JPH08110367A - 重量物旋回装置 - Google Patents
重量物旋回装置Info
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- JPH08110367A JPH08110367A JP27069594A JP27069594A JPH08110367A JP H08110367 A JPH08110367 A JP H08110367A JP 27069594 A JP27069594 A JP 27069594A JP 27069594 A JP27069594 A JP 27069594A JP H08110367 A JPH08110367 A JP H08110367A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プローブ装置のテストヘッドを円滑に旋回さ
せると共に任意の位置で停止させることができ、しか
も、省スペース化及び低コスト化を達成できる重量物旋
回装置を提供する。 【構成】 本重量物旋回装置は、テストヘッド１６を先
端部で支持するアーム２１と、このアーム２１を旋回自
在に支持する主軸２２と、この主軸２２を中心に重量物
を旋回する旋回駆動機構２３とを備え、旋回駆動機構２
３は、主軸２２の下方においてボールネジ２５の先端を
下向きに固定された駆動シリンダ２４と、この駆動シリ
ンダ２４のボールネジ２５の下端に取り付けられたスラ
イダ２６と、このスライダ２６をボールネジ２５の進退
動に従って昇降案内するように駆動シリンダ２４の垂直
下方に配設されたガイドレール２７と、このガイドレー
ル２７に従って昇降するスライダ２６とアーム２１の基
端部をピン結合する連結棒２８とを備えたことを特徴と
する。
せると共に任意の位置で停止させることができ、しか
も、省スペース化及び低コスト化を達成できる重量物旋
回装置を提供する。 【構成】 本重量物旋回装置は、テストヘッド１６を先
端部で支持するアーム２１と、このアーム２１を旋回自
在に支持する主軸２２と、この主軸２２を中心に重量物
を旋回する旋回駆動機構２３とを備え、旋回駆動機構２
３は、主軸２２の下方においてボールネジ２５の先端を
下向きに固定された駆動シリンダ２４と、この駆動シリ
ンダ２４のボールネジ２５の下端に取り付けられたスラ
イダ２６と、このスライダ２６をボールネジ２５の進退
動に従って昇降案内するように駆動シリンダ２４の垂直
下方に配設されたガイドレール２７と、このガイドレー
ル２７に従って昇降するスライダ２６とアーム２１の基
端部をピン結合する連結棒２８とを備えたことを特徴と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、重量物旋回装置に関
し、更に詳しくはプローブ装置のテストヘッドを旋回す
る場合に好適に用いられる重量物旋回装置に関する。
し、更に詳しくはプローブ装置のテストヘッドを旋回す
る場合に好適に用いられる重量物旋回装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から重量物旋回装置は様々な分野で
用いられている。重量物旋回装置は、重量物を２箇所の
間で往復移動させるものである。例えば、半導体ウエハ
の電気的検査を行なうプローブ装置にも重量物旋回装置
が組み込まれている。この場合の重量部旋回装置は装置
本体とメンテナンスエリアとの間でテストヘッドを移動
させるように構成されている。
用いられている。重量物旋回装置は、重量物を２箇所の
間で往復移動させるものである。例えば、半導体ウエハ
の電気的検査を行なうプローブ装置にも重量物旋回装置
が組み込まれている。この場合の重量部旋回装置は装置
本体とメンテナンスエリアとの間でテストヘッドを移動
させるように構成されている。
【０００３】従来のプローブ装置は、例えば、プローブ
装置本体のヘッドプレートに装着されたプロービングカ
ードと、このプロービングカードの裏面に形成された接
続端子と対応する接続端子が形成されたテストヘッドと
を備え、上記テストヘッドの接続端子を上記プロービン
グカードの接続端子に電気的に導通して被検査体例えば
半導体ウエハ等の被検査体の電気的検査を行なうもので
ある。そして、検査時やメンテナンス時にはテストヘッ
ドを装置本体からメンテナンスエリアへ旋回移動させ、
検査の場合にはメンテナンスエリアから装置本体へ旋回
移動させる。ところが、テストヘッドは通常重量が２０
〜３００Ｋｇもある重量物であるため、その移動を人手
に頼ればオペレータに多大な負担を強いることになる。
また、テストヘッドは重量物であるが故に人手ではヘッ
ドプレート上へソフトランディングさせることが難し
く、場合によっては装置本体を損傷を与え、またオペレ
ータにも危険が伴う。そのために、従来のプローブ装置
には重量物旋回装置が組み込まれ、重量物旋回装置でテ
ストヘッドを旋回するようにしてある。
装置本体のヘッドプレートに装着されたプロービングカ
ードと、このプロービングカードの裏面に形成された接
続端子と対応する接続端子が形成されたテストヘッドと
を備え、上記テストヘッドの接続端子を上記プロービン
グカードの接続端子に電気的に導通して被検査体例えば
半導体ウエハ等の被検査体の電気的検査を行なうもので
ある。そして、検査時やメンテナンス時にはテストヘッ
ドを装置本体からメンテナンスエリアへ旋回移動させ、
検査の場合にはメンテナンスエリアから装置本体へ旋回
移動させる。ところが、テストヘッドは通常重量が２０
〜３００Ｋｇもある重量物であるため、その移動を人手
に頼ればオペレータに多大な負担を強いることになる。
また、テストヘッドは重量物であるが故に人手ではヘッ
ドプレート上へソフトランディングさせることが難し
く、場合によっては装置本体を損傷を与え、またオペレ
ータにも危険が伴う。そのために、従来のプローブ装置
には重量物旋回装置が組み込まれ、重量物旋回装置でテ
ストヘッドを旋回するようにしてある。
【０００４】従来の重量物旋回装置としては、例えば特
開昭６０−４６３７４３号公報、特開平２−１７７３４
３号公報などで提案されたものがある。この重量物旋回
装置は、例えばプローブ装置本体の斜め上方に側面に沿
って配設された主軸と、この主軸に旋回可能に支持され
たアームと、このアームに連結されたエアシリンダとを
備え、エアシリンダによってアーム先端に支持されたテ
ストヘッドを旋回するようにしたものである。しかし、
これらの重量物旋回装置は、旋回の途中でテストヘッド
を止めることができないため、種々の点検を行なう場
合、テストヘッドをメンテナンスエリアまで確実に移動
させなければならず、使い勝手が良くなかった。一方、
このような難点を解決した重量物旋回装置が、例えば特
開平２−７４０５０号公報において提案されている。こ
の装置はテストヘッドの旋回部に挿脱可能なロック部材
を設け、このロック部材をロック穴に挿脱することによ
りテストヘッドを旋回の途中で停止させるようにしたも
のである。
開昭６０−４６３７４３号公報、特開平２−１７７３４
３号公報などで提案されたものがある。この重量物旋回
装置は、例えばプローブ装置本体の斜め上方に側面に沿
って配設された主軸と、この主軸に旋回可能に支持され
たアームと、このアームに連結されたエアシリンダとを
備え、エアシリンダによってアーム先端に支持されたテ
ストヘッドを旋回するようにしたものである。しかし、
これらの重量物旋回装置は、旋回の途中でテストヘッド
を止めることができないため、種々の点検を行なう場
合、テストヘッドをメンテナンスエリアまで確実に移動
させなければならず、使い勝手が良くなかった。一方、
このような難点を解決した重量物旋回装置が、例えば特
開平２−７４０５０号公報において提案されている。こ
の装置はテストヘッドの旋回部に挿脱可能なロック部材
を設け、このロック部材をロック穴に挿脱することによ
りテストヘッドを旋回の途中で停止させるようにしたも
のである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
プローブ装置に適用された重量物旋回装置の場合には、
ロック穴に対してロック部材が対向した位置でないとロ
ック部材がロック穴に挿入することができず、テストヘ
ッドを任意の位置で停止させることができないという課
題があった。しかも、この場合には旋回駆動機構の他に
ロック部材などのロック機構が必要になって機構的に複
雑であり、エアシリンダがテストヘッドの旋回時に揺動
するためその駆動領域が大きくなるという課題があっ
た。
プローブ装置に適用された重量物旋回装置の場合には、
ロック穴に対してロック部材が対向した位置でないとロ
ック部材がロック穴に挿入することができず、テストヘ
ッドを任意の位置で停止させることができないという課
題があった。しかも、この場合には旋回駆動機構の他に
ロック部材などのロック機構が必要になって機構的に複
雑であり、エアシリンダがテストヘッドの旋回時に揺動
するためその駆動領域が大きくなるという課題があっ
た。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、重量物を円滑に旋回させると共に任意の位
置で停止させることができ、しかも、省スペース化及び
低コスト化を達成できる重量物旋回装置を提供すること
を目的としている。尚、本提案は本出願人が特願平６−
１４２６３号において既に提案した重量物旋回装置を更
に改良したものである。
れたもので、重量物を円滑に旋回させると共に任意の位
置で停止させることができ、しかも、省スペース化及び
低コスト化を達成できる重量物旋回装置を提供すること
を目的としている。尚、本提案は本出願人が特願平６−
１４２６３号において既に提案した重量物旋回装置を更
に改良したものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の重量物旋回装置は、重量物を一端部で支持するアーム
と、このアームを旋回自在に支持する軸部材と、この軸
部材を中心に上記重量物を旋回する旋回駆動機構とを備
えた重量物旋回装置において、上記旋回駆動機構は、上
記軸部材の下方においてピストンロッドの先端を下向き
に固定された駆動シリンダと、この駆動シリンダのピス
トンロッドの下端に取り付けられたスライダと、このス
ライダを上記ピストンロッドの進退動に従って昇降案内
するように上記駆動シリンダの垂直下方に配設されたガ
イド部材と、このガイド部材に従って昇降する上記スラ
イダと上記アームの他端部をそれぞれピン結合する連結
部材とを備えたものである。
の重量物旋回装置は、重量物を一端部で支持するアーム
と、このアームを旋回自在に支持する軸部材と、この軸
部材を中心に上記重量物を旋回する旋回駆動機構とを備
えた重量物旋回装置において、上記旋回駆動機構は、上
記軸部材の下方においてピストンロッドの先端を下向き
に固定された駆動シリンダと、この駆動シリンダのピス
トンロッドの下端に取り付けられたスライダと、このス
ライダを上記ピストンロッドの進退動に従って昇降案内
するように上記駆動シリンダの垂直下方に配設されたガ
イド部材と、このガイド部材に従って昇降する上記スラ
イダと上記アームの他端部をそれぞれピン結合する連結
部材とを備えたものである。
【０００８】また、本発明の請求項２に記載の重量物旋
回装置は、プローブ装置のテストヘッドを一端部で支持
するアームと、このアームを旋回自在に支持する軸部材
と、この軸部材を中心に上記重量物を旋回する旋回駆動
機構とを備えた重量物旋回装置において、上記旋回駆動
機構は、上記軸部材の下方においてピストンロッドの先
端を下向きに固定された駆動シリンダと、この駆動シリ
ンダのピストンロッドの下端に取り付けられたスライダ
と、このスライダを上記ピストンロッドの進退動に従っ
て昇降案内するように上記駆動シリンダの垂直下方に配
設されたガイド部材と、このガイド部材に従って昇降す
る上記スライダと上記アームの他端部をそれぞれピン結
合する連結部材とを備えたものである。
回装置は、プローブ装置のテストヘッドを一端部で支持
するアームと、このアームを旋回自在に支持する軸部材
と、この軸部材を中心に上記重量物を旋回する旋回駆動
機構とを備えた重量物旋回装置において、上記旋回駆動
機構は、上記軸部材の下方においてピストンロッドの先
端を下向きに固定された駆動シリンダと、この駆動シリ
ンダのピストンロッドの下端に取り付けられたスライダ
と、このスライダを上記ピストンロッドの進退動に従っ
て昇降案内するように上記駆動シリンダの垂直下方に配
設されたガイド部材と、このガイド部材に従って昇降す
る上記スライダと上記アームの他端部をそれぞれピン結
合する連結部材とを備えたものである。
【０００９】また、本発明の請求項３に記載の重量物旋
回装置は、請求項１または請求項２に記載の発明におい
て、上記駆動シリンダを上記軸部材に固定したものであ
る。
回装置は、請求項１または請求項２に記載の発明におい
て、上記駆動シリンダを上記軸部材に固定したものであ
る。
【００１０】また、本発明の請求項４に記載の重量物旋
回装置は、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の
発明において、上記ピストンロッドをボールネジによっ
て構成すると共にこのボールネジの進退動に従って回転
するナットを上記駆動シリンダに設け、上記ナットの回
転を制動する電磁ブレーキを上記駆動シリンダに設けた
ものである。
回装置は、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の
発明において、上記ピストンロッドをボールネジによっ
て構成すると共にこのボールネジの進退動に従って回転
するナットを上記駆動シリンダに設け、上記ナットの回
転を制動する電磁ブレーキを上記駆動シリンダに設けた
ものである。
【００１１】
【作用】本発明の請求項１または請求項２に記載の発明
によれば、軸部材に固定された旋回駆動機構の駆動シリ
ンダが常に垂直な姿勢を保持してピストンロッドが進退
動し、その下端のスライダがガイド部材に従って昇降す
ると、ガイド部材の昇降に従って連結部材を介してアー
ムが軸部材を中心に正逆回転し、アーム先端部の重量物
またはプローブ装置のテストヘッドが旋回する。
によれば、軸部材に固定された旋回駆動機構の駆動シリ
ンダが常に垂直な姿勢を保持してピストンロッドが進退
動し、その下端のスライダがガイド部材に従って昇降す
ると、ガイド部材の昇降に従って連結部材を介してアー
ムが軸部材を中心に正逆回転し、アーム先端部の重量物
またはプローブ装置のテストヘッドが旋回する。
【００１２】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
上記駆動シリンダを上記軸部材に固定したため、アー
ム、ピストンロッド及び連結部材がそれぞれリンク結合
し、リンク機構により重量物またはプローブ装置のテス
トヘッドを旋回することができる。
れば、請求項１または請求項２に記載の発明において、
上記駆動シリンダを上記軸部材に固定したため、アー
ム、ピストンロッド及び連結部材がそれぞれリンク結合
し、リンク機構により重量物またはプローブ装置のテス
トヘッドを旋回することができる。
【００１３】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、上記駆動シリンダによりボールネジが進退動
すると回転ナットが正逆回転して重量物またはテストヘ
ッドが軸部材を中心に旋回する。また、旋回途中で電磁
ブレーキが作動するとナットを介してボールネジを制動
し、重量物またはテストヘッドを任意の位置で止めるこ
とができる。
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、上記駆動シリンダによりボールネジが進退動
すると回転ナットが正逆回転して重量物またはテストヘ
ッドが軸部材を中心に旋回する。また、旋回途中で電磁
ブレーキが作動するとナットを介してボールネジを制動
し、重量物またはテストヘッドを任意の位置で止めるこ
とができる。
【００１４】
【実施例】以下、図１〜図３に示す実施例に基づいて本
発明を説明する。図１は本実施例の重量物旋回装置が組
み込まれたプローブ装置を示す構成図である。このプロ
ーブ装置１０は、同図に示すように、装置本体１１と、
装置本体１１内に配設されて半導体ウエハＷを載置する
載置台１２と、この載置台１２の上方に配設されたプロ
ービングカード１３と、このプロービングカードの裏面
に形成されたプローブ針１４と対応するポゴピン（図示
せず）を有する接続リング１５と、この接続リング１５
の各ポゴピンと電気的に接触する端子を有するテストヘ
ッド１６とを備えて構成されている。
発明を説明する。図１は本実施例の重量物旋回装置が組
み込まれたプローブ装置を示す構成図である。このプロ
ーブ装置１０は、同図に示すように、装置本体１１と、
装置本体１１内に配設されて半導体ウエハＷを載置する
載置台１２と、この載置台１２の上方に配設されたプロ
ービングカード１３と、このプロービングカードの裏面
に形成されたプローブ針１４と対応するポゴピン（図示
せず）を有する接続リング１５と、この接続リング１５
の各ポゴピンと電気的に接触する端子を有するテストヘ
ッド１６とを備えて構成されている。
【００１５】本実施例の重量物旋回装置２０は、図１に
示すように、テストヘッド１６を先端部で支持するアー
ム２１と、このアーム２１を旋回自在に支持する軸部材
としての主軸２２と、この主軸２２を中心にテストヘッ
ド１６を旋回する旋回駆動機構２３とを備えている。こ
の旋回駆動機構２３は、駆動シリンダ２４と、駆動シリ
ンダ２４のピストンロッドとしてのボールネジ２５の先
端に取り付けられたスライダ２６と、このスライダ２６
を鉛直方向に昇降案内するガイド部材としてのガイドレ
ール２７と、このガイドレール２７に案内されるスライ
ダ２６に一端がピン結合され且つ他端がアーム２１の基
端に連結された連結部材としての連結棒２８とを備えて
いる。駆動シリンダ２４のシリンダ本体２９は主軸２２
に固定され、ボールネジ２５の先端を下方に向けて主軸
２２から垂下している。従って、アーム１１、ボールネ
ジ２５及び連結棒２８はリンク機構として構成されてい
る。そして、ボールネジ２５の進退動により連結棒２８
からアーム２１に掛るモーメントがテストヘッド１６に
よるモーメントより大きい時にテストヘッド１６が旋回
するようにしてある。
示すように、テストヘッド１６を先端部で支持するアー
ム２１と、このアーム２１を旋回自在に支持する軸部材
としての主軸２２と、この主軸２２を中心にテストヘッ
ド１６を旋回する旋回駆動機構２３とを備えている。こ
の旋回駆動機構２３は、駆動シリンダ２４と、駆動シリ
ンダ２４のピストンロッドとしてのボールネジ２５の先
端に取り付けられたスライダ２６と、このスライダ２６
を鉛直方向に昇降案内するガイド部材としてのガイドレ
ール２７と、このガイドレール２７に案内されるスライ
ダ２６に一端がピン結合され且つ他端がアーム２１の基
端に連結された連結部材としての連結棒２８とを備えて
いる。駆動シリンダ２４のシリンダ本体２９は主軸２２
に固定され、ボールネジ２５の先端を下方に向けて主軸
２２から垂下している。従って、アーム１１、ボールネ
ジ２５及び連結棒２８はリンク機構として構成されてい
る。そして、ボールネジ２５の進退動により連結棒２８
からアーム２１に掛るモーメントがテストヘッド１６に
よるモーメントより大きい時にテストヘッド１６が旋回
するようにしてある。
【００１６】そして、シリンダ本体２９には配管３０を
介して圧縮ポンプ３１に連結され、この圧縮ポンプ３１
から配管３０を介してシリンダ本体２９内に圧縮空気を
供給するようにしてある。そして、テストヘッド１６に
よるモーメントよりも少し大きいモーメントがアーム２
１に加わるような圧力の圧縮空気を圧縮ポンプ３１によ
りシリンダ本体２９内に供給すると、ボールネジ２５は
スプリング３２のバネ力に抗してシリンダ本体２９内か
ら進出し、連結棒２８及びアーム２１を介してテストヘ
ッド１６が反時計方向へ旋回するようにしてある。逆
に、テストヘッド１６によるモーメントよりも少し小さ
いモーメントがアーム２１に加わるような圧力の圧縮空
気を圧縮ポンプ３１によりシリンダ本体２９内に供給す
ると、ボールネジ２５はシリンダ本体２９内に退没して
テストヘッド１６が時計方向へ旋回するようにしてあ
る。更に、配管３０にはプランジャ式スピードコントロ
ーラ３３が配設され、このスピードコントローラ３３に
よって圧縮空気の供給速度または排出速度を制御するよ
うにしてある。また、アーム１１には図２に示すように
カム３５が取り付けられ、このカム３５にスピードコン
トローラ３３が接触し、主軸１２の任意の回転位置にお
いてテストヘッド１６が適切な旋回速度を得られるよう
にスピードコントローラ３３により制御している。
介して圧縮ポンプ３１に連結され、この圧縮ポンプ３１
から配管３０を介してシリンダ本体２９内に圧縮空気を
供給するようにしてある。そして、テストヘッド１６に
よるモーメントよりも少し大きいモーメントがアーム２
１に加わるような圧力の圧縮空気を圧縮ポンプ３１によ
りシリンダ本体２９内に供給すると、ボールネジ２５は
スプリング３２のバネ力に抗してシリンダ本体２９内か
ら進出し、連結棒２８及びアーム２１を介してテストヘ
ッド１６が反時計方向へ旋回するようにしてある。逆
に、テストヘッド１６によるモーメントよりも少し小さ
いモーメントがアーム２１に加わるような圧力の圧縮空
気を圧縮ポンプ３１によりシリンダ本体２９内に供給す
ると、ボールネジ２５はシリンダ本体２９内に退没して
テストヘッド１６が時計方向へ旋回するようにしてあ
る。更に、配管３０にはプランジャ式スピードコントロ
ーラ３３が配設され、このスピードコントローラ３３に
よって圧縮空気の供給速度または排出速度を制御するよ
うにしてある。また、アーム１１には図２に示すように
カム３５が取り付けられ、このカム３５にスピードコン
トローラ３３が接触し、主軸１２の任意の回転位置にお
いてテストヘッド１６が適切な旋回速度を得られるよう
にスピードコントローラ３３により制御している。
【００１７】また、上記シリンダ本体２９の下端には図
３に示すように回転支持板３５が取り付けられ、ベアリ
ング３６を介してナット３６が自由に回転するようにし
てある。このナット３７にはボールネジ２５が螺合して
おり、ボールネジ２５の進退動によって自由に回転する
ようにしてある。このナット３７の回転はシリンダ本体
２９に組み込まれた電磁ブレーキ３８によって制御する
ようにしてある。つまり、電磁ブレーキ３８に通電する
とナット３７を解放してボールネジ２５に従って回転し
てテストヘッド１６が旋回し、通電を遮断するとナット
３７を拘束してボールネジ２５の動作を止めてテストヘ
ッド１６を任意に位置で止めるようにしてある。
３に示すように回転支持板３５が取り付けられ、ベアリ
ング３６を介してナット３６が自由に回転するようにし
てある。このナット３７にはボールネジ２５が螺合して
おり、ボールネジ２５の進退動によって自由に回転する
ようにしてある。このナット３７の回転はシリンダ本体
２９に組み込まれた電磁ブレーキ３８によって制御する
ようにしてある。つまり、電磁ブレーキ３８に通電する
とナット３７を解放してボールネジ２５に従って回転し
てテストヘッド１６が旋回し、通電を遮断するとナット
３７を拘束してボールネジ２５の動作を止めてテストヘ
ッド１６を任意に位置で止めるようにしてある。
【００１８】次に動作について説明する。半導体ウエハ
Ｗを検査する時には図１に示すようにテストヘッド１６
が装置本体２１の接続リング１５と接触してこれら両者
が電気的に接続されている。これによりテストヘッド１
６と半導体ウエハＷとの間でプロービングカード１３を
介して信号の授受を行ない、半導体ウエハＷの検査を行
なう。検査終了後、プロービングカード１３を交換した
り、装置本体１１内あるいはテストヘッド１６のメンテ
ナンスを行なったりする場合には重量物旋回装置１０が
駆動してテストヘッド１６を装置本体１１から持ち上げ
て装置本体１１から退避させる。
Ｗを検査する時には図１に示すようにテストヘッド１６
が装置本体２１の接続リング１５と接触してこれら両者
が電気的に接続されている。これによりテストヘッド１
６と半導体ウエハＷとの間でプロービングカード１３を
介して信号の授受を行ない、半導体ウエハＷの検査を行
なう。検査終了後、プロービングカード１３を交換した
り、装置本体１１内あるいはテストヘッド１６のメンテ
ナンスを行なったりする場合には重量物旋回装置１０が
駆動してテストヘッド１６を装置本体１１から持ち上げ
て装置本体１１から退避させる。
【００１９】退避させる場合にはまず、旋回駆動機構２
３の圧縮ポンプ３１が駆動し、配管３０を介してシリン
ダ本体２９内へ圧縮空気を供給する。シリンダ本体２９
内の圧縮空気圧がテストヘッド１６によるモーメントよ
りシリンダ本体２５のピストンロッドとしてのボールネ
ジ２５に加わる力に打ち勝つと、その空気圧でボールネ
ジ２５がシリンダ本体２９から下方へ進出する。これに
よりボールネジ２５はスライダ３６を介してガイドレー
ル２７に案内されて垂直下方へ延びる。この時、ボール
ネジ２５はスライダ２６を介して連結棒２８を下方へ引
っ張る。連結棒２８はこれとピン結合したアーム２１を
反時計方向へ旋回させてテストヘッド１６を持ち上げ
る。その結果、テストヘッド１６は装置本体１１から例
えば図１の仮想線で示す位置へ退避する。逆に所定の作
業が終わって再度検査を行なう場合には、重量物旋回装
置２０を逆方向へ駆動し、テストヘッド１６は時計方向
へ旋回して装置本体１１の接続リング１５と電気的に接
触する。テストヘッド１６が旋回する時の旋回速度は主
軸２２のカム３５を介してスピードコントローラ３３に
より制御している。旋回速度を遅速を調整する場合には
カム３５の形状を適宜設定すれば、スピードコントロー
ラ３３を介して旋回速度を適宜設定制御することができ
る。
３の圧縮ポンプ３１が駆動し、配管３０を介してシリン
ダ本体２９内へ圧縮空気を供給する。シリンダ本体２９
内の圧縮空気圧がテストヘッド１６によるモーメントよ
りシリンダ本体２５のピストンロッドとしてのボールネ
ジ２５に加わる力に打ち勝つと、その空気圧でボールネ
ジ２５がシリンダ本体２９から下方へ進出する。これに
よりボールネジ２５はスライダ３６を介してガイドレー
ル２７に案内されて垂直下方へ延びる。この時、ボール
ネジ２５はスライダ２６を介して連結棒２８を下方へ引
っ張る。連結棒２８はこれとピン結合したアーム２１を
反時計方向へ旋回させてテストヘッド１６を持ち上げ
る。その結果、テストヘッド１６は装置本体１１から例
えば図１の仮想線で示す位置へ退避する。逆に所定の作
業が終わって再度検査を行なう場合には、重量物旋回装
置２０を逆方向へ駆動し、テストヘッド１６は時計方向
へ旋回して装置本体１１の接続リング１５と電気的に接
触する。テストヘッド１６が旋回する時の旋回速度は主
軸２２のカム３５を介してスピードコントローラ３３に
より制御している。旋回速度を遅速を調整する場合には
カム３５の形状を適宜設定すれば、スピードコントロー
ラ３３を介して旋回速度を適宜設定制御することができ
る。
【００２０】以上説明したように本実施例によれば、テ
ストヘッド１６が旋回する時には、シリンダ本体２９は
主軸２２から垂下した状態でボールネジ２５を垂直下方
へ延ばしてテストヘッド１６を旋回するため、重量物旋
回装置２０の高さは主軸２２の高さ分で済ますことがで
きる。また、シリンダ本体２９は垂直な姿勢を維持した
ままテストヘッド１６を旋回するため、ボールネジ２５
の上端が振れる範囲はアーム２１と連結棒２８のピン結
合部の移動する幅があれば足りる。ところが、本出願人
が特願平６−１４２６３号において提案した重量物旋回
装置の場合には、ボールネジの上端はテストヘッドと主
軸の間でアームにピン結合されているため、ボールネジ
の上端が主軸より上方に達し、重量物旋回装置の高さが
主軸よりも高くなり本実施例の場合よりも丈が高くな
る。また、既提案の駆動シリンダはボールネジと共に揺
動するが、駆動シリンダの振れ範囲がボールネジの振れ
幅よりも広いため、幅寸法も本実施例の場合よりも大き
くなる。従って、本実施例の重量物旋回装置は既提案の
ものよりも高さ、振れ幅共小さく、それだけ省スペース
化、低コスト化を達成できる。
ストヘッド１６が旋回する時には、シリンダ本体２９は
主軸２２から垂下した状態でボールネジ２５を垂直下方
へ延ばしてテストヘッド１６を旋回するため、重量物旋
回装置２０の高さは主軸２２の高さ分で済ますことがで
きる。また、シリンダ本体２９は垂直な姿勢を維持した
ままテストヘッド１６を旋回するため、ボールネジ２５
の上端が振れる範囲はアーム２１と連結棒２８のピン結
合部の移動する幅があれば足りる。ところが、本出願人
が特願平６−１４２６３号において提案した重量物旋回
装置の場合には、ボールネジの上端はテストヘッドと主
軸の間でアームにピン結合されているため、ボールネジ
の上端が主軸より上方に達し、重量物旋回装置の高さが
主軸よりも高くなり本実施例の場合よりも丈が高くな
る。また、既提案の駆動シリンダはボールネジと共に揺
動するが、駆動シリンダの振れ範囲がボールネジの振れ
幅よりも広いため、幅寸法も本実施例の場合よりも大き
くなる。従って、本実施例の重量物旋回装置は既提案の
ものよりも高さ、振れ幅共小さく、それだけ省スペース
化、低コスト化を達成できる。
【００２１】また、本実施例によれば、アーム２１、ボ
ールネジ２５及び連結棒２８によってリンク機構が構成
されているため、テストヘッド１６を旋回する時の各部
材２１、２５、２８の軸方向に作用する合力はゼロにな
り、また、テストヘッド１６からアーム２１を介して主
軸２２に掛る力は連結棒２８のピン結合部から作用する
力に相殺される。従って、主軸２２に作用する力はテス
トヘッド１６が上死点に達した時のテストヘッド１６と
駆動シリンダ２４の荷重で済ませることができる。とこ
ろが、既提案の場合には、テストヘッドを持ち上がる時
の力のそのまま主軸に作用するため、本実施例の場合と
比較して大きな抗力が必要になり、それだけ主軸が太く
なる。
ールネジ２５及び連結棒２８によってリンク機構が構成
されているため、テストヘッド１６を旋回する時の各部
材２１、２５、２８の軸方向に作用する合力はゼロにな
り、また、テストヘッド１６からアーム２１を介して主
軸２２に掛る力は連結棒２８のピン結合部から作用する
力に相殺される。従って、主軸２２に作用する力はテス
トヘッド１６が上死点に達した時のテストヘッド１６と
駆動シリンダ２４の荷重で済ませることができる。とこ
ろが、既提案の場合には、テストヘッドを持ち上がる時
の力のそのまま主軸に作用するため、本実施例の場合と
比較して大きな抗力が必要になり、それだけ主軸が太く
なる。
【００２２】また、上記実施例とは別に、主軸２２が前
後左右方向及び上下方向に移動し、主軸２２の位置調整
をできるよう構造にした場合には、シリンダ本体２９も
主軸２２と共に移動するため、フローティング機構等の
ジョイント部の機構が不要になり、既提案のものと比較
して省スペース化、低コスト化を達成することができ
る。また、ボールネジ２５及びこれを制動する電磁ブレ
ーキ３７をシリンダ本体２９から分離した構造にした場
合には、シリンダ本体２９が固定されているため、これ
ら両者２５、３７の取付構造が既提案のものと比較して
簡単である。
後左右方向及び上下方向に移動し、主軸２２の位置調整
をできるよう構造にした場合には、シリンダ本体２９も
主軸２２と共に移動するため、フローティング機構等の
ジョイント部の機構が不要になり、既提案のものと比較
して省スペース化、低コスト化を達成することができ
る。また、ボールネジ２５及びこれを制動する電磁ブレ
ーキ３７をシリンダ本体２９から分離した構造にした場
合には、シリンダ本体２９が固定されているため、これ
ら両者２５、３７の取付構造が既提案のものと比較して
簡単である。
【００２３】尚、本実施例では駆動シリンダ２４を主軸
２２に固定したものについて説明したが、駆動シリンダ
２４を主軸２４以外の部分に固定したものであっても良
く、この場合も重量物旋回装置の省スペース化、低コス
ト化を達成することができる。また、本実施例では重量
物としてプローブ装置のテストヘッドを例にあげて説明
したが、本発明はそれ以外の重量物について広く適用す
ることができる。また、本実施例では、旋回駆動機構と
してボールネジを有する駆動シリンダを例に挙げて説明
したが、駆動シリンダとして通常のエアシリンダを用い
るものであっても良い。
２２に固定したものについて説明したが、駆動シリンダ
２４を主軸２４以外の部分に固定したものであっても良
く、この場合も重量物旋回装置の省スペース化、低コス
ト化を達成することができる。また、本実施例では重量
物としてプローブ装置のテストヘッドを例にあげて説明
したが、本発明はそれ以外の重量物について広く適用す
ることができる。また、本実施例では、旋回駆動機構と
してボールネジを有する駆動シリンダを例に挙げて説明
したが、駆動シリンダとして通常のエアシリンダを用い
るものであっても良い。
【００２４】
【発明の効果】本発明の請求項１または請求項２に記載
の発明によれば、重量物またはプローブ装置のテストヘ
ッドを円滑に旋回させると共に任意の位置で停止させる
ことができ、しかも、省スペース化及び低コスト化を達
成できる重量物旋回装置を提供することができる。
の発明によれば、重量物またはプローブ装置のテストヘ
ッドを円滑に旋回させると共に任意の位置で停止させる
ことができ、しかも、省スペース化及び低コスト化を達
成できる重量物旋回装置を提供することができる。
【００２５】また、本発明の請求項３に記載の発明によ
れば、請求項２に記載の発明において、上記駆動シリン
ダを上記軸部材に固定したため、アーム、ピストンロッ
ド及び連結部材によりリンク機構が構成され、旋回時な
どにおけるの軸部材への負荷を軽減することができる。
れば、請求項２に記載の発明において、上記駆動シリン
ダを上記軸部材に固定したため、アーム、ピストンロッ
ド及び連結部材によりリンク機構が構成され、旋回時な
どにおけるの軸部材への負荷を軽減することができる。
【００２６】また、本発明の請求項４に記載の発明によ
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、上記ピストンロッドをボールネジによって構
成すると共にこのボールネジの進退動に従って回転する
ナットを上記駆動シリンダに設け、上記ナットの回転を
制動する電磁ブレーキを上記駆動シリンダに設けたた
め、重量物またはテストヘッドを任意に位置で停止させ
ることができる。
れば、請求項１〜請求項３のいずれか一つに記載の発明
において、上記ピストンロッドをボールネジによって構
成すると共にこのボールネジの進退動に従って回転する
ナットを上記駆動シリンダに設け、上記ナットの回転を
制動する電磁ブレーキを上記駆動シリンダに設けたた
め、重量物またはテストヘッドを任意に位置で停止させ
ることができる。
【図１】本発明の重量物旋回装置の一実施例を適用した
プローブ装置の要部を示す構成図である。
プローブ装置の要部を示す構成図である。
【図２】図１に示す重量物旋回装置の拡大して示す構成
図である。
図である。
【図３】図１に示す重量物旋回装置の駆動シリンダの要
部を拡大して示す要部断面図である。
部を拡大して示す要部断面図である。
１０ プローブ装置 １６ テストヘッド（重量物） ２０ 重量物旋回装置 ２１ アーム ２２ 主軸（軸部材） ２３ 旋回駆動機構 ２４ 駆動シリンダ ２５ ボールネジ（ピストンロッド） ２６ スライダ ２７ ガイドレール（ガイド部材） ２８ 連結棒（連結部材） ３８ 電磁ブレーキ
Claims (4)
- 【請求項１】 重量物を一端部で支持するアームと、こ
のアームを旋回自在に支持する軸部材と、この軸部材を
中心に上記重量物を旋回する旋回駆動機構とを備えた重
量物旋回装置において、上記旋回駆動機構は、上記軸部
材の下方においてピストンロッドの先端を下向きに固定
された駆動シリンダと、この駆動シリンダのピストンロ
ッドの下端に取り付けられたスライダと、このスライダ
を上記ピストンロッドの進退動に従って昇降案内するよ
うに上記駆動シリンダの垂直下方に配設されたガイド部
材と、このガイド部材に従って昇降する上記スライダと
上記アームの他端部をそれぞれピン結合する連結部材と
を備えたことを特徴とする重量物旋回装置。 - 【請求項２】 プローブ装置のテストヘッドを一端部で
支持するアームと、このアームを旋回自在に支持する軸
部材と、この軸部材を中心に上記重量物を旋回する旋回
駆動機構とを備えた重量物旋回装置において、上記旋回
駆動機構は、上記軸部材の下方においてピストンロッド
の先端を下向きに固定された駆動シリンダと、この駆動
シリンダのピストンロッドの下端に取り付けられたスラ
イダと、このスライダを上記ピストンロッドの進退動に
従って昇降案内するように上記駆動シリンダの垂直下方
に配設されたガイド部材と、このガイド部材に従って昇
降する上記スライダと上記アームの他端部を連結する連
結部材とを備えたことを特徴とする重量物旋回装置。 - 【請求項３】 上記駆動シリンダを上記軸部材に固定し
たことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の重
量物旋回装置。 - 【請求項４】 上記ピストンロッドをボールネジによっ
て構成すると共にこのボールネジの進退動に従って回転
するナットを上記駆動シリンダに設け、上記ナットの回
転を制動する電磁ブレーキを上記駆動シリンダに設けた
ことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一つに
記載の重量物旋回装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27069594A JPH08110367A (ja) | 1994-10-08 | 1994-10-08 | 重量物旋回装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27069594A JPH08110367A (ja) | 1994-10-08 | 1994-10-08 | 重量物旋回装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08110367A true JPH08110367A (ja) | 1996-04-30 |
Family
ID=17489677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27069594A Pending JPH08110367A (ja) | 1994-10-08 | 1994-10-08 | 重量物旋回装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08110367A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005093820A1 (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Tokyo Electron Limited | 重量物の旋回装置 |
| CN100429757C (zh) * | 2004-03-25 | 2008-10-29 | 东京毅力科创株式会社 | 重物转动装置 |
| CN105772788A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种用于同轴连接器中内导体上钻孔装置 |
| CN105772790A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种同轴连接器中内导体上钻孔装置 |
| CN105772791A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 用于双射频同轴连接器中内导体上钻孔装置 |
| CN105772789A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种用于同轴连接器内导体的自动钻孔装置 |
| CN105811217A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-27 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种同轴连接器中内导体的送料定位装置 |
| TWI866768B (zh) * | 2024-02-01 | 2024-12-11 | 家崎科技股份有限公司 | 自動插拔線路機構 |
-
1994
- 1994-10-08 JP JP27069594A patent/JPH08110367A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005093820A1 (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Tokyo Electron Limited | 重量物の旋回装置 |
| JPWO2005093820A1 (ja) * | 2004-03-25 | 2008-02-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 重量物の旋回装置 |
| CN100429757C (zh) * | 2004-03-25 | 2008-10-29 | 东京毅力科创株式会社 | 重物转动装置 |
| US7794350B2 (en) | 2004-03-25 | 2010-09-14 | Tokyo Electron Limited | Turning device for heavy object |
| JP4715747B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2011-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置に備えた重量物の旋回機構 |
| CN105772788A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种用于同轴连接器中内导体上钻孔装置 |
| CN105772790A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种同轴连接器中内导体上钻孔装置 |
| CN105772791A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 用于双射频同轴连接器中内导体上钻孔装置 |
| CN105772789A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-20 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种用于同轴连接器内导体的自动钻孔装置 |
| CN105811217A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-07-27 | 镇江市丹徒区亨通电子元件厂 | 一种同轴连接器中内导体的送料定位装置 |
| TWI866768B (zh) * | 2024-02-01 | 2024-12-11 | 家崎科技股份有限公司 | 自動插拔線路機構 |
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