JPH0810522Y2 - ハンドリング機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 搬送ロボットのハンドリング機構に関し， 同一ハンドで外形寸法の異なる対象物の着脱を可能と
し，対象物を並べる時の占有面積を最小にし，異常時の
対象物の落下を防止することを目的とし， 搬送ロボットにより対象物を把持する機構であって，
ロボットの方は，ハンド（１）と一対のフィンガ（２）
と爪（６）とを有し，ハンドはロボットの搬送アームに
保持されるものであり，フィンガを下向きに且つ平行に
保持し且つフィンガの開閉機構を持ち，各々のフィンガ
はその先端に爪を保持し，爪は開閉方向に外向きに突出
しており，対象物の方は，その上部に互いに内向きに一
対の鉤型の溝（８）を有し，フィンガの開閉により，爪
が溝に入出できるように構成される。

〔産業上の利用分野〕

本考案は搬送ロボットのハンドリング機構に関する。

近年の半導体工業の自動化は目覚ましく，各工程の手
作業は皆無といっていいほどであるが，各製造装置間の
搬送の自動化も望まれる。本考案は，例えばリードフレ
ーム等を収納したマガジン等の自動搬送装置に適用でき
る。

〔従来の技術〕

第３図（１），（２）は従来例による搬送ロボットの
ハンドリング機構の斜視図と正面図である。

図において，従来の機構はロボットの搬送アームに取
り付けられたハンド31に設けられたフィンガ32がハンド
リングの対象物であるマガジン33の両側面を外側から挟
み込んで把持するように構成されている。

矢印はフィンガ32の移動方向を示す。

〔考案が解決しようとする課題〕

従って，従来技術ではフィンガの開閉ストロークには
限度があるため，着脱可能なマガジンの外形寸法は限定
される。そのためマガジン寸法を変更する場合はハンド
もそれに応じて変更しなければならなかった。

又，第３図（２）のように多数のマガジンを並べて置
く場合はフィンガが入る間隔を開ける必要があった。そ
のため，対象物を並べて置く場合の占有面積が大きくな
る。

又，フィンガの開閉をエア駆動で行った場合にエア圧
力の低下や停電等の異常時にマガジンをクランプする力
が低下し，マガジンを落下させる危険がある。

本考案は同一ハンドで寸法の異なるハンドリング対象
物の着脱を可能とし，対象物を並べて置くときの占有面
積を最小にし，異常時の対象物の落下を防止することを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題の解決は，搬送ロボットにより対象物を把持
する機構であって，ロボットは，ハンド（１）と一対の
フィンガ（２）と爪（６）とを有し，前記ハンド（１）
はロボットの搬送アームに保持されるものであり，前記
フィンガ（２）を下向きに且つ平行に保持し，且つ前記
フィンガ（２）の開閉機構を持ち，前記一対のフィンガ
（２）は開閉ストロークが一定であり且つその先端に前
記爪（６）を保持し，前記爪（６）はフィンガ（２）の
開閉方向に外向きに突出しており，対象物は，その上面
内に互いに内向きに前記開閉ストロークに合わせて一定
の間隔を開けて設けられた一対の鉤型の溝（８）を有
し，前記フィンガ（２）の開閉により，前記爪（６）が
前記溝（８）に入出できるように構成されているハンド
リング機構により達成される。

〔作用〕 本考案のハンドリング機構は， マガジン上部に設けた鉤型の溝にフィンガの爪が内
側からクランプするので，外径寸法の異なるマガジンで
も同じ寸法の溝を設けておけば同一ハンドで着脱可能と
なり， フィンガの寸法をマガジンの幅以下に作成しておけ
ば，マガジンを間隔を開けないでセットすることができ
るようになり， マガジン溝とフィンガの爪は鉤型をして自己保持で
きるため，フィンガ駆動に異常が生じてクランプ力が低
下してもマガジンは落下しないようになる。

〔実施例〕

第１図（１）〜（３）は本考案の一実施例による搬送
ロボットのハンドリング機構の斜視図と構造図である。

第１図（１）は斜視図であり，第１図（２），（３）
はフィンガ部の詳細図で，それぞれ正面図と一部断面を
示す側面図である。

この実施例のハンドリング機構はウエハの工程間搬送
に使用した例である。

ウエハはマガジンに収納されて，マガジンごとに搬送
される。

図中の矢印は爪の移動方向を示す。

図において，実施例の機構は，ハンド１に設けられた
一対のフィンガ２は開閉可能に構成されている。

フィンガ２は，ハウジング３とストッパ４とを有し， ハウジング３は各フィンガに取りつけられ，内部にば
ね７とシャフト５を収容し， ストッパ４はシャフトの一端をハウジングの外に出し
て抜けないように保持してハウジングに固定され， ばね７はシャフト５をストッパ４に押しつけており，
爪６が対象物（マガジン）９に到達したときの逃げの役
目をしており， 爪６はシャフト５の先端に取りつけられ， 一対の鉤型の溝８はマガジン９の上部にお互いに内向
きに設けられており， フィンガ２の開閉により，爪６が鉤型の溝８に入出で
きるように構成されている。

ここで，フィンガ２の開閉機構は第３図の従来例と同
様のものでよく，エア，カム等を用いて通常の手段で構
成される。

第２図（１）〜（４）は実施例の機構の動作を説明する
図である。

図で，（１）→（４）の矢印はフィンガのクランプ動
作を示し，（４）→（１）の矢印はフィンガのクランプ
解除動作を示している。

実施例では，ウエハ搬送に本考案を用いたがその他の
もの，例えばリードフレームを収納したマガジンの搬送
にも適用できる。

以上の説明から分かるように，本考案の特徴はウエハ
又はリードフレームの大きさが変わっても，即ちこれら
を収納するマガジンの大きさが変わっても搬送ラインを
変更することなく，同一搬送ラインを使用できる点であ
ると言える。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によれば，同一ハンドで外
形寸法の異なるハンドリング対象物の着脱を可能とし，
対象物を並べたときの占有面積を最小にし，異常時の対
象物の落下を防止することができる。

これにより，ロボット等による自動搬送の汎用化及び
高信頼化が達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（１）〜（３）は本考案の一実施例による搬送ロ
ボットのハンドリング機構の斜視図と構造図， 第２図（１）〜（４）は実施例の機構の動作説明図， 第３図は（１），（２）は従来例による搬送ロボットの
ハンドリング機構の斜視図と正面図である。 図において， １はハンド,2はフィンガ,3はハウジング,4はストッパ,5
はシャフト,6は爪,7はばね,8は鉤型の溝,9はハンドリン
グ対象物でマガジンである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】搬送ロボットにより対象物を把持する機構
   であって， ロボットは，ハンド（１）と一対のフィンガ（２）と爪
   （６）とを有し， 前記ハンド（１）はロボットの搬送アームに保持される
   ものであり，前記フィンガ（２）を下向きに且つ平行に
   保持し，且つ前記フィンガ（２）の開閉機構を持ち， 前記一対のフィンガ（２）は開閉ストロークが一定であ
   り且つその先端に前記爪（６）を保持し， 前記爪（６）はフィンガ（２）の開閉方向に外向きに突
   出しており， 対象物は，その上面内に互いに内向きに前記開閉ストロ
   ークに合わせて一定の間隔を開けて設けられた一対の鉤
   型の溝（８）を有し， 前記フィンガ（２）の開閉により，前記爪（６）が前記
   溝（８）に入出できるように構成されていることを特徴
   とするハンドリング機構。