JPH08106974A - 縦型装置用ヒータ - Google Patents

縦型装置用ヒータ

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Publication number
JPH08106974A
JPH08106974A JP23906894A JP23906894A JPH08106974A JP H08106974 A JPH08106974 A JP H08106974A JP 23906894 A JP23906894 A JP 23906894A JP 23906894 A JP23906894 A JP 23906894A JP H08106974 A JPH08106974 A JP H08106974A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating wire
furnace
temperature
spiral groove
insulating material
Prior art date
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Pending
Application number
JP23906894A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshikatsu Kanamori
芳勝 金盛
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Kokusai Denki Electric Inc
Original Assignee
Kokusai Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Kokusai Electric Co Ltd filed Critical Kokusai Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 発熱線の寿命を延長し、発熱線が変形して炉
内に突き出てくるおそれをなくし、断熱材の外面温度を
抑えてヒータパーを抑制する。 【構成】 炉内側の断熱材1内面に、縦幅aが長く奥行
bが短い発熱線収納用螺旋溝2を設け、この螺旋溝2に
断面形状が楕円形状の発熱線3を収めてなることを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、縦型拡散・CVD装置
等の縦型装置に用いられるヒータに関する。
【0002】
【従来の技術】図2は従来ヒータの1例の一部を示す断
面図である。従来の縦型装置に用いられるヒータは、そ
の断面形状が円形形状の発熱線4を用いており、炉内側
の断熱材、例えば円筒ファイバ1の内面に、縦幅,奥行
とも等しい発熱線収納用螺旋溝5を設け、この螺旋溝5
に、前記断面形状が円形形状の発熱線4を収めてなるも
のである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来ヒータにあっ
ては、発熱線4の炉内側部分4Aの温度T1 とその反対
側の溝底側部分4Bの温度T2 で大きな温度差T2 −T
1 ≫0があるため、発熱線4の炉内側部分4Aと溝底側
部分4Bの伸縮が異なることにより発熱線4が断線し易
いばかりでなく、円筒ファイバ1が強固な場合、コイル
径にもよるが、発熱線4が変形して炉内に突き出てくる
という課題がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、従来の技術の
課題である発熱線の断線,変形を解決し、長寿命の縦型
装置用ヒータを提供しようとするものである。即ち、本
発明ヒータは、炉内側の断熱材1内面に、縦幅aが長く
奥行bが短い発熱線収納用螺旋溝2を設け、この螺旋溝
2に断面形状が楕円形状の発熱線3を収めてなることを
特徴とする。
【0005】
【作 用】このような構成であるから、断面形状が楕円
形状の発熱線3の奥行bが従来の断面形状が円形形状の
発熱線4のそれよりも狭いので、溝底側部分3Bの温度
2 が炉内側部分3Aの温度T1 (炉内温度)よりかな
り高温になることが抑制されて、溝底側部分3Bの温度
2 と炉内側部分3Aの温度T1 との温度差T2 −T1
が小さくなり、発熱線3の炉内側部分3Aと溝底側部分
3Bの伸縮に差が少なくなり、発熱線3の劣化が抑制さ
れて発熱線3が断線し難くなるばかりでなく、断熱材1
が強固な場合でも、発熱線3の縦幅aが長いので、発熱
線3が変形して炉内に突き出てくるおそれはない。又、
発熱線3の奥行bを短くすることにより断熱材1の外面
と螺旋溝2の底面間の厚さdが従来よりも厚くなるの
で、固体伝導及び気体伝導による外面温度を抑制するこ
とができ、ヒータパワーを抑えることができる。
【0006】
【実施例】図1は本発明ヒータの1実施例の一部を示す
断面図である。本実施例は、炉内側の断熱材、例えば円
筒ファイバ1の内面に、縦幅aが長く奥行bが短い発熱
線収納用螺旋溝2を設け、この螺旋溝2に、断面形状が
楕円形状の発熱線3を収めてなる構成とする。
【0007】上記のような構成であるから、断面形状が
楕円形状の発熱線3の奥行bが従来の断面形状か円形形
状の発熱線4のそれよりも狭いので、溝底側部分3Bの
温度T2 が炉内側部分3Aの温度T1 (炉内温度)より
かなり高温になることが抑制されて、溝底側部分3Bの
温度T2 と炉内側部分3Aの温度T1 との温度差T2
1 が小さくなり、発熱線3の炉内側部分3Aと溝底側
部分3Bの伸縮に差が少なくなり、発熱線3の劣化が抑
制されて発熱線3が断線し難くなるばかりでなく、円筒
ファイバ1が強固な場合でも、発熱線3の縦幅aが長い
ので、発熱線3が変形して炉内に突き出てくるおそれは
ない。又、発熱線3の奥行bを短くすることにより断熱
材1の外面と螺旋溝2の底面間の厚さdが従来よりも厚
くなるので、固体伝導及び気体伝導による外面温度を抑
制することができ、ヒータパワーを抑えることができ
る。
【0008】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、発熱線の
溝底側部分の温度と炉内側部分の温度の温度差を小さく
して、発熱線を断線し難くしてその寿命の延長を図るこ
とができ、又断熱材が強固でも、発熱線が変形して炉内
に突き出てくるおそれがないばかりでなく、断熱材外面
と発熱線収納用螺旋溝の底面間の厚さを厚くして、断熱
材の外面温度を抑え、ヒータパワーを抑制することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明ヒータの1実施例の一部を示す断面図で
ある。
【図2】従来ヒータの1例の一部を示す断面図である。
【符号の説明】
1 断熱材(円筒ファイバ) 2 発熱線収納用螺旋溝 3 発熱線 3A 炉内側部分 3B 溝底側部分

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炉内側の断熱材内面に、縦幅が長く奥行
    が短い発熱線収納用螺旋溝を設け、この螺旋溝に断面形
    状が楕円形状の発熱線を収めてなることを特徴とする縦
    型装置用ヒータ。
JP23906894A 1994-10-03 1994-10-03 縦型装置用ヒータ Pending JPH08106974A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23906894A JPH08106974A (ja) 1994-10-03 1994-10-03 縦型装置用ヒータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23906894A JPH08106974A (ja) 1994-10-03 1994-10-03 縦型装置用ヒータ

Publications (1)

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JPH08106974A true JPH08106974A (ja) 1996-04-23

Family

ID=17039385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23906894A Pending JPH08106974A (ja) 1994-10-03 1994-10-03 縦型装置用ヒータ

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JP (1) JPH08106974A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006080058A (ja) * 2004-08-09 2006-03-23 Teitokusha Kk 電気ヒーター

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006080058A (ja) * 2004-08-09 2006-03-23 Teitokusha Kk 電気ヒーター

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