JPH08102476A - 板状の被検査体の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は検査機構によって検査前の被検査体を
実際に検査している時間に比べて検査機構の待機時間の
比率を低減することができ、単位時間当りの被検査体の
検査処理枚数を多くすることを目的とする。 【解決手段】ＬＣＤ基板の点灯検査システムに組込まれ
たプローブ装置１は、収納部２と、処理部３と、収納部
２と処理部３との間に介設された搬送部４とを有する。
処理部３の検査領域２１には、プローブカード４３を有
する検査機構２０が配設される。検査領域２１を挟むよ
うに左右アライメント領域２２ａ、２２ｂが配置され、
それぞれにＬＣＤ基板ＳＴを載せる載置台３１ａ、３１
ｂが配設される。コントローラ５１により載置台３１
ａ、３１ｂの移動が制御され、載置台３１ａ、３１ｂ上
のＬＣＤ基板ＳＴの検査が、検査領域２１で交互に行わ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は例えばＬＣＤ（液晶
ディスプレイ）基板や、半導体ウエハ等の板状の被検査
体の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、例えばＴＦＴ−ＬＣＤ基板の製
造工程中には製造中のＬＣＤ基板の電気的な機能検査
や、組み込まれた電気回路のショート・オープン検査等
が適宜の検査時機に行われるとともに、液晶が封入され
た略完成状態の製品のパターン表示の点灯検査等も行わ
れる。ここで、ＬＣＤ基板等の板状の被検査体の検査装
置としては例えば特開平２−２５７６４号公報に示され
ているものが従来から知られている。

【０００３】この検査装置には検査前のＬＣＤ基板（被
検査体）が複数収納されるカセット（収容部）と、この
カセットから１枚の検査前のＬＣＤ基板を取出し、受渡
し部で載置台上に載置する搬送機構と、受渡し部で載置
台上のＬＣＤ基板をアライメント（位置合わせ）して検
査領域まで移動させる移動機構とが設けられている。

【０００４】そして、検査装置の動作時には搬送機構に
よってカセットから１枚の検査前のＬＣＤ基板が取出さ
れる。ここで、取出されたＬＣＤ基板は移動機構を介し
て検査領域まで供給され、この検査領域で所定の検査が
行われるようになっている。さらに、検査領域での検査
が終了した検査後のＬＣＤ基板は検査領域から移動機構
および搬送機構によって供給時とは逆の経路で所定のカ
セットに戻されるようになっている。

【０００５】続いて、この検査後のＬＣＤ基板がカセッ
トに戻された後、搬送機構によってカセットから他の新
たな検査前のＬＣＤ基板が１枚取出され、同様に移動機
構を介して検査領域まで供給されるようになっており、
以後は上記一連のＬＣＤ基板の搬送動作が同様に繰り返
され、検査前のＬＣＤ基板が１枚ずつ検査領域に供給さ
れてこの検査領域で所定の検査が行われるようになって
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来構
成のものにあっては検査装置の動作時には検査後のＬＣ
Ｄ基板がカセットに戻された後、他の新たな検査前のＬ
ＣＤ基板がカセットから１枚取出され、検査領域まで供
給される一連のＬＣＤ基板の搬送動作が繰り返されるこ
とにより、カセット内の複数の検査前のＬＣＤ基板が１
枚ずつ順に検査されるようになっている。そのため、検
査領域では１枚のＬＣＤ基板の検査終了後、次のＬＣＤ
基板が検査領域まで供給されるまでの間は検査機構は待
機状態となる。

【０００７】また、この種の検査装置では検査領域に供
給される検査対象の新たなＬＣＤ基板を検査領域内で正
確に位置決めする必要があるので、そのアライメント作
業には時間が掛かる問題がある。そのため、検査機構に
よって検査前のＬＣＤ基板を実際に検査している時間に
比べて待機時間の比率が増加するので、検査で使用され
るテスタの稼働時間が短くなる問題がある。なお、検査
機構では一般に高価なテスタが使用されることが多いの
で、このテスタの実際の稼働時間をできるだけ長くした
いのが実情である。

【０００８】本発明は上記事情に着目してなされたもの
で、その目的は、検査機構によって検査前の被検査体を
実際に検査している時間に比べて検査機構の待機時間の
比率を低減することができ、単位時間当りの被検査体の
検査処理枚数を多くすることができる板状の被検査体の
検査装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の視点に係
る板状の被検査体の検査装置は、検査領域に配設され
た、板状の被検査体を検査するための検査機構と、前記
検査領域を挟んで配置された、前記被検査体の第１およ
び第２アライメント領域と、前記被検査体が着脱可能に
載置される第１および第２載置台と、前記第１および第
２載置台を水平面内で移動させるための載置台移動手段
と、前記移動手段により、前記第１載置台が前記第１ア
ライメント領域と前記検査領域との間を移動可能である
とともに、前記第２載置台は前記第２アライメント領域
と前記検査領域との間を移動可能であることと、前記移
動手段を操作するための制御手段と、前記制御手段は、
前記検査機構による前記第１および第２載置台上の前記
被検査体の検査が、前記検査領域で交互に行われるよう
に、前記移動手段を操作することと、を具備することを
特徴とする。

【００１０】本発明の第２の視点に係る板状の被検査体
の検査装置は、第１および第２検査領域間を移動可能
な、板状の被検査体を検査するための検査機構と、前記
検査機構を前記第１および第２検査領域間で移動させる
ための検査機構移動手段と、前記第１および第２検査領
域を挟んで配置された、前記被検査体の第１および第２
アライメント領域と、前記被検査体が着脱可能に載置さ
れる第１および第２載置台と、前記第１および第２載置
台上の前記被検査体はそれぞれ前記第１および第２検査
領域において検査されることと、前記第１および第２載
置台を水平面内で移動させるための載置台移動手段と、
前記載置台移動手段により、前記第１載置台が前記第１
アライメント領域と前記第１検査領域との間を移動可能
であるとともに、前記第２載置台が前記第２アライメン
ト領域と前記第２検査領域との間を移動可能であること
と、前記両移動手段を操作するための制御手段と、前記
制御手段は、前記検査機構による前記第１および第２載
置台上の前記被検査体の検査が、それぞれ前記第１およ
び第２検査領域で交互に行われるように、前記両移動手
段を操作することと、を具備することを特徴とする。

【００１１】本発明の第３の視点に係る板状の被検査体
の検査装置は、第１および第２検査領域間を移動可能
な、板状の被検査体を検査するための検査機構と、前記
第１および第２検査領域はそれぞれ前記被検査体の第１
および第２アライメント領域として機能することと、前
記検査機構を前記第１および第２検査領域間で移動させ
るための移動手段と、前記被検査体が着脱可能に載置さ
れる第１および第２載置台と、前記第１および第２載置
台上の前記被検査体はそれぞれ前記第１および第２検査
領域において検査されることと、前記移動手段を操作す
るための制御手段と、前記制御手段は、前記検査機構に
よる前記第１および第２載置台上の前記被検査体の検査
が、それぞれ前記第１および第２検査領域で交互に行わ
れるように、前記移動手段を操作することと、を具備す
ることを特徴とする。

【００１２】本発明の第４の視点に係る板状の被検査体
の検査装置は、請求項１または２に記載の装置におい
て、前記第１および第２載置台が互いに独立に移動可能
であることを特徴とする。

【００１３】本発明の第５の視点に係る板状の被検査体
の検査装置は、請求項１、２および４のいずれかに記載
の装置において、前記制御手段が、前記第１および第２
アライメント領域でそれぞれ、前記第１および第２載置
台を動かし、前記被検査体を前記検査機構に対する所定
の状態にアライメントさせるように、前記載置台移動手
段を操作することを特徴とする。

【００１４】本発明の第６の視点に係る板状の被検査体
の検査装置は、請求項１乃至５のいずれかに記載の装置
において、前記制御手段が、前記第１および第２載置台
の一方の上の前記被検査体を検査する間に、前記第１お
よび第２載置台の他方から対応のアライメント領域で検
査後の被検査体を取出し、新たに供給される検査前の被
検査体を前記他方の載置台にセットする作業を制御する
ことを特徴とする。

【００１５】本発明の第７の視点に係る板状の被検査体
の検査装置は、請求項１乃至７のいずれかに記載の装置
において、前記被検査体を複数収容する被検査体収容部
と、前記被検査体収容部と前記第１および第２アライメ
ント領域との間に配設され、前記被検査体収容部と前記
第１および第２アライメント領域との間で前記被検査体
を搬送する被検査体搬送手段と、を具備することを特徴
とする。

【００１６】本発明の第１の視点に係る装置では、検査
領域に一方の載置台を移動させて被検査体を検査する検
査作業中に、他方のアライメント領域で待機されている
載置台に次回の検査用の検査前の被検査体をセットする
ことにより、検査作業の終了後、検査領域の載置台を検
査後の被検査体とともに一方のアライメント領域に移動
させる際に、予め次回の検査用の検査前の被検査体がセ
ットされた他方の載置台を検査領域に移動させる。

【００１７】本発明の第２の視点に係る装置では、一方
の検査領域に一方の載置台と検査機構とを移動させて被
検査体を検査する検査作業中に、他方のアライメント領
域で待機されている載置台に次回の検査用の検査前の被
検査体をセットすることにより、検査作業の終了後、一
方の検査領域の載置台を検査後の被検査体とともに一方
のアライメント領域に移動させる際に、予め次回の検査
用の検査前の被検査体がセットされた他方の載置台と検
査機構とを他方の検査領域に移動させる。

【００１８】本発明の第３の視点に係る装置では、一方
の検査領域兼アライメント領域に検査機構を移動させて
被検査体を検査する検査作業中に、他方の検査領域兼ア
ライメント領域の載置台に次回の検査用の検査前の被検
査体をセットすることにより、検査作業の終了後、検査
機構を他方の検査領域兼アライメント領域に移動させて
被検査体を検査する。

【００１９】本発明の第４の視点に係る装置では、各載
置台を互いに独立に移動させることにより、各載置台毎
に高精度に被検査体をアライメントできるようにした。
本発明の第５の視点に係る装置では、各アライメント領
域おける被検査体のアライメント作業を、載置台移動手
段を利用して被検査体の検査領域への移動と連携して行
うようにした。

【００２０】本発明の第６の視点に係る装置では、一方
の載置台上の被検査体を検査する検査作業中に、他方の
載置台から検査後の被検査体を取出し、新たに供給され
る検査前の被検査体を他方の載置台にセットする作業
を、被検査体の検査領域への移動と連携して行うように
した。

【００２１】本発明の第７の視点に係る装置では、被検
査体収容部と各アライメント領域との間に配設された被
検査体搬送手段によって被検査体収容部と各アライメン
ト領域との間で被検査体を搬送するようにした。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の一の実施の形態に
係るＬＣＤ基板の点灯検査システムに組込まれたプロー
ブ装置１全体の概略構成を示す。プローブ装置１にはＬ
ＣＤ基板収納部（被検査体収容部）２と、ＬＣＤ基板処
理部３と、ＬＣＤ基板収納部２とＬＣＤ基板処理部３と
の間に介設された搬送部（被検査体搬送手段）４とが配
設されている。

【００２３】また、ＬＣＤ基板収納部２には図２に示す
ようにカセット載置台１１が設けられている。カセット
載置台１１には複数、本実施の形態では４つのＬＣＤ基
板収納カセット１２が例えば図１中の矢印Ｘ方向に沿っ
て１列に並べた状態で載置されている。各カセット１２
には縦方向に多数段のＬＣＤ基板収納棚１３が設けられ
ている。そして、各カセット１２のＬＣＤ基板収納棚１
３にはそれぞれＬＣＤ基板（被検査体）ＳＴが略水平方
向に向けた状態で引出し可能に収納されている。

【００２４】また、ＬＣＤ基板処理部３にはＸ方向に沿
った中央位置にＬＣＤ基板ＳＴを検査するための検査機
構２０が配設された検査領域２１が配置されている。検
査領域２１の両側にはＬＣＤ基板ＳＴのアライメント領
域２２ａ、２２ｂがそれぞれ配置されている。

【００２５】さらに、図１中で検査領域２１の左側のア
ライメント領域２２ａには検査領域２１側に移動可能な
左ステージ２３ａ、検査領域２１の右側のアライメント
領域２２ｂにも同様に検査領域２１側に移動可能な右ス
テージ２３ｂがそれぞれ設けられている。

【００２６】ここで、ＬＣＤ基板処理部３の基台２４上
にはＸ方向に向けて延設された一対のガイドレール２５
が設けられている。これらのガイドレール２５の左端部
は左アライメント領域２２ａの位置まで延出され、右端
部は右アライメント領域２２ｂの位置まで延出されてい
る。そして、左ステージ２３ａおよび右ステージ２３ｂ
はこれらのガイドレール２５にガイドされて左右のアラ
イメント領域２２ａ、２２ｂと検査領域２１との間で移
動可能に支持されている。

【００２７】また、左アライメント領域２２ａには左ス
テージ２３ａを駆動する左ボールねじ機構２６ａと、例
えばＣＣＤカメラ２７ａ等のアライメント用光学系とが
設けられている。ここで、左ボールねじ機構２６ａには
検査領域２１と左アライメント領域２２ａとの間にＸ方
向に向けて架設されたボールねじ２８ａと、ボールねじ
２８ａを駆動する駆動モータ２９ａとが設けられてい
る。そして、左ボールねじ機構２６ａの駆動にともない
左ステージ２３ａが左アライメント領域２２ａ内の待機
位置と、検査領域２１内の基板検査位置との間でガイド
レール２５にガイドされながら移動操作されるようにな
っている。

【００２８】同様に、右アライメント領域２２ｂには右
ステージ２３ｂを駆動する右ボールねじ機構２６ｂと、
例えばＣＣＤカメラ２７ｂ等のアライメント用光学系と
が設けられている。ここで、右ボールねじ機構２６ｂに
は検査領域２１と右アライメント領域２２ｂとの間にＸ
方向に向けて架設されたボールねじ２８ｂと、ボールね
じ２８ｂを駆動する駆動モータ２９ｂとが設けられてい
る。そして、右ボールねじ機構２６ｂの駆動にともない
右ステージ２３ｂが右アライメント領域２２ｂ内の待機
位置と、検査領域２１内の基板検査位置との間でガイド
レール２５にガイドされながら移動操作されるようにな
っている。

【００２９】また、左ステージ２３ａ上には左ブロック
３６ａがＸ方向と直交する図１中の矢印Ｙ方向に沿って
移動可能に設けられている。左ステージ２３ａの上面に
はＹ方向に沿って延設された一対のガイドレール３２ａ
が突設されているとともに、左ブロック３６ａを駆動す
るボールねじ機構３３ａが設けられている。さらに、ボ
ールねじ機構３３ａにはボールねじ３４ａと、ボールね
じ３４ａを駆動する駆動モータ３５ａとが設けられてい
る。

【００３０】また、左ブロック３６ａには図３に示すよ
うにＬＣＤ基板ＳＴを保持するためのチャックを有する
左載置台３１ａが配設されている。ボールねじ機構３３
ａの駆動にともない、左ブロック３６ａは左載置台３１
ａとともに、Ｙ方向に沿って図５（Ａ）に示すように搬
送部４側の終端位置まで移動された基板受渡し位置と、
図５（Ｂ）に示すように左ステージ２３ａの略中央位置
まで移動されたアライメント作業位置との間でガイドレ
ール３２ａにガイドされながら移動操作されるようにな
っている。なお、左載置台３１ａがアライメント作業位
置まで移動された状態では載置台３１ａ上のＬＣＤ基板
ＳＴがアライメント用光学系のＣＣＤカメラ２７ａの真
下に配置されるようになっている。

【００３１】左載置台３１ａは、左ブロック３６ａに内
蔵された昇降部材および回転部材を有する駆動部３７ａ
により、ＸＹ平面と直交するＺ軸方向に沿って上下駆動
されるとともに、Ｚ軸回りのθ方向に回転駆動される。
したがって、左載置台３１ａはＸ、Ｙ、Ｚ、θの４方向
に移動可能になっている。

【００３２】左載置台３１ａの側部（図１中下側）に
は、アライメント用光学系のＣＣＤカメラ３８ａと、カ
メラ２７ａ、３８ａの光軸合わせに使用される退避可能
なターゲット３９ａとが配設される。カメラ２７ａ、３
８ａの光軸合わせと、下側のカメラ３８ａによる後述の
プローブカード４３の電極パッド位置の認識は、ＬＣＤ
基板ＳＴの検査に先立って、例えば装置の設置時に行わ
れる。そして、検査時に、左載置台３１ａがアライメン
ト作業位置まで移動された状態で、上側のＣＣＤカメラ
２７ａによりＬＣＤ基板ＳＴが撮影され、左載置台３１
ａの移動によりＬＣＤ基板ＳＴの光学的なアライメント
作業が行なわれる。

【００３３】さらに、右ステージ２３ｂ上にも左ステー
ジ２３ａ上の左ブロック３６ａおよび左載置台３１ａと
同一構成の、右ブロック３６ｂおよび右載置台３１ｂが
設けられている。すなわち、右ステージ２３ｂ上には、
左ステージ２３ａ側の一対のガイドレール３２ａ、ボー
ルねじ３４ａと駆動モータ３５ａとからなるボールねじ
機構３３ａ、載置台３１ａ、ブロック３６ａおよび駆動
部３７ａと対応する一対のガイドレール３２ｂ、ボール
ねじ３４ｂと駆動モータ３５ｂとからなるボールねじ機
構３３ｂ、載置台３１ｂ、ブロック３６ｂおよび駆動部
３７ｂがそれぞれ設けられている。また、右載置台３１
ｂの側部（図１中下側）には、アライメント用光学系の
ＣＣＤカメラ３８ｂと、カメラ２７ｂ、３８ｂの光軸合
わせに使用される退避可能なターゲット３９ｂとが配設
される。

【００３４】また、検査領域２１内の検査機構２０は図
３に示すようにＬＣＤ基板ＳＴに点灯検査用の電気的信
号を送るための図示しないパフォーマンスボードが収容
されたテストヘッド４１を有している。テストヘッド４
１の下方にはヘッドプレート４２が配設されている。ヘ
ッドプレート４２にはテストヘッド４１と離間対向する
位置に開口部４２ａが形成され、開口部４２ａの周縁に
カードホルダ４４が固定されている。すなわち、検査機
構２０のプローブカード４３はカードホルダ４４を介し
てヘッドプレート４２に固定されている。

【００３５】プローブカード４３にはＬＣＤ基板ＳＴに
設けられた多数の電極パッドに接触させるための多数の
プローブ電極４５が突設されている。プローブ電極４５
はＬＣＤ基板ＳＴに点灯検査用の電気的信号を送るため
に使用され、すなわち、検査機構２０の直接の端子とし
て機能する。各プローブ電極４５は上面および下面にコ
ンタクトピン４６、４７が突設されたコンタクトリング
４８を介してテストヘッド４１内の図示しないパフォー
マンスボードに接続されている。同パフォーマンスボー
ドは検査システムのテスター５５に接続されている。

【００３６】テストヘッド４１、コンタクトリング４８
およびプローブカード４３には互いに整一する開口４１
ａ、４８ａ、４３ａが形成されている。これらの開口の
上方には、点灯検査時にＬＣＤ基板ＳＴを撮像するた
め、検査システムのカメラ５７が配設されている。カメ
ラ５７はその光軸が開口４１ａ、４８ａ、４３ａのい中
心に整一し且つその合焦面がＬＣＤ基板ＳＴに合うよう
に配置されている。カメラ５７はテスター５５に接続さ
れ、撮像情報はテスター５５のディスプレイ５６に表示
される。また、ＬＣＤ基板ＳＴを撮像するため、各載置
台３１ａ、３１ｂにはバックライト５８が内蔵されてい
る。

【００３７】検査領域２１でＬＣＤ基板ＳＴの検査を行
う場合には左載置台３１ａまたは右載置台３１ｂのいず
れか一方を検査領域２１の基板検査位置に移動操作させ
るとともに、この基板検査位置で左載置台３１ａまたは
右載置台３１ｂをＺ軸方向に沿って上昇させてプローブ
カード４３のプローブ電極４５とＬＣＤ基板ＳＴの電極
パッドとを電気的に接触させた状態で所定の検査が行な
われる。

【００３８】また、図４に示すように左側のボールねじ
機構２６ａの駆動モータ２９ａ、ボールねじ機構３３ａ
の駆動モータ３５ａ、載置台３１ａの駆動部３７ａ、お
よび右側のボールねじ機構２６ｂの駆動モータ２９ｂ、
ボールねじ機構３３ｂの駆動モータ３５ｂ、載置台３１
ｂの駆動部３７ｂは例えばマイクロコンピュータおよび
その周辺回路によって形成されるコントローラ（制御手
段）５１に接続されている。そして、コントローラ５１
によってＬＣＤ基板ＳＴの各回の検査毎に左右の各アラ
イメント領域２２ａ、２２ｂの載置台３１ａ、３１ｂを
交互に検査領域２１に移動させる状態で左ボールねじ機
構２６ａの駆動モータ２９ａおよび右ボールねじ機構２
６ｂの駆動モータ２９ｂが駆動されるようになってい
る。

【００３９】また、コントローラ５１には表示部５２が
接続されている。表示部５２には左右のＣＣＤカメラ２
７ａ、２７ｂ、３８ａ、３８ｂがそれぞれ画像処理部５
３を介して接続されている。そして、左右のＣＣＤカメ
ラ２７ａ、２７ｂ、３８ａ、３８ｂからの画像情報は、
切替え入力されることにより画像処理部５３で処理され
た後、表示部５２に表示されるようになっている。

【００４０】また、搬送部４には基板搬送ロボット６１
が設けられている。ここで、搬送部４の基台６２上には
Ｘ方向に向けて延設された一対のガイドレール６３が設
けられている。これらのガイドレール６３の左端部は左
アライメント領域２２ａと対応する位置まで延出され、
右端部は右アライメント領域２２ｂと対応する位置まで
延出されている。そして、基板搬送ロボット６１はこれ
らのガイドレール６３にガイドされて左右のアライメン
ト領域２２ａ、２２ｂと対応する位置間で移動可能に支
持されている。

【００４１】また、基台６２上には基板搬送ロボット６
１を駆動するボールねじ機構６４が設けられている。ボ
ールねじ機構６４には左右のアライメント領域２２ａ、
２２ｂと対応する位置間にＸ方向に向けて架設されたボ
ールねじ６５と、ボールねじ６５を駆動する駆動モータ
６６とが設けられている。そして、ボールねじ機構６４
の駆動にともない基板搬送ロボット６１が左右のアライ
メント領域２２ａ、２２ｂと対応する位置間でガイドレ
ール６３にガイドされながら移動操作されるようになっ
ている。

【００４２】また、基板搬送ロボット６１にはガイドレ
ール６３にガイドされながらＸ方向に移動操作される移
動台６７と、移動台６７に対してＺ軸方向に昇降可能に
支持された台座部６８と、台座部６８に取付けられた多
関節アームによって形成されるロボットアーム６９と、
ロボットアーム６９の先端に回動自在に連結された基板
保持ハンド７０とが設けられている。

【００４３】ここで、台座部６８にはＺ軸方向に伸びる
ラック７１が突設されている。ラック７１には移動台６
７に固定されたモータ７２の回転軸に取付けられたピニ
オンギア７３が噛合されている。そして、モータ７２の
駆動にともないピニオンギア７３の回転がラック７１に
伝達されることにより、ラック７１が昇降動作し、ラッ
ク７１とともに台座部６８がＺ軸方向に沿って昇降動作
するようになっている。なお、７４は台座部６８をＺ軸
方向に沿って昇降動作させる際のガイド部材である。

【００４４】また、ロボットアーム６９には複数のアー
ム構成要素７５が互いに関節部を介して回動可能に連結
されている。そして、ロボットアーム６９の変形動作に
ともない基板保持ハンド７０をＹ方向に沿って移動させ
るとともに、その基板保持ハンド７０の先端部の向きを
１８０°反転させてＬＣＤ基板収納部２側に向けた状
態、或いはＬＣＤ基板処理部３側に向けた状態に切換え
操作することができるようになっている。

【００４５】次に、図１図示の実施の形態の動作につい
て説明する。まず、装置を初期化するため、左右のアラ
イメント領域２２ａ、２２ｂのカメラ２７、２７ｂの光
軸と、左右の載置台３１ａ、３１ｂのカメラ３８ａ、３
８ｂの光軸とを、ターゲット３９ａ、３９ｂを用いてそ
れぞれ合わせ、この時の載置台３１ａ、３１ｂの位置を
左右の基準座標位置としてそれぞれ認識する。

【００４６】また、左右の載置台３１ａ、３１ｂのカメ
ラ３８ａ、３８ｂのそれぞれによりプローブカード４３
の基準となる２つのプローブ電極４５を撮像し、載置台
３１ａ、３１ｂの位置からこれらの座標位置を求める。
これにより、左右の基準座標位置のそれぞれに対するプ
ローブカード４３の全体の位置を認識することができ
る。以上の初期化は、ＬＣＤ基板ＳＴの検査に先立ち、
例えば装置の設置時に行っておく。

【００４７】プローブ装置１によるＬＣＤ基板ＳＴの検
査時には、後述するように各載置台３１ａ、３１ｂをア
ライメント作業位置まで移動した状態で、上側のＣＣＤ
カメラ２７ａ、２７ｂにより、ＬＣＤ基板ＳＴ上の例え
ば２つのマークを撮像する。これにより、プローブカー
ド４３に対する各載置台３１ａ、３１ｂ上の基板ＳＴの
相対位置のデータを得ることができる。従って、同デー
タに基づき各載置台３１ａ、３１ｂをＸ、Ｙ、θの３方
向に移動させれば、プローブカード４３に対する基板Ｓ
Ｔの光学的なアライメント操作を行うことができる。

【００４８】検査時には、左アライメント領域２２ａの
左載置台３１ａ、または右アライメント領域２２ｂの右
載置台３１ｂのうちのいずれか一方、例えば図５（Ａ）
に示すように右載置台３１ｂが検査領域２１の基板検査
位置に移動され、検査領域２１で右載置台３１ｂ上の検
査前のＬＣＤ基板ＳＴに対する検査が行われる。

【００４９】また、右載置台３１ｂの基板検査中、左ス
テージ２３ａは左アライメント領域２２ａの待機位置ま
で移動される。この状態で、左載置台３１ａは図５
（Ａ）に示す基板受渡し位置まで移動される。そして、
この基板受渡し位置で、左載置台３１ａ上の検査後のＬ
ＣＤ基板ＳＴは基板搬送ロボット６１に受け取られ、基
板搬送ロボット６１によってＬＣＤ基板収納部２に搬送
されてＬＣＤ基板収納カセット１２の所定位置のＬＣＤ
基板収納棚１３内に収納される。

【００５０】さらに、検査後のＬＣＤ基板ＳＴをＬＣＤ
基板収納カセット１２に収納後、次に検査される検査前
のＬＣＤ基板ＳＴが基板搬送ロボット６１によってＬＣ
Ｄ基板収納カセット１２から取出される。

【００５１】ここで取出された検査前のＬＣＤ基板ＳＴ
は基板搬送ロボット６１によって左アライメント領域２
２ａ側に搬送され、基板受渡し位置で待機されている左
載置台３１ａに供給される。

【００５２】このように、左載置台３１ａに新たな検査
前のＬＣＤ基板ＳＴがセットされた後、ボールねじ機構
３３ａが駆動され、左載置台３１ａが図５（Ｂ）に示す
ようにアライメント作業位置まで移動される。このアラ
イメント作業位置では左載置台３１ａ上のＬＣＤ基板Ｓ
Ｔがアライメント用光学系のＣＣＤカメラ２７ａの真下
に配置され、ここでＣＣＤカメラ２７ａによる撮影画像
にもとづいて左載置第３１ａをＸ、Ｙ、θの３方向に移
動させることにより、左載置台３１ａ上のＬＣＤ基板Ｓ
Ｔの光学的なアライメント作業が行なわれる。このと
き、基板搬送ロボット６１は右アライメント領域２２ｂ
と対応する位置まで移動された状態で待機される。

【００５３】また、検査領域２１での右載置台３１ｂの
ＬＣＤ基板ＳＴに対する検査の終了後、右ボールねじ機
構２６ｂが駆動され、右ステージ２３ｂが図６（Ａ）に
示すように右アライメント領域２２ｂ上の待機位置まで
移動操作される。この後、ボールねじ機構３３ｂが駆動
され、右載置台３１ｂが基板受渡し位置まで移動され
る。なお、右ボールねじ機構２６ｂとボールねじ機構３
３ｂとが同時に駆動される構成にしてもよい。

【００５４】このとき、左アライメント領域２２ａでは
左載置台３１ａ上のＬＣＤ基板ＳＴの光学的なアライメ
ント作業が終了し、待機状態で保持されている。そのた
め、検査領域２１から右載置台３１ｂが右アライメント
領域２２ｂ側に移動する動作にともない左ボールねじ機
構２６ａが駆動され、左載置台３１ａが図６（Ｂ）に示
すように検査領域２１の基板検査位置に移動される。そ
して、検査領域２１で左載置台３１ａ上の検査前のＬＣ
Ｄ基板ＳＴに対する検査が行われる。

【００５５】また、左載置台３１ａの基板検査中、右ア
ライメント領域２２ｂの右載置台３１ｂが基板受渡し位
置に保持されている状態で、右載置台３１ｂ上の検査後
のＬＣＤ基板ＳＴが基板搬送ロボット６１に受け取られ
る。そして、基板搬送ロボット６１によって検査後のＬ
ＣＤ基板ＳＴがＬＣＤ基板収納部２に搬送されてＬＣＤ
基板収納カセット１２の所定位置のＬＣＤ基板収納棚１
３内に収納される。

【００５６】さらに、検査後のＬＣＤ基板ＳＴをＬＣＤ
基板収納カセット１２に収納後、前回と同様に次に検査
される検査前のＬＣＤ基板ＳＴが基板搬送ロボット６１
によってＬＣＤ基板収納カセット１２から取出される。
そして、ここで取出された検査前のＬＣＤ基板ＳＴが基
板搬送ロボット６１によって右アライメント領域２２ｂ
に搬送され、図７（Ａ）に示すように基板受渡し位置で
待機されている右載置台３１ｂに供給される。

【００５７】このように、右載置台３１ｂに新たな検査
前のＬＣＤ基板ＳＴがセットされた後、ボールねじ機構
３３ｂが駆動され、右載置台３１ｂが図７（Ｂ）に示す
ようにアライメント作業位置まで移動される。このアラ
イメント作業位置では右載置台３１ｂ上のＬＣＤ基板Ｓ
Ｔがアライメント用光学系のＣＣＤカメラ２７ｂの真下
に配置され、ここでＣＣＤカメラ２７ｂによる撮影画像
にもとづいて右載置台３１ｂをＸ、Ｙ、θの３方向に移
動させることにより、右載置台３１ｂ上のＬＣＤ基板Ｓ
Ｔの光学的なアライメント作業が行なわれる。このと
き、基板搬送ロボット６１は左アライメント領域２２ａ
と対応する位置まで移動された状態で待機される。

【００５８】また、検査領域２１での左載置台３１ａの
ＬＣＤ基板ＳＴに対する検査の終了後、左ボールねじ機
構２６ａが駆動され、左ステージ２３ａが図１に示すよ
うに左アライメント領域２２ａ上の待機位置まで移動操
作される。これと同時に、ボールねじ機構３３ａが駆動
され、左載置台３１ａが基板受渡し位置まで移動され
る。このとき、右アライメント領域２２ｂでは右載置台
３１ｂ上のＬＣＤ基板ＳＴの光学的なアライメント作業
が終了し、待機状態で保持されており、検査領域２１か
ら左載置台３１ａが左アライメント領域２２ａ側に移動
する動作にともない、右載置台３１ｂが検査領域２１の
基板検査位置に移動される。

【００５９】これ以後は、同様の動作が繰り返され、Ｌ
ＣＤ基板ＳＴの各回の検査毎に左右の各アライメント領
域２２ａ、２２ｂの載置台３１ａ、３１ｂが交互に検査
領域２１に移動されて検査前のＬＣＤ基板ＳＴに対する
検査が順次行われる。

【００６０】本実施の形態によれば次の効果を奏する。
すなわち、検査領域２１に一方のアライメント領域、例
えば左アライメント領域２２ａの左載置台３１ａを移動
させてＬＣＤ基板ＳＴを検査する検査作業中に、他方の
アライメント領域、ここでは右アライメント領域２２ｂ
で待機されている右載置台３１ｂに予め次回の検査用の
検査前のＬＣＤ基板ＳＴをセットすることができる。し
たがって、現在検査作業中のＬＣＤ基板ＳＴの検査作業
の終了後、検査領域２１の位置の載置台３１ａを検査後
のＬＣＤ基板ＳＴとともに左アライメント領域２２ａに
移動させる際に、予め次回の検査用の検査前のＬＣＤ基
板ＳＴがセットされた右アライメント領域２２ｂの載置
台３１ｂを検査領域２１に直ちに移動させることができ
る。そのため、現在検査作業中のＬＣＤ基板ＳＴの検査
作業の終了後、次回の検査用の検査前のＬＣＤ基板ＳＴ
が検査領域２１にセットされるまでに要する時間を従来
に比べて大幅に短縮することができる。そなわち、検査
領域２１によって検査前のＬＣＤ基板ＳＴを実際に検査
している時間に比べて検査領域２１の待機時間の比率を
低減することができ、検査領域２１の稼働時間を長くす
ることができるとともに、単位時間当りの被検査体の検
査処理枚数を大幅に増やすことができる。

【００６１】また、左アライメント領域２２ａの左ステ
ージ２３ａを駆動する左ボールねじ機構２６ａと右アラ
イメント領域２２ｂの右ステージ２３ｂを駆動する右ボ
ールねじ機構２６ｂとを別個に設け、左右の各アライメ
ント領域２２ａ、２２ｂの載置台３１ａ、３１ｂを互い
に独立に移動可能にしたので、左右の各アライメント領
域２２ａ、２２ｂの載置台３１ａ、３１ｂ毎にそれぞれ
高精度にＬＣＤ基板ＳＴをアライメントすることができ
る。

【００６２】図８は本発明の別の実施の形態に係るＬＣ
Ｄ基板の点灯検査システムに組込まれたプローブ装置８
１全体の概略構成を示す。図８中、図１図示の実施の形
態と共通する部材には同一符号を付してそれらの詳細な
説明を省略する。

【００６３】本実施の形態のプローブ装置８１は、検査
領域が左右２つの検査領域２１ａ、２１ｂからなる点に
おいて、図１図示の実施の形態と異なる。このため、検
査機構２０は左右に移動可能であり、また、アライメン
ト用光学系であるＣＣＤカメラ２７ａ、２７ｂは旋回退
避可能となっている。

【００６４】より具体的には、検査機構２０は検査機構
移動手段８２とガイドレール８４との間を架橋し、且つ
ガイドレール８４に沿ってスライドするように配設され
ている。移動手段８２はコントローラ５１（図４参照）
に接続され、したがって、検査機構２０はコントローラ
５１の制御下で図８中左右に移動可能となっている。な
お、カメラ５７は検査機構２０に対して固定され、検査
機構２０と一体的に移動する。

【００６５】また、カメラ２７ａ、２７ｂの支持アーム
は、駆動モータ８８ａ、８８ｂにより自転駆動される垂
直シャフト８６ａ、８６ｂに取付けられる。駆動モータ
８８ａ、８８ｂもコントローラ５１に接続され、したが
って、カメラ２７ａ、２７ｂもまた、コントローラ５１
の制御下で、シャフト８６ａ、８６ｂの中心を軸として
旋回可能となっている。

【００６６】図９（Ａ）、（Ｂ）は図８図示の実施の形
態の動作を示す。本実施の形態も、検査機構２０による
左右載置台３１ａ、３１ｂ上のＬＣＤ基板ＳＴの検査が
交互に行われるようにコントローラ５１が操作する点に
おいて、図１図示の実施の形態と同様である。すなわ
ち、コントローラ５１は、図１図示実施の形態のよう
に、左右載置台３１ａ、３１ｂ、搬送ロボット６１等を
駆動し、ＬＣＤ基板ＳＴの受渡しやアライメントを行う
とともに、検査機構移動手段８２を操作して、左右載置
台３１ａ、３１ｂの移動に対応して検査機構２０を駆動
する。

【００６７】図９（Ａ）は、右載置台３１ｂ上に載置さ
れたＬＣＤ基板が検査を受けている状態を示し、これは
先の実施の形態の図５（Ｂ）図示の状態に概ね対応す
る。ここで、検査機構２０および右載置台３１ｂは右検
査領域２１ａ内の右基板検査位置にあり、カメラ５７の
視野内にＬＣＤ基板が入るように位置合わせされてい
る。また、カメラ２７ｂは、検査機構２０と干渉し合わ
ないように、側方に旋回退避している。右基板検査位置
は、図８図示の状態における検査機構２０および右載置
台３１ｂの位置の概ね中間、即ち、検査機構２０原位置
と、右ステージ２３ｂの待機位置との概ね中間に位置す
る。右載置台３１ｂを載せた右ステージ２３ｂおよび検
査機構２０は、図８図示の位置から互いに同時に接近移
動し、右基板検査位置で停止するようになっている。

【００６８】図９（Ｂ）は、左載置台３１ａ上に載置さ
れたＬＣＤ基板が検査を受けている状態を示し、これは
先の実施の形態の図７（Ｂ）図示の状態に概ね対応す
る。ここで、検査機構２０および左載置台３１ａは左検
査領域２１ｂ内の左基板検査位置にあり、カメラ５７の
視野内にＬＣＤ基板が入るように位置合わせされてい
る。また、カメラ２７ａは、検査機構２０と干渉し合わ
ないように、側方に旋回退避している。左基板検査位置
は、図８図示の状態における検査機構２０および左載置
台３１ａの位置の概ね中間、即ち、検査機構２０原位置
と、左ステージ２３ａの待機位置との概ね中間に位置す
る。左載置台３１ａを載せた左ステージ２３ａおよび検
査機構２０は、図８図示の位置から互いに同時に接近移
動し、左基板検査位置で停止するようになっている。

【００６９】このように、図８図示の実施の形態によれ
ば、検査機構２０を移動可能としたため、検査前のＬＣ
Ｄ基板ＳＴを基板検査位置にセットする時間を短縮する
ことができる。したがって、本実施の形態によれば、図
１図示の実施の形態よりも、さらに単位時間当りの被検
査体の検査処理枚数を増やすことができる。

【００７０】図１０は本発明のさらに別の実施の形態に
係るＬＣＤ基板の点灯検査システムに組込まれたプロー
ブ装置９１全体の概略構成を示す。図１０中、図１およ
び図８図示の実施の形態と共通する部材には同一符号を
付してそれらの詳細な説明を省略する。

【００７１】本実施の形態のプローブ装置９１は、左右
のアライメント領域２２ａ、２２ｂが左右の検査領域と
して兼用されている点において、図１および図８図示の
実施の形態と異なる。このため、検査機構２０は左右に
移動可能であり、また、アライメント用光学系であるＣ
ＣＤカメラ２７ａ、２７ｂは旋回退避可能となってい
る。

【００７２】より具体的には、左右ステージ２３ａ、２
３ｂが固定され、左右載置台３１ａ、３１ｂと検査機構
２０との位置合わせに際して、検査機構２０のみが左右
に移動する。検査機構２０は図１および図８図示の検査
機構に比べて小型に形成され、図８図示の実施の形態と
同様、移動手段８２とガイドレール８４との間を架橋し
且つガイドレール８４に沿ってスライド可能となってい
る。カメラ５７は検査機構２０に対して固定され、検査
機構２０と一体的に移動する。カメラ２７ａ、２７ｂ
も、図８図示の実施の形態と同様、シャフト８６ａ、８
６ｂの中心を軸として旋回可能となっている。

【００７３】本実施の形態も、検査機構２０による左右
載置台３１ａ、３１ｂ上のＬＣＤ基板ＳＴの検査が交互
に行われるようにコントローラ５１が操作する点におい
て、図１および図８図示の実施の形態と同様である。す
なわち、コントローラ５１は、図１図示実施の形態のよ
うに、左右載置台３１ａ、３１ｂ、搬送ロボット６１等
を駆動し、ＬＣＤ基板ＳＴの受渡しやアライメントを行
うとともに、検査機構移動手段８２を操作して、搬送ロ
ボット６の移動に対応して検査機構２０を駆動する。

【００７４】本実施の形態において、右載置台３１ｂ上
のＬＣＤ基板を検査する場合、検査機構２０が右載置台
３１ｂに向かって図１０中右方に移動する。そして、検
査機構２０は、カメラ５７の視野内に載置台３１ｂ上の
ＬＣＤ基板が入る位置、すなわち右基板検査位置で停止
する。この際、カメラ２７ｂは、検査機構２０と干渉し
合わないように、側方に旋回退避する。

【００７５】他方、左載置台３１ａ上のＬＣＤ基板を検
査する場合、検査機構２０が左載置台３１ａに向かって
図１０中左方に移動する。そして、検査機構２０は、カ
メラ５７の視野内に載置台３１ａ上のＬＣＤ基板が入る
位置、すなわち左基板検査位置で停止する。この際、カ
メラ２７ａは、検査機構２０と干渉し合わないように、
側方に旋回退避する。

【００７６】このように、図１０図示の実施の形態によ
れば、検査機構２０のみを左右に移動して左右載置台３
１ａ、３１ｂと位置合わせするため、アライメント後の
ＬＣＤ基板ＳＴを検査開始まで動かす必要がない。な
お、本発明は前記各実施の形態に限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施でき
ることは勿論である。

【００７７】

【発明の効果】本発明の第１の視点によれば、検査機構
によって検査前の被検査体を実際に検査している時間に
比べて検査機構の待機時間の比率を低減することがで
き、単位時間当りの被検査体の検査処理枚数を多くする
ことができる。

【００７８】本発明の第２の視点によれば、検査前の被
検査体を基板検査位置にセットする時間をさらに短縮す
ることができ、したがって、検査機構によって検査前の
被検査体を実際に検査している時間に比べて検査機構の
待機時間の比率を低減することができ、さらに単位時間
当りの被検査体の検査処理枚数を増やすことができる。

【００７９】本発明の第３の視点によれば、検査機構に
よって検査前の被検査体を実際に検査している時間に比
べて検査機構の待機時間の比率を低減することができる
とともに、検査時における被検査体のアライメント状態
を高精度に維持することができる。

【００８０】本発明の第４の視点によれば、各載置台を
互いに独立に移動させることにより、作業効率を高める
とともに、各載置台毎に高精度にアライメントすること
ができる。

【００８１】本発明の第５の視点によれば、アライメン
ト作業と検査領域への移動とを連携させることにより、
作業効率をさらに高めることができる。本発明の第６の
視点によれば、検査後の被検査体を取出し作業および新
たな検査前の被検査体の供給作業を確実に行うことがで
きる。

【００８２】本発明の第７の視点によれば、被検査体搬
送手段によって被検査体収容部と各受渡し位置との間で
被検査体を搬送することができ、被検査体の搬送作業を
能率化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一の実施の形態のプローブ装置全体の
概略構成を示す平面図。

【図２】図１図示のプローブ装置のＬＣＤ基板収納部お
よび搬送部を示す側面図。

【図３】図１図示のプローブ装置の検査領域を示す縦断
面図。

【図４】図１図示のプローブ装置のコントローラの接続
状態を示す概略構成図。

【図５】図１図示のプローブ装置の動作を示し、（Ａ）
は右載置台上の基板の検査中、基板受渡し位置まで移動
された左載置台に検査前の基板が供給される状態を示す
平面図、（Ｂ）は右載置台上の基板の検査中、左載置台
上の検査前の基板がアライメントされる状態を示す平面
図。

【図６】図１図示のプローブ装置の動作を示し、（Ａ）
は左載置台上の基板がアライメントされて待機し、右載
置台が基板受渡し位置で検査後の基板をアンロードされ
る状態を示す平面図、（Ｂ）は左載置台上の基板の検査
中、右載置台が基板受渡し位置で待機している状態を示
す平面図。

【図７】図１図示のプローブ装置の動作を示し、（Ａ）
は左載置台上の基板の検査中、右載置台に基板がロード
される状態を示す平面図、（Ｂ）は左載置台上の基板の
検査中、右載置台上の基板がアライメントされる状態を
示す平面図。

【図８】本発明の別の実施の形態のプローブ装置全体の
概略構成を示す平面図。

【図９】図８図示のプローブ装置の動作を示し、（Ａ）
は右載置台上の基板の検査中、左載置台上の検査前の基
板がアライメントされる状態を示す平面図、（Ｂ）は左
載置台上の基板の検査中、右載置台上の検査前の基板が
アライメントされる状態を示す平面図。

【図１０】本発明のさらに別の実施の形態のプローブ装
置全体の概略構成を示す平面図。

【符号の説明】

２…ＬＣＤ基板収納部（被検査体収容部）、４…搬送部
（被検査体搬送手段）、２０…検査機構、２１、２１
ａ、２１ｂ…検査領域、２２ａ…左アライメント領域、
２２ｂ…右アライメント領域、２３ａ…左ステージ、２
３ｂ…右ステージ、２７ａ、２７ｂ、３８ａ、３８ｂ…
カメラ（アライメント用光学系）、３１ａ、３１ｂ…載
置台、５１…コントローラ（制御手段）、５５…テスタ
ー、５６…ディスプレイ、５７…カメラ、８２…検査機
構の移動手段、８６ａ、８６ｂ…自転シャフト、ＳＴ…
ＬＣＤ基板（被検査体）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 31/28

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】検査領域に配設された、板状の被検査体を
   検査するための検査機構と、 前記検査領域を挟んで配置された、前記被検査体の第１
   および第２アライメント領域と、 前記被検査体が着脱可能に載置される第１および第２載
   置台と、 前記第１および第２載置台を水平面内で移動させるため
   の載置台移動手段と、前記移動手段により、前記第１載
   置台が前記第１アライメント領域と前記検査領域との間
   を移動可能であるとともに、前記第２載置台は前記第２
   アライメント領域と前記検査領域との間を移動可能であ
   ることと、 前記移動手段を操作するための制御手段と、前記制御手
   段は、前記検査機構による前記第１および第２載置台上
   の前記被検査体の検査が、前記検査領域で交互に行われ
   るように、前記移動手段を操作することと、を具備する
   ことを特徴とする板状の被検査体の検査装置。
2. 【請求項２】第１および第２検査領域間を移動可能な、
   板状の被検査体を検査するための検査機構と、 前記検査機構を前記第１および第２検査領域間で移動さ
   せるための検査機構移動手段と、 前記第１および第２検査領域を挟んで配置された、前記
   被検査体の第１および第２アライメント領域と、 前記被検査体が着脱可能に載置される第１および第２載
   置台と、前記第１および第２載置台上の前記被検査体は
   それぞれ前記第１および第２検査領域において検査され
   ることと、 前記第１および第２載置台を水平面内で移動させるため
   の載置台移動手段と、前記載置台移動手段により、前記
   第１載置台が前記第１アライメント領域と前記第１検査
   領域との間を移動可能であるとともに、前記第２載置台
   が前記第２アライメント領域と前記第２検査領域との間
   を移動可能であることと、 前記両移動手段を操作するための制御手段と、前記制御
   手段は、前記検査機構による前記第１および第２載置台
   上の前記被検査体の検査が、それぞれ前記第１および第
   ２検査領域で交互に行われるように、前記両移動手段を
   操作することと、を具備することを特徴とする板状の被
   検査体の検査装置。
3. 【請求項３】第１および第２検査領域間を移動可能な、
   板状の被検査体を検査するための検査機構と、前記第１
   および第２検査領域はそれぞれ前記被検査体の第１およ
   び第２アライメント領域として機能することと、 前記検査機構を前記第１および第２検査領域間で移動さ
   せるための移動手段と、 前記被検査体が着脱可能に載置される第１および第２載
   置台と、前記第１および第２載置台上の前記被検査体は
   それぞれ前記第１および第２検査領域において検査され
   ることと、 前記移動手段を操作するための制御手段と、前記制御手
   段は、前記検査機構による前記第１および第２載置台上
   の前記被検査体の検査が、それぞれ前記第１および第２
   検査領域で交互に行われるように、前記移動手段を操作
   することと、を具備することを特徴とする板状の被検査
   体の検査装置。
4. 【請求項４】前記第１および第２載置台が、互いに独立
   に移動可能であることを特徴とする請求項１または２に
   記載の板状の被検査体の検査装置。
5. 【請求項５】前記制御手段が、前記第１および第２アラ
   イメント領域でそれぞれ、前記第１および第２載置台を
   動かし、前記被検査体を前記検査機構に対する所定の状
   態にアライメントさせるように、前記載置台移動手段を
   操作することを特徴とする請求項１、２および４のいず
   れかに記載の板状の被検査体の検査装置。
6. 【請求項６】前記制御手段が、前記第１および第２載置
   台の一方の上の前記被検査体を検査する間に、前記第１
   および第２載置台の他方から対応のアライメント領域で
   検査後の被検査体を取出し、新たに供給される検査前の
   被検査体を前記他方の載置台にセットする作業を制御す
   ることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の
   板状の被検査体の検査装置。
7. 【請求項７】前記被検査体を複数収容する被検査体収容
   部と、前記被検査体収容部と前記第１および第２アライ
   メント領域との間に配設され、前記被検査体収容部と前
   記第１および第２アライメント領域との間で前記被検査
   体を搬送する被検査体搬送手段と、を具備することを特
   徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の板状の被検
   査体の検査装置。