストッパ（６）の上方
で対向する位置に配置される。この上部フレームストッ
パ（58）の先端に設けられた掛止部（59）に、ストッカ
（２）上の先頭リードフレーム（５′）の上縁部を板バ
ネ（57）で弾性的に掛止して位置規制する。ここで後述
するリードフレーム分離時、前記セパレータ（51）の回
転により先頭リードフレーム（５′）の上縁部を部分的
に剥離させるため、上記セパレータ（51）の回転中心と
先頭リードフレーム（５）の上縁部との位置関係は厳密
に設定しなければならず、そこで上部フレームストッパ
（58）で先頭リードフレーム（５′）の上縁部を位置規
制することによりセパレータ（51）による先頭リードフ
レーム（５′）の部分的剥離を確実且つ安定化させる。
（60）は前記ホルダベース（42の先端部上面側にクロス
ローラ（61）（61）を介して摺動可能に装着された、リ
ードフレーム（５）の長手方向に沿って長尺な平板状の
サブホルダベースで、ホルダベース（42）の固設された
サブホルダ用シリンダ（62）により前後動する。（63）
（63）はサブホルダベース（60）の両端部に装着された
サブホルダで、その先端部がストッカ（２）上の先頭リ
ードフレーム（５′）と後続リードフレーム（５）間に
挿入配置され、上記先頭リードフレーム（５′）を分離
すると共に、後続リードフレーム（５）（５）…を一時
的に支持する。

上述した構成からなるリードフレーム分離装置（１）の
動作を第１図乃至第７図、及び第８図乃至第11図を参照
しながら説明する。

まず第１図に示す初期状態でストッカ（２）上に複数の
リードフレーム（５）（５）…を長手方向を横にした状
態で、縦積み載置する。この時、上記リードフレーム
（５）（５）…の先頭リードフレーム（５′）はメイン
ホルダ（46）にて支持されると共に、該先頭リードフレ
ーム（５′）の下縁部はストッカ（２）の下部フレーム
ストッパ（６）で位置規制され、且つ、その上縁部はセ
パレータユニット（48）の上部フレームストッパ（58）
で位置規制される。

この状態から第８図に示すようにストッカ（２）上の先
頭リードフレーム（５′）の上縁部エッジに当接するセ
パレータユニット（48）のセパレータ（51）をセパレー
タ用シリンダ（53）の作動により定ピッチ回転させる。
これにより上記セパレータ（51）の分離溝（50）に先頭
リードフレーム（５′）の上縁部エッジを引っ掛けた状
態から、上部フレームストッパ（58）の弾性力に抗して
該上部フレームストッパ（58）によって位置規制された
先頭リードフレーム（５′）の上縁部を弾性変形の範囲
内で若干捲って上記セパレータ（51）で先頭リードフレ
ーム（５′）の上縁部を後続リードフレーム（５）
（５）…から部分的に剥離する。

この状態から第９図に示すように待機ポジションP₁にあ
るチャックユニット（16）を、ロータリーアクチュエー
タ（35）の作動によりスイングレバー（26）をスイング
させることによって上昇させる。このチャックユニット
（16）が上昇端位置に達するとロータリアクチュエータ
（35）を停止させて開状態のチャック爪（17）（17）を
チャックポジションP₂に配置する。そしてチャック爪イ
ン・アウト用シリンダ（31）の作動によりスイングレバ
ー（26）を介して上記チャック爪（17）（17）を前進動
させ、チャック爪（17）（17）の上チャック（20）（2
0）と下チャック（21）（21）間にセパレータ（51）に
より部分的に剥離されたストッカ（２）上の先頭リード
フレーム（５′）の上縁部をまず配置する。このチャッ
ク爪（17）（17）のイン動作と同時に、ホルダベース
（42）のサブホルダ用シリンダ（62）を作動させること
によりサブホルダ（63）（63）を前進動させ、前期セパ
レータ（51）により部分的に剥離された先頭リードフレ
ーム（５′）と後続リードフレーム（５）（５）（５）
…間に挿入配置する。

この状態から第10図に示すようにチャック爪開閉用シリ
ンダ（22）を作動させることにより開閉用レバー（24）
を介してシャフト（19）を回転させ、チャック爪（17）
（17）の上チャック（20）（20）を閉じて該チャック爪
（17）（17）で先頭リードフレーム（５′）の上縁部を
挾持する。そしてホルダベース（42）のメインホルダ用
シリンダ（45）を作動させることによりメインホルダベ
ース（43）のメインホルダ（46）（46）及びセパレータ
ユニット（48）（48）のセパレータ（51）（51）を後退
動させる。この時、ストッカ（２）の先頭リードフレー
ム（５′）はチャック爪（17）（17）で挾持され、後続
リードフレーム（５）（５）…はサブホルダ（63）（6
3）で支承される。

この状態から第11図に示すようにチャック爪イン・アウ
ト用シリンダ（31）を作動させることにより、スイング
レバー（26）を介してチャック爪（17）（17）を後退動
させ、該チャック爪（17）（17）に挾持された先頭リー
ドフレーム（５′）をストッカ（２）の下部フレームス
トッパ（６）から引き抜いて分離する。このチャック爪
（17）（17）のアウト動作後、ロータリーアクチュエー
タ（35）の作動によりスイングレバー（26）をスイング
させてチャックユニット（16）を下降させ、前期チャッ
ク爪（17）（17）をチャックポジションP₂から待機ポジ
ションP₁に移送して先頭リードフレーム（５′）を搬送
レール（８）上に配置する。そしてチャック爪開閉用シ
リンダ（22）の作動によりチャック爪（17）（17）を開
状態にすれば、先頭リードフレーム（５′）が搬送レー
ル（８）の固定及び可動ガイドレール（９）（10）上に
載置され、プッシャ（14）により次工程へ搬送される。

上述したチャックユニット（16）の降下中、該チャック
ユニット（16）の動作とは別にホルダベース（42）のメ
インホルダ用シリンダ（45）を作動させることによりメ
インホルダ（46）（46）及びセパレータユニット（48）
（48）のセパレータ（51）（51）を前進動させ、その後
ホルダベース（42）のサブホルダ用シリンダ（62）を作
動させることによりサブホルダ（63）（63）を後退動さ
せる。これによりサブホルダ（63）（63）で支持されて
いたストッカ（２）上の後続リードフレーム（５）
（５）…が、傾斜するストッカ（２）上を自重でスライ
ドしてメインホルダ（46）（46）で支持され、初期状態
に設定される。

上述した各動作を繰り返すことによりストッカ（２）上
のリードフレーム（５）（５）…を先頭リードフレーム
（５′）から順次１枚ずつ確実に分離し、搬送レール
（８）上に移替えて次工程に供給する。

発明の効果本発明に係るリードフレーム分離装置によれば、ストッ
カ上の複数のリードフレームを先頭リードフレームから
順次１枚ずつ確実に且つ安定して分離することが可能と
なってリードフレームの後工程への搬送がスムーズに行
えて良好な作業性が得られる。また従来のようにエレベ
ータ機構等を必要としないので装置の簡略化及び小型化
が実現容易となり、分離動作中であっても随時リードフ
レームの補充が可能である。更にリードフレームの品種
対応もその板厚にかかわりなく簡便な手段で容易に行え
て実用的価値大なるリードフレーム分離装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るリードフレーム分離装置の一実施
例を示す正面図、第２図は第１図のＡ矢視図、第３図は
第１図のＢ矢視図、第４図は第１図のＣ矢視図、第５図
は第１図装置のセパレータユニットを示す正面図、第６
図は第５図機構の側面図、第７図は第５図機構のセパレ
ータユニットの駆動機構を示す正面図、第８図乃至第11
図は第１図装置の各動作状態を説明するための概略構成
斜視図である。（１）……リードフレーム分離装置、（２）……ストッ
カ、（５）……リードフレーム、（５′）……先頭リードフ
レーム、（６）……下部フレームストッパ、（17）……チャック
爪、（46）……メインホルダ、（50）……分離溝、（51）……セパレータ、（58）……上部フレームストッ
パ、（63）……サブホルダ、P₁……待機ポジション、 P₂……チャックポジション。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の角度に傾斜して配置され、複数のリ
ードフレームをその傾斜方法に沿って縦積み載置した平
板状のストッカと、前記ストッカの下縁部に突設され、先頭リードフレーム
の下縁部を位置規制する下部フレームストッパと、前記下部フレームストッパの上方で対向する位置に配置
され、先頭リードフレームの上縁部を掛止して位置規制
する上部フレームストッパと、前記上部フレームストッパの近傍に前後動及び回転可能
に設置され、この回転により、周面上に形成された分離
溝に先頭リードフレームの上縁部を引掛けて、上部フレ
ームストッパに抗して部分的に剥離するセパレータと、待機ポジジョンとチャックポジション間で移動可能に、
且つ、上記チャックポジションで前後動可能に配設さ
れ、前記セパレータにより部分的に剥離された先頭リー
ドフレームの上縁部を挾持する開閉自在なチャック爪
と、先頭リードフレームの上縁部の外側で前後動可能に配置
され、上記先頭リードフレームを支持するメインホルダ
と、先頭リードフレームと後続リードフレーム間で前後動可
能に配置され、前記セパレータにより部分的に剥離され
た先頭リードフレームと後続リードフレーム間に挿入さ
せて先頭リードフレームを分離すると共に、後続リード
フレームを一時的に支持するサブホルダとを含むことを
特徴とするリードフレーム分離装置。