JPH08100261A - Diamond composite member and manufacturing method thereof - Google Patents
Diamond composite member and manufacturing method thereofInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】抗折強度が大きく、容易にかつ安価に製造でき
るダイヤモンド複合部材及びその製造方法を提供し、さ
らには、母材との接合強度を向上することができるダイ
ヤモンド複合部材およびその製造方法を提供する。
【構成】ＣＶＤ法により製造されたダイヤモンド及びダ
イヤモンド状炭素のうち少なくとも一種からなるダイヤ
モンド質結晶間の空隙中に、金属（タングステンを除
く）、またはセラミックス、あるいは金属とセラミック
スの混合物を充填してなるものである。表面に、ダイヤ
モンド及びダイヤモンド状炭素のうち少なくとも一種か
らなる緻密膜が形成されていることが望ましい。
(57) [Summary] [Objective] To provide a diamond composite member having a large bending strength, which can be easily and inexpensively manufactured, and a manufacturing method thereof, and further, a diamond composite which can improve the bonding strength with a base material. A member and a method for manufacturing the member are provided. [Structure] A metal (excluding tungsten), ceramics, or a mixture of metal and ceramics is filled in a space between diamond-like crystals made of at least one of diamond and diamond-like carbon produced by a CVD method. It is a thing. It is desirable that a dense film made of at least one of diamond and diamond-like carbon is formed on the surface.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ダイヤモンド複合部材
及びその製造方法に関するもので、特に、加工用切削工
具、スリッターナイフ等の産業用刃物、各種の摺動部
品、糸道，ガイドブッシュ等の耐摩耗部材、各種測定機
器用部品、精密加工用刃物、医療用器具、各種電子素
子、電子部品用放熱板、ヒートシンク等に最適なダイヤ
モンド複合部材及びその製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a diamond composite member and a method for producing the same, and particularly to a cutting tool for processing, industrial blades such as slitter knives, various sliding parts, thread paths, guide bushes and the like. The present invention relates to a diamond composite member most suitable for wear-resistant members, parts for various measuring instruments, precision machining blades, medical instruments, various electronic elements, heat sinks for electronic parts, heat sinks and the like, and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来技術】ダイヤモンド等の超硬質材料は、従来大規
模な超高圧プレス装置により作製していた。しかし、気
相合成法（ＣＶＤ）によれば、これらの材料が簡便な方
法により得られることから、気相合成法によるダイヤモ
ンド等の超硬質材料は、今後、広範囲にわたる応用が期
待されている（特開昭６０−５４９９５号公報等参
照）。2. Description of the Related Art Ultra-hard materials such as diamond have hitherto been produced by a large-scale ultra-high pressure press machine. However, according to the vapor phase synthesis method (CVD), these materials can be obtained by a simple method, and therefore, ultra-hard materials such as diamond produced by the vapor phase synthesis method are expected to have a wide range of applications in the future ( See JP-A-60-54995).
【０００３】しかし、ＣＶＤによるダイヤモンド等の超
硬質膜は、例えば鉄系合金には全く付着しない。また、
窒化珪素や超硬合金からなる母材でも密着性が不十分で
剥がれが生じやすいという問題がある。そこでこの対策
としてシリコン基板上にダイヤモンド膜を形成し、しか
る後に、シリコン基板を除去し、ダイヤモンド膜を切り
出してヒートシンクとして利用したり、超硬工具からな
る母材にろう付けして切削工具として利用する事が提案
されている。However, an ultra-hard film such as diamond formed by CVD does not adhere to an iron-based alloy at all. Also,
Even a base material made of silicon nitride or cemented carbide has a problem that adhesion is insufficient and peeling easily occurs. Therefore, as a countermeasure against this, a diamond film is formed on a silicon substrate, and then the silicon substrate is removed and the diamond film is cut out and used as a heat sink or brazed to a base material made of a cemented carbide tool and used as a cutting tool. It is suggested to do.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、従来
のダイヤモンド膜では抗折強度が小さいため、単独層と
しては用いられていないのが現状であった。例えば、Ｃ
ＶＤ法により形成した厚み０．３ｍｍ、横２ｍｍ、長さ
１２ｍｍのダイヤモンド膜の３点曲げ抗折強度を測定し
たところ、４００ＭＰａと小さかった。また、ダイヤモ
ンド膜は、成膜時間やコストの問題で小型のものしか製
造できなかった。そこで、近年では特性的にはダイヤモ
ンドに類似し、抗折強度が大きく、容易にかつ安価に製
造できる膜が要求されていた。However, since the conventional diamond film has a small bending strength, it has not been used as a single layer at present. For example, C
When the diamond film having a thickness of 0.3 mm, a width of 2 mm, and a length of 12 mm formed by the VD method was measured for three-point bending resistance, it was as small as 400 MPa. Further, the diamond film could only be manufactured in a small size due to the problem of film forming time and cost. Therefore, in recent years, there has been a demand for a film that is characteristically similar to diamond, has a high bending strength, and can be easily and inexpensively manufactured.
【０００５】また、ダイヤモンド膜を母材に接合する上
記方法では、ダイヤモンドを厚くコーティングする必要
があるため、結晶粒子の大きさにバラツキがあり、しか
も、膜厚が厚いダイヤモンド膜を生成する必要があった
ため、厚いダイヤモンド膜を生成するためのコスト（例
えば電力費、装置費、製造に要する時間）が増大し、総
合的にみて従来のダイヤモンド膜を母材に直接成膜する
方法に対する優位性が認められなかった。また、上記ダ
イヤモンド膜を直接母材にろう付けする方法では、ダイ
ヤモンドとろう材（例えば、Ａｇ，Ａｕ−Ｓｎ等）との
濡れ性が低いため、ダイヤモンド膜と母材との接合強度
が低く、例えば、短時間でダイヤモンド膜が母材から脱
落するという問題もあった。Further, in the above method of bonding a diamond film to a base material, since it is necessary to coat diamond with a large thickness, it is necessary to produce a diamond film having a large variation in crystal grain size. As a result, the cost for producing a thick diamond film (for example, power cost, equipment cost, time required for manufacturing) increases, and overall it has an advantage over the conventional method of directly forming a diamond film on the base material. I was not able to admit. Further, in the method of directly brazing the diamond film to the base material, since the wettability between the diamond and the brazing material (for example, Ag, Au—Sn) is low, the bonding strength between the diamond film and the base material is low, For example, there is also a problem that the diamond film falls off from the base material in a short time.
【０００６】即ち、本発明は、抗折強度が大きく、容易
にかつ安価に製造できるダイヤモンド複合部材及びその
製造方法を提供し、さらには、母材との接合強度を向上
することができるダイヤモンド複合部材およびその製造
方法を提供することを目的とする。That is, the present invention provides a diamond composite member having a large bending strength, which can be easily and inexpensively manufactured, and a manufacturing method thereof, and further, a diamond composite which can improve the bonding strength with a base material. An object is to provide a member and a manufacturing method thereof.
【０００７】[0007]
【問題点を解決するための手段】本発明者は、上記問題
点を鋭意検討した結果、ＣＶＤ法により作成されたダイ
ヤモンド質結晶間の空隙中に、金属、セラミックス、金
属とセラミックスの混合物を充填したダイヤモンド複合
部材は、抗折強度が大きく、容易にかつ安価に製造で
き、さらに、母材に接合する際には、母材との接合強度
を向上することができることを見出し、本発明に到っ
た。The inventors of the present invention have diligently studied the above-mentioned problems, and as a result, filled the voids between the diamond-like crystals prepared by the CVD method with metal, ceramics, or a mixture of metal and ceramics. The diamond composite member thus obtained has a large bending strength, can be easily and inexpensively manufactured, and when it is bonded to a base material, it has been found that the bonding strength with the base material can be improved, and the present invention has been completed. It was.
【０００８】即ち、本発明のダイヤモンド複合部材は、
ＣＶＤ法により製造されたダイヤモンド及びダイヤモン
ド状炭素のうち少なくとも一種からなるダイヤモンド質
結晶間の空隙中に、金属（タングステンを除く）、また
はセラミックス、あるいは金属とセラミックスの混合物
を充填してなるものである。表面に、ダイヤモンド及び
ダイヤモンド状炭素のうち少なくとも一種からなる緻密
膜が形成されていることが望ましい。That is, the diamond composite member of the present invention is
A metal (excluding tungsten), a ceramic, or a mixture of a metal and a ceramic is filled in a void between diamond-like crystals made of at least one of diamond and diamond-like carbon produced by a CVD method. . It is desirable that a dense film made of at least one of diamond and diamond-like carbon is formed on the surface.
【０００９】このようなダイヤモンド複合部材は、基板
の表面に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド及びダイヤモン
ド状炭素のうち少なくとも一種からなるダイヤモンド質
結晶を形成し、このダイヤモンド質結晶間の空隙中に、
金属（タングステンを除く）、またはセラミックス、あ
るいは金属とセラミックスの混合物を充填させて、前記
基板の表面にダイヤモンド複合部材を形成し、この後、
前記基板を除去することにより製造される。In such a diamond composite member, a diamond-like crystal composed of at least one of diamond and diamond-like carbon is formed on the surface of a substrate by a CVD method, and a void between the diamond-like crystals is formed.
Metal (excluding tungsten), ceramics, or a mixture of metal and ceramics is filled to form a diamond composite member on the surface of the substrate, and thereafter,
It is manufactured by removing the substrate.
【００１０】本発明におけるダイヤモンド状炭素とは、
非常に緻密で高硬度であり、結晶粒界が見られず、規則
的な結晶構造を有する結晶質ダイヤモンドとは異なる構
造の炭素を意味する。また、ダイヤモンド及びダイヤモ
ンド状炭素のうち少なくとも一種からなるダイヤモンド
質結晶は、ＣＶＤ（化学的気相合成法）により生成され
膜厚は、１〜５００μｍであることが望ましい。The diamond-like carbon in the present invention means
It means carbon which is very dense and has high hardness, no grain boundaries are observed, and a structure different from that of crystalline diamond having a regular crystal structure. Further, it is desirable that the diamond-like crystal composed of at least one of diamond and diamond-like carbon is produced by CVD (Chemical Vapor Deposition) and has a film thickness of 1 to 500 μm.
【００１１】ダイヤモンド質結晶間の空隙に充填される
金属としては、Ｍｏ，Ｚｒ，Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｎｉ，
Ｔａ，Ｎｂ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｃｒ等から選ばれる少なくと
も１種の金属からなるもので、これらの混合物でも良
い。金属としては、刃物，工具用としてはＭｏ，Ｚｒ，
Ｔａ，Ｎｂ、摺動部品用としては、Ｔｉ，Ｃｕ，Ｎｉ，
Ｃｏ，Ｆｅ、放熱板用としてはＡｌ，Ｃｕが望ましい。Metals filled in the voids between the diamond-like crystals include Mo, Zr, Ti, Al, Cu, Ni,
It is composed of at least one metal selected from Ta, Nb, Co, Fe, Cr and the like, and may be a mixture thereof. For metal, blades, for tools, Mo, Zr,
Ta, Nb, for sliding parts, Ti, Cu, Ni,
Co and Fe, and Al and Cu for the heat radiation plate are desirable.
【００１２】また、ダイヤモンド質結晶間の空隙に充填
されるセラミックスとしては、金属の炭化物，窒化物，
硼化物，酸化物，硅化物のうち少なくとも１種類、経済
性や実用性を考慮するとセラミックス層としてはＴｉ，
Ｚｒ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ａｌ，Ｓｉから選ばれる少なく
とも一種の炭化物または窒化物が好ましい。そして、こ
の中でも、窒化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素が良
好に使用できる。The ceramics filled in the voids between the diamond-like crystals include metal carbides, nitrides,
At least one of boride, oxide, and silicide, Ti, as the ceramic layer in consideration of economy and practicality,
At least one kind of carbide or nitride selected from Zr, Cr, Mo, W, Al and Si is preferable. Of these, aluminum nitride, silicon nitride, and silicon carbide can be used favorably.
【００１３】さらに、ダイヤモンド質結晶間の空隙に充
填される金属とセラミックスの混合物としては、ＷＣ−
Ｃｏ系の超硬合金、ＴｉＣ−Ｎｉ等よりなるサーメット
があり、特にＷＣ−Ｃｏ系の超硬合金が最も好ましい。Further, as a mixture of metal and ceramics to be filled in the voids between the diamond-like crystals, WC-
There are cermets made of Co-based cemented carbide, TiC-Ni, etc., and WC-Co-based cemented carbide is most preferable.
【００１４】金属，セラミックス，金属とセラミックス
の混合物を、ダイヤモンド質結晶間の空隙に充填する方
法としては、真空蒸着法，スパッタリング，イオンプレ
ーティングなどの物理気相法（ＰＶＤ）、熱ＣＶＤ，プ
ラズマＣＶＤ，光ＣＶＤ、プラズマジェット法等の化学
気相法（ＣＶＤ）、プラズマ溶射などの溶射法さらにメ
ッキでも作成できる。As a method for filling the voids between diamond-like crystals with a metal, a ceramic, or a mixture of a metal and a ceramic, a physical vapor phase method (PVD) such as vacuum vapor deposition, sputtering, ion plating, thermal CVD, plasma. It can also be prepared by CVD, photo CVD, chemical vapor deposition (CVD) such as plasma jet method, thermal spraying method such as plasma spraying, or plating.
【００１５】本発明のダイヤモンド複合部材は、ダイヤ
モンド及びダイヤモンド状炭素のうち少なくとも一種
と、金属、セラミックス、金属とセラミックスからなる
ものであるが、このダイヤモンド複合部材の少なくとも
一つの断面で金属、セラミックス、金属とセラミックス
が網目状構造を形成するように、ダイヤモンド質結晶の
間の空隙を充填している。尚、ダイヤモンド質結晶は柱
状に析出する場合や粒子状に析出する場合がある。図１
に網目状構造を示す。図２，３に示すように網目状構造
の一部を形成する構造でも良い。図４に柱状のダイヤモ
ンド質結晶の隙間を金属が充填している状態を示す。図
１，２，３，４において、符号１はダイヤモンド質結
晶、符号２は金属相である。The diamond composite member of the present invention comprises at least one of diamond and diamond-like carbon, and a metal, a ceramic, and a metal and a ceramic. The voids between the diamond-like crystals are filled so that the metal and the ceramic form a network structure. The diamond-like crystals may be precipitated in a columnar shape or in a particle shape. FIG.
Shows the network structure. As shown in FIGS. 2 and 3, a structure that forms a part of a mesh structure may be used. FIG. 4 shows a state where the gaps between the columnar diamond-like crystals are filled with metal. 1, 2, 3 and 4, reference numeral 1 is a diamond crystal and reference numeral 2 is a metal phase.
【００１６】本発明のダイヤモンド複合部材は、複合部
材単独としても使用することができるが、ダイヤモンド
複合部材を母材に接合して使用することもできる。この
場合の母材としては、例えば、ＷＣとコバルト（Ｃｏ）
と周期律表第４ａ，５ａ，６ａ族元素の炭化物，窒化物
または炭窒化物とからなる超硬合金や、ＴｉＣまたはＴ
ｉＣＮとニッケル（Ｎｉ）またはＣｏと周期律表第４
ａ，５ａ，６ａ族元素の炭化物，窒化物または炭窒化物
とからなるサーメットや、炭化ケイ素（ＳｉＣ）とホウ
素と炭素とからなる炭化珪素質焼結体や、Ｓｉ3 Ｎ4 ま
たはＳｉＣと希土類元素酸化物とからなる炭化珪素或い
は窒化珪素質焼結体から構成されている。The diamond composite member of the present invention can be used as the composite member alone, but can also be used by joining the diamond composite member to the base material. As the base material in this case, for example, WC and cobalt (Co)
And a cemented carbide consisting of carbides, nitrides or carbonitrides of elements of groups 4a, 5a and 6a of the periodic table, TiC or T
iCN and nickel (Ni) or Co and Periodic Table 4
Cermets composed of carbides, nitrides or carbonitrides of elements a, 5a and 6a, silicon carbide sintered bodies composed of silicon carbide (SiC), boron and carbon, Si 3 N 4 or SiC and rare earths. It is composed of a silicon carbide or silicon nitride sintered body composed of an element oxide.
【００１７】また、母材は、鉄系合金，Ｎｉ系，Ｃｏ系
合金，ハイス，シリコン，モリブデン，チタン等の金
属、炭素などであっても良い。ダイヤモンド複合部材を
母材に接合する手段としては、ろう付けや接着剤による
接合等、公知の接着手段を用いることができる。Further, the base material may be an iron-based alloy, a Ni-based alloy, a Co-based alloy, a metal such as high speed steel, silicon, molybdenum, or titanium, or carbon. As a means for bonding the diamond composite member to the base material, known bonding means such as brazing or bonding with an adhesive can be used.
【００１８】そして、本発明のダイヤモンド複合部材を
母材に接合する際には、この複合部材に支持層を形成
し、この支持層を母材に接合することが、ダイヤモンド
複合部材と母材との接合強度を向上する点で望ましい。
即ち、本発明のダイヤモンド複合部材は、例えば、図５
に示すようにダイヤモンド複合部材３を母材４にろう付
けしても良いが、図６に示すように、ダイヤモンド複合
部材３と母材４との間に、ダイヤモンド質結晶の間の空
隙を充填した充填材料と同一の材料により支持層５を形
成することが望ましい。この支持層５を形成することに
よりダイヤモンド複合部材３と母材４の接合強度を向上
することができる。支持層５の膜厚は０．３〜１０００
μｍであることが望ましい。When the diamond composite member of the present invention is bonded to the base material, a support layer is formed on the composite member and the support layer is bonded to the base material. It is desirable in terms of improving the bonding strength.
That is, the diamond composite member of the present invention is, for example, as shown in FIG.
The diamond composite member 3 may be brazed to the base material 4 as shown in FIG. 6, but as shown in FIG. 6, a space between the diamond-like crystals is filled between the diamond composite member 3 and the base material 4. It is desirable to form the support layer 5 with the same material as the above-mentioned filling material. By forming the support layer 5, the bonding strength between the diamond composite member 3 and the base material 4 can be improved. The thickness of the support layer 5 is 0.3 to 1000
μm is desirable.
【００１９】ダイヤモンド質結晶の間の空隙を充填した
充填材料と同一の材料の支持層５は、充填材料の充填
後、引き続いて成膜することにより、容易に支持層５を
形成することができる。The support layer 5 made of the same material as the filling material filling the voids between the diamond-like crystals can be easily formed by continuously forming a film after filling the filling material. .
【００２０】支持層が金属からなる場合には、この支持
層の厚みは０．０５〜１．１ｍｍ、特には０．１〜０．
５ｍｍであることが望ましい。機械的な応力が加わる場
合には、支持層はＭｏ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｗが
好ましい。このような支持層を形成することにより、母
材が金属や超硬合金の場合には金属対金属の接合となる
ため接合強度を向上することができ、母材がセラミック
の場合には支持層の存在により応力を緩和することがで
きる。When the support layer is made of metal, the thickness of the support layer is 0.05 to 1.1 mm, particularly 0.1 to 0.
It is preferably 5 mm. When mechanical stress is applied, the support layer is preferably Mo, Nb, Cr, Co, Ni, W. By forming such a support layer, when the base material is a metal or cemented carbide, a metal-to-metal bond is formed, so that the bonding strength can be improved, and when the base material is a ceramic, the support layer is formed. The stress can be relieved by the presence of.
【００２１】また、支持層がセラミックスである場合に
は、支持層の厚みは、コスト的な観点から０．０５乃至
３ｍｍが好ましい。厳しい使用条件やコストを考慮する
と０．１乃至１．０ｍｍが特に望ましい。When the support layer is made of ceramics, the thickness of the support layer is preferably 0.05 to 3 mm from the viewpoint of cost. Considering severe usage conditions and cost, 0.1 to 1.0 mm is particularly desirable.
【００２２】また、母材と反対側のダイヤモンド複合部
材の表面には、図７に示すように、ダイヤモンド及びダ
イヤモンド状炭素のうち少なくとも一種からなる緻密膜
７を０．２μｍ以上の厚みで形成しても良い。この場合
には、耐摩耗性、熱伝導性を向上することができる。Further, as shown in FIG. 7, a dense film 7 made of at least one of diamond and diamond-like carbon is formed in a thickness of 0.2 μm or more on the surface of the diamond composite member opposite to the base material. May be. In this case, wear resistance and heat conductivity can be improved.
【００２３】また、本発明では、図８に示すように、ダ
イヤモンド複合部材３と母材４との間に、前述した金
属，セラミックス，金属とセラミックスの混合物等から
なる支持層５を形成するとともに、母材４と反対側のダ
イヤモンド複合部材３の表面に、ダイヤモンド及びダイ
ヤモンド状炭素のうち少なくとも一種からなる緻密膜７
を形成することが望ましい。Further, in the present invention, as shown in FIG. 8, a support layer 5 made of the above-mentioned metal, ceramics, a mixture of metal and ceramics, or the like is formed between the diamond composite member 3 and the base material 4. , A dense film 7 made of at least one of diamond and diamond-like carbon on the surface of the diamond composite member 3 opposite to the base material 4.
Is preferably formed.
【００２４】本発明のダイヤモンド複合部材の製造は、
図４に示したようにシリコン等からなる基板８の表面
に、ＣＶＤ法によりダイヤモンド及びダイヤモンド状炭
素のうち少なくとも一種からなるダイヤモンド質結晶１
を形成し、このダイヤモンド質結晶１の間の空隙中に、
金属，セラミックス，金属とセラミックスの混合物を充
填させて、基板８の表面にダイヤモンド複合部材３を形
成し、この後、基板８を除去することにより得られる。The diamond composite member of the present invention is manufactured by
As shown in FIG. 4, a diamond-like crystal 1 made of at least one of diamond and diamond-like carbon is formed on the surface of a substrate 8 made of silicon or the like by a CVD method.
Are formed in the voids between the diamond-like crystals 1,
It is obtained by filling a metal, ceramics, or a mixture of metal and ceramics to form the diamond composite member 3 on the surface of the substrate 8, and then removing the substrate 8.
【００２５】[0025]
【作用】本発明のダイヤモンド複合部材では、金属，ま
たはセラミックス，あるいは金属とセラミックスの混合
物がダイヤモンド質結晶を包み込む事になり、ダイヤモ
ンド質結晶と金属，セラミックス，金属とセラミックス
の混合物との接合強度が向上し、複合部材自体の強度を
向上することができる。In the diamond composite member of the present invention, the metal or the ceramic or the mixture of the metal and the ceramic wraps the diamond-like crystal, and the bonding strength between the diamond-like crystal and the metal, the ceramic, or the mixture of the metal and the ceramic is increased. It is possible to improve the strength of the composite member itself.
【００２６】例えば、ＣＶＤ法により形成した厚み０．
３ｍｍ、横２ｍｍ、長さ１２ｍｍのダイヤモンド膜の３
点曲げ抗折強度を測定したところ、４００ＭＰａと小さ
かったが、本発明のダイヤモンド複合部材では、上記と
同様にして抗折強度を測定したところ６００ＭＰａ以上
であった。従って、本発明におけるダイヤモンド複合部
材では、従来のダイヤモンド膜よりも強度等の特性を向
上することができるとともに、電力消費量等のコストを
低減することができ、さらに、成膜時間についても従来
のダイヤモンド膜よりも大幅に短縮することができる。
また、従来のダイヤモンド膜では成膜時間やコスト等の
問題で小型のものしか製造できなかったが、本発明にお
けるダイヤモンド複合部材は大型のものを製造すること
ができる。For example, a thickness of 0.
3 mm, 3 mm wide, 12 mm long diamond film 3
When the point bending bending strength was measured, it was as small as 400 MPa, but when the bending strength of the diamond composite member of the present invention was measured in the same manner as above, it was 600 MPa or more. Therefore, in the diamond composite member of the present invention, the characteristics such as strength can be improved as compared with the conventional diamond film, the cost such as the power consumption can be reduced, and the film forming time can be shortened as compared with the conventional diamond film. It can be shortened significantly compared to a diamond film.
Further, with the conventional diamond film, only a small one can be manufactured due to problems such as film forming time and cost, but a large diamond composite member according to the present invention can be manufactured.
【００２７】このため、ダイヤモンド複合部材のみで、
加工用切削工具，スリッターナイフ等の産業用刃物、各
種の摺動部品、糸道，ガイドブッシュ等の耐摩耗部材、
各種測定機器用部品、精密加工用刃物、医療用器具、各
種電子素子、電子部品用放熱板を作成しても良い。Therefore, with only the diamond composite member,
Cutting tools for processing, industrial blades such as slitter knives, various sliding parts, abrasion resistant members such as yarn paths and guide bushes,
Various measuring instrument parts, precision machining blades, medical instruments, various electronic elements, and electronic component heat sinks may be created.
【００２８】さらに、本発明のダイヤモンド複合部材
は、母材にろう付けして用いることができるが、この場
合において、ダイヤモンドよりも、金属，セラミック
ス，金属とセラミックスの混合物の方が母材との濡れ性
が良好であるため、ダイヤモンド複合部材と母材との接
合強度を向上し、長時間の使用に耐えることができる。Further, the diamond composite member of the present invention can be used by brazing it to the base material. In this case, metal, ceramics, or a mixture of metal and ceramics is more preferable to the base material than diamond. Since the wettability is good, the bonding strength between the diamond composite member and the base material can be improved and it can withstand long-term use.
【００２９】また、ダイヤモンド複合部材と母材との間
に、金属，またはセラミックス，あるいは金属とセラミ
ックスの混合物からなる支持層を介在させることによ
り、複合部材と母材との接合強度をさらに向上すること
ができる。Further, by interposing a support layer made of metal or ceramics or a mixture of metal and ceramics between the diamond composite member and the base material, the joint strength between the composite member and the base material is further improved. be able to.
【００３０】また、ダイヤモンド複合部材の表面にダイ
ヤモンドからなる緻密膜を形成することにより、耐摩耗
性，熱伝導性，硬度等の特性を向上することができる。Further, by forming a dense film made of diamond on the surface of the diamond composite member, it is possible to improve characteristics such as wear resistance, thermal conductivity and hardness.
【００３１】また、ダイヤモンド質結晶間の空隙中に、
金属等を充填する方法として、メッキなど室温で処理で
きる方法を採用すれば、ダイヤモンドと金属，セラミッ
クス，金属とセラミックスの混合物との熱膨張率の差が
大きくても変形や剥離を生じる事がない。また、熱膨張
率が小さなセラミックスとダイヤモンドを複合させると
複合部材中の内部応力を抑制することができる。Further, in the voids between the diamond-like crystals,
If a method such as plating that can be processed at room temperature is adopted as a method of filling the metal or the like, deformation or peeling does not occur even if there is a large difference in coefficient of thermal expansion between diamond and metal, ceramics, or a mixture of metal and ceramics. . Further, when ceramics and diamond having a small coefficient of thermal expansion are compounded, internal stress in the compound member can be suppressed.
【００３２】[0032]
【実施例】本発明のダイヤモンド複合部材及びその製造
方法を図面を用いて詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The diamond composite member of the present invention and the manufacturing method thereof will be described in detail with reference to the drawings.
【００３３】本発明のダイヤモンド複合部材３は、図４
に示すように、先ず、公知の材料よりなる基板８にＣＶ
Ｄ法によりダイヤモンド質結晶を成膜する。この時の、
これらの膜を成膜する基板８は、例えば、シリコン，モ
リブデン，チタン等の金属或いは窒化珪素、炭化珪素等
のセラミックス、炭素、シリコン等から形成され、任意
に選択できるが、成膜初期に於ける核生成の容易さや後
の工程における基板８の除去の容易さからシリコンまた
はモリブデンあるいは炭素からなる基板８が適してい
る。The diamond composite member 3 of the present invention is shown in FIG.
As shown in FIG. 1, first, the CV is formed on the substrate 8 made of a known material.
A diamond-like crystal is formed by the D method. At this time,
The substrate 8 on which these films are formed is formed of, for example, a metal such as silicon, molybdenum, or titanium, or a ceramic such as silicon nitride or silicon carbide, carbon, silicon, or the like, and can be arbitrarily selected. The substrate 8 made of silicon, molybdenum, or carbon is suitable because of the ease of nucleation and the easy removal of the substrate 8 in the subsequent step.
【００３４】成膜にはマイクロ波プラズマＣＶＤ，熱フ
ィラメントＣＶＤ，ＥＣＲプラズマＣＶＤ、プラズマジ
ェット法など公知の方法が用いられるが、少なくとも一
部の工程で、ダイヤモンド質結晶１の間に隙間を生じさ
せることが重要である。このようなダイヤモンド質結晶
１を成膜するには、例えば、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法で
は、装置内にＳｉ基板を設置し、最大強度２ＫＧの磁場
を印加するとともにマイクロ波出力３〜５ＫＷ、基板温
度７００℃以下、装置内圧力０．０５〜０．５Ｔｏｒｒ
の条件で成膜を行うことにより得られる。尚、反応ガス
はＣＨ4 、ＣＯ2 、Ｈ2 を用い、メタンの濃度は５％以
下とする。また、基板温度、導入ガス量、炉内圧力を調
整することにより隙間のある膜を作製することができ
る。Known methods such as microwave plasma CVD, hot filament CVD, ECR plasma CVD, and plasma jet method are used for film formation, and a gap is formed between the diamond-like crystals 1 in at least a part of the steps. This is very important. In order to form such a diamond-like crystal 1, for example, in the ECR plasma CVD method, a Si substrate is installed in the apparatus, a magnetic field with a maximum strength of 2 KG is applied, a microwave output of 3 to 5 kW, and a substrate temperature of 700. ℃ or less, pressure inside the device 0.05 to 0.5 Torr
It is obtained by forming a film under the conditions of. CH 4 , CO 2 , and H 2 are used as the reaction gas, and the concentration of methane is 5% or less. Further, a film having a gap can be formed by adjusting the substrate temperature, the amount of introduced gas, and the pressure in the furnace.
【００３５】また、ダイヤモンド質結晶１からなる多孔
質膜の厚さや結晶構造（純粋なダイヤモンドやダイヤモ
ンド状炭素の割合）についても、基板温度、ガス濃度な
どにより任意に選択できる。性能と生産性との兼ね合い
からダイヤモンド複合部材３の膜厚は０．３〜１００μ
ｍが適当である。Further, the thickness and crystal structure (ratio of pure diamond or diamond-like carbon) of the porous film composed of the diamond-like crystals 1 can be arbitrarily selected depending on the substrate temperature, the gas concentration and the like. From the balance of performance and productivity, the thickness of the diamond composite member 3 is 0.3 to 100 μm.
m is suitable.
【００３６】尚、最初に公知の方法で緻密なダイヤモン
ド膜をコーティングしたあと、ダイヤモンドの粒界をエ
ッチングして隙間を生じさせてもよい。エッチングは各
種の方法が用いられるが、例えば、Ｓｉ基板上に成膜し
た緻密なダイヤモンド膜をＯ2 １００％、０．１Ｔｏｒ
ｒ、マイクロ波出力１ＫＷのＥＣＲプラズマ中に設置
し、５〜３０分間エッチングを行う。その他のコーティ
ング方法を用いた場合でも、コーティングにより緻密な
ダイヤモンド膜又はダイヤモンドとダイヤモンド状炭素
との混合膜を作製した後、炉内に微量の酸素または酸化
性ガス（ＣＯ2 など）を導入すれば、ダイヤモンドの粒
界またはダイヤモンド状炭素が選択的にエッチングさ
れ、粒子間に隙間のある膜が生成できる。Incidentally, after a dense diamond film is first coated by a known method, the grain boundaries of diamond may be etched to form a gap. Although various methods are used for etching, for example, a dense diamond film formed on a Si substrate is O 2 100%, 0.1 Torr.
r, installed in ECR plasma with microwave output of 1 kW and etched for 5 to 30 minutes. Even if another coating method is used, if a minute diamond film or a mixed film of diamond and diamond-like carbon is formed by coating, a small amount of oxygen or oxidizing gas (CO 2 etc.) is introduced into the furnace. , The grain boundaries of diamond or diamond-like carbon are selectively etched, and a film having gaps between particles can be formed.
【００３７】また、最初に公知の方法で緻密なダイヤモ
ンド膜をコーティングしたあと、コーティング条件を変
更して粒子間に隙間を生じさせてもよい。この場合に
は、複合部材の表面に本発明の緻密膜を形成することが
できる。It is also possible to first coat a dense diamond film by a known method and then change the coating conditions to form gaps between the particles. In this case, the dense film of the present invention can be formed on the surface of the composite member.
【００３８】そして、図４に示すように、上記のように
して作製した、ダイヤモンド質結晶１の隙間に、ＣＶＤ
により金属，セラミックス，金属とセラミックスの混合
物２を充填する。充填方法については、公知の成膜方法
により対応できる。Then, as shown in FIG. 4, the CVD is performed in the gap of the diamond-like crystal 1 produced as described above.
Is filled with metal, ceramics, or a mixture 2 of metal and ceramics. The filling method may be a known film forming method.
【００３９】次いで、ダイヤモンド複合部材３のマスキ
ングを行いシリコン等からなる基板８を酸等で溶解除去
する。基板８は機械的に剥離しても良い。これにより、
ダイヤモンド複合部材３が得られる。Next, the diamond composite member 3 is masked, and the substrate 8 made of silicon or the like is dissolved and removed with an acid or the like. The substrate 8 may be mechanically peeled off. This allows
The diamond composite member 3 is obtained.
【００４０】また、このようなダイヤモンド複合部材３
は、レーザー等で所定形状にカットされ、図５に示すよ
うに母材４に銀ろう、もしくはその他のろう材でろう付
けして用いられることもある。シリコン等の基板の除去
はダイヤモンド複合部材を母材４にろう付けした後行っ
ても良い。Further, such a diamond composite member 3
May be cut into a predetermined shape with a laser or the like, and then brazed to the base material 4 with silver brazing material or other brazing material as shown in FIG. The substrate such as silicon may be removed after the diamond composite member is brazed to the base material 4.
【００４１】以上のように構成されたダイヤモンド複合
部材では、金属，またはセラミックス，あるいは金属と
セラミックスの混合物がダイヤモンド質結晶を包み込む
事になり、ダイヤモンド質結晶と金属，セラミックス，
金属とセラミックスの混合物との接合強度が向上し、複
合部材自体の強度を向上することができる。In the diamond composite member constructed as described above, the metal or ceramics or the mixture of the metal and the ceramics encloses the diamond-like crystal, and the diamond-like crystal and the metal, the ceramics,
The bonding strength between the mixture of metal and ceramics is improved, and the strength of the composite member itself can be improved.
【００４２】また、本発明のダイヤモンド複合部材は、
母材にろう付けして用いることができるが、この場合に
おいて、ダイヤモンドよりも、金属，セラミックス，金
属とセラミックスの混合物の方が母材との濡れ性が良好
であるため、ダイヤモンド複合部材と母材との接合強度
を向上し、長時間の使用に耐えることができる。Further, the diamond composite member of the present invention is
It can be used by brazing to the base material, but in this case, the wettability of the metal, the ceramics, and the mixture of the metal and the ceramics with the base material is better than that of diamond. The joint strength with the material is improved and it can withstand long-term use.
【００４３】本発明者は、金属，セラミックス，金属と
セラミックスの混合物からなる充填材料を変化させて、
ダイヤモンド複合部材の抗折強度、ダイヤモンドと充填
材料との密着性、および耐摩耗性を測定した。抗折強度
をＪＩＳＲ１６０１に従い３点曲げにより、ダイヤモン
ドと充填材料との密着性をスクラッチテストにより、耐
摩耗性を摺動試験により行った。この結果を表１に記載
する。The present inventor changed the filling material composed of metal, ceramics, and a mixture of metal and ceramics,
The bending strength, the adhesion between the diamond and the filling material, and the wear resistance of the diamond composite member were measured. The bending strength was determined by 3-point bending according to JIS R1601, the adhesion between the diamond and the filling material was determined by a scratch test, and the abrasion resistance was determined by a sliding test. The results are shown in Table 1.
【００４４】[0044]
【表１】 [Table 1]
【００４５】この表１から本発明のダイヤモンド複合部
材は、抗折強度が５００Ｍｐａ以上であり、ダイヤモン
ドと充填材料との密着性および耐摩耗性に優れているこ
とが判る。From Table 1, it can be seen that the diamond composite member of the present invention has a bending strength of 500 MPa or more, and is excellent in the adhesion between the diamond and the filling material and the wear resistance.
【００４６】また、本発明者は、表１におけるＮo.２の
試料１０個と、Ｎo.１１の試料１０個を超硬合金からな
る母材にろう付けし、このろう付け部に５０ｋｇの力を
剪断方向に加え、剥離の有無を調査した。また、Ｎo.２
の試料１０個をＭｏからなる支持層を介して母材にろう
付けした。この結果、本発明の試料Ｎo.２の試料をその
まま母材にろう付けした場合には、１０個中１個の剥離
が生じたが、Ｎo.１１の試料では全部が剥離した。さら
に、本発明の試料Ｎo.２の試料をＭｏからなる支持層を
介して母材にろう付けした場合には、全く剥離しなかっ
た。The inventor of the present invention brazes 10 No. 2 samples and 10 No. 11 samples in Table 1 to a base material made of cemented carbide, and a force of 50 kg is applied to the brazed portion. Was added in the shear direction, and the presence or absence of peeling was investigated. Also, No. 2
10 samples of 1 were brazed to the base material via a support layer made of Mo. As a result, when the sample No. 2 of the present invention was directly brazed to the base material, peeling occurred in 1 out of 10, but in the sample No. 11, all peeled. Furthermore, when the sample No. 2 of the present invention was brazed to the base material via the support layer made of Mo, no peeling occurred.
【００４７】[0047]
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、金
属，セラミックス，金属とセラミックスの混合物からな
る充填材料がダイヤモンド質結晶を包み込む事になり、
ダイヤモンド質結晶と充填材料との接合強度が向上し、
ダイヤモンド複合部材自体の強度を向上することができ
る。また、ダイヤモンド複合部材を母材にろう付けする
場合には、これらの接合強度を向上し、長時間の使用に
耐えることができる。As described in detail above, according to the present invention, the filling material composed of metal, ceramics, and a mixture of metal and ceramics encloses the diamond-like crystal,
Improves the bonding strength between diamond-like crystals and filling material,
The strength of the diamond composite member itself can be improved. In addition, when the diamond composite member is brazed to the base material, the bonding strength of these materials can be improved and the long-term use can be endured.
【図１】ダイヤモンド複合部材の一断面における網目状
構造を示す図である。FIG. 1 is a view showing a mesh structure in one cross section of a diamond composite member.
【図２】ダイヤモンド複合部材の一断面における網目状
構造の一部を形成する構造を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a structure forming a part of a mesh structure in one cross section of a diamond composite member.
【図３】ダイヤモンド複合部材の一断面における網目状
構造の一部を形成する構造を示す図である。FIG. 3 is a view showing a structure forming a part of a mesh structure in one cross section of the diamond composite member.
【図４】ダイヤモンド質結晶の間に金属，セラミック
ス，金属とセラミックスの混合物が充填されている状態
を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a state in which a metal, ceramics, or a mixture of metal and ceramics is filled between diamond crystals.
【図５】本発明のダイヤモンド複合部材が母材にろう付
けされている状態を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a state in which the diamond composite member of the present invention is brazed to a base material.
【図６】ダイヤモンド複合部材と母材との間に支持層を
形成した図である。FIG. 6 is a view in which a support layer is formed between a diamond composite member and a base material.
【図７】ダイヤモンド複合部材の表面に緻密膜を形成し
た図である。FIG. 7 is a diagram in which a dense film is formed on the surface of a diamond composite member.
【図８】ダイヤモンド複合部材と母材との間に支持層を
形成し、ダイヤモンド複合部材の表面に緻密膜を形成し
た図である。FIG. 8 is a diagram in which a support layer is formed between a diamond composite member and a base material, and a dense film is formed on the surface of the diamond composite member.
１・・・ダイヤモンド質結晶 ２・・・金属相 ３・・・ダイヤモンド複合部材 ４・・・母材 ５・・・支持層 ７・・・緻密膜 1 ... Diamond crystal 2 ... Metal phase 3 ... Diamond composite member 4 ... Base material 5 ... Support layer 7 ... Dense film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 16/56 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI technical display location C23C 16/56
Claims (3)
びダイヤモンド状炭素のうち少なくとも一種からなるダ
イヤモンド質結晶間の空隙中に、金属（タングステンを
除く）、またはセラミックス、あるいは金属とセラミッ
クスの混合物を充填してなることを特徴とするダイヤモ
ンド複合部材。1. A metal (excluding tungsten), a ceramic, or a mixture of a metal and a ceramic is filled in a void between diamond-like crystals made of at least one of diamond and diamond-like carbon produced by a CVD method. A diamond composite member characterized by the following.
炭素のうち少なくとも一種からなる緻密膜が形成されて
いる請求項１記載のダイヤモンド複合部材。2. The diamond composite member according to claim 1, wherein a dense film made of at least one of diamond and diamond-like carbon is formed on the surface.
ド及びダイヤモンド状炭素のうち少なくとも一種からな
るダイヤモンド質結晶を形成し、このダイヤモンド質結
晶間の空隙中に、金属（タングステンを除く）、または
セラミックス、あるいは金属とセラミックスの混合物を
充填させて、前記基板の表面にダイヤモンド複合部材を
形成し、この後、前記基板を除去することを特徴とする
ダイヤモンド複合部材の製造方法。3. A diamond-like crystal made of at least one of diamond and diamond-like carbon is formed on a surface of a substrate by a CVD method, and a metal (excluding tungsten) or a ceramic is formed in a void between the diamond-like crystals. Alternatively, a diamond composite member is formed by filling a mixture of metal and ceramics to form a diamond composite member on the surface of the substrate, and then the substrate is removed.
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006502580A (en) * | 2002-10-08 | 2006-01-19 | エレメント シックス リミテッド | Heat spreader |
| JP2016017218A (en) * | 2014-07-10 | 2016-02-01 | 株式会社Ihi | Method for producing hollow structure |
| CN115866904A (en) * | 2022-12-06 | 2023-03-28 | 太原理工大学 | Preparation method of nano particle reinforced metal-diamond printed circuit board |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23650694A patent/JP3314119B2/en not_active Expired - Fee Related
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