JPH081067A - 回転カップ式薬液処理装置の洗浄構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薬液処理装置を分解することなく、確実にか
つ迅速に内部を洗浄することができるようにする。 【構成】 上面開口に着脱自在のフード３が設けられ、
かつ、環状堰部２２ａに複数の薬液排出孔が設けられた
回転カップ２と、この回転カップ２を垂直軸の軸心回り
に共回り可能に支持する軸受体と、回転カップ２の環状
堰部２２ａおよび環状堰部２２ａの底面部を囲繞し、か
つ、薬液排出孔に対応した環状の薬液回収通路を有する
ケーシング４とを備え、ケーシング４内には、環状堰部
２２ａの外側の薬液排出孔近傍に洗浄液を供給する上部
洗浄液通路４３ａと下部洗浄液通路４３ｂとが設けられ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体の素子およびマ
スク、並びに液晶パネル等の製造工程において、ウエ
ハ、マスクあるいは液晶パネル等の表面に薄膜を形成さ
せたり、あるいは同表面を現像したりエッチングする遠
心力を利用した回転カップ式薬液処理装置の洗浄構造に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においては、ウエハ等の
基盤の上に、感光液等の薬液が均一に塗布された塗膜が
形成される。このような塗膜に所定の処理が施されて半
導体製品が製造される。塗膜の厚みは通常数ミクロンあ
るいはそれ以下と極めて薄く、また均一な厚みが要求さ
れることから、上記要求を満足させることが可能な図６
に示すような薬液処理装置１０が利用される。

【０００３】この図に示すように、薬液処理装置１０
は、回転カップ２０と、この回転カップ２０の上面を被
覆するフード３０と、回転カップ２０を軸心回りに回転
可能に支持しかつ外周部を被覆するケーシング４０とを
備えた構成を有している。上記回転カップ２０の上面に
基盤Ｂを吸着配置し、その上に薬液を滴下した後、フー
ド３０で覆って回転カップ２０を高速回転させることに
よって、遠心力で回転中心から径方向に薬液を拡散させ
て基盤Ｂ上に均一な塗膜を形成させるようになってい
る。

【０００４】回転カップ２０の外周縁部には、フード３
０と回転カップ２０との間に形成される基盤載置空間Ｓ
と外部とを連通する複数の排出孔２０１が穿設され、余
分な薬液がこれらの排出孔２０１を介してケーシング４
０に設けられた回収通路４０１内に放出されるようにな
っている。

【０００５】ところで、基盤Ｂの表面に滴下される薬液
は、通常非常に粘稠な液体であることから、回転カップ
２０内で順次基盤Ｂに上記のような所定の薬液処理を施
したままで放置しておくと回転カップ２０内に薬液が残
留する。この残留した薬液が乾燥して粉塵となり、つぎ
に処理する基盤Ｂに悪影響を与える等の不都合が生じる
ため、通常所定枚数の基盤Ｂが処理されるたびに回転カ
ップ２０内の洗浄処理が施される。

【０００６】上記洗浄処理は、フード３０を上方に退避
させ、かつ、回転カップ２０を回転させた状態で移動式
の洗浄ノズルの先端を回転カップ２０内に臨ませ、洗浄
液を洗浄ノズルから噴射するのが一般的である。こうす
ることによって、回転カップ２０内に供給された洗浄液
は、回転カップ２０の高速回転による遠心力によって拡
散しながら径方向に移動し、内部に付着していた薬液が
洗い流される。薬液を溶解した洗浄液は排出孔２０１か
ら回収通路４０１内に排出される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のような洗浄処理
によって回転カップ２０内は常に清浄化されているが、
薬液の付着堆積はなにも回転カップ２０内に限られるも
のではない。すなわち、通常の操業時に薬液は回転カッ
プ２０の回転によって径方向に飛散し、排出孔２０１を
通って回収通路４０１に回収されるため、薬液は回転カ
ップ２０の外周面や、回収通路４０１の内壁面にも付着
して成長する。このような薬剤の付着堆積を放置する
と、回収薬液の通路の各所を閉塞してしまうことがあ
る。

【０００８】また、回転カップ２０の回転変化に伴う回
転カップ２０の外周付近の圧力変動によって回収通路４
０１から回転カップ２０の裏面に向かう気流が生じる。
そして、この気流に同伴して回収薬液が回転カップ２０
の狭隘な裏面部分に入り込むため、この部分にも薬液が
付着し、回転カップ２０の正常な回転を妨害するように
なる。また、この部分に付着した薬液が乾燥して粉塵と
なり、回転カップ２０の回転変化やフード３０の昇降に
伴う回転カップ２０内の圧力変動に乗じて上記粉塵が回
転カップ２０内に流入し、基板Ｂに悪影響を及ぼすこと
がある。

【０００９】そこで、従来定期的に薬液処理装置１０を
分解して狭隘な部分を洗浄することが行われるが、一々
分解掃除をするのは面倒であり、非常に多くの人手と時
間とが消費されるという問題点を有していた。

【００１０】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、薬液処理装置を分解することなく、
薬液処理装置の狭隘な部分に付着した薬液を確実にかつ
迅速に洗浄することが可能な回転カップ式薬液処理装置
の洗浄構造を提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
回転カップ式薬液処理装置の洗浄構造は、軸受体に支持
された垂直軸の軸心回りに共回り可能に支持され、か
つ、外周壁部に複数の薬液排出孔が設けられた回転カッ
プと、上記回転カップの外周壁部を囲繞し、かつ、上記
薬液排出孔に対応した環状の薬液回収通路を有するケー
シングとを備えた回転カップ式薬液処理装置において、
上記ケーシング内には、先端開孔が上記薬液排出孔に臨
んだ洗浄液通路が設けられていることを特徴とするもの
である。

【００１２】本発明の請求項２記載の回転カップ式薬液
処理装置の洗浄構造は、軸受体に支持された垂直軸の軸
心回りに共回り可能に支持され、かつ、外周壁部に複数
の薬液排出孔が設けられた回転カップと、上記回転カッ
プの外周壁部および外周壁部の底面部を囲繞し、かつ、
上記薬液排出孔に対応した環状の薬液回収通路を有する
ケーシングとを備えた回転カップ式薬液処理装置におい
て、上記回転カップの外周壁部の底面部に対向したケー
シングには垂直軸の軸心を中心にした環状の洗浄液溝が
形成され、この洗浄液溝に洗浄液通路が接続されている
ことを特徴とするものである。

【００１３】本発明の請求項３記載の回転カップ式薬液
処理装置の洗浄構造は、請求項２記載の回転カップ式薬
液処理装置の洗浄構造において、上記洗浄液溝の外方に
は上記薬液回収通路の上面に連通した洗浄孔が穿設され
ていることを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】上記請求項１記載の回転カップ式薬液処理装置
の洗浄構造によれば、ケーシング内には、先端開口が薬
液排出孔に臨んだ洗浄液通路が設けられているため、回
転カップを垂直軸の軸心回りに回転させた状態で、上記
洗浄液通路を介して洗浄液を供給すれば、この洗浄液は
外周壁部の外側の薬液排出孔に噴射され、孔やその周囲
に付着している薬液が洗浄液に溶解され、外周壁部が清
浄化されるとともに、洗浄液は遠心力によって回転カッ
プの径方向外方に飛散する。

【００１５】そして、この洗浄液の飛散によって、ケー
シングの薬液回収通路内に付着している薬液が洗い流さ
れ、薬液回収通路内が清浄化される。薬液を溶解した洗
浄液は薬液回収通路を通って系外に排出される。

【００１６】上記請求項２記載の回転カップ式薬液処理
装置の洗浄構造によれば、回転カップの外周壁部の底面
部に対向したケーシングには垂直軸の軸心を中心にした
環状の洗浄液溝が形成され、この洗浄液溝に洗浄液通路
が接続されているため、回転カップの回転状態において
洗浄液通路に送り込まれた洗浄液は、一旦環状の洗浄液
溝内に供給され、この溝内に満たされるとともに、回転
カップの回転に誘導されて溝内を回転方向に移動するよ
うになる。

【００１７】そして、この溝に沿った円運動によって洗
浄液に遠心力が加わり、洗浄液は洗浄液溝の外側の壁を
乗り越えて径方向に向かう力を受けるため、この力によ
って洗浄液は回転カップの外周壁部の底面部と、これに
対向しているケーシングの上面との隙間から外方に向か
って飛散し、薬液回収通路に捕捉される。このような洗
浄液の飛散によって、上記隙間や、回転カップの薬液排
出孔付近、さらには回収通路内に付着している薬液が有
効に溶解除去される。

【００１８】また、回転カップが回転していなくても、
洗浄液溝より汪溢した洗浄液が、上記隙間を通って流れ
落ちるため、上記隙間やケーシング上面に付着している
薬液を溶解除去することができる。

【００１９】上記請求項３記載の回転カップ式薬液処理
装置の洗浄構造によれば、洗浄液溝の外方には上記薬液
回収通路の上面に連通した洗浄孔が穿設されているた
め、洗浄液溝から汪溢した洗浄液の一部はこの洗浄孔か
ら薬液回収通路内に排出され、同通路の内壁面を濡らし
ながら下降する。この洗浄液の平面的な拡散状態の内壁
面に沿った下降によって、薬液回収通路内の死角になり
易い部分が有効に洗浄される。

【００２０】

【実施例】図１は、本発明の洗浄構造が適用される回転
カップ式薬液処理装置の一例を示す一部切欠き斜視図で
あり、図２はそのＡ−Ａ線断面図である。これらの図に
示すように、薬液処理装置１は、円盤状の回転カップ
２、この回転カップ２の上面を覆うフード３、上記回転
カップ２が嵌装されるケーシング４、フード３の着脱を
行うフード着脱機構５、回転カップ２を回転させるカッ
プ回転機構６、および中径軸部２１を昇降させる昇降機
構７とから構成されている。

【００２１】上記回転カップ２は、中径軸部２１と、環
状皿部２２とから構成されている。上記環状皿部２２の
上面は、上記中径軸部２１の上面と面一、あるいはわず
かに低い面一状になるように寸法設定されており、この
面一の面に塗膜形成を施す基盤Ｂが中径軸部２１の中心
軸に一致して載置されるようになっている。上記環状皿
部２２の外周縁部には上方に突出した環状堰部（外周壁
部）２２ａが設けられており、環状堰部２２ａでフード
３を受けるようになっている。フード３が装着された状
態でこの環状堰部２２ａによって囲まれた部分に基盤載
置空間Ｓが形成される。

【００２２】上記環状堰部２２ａの下部の周面には基盤
載置空間Ｓから外方に向かって斜め下方に傾斜した小径
の排出孔２０１が所定間隔で複数個穿設されており、こ
の排出孔２０１を介して基盤載置空間Ｓ内の余分な薬液
を外部に排出するようになっている。

【００２３】上記中径軸部２１の下部には同心の回転軸
（垂直軸）２３が共回り可能に結合されている。中径軸
部２１および回転軸２３の軸心部分にはそれらを貫通し
た吸気通路２３ａが形成されており、図略の真空ポンプ
を作動することによって回転軸２３の下端部に接続され
たチューブ２３ｂを介して基盤Ｂを中径軸部２１に吸引
するようになっている。

【００２４】回転カップ２は、中径軸部２１の小径部が
筒状の大径軸部２４の筒孔に嵌め込まれた状態で大径軸
部２４に固定されている。この大径軸部２４の上部には
フランジ部２４ａが形成され、このフランジ部２４ａに
上記回転カップ２の環状皿部２２が固定されている。

【００２５】大径軸部２４の下部は、支持架台Ｐに穿設
された装着孔Ｐ１に嵌め込まれ、外周面にフランジ（軸
受体）２５ａを有する支持筒体２５に、ベアリング２６
を介して嵌装されている。従って、回転カップ２は、支
持架台Ｐに対して回転軸２３の軸心回りに回転可能にな
っている。

【００２６】上記フード３は、フード本体３１、このフ
ード本体３１の中心部が上方に突出した円柱状の把持部
３２、およびフード本体３１の外周縁部が上方に膨出し
た膨出縁部３３から構成されている。この膨出縁部３３
は上記環状堰部２２ａに対応して設けられているもの
で、膨出縁部３３の底面部が環状堰部２２ａの上面部に
当接することによって回転カップ２を閉止するようにな
っている。上記把持部３２の頂部には後述するフード着
脱機構５による着脱動作を可能にすべくその下の胴部３
２ａよりも径の大きい鍔部３２ｂが形成されている。

【００２７】上記回転カップ２の外周部に形成された環
状堰部２２ａの上面部には、図３に示すように、環状で
あって断面矩形状の内側突起２７と外側突起２８とから
なる二条の突起が径方向に所定間隔を置いて設けられて
いる。そして、上記外側突起２８の内周面の上部には内
側に突出した環状の抜け止め片２８ａが設けられてい
る。この抜け止め片２８ａは先細りに形成されその下面
部には斜めの上部傾斜壁２８ｂが形成されている。

【００２８】そして、内側突起２７と外側突起２８との
間であって上記抜け止め片２８ａに対向するように上部
傾斜壁２８ｂに平行ないしは略平行な下部傾斜壁２８ｃ
が形成され、上部傾斜壁２８ｂと下部傾斜壁２８ｃとの
間にゴムなどの柔軟性を有する環状のＯリング９の少な
くとも半分が入る断面形状を有した環状の嵌入溝２９が
形成されている。この嵌入溝２９にＯリング９が嵌入さ
れ、シール構造が形成されている。

【００２９】なお、本実施例においては、嵌入溝２９は
水平、垂直面がそれぞれ平面状に形成されているが、平
面状に限定されるものではなく、Ｏリング９の断面形状
に沿って曲面にしてもよい。但し、嵌入溝２９は貫入さ
れたＯリング９の密度分布が一様になるように、少なく
ともＯリング９の嵌入する部分の断面に等しいか、それ
より多少大きめの断面積を有する寸法形状に設定するこ
とが好ましい。

【００３０】一方、フード本体３１の周縁上部に膨設さ
れた上記膨出縁部３３の下面部には上記内側突起２７に
対応した内側環状溝３３ａと、上記外側突起２８に対応
した外側環状溝３３ｂとが断面矩形状に凹設され、これ
ら内側環状溝３３ａと外側環状溝３３ｂとの間に、環状
の嵌入突起（環状突起）３３ｃが、内側突起２７と外側
突起２８との間隙部に嵌入されるようになっている。

【００３１】図３は図２の要部の部分拡大図であり、図
４は、ケーシングを示す斜視図である。これらの図なら
びに図１および図２に示すように、上記ケーシング４は
環状体で形成され、大径軸部２４が嵌め込まれた状態で
フランジ２５ａに支持固定されている。具体的には、ケ
ーシング４は、回転カップ２の環状堰部２２ａを囲繞す
る上部中実部４０２と、ケーシング４の外周面を形成す
る外周中実部４０２ａと、この外周中実部４０２ａに引
き続いてケーシング４の下部を形成する下部中実部４０
３と、ケーシング４の内周面を形成する内側中実部４０
４とから構成されている。

【００３２】そして、ケーシング４の内部には、上部中
実部４０２、外周中実部４０２ａ、下部中実部４０３お
よび内側中実部４０４によって包囲された環状の回収通
路４０１が形成されている。上記内側中実部４０４の頂
部には回転カップ２の環状堰部２２ａの下面部に対向し
た環状上面部４０５が形成されている。この環状上面部
４０５には、径方向外方に向かった先下がりの環状庇部
４０５ａが突設されており、この環状庇部４０５ａの上
面部と上部中実部４０２の下面部との間に回収通路４０
１に連通する環状の排出用帯孔４１が設けられている。

【００３３】この排出用帯孔４１の開口は上記環状堰部
２２ａに穿設された排出孔２０１に対向して設けられ、
回転カップ２の基盤載置空間Ｓから排出された不要物は
この排出用帯孔４１を介して回収通路４０１内に導入さ
れるようになっている。回収通路４０１の周方向一部に
は下方に向かって垂直孔４２が設けられ、回収通路４０
１に溜った不要物はこの垂直孔４２から外部に排出され
るようになっている。

【００３４】また、薬液処理装置１には、フード３を回
転カップ２に対して着脱するために、フード着脱機構５
が設けられている。このフード着脱機構５は、ケーシン
グ４に囲繞され、フード３を閉止する蓋体５１、水平腕
が蓋体５１に固定されたＬ字アーム５２、およびこのＬ
字アーム５２を上下動させるシリンダ５３から構成され
ている。このシリンダ５３は縦置きとされ、その頂部に
出没可能に突設されたシリンダロッド５４の上端部がＬ
字アーム５２の垂直腕に固定されている。

【００３５】上記蓋体５１の中央部には上記把持部３２
の胴部３２ａの外径より大径でかつ鍔部３２ｂよりも小
径の嵌入孔５１ｂが設けられ、また蓋体５１の中央部に
は鍔部３２ｂを内部に収容する伏せ椀部５１ａが設けら
れている。シリンダ５３により蓋体５１を上方に引き上
げると、上記嵌入孔５１ｂの縁部が鍔部３２ｂに係合し
て、フード３も上方に引き上げられる。

【００３６】また、上記回転カップ２を回転軸２３の軸
心回りに回転させるために、支持架台Ｐの下部にはカッ
プ回転機構６が設けられている。このカップ回転機構６
は、駆動モータ６１、この駆動モータ６１の駆動軸に共
回りするように設けられた駆動プーリ６２、大径軸部２
４およびボールスプライン６３ａと共回りするように設
けられた従動プーリ６３および駆動プーリ６２と従動プ
ーリ６３との間に張設されたベルト６４から構成されて
いる。

【００３７】上記回転軸２３の外周面にはスプラインが
形成されており、このスプラインに噛合するボールスプ
ライン６３ａが大径軸部２４の筒孔の下部に嵌入固定さ
れている。上記従動プーリ６３は大径軸部２４およびボ
ールスプライン６３ａと共回りするように固定されてい
る。従って、上記駆動モータ６１の回転力は駆動プーリ
６２、ベルト６４および従動プーリ６３を介して大径軸
部２４およびボールスプライン６３ａに伝達され、ま
た、上記ボールスプライン６３ａを介して回転軸２３に
伝達され、中径軸部２１および環状皿部２２からなる回
転カップ２が回転するようになっている。

【００３８】また、回転軸２３の下部には昇降機構７が
設けられている。この昇降機構７は、回転軸２３の下端
部近傍に縦置き状態で設けられた第二シリンダ７１、こ
の第二シリンダ７１のシリンダロッド７２の上端部に結
合された昇降ブロック７３およびこの昇降ブロック７３
の上下動をガイドするための上下方向に延びたガイドレ
ール７４から構成されている。

【００３９】上記昇降ブロック７３は、ベアリング７３
ａを介して回転軸２３の下部に結合されており、第二シ
リンダ７１を作動させてシリンダロッド７２を上下動さ
せることにより回転軸２３を上下動させるようになって
いる。回転軸２３が第二シリンダ７１の作動によって上
昇させられると、その頂部に設けられた回転カップ２の
中径軸部２１と大径軸部２４との結合状態が解除され、
中径軸部２１のみが環状皿部２２に対して上方に移動
し、基盤Ｂの載置や取り上げ動作が容易に行い得るよう
になる。

【００４０】本発明の洗浄構造が適用される回転カップ
式薬液処理装置は以上のように構成されているので、基
盤Ｂの表面に塗膜を形成させるには、まず、図２の二点
鎖線で示すように、シリンダ５３を作動させてシリンダ
ロッド５４、Ｌ字アーム５２および伏せ椀部５１ａを介
して蓋体５１を上昇させる。そうすると、伏せ椀部５１
ａが把持部３２の鍔部３２ｂを摘んだ状態でフード３を
上方に持ち上げ、回転カップ２の基盤載置空間Ｓが外部
に露出した状態になる。

【００４１】この状態でさらに第二シリンダ７１を作動
させて昇降ブロック７３を上昇させれば、この上昇によ
って回転軸２３を介して中径軸部２１は上昇し、その上
面部が基盤載置空間Ｓから外部に突出した状態になる。
この状態で中径軸部２１の上面に図略のロボットアーム
等あるいはマニュアル操作で基盤Ｂを正確に載置し、さ
らに基盤Ｂの表面に所定量の薬液を滴下する。そして、
あるいは載置直後に吸気通路２３ａを介して真空吸着を
行う。その後第二シリンダ７１を上記と逆に作動させて
中径軸部２１を下降させ、再度環状皿部２２と面一状態
にする。

【００４２】そして、シリンダ５３を上記と逆に作動さ
せてフード３を下降させ、基盤載置空間Ｓを閉止する。
なお、基盤Ｂの吸引はフード３の閉止後すなわち回転カ
ップ２の回転開始までに行うようにしてもよい。

【００４３】この状態でカップ回転機構６の駆動モータ
６１を駆動させれば、その回転駆動は駆動プーリ６２、
ベルト６４、従動プーリ６３およびボールスプライン６
３ａを介して回転軸２３および大径軸部２４に伝達さ
れ、これにらに接続された回転カップ２は所定の速度で
回転する。この回転カップ２の回転による遠心力で基盤
Ｂ上に滴下された薬液は径方向に薄く拡散し、基盤Ｂの
表面に塗膜が形成される。基盤Ｂ上から振り切られた余
分な薬液は、回転カップ２の環状堰部２２ａに穿設され
た排出孔２０１から排出され、ケーシング４の排出用帯
孔４１を介して回収通路４０１内に導入され、垂直孔４
２から外部に導出される。

【００４４】そして、所定時間経過後、駆動モータ６１
の回転駆動を停止し、シリンダ５３を駆動させてシリン
ダロッド５４を上方に移動させることによってフード３
は持ち上げられ、回転カップ２上の塗膜が形成された直
後の基盤Ｂが露出した状態になる。この状態で、第二シ
リンダ７１の作動によってシリンダロッド７２が上昇
し、このシリンダロッド７２に結合された回転軸２３を
介して回転カップ２の中径軸部２１は上昇し、その上に
載置された基盤Ｂは基盤載置空間Ｓから外部に押し出さ
れる。そして、基盤Ｂは同様にロボットアーム等によっ
て回転カップ２から取り出され、つぎの工程に移送され
ることになる。以上の操作を繰り返すことによって順次
基盤Ｂの表面に薬液の均一な塗膜が形成されることにな
る。

【００４５】そして、本発明においては、上記のような
薬液処理装置１のケーシング４内に、図１〜図５に示す
ような上部洗浄液通路４３ａおよび下部洗浄液通路４３
ｂからなる洗浄液通路４３が設けられている。上部洗浄
液通路４３ａは、ケーシング４の回収通路４０１よりも
上部の中実部分（上部中実部４０２）に水平方向に穿設
されている。そしてこの上部洗浄液通路４３ａは、ケー
シング４の外周面に一方の開口を有し、回転カップ２の
環状堰部２２ａの外周面であって、排出孔２０１の上部
に臨んだ部分に他方の開口を有している。

【００４６】また、下部洗浄液通路４３ｂは、ケーシン
グ４の下部の外周面に一方の開口を有し、この開口から
回収通路４０１よりも下部の中実部分（下部中実部４０
３）において中心方向に向かって水平に延ばされ、さら
にケーシング４の回収通路４０１よりも内側の中実部分
（内側中実部４０４）において上方に延ばされ、その上
端部に環状堰部２２ａの堰部底面２２ｂに対向した他方
の開口を有している。

【００４７】これらの洗浄液通路４３のケーシング４の
外周面側の開口には、ジョイント４４が螺着され、図４
に示すように、このジョイント４４に接続された洗浄液
配管４５を介して洗浄液ポンプ４６の駆動により洗浄液
層４７内の洗浄液が洗浄液通路４３内に供給されるよう
になっている。

【００４８】上記洗浄液ポンプ４６の代わりに、洗浄液
が密閉された容器に窒素やヘリウム等の不活性ガスを圧
入して洗浄液を洗浄液通路４３内に送り出す、いわゆる
圧送装置を用いるようにしてもよい。

【００４９】なお、図１、図２および図３においては、
上記下部洗浄液通路４３ｂが下部中実部４０３から内側
中実部４０４を上方に延びるように設けられた例を示し
ているが、図４および図５には、下部洗浄液通路４３ｂ
が一旦下部中実部４０３の中心側で水平方向に分岐さ
れ、それぞれの先の部分が上方に延びるようにした例が
示されている。

【００５０】一方、ケーシング４の内側中実部４０４の
環状上面部４０５には、環状の洗浄液溝４０６が設けら
れている。そして、この洗浄液溝４０６の底部に下部洗
浄液通路４３ｂの先端側の開口が設けられており、この
開口から洗浄液溝４０６内に洗浄液が供給されるように
なっている。また、上記洗浄液溝４０６の外方の堰部に
は上記環状庇部４０５ａの下部の回収通路４０１に連通
した洗浄液を回収通路４０１に逃すための洗浄孔４０６
ａが穿設されている。

【００５１】この洗浄孔４０６ａの下端開口は、断面視
が円弧形状の回収通路４０１の天井面最頂部に位置して
いる。従って、洗浄孔４０６ａを通った洗浄液は、表面
張力の作用によって洗浄孔４０６ａの径方向の内方およ
び外方に形成された回収通路４０１の天井部の傾斜面４
０１ａにそって拡散しながら下降する。

【００５２】本発明の回転カップ式薬液処理装置の洗浄
構造は以上のように、ケーシング４の中実部分に洗浄液
を流通させるための上部洗浄液通路４３ａおよび下部洗
浄液通路４３ｂからなる洗浄液通路４３を形成させ、そ
の先端開口を廃液によって薬液処理装置１内部の汚染さ
れ易い被洗浄対象部位に対向させた構成を備えてなるも
のであるため、洗浄に際しては回転カップ２を回転軸２
３回りに回転させた状態で、洗浄液ポンプ４６を稼働さ
せ、洗浄液層４７内の洗浄液を送り出せば、洗浄液は洗
浄液配管４５を通ってケーシング４内の洗浄液通路４３
に導入され、この洗浄液通路４３の先端部の開口から汚
染部分に供給されて洗浄が行われる。

【００５３】そして、上記洗浄液通路４３の内の上部洗
浄液通路４３ａに導入された洗浄液は、上部洗浄液通路
４３ａの先端開口から回転している回転カップ２の環状
堰部２２ａの外周面（エッジ部）に向けて噴射されるた
め、このエッジ部に供給された洗浄液は、回転カップ２
の回転の遠心力によって径方向にふき飛ばされ、排出用
帯孔４１の上部中実部４０２側の内壁面に衝突する。こ
の洗浄液の衝突によって、薬液処理装置１の操業運転時
に回転カップ２の排出孔２０１から排出されて内壁面に
付着堆積した粘稠な薬液の付着層は洗浄液に溶解し上記
内壁面は洗浄される。

【００５４】また、上記下部洗浄液通路４３ｂに導入さ
れた洗浄液は、先端開口からケーシング４の環状上面部
４０５に凹設された環状の洗浄液溝４０６に供給され
る。そして、この洗浄液溝４０６に供給された洗浄液
は、溝内で満杯になると径方向外方の堰部を汪溢し、回
転カップ２の環状堰部２２ａとケーシング４の環状上面
部４０５との間の隙間を通って外部に移動する。

【００５５】そして、上記隙間を径方向外方に移動した
洗浄液の一部は、ケーシング４の環状庇部４０５ａを流
れ落ち、この部分に付着している薬液を洗い落して回収
通路４０１内に落下するとともに、洗浄液の残部は、上
記環状上面部４０５の堰部に上下方向に穿設された洗浄
孔４０６ａを通って垂下し、下部の開口から回収通路４
０１の天井部の傾斜面４０１ａを濡らしながら下降する
ため、回収通路４０１の死角部分である天井部も清浄に
洗浄される。洗浄後の洗浄液は、回収通路４０１を通っ
て垂直孔４２から系外に排出される。

【００５６】なお、下部洗浄液通路４３ｂを通って洗浄
液溝４０６に供給された洗浄液は、環状上面部４０５の
洗浄液溝４０６より内側に突設された環状壁４０５ｂに
遮られるため、それより中心側に向けて流れ出ることは
なく、ケーシング４の中央部の環状穴に嵌め込まれた回
転カップ２の大径軸部２４や回転軸２３さらには従動プ
ーリ６３等の回転機構が洗浄液で汚染されることはな
い。

【００５７】以上の実施例においては、ケーシング４に
は洗浄液通路４３として上部洗浄液通路４３ａおよび下
部洗浄液通路４３ｂが設けられているが、本発明の洗浄
構造は、ケーシング４内に上部洗浄液通路４３ａおよび
下部洗浄液通路４３ｂの双方を設けることに限定される
ものではなく、いずれか一方のみを設けるようにしても
よい。

【００５８】というのは、上部洗浄液通路４３ａのみを
設けた場合には、回収通路４０１の天井面への洗浄液の
供給は行われなくなるが、この部分は薬液が最も付着堆
積し難い部分であるため、特に頻繁に洗浄する必要はな
く、定期的な分解整備のときに洗浄すれば足るからであ
る。なお、本実施例においては、回収通路４０１の上部
に環状庇部４０５ａが設けられおり、この環状庇部４０
５ａの存在によって回収通路４０１の天井部が上部洗浄
液通路４３ａからの洗浄液の供給上死角になっている
が、環状庇部４０５ａが設けられていない場合には、上
記死角部分がなくなるため、特に下部洗浄液通路４３ｂ
を設けなくても回収通路４０１の内面全体に洗浄液をい
きわたらせることが可能になる。

【００５９】また、下部洗浄液通路４３ｂのみを設けた
場合には、洗浄液は回転カップ２の環状堰部２２ａとケ
ーシング４の環状上面部４０５との間の隙間を通って外
部に移動するため、一部はケーシング４の環状庇部４０
５ａを流れ落ち、残部は上記環状上面部４０５の堰部に
上下方向に穿設された洗浄孔４０６ａを通って垂下し、
回収通路４０１内のすべての部分をカバーするため特に
不都合はない。

【００６０】なお、上記実施例のように上部洗浄液通路
４３ａおよび下部洗浄液通路４３ｂの双方を設ければ、
より完全な洗浄効果が得られる。また、これらの洗浄液
通路は、ケーシング４内に放射状に複数通路を設けるよ
うにしてもよい。このように構成すれば、複数の通路か
ら同時に被洗浄部分に洗浄液が供給されるようになり、
洗浄液供給部位の偏りが解消するとともに、洗浄液の供
給量を増加させることができ、より効果的かつ迅速に薬
液処理装置の内部を洗浄することが可能になる。

【００６１】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の回転カップ式薬
液処理装置の洗浄構造は、環状の薬液回収通路を有する
ケーシング内に、先端開口を上記薬液排出孔に臨ませた
洗浄液通路を設けてなるものである。

【００６２】従って、従来行われていたような薬液処理
装置を一々分解して洗浄する面倒な洗浄操作を行うこと
なく、回転カップを回転させた状態で上記洗浄液通路に
洗浄液を送りこむことによって、簡単にかつ迅速に薬液
処理装置の洗浄操作を行うことが可能になり、薬液処理
装置のメンテナンスの省力化上極めて有効である。

【００６３】上記請求項２記載の回転カップ式薬液処理
装置の洗浄構造によれば、回転カップの外周壁部の底面
部に対向したケーシングには垂直軸の軸心を中心にした
環状の洗浄液溝が形成され、この洗浄液溝に洗浄液通路
が接続されているため、回転カップの回転状態において
洗浄液通路に送り込まれた洗浄液は、一旦環状の洗浄液
溝内に供給され、この溝内に満たされるとともに、回転
カップの回転に誘導されて溝内を回転方向に移動するよ
うになる。

【００６４】そして、この溝に沿った円運動によって洗
浄液に遠心力が加わり、洗浄液は洗浄液溝の外側の壁を
乗り越えて径方向に向かう力を受けるため、この力によ
って洗浄液は回転カップの外周壁部の底面部と、これに
対向しているケーシングの上面との隙間から外方に向か
って飛散し、薬液回収通路に捕捉される。このような洗
浄液の飛散によって、上記隙間や、回転カップの薬液排
出孔付近、さらには回収通路内に付着している薬液が有
効に溶解除去される。

【００６５】また、回転カップが回転していなくても、
洗浄液溝より汪溢した洗浄液が、上記隙間を通って流れ
落ちるため、上記隙間やケーシング上面に付着している
薬液を溶解除去することができる。

【００６６】上記請求項３記載の回転カップ式薬液処理
装置の洗浄構造によれば、洗浄液溝の外方には上記薬液
回収通路の上面に連通した洗浄孔が穿設されているた
め、洗浄液溝から汪溢した洗浄液の一部はこの洗浄孔か
ら薬液回収通路内に排出され、同通路の内壁面を濡らし
ながら下降する。この洗浄液の平面的な拡散状態の内壁
面に沿った下降によって、薬液回収通路内の死角になり
易い部分が有効に洗浄される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄構造が適用された回転カップ
式薬液処理装置の一例を示す一部切欠き斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】図２の要部の部分拡大図である。

【図４】本発明に係る洗浄構造を例示する斜視図であ
る。

【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。

【図６】従来の回転カップ式薬液処理装置を説明するた
めの断面視の説明図である。

【符号の説明】

１ 薬液処理装置 ２ 回転カップ ２１ 中径軸部 ２２ 環状皿部 ２２ａ 環状堰部（外周壁部） ２０１ 排出孔 ２３ 回転軸（垂直軸） ２３ａ 吸気通路 ２３ｂ チューブ ２４ 大径軸部 ２５ 支持筒体 ２５ａ フランジ（軸受体） ２６ ベアリング ２７ 内側突起 ２８ 外側突起 ２９ 嵌入溝 ３ フード ３１ フード本体 ３２ 把持部 ３３ 膨出縁部 ４ ケーシング ４１ 排出用帯孔 ４０１ 回収通路 ４０２ 上部中実部 ４０２ａ 外周中実部 ４０３ 下部中実部 ４０４ 内側中実部 ４０５ 環状上面部 ４０５ａ 環状庇部 ４０６ 洗浄液溝 ４０６ａ 洗浄孔 ４２ 垂直孔 ４３ 洗浄液通路 ４３ａ 上部洗浄液通路 ４３ｂ 下部洗浄液通路 ４４ ジョイント ４５ 洗浄液配管 ４６ 洗浄液ポンプ ４７ 洗浄液層 ５ フード着脱機構 ５１ 蓋体 ５２ Ｌ字アーム ５３ シリンダ ５４ シリンダロッド ６ カップ回転機構 ６１ 駆動モータ ６２ 駆動プーリ ６３ 従動プーリ ７ 昇降機構 ７１ 第二シリンダ ７２ シリンダロッド ７３ 昇降ブロック７３ ９ Ｏリング

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 軸受体に支持された垂直軸の軸心回りに
   共回り可能に支持され、かつ、外周壁部に複数の薬液排
   出孔が設けられた回転カップと、上記回転カップの外周
   壁部を囲繞し、かつ、上記薬液排出孔に対応した環状の
   薬液回収通路を有するケーシングとを備えた回転カップ
   式薬液処理装置において、上記ケーシング内には、先端
   開孔が上記薬液排出孔に臨んだ洗浄液通路が設けられて
   いることを特徴とする回転カップ式薬液処理装置の洗浄
   構造。
2. 【請求項２】 軸受体に支持された垂直軸の軸心回りに
   共回り可能に支持され、かつ、外周壁部に複数の薬液排
   出孔が設けられた回転カップと、上記回転カップの外周
   壁部および外周壁部の底面部を囲繞し、かつ、上記薬液
   排出孔に対応した環状の薬液回収通路を有するケーシン
   グとを備えた回転カップ式薬液処理装置において、上記
   回転カップの外周壁部の底面部に対向したケーシングに
   は垂直軸の軸心を中心にした環状の洗浄液溝が形成さ
   れ、この洗浄液溝に洗浄液通路が接続されていることを
   特徴とする回転カップ式薬液処理装置の洗浄構造。
3. 【請求項３】 上記洗浄液溝の外方には上記薬液回収通
   路の上面に連通した洗浄孔が穿設されていることを特徴
   とする請求項２記載の回転カップ式薬液処理装置の洗浄
   構造。