JPH08102636A - 電圧制御フィルタ - Google Patents

電圧制御フィルタ

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JPH08102636A
JPH08102636A JP23738694A JP23738694A JPH08102636A JP H08102636 A JPH08102636 A JP H08102636A JP 23738694 A JP23738694 A JP 23738694A JP 23738694 A JP23738694 A JP 23738694A JP H08102636 A JPH08102636 A JP H08102636A
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JP
Japan
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voltage control
control filter
voltage
filter
diodes
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JP23738694A
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Tsunetaro Nose
恒太郎 能勢
Yoshimasa Hayashi
芳昌 林
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Mitsubishi Materials Corp
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Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】組み込まれた装置の電源を遮断することなく周
波数特性が容易に変更される電圧制御フィルタを提供す
る。 【構成】周波数特性を規定する回路定数に内部容量が組
み込まれてなる、印加される電圧に応じてその内部容量
が変化するダイオードを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、印加される電圧に応じ
て周波数特性が変更される電圧制御フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】図12は、従来のLCフィルタが無線機
に組み込まれた構成を示す図である。この無線機の受信
部は、LCフィルタ141,高周波増幅器122,周波
数混合器126,局部発振器127,低周波増幅器12
3から構成されている。また、送信部は、LCフィルタ
142,高周波増幅器125,周波数混合器128,局
部発信器129,低周波増幅器124から構成されてい
る。ここでは、アンテナ121で受信される周波数帯域
とアンテナ121から送信される周波数帯域とが異なっ
ており、このため受信用の周波数帯域の信号成分を通過
させるLCフィルタ141と、送信用の周波数帯域の信
号成分を通過させるLCフィルタ142とが備えられて
おり、これらLCフィルタ141,142がスイッチ回
路130で切り換えられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した無線機では、
受信用のLCフィルタ141と送信用のLCフィルタ1
42の2つのLCフィルタが必要とされる。また、無線
機で取り扱う送受信の周波数が変更された場合には、こ
の無線機の電源を遮断し、LCフィルタ141,142
を取り外し、LCフィルタ141,142を構成するイ
ンダクタ素子,コンデンサ素子を交換したり、これらイ
ンダクタ素子,コンデンサ素子をレーザトリマ等でファ
ンクショントリミングを行う必要があり、このため手間
が多くかかり、また無線機もその間は使用できず問題が
ある。
【0004】また、一般にLCフィルタを、低い周波数
帯域の信号成分を通過させるノイズフィルタとして使用
し、このノイズフィルタのコンデンサ素子の容量,イン
ダクタ素子のインダクタンスを調整し中心周波数f0 や
カットオフ周波数fC を決定して、装置に組み込んだ場
合に、例えばこの装置の設置場所が異なり、その設置場
所特有のノイズに対応するために中心周波数f0 やカッ
トオフ周波数fcを再度決定するには、コンデンサ素子
やインダクタ素子を交換したり、ファンクショントリミ
ングを行う必要があり、煩雑で手間も多く必要とされ問
題がある。
【0005】本発明は、上記事情に鑑み、組み込まれた
装置の電源を遮断することなく、周波数特性が容易に変
更される電圧制御フィルタを提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の電圧制御フィルタは、周波数特性を規定する回路定
数に内部容量が組み込まれてなる、印加される電圧に応
じてその内部容量が変化するダイオードを備えたことを
特徴とするものである。ここで、上記電圧制御フィルタ
が集積化されたものであることが好ましい。
【0007】
【作用】一般に、ダイオードに逆方向の電圧を印加しそ
の電圧が大きくなるとダイオードの内部容量が大きくな
り、これとは逆に印加された電圧が小さくなるとその内
部容量は小さくなる。そこで、例えば基板内に半導体集
積回路の製造技術を適用してダイオードを形成し、ま
た、この半導体基板上に蛇行状やスパイラル状の導体パ
ターンでインダクタ素子を形成することによりLCフィ
ルタの機能を有する電圧制御フィルタを構成する。
【0008】ここで、この電圧制御フィルタの中心周波
数f0 は、 f0 =1/2π√(LCD ) となる。ただし、Lはインダクタ素子のインダクタン
ス,CD はダイオードの内部容量である。このように電
圧制御フィルタを構成するダイオードに逆方向の電圧を
印加するとダイオードに印加される電圧の大きさに応じ
てその容量が変化するため、この電圧制御フィルタの周
波数特性も変化する。
【0009】このように電圧制御フィルタの周波数特性
が電圧に応じて変更されるため、従来技術の、コンデン
サ素子の容量とインダクタ素子のインダクタンスとが固
定されたLCフィルタと比較し、コンデンサ素子やイン
ダクタ素子を交換したりトリミングしたりする必要もな
く、また装置の電源を遮断することもなく通電状態のま
ま周波数特性が容易に変更される。
【0010】また、前述した電圧制御フィルタに形成さ
れた蛇行状やスパイラル状の導体パターンを、NiCr
(ニッケルクロム)やTaN(窒化タンタル)等を素材
とする薄膜抵抗に置き換えると、この電圧制御フィルタ
にはLCフィルタの機能に変わるRCフィルタの機能を
有する電圧制御フィルタが構成される。ここでこの電圧
制御フィルタの中心周波数f0 は、 f0 =1/2πRCD となる。ただし、Rは薄膜抵抗の抵抗値,CD はダイオ
ードの内部容量である。
【0011】またLCフィルタの機能やRCフィルタの
機能を有する電圧制御フィルタの、基板上に形成された
導体パターンや薄膜抵抗と基板内に形成されたダイオー
ドとの間に、SiO2 膜やSiN膜、もしくはこれらS
iO2 膜,SiN膜双方を形成することにより、より大
きな容量値が得られるため、低周波用のLCフィルタの
機能やRCフィルタの機能を有する電圧制御フィルタが
容易に製作される。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
1は、本発明の第1実施例の電圧制御フィルタ10の斜
視図(a)、図1(a)に示す電圧制御フィルタ10の
基板内部に形成されたN型拡散層の模式図(b)、及び
図1(a)に示す電圧制御フィルタ10のA−A断面図
である。
【0013】図1(a)に示す、P型シリコンウエハを
ベースとする基板15の表面に、矩形状の導体パターン
が着膜されており、これにより互いに直列に接続された
インダクタ素子11_1,11_2,11_3,11_
4が形成されている。またインダクタ素子11_1,1
1_4それぞれと接続された入力端子13,出力端子1
4も形成されている。さらにインダクタ素子11_1,
11_2,11_3,11_4に対応してアルミ電極1
2a,12b,12c,12dが形成されている。基板
15の、インダクタ素子11_1,11_2,11_
3,11_4及びアルミ電極12a,12b,12c,
12dの下部に、図1(b)に示す基板15のP型拡散
層15aにN型拡散層16_1,16_2,16_3,
16_4が形成されている。
【0014】さらに図1(c)に示すようにこれらN型
拡散層16_1,16_2,16_3,16_4に、N
+ 型拡散層18_1,18_2,18_3,18_4が
それぞれ形成されているとともに、これらN+ 型拡散層
18_1,18_2,18_3,18_4の上にはアル
ミ電極12a,12b,12c,12dがそれぞれ配置
されている。また、基板15の底面にはAu層19が形
成されている。これによりそれぞれのカソードがアルミ
電極12a,12b,12c,12dと接続され、それ
ぞれのアノードがAu層19に共通接続されたダイオー
ド12_1,12_2,12_3,12_4が形成され
ている。これらダイオード12_1,12_2,12_
3,12_4は、印加された電圧に応じてその内部容量
が直線的に変化するいわゆるバラクタダイオードであ
る。
【0015】また、基板15の表面のインダクタ素子1
1_1,11_2,11_3,11_4、アルミ電極1
2a,12b,12c,12d、入力端子13、出力端
子14が形成された部分以外は、SiO2 膜17で覆わ
れている。SiO2 膜17は、ボンディングパッド(端
子電極)部以外には、パッシベーションとしてコーティ
ングする。パッシベーション膜は、SiO2 以外の酸化
膜、窒化膜でもよい。
【0016】このようにして本発明の第1実施例の電圧
制御フィルタ10が構成されている。図2は、図1に示
す電圧制御フィルタ10の等価回路図である。各ダイオ
ード12_1,12_2,12_3,12_4のカソー
ドはSiO2 膜17を介して各インダクタ素子11_
1,11_2,11_3,11_4の中央部とそれぞれ
接続されており、また各ダイオード12_1,12_
2,12_3,12_4のアノードは、Au層19に共
通接続されている。
【0017】図3は、図2に示す電圧制御フィルタ10
に直流電圧VR を印加するための一例を示す回路図であ
る。電圧制御フィルタ10の入力端子13,出力端子1
4は、直流成分を阻止すると共に交流成分を通過させる
コンデンサ31,33を介して外部端子35,36とそ
れぞれ接続されている。また、電圧制御フィルタ10の
Au層19はグラウンドに接続されている。出力端子1
4は、高周波成分を阻止するRFチョークコイル34を
介して直流電源と接続されている。また、直流電源とグ
ラウンドとの間に高周波成分をグラウンドに流すコンデ
ンサ32が接続されている。
【0018】このように構成された回路の電圧制御フィ
ルタ10に直流電圧VR が印加されると、ダイオード1
2_1,12_2,12_3,12_4の内部容量は、
印加される直流電圧VR の大きさに応じて定まり、これ
により電圧制御フィルタ10は、これらダイオード12
_1,12_2,12_3,12_4の内部容量とイン
ダクタ素子11_1,11_2,11_3,11_4の
インダクタンスからなる周波数特性を有する電圧制御フ
ィルタとなる。また、アルミ電極12a,12b,12
c,12dは、図3のようにすべてのダイオードをバイ
アスせずに、選択的に個々のダイオードにバイアスをか
ける事が出来る構造となっている。
【0019】このような周波数特性を有する電圧制御フ
ィルタ10に、例えば高周波帯域の信号が外部端子35
からコンデンサ31を経由して入力端子13に入力され
ると、電圧制御フィルタ10の周波数特性に対応する高
周波帯域の信号成分のみが出力端子14,コンデンサ3
3を経由して外部端子36から出力される。図4は、本
発明の第2実施例の電圧制御フィルタ40の斜視図
(a)、および図4(a)に示す電圧制御フィルタ40
のA−A断面図(b)である。
【0020】図4(a)に示す基板44の表面に、蛇行
状の導体パターンが着膜されており、これによりインダ
クタ素子41が形成されている。また、インダクタ素子
41と接続された入力端子42,出力端子43も形成さ
れている。図4(b)に示すように、基板44の表面
の、インダクタ素子41,入力端子42,出力端子43
が形成された部分以外はSiO2 膜45で覆われてい
る。
【0021】基板44のP型拡散層44aにN型拡散層
47が形成されており、さらにこのN型拡散層47にN
+ 型拡散層46が形成されている。また基板44の底部
にはAu層48も形成されている。図5は、図4に示す
電圧制御フィルタ40に直流電圧VR を印加するための
一例を示す回路図である。
【0022】前述した図2と同じ構成要素には同じ番号
を付し重複説明は除く。図5に示すダイオード51は、
図4(b)に示す基板44のP型拡散層44a,N型拡
散層47,N+ 型拡散層46から形成されている。この
ダイオード51のカソードはインダクタ素子41の中央
部と接続され、これによりインダクタ素子41はインダ
クタ素子41a,41bにそれぞれ分割されている。ま
たダイオード51のアノードはAu層48に接続され、
Au層48はグラウンドに接続されている。
【0023】ここで電圧制御フィルタ40に直流電圧V
R が印加されると、印加された電圧に応じてダイオード
51の内部容量が定まり、この電圧制御フィルタ40は
帯域通過フィルタ(Band Pass Filte
r)となる。この帯域フィルタの中心周波数f0 は、 f0 =1/2π√(LCD ) …(1) となる。ただし、Lはインダクタ素子41のインダクタ
ンス,CD はダイオード51の内部容量である。
【0024】ここで、例えばダイオード51の内部容量
値を1pF,インダクタ素子41のインダクタンスを1
0nHとすると、この電圧制御フィルタ40の中心周波
数f 0 は、(1)式より、1.59GHzとなる。ここ
で、コンデンサ31,32,33の容量値は100p
F,RFチョークコイル34のインダクタンスは100
nHである。
【0025】このように電圧制御フィルタ40は、1.
59GHzの周波数を中心とする帯域の周波数の信号成
分のみを通過させる帯域通過フィルタとなり、この中心
周波数f0 は、直流電圧VR の大きさにより変化するた
め、1.59GHzの周波数以外を中心とする帯域の周
波数の信号成分を通過させる帯域通過フィルタが容易に
構成される。
【0026】図6は、本発明の第3実施例の電圧制御フ
ィルタの斜視図(a)、及び図6(a)に示す電圧制御
フィルタのA−A断面図である。基板65の表面にスパ
イラル状の導体パターンが着膜されており、これにより
4つのインダクタ素子61が形成されてる。4つのイン
ダクタ素子61は、金属層62(もしくはエアブリッ
ジ)で互いに直列接続されている。このようにして、前
述した図4に示すインダクタ素子41に代わる4つのイ
ンダクタ素子61を形成し、電圧制御フィルタを構成し
てもよい。
【0027】図7は、本発明の第4実施例の電圧制御フ
ィルタの斜視図(a),及び図7(a)に示す電圧制御
フィルタのB−B斜視図である。基板76の表面にスパ
イラル状に着膜された、インダクタ素子71_1,71
_2を形成する導体パターンの長さは、インダクタ素子
72_1,72_2,72_3を形成する導体パターン
の長さの半分となっており、これにより、インダクタ素
子71_1,71_2のインダクタンスは、インダクタ
素子72_1,72_2,72_3のインダクタンスの
半分となっている。
【0028】インダクタ素子71_1とインダクタ素子
72_1とは、図7(b)に示すアルミ電極82で接続
されている。また基板76のP型拡散層76a,N型拡
散層84,N+ 型拡散層85からダイオード81_1が
形成されている。ダイオード81_1のアノード,カソ
ードには、Au層77,アルミ電極81がそれぞれ接続
されている。
【0029】図8は、図7に示す電圧制御フィルタの等
価回路図である。図7に示す電圧制御フィルタを図8に
示す電圧制御フィルタと対照すると、インダクタ素子7
1_1とインダクタ素子72_1との接続点であるアル
ミ電極82とダイオード81_1のカソードと接続され
たアルミ電極81とがSiO2 膜83を経由して接続さ
れている。このように図2に示すような、ダイオードの
カソードがインダクタ素子の中央部で接続された構成と
は異なる、ダイオードのカソードがインダクタ素子同士
の接続点で接続された電圧制御フィルタを構成してもよ
い。
【0030】図9は、本発明の第5実施例の電圧制御フ
ィルタの斜視図(c)、及び図9(a)に示す電圧制御
のフィルタのA−A断面図である。図9(b)に示すよ
うに基板95の表面全体にSiO2 膜96が形成されて
いる。このSiO2 膜96の上に、図9(a)に示すよ
うな蛇行状の導体パターンが着膜されており、これによ
りインダクタ素子91が形成されている。また、SiO
2 膜96の上に、入力端子92,出力端子93が形成さ
れている。また直流電圧を入力するためのアルミ電極9
4が、直接N+ 型拡散層97に接続されている。さらに
基板95の、P型拡散層95a,N型拡散層98,N+
型拡散層97からダイオード99が形成されている。
【0031】図10は、図9に示す電圧制御フィルタの
等価回路図である。この電圧制御フィルタの周波数特性
は、アルミ電極94に印加される直流電圧で定まるダイ
オード99の内部容量と、そのダイオード99とインダ
クタ素子91との間に介在する誘電体層であるSiO2
膜96の容量と、インダクタ素子91のインダクタタン
スとで決定される。このようにして電圧制御フィルタを
構成してもよい。ここで、SiO2 膜96は、SiN膜
であってもよく、またSiO 2 膜にSiN膜を形成して
もよい。さらにSiN膜を形成しておき、このSiN膜
にSiO2 膜を形成してもよい。
【0032】図11は、本発明の第1実施例の電圧制御
フィルタ10が無線機に組み込まれた構成を示す図であ
る。尚、前述した図12と同じ構成要素には同じ番号を
付し重複説明は除く。図11に示す無線機は、図12に
示す無線機と比較し、図12に示されている2つのLC
フィルタ141,142が1つの電圧制御フィルタ10
に置き換えられている。このため図11に示す無線機
は、図12に示す無線機と比較し、回路基板の面積が小
さくて済み、コストが低減される。また、無線機で取り
扱う送受信の周波数帯域が変更されても、この電圧制御
フィルタ10の周波数特性は電圧の大きさに応じて容易
に変更されるため、無線機の電源を遮断し部品等を交換
する必要もなく容易に対応できる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の電圧制御
フィルタによれば、ダイオードの内部容量を電圧で変化
する構成のため、 (1)ダイオードに印加される電圧に応じて複数の周波
数特性が容易に得られる。 (2)組み込まれた装置の取り扱う周波数帯域が変更さ
れても部品交換やファンクショントリミングの必要もな
く、また装置の電源を遮断することもなく作動状態のま
ま周波数特性が変更できる。 (3)設置場所が変更されても、その設置場所に特有な
ノイズに容易に対応できる。 (4)集積化技術で容易に集積化され、小型化が図られ
るとともにコストの低減化も図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の電圧制御フィルタの斜視
図(a)、図1(a)に示す電圧制御フィルタの基板内
部に形成されたN型拡散層の模式図(b)、及び図1
(a)に示す電圧制御フィルタのA−A断面図である。
【図2】図1に示す電圧制御フィルタ等価回路図であ
る。
【図3】図2に示す電圧制御フィルタに直流電圧を印加
するための一例を示す回路図である。
【図4】本発明の第2の実施例の電圧制御フィルタの斜
視図(a),および図4(a)に示す電圧制御フィルタ
のA−A断面図ある。
【図5】図4に示す電圧制御フィルタに直流電圧を印加
するための一例を示す回路図である。
【図6】本発明の第3の実施例の電圧制御フィルタの斜
視図(a),および図6(a)に示す電圧制御フィルタ
のA−A断面図ある。
【図7】本発明の第4の実施例の電圧制御フィルタの斜
視図(a),および図7(a)に示す電圧制御フィルタ
のB−B断面図ある。
【図8】図7に示す電圧制御フィルタ等価回路図であ
る。
【図9】本発明の第5の実施例の電圧制御フィルタの斜
視図(a),および図9(a)に示す電圧制御フィルタ
のA−A断面図ある。
【図10】図9に示す電圧制御フィルタ等価回路図であ
る。
【図11】本発明の第1実施例の電圧制御フィルタが無
線機に組み込まれた構成を示す図である。
【図12】従来のLCフィルタが無線機に組み込まれた
構成を示す図である。
【符号の説明】
10,40 電圧制御フィルタ 11_1,11_2,11_3,11_4,41,41
a,41b,61,71_1,71_2,72_1,7
2_2,72_3,91 インダクタ素子 12_1,12_2,12_3,12_4,51,81
_1,81_2,81_3,81_4,99 ダイオー
ド 12a,12b,12c,12d,81,82,94
アルミ電極 13,42,92 入力端子 14,43,93 出力端子 15,44,65,76 基板 15a,44a,76a,95a P型拡散層 16_1,16_2,16_3,16_4,47,8
4,98 N型拡散層 17,45,96 SiO2 膜 18_1,18_2,18_3,18_4,46,8
5,97 N+ 型拡散層 19,48,77,96 Au層 31,32,33 コンデンサ 34 RFチョークコイル 35,36 外部端子 62 金属層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 周波数特性を規定する回路定数に内部容
    量が組み込まれてなる、印加される電圧に応じて該内部
    容量が変化するダイオードを備えたことを特徴とする電
    圧制御フィルタ。
  2. 【請求項2】 前記電圧制御フィルタが集積化されてな
    ることを特徴とする請求項1記載の電圧制御フィルタ。
JP23738694A 1994-09-30 1994-09-30 電圧制御フィルタ Withdrawn JPH08102636A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6018282A (en) * 1996-11-19 2000-01-25 Sharp Kabushiki Kaisha Voltage-controlled variable-passband filter and high-frequency circuit module incorporating same
KR100377518B1 (ko) * 1999-11-25 2003-03-26 알프스 덴키 가부시키가이샤 능동필터 및 그 대역 조정방법
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