JPH08101046A - エンコーダ装置及びそれを用いた超音波プローブ - Google Patents
エンコーダ装置及びそれを用いた超音波プローブInfo
- Publication number
- JPH08101046A JPH08101046A JP6261377A JP26137794A JPH08101046A JP H08101046 A JPH08101046 A JP H08101046A JP 6261377 A JP6261377 A JP 6261377A JP 26137794 A JP26137794 A JP 26137794A JP H08101046 A JPH08101046 A JP H08101046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- distance
- light
- optical fiber
- irradiation surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構成部品の部品点数を少なくして組み立て誤
差の低減を図り、全体小形化した場合でも測定精度の低
化が生じないようにするエンコーダ装置およびエンコー
ダ装置を用いた超音波プローブを提供する。 【構成】 反射部(14a)と非反射部(14b)とが
交互に配列されて形成されたスケール部(13)に、ス
ケール部(14)に対向して配置した光照射手段(1
5)の所定面積を有する照射面(15a)から光を照射
し、スケール部で反射した光信号を、照射面あるいはス
ケール部に対して照射面と対称の位置に配置した受光面
によって検出し、スケール部の移動量を検出するエンコ
ーダ装置において、照射面からスケール部までの距離を
L、反射部および非反射部に対する照射面の移動位置を
S、移動位置Sの変化に対して前記受光面によって受光
される光信号量が略一定となる2個の距離をL1,L2
(L1<L2)とするときに、距離LをL≠L1,L≠
L2となるように設定することを特徴とする。
差の低減を図り、全体小形化した場合でも測定精度の低
化が生じないようにするエンコーダ装置およびエンコー
ダ装置を用いた超音波プローブを提供する。 【構成】 反射部(14a)と非反射部(14b)とが
交互に配列されて形成されたスケール部(13)に、ス
ケール部(14)に対向して配置した光照射手段(1
5)の所定面積を有する照射面(15a)から光を照射
し、スケール部で反射した光信号を、照射面あるいはス
ケール部に対して照射面と対称の位置に配置した受光面
によって検出し、スケール部の移動量を検出するエンコ
ーダ装置において、照射面からスケール部までの距離を
L、反射部および非反射部に対する照射面の移動位置を
S、移動位置Sの変化に対して前記受光面によって受光
される光信号量が略一定となる2個の距離をL1,L2
(L1<L2)とするときに、距離LをL≠L1,L≠
L2となるように設定することを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、エンコーダ装置および
エンコーダ装置を用いた超音波プローブに関する。
エンコーダ装置を用いた超音波プローブに関する。
【0002】
【従来の技術】回転運動あるいは直線運動する移動体の
変位量を計測する装置としてロータリエンコーダやリニ
アエンコーダ等のエンコーダ装置が広く知られている。
エンコーダ装置の一例として、図9に回転体の変位を計
測する光学式ロータリーエンコーダを示す。光学式ロー
タリーエンコーダは光学的スリットを備え、回転体の変
位を光センサにより検出する構成となっている。図9に
おいて、スケール1は回転スケール1aと固定スケール
1bからなり、回転スケール1aは軸2を中心に回転
し、回転スケール1aの外周縁部には光学スリット5a
が形成されている。固定スケール1bは回転スケール1
aと面を平行にして配置されており、回転スケール1a
の光学的スリット5aと同じピッチの光学的スリット5
bが形成されている。回転スケール1aは軸2に対して
リング3を用いて固定されている。
変位量を計測する装置としてロータリエンコーダやリニ
アエンコーダ等のエンコーダ装置が広く知られている。
エンコーダ装置の一例として、図9に回転体の変位を計
測する光学式ロータリーエンコーダを示す。光学式ロー
タリーエンコーダは光学的スリットを備え、回転体の変
位を光センサにより検出する構成となっている。図9に
おいて、スケール1は回転スケール1aと固定スケール
1bからなり、回転スケール1aは軸2を中心に回転
し、回転スケール1aの外周縁部には光学スリット5a
が形成されている。固定スケール1bは回転スケール1
aと面を平行にして配置されており、回転スケール1a
の光学的スリット5aと同じピッチの光学的スリット5
bが形成されている。回転スケール1aは軸2に対して
リング3を用いて固定されている。
【0003】光センサ4は、スケール1を挾むように投
光素子4aと受光素子4bが配置されてなる。照射され
た光はまず回転スケール1aのスリット5aを通過し、
さらに固定スケール1bのスリットbを通過して受光素
子4bに入る。回転スケール1aのスリット5aと固定
スケール1bのスリット5bの位置が一致している場合
には受光素子4bには光は最も多く入り、一致していな
い場合には受光素子4bに光が入りにくくなる。
光素子4aと受光素子4bが配置されてなる。照射され
た光はまず回転スケール1aのスリット5aを通過し、
さらに固定スケール1bのスリットbを通過して受光素
子4bに入る。回転スケール1aのスリット5aと固定
スケール1bのスリット5bの位置が一致している場合
には受光素子4bには光は最も多く入り、一致していな
い場合には受光素子4bに光が入りにくくなる。
【0004】この受光量の変化を示したのが図10およ
び図11である。受光素子4bに受光される光量は、図
10(a)のようにスリット5aの位置とスリット5b
の位置が一致している時に最大光量となり、(c)のよ
うにスリット5aの位置とスリット5bの位置が1ピッ
チ分ずれている場合はほとんど受光されず最小光量とな
る。固定スケール1bを用いることで回転スケール1a
に照射される光の範囲がスリット5aの1ピッチ分より
大きくても図11(A)のように最小光量を理論的には
零にすることができる。よって、増減する光量の振幅が
大きくなり、S/N比を向上させることができる。ま
た、投光素子4aから照射される光の照射範囲を微調整
する必要がない。
び図11である。受光素子4bに受光される光量は、図
10(a)のようにスリット5aの位置とスリット5b
の位置が一致している時に最大光量となり、(c)のよ
うにスリット5aの位置とスリット5bの位置が1ピッ
チ分ずれている場合はほとんど受光されず最小光量とな
る。固定スケール1bを用いることで回転スケール1a
に照射される光の範囲がスリット5aの1ピッチ分より
大きくても図11(A)のように最小光量を理論的には
零にすることができる。よって、増減する光量の振幅が
大きくなり、S/N比を向上させることができる。ま
た、投光素子4aから照射される光の照射範囲を微調整
する必要がない。
【0005】これに対して、固定スケールを使用しない
構成でもスリットの有無の検出は可能である。回転スケ
ール1aに照射する光の照射範囲をスリット5aの幅よ
り小さくするかまたは照射される領域に存在するスリッ
ト5aの数を調整することで可能となる。この受光量の
変化を示したのが図11(B)である。図11(B)の
(a)は投光素子と受光素子との間にスリット5aが3
本存在している場合で最大光量となり、(c)は投光素
子と受光素子との間にスリット5aが2本存在している
場合で最小光量となる。そして光量の増減分としてスリ
ット1ピッチ分を用いることにより、図11(B)に示
されるような光量の変位を実現することができる。
構成でもスリットの有無の検出は可能である。回転スケ
ール1aに照射する光の照射範囲をスリット5aの幅よ
り小さくするかまたは照射される領域に存在するスリッ
ト5aの数を調整することで可能となる。この受光量の
変化を示したのが図11(B)である。図11(B)の
(a)は投光素子と受光素子との間にスリット5aが3
本存在している場合で最大光量となり、(c)は投光素
子と受光素子との間にスリット5aが2本存在している
場合で最小光量となる。そして光量の増減分としてスリ
ット1ピッチ分を用いることにより、図11(B)に示
されるような光量の変位を実現することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】エンコーダ装置では、
計測しようとする回転範囲あるいは長さ範囲を所望の分
解能あるいはパルス数で計測しようとする場合、分解能
あるいはパルス数と同数のスリットが配列されているこ
とが必要である。このため、高い分解能で計測しようと
するには計測範囲に含まれるスリットの数を多くする必
要があり、スリットの数を多くすればするほど1スリッ
ト幅が小さくなってしまう。そしてその結果として、ス
リットを通過する光量は減少してしまう。
計測しようとする回転範囲あるいは長さ範囲を所望の分
解能あるいはパルス数で計測しようとする場合、分解能
あるいはパルス数と同数のスリットが配列されているこ
とが必要である。このため、高い分解能で計測しようと
するには計測範囲に含まれるスリットの数を多くする必
要があり、スリットの数を多くすればするほど1スリッ
ト幅が小さくなってしまう。そしてその結果として、ス
リットを通過する光量は減少してしまう。
【0007】このために、従来はスケールと光センサと
の距離をできるだけ小さくすることでスリットを通過す
る光量の損失を減らして受光素子に入る光量を大きくす
るべく機械的に安全性が得られる範囲で、光センサをス
ケールに接近させて取り付けていた。
の距離をできるだけ小さくすることでスリットを通過す
る光量の損失を減らして受光素子に入る光量を大きくす
るべく機械的に安全性が得られる範囲で、光センサをス
ケールに接近させて取り付けていた。
【0008】しかしながら、固定スケールを使用しない
型のエンコーダ装置の場合には、光センサの受光領域と
スケールのスリット幅の関係を決めることによって光量
が増減する光信号を得ていたが、光センサとスケールの
距離についての詳細な検討はなされていなかった。
型のエンコーダ装置の場合には、光センサの受光領域と
スケールのスリット幅の関係を決めることによって光量
が増減する光信号を得ていたが、光センサとスケールの
距離についての詳細な検討はなされていなかった。
【0009】そこで本発明の目的は、光センサとスケー
ルとの距離を望ましい値に設定し、信頼性の高いエンコ
ーダ装置およびそれを用いた超音波プローブを提供する
ことである。
ルとの距離を望ましい値に設定し、信頼性の高いエンコ
ーダ装置およびそれを用いた超音波プローブを提供する
ことである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるエンコーダ装置は、反射部と非反射部
とが交互に配列されて形成されたスケール部に、前記ス
ケール部に対向して配置した光照射手段の所定面積を有
する照射面から光を照射し、前記スケール部で反射した
光信号を、前記照射面をあるいは前記スケール部に対し
て前記照射面と対称の位置に配置した受光面によって検
出し、前記スケール部の移動量を検出するエンコーダ装
置において、前記照射面から前記スケール部までの距離
をL、前記反射部および前記非反射部の配列方向に対す
る前記照射面の種々の移動位置をS、移動位置Sの変化
に対して前記照射面あるいは前記受光面によって受光さ
れる光信号量が略一定となる距離をL1,L2(L1<
L2)とするときに、距離LをL≠L1,L≠L2とな
るように設定することを特徴とする。
に、本発明によるエンコーダ装置は、反射部と非反射部
とが交互に配列されて形成されたスケール部に、前記ス
ケール部に対向して配置した光照射手段の所定面積を有
する照射面から光を照射し、前記スケール部で反射した
光信号を、前記照射面をあるいは前記スケール部に対し
て前記照射面と対称の位置に配置した受光面によって検
出し、前記スケール部の移動量を検出するエンコーダ装
置において、前記照射面から前記スケール部までの距離
をL、前記反射部および前記非反射部の配列方向に対す
る前記照射面の種々の移動位置をS、移動位置Sの変化
に対して前記照射面あるいは前記受光面によって受光さ
れる光信号量が略一定となる距離をL1,L2(L1<
L2)とするときに、距離LをL≠L1,L≠L2とな
るように設定することを特徴とする。
【0011】また、本発明による超音波プローブは、前
記距離LをL1<L<L2前に設定することを特徴とす
る。
記距離LをL1<L<L2前に設定することを特徴とす
る。
【0012】また、本発明による超音波プローブは、前
記距離LをL<L1に設定することを特徴とする。
記距離LをL<L1に設定することを特徴とする。
【0013】また、本発明による超音波プローブは、前
記距離LをL2<Lに設定することを特徴とする。
記距離LをL2<Lに設定することを特徴とする。
【0014】また、本発明による超音波プローブは、可
撓性を有し被検査物内に挿入されるチューブと、前記チ
ューブの内部に配置され前記チューブの軸回りに超音波
を照射する超音波振動子と、前記チューブの内部に配置
され超音波照射に係る回転情報を検出する回転情報検出
装置とを備える超音波プローブにおいて、前記回転情報
検出装置は反射部と非反射部とが交互に配列されて形成
されたスケール部と、前記スケール部へ投光される光ビ
ームおよび前記スケール部から反射する光信号を案内す
る光ファイバと、前記光ファイバで案内した光信号から
超音波照射に係る回転情報を検出する光検出手段とを有
し、前記光ファイバの端面から前記スケール部までの距
離をL、前記反射部および前記非反射部の配列方向に対
する前記照射面の移動位置をS、移動位置Sの変化に対
して前記光ファイバの端面によって受光される光信号量
が略一定となる距離をL1,L2(L1<L2)とする
ときに、距離LをL≠L1,L≠L2となるように設定
することを特徴とする。
撓性を有し被検査物内に挿入されるチューブと、前記チ
ューブの内部に配置され前記チューブの軸回りに超音波
を照射する超音波振動子と、前記チューブの内部に配置
され超音波照射に係る回転情報を検出する回転情報検出
装置とを備える超音波プローブにおいて、前記回転情報
検出装置は反射部と非反射部とが交互に配列されて形成
されたスケール部と、前記スケール部へ投光される光ビ
ームおよび前記スケール部から反射する光信号を案内す
る光ファイバと、前記光ファイバで案内した光信号から
超音波照射に係る回転情報を検出する光検出手段とを有
し、前記光ファイバの端面から前記スケール部までの距
離をL、前記反射部および前記非反射部の配列方向に対
する前記照射面の移動位置をS、移動位置Sの変化に対
して前記光ファイバの端面によって受光される光信号量
が略一定となる距離をL1,L2(L1<L2)とする
ときに、距離LをL≠L1,L≠L2となるように設定
することを特徴とする。
【0015】また、本発明による超音波プローブは、前
記光ファイバの端面の直径を2d、前記光ファイバの端
面から前記スケール部を見込む開口数をNAとすると
き、距離Lを、 L>d/tan(sin-1NA) を満たすように設定することを特徴とする。
記光ファイバの端面の直径を2d、前記光ファイバの端
面から前記スケール部を見込む開口数をNAとすると
き、距離Lを、 L>d/tan(sin-1NA) を満たすように設定することを特徴とする。
【0016】
【作用】本願発明者は、反射部および非反射部に対する
照射面の種々の移動位置Sに対して、照射面からスケー
ル部までの距離Lを変化させても、受光面によって受光
される光信号量が略一定となる2個の距離L1,L2
(L1<L2)が存在することを見いだした。本願はこ
れえらの知見に基づくものである。
照射面の種々の移動位置Sに対して、照射面からスケー
ル部までの距離Lを変化させても、受光面によって受光
される光信号量が略一定となる2個の距離L1,L2
(L1<L2)が存在することを見いだした。本願はこ
れえらの知見に基づくものである。
【0017】すなわち、距離Lを距離L1または距離L
2に設定してしまうと、照射面をスケール部に対して移
動させても、受光量が変化しないので、スケール部の移
動量を計測することができないことになる。
2に設定してしまうと、照射面をスケール部に対して移
動させても、受光量が変化しないので、スケール部の移
動量を計測することができないことになる。
【0018】そこで、照射面からスケール部までの距離
Lを小さくすればするほど受光量が大きくなるので移動
量の検出に有利であると単純に考えることを止め、移動
位置Sの変化が受光量の変化量として鋭敏に反映される
ように、照射面からスケール部までの距離Lの値を設定
する。
Lを小さくすればするほど受光量が大きくなるので移動
量の検出に有利であると単純に考えることを止め、移動
位置Sの変化が受光量の変化量として鋭敏に反映される
ように、照射面からスケール部までの距離Lの値を設定
する。
【0019】なお、距離L1,L2という量は、開口数
NA等に依存する量であるが開口数NA等の物理量によ
って直接表現することはできていない。しかしながら、
L2という量はd/tan(sin-1NA)という式で
表される量より小さいということは、物理的考察によっ
て明かである。距離Lをd/tan(sin-1NA)よ
り大きく設定することにより、以下のような効果を奏す
る。
NA等に依存する量であるが開口数NA等の物理量によ
って直接表現することはできていない。しかしながら、
L2という量はd/tan(sin-1NA)という式で
表される量より小さいということは、物理的考察によっ
て明かである。距離Lをd/tan(sin-1NA)よ
り大きく設定することにより、以下のような効果を奏す
る。
【0020】光検出手段に光ファイバを使用した場合に
おいて、光ファイバは曲がることにより開口数が増加す
るという特性がある。光ファイバが直線状のときの開口
数NAに比べて開口数が増加すると、曲げられたときに
はd/tan(sin-1NA)に相当する量は小さくな
る。そこで、光ファイバが直線状のときの開口数NAに
対して距離Lをd/tan(sin-1NA)より大きく
設定しておけば、光ファイバが曲がって開口数が変化し
ても、距離Lを距離L2の値をとることを避けるように
でき、光ファイバが曲げられて使用する場合でも検出信
号に与える影響を少なくてすむようにできる。
おいて、光ファイバは曲がることにより開口数が増加す
るという特性がある。光ファイバが直線状のときの開口
数NAに比べて開口数が増加すると、曲げられたときに
はd/tan(sin-1NA)に相当する量は小さくな
る。そこで、光ファイバが直線状のときの開口数NAに
対して距離Lをd/tan(sin-1NA)より大きく
設定しておけば、光ファイバが曲がって開口数が変化し
ても、距離Lを距離L2の値をとることを避けるように
でき、光ファイバが曲げられて使用する場合でも検出信
号に与える影響を少なくてすむようにできる。
【0021】超音波プローブの内部に光ファイバが配設
されている場合に光ファイバは湾曲された状態で使用さ
れることが多い。距離Lをd/tan(sin-1NA)
距離より大きく設定することにより、光ファイバは曲げ
により開口数が増加しても、光ファイバが曲げられても
検出信号に与える影響は少なくなり、信頼性の高い回転
情報が得られる超音波プローブが得られる。
されている場合に光ファイバは湾曲された状態で使用さ
れることが多い。距離Lをd/tan(sin-1NA)
距離より大きく設定することにより、光ファイバは曲げ
により開口数が増加しても、光ファイバが曲げられても
検出信号に与える影響は少なくなり、信頼性の高い回転
情報が得られる超音波プローブが得られる。
【0022】また、固定スケールを使用せずに、スケー
ル部と光検出手段のみの単純な構成であるためエンコー
ダ装置を小形化する上で有利となる。この結果、例え
ば、外径を2〜3mm、全長を約2mのような長尺で細
径な超音波プローブに適用させることが容易なエンコー
ダ装置を提供することができる。
ル部と光検出手段のみの単純な構成であるためエンコー
ダ装置を小形化する上で有利となる。この結果、例え
ば、外径を2〜3mm、全長を約2mのような長尺で細
径な超音波プローブに適用させることが容易なエンコー
ダ装置を提供することができる。
【0023】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。図1は本発明のエンコーダ装置の実施例を示す概略
構成図である。エンコーダ装置の回転体11は、円柱状
の回転軸12と、回転軸12に固定されている円板状の
スケール部13とからなる。スケール部13には、外周
縁部近傍に反射部14aと非反射部14bとが所定の間
隔をおいて交互にかつ回転軸12の軸芯に対して同心円
状に配列されている。これら反射部14aと非反射部1
4bは光学的スリット14を構成しており、光学的スリ
ット14の表面に対向して光センサ15が配設されてい
る。光センサ15は、具体的には示さないが、投受光部
15aと光ファイバ15bとから構成され、光源および
信号検出部などが収納された信号制御装置16に接続さ
れている。
る。図1は本発明のエンコーダ装置の実施例を示す概略
構成図である。エンコーダ装置の回転体11は、円柱状
の回転軸12と、回転軸12に固定されている円板状の
スケール部13とからなる。スケール部13には、外周
縁部近傍に反射部14aと非反射部14bとが所定の間
隔をおいて交互にかつ回転軸12の軸芯に対して同心円
状に配列されている。これら反射部14aと非反射部1
4bは光学的スリット14を構成しており、光学的スリ
ット14の表面に対向して光センサ15が配設されてい
る。光センサ15は、具体的には示さないが、投受光部
15aと光ファイバ15bとから構成され、光源および
信号検出部などが収納された信号制御装置16に接続さ
れている。
【0024】このような構成のエンコーダ装置の光学的
スリット14と投受光部15aは図2に示すような関係
に配置されている。スケール部13に光ビームを照射す
る照射面とスケール部13で反射された光信号を受光す
る受光面とは同一の面であり、ここでは領域17で表さ
れている。領域17の範囲内でのハンチングされている
部分では光は反射し、投受光部15aに受光されるた
め、ハンチング部の領域が広いほど検出される光信号の
出力は大きくなる。
スリット14と投受光部15aは図2に示すような関係
に配置されている。スケール部13に光ビームを照射す
る照射面とスケール部13で反射された光信号を受光す
る受光面とは同一の面であり、ここでは領域17で表さ
れている。領域17の範囲内でのハンチングされている
部分では光は反射し、投受光部15aに受光されるた
め、ハンチング部の領域が広いほど検出される光信号の
出力は大きくなる。
【0025】領域17と光学的スリット14との位置関
係が図3(a)に示すような位置関係にあるとき、出力
信号(反射光量)は最大となる。スケール部13が回転
移動して光学的スリット14が図3(a)に対して1/
2p(Pはスリット間ピッチであり反射部14aと非反
射部14bの長さの和)だけ移動した場合には図3
(c)のような位置関係になり、出力信号は最小とな
る。光学的スリット14が図3(a)に対して1/4p
だけ移動した場合は図3(b)のような位置関係にな
り、出力信号は図3(a)と図3(c)のそれぞれの場
合に得られる出力信号の半分の値となる。さらに、図3
(a)に対して3/4pだけ移動した場合は図3(d)
のような位置関係になり出力信号は図3(b)の場合と
同じ値を示す。
係が図3(a)に示すような位置関係にあるとき、出力
信号(反射光量)は最大となる。スケール部13が回転
移動して光学的スリット14が図3(a)に対して1/
2p(Pはスリット間ピッチであり反射部14aと非反
射部14bの長さの和)だけ移動した場合には図3
(c)のような位置関係になり、出力信号は最小とな
る。光学的スリット14が図3(a)に対して1/4p
だけ移動した場合は図3(b)のような位置関係にな
り、出力信号は図3(a)と図3(c)のそれぞれの場
合に得られる出力信号の半分の値となる。さらに、図3
(a)に対して3/4pだけ移動した場合は図3(d)
のような位置関係になり出力信号は図3(b)の場合と
同じ値を示す。
【0026】このようなエンコーダ装置において、スケ
ール部13と光センサ15の投受光部15aの距離Lを
変化させると、領域17から反射する反射光量が変化し
出力信号が大きく変化する。
ール部13と光センサ15の投受光部15aの距離Lを
変化させると、領域17から反射する反射光量が変化し
出力信号が大きく変化する。
【0027】図4乃至図7は、図2のような構成のもと
でスケール部13と投受光部15aとの距離Lを変化さ
せたときのスケール部13で反射した光量の変化を示し
たものである。ここで横軸は距離Lであり、縦軸は受光
した光量の出力値Pと照射した光量の出力値Poとの比
率(P/Po)である。
でスケール部13と投受光部15aとの距離Lを変化さ
せたときのスケール部13で反射した光量の変化を示し
たものである。ここで横軸は距離Lであり、縦軸は受光
した光量の出力値Pと照射した光量の出力値Poとの比
率(P/Po)である。
【0028】図4は、投受光部15aの直径2d(図4
乃至図7ではfdの記号で示されている。)が0.1m
m、開口数NAが0.2、光学的スリットのピッチpの
値SPが0.06mmの場合の結果である。図4に示し
た線図21は光学的スリット14が図3(a)の位置に
ある状態で距離Lを変化させた場合のP/Poの関係
で、線図22は図3(b)、線図23は図3(c)の位
置にそれぞれ光学的スリット14がある状態での関係で
ある。線図21と線図23の出力値に大きな差が生じて
いる距離Lの位置に投受光部15aを配置すれば、光学
的スリット14の回転移動に同期して正弦波状の出力信
号が得られ、エンコーダ装置が構成される。
乃至図7ではfdの記号で示されている。)が0.1m
m、開口数NAが0.2、光学的スリットのピッチpの
値SPが0.06mmの場合の結果である。図4に示し
た線図21は光学的スリット14が図3(a)の位置に
ある状態で距離Lを変化させた場合のP/Poの関係
で、線図22は図3(b)、線図23は図3(c)の位
置にそれぞれ光学的スリット14がある状態での関係で
ある。線図21と線図23の出力値に大きな差が生じて
いる距離Lの位置に投受光部15aを配置すれば、光学
的スリット14の回転移動に同期して正弦波状の出力信
号が得られ、エンコーダ装置が構成される。
【0029】これに対し、線図21と線図23の出力値
が一致している距離L1あるいはL2の位置に投受光部
15aを配置すると、光学的スリット14が回転移動し
ても出力値が変化しないので光学的スリット14の回転
移動に同期した正弦波状の出力信号が得られず、光学的
スリット14の反射部14aと非反射部14bを検出す
ることができず、スケール部13の移動量を測定するこ
とができない。
が一致している距離L1あるいはL2の位置に投受光部
15aを配置すると、光学的スリット14が回転移動し
ても出力値が変化しないので光学的スリット14の回転
移動に同期した正弦波状の出力信号が得られず、光学的
スリット14の反射部14aと非反射部14bを検出す
ることができず、スケール部13の移動量を測定するこ
とができない。
【0030】図5は、投受光部15aの直径2dが0.
1mm、開口数NAが0.3、光学的スリット14のピ
ッチpの値SPが0.06mmの場合の結果である。線
図31は光学的スリット14が図3(a)の位置にある
状態で距離Lを変化させた場合のP/Poの関係で、線
図32は図3(b)、線図33は図3(c)の位置にそ
れぞれ光学的スリット14がある状態での関係である。
1mm、開口数NAが0.3、光学的スリット14のピ
ッチpの値SPが0.06mmの場合の結果である。線
図31は光学的スリット14が図3(a)の位置にある
状態で距離Lを変化させた場合のP/Poの関係で、線
図32は図3(b)、線図33は図3(c)の位置にそ
れぞれ光学的スリット14がある状態での関係である。
【0031】図6は、投受光部15aの直径2dが0.
1mm、開口数NAが0.2、光学的スリットのピッチ
pの値SPが0.05mmの場合である。線図41はス
リット14が図3(a)の位置にある状態で距離Lを変
化させた場合のP/Poの関係で、線図42は図3
(b)線図43は図3(c)の位置にそれぞれ光学的ス
リット14がある状態での関係である。
1mm、開口数NAが0.2、光学的スリットのピッチ
pの値SPが0.05mmの場合である。線図41はス
リット14が図3(a)の位置にある状態で距離Lを変
化させた場合のP/Poの関係で、線図42は図3
(b)線図43は図3(c)の位置にそれぞれ光学的ス
リット14がある状態での関係である。
【0032】図7に、投受光部15aの直径2dが0.
1mm、開口数NAが0.3、光学的スリットのピッチ
pの値SPが0.05mmの結果である。線図51は光
学的スリット14が図3(a)の位置にある状態での距
離Lを変化させた場合のP/Poの関係で、線図52は
図3(b)、線図53は図3(c)の位置にそれぞれ光
学的スリット14がある状態での関係である。
1mm、開口数NAが0.3、光学的スリットのピッチ
pの値SPが0.05mmの結果である。線図51は光
学的スリット14が図3(a)の位置にある状態での距
離Lを変化させた場合のP/Poの関係で、線図52は
図3(b)、線図53は図3(c)の位置にそれぞれ光
学的スリット14がある状態での関係である。
【0033】図4乃至図7に示した各条件では、全て同
じ傾向の結果が得られている。すなわち、光学的スリッ
ト14の反射部14aと非反射部14bを検出すること
ができず、スケール部13の移動量を測定できないよう
な距離L1,L2が存在している。これは、光学的スリ
ット14と投受光部15aとの距離により光学的スリッ
ト14の検出ができずエンコーダとして機能しない個所
が存在するということを意味している。そのため、光学
的スリット14に対向した位置に投受光部15aを配置
する工程において、光学的スリット14と投受光部15
aとの距離Lを光ファイバのコア径・開口数とスケール
部13のスリット幅により決定し、その位置に位置決め
を行うことにより、信頼性の高いエンコーダが製作でき
る。
じ傾向の結果が得られている。すなわち、光学的スリッ
ト14の反射部14aと非反射部14bを検出すること
ができず、スケール部13の移動量を測定できないよう
な距離L1,L2が存在している。これは、光学的スリ
ット14と投受光部15aとの距離により光学的スリッ
ト14の検出ができずエンコーダとして機能しない個所
が存在するということを意味している。そのため、光学
的スリット14に対向した位置に投受光部15aを配置
する工程において、光学的スリット14と投受光部15
aとの距離Lを光ファイバのコア径・開口数とスケール
部13のスリット幅により決定し、その位置に位置決め
を行うことにより、信頼性の高いエンコーダが製作でき
る。
【0034】また、スケール部13と投受光部15aと
の距離をL、投受光部15aのコア径を2d,投受光部
15の開口数をNAとした場合、 L>d/tan(sin-1NA) のような関係となるようにスケール13と投受光部15
aとが配置されているエンコーダについて説明する。投
受光部15aを上式を満足する位置に配置させると、光
学的スリット14に対してほぼ垂直に照射された光のみ
が投受光部15aで受光される。すなわち、投受光部1
5aから照射された光の平行光線のみで光学的スリット
14の検出が行われる。平行光線は、距離Lが変化して
もその受光量が一定であると考えられるため、、d/t
an(sin-1NA)という関係は、図4乃至図7にお
いてL2よりも大きい距離が設定された場合に対応して
いる。
の距離をL、投受光部15aのコア径を2d,投受光部
15の開口数をNAとした場合、 L>d/tan(sin-1NA) のような関係となるようにスケール13と投受光部15
aとが配置されているエンコーダについて説明する。投
受光部15aを上式を満足する位置に配置させると、光
学的スリット14に対してほぼ垂直に照射された光のみ
が投受光部15aで受光される。すなわち、投受光部1
5aから照射された光の平行光線のみで光学的スリット
14の検出が行われる。平行光線は、距離Lが変化して
もその受光量が一定であると考えられるため、、d/t
an(sin-1NA)という関係は、図4乃至図7にお
いてL2よりも大きい距離が設定された場合に対応して
いる。
【0035】光ファイバは、それ自身が曲げられるとN
Aが大きくなる特性を持っている。NAが大きくなると
d/tan(sin-1NA)に相当する量は小さくなる
ので、直線状の光ファイバの開口数NAに対して、L>
d/tan(sin-1NA)を満たすように距離Lを設
定すれば、光ファイバを曲げて使用する場合でも距離L
が距離L2より小さくなることはない。よって、光ファ
イバの曲げによる影響を受けにくい信頼性の高いエンコ
ーダが提供できる。
Aが大きくなる特性を持っている。NAが大きくなると
d/tan(sin-1NA)に相当する量は小さくなる
ので、直線状の光ファイバの開口数NAに対して、L>
d/tan(sin-1NA)を満たすように距離Lを設
定すれば、光ファイバを曲げて使用する場合でも距離L
が距離L2より小さくなることはない。よって、光ファ
イバの曲げによる影響を受けにくい信頼性の高いエンコ
ーダが提供できる。
【0036】次に図8を参照して、本発明による超音波
プローブの実施例を説明する。
プローブの実施例を説明する。
【0037】人体内部の体腔内60に超音波プローブが
挿入されている。先端部分61を構成する可撓性を有す
るチューブ62の先端にはキャップ63が固着されてい
る。キャップ63は超音波を透過する性質を有する材料
から形成されている。このキャップ63の内部には超音
波振動子67を収納する収納室64が配置されている。
収納室64には超音波の伝播媒体が(例えばひまし油)
充填されている。また、収納室64には超音波走査部材
66が設置されている。
挿入されている。先端部分61を構成する可撓性を有す
るチューブ62の先端にはキャップ63が固着されてい
る。キャップ63は超音波を透過する性質を有する材料
から形成されている。このキャップ63の内部には超音
波振動子67を収納する収納室64が配置されている。
収納室64には超音波の伝播媒体が(例えばひまし油)
充填されている。また、収納室64には超音波走査部材
66が設置されている。
【0038】超音波走査部材66の側面には超音波振動
子67が固着されている。超音波振動子67は、数十M
Hzの高周波の超音波を発生可能な発振部と体腔内で反
射した反射波を受信可能な受信部とから構成されてい
る。超音波振動子67には電気ケーブル68が接続され
ており、電気ケーブル68によって超音波振動子67を
駆動する駆動信号を反射波による受信信号とが伝送され
るようになっている。チューブ62の内壁62aに装着
された筒状ライナ管65には軸受69が接続されてい
る。軸受69にはチューブ62の軸芯に位置する回転軸
70が回転自在に支持されている。
子67が固着されている。超音波振動子67は、数十M
Hzの高周波の超音波を発生可能な発振部と体腔内で反
射した反射波を受信可能な受信部とから構成されてい
る。超音波振動子67には電気ケーブル68が接続され
ており、電気ケーブル68によって超音波振動子67を
駆動する駆動信号を反射波による受信信号とが伝送され
るようになっている。チューブ62の内壁62aに装着
された筒状ライナ管65には軸受69が接続されてい
る。軸受69にはチューブ62の軸芯に位置する回転軸
70が回転自在に支持されている。
【0039】回転軸70の一端は超音波走査部材66に
固着されている。回転軸70の他端は光ファイバ走査部
材76の一端に接続されている。光ファイバ走査部材7
6の他端は可撓性を有する材料からなる可撓軸77の内
側端部に装着されている。可撓軸77の他端は超音波プ
ローブの口元まで延設され、図示しないモータ回転軸に
接続されている。
固着されている。回転軸70の他端は光ファイバ走査部
材76の一端に接続されている。光ファイバ走査部材7
6の他端は可撓性を有する材料からなる可撓軸77の内
側端部に装着されている。可撓軸77の他端は超音波プ
ローブの口元まで延設され、図示しないモータ回転軸に
接続されている。
【0040】光ファイバ走査部材76は円筒状でその側
面の一部に図示しない切り欠きが設けられ、この切り欠
きに収まる状態で光ファイバ78が固着されている。エ
ンコーダ装置を構成する円板72はチューブ62と同軸
となるように配置され、円板72は光ファイバ走査部材
76の端面に対向する軸受け69の端部に、ソケット7
4に挟まれた状態で固着されている。したがって、円板
72は回転軸70には接続せず回転しない状態になって
いる。円板72は図1に示すスケール13とほぼ同一の
形状であり、反射部73aと非反射部73bとが交互に
繰り返して形成される光学的スリット75を有する。
面の一部に図示しない切り欠きが設けられ、この切り欠
きに収まる状態で光ファイバ78が固着されている。エ
ンコーダ装置を構成する円板72はチューブ62と同軸
となるように配置され、円板72は光ファイバ走査部材
76の端面に対向する軸受け69の端部に、ソケット7
4に挟まれた状態で固着されている。したがって、円板
72は回転軸70には接続せず回転しない状態になって
いる。円板72は図1に示すスケール13とほぼ同一の
形状であり、反射部73aと非反射部73bとが交互に
繰り返して形成される光学的スリット75を有する。
【0041】チューブ62の軸芯の近傍にはこの軸心に
沿って光ファイバ78が配設されている。光ファイバ7
8の一端は超音波プローブの口元で光結合器81に接続
されている。光ファイバ78は、可撓軸77および回転
軸70の内部を通り、さらに回転軸70の外周部の一部
に設けられた孔を通って光ファイバ走査部材78の端部
に至っている。すなわち光ファイバ87はチューブ22
の軸芯に近傍を通り先端付近が半径方向へ導かれ、端面
が光学的スリット75に平行に対向するようになってい
る。光結合器81は光ファイバ82を介して信号制御装
置80に接続されている。
沿って光ファイバ78が配設されている。光ファイバ7
8の一端は超音波プローブの口元で光結合器81に接続
されている。光ファイバ78は、可撓軸77および回転
軸70の内部を通り、さらに回転軸70の外周部の一部
に設けられた孔を通って光ファイバ走査部材78の端部
に至っている。すなわち光ファイバ87はチューブ22
の軸芯に近傍を通り先端付近が半径方向へ導かれ、端面
が光学的スリット75に平行に対向するようになってい
る。光結合器81は光ファイバ82を介して信号制御装
置80に接続されている。
【0042】光ファイバ78はその端面を光学的スリッ
ト75に平行に対向するように、距離79をもって配置
されている。超音波プローブの寸法は、チューブ62の
外径は2〜3mm、全長が約2mである。
ト75に平行に対向するように、距離79をもって配置
されている。超音波プローブの寸法は、チューブ62の
外径は2〜3mm、全長が約2mである。
【0043】本実施例の構成によれば、光学的スリット
75に対向した位置に光ファイバ78の端面を配置する
工程において、光学的スリット75と光ファイバ78と
の距離79は光ファイバのコア径・開口数と光学的スリ
ット75に形成したスケール部の反射部と非反射部との
ピッチにより、適する位置に決定されるので、その位置
に正確に配置できるように位置決めを行うことにより、
信頼性の高く正確な回転情報を得ることができる。
75に対向した位置に光ファイバ78の端面を配置する
工程において、光学的スリット75と光ファイバ78と
の距離79は光ファイバのコア径・開口数と光学的スリ
ット75に形成したスケール部の反射部と非反射部との
ピッチにより、適する位置に決定されるので、その位置
に正確に配置できるように位置決めを行うことにより、
信頼性の高く正確な回転情報を得ることができる。
【0044】別の実施例として、光学的スリット75に
対向した位置に、光ファイバ78との距離29をL、光
ファイバ78のコア径を2d,光ファイバ78の開口数
をNAとした場合、 L>d/tan(sin-1NA) のような関係となるように光ファイバ78が配置されて
いる超音波プローブについて説明する。
対向した位置に、光ファイバ78との距離29をL、光
ファイバ78のコア径を2d,光ファイバ78の開口数
をNAとした場合、 L>d/tan(sin-1NA) のような関係となるように光ファイバ78が配置されて
いる超音波プローブについて説明する。
【0045】光ファイバ78を光学的スリット75に対
向させ上記のような位置に配置すると、光学的スリット
75に対してほぼ垂直に照射された光のみが光ファイバ
78で受光される。すなわち、光ファイバ78から照射
された光の平行光線のみで光学的スリット75の検出が
行われる。一般的に光ファイバは曲げられるとNAが大
きくなる特性を持っている。上記の式よりNAが大きく
なると距離Lは短くなる傾向にあるので、光ファイバを
曲げて使用する場合でも、あらかじめ直線状態でのNA
で設定しておけば、光ファイバが曲がった場合にも十分
に対応できる。超音波プローブは体腔内部や配管内部に
挿入されて使用されるものであり、超音波プローブの内
部に配設されている光ファイバは常に湾曲状態で使用さ
れている。したがって、本発明のエンコーダ装置は超音
波プローブに好適であり、常に正確な回転情報を得るこ
とができる信頼性の高く超音波プローブが提供できる。
向させ上記のような位置に配置すると、光学的スリット
75に対してほぼ垂直に照射された光のみが光ファイバ
78で受光される。すなわち、光ファイバ78から照射
された光の平行光線のみで光学的スリット75の検出が
行われる。一般的に光ファイバは曲げられるとNAが大
きくなる特性を持っている。上記の式よりNAが大きく
なると距離Lは短くなる傾向にあるので、光ファイバを
曲げて使用する場合でも、あらかじめ直線状態でのNA
で設定しておけば、光ファイバが曲がった場合にも十分
に対応できる。超音波プローブは体腔内部や配管内部に
挿入されて使用されるものであり、超音波プローブの内
部に配設されている光ファイバは常に湾曲状態で使用さ
れている。したがって、本発明のエンコーダ装置は超音
波プローブに好適であり、常に正確な回転情報を得るこ
とができる信頼性の高く超音波プローブが提供できる。
【0046】本実施例においては、外径は2〜3mm、
全長が約2mのような長尺で細径な超音波プローブに適
用させることが容易であり、常に正確な回転情報を得る
ことができ、超音波プローブの信頼性を向上させること
ができる。
全長が約2mのような長尺で細径な超音波プローブに適
用させることが容易であり、常に正確な回転情報を得る
ことができ、超音波プローブの信頼性を向上させること
ができる。
【0047】なお、上述のエンコーダ装置の実施例にお
いては、照射面を受光面とする場合について示したが、
本発明はこれに限らず、受光面はスケール部に対して照
射面と対称な位置にあってもよい。
いては、照射面を受光面とする場合について示したが、
本発明はこれに限らず、受光面はスケール部に対して照
射面と対称な位置にあってもよい。
【0048】また、上述した実施例においては、光ファ
イバを回転駆動する構造となっているが、反射部が形成
された円板の方を回転駆動する構造であってもよい。光
ファイバと円板とが相対的に回転することにより同様の
動作が実現する。
イバを回転駆動する構造となっているが、反射部が形成
された円板の方を回転駆動する構造であってもよい。光
ファイバと円板とが相対的に回転することにより同様の
動作が実現する。
【0049】また、上述した実施例においては、超音波
振動子を回転駆動する構造となっているが、例えば超音
波振動子からの超音波照射方向をプローブ軸方向に固定
し、この照射された超音波を45°の角度に設定された
反射ミラーにより体腔管内に照射してもよい。この場
合、反射ミラーを回転駆動する構造とすれば同様の動作
が実現する。
振動子を回転駆動する構造となっているが、例えば超音
波振動子からの超音波照射方向をプローブ軸方向に固定
し、この照射された超音波を45°の角度に設定された
反射ミラーにより体腔管内に照射してもよい。この場
合、反射ミラーを回転駆動する構造とすれば同様の動作
が実現する。
【0050】また、上述した実施例においては、第1の
反射部に対して光反射量の小さな第2の反射部を設けた
が、この第2の反射部は円板にスリット状の孔を形成す
ることにより代用することもできる。この場合、照射さ
れた光ビームは透過することになる。もちろん、第2の
反射部を光の吸収率の高い状態に形成または処理しても
よい。
反射部に対して光反射量の小さな第2の反射部を設けた
が、この第2の反射部は円板にスリット状の孔を形成す
ることにより代用することもできる。この場合、照射さ
れた光ビームは透過することになる。もちろん、第2の
反射部を光の吸収率の高い状態に形成または処理しても
よい。
【0051】また、上述した実施例においては体腔内に
挿入された超音波診断装置の例を挙げたが、配管内など
工業用に供される一般的な超音波検査装置として利用す
ることが可能である。
挿入された超音波診断装置の例を挙げたが、配管内など
工業用に供される一般的な超音波検査装置として利用す
ることが可能である。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の構成によ
れば、照射面からスケール部までの距離Lの値を距離L
1または距離L2を避けて設定するので、移動位置Sの
変化が受光量の変化量として鋭敏に反映されるようにで
き、信頼性の高いエンコーダ装置を構成することがで
き、また、このエンコーダ装置を用いて超音波プローブ
を構成することにより正確な回転情報を得ることがで
き、超音波プローブの信頼性を向上させることができ
る。
れば、照射面からスケール部までの距離Lの値を距離L
1または距離L2を避けて設定するので、移動位置Sの
変化が受光量の変化量として鋭敏に反映されるようにで
き、信頼性の高いエンコーダ装置を構成することがで
き、また、このエンコーダ装置を用いて超音波プローブ
を構成することにより正確な回転情報を得ることがで
き、超音波プローブの信頼性を向上させることができ
る。
【図1】本発明によるエンコーダ装置の一実施例の概略
構成を示す斜視図。
構成を示す斜視図。
【図2】本発明によるエンコーダ装置の投受光部と光学
的スリットの位置関係を示す断面図および拡大平面図。
的スリットの位置関係を示す断面図および拡大平面図。
【図3】本発明によるエンコーダ装置の移動するスケー
ル部の移動量を検出する原理を説明するために、反射部
および非反射部に対する照射面の種々の移動位置Sを示
す図。
ル部の移動量を検出する原理を説明するために、反射部
および非反射部に対する照射面の種々の移動位置Sを示
す図。
【図4】開口数NA等の所定の条件を設定したときの、
距離Lとエンコーダ装置における受光量との関係を示す
図。
距離Lとエンコーダ装置における受光量との関係を示す
図。
【図5】開口数NA等の所定の条件を他の値に設定した
ときの、距離Lとエンコーダ装置における受光量との関
係を示す図。
ときの、距離Lとエンコーダ装置における受光量との関
係を示す図。
【図6】開口数NA等の所定の条件を設定したときの、
距離Lとエンコーダ装置における受光量との関係を示す
図。
距離Lとエンコーダ装置における受光量との関係を示す
図。
【図7】開口数NA等の所定の条件を他の値に設定した
ときの、距離Lとエンコーダ装置における受光量との関
係を示す図。
ときの、距離Lとエンコーダ装置における受光量との関
係を示す図。
【図8】本発明による超音波プローブの実施例を示す概
略構成図。
略構成図。
【図9】従来例のエンコーダ装置を示す斜視図。
【図10】従来例のエンコーダの検出原理を示す構成
図。
図。
【図11】従来例のエンコーダの検出原理を示す構成
図。
図。
11 エンコーダ 12 回転軸 13 スケール部 14 光学的スリット 14a 反射部 14b 非反射部 15 光センサ 15a 光ファイバ 16 信号制御装置 61 超音波プローブの先端部分 62 チューブ 63 キャップ 64 収納室 65 ライナ管 66 超音波走査部材 67 超音波振動子 68 信号ケーブル 69 軸受 70 回転軸 72 スケール 75 ソケット 76 光ファイバ走査部材 77 可撓軸 78 光ファイバ 79 距離 80 信号制御装置 81 光結合器 82 光ファイバ
Claims (6)
- 【請求項1】反射部と非反射部とが交互に配列されて形
成されたスケール部に、前記スケール部に対向して配置
した光照射手段の所定面積を有する照射面から光を照射
し、前記スケール部で反射した光信号を、前記照射面あ
るいは前記スケール部に対して前記照射面と対称の位置
に配置した受光面によって検出し、前記スケール部の移
動量を検出するエンコーダ装置において、 前記照射面から前記スケール部までの距離をL、前記反
射部および前記非反射部の配列方向に対する前記照射面
の移動位置をS、移動位置Sの変化に対して前記照射面
あるいは前記受光面によって受光される光信号量が略一
定となる距離をL1,L2(L1<L2)とするとき
に、距離LをL≠L1,L≠L2となるように設定する
ことを特徴とするエンコーダ装置。 - 【請求項2】前記距離LをL1<L<L2に設定するこ
とを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ装置。 - 【請求項3】前記距離LをL<L1に設定することを特
徴とする請求項1に記載のエンコーダ装置。 - 【請求項4】前記距離LをL2<Lに設定することを特
徴とする請求項1に記載のエンコーダ装置。 - 【請求項5】可撓性を有し被検査物内に挿入されるチュ
ーブと、前記チューブの内部に配置され前記チューブの
軸回りに超音波を照射する超音波振動子と、前記チュー
ブの内部に配置され超音波照射に係る回転情報を検出す
る回転情報検出装置とを備える超音波プローブにおい
て、 前記回転情報検出装置は反射部と非反射部とが交互に配
列されて形成されたスケール部と、前記スケール部へ投
光される光ビームおよび前記スケール部から反射する光
信号を案内する光ファイバと、前記光ファイバで案内し
た光信号から超音波照射に係る回転情報を検出する光検
出手段とを有し、 前記光ファイバの端面から前記スケール部までの距離を
L、前記反射部および前記非反射部の配列方向に対する
前記照射面の移動位置をS、移動位置Sの変化に対して
前記光ファイバの端面によって受光される光信号量が略
一定となる距離をL1,L2(L1<L2)とするとき
に、距離LをL≠L1,L≠L2となるように設定する
ことを特徴とする超音波プローブ。 - 【請求項6】前記光ファイバの端面の直径を2d、前記
光ファイバの端面から前記スケール部を見込む開口数を
NAとするとき、距離Lを、 L>d/tan(sin-1NA) を満たすように設定することを特徴とする請求項5に記
載の超音波プローブ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6261377A JPH08101046A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | エンコーダ装置及びそれを用いた超音波プローブ |
| DE69516476T DE69516476T2 (de) | 1994-09-30 | 1995-09-26 | Optische Drehkodiereinrichtung und ein damit versehenes Gerät |
| EP95115133A EP0704680B1 (en) | 1994-09-30 | 1995-09-26 | An optical rotary encoder device and an apparatus using same |
| US08/909,878 US5759155A (en) | 1994-09-30 | 1997-08-12 | Optical rotary encoder device and an apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6261377A JPH08101046A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | エンコーダ装置及びそれを用いた超音波プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08101046A true JPH08101046A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17361007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6261377A Pending JPH08101046A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | エンコーダ装置及びそれを用いた超音波プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08101046A (ja) |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP6261377A patent/JPH08101046A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6645151B2 (en) | Ultrasonic probe | |
| JP2586121B2 (ja) | ロータリーエンコーダの原点検出系 | |
| EP3418057B1 (en) | Optical scanning device | |
| KR100882737B1 (ko) | 3차원 거리센서 및 동작방법 | |
| US6019726A (en) | Catheter having probes for correcting for non-uniform rotation of a transducer located within the catheter | |
| JP5264034B2 (ja) | 工具部分とシャンクを備えた工作物切削加工用切削工具、並びに切削工具用受容部を備えた工作物加工用装置 | |
| JP3689873B2 (ja) | 方向検出装置 | |
| US5510781A (en) | Ultrasonic rotary shaft position encoder | |
| JPH08101046A (ja) | エンコーダ装置及びそれを用いた超音波プローブ | |
| US6318187B1 (en) | Apparatus for torque measurement on rotating torque shafts | |
| US5943785A (en) | Curve length measuring apparatus having caster | |
| JPH06217978A (ja) | 超音波プローブ | |
| US5759155A (en) | Optical rotary encoder device and an apparatus using the same | |
| JPS58118905A (ja) | 線分又は弧の長さを測定する方法及び装置 | |
| JPS636409A (ja) | 幾何学的量の非接触測定装置 | |
| JP2011122999A (ja) | 光導波路装置および校正システム | |
| JP6610090B2 (ja) | 非接触内面形状測定装置 | |
| JPH0898838A (ja) | エンコーダ装置、超音波プローブおよび超音波検査装置 | |
| JP3028967B2 (ja) | プローブ | |
| JP2865337B2 (ja) | 光学測定装置 | |
| CN104345317A (zh) | 用于测定信号源位置的装置 | |
| SU1748072A1 (ru) | Устройство дл градуировки лазерных доплеровских измерителей скорости | |
| JP2868382B2 (ja) | 外径測定装置 | |
| JPS59126976A (ja) | ドツプラ−速度計の校正装置 | |
| JP2003275206A (ja) | 位置検出機能を有する超音波検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020118 |