JPH08120376A - Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体およびそれを用いたヒータ部材 - Google Patents
Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体およびそれを用いたヒータ部材Info
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- JPH08120376A JPH08120376A JP25638194A JP25638194A JPH08120376A JP H08120376 A JPH08120376 A JP H08120376A JP 25638194 A JP25638194 A JP 25638194A JP 25638194 A JP25638194 A JP 25638194A JP H08120376 A JPH08120376 A JP H08120376A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 冷間加工性に優れ、したがって複雑な形状の
ヒータ部材を容易に作製することができ、さらに、該ヒ
ータ部材に絶縁層を形成した後に６００℃以上に繰り返
し加熱した場合においても、該絶縁層がヒータ基体から
剥離するおそれがない、Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体お
よびそれを用いたヒータ部材を提供する。 【構成】 本発明のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体１１
は、Ａｌ：２〜１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、
Ｃ：０．０１〜０．５重量％含有するとともに、Ｙ：
０．０００１〜０．５重量％、Ｌａ：０．０００１〜
０．３重量％、Ｃｅ：０．０００１〜０．３重量％から
選択された１種または２種以上を含有し、残部がＮｉ及
び不可避不純物からなることを特徴とする。
ヒータ部材を容易に作製することができ、さらに、該ヒ
ータ部材に絶縁層を形成した後に６００℃以上に繰り返
し加熱した場合においても、該絶縁層がヒータ基体から
剥離するおそれがない、Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体お
よびそれを用いたヒータ部材を提供する。 【構成】 本発明のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体１１
は、Ａｌ：２〜１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、
Ｃ：０．０１〜０．５重量％含有するとともに、Ｙ：
０．０００１〜０．５重量％、Ｌａ：０．０００１〜
０．３重量％、Ｃｅ：０．０００１〜０．３重量％から
選択された１種または２種以上を含有し、残部がＮｉ及
び不可避不純物からなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、特に、高温の酸化性雰
囲気中において好適に用いられるＮｉ基耐熱合金製ヒー
タ基体およびそれを用いたヒータ部材に関するものであ
る。
囲気中において好適に用いられるＮｉ基耐熱合金製ヒー
タ基体およびそれを用いたヒータ部材に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図２は、高温の酸化性雰囲気中において
用いられる従来の管状のヒータ部材の一例を示す縦断面
図であり、図において、１はヒータ基体、２は該ヒータ
基体１の外面１ａに形成された絶縁層、３は該絶縁層２
上に形成された発熱抵抗層である。ヒータ基体１は、例
えば、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ３１０Ｓ等のステンレス
鋼、インコネル６００（Ｎｉ−１６Ｃｒ−８Ｆｅ）等の
Ｎｉ基合金、等の耐熱合金が用いられている。これらの
耐熱合金は、耐酸化性および機械的強度を高めるため
に、Ｃｒを１６〜２５重量％含有しており、このＣｒが
酸化性雰囲気中において酸素と反応し、該耐熱合金の表
面にＣｒ2Ｏ3からなる保護被膜を形成することにより耐
酸化性を得ている。また、Ｃｒには固溶強化効果がある
ことから、該耐熱合金の機械的強度も向上したものにな
っている。
用いられる従来の管状のヒータ部材の一例を示す縦断面
図であり、図において、１はヒータ基体、２は該ヒータ
基体１の外面１ａに形成された絶縁層、３は該絶縁層２
上に形成された発熱抵抗層である。ヒータ基体１は、例
えば、ＳＵＳ３０４やＳＵＳ３１０Ｓ等のステンレス
鋼、インコネル６００（Ｎｉ−１６Ｃｒ−８Ｆｅ）等の
Ｎｉ基合金、等の耐熱合金が用いられている。これらの
耐熱合金は、耐酸化性および機械的強度を高めるため
に、Ｃｒを１６〜２５重量％含有しており、このＣｒが
酸化性雰囲気中において酸素と反応し、該耐熱合金の表
面にＣｒ2Ｏ3からなる保護被膜を形成することにより耐
酸化性を得ている。また、Ｃｒには固溶強化効果がある
ことから、該耐熱合金の機械的強度も向上したものにな
っている。
【０００３】絶縁層２は、例えば、Ａｌ2Ｏ3（アルミ
ナ）等の電気的絶縁性を有するセラミックスにより構成
されている。発熱抵抗層３は、例えば、ＳｉＣ（炭化ケ
イ素）等の導電性を有するセラミックスにより構成され
ている。
ナ）等の電気的絶縁性を有するセラミックスにより構成
されている。発熱抵抗層３は、例えば、ＳｉＣ（炭化ケ
イ素）等の導電性を有するセラミックスにより構成され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のヒー
タ基体１に用いられる耐熱合金では、耐酸化性および機
械的強度を十分に高めるためにはＣｒを１６重量％以上
含有させることが必要であるが、このように大量のＣｒ
を含有させた合金は冷間加工性が劣るという欠点があ
る。例えば、複雑な形状の被加熱物の外形に合わせたヒ
ータ部材、あるいは複雑な形状のヒータ部材を作製しよ
うとする場合、その形状に合ったヒータ基体１を作製す
る必要があるが、冷間加工性が悪いために複雑な形状の
ヒータ基体１を製作することが非常に難しく、形状等に
よっては製作が不可能であるものもある等の問題点があ
った。
タ基体１に用いられる耐熱合金では、耐酸化性および機
械的強度を十分に高めるためにはＣｒを１６重量％以上
含有させることが必要であるが、このように大量のＣｒ
を含有させた合金は冷間加工性が劣るという欠点があ
る。例えば、複雑な形状の被加熱物の外形に合わせたヒ
ータ部材、あるいは複雑な形状のヒータ部材を作製しよ
うとする場合、その形状に合ったヒータ基体１を作製す
る必要があるが、冷間加工性が悪いために複雑な形状の
ヒータ基体１を製作することが非常に難しく、形状等に
よっては製作が不可能であるものもある等の問題点があ
った。
【０００５】また、従来のヒータ部材を６００℃以上に
加熱した場合、拡散により酸素が前記ヒータ基体１と絶
縁層２との間に入り込み、これらヒータ基体１と絶縁層
２との間に酸化スケールが発生し成長することとなり、
繰り返し加熱を行った際、絶縁層２がヒータ基体１から
剥離し易くなるという問題点があった。したがって、ヒ
ータ部材としての性能が劣化し、場合によっては使用不
能になる等の不具合があった。
加熱した場合、拡散により酸素が前記ヒータ基体１と絶
縁層２との間に入り込み、これらヒータ基体１と絶縁層
２との間に酸化スケールが発生し成長することとなり、
繰り返し加熱を行った際、絶縁層２がヒータ基体１から
剥離し易くなるという問題点があった。したがって、ヒ
ータ部材としての性能が劣化し、場合によっては使用不
能になる等の不具合があった。
【０００６】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であって、冷間加工性に優れ、したがって複雑な形状の
ヒータ部材を容易に作製することができ、さらに、該ヒ
ータ部材に絶縁層を形成した後に６００℃以上に繰り返
し加熱した場合においても、該絶縁層がヒータ基体から
剥離するおそれがない、Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体お
よびそれを用いたヒータ部材を提供することにある。
であって、冷間加工性に優れ、したがって複雑な形状の
ヒータ部材を容易に作製することができ、さらに、該ヒ
ータ部材に絶縁層を形成した後に６００℃以上に繰り返
し加熱した場合においても、該絶縁層がヒータ基体から
剥離するおそれがない、Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体お
よびそれを用いたヒータ部材を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は次の様なＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体およ
びそれを用いたヒータ部材を採用した。すなわち、請求
項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体は、Ａｌ：２〜
１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、Ｃ：０．０１〜
０．５重量％含有するとともに、Ｙ：０．０００１〜
０．５重量％、Ｌａ：０．０００１〜０．３重量％、Ｃ
ｅ：０．０００１〜０．３重量％から選択された１種ま
たは２種以上を含有し、残部をＮｉ及び不可避不純物と
したものである。
に、本発明は次の様なＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体およ
びそれを用いたヒータ部材を採用した。すなわち、請求
項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体は、Ａｌ：２〜
１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、Ｃ：０．０１〜
０．５重量％含有するとともに、Ｙ：０．０００１〜
０．５重量％、Ｌａ：０．０００１〜０．３重量％、Ｃ
ｅ：０．０００１〜０．３重量％から選択された１種ま
たは２種以上を含有し、残部をＮｉ及び不可避不純物と
したものである。
【０００８】ここで、Ａｌ及びＳｉを上記のように限定
したのは、その含有量がそれぞれＡｌ：２重量％、Ｓ
ｉ：０．１重量％未満では耐酸化性が十分でなく、一
方、その含有量がそれぞれＡｌ：１０重量％、Ｓｉ：４
重量％を越えると冷間加工性が低下するからである。ま
た、Ｃを上記のように限定したのは、その含有量が０．
０１重量％未満では所望の機械的強度が得られず、一方
０．５重量％を越えると合金が脆化するからである。ま
た、Ｙ、Ｌａ及びＣｅを上記のように限定したのは、そ
の含有量がＹ、Ｌａ及びＣｅともにそれぞれ０．０００
１重量％未満では、表面に形成されるセラミックス膜と
の繰り返し加熱における密着性を向上させる効果が得ら
れず、一方、その含有量がそれぞれＹ：０．５重量％、
Ｌａ：０．３重量％、Ｃｅ：０．３重量％を越えると前
記セラミックス膜との密着性及び冷間加工性が低下する
からである。
したのは、その含有量がそれぞれＡｌ：２重量％、Ｓ
ｉ：０．１重量％未満では耐酸化性が十分でなく、一
方、その含有量がそれぞれＡｌ：１０重量％、Ｓｉ：４
重量％を越えると冷間加工性が低下するからである。ま
た、Ｃを上記のように限定したのは、その含有量が０．
０１重量％未満では所望の機械的強度が得られず、一方
０．５重量％を越えると合金が脆化するからである。ま
た、Ｙ、Ｌａ及びＣｅを上記のように限定したのは、そ
の含有量がＹ、Ｌａ及びＣｅともにそれぞれ０．０００
１重量％未満では、表面に形成されるセラミックス膜と
の繰り返し加熱における密着性を向上させる効果が得ら
れず、一方、その含有量がそれぞれＹ：０．５重量％、
Ｌａ：０．３重量％、Ｃｅ：０．３重量％を越えると前
記セラミックス膜との密着性及び冷間加工性が低下する
からである。
【０００９】請求項２記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体は、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体にお
いて、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５
〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択され
た１種または２種以上を含有することとしたものであ
る。
体は、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体にお
いて、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５
〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択され
た１種または２種以上を含有することとしたものであ
る。
【００１０】ここで、Ｍｎを上記のように限定したの
は、その含有量が０．１重量％未満では十分な脱酸を図
ることができず、一方、その含有量が２重量％を越える
と耐酸化性が低下するからである。また、Ｃｏを上記の
ように限定したのは、その含有量が０．５重量％未満で
は所望の機械的強度が得られず、一方、その含有量が２
０重量％を越えても一層の強度向上の効果が得られず不
経済である。また、Ｆｅを上記のように限定したのは、
その含有量が０．５重量％未満では所望の機械的強度が
得られず、一方、その含有量が４０重量％を越えると耐
酸化性が低下するからである。
は、その含有量が０．１重量％未満では十分な脱酸を図
ることができず、一方、その含有量が２重量％を越える
と耐酸化性が低下するからである。また、Ｃｏを上記の
ように限定したのは、その含有量が０．５重量％未満で
は所望の機械的強度が得られず、一方、その含有量が２
０重量％を越えても一層の強度向上の効果が得られず不
経済である。また、Ｆｅを上記のように限定したのは、
その含有量が０．５重量％未満では所望の機械的強度が
得られず、一方、その含有量が４０重量％を越えると耐
酸化性が低下するからである。
【００１１】請求項３記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体は、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体にお
いて、さらに、Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１
〜１０重量％、Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１
〜１０重量％、Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．
１〜１０重量％から選択された１種または２種以上を合
計で１５重量％以下含有することとしたものである。
体は、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体にお
いて、さらに、Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１
〜１０重量％、Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１
〜１０重量％、Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．
１〜１０重量％から選択された１種または２種以上を合
計で１５重量％以下含有することとしたものである。
【００１２】Ｔｉ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔａ，Ｎｂ及びＨｆに
は、高温における機械的強度を向上させる作用があるの
で、必要に応じて含有させることができるが、その含有
量がいずれの成分においても０．１重量％未満では所望
の高温強度が得られず、一方、Ｔｉにおいては５重量
％、Ｍｏ，Ｗ，Ｔａ，Ｎｂ及びＨｆにおいてはそれぞれ
１０重量％を越えると耐酸化性が低下するからである。
また、これらの成分を２種以上含有する場合、それぞれ
の含有量の合計が１５重量％を越えると耐酸化性が低下
するので、含有量の合計を１５重量％以下としなければ
ならない。
は、高温における機械的強度を向上させる作用があるの
で、必要に応じて含有させることができるが、その含有
量がいずれの成分においても０．１重量％未満では所望
の高温強度が得られず、一方、Ｔｉにおいては５重量
％、Ｍｏ，Ｗ，Ｔａ，Ｎｂ及びＨｆにおいてはそれぞれ
１０重量％を越えると耐酸化性が低下するからである。
また、これらの成分を２種以上含有する場合、それぞれ
の含有量の合計が１５重量％を越えると耐酸化性が低下
するので、含有量の合計を１５重量％以下としなければ
ならない。
【００１３】請求項４記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体は、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体にお
いて、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５
〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択され
た１種または２種以上を含有するとともに、Ｔｉ：０．
１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、Ｗ：０．１
〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、Ｎｂ：０．
１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％から選択さ
れた１種または２種以上を合計で１５重量％以下含有す
ることとしたものである。
体は、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体にお
いて、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５
〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択され
た１種または２種以上を含有するとともに、Ｔｉ：０．
１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、Ｗ：０．１
〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、Ｎｂ：０．
１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％から選択さ
れた１種または２種以上を合計で１５重量％以下含有す
ることとしたものである。
【００１４】請求項５記載のヒータ部材は、請求項１な
いし４のいずれか１項記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体の一主面に、ＺｒＯ2（ジルコニア）を主成分とする
絶縁層、発熱抵抗層が順次積層され、前記絶縁層の熱膨
張係数の値を、前記ヒータ基体の熱膨張係数と発熱抵抗
層の熱膨張係数との間の値としたものである。
いし４のいずれか１項記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体の一主面に、ＺｒＯ2（ジルコニア）を主成分とする
絶縁層、発熱抵抗層が順次積層され、前記絶縁層の熱膨
張係数の値を、前記ヒータ基体の熱膨張係数と発熱抵抗
層の熱膨張係数との間の値としたものである。
【００１５】
【作用】本発明の請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒー
タ基体では、Ａｌ：２〜１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４
重量％、Ｃ：０．０１〜０．５重量％含有するととも
に、Ｙ：０．０００１〜０．５重量％、Ｌａ：０．００
０１〜０．３重量％、Ｃｅ：０．０００１〜０．３重量
％から選択された１種または２種以上を含有し、残部を
Ｎｉ及び不可避不純物としたことにより、Ｃｒを含まな
くとも耐酸化性および機械的強度が十分に高まり、しか
も冷間加工における加工性が向上し、複雑な形状のヒー
タ基体の作製が容易になる。また、該ヒータ基体を６０
０℃以上に繰り返し加熱した場合、該ヒータ基体と絶縁
層との間に酸化スケールが発生せず、剥離が生じるおそ
れがなくなる。
タ基体では、Ａｌ：２〜１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４
重量％、Ｃ：０．０１〜０．５重量％含有するととも
に、Ｙ：０．０００１〜０．５重量％、Ｌａ：０．００
０１〜０．３重量％、Ｃｅ：０．０００１〜０．３重量
％から選択された１種または２種以上を含有し、残部を
Ｎｉ及び不可避不純物としたことにより、Ｃｒを含まな
くとも耐酸化性および機械的強度が十分に高まり、しか
も冷間加工における加工性が向上し、複雑な形状のヒー
タ基体の作製が容易になる。また、該ヒータ基体を６０
０℃以上に繰り返し加熱した場合、該ヒータ基体と絶縁
層との間に酸化スケールが発生せず、剥離が生じるおそ
れがなくなる。
【００１６】請求項２記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体では、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体
に、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５〜
２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択された
１種または２種以上を含有することにより、機械的強度
がさらに高まる。
体では、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体
に、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５〜
２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択された
１種または２種以上を含有することにより、機械的強度
がさらに高まる。
【００１７】請求項３記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体では、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体
に、さらに、Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜
１０重量％、Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜
１０重量％、Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１
〜１０重量％から選択された１種または２種以上を合計
で１５重量％以下含有することにより、高温における機
械的強度が向上する。
体では、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体
に、さらに、Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜
１０重量％、Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜
１０重量％、Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１
〜１０重量％から選択された１種または２種以上を合計
で１５重量％以下含有することにより、高温における機
械的強度が向上する。
【００１８】請求項４記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体では、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体
に、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５〜
２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択された
１種または２種以上を含有するとともに、Ｔｉ：０．１
〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、Ｗ：０．１〜
１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、Ｎｂ：０．１
〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％から選択され
た１種または２種以上を合計で１５重量％以下含有する
ことにより、機械的強度がさらに高まり、高温における
機械的強度が向上する。
体では、請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体
に、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５〜
２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択された
１種または２種以上を含有するとともに、Ｔｉ：０．１
〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、Ｗ：０．１〜
１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、Ｎｂ：０．１
〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％から選択され
た１種または２種以上を合計で１５重量％以下含有する
ことにより、機械的強度がさらに高まり、高温における
機械的強度が向上する。
【００１９】請求項５記載のヒータ部材は、請求項１な
いし４のいずれか１項記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体の一主面に、ＺｒＯ2を主成分とする絶縁層、発熱抵
抗層が順次積層され、前記絶縁層の熱膨張係数の値を、
前記ヒータ基体の熱膨張係数と発熱抵抗層の熱膨張係数
との間の値としたことにより、該ヒータ部材を６００℃
以上に繰り返し加熱した場合においても、前記ヒータ基
体と絶縁層との間に酸化スケールが生じるおそれがなく
なり、これらの間の密着性が高まる。したがって、該絶
縁層がヒータ基体から剥離するおそれがなくなる。これ
により、ヒータ部材としての性能が保持され、長寿命化
が可能になる。
いし４のいずれか１項記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体の一主面に、ＺｒＯ2を主成分とする絶縁層、発熱抵
抗層が順次積層され、前記絶縁層の熱膨張係数の値を、
前記ヒータ基体の熱膨張係数と発熱抵抗層の熱膨張係数
との間の値としたことにより、該ヒータ部材を６００℃
以上に繰り返し加熱した場合においても、前記ヒータ基
体と絶縁層との間に酸化スケールが生じるおそれがなく
なり、これらの間の密着性が高まる。したがって、該絶
縁層がヒータ基体から剥離するおそれがなくなる。これ
により、ヒータ部材としての性能が保持され、長寿命化
が可能になる。
【００２０】
【実施例】図１は本発明の一実施例の管状のヒータ部材
を示す縦断面図であり、図において、１１はヒータ基
体、１２は該ヒータ基体１１の外面（一主面）１１ａに
形成されたＺｒＯ2を主成分とする絶縁層、１３は該絶
縁層１２上に形成された発熱抵抗層である。前記絶縁層
１２の熱膨張係数の値は、前記ヒータ基体１１の熱膨張
係数と発熱抵抗層１３の熱膨張係数との間の値をとるよ
うに設定されている。
を示す縦断面図であり、図において、１１はヒータ基
体、１２は該ヒータ基体１１の外面（一主面）１１ａに
形成されたＺｒＯ2を主成分とする絶縁層、１３は該絶
縁層１２上に形成された発熱抵抗層である。前記絶縁層
１２の熱膨張係数の値は、前記ヒータ基体１１の熱膨張
係数と発熱抵抗層１３の熱膨張係数との間の値をとるよ
うに設定されている。
【００２１】ヒータ基体１１は、Ａｌ：２〜１０重量
％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、Ｃ：０．０１〜０．５重
量％含有するとともに、Ｙ：０．０００１〜０．５重量
％、Ｌａ：０．０００１〜０．３重量％、Ｃｅ：０．０
００１〜０．３重量％から選択された１種または２種以
上を含有し、残部がＮｉ及び不可避不純物とされ、その
熱膨張係数は１２〜１８×１０-6ｄｅｇ-1である。
％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、Ｃ：０．０１〜０．５重
量％含有するとともに、Ｙ：０．０００１〜０．５重量
％、Ｌａ：０．０００１〜０．３重量％、Ｃｅ：０．０
００１〜０．３重量％から選択された１種または２種以
上を含有し、残部がＮｉ及び不可避不純物とされ、その
熱膨張係数は１２〜１８×１０-6ｄｅｇ-1である。
【００２２】絶縁層１２は、ヒータ基体１１との密着性
がよく、かつ該ヒータ基体１１との間に酸化スケールが
生じ難いもので、例えば、単斜晶等のＺｒＯ2、また
は、ＺｒＯ2−６〜１０ｍｏｌ％Ｙ2Ｏ3、ＺｒＯ2−１１
〜１５ｍｏｌ％ＣａＯ、ＺｒＯ2−７〜１５ｍｏｌ％Ｍ
ｇＯ等、ＺｒＯ2にＹ2Ｏ3（イットリア）、ＭｇＯ（マ
グネシア）、ＣａＯ（カルシア）等の２価または３価の
金属酸化物を３〜１５ｍｏｌ％程度固溶させた安定化ま
たは部分安定化ジルコニア等が好適に用いられる。前記
ＺｒＯ2の熱膨張係数は７〜１０×１０-6ｄｅｇ-1、ま
た前記安定化ジルコニアの熱膨張係数は、例えば、イッ
トリア添加安定化ジルコニア（ＺｒＯ2−８ｍｏｌ％Ｙ2
Ｏ3）の場合では８．１０×１０-6ｄｅｇ-1程度であ
る。
がよく、かつ該ヒータ基体１１との間に酸化スケールが
生じ難いもので、例えば、単斜晶等のＺｒＯ2、また
は、ＺｒＯ2−６〜１０ｍｏｌ％Ｙ2Ｏ3、ＺｒＯ2−１１
〜１５ｍｏｌ％ＣａＯ、ＺｒＯ2−７〜１５ｍｏｌ％Ｍ
ｇＯ等、ＺｒＯ2にＹ2Ｏ3（イットリア）、ＭｇＯ（マ
グネシア）、ＣａＯ（カルシア）等の２価または３価の
金属酸化物を３〜１５ｍｏｌ％程度固溶させた安定化ま
たは部分安定化ジルコニア等が好適に用いられる。前記
ＺｒＯ2の熱膨張係数は７〜１０×１０-6ｄｅｇ-1、ま
た前記安定化ジルコニアの熱膨張係数は、例えば、イッ
トリア添加安定化ジルコニア（ＺｒＯ2−８ｍｏｌ％Ｙ2
Ｏ3）の場合では８．１０×１０-6ｄｅｇ-1程度であ
る。
【００２３】発熱抵抗層１３は、絶縁層１２との密着性
がよいもので、例えば、ＳｉＣ等の導電性を有するセラ
ミックスにより構成されている。ＳｉＣの熱膨張係数は
５．１２〜５．８×１０-6ｄｅｇ-1である。
がよいもので、例えば、ＳｉＣ等の導電性を有するセラ
ミックスにより構成されている。ＳｉＣの熱膨張係数は
５．１２〜５．８×１０-6ｄｅｇ-1である。
【００２４】前記ヒータ基体１１の組成は、上記組成
に、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５〜
２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択された
１種または２種以上を含有し、および／または、Ｔｉ：
０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、Ｗ：
０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、Ｎ
ｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％か
ら選択された１種または２種以上を合計で１５重量％以
下含有したものとしてもよい。
に、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：０．５〜
２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選択された
１種または２種以上を含有し、および／または、Ｔｉ：
０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、Ｗ：
０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、Ｎ
ｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％か
ら選択された１種または２種以上を合計で１５重量％以
下含有したものとしてもよい。
【００２５】表１及び表２は、ヒータ基体１１の成分組
成を様々に変えた場合のそれぞれの冷間加工性、繰り返
し加熱による耐剥離性の各試験結果を示したものであ
る。ここでは、ヒータ基体１１の成分組成が本発明の範
囲内のものを実施例（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．２５）、成分組
成が本発明の範囲より外れたものを比較例（Ｎｏ．２６
〜Ｎｏ．３６）とした。また、表３は、従来例（Ｎｏ．
３７〜Ｎｏ．３９）について同様の試験を行なった結果
を示してある。
成を様々に変えた場合のそれぞれの冷間加工性、繰り返
し加熱による耐剥離性の各試験結果を示したものであ
る。ここでは、ヒータ基体１１の成分組成が本発明の範
囲内のものを実施例（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．２５）、成分組
成が本発明の範囲より外れたものを比較例（Ｎｏ．２６
〜Ｎｏ．３６）とした。また、表３は、従来例（Ｎｏ．
３７〜Ｎｏ．３９）について同様の試験を行なった結果
を示してある。
【００２６】冷間加工性試験は、表１ないし表３に示す
成分組成の板材各々より、幅２０ｍｍ×長さ１００ｍｍ
×厚み２ｍｍの大きさの試験片を作成し、各々の試験片
の表面を＃８００エメリー研磨紙で研磨した後、室温に
おいて曲げ試験（曲げ半径０ｍｍ、１８０゜曲げ）を行
ない、各試験片の割れの有無を調べた。繰り返し加熱に
よる耐剥離性試験は、表１ないし表３に示す成分組成の
板材各々より、幅２０ｍｍ×長さ１００ｍｍ×厚み０．
２ｍｍの大きさの試験片を作成し、各々の試験片の表面
に光輝焼鈍を施して光沢面とし、この光沢面上に厚み５
０μｍのＺｒＯ2絶縁層を形成した。次いで、これら各
試験片を、大気中９００℃にて３０分間加熱しその後空
冷するという熱サイクルを２０回繰り返し、その後、Ｚ
ｒＯ2絶縁層を凸側とし、室温において曲げ試験（曲げ
半径４ｍｍ、１８０゜曲げ）を行ない、各試験片のＺｒ
Ｏ2絶縁層の亀裂、剥離、うき上がりの有無を調べた。
成分組成の板材各々より、幅２０ｍｍ×長さ１００ｍｍ
×厚み２ｍｍの大きさの試験片を作成し、各々の試験片
の表面を＃８００エメリー研磨紙で研磨した後、室温に
おいて曲げ試験（曲げ半径０ｍｍ、１８０゜曲げ）を行
ない、各試験片の割れの有無を調べた。繰り返し加熱に
よる耐剥離性試験は、表１ないし表３に示す成分組成の
板材各々より、幅２０ｍｍ×長さ１００ｍｍ×厚み０．
２ｍｍの大きさの試験片を作成し、各々の試験片の表面
に光輝焼鈍を施して光沢面とし、この光沢面上に厚み５
０μｍのＺｒＯ2絶縁層を形成した。次いで、これら各
試験片を、大気中９００℃にて３０分間加熱しその後空
冷するという熱サイクルを２０回繰り返し、その後、Ｚ
ｒＯ2絶縁層を凸側とし、室温において曲げ試験（曲げ
半径４ｍｍ、１８０゜曲げ）を行ない、各試験片のＺｒ
Ｏ2絶縁層の亀裂、剥離、うき上がりの有無を調べた。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【表２】
【００２９】
【表３】
【００３０】表１ないし表３から明かなように、本実施
例（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．２５）においては、冷間加工性、
繰り返し加熱による耐剥離性ともに良好であるのに対
し、比較例（Ｎｏ．２６〜Ｎｏ．３６）においては冷間
加工性、繰り返し加熱による耐剥離性のいずれかが悪く
双方共良好なものが無い。また、従来例（Ｎｏ．３７〜
Ｎｏ．３９）においても、比較例と同様に双方共良好な
ものが無い。したがって、本実施例の有効性が明かとな
った。
例（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．２５）においては、冷間加工性、
繰り返し加熱による耐剥離性ともに良好であるのに対
し、比較例（Ｎｏ．２６〜Ｎｏ．３６）においては冷間
加工性、繰り返し加熱による耐剥離性のいずれかが悪く
双方共良好なものが無い。また、従来例（Ｎｏ．３７〜
Ｎｏ．３９）においても、比較例と同様に双方共良好な
ものが無い。したがって、本実施例の有効性が明かとな
った。
【００３１】以上説明した様に、上記実施例のヒータ基
体によれば、耐酸化性および機械的強度を十分に高める
ことができ、冷間加工における加工性を向上させること
ができ、複雑な形状のヒータ基体を容易に作製すること
ができる。また、該ヒータ基体を６００℃以上に繰り返
し加熱した場合においても、該ヒータ基体と絶縁層との
間に酸化スケールが発生せず、剥離が生じるおそれがな
くなる。
体によれば、耐酸化性および機械的強度を十分に高める
ことができ、冷間加工における加工性を向上させること
ができ、複雑な形状のヒータ基体を容易に作製すること
ができる。また、該ヒータ基体を６００℃以上に繰り返
し加熱した場合においても、該ヒータ基体と絶縁層との
間に酸化スケールが発生せず、剥離が生じるおそれがな
くなる。
【００３２】また、前記ヒータ基体の一主面に、ＺｒＯ
2を主成分とする絶縁層、発熱抵抗層を順次積層し、前
記絶縁層の熱膨張係数の値を、前記ヒータ基体の熱膨張
係数と発熱抵抗層の熱膨張係数との間の値としたので、
該ヒータ部材を６００℃以上に繰り返し加熱した場合に
おいても、前記ヒータ基体と絶縁層との間に酸化スケー
ルが生じるのを防止することができ、これらの間の密着
性を高めることができ、該絶縁層がヒータ基体から剥離
するのを防止することができる。したがって、ヒータ部
材としての性能を長期に亙って保持することができ、ヒ
ータ部材の長寿命化を図ることができる。
2を主成分とする絶縁層、発熱抵抗層を順次積層し、前
記絶縁層の熱膨張係数の値を、前記ヒータ基体の熱膨張
係数と発熱抵抗層の熱膨張係数との間の値としたので、
該ヒータ部材を６００℃以上に繰り返し加熱した場合に
おいても、前記ヒータ基体と絶縁層との間に酸化スケー
ルが生じるのを防止することができ、これらの間の密着
性を高めることができ、該絶縁層がヒータ基体から剥離
するのを防止することができる。したがって、ヒータ部
材としての性能を長期に亙って保持することができ、ヒ
ータ部材の長寿命化を図ることができる。
【００３３】なお、前記発熱抵抗層１３は、絶縁層１２
との密着性が良好で剥離しないものであればよく、例え
ば、ＭｏＳｉ2（二ケイ化モリブデン）等の導電性を有
するセラミックス、Ｎｉ基合金またはＦｅ基合金等の発
熱体用耐熱合金等を用いてもよい。
との密着性が良好で剥離しないものであればよく、例え
ば、ＭｏＳｉ2（二ケイ化モリブデン）等の導電性を有
するセラミックス、Ｎｉ基合金またはＦｅ基合金等の発
熱体用耐熱合金等を用いてもよい。
【００３４】また、上記実施例においては、管状のヒー
タ基体１１の外面１１ａに絶縁層１２、発熱抵抗層１３
を順次積層した構成としたが、この構成はヒータ基体１
１の一主面に絶縁層１２、発熱抵抗層１３を順次積層し
た構成であればよく、例えば、前記ヒータ基体１１の内
面１１ｂに絶縁層１２、発熱抵抗層１３を順次積層した
構成、あるいは平板状のヒータ基体の表面に、絶縁層、
発熱抵抗体層を順次積層した構成等、用途に合わせて様
々な形状に変更可能である。
タ基体１１の外面１１ａに絶縁層１２、発熱抵抗層１３
を順次積層した構成としたが、この構成はヒータ基体１
１の一主面に絶縁層１２、発熱抵抗層１３を順次積層し
た構成であればよく、例えば、前記ヒータ基体１１の内
面１１ｂに絶縁層１２、発熱抵抗層１３を順次積層した
構成、あるいは平板状のヒータ基体の表面に、絶縁層、
発熱抵抗体層を順次積層した構成等、用途に合わせて様
々な形状に変更可能である。
【００３５】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の請求項１記
載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体によれば、Ａｌ：２〜
１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、Ｃ：０．０１〜
０．５重量％含有するとともに、Ｙ：０．０００１〜
０．５重量％、Ｌａ：０．０００１〜０．３重量％、Ｃ
ｅ：０．０００１〜０．３重量％から選択された１種ま
たは２種以上を含有し、残部をＮｉ及び不可避不純物と
したので、Ｃｒを含まなくとも耐酸化性および機械的強
度を十分に高めることができ、冷間加工における加工性
を向上させることができ、複雑な形状のヒータ基体を容
易に作製することができる。また、該ヒータ基体を６０
０℃以上に繰り返し加熱した場合においても、該ヒータ
基体の表面に酸化スケールが生じるおそれがなく、該ヒ
ータ基体の一主面に絶縁層を形成した場合に、この絶縁
層の剥離を防止することができる。
載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体によれば、Ａｌ：２〜
１０重量％、Ｓｉ：０．１〜４重量％、Ｃ：０．０１〜
０．５重量％含有するとともに、Ｙ：０．０００１〜
０．５重量％、Ｌａ：０．０００１〜０．３重量％、Ｃ
ｅ：０．０００１〜０．３重量％から選択された１種ま
たは２種以上を含有し、残部をＮｉ及び不可避不純物と
したので、Ｃｒを含まなくとも耐酸化性および機械的強
度を十分に高めることができ、冷間加工における加工性
を向上させることができ、複雑な形状のヒータ基体を容
易に作製することができる。また、該ヒータ基体を６０
０℃以上に繰り返し加熱した場合においても、該ヒータ
基体の表面に酸化スケールが生じるおそれがなく、該ヒ
ータ基体の一主面に絶縁層を形成した場合に、この絶縁
層の剥離を防止することができる。
【００３６】請求項２記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体によれば、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：
０．５〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選
択された１種または２種以上を含有することとしたの
で、機械的強度をさらに高めることができる。
体によれば、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：
０．５〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選
択された１種または２種以上を含有することとしたの
で、機械的強度をさらに高めることができる。
【００３７】請求項３記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体によれば、さらに、Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：
０．１〜１０重量％、Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：
０．１〜１０重量％、Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈ
ｆ：０．１〜１０重量％から選択された１種または２種
以上を合計で１５重量％以下含有することとしたので、
高温における機械的強度を向上させることができる。
体によれば、さらに、Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：
０．１〜１０重量％、Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：
０．１〜１０重量％、Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈ
ｆ：０．１〜１０重量％から選択された１種または２種
以上を合計で１５重量％以下含有することとしたので、
高温における機械的強度を向上させることができる。
【００３８】請求項４記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基
体によれば、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：
０．５〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選
択された１種または２種以上を含有するとともに、Ｔ
ｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、
Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、
Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％
から選択された１種または２種以上を合計で１５重量％
以下含有することとしたので、機械的強度をさらに高め
ることができ、高温における機械的強度を向上させるこ
とができる。
体によれば、さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃｏ：
０．５〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％から選
択された１種または２種以上を含有するとともに、Ｔ
ｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、
Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、
Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％
から選択された１種または２種以上を合計で１５重量％
以下含有することとしたので、機械的強度をさらに高め
ることができ、高温における機械的強度を向上させるこ
とができる。
【００３９】請求項５記載のヒータ部材によれば、請求
項１ないし４のいずれか１項記載のＮｉ基耐熱合金製ヒ
ータ基体の一主面に、ＺｒＯ2を主成分とする絶縁層、
発熱抵抗層を順次積層し、前記絶縁層の熱膨張係数の値
を、前記ヒータ基体の熱膨張係数と発熱抵抗層の熱膨張
係数との間の値としたので、該ヒータ部材を６００℃以
上に繰り返し加熱した場合においても、前記ヒータ基体
と絶縁層との間に酸化スケールが生じるのを防止するこ
とができ、これらの間の密着性を高めることができ、該
絶縁層がヒータ基体から剥離するのを防止することがで
きる。したがって、ヒータ部材としての性能を長期に亙
って保持することができ、ヒータ部材の長寿命化を図る
ことができる。
項１ないし４のいずれか１項記載のＮｉ基耐熱合金製ヒ
ータ基体の一主面に、ＺｒＯ2を主成分とする絶縁層、
発熱抵抗層を順次積層し、前記絶縁層の熱膨張係数の値
を、前記ヒータ基体の熱膨張係数と発熱抵抗層の熱膨張
係数との間の値としたので、該ヒータ部材を６００℃以
上に繰り返し加熱した場合においても、前記ヒータ基体
と絶縁層との間に酸化スケールが生じるのを防止するこ
とができ、これらの間の密着性を高めることができ、該
絶縁層がヒータ基体から剥離するのを防止することがで
きる。したがって、ヒータ部材としての性能を長期に亙
って保持することができ、ヒータ部材の長寿命化を図る
ことができる。
【図１】本発明の一実施例のヒータ部材を示す縦断面図
である。
である。
【図２】従来のヒータ部材を示す縦断面図である。
１１ ヒータ基体 １２ 絶縁層 １３ 発熱抵抗層
Claims (5)
- 【請求項１】 Ａｌ：２〜１０重量％、Ｓｉ：０．１〜
４重量％、Ｃ：０．０１〜０．５重量％含有するととも
に、Ｙ：０．０００１〜０．５重量％、Ｌａ：０．００
０１〜０．３重量％、Ｃｅ：０．０００１〜０．３重量
％から選択された１種または２種以上を含有し、残部が
Ｎｉ及び不可避不純物からなることを特徴とするＮｉ基
耐熱合金製ヒータ基体。 - 【請求項２】 さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃ
ｏ：０．５〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％か
ら選択された１種または２種以上を含有することを特徴
とする請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体。 - 【請求項３】 さらに、Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍ
ｏ：０．１〜１０重量％、Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔ
ａ：０．１〜１０重量％、Ｎｂ：０．１〜１０重量％、
Ｈｆ：０．１〜１０重量％から選択された１種または２
種以上を合計で１５重量％以下含有することを特徴とす
る請求項１記載のＮｉ基耐熱合金製ヒータ基体。 - 【請求項４】 さらに、Ｍｎ：０．１〜２重量％、Ｃ
ｏ：０．５〜２０重量％、Ｆｅ：０．５〜４０重量％か
ら選択された１種または２種以上を含有するとともに、
Ｔｉ：０．１〜５重量％、Ｍｏ：０．１〜１０重量％、
Ｗ：０．１〜１０重量％、Ｔａ：０．１〜１０重量％、
Ｎｂ：０．１〜１０重量％、Ｈｆ：０．１〜１０重量％
から選択された１種または２種以上を合計で１５重量％
以下含有することを特徴とする請求項１記載のＮｉ基耐
熱合金製ヒータ基体。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか１項記載の
Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体の一主面に、ＺｒＯ2を主
成分とする絶縁層、発熱抵抗層が順次積層され、前記絶
縁層の熱膨張係数の値を、前記ヒータ基体の熱膨張係数
と発熱抵抗層の熱膨張係数との間の値としたことを特徴
とするヒータ部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25638194A JPH08120376A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体およびそれを用いたヒータ部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25638194A JPH08120376A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体およびそれを用いたヒータ部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08120376A true JPH08120376A (ja) | 1996-05-14 |
Family
ID=17291894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25638194A Withdrawn JPH08120376A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | Ｎｉ基耐熱合金製ヒータ基体およびそれを用いたヒータ部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08120376A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008018956A3 (en) * | 2006-07-05 | 2008-04-10 | Momentive Performance Mat Inc | Coating composition, article, and associated method |
| WO2008076319A1 (en) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Momentive Performance Materials | Heater apparatus and associated method |
| EP2343389A1 (de) * | 2006-05-16 | 2011-07-13 | BorgWarner BERU Systems GmbH | Legierung auf der Basis von Nickel und deren Verwendung für Zündkerzenelektroden |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP25638194A patent/JPH08120376A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2343389A1 (de) * | 2006-05-16 | 2011-07-13 | BorgWarner BERU Systems GmbH | Legierung auf der Basis von Nickel und deren Verwendung für Zündkerzenelektroden |
| WO2008018956A3 (en) * | 2006-07-05 | 2008-04-10 | Momentive Performance Mat Inc | Coating composition, article, and associated method |
| WO2008076319A1 (en) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Momentive Performance Materials | Heater apparatus and associated method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |