JPH08122038A - セラミックスシート厚さ測定器 - Google Patents
セラミックスシート厚さ測定器Info
- Publication number
- JPH08122038A JPH08122038A JP25631294A JP25631294A JPH08122038A JP H08122038 A JPH08122038 A JP H08122038A JP 25631294 A JP25631294 A JP 25631294A JP 25631294 A JP25631294 A JP 25631294A JP H08122038 A JPH08122038 A JP H08122038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- ceramic green
- base film
- ray
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ベースフィルム上にコーティングされている
セラミックスグリーンシートの厚さを精度良く測定する
ことができる測定器を得る。 【構成】 測定器１はＸ線源２とＸ線検出器３と、これ
らＸ線源２とＸ線検出器３をカバーするケース４で構成
されている。ベースフィルム１０上のセラミックスグリ
ーンシート１１はＸ線源２から放射されたＸ線５に照射
される。そして、ベースフィルム１０とセラミックスグ
リーンシート１１を透過したＸ線５が検出器３に到達し
て検出される。Ｘ線５はベースフィルム１０とセラミッ
クスグリーンシート１１を透過する際、その一部がベー
スフィルム１０やセラミックスグリーンシート１１に吸
収され減衰する。その減衰量からセラミックスグリーン
シート１１の厚さが求められる。
セラミックスグリーンシートの厚さを精度良く測定する
ことができる測定器を得る。 【構成】 測定器１はＸ線源２とＸ線検出器３と、これ
らＸ線源２とＸ線検出器３をカバーするケース４で構成
されている。ベースフィルム１０上のセラミックスグリ
ーンシート１１はＸ線源２から放射されたＸ線５に照射
される。そして、ベースフィルム１０とセラミックスグ
リーンシート１１を透過したＸ線５が検出器３に到達し
て検出される。Ｘ線５はベースフィルム１０とセラミッ
クスグリーンシート１１を透過する際、その一部がベー
スフィルム１０やセラミックスグリーンシート１１に吸
収され減衰する。その減衰量からセラミックスグリーン
シート１１の厚さが求められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスシート厚
さ測定器、特に、ベースフィルム上に形成されたセラミ
ックスグリーンシートの厚さを測定することができる測
定器に関する。
さ測定器、特に、ベースフィルム上に形成されたセラミ
ックスグリーンシートの厚さを測定することができる測
定器に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】一般に、コンデンサ部品や圧電部
品等の電子部品の素材であるセラミックスグリーンシー
トは、ペースト状態のセラミックスをベースフィルム上
にコーティング、乾燥して形成される。ここに、セラミ
ックスグリーンシートの厚さは電子部品の仕上がり寸法
や、電気特性に大きな影響を及ぼすため、ばらつきのな
い安定した値が必要である。それには、セラミックスグ
リーンシートの厚さを精度良く測定しなければならな
い。
品等の電子部品の素材であるセラミックスグリーンシー
トは、ペースト状態のセラミックスをベースフィルム上
にコーティング、乾燥して形成される。ここに、セラミ
ックスグリーンシートの厚さは電子部品の仕上がり寸法
や、電気特性に大きな影響を及ぼすため、ばらつきのな
い安定した値が必要である。それには、セラミックスグ
リーンシートの厚さを精度良く測定しなければならな
い。
【０００３】従来、セラミックスグリーンシートの厚さ
を測定する方法として、レーザ散乱法やレーザ反射法や
光ファイバ法等、光を利用してセラミックスグリーンシ
ートの厚さを導き出すものが知られている。しかしなが
ら、これらの方法は、セラミックスグリーンシートとベ
ースフィルムの両者の厚さを合わせた寸法を測定するも
のであって、直接セラミックスグリーンシートの厚さの
みを測定するものではない。従って、得られるデータが
ベースフィルムのばらつきを含んだものとなり、正確な
セラミックスグリーンシートの厚さを測定することがで
きなかった。
を測定する方法として、レーザ散乱法やレーザ反射法や
光ファイバ法等、光を利用してセラミックスグリーンシ
ートの厚さを導き出すものが知られている。しかしなが
ら、これらの方法は、セラミックスグリーンシートとベ
ースフィルムの両者の厚さを合わせた寸法を測定するも
のであって、直接セラミックスグリーンシートの厚さの
みを測定するものではない。従って、得られるデータが
ベースフィルムのばらつきを含んだものとなり、正確な
セラミックスグリーンシートの厚さを測定することがで
きなかった。
【０００４】また、これとは別に、β線やγ線をセラミ
ックスシートに照射、透過させ、その減衰量からセラミ
ックスシートの厚さを求める方法が考えられる。しかし
ながら、β線やγ線はベースフィルムによって減衰され
易い性質があるため、セラミックスシートの厚さを精度
良く求めることは困難である。そこで、本発明の課題
は、ベースフィルム上に形成されたセラミックスグリー
ンシートの厚さを精度良く測定することができる測定器
を提供することにある。
ックスシートに照射、透過させ、その減衰量からセラミ
ックスシートの厚さを求める方法が考えられる。しかし
ながら、β線やγ線はベースフィルムによって減衰され
易い性質があるため、セラミックスシートの厚さを精度
良く求めることは困難である。そこで、本発明の課題
は、ベースフィルム上に形成されたセラミックスグリー
ンシートの厚さを精度良く測定することができる測定器
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段と作用】以上の課題を解決
するため、本発明に係るセラミックスシート厚さ測定器
は、（ａ）ベースフィルム上に形成されたセラミックス
グリーンシートにＸ線を照射するためのＸ線源と、
（ｂ）ベースフィルム上に形成されたセラミックスグリ
ーンシートを透過したＸ線を検出するためのＸ線検出器
と、を備えたことを特徴とする。
するため、本発明に係るセラミックスシート厚さ測定器
は、（ａ）ベースフィルム上に形成されたセラミックス
グリーンシートにＸ線を照射するためのＸ線源と、
（ｂ）ベースフィルム上に形成されたセラミックスグリ
ーンシートを透過したＸ線を検出するためのＸ線検出器
と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】以上の構成により、Ｘ線源から放射された
Ｘ線をベースフィルム上に形成されたセラミックスグリ
ーンシートに照射、透過させ、その減衰量からセラミッ
クスグリーンシートの厚さが求められる。Ｘ線はセラミ
ックスグリーンシートとベースフィルムを透過しても、
ベースフィルムによって吸収される量よりセラミックス
グリーンシートによって吸収される量の方が遙かに大き
いため、ベースフィルムによる吸収は、殆んど無視さ
れ、セラミックスグリーンシートの厚さが高精度で測定
される。
Ｘ線をベースフィルム上に形成されたセラミックスグリ
ーンシートに照射、透過させ、その減衰量からセラミッ
クスグリーンシートの厚さが求められる。Ｘ線はセラミ
ックスグリーンシートとベースフィルムを透過しても、
ベースフィルムによって吸収される量よりセラミックス
グリーンシートによって吸収される量の方が遙かに大き
いため、ベースフィルムによる吸収は、殆んど無視さ
れ、セラミックスグリーンシートの厚さが高精度で測定
される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係るセラミックスシート厚さ
測定器の一実施例について添付図面を参照して説明す
る。図１の示すように、セラミックスシート厚さ測定器
１は、Ｘ線源２と、Ｘ線検出器３と、これらＸ線源２と
Ｘ線検出器３をカバーするケース４とで構成されてい
る。Ｘ線源２から放射されるＸ線５は、軟Ｘ線、硬Ｘ線
のいずれであってもよいが、通常は人体への影響が殆ど
ない軟Ｘ線が利用される。
測定器の一実施例について添付図面を参照して説明す
る。図１の示すように、セラミックスシート厚さ測定器
１は、Ｘ線源２と、Ｘ線検出器３と、これらＸ線源２と
Ｘ線検出器３をカバーするケース４とで構成されてい
る。Ｘ線源２から放射されるＸ線５は、軟Ｘ線、硬Ｘ線
のいずれであってもよいが、通常は人体への影響が殆ど
ない軟Ｘ線が利用される。
【０００８】ケース４は鉛等で製作され外界にＸ線が漏
れないよう工夫している。ケース４には被測定物である
ベースフィルム１０上のセラミックスグリーンシート１
１を測定器１内に搬入するための穴４ａと測定器１外に
搬出するための穴４ｂが設けられている。以上の構成か
らなるセラミックスシート厚さ測定器１を使用してセラ
ミックスグリーンシート１１の厚さを測定する方法につ
いて説明する。
れないよう工夫している。ケース４には被測定物である
ベースフィルム１０上のセラミックスグリーンシート１
１を測定器１内に搬入するための穴４ａと測定器１外に
搬出するための穴４ｂが設けられている。以上の構成か
らなるセラミックスシート厚さ測定器１を使用してセラ
ミックスグリーンシート１１の厚さを測定する方法につ
いて説明する。
【０００９】セラミックスグリーンシート１１はベース
フィルム１０上にペースト状態のセラミックスをドクタ
ーブレード法等の手段にてコーティング、乾燥すること
により形成される。測定器１は製造ラインとは独立させ
て使用してもよいが、セラミックスグリーンシート１１
の厚さを非接触で測定することができるので、セラミッ
クスグリーンシート１１の製造ラインに組み込んで使用
するのが好ましい。ベースフィルム１０上に形成された
セラミックスグリーンシート１１の厚さのデータが即座
に得られるため、そのデータをリアルタイムでセラミッ
クスのコーティング条件にフィードバックすることがで
き、厚さのばらつきが少ないセラミックスグリーンシー
ト１１を製造することができるようになるからである。
フィルム１０上にペースト状態のセラミックスをドクタ
ーブレード法等の手段にてコーティング、乾燥すること
により形成される。測定器１は製造ラインとは独立させ
て使用してもよいが、セラミックスグリーンシート１１
の厚さを非接触で測定することができるので、セラミッ
クスグリーンシート１１の製造ラインに組み込んで使用
するのが好ましい。ベースフィルム１０上に形成された
セラミックスグリーンシート１１の厚さのデータが即座
に得られるため、そのデータをリアルタイムでセラミッ
クスのコーティング条件にフィードバックすることがで
き、厚さのばらつきが少ないセラミックスグリーンシー
ト１１を製造することができるようになるからである。
【００１０】穴４ａから測定器１に搬入されたベースフ
ィルム１０上のセラミックスグリーンシート１１は、Ｘ
線源２から放射されたＸ線５に照射される。そして、ベ
ースフィルム１０とセラミックスグリーンシート１１の
両者を透過したＸ線５が検出器３に到達して検出され
る。Ｘ線５はベースフィルム１０とセラミックスグリー
ンシート１１を透過する際、その一部がベースフィルム
１０やセラミックスグリーンシート１１に吸収され減衰
する。
ィルム１０上のセラミックスグリーンシート１１は、Ｘ
線源２から放射されたＸ線５に照射される。そして、ベ
ースフィルム１０とセラミックスグリーンシート１１の
両者を透過したＸ線５が検出器３に到達して検出され
る。Ｘ線５はベースフィルム１０とセラミックスグリー
ンシート１１を透過する際、その一部がベースフィルム
１０やセラミックスグリーンシート１１に吸収され減衰
する。
【００１１】すなわち、Ｉ0という強さのＸ線を、厚さ
ｄの被測定物を透過させたとき、透過後のＸ線の強さＩ
は以下の式（１）で得られる。 Ｉ＝Ｉ0ｅ-Kd ……（１） ここに、Ｋは吸収係数であり、物質の原子番号に比例す
る。一般にベースフィルム１０はポリエチレンテレフタ
レートやポリプロピレン等のプラスチックからなり、そ
の構成原子はＣ，Ｈ，Ｏ等である。一方、セラミックス
グリーンシート１１はチタン酸バリウム等のセラミック
スからなり、構成原子はＴｉ，Ｂａ等で原子番号はベー
スフィルム１０の構成原子の原子番号より大きい。従っ
て、Ｘ線５はセラミックスグリーンシート１１とベース
フィルム１０を透過しても、ベースフィルム１０によっ
て吸収される量よりセラミックスグリーンシート１１に
よって吸収される量の方が遙かに大きいので、ベースフ
ィルムによる吸収は殆んど無視できる。この結果、Ｘ線
５の減衰量からセラミックスグリーンシート１１の厚さ
を高精度で測定することができる。具体的には、ベース
フィルム１０の材料としてポリエチレンテレフタレート
を使用し、セラミックスグリーンシート１１の材料とし
てチタン酸バリウムを使用した場合、ポリエチレンテレ
フタレートの吸収係数は約７であり、チタン酸バリウム
の吸収係数は約４８５であるから、Ｘ線の吸収感度はセ
ラミックスグリーンシート１１の方がベースフィルム１
０より約７０倍良い。
ｄの被測定物を透過させたとき、透過後のＸ線の強さＩ
は以下の式（１）で得られる。 Ｉ＝Ｉ0ｅ-Kd ……（１） ここに、Ｋは吸収係数であり、物質の原子番号に比例す
る。一般にベースフィルム１０はポリエチレンテレフタ
レートやポリプロピレン等のプラスチックからなり、そ
の構成原子はＣ，Ｈ，Ｏ等である。一方、セラミックス
グリーンシート１１はチタン酸バリウム等のセラミック
スからなり、構成原子はＴｉ，Ｂａ等で原子番号はベー
スフィルム１０の構成原子の原子番号より大きい。従っ
て、Ｘ線５はセラミックスグリーンシート１１とベース
フィルム１０を透過しても、ベースフィルム１０によっ
て吸収される量よりセラミックスグリーンシート１１に
よって吸収される量の方が遙かに大きいので、ベースフ
ィルムによる吸収は殆んど無視できる。この結果、Ｘ線
５の減衰量からセラミックスグリーンシート１１の厚さ
を高精度で測定することができる。具体的には、ベース
フィルム１０の材料としてポリエチレンテレフタレート
を使用し、セラミックスグリーンシート１１の材料とし
てチタン酸バリウムを使用した場合、ポリエチレンテレ
フタレートの吸収係数は約７であり、チタン酸バリウム
の吸収係数は約４８５であるから、Ｘ線の吸収感度はセ
ラミックスグリーンシート１１の方がベースフィルム１
０より約７０倍良い。
【００１２】さらに、このセラミックスシート厚さ測定
器１にはセラミックスグリーンシート１１のピンホー
ル、セラミックスの偏析、フィッシュアイ等の不具合を
検出するための検査装置２１を増設している。検査装置
２１はＸ線源２２と、Ｘ線カメラ２３と、これらＸ線源
２２とＸ線カメラ２３をカバーするケース２５とで構成
されている。
器１にはセラミックスグリーンシート１１のピンホー
ル、セラミックスの偏析、フィッシュアイ等の不具合を
検出するための検査装置２１を増設している。検査装置
２１はＸ線源２２と、Ｘ線カメラ２３と、これらＸ線源
２２とＸ線カメラ２３をカバーするケース２５とで構成
されている。
【００１３】Ｘ線源２２の前方にはＸ線源２２から放射
されたＸ線２６を微小スポット化するための穴２４ａを
設けた遮蔽板２４が配設されている。ケース２５には被
測定物であるベースフィルム１０上のセラミックスグリ
ーンシート１１を装置２１内に搬入するための穴２５ａ
と装置２１外に搬出するための穴２５ｂが設けられてい
る。Ｘ線源２２から放射されたＸ線２６はセラミックス
グリーンシート１１とベースフィルム１０を透過した
後、Ｘ線カメラ２３に到達する。Ｘ線カメラで把えられ
た画像は、電気信号に変換され、図示しない画像処理部
に送られる。この画像処理部にて適宜処理され、セラミ
ックスグリーンシート１１のピンホール、セラミックス
の偏析、フィッシュアイ等の検査が実行されることにな
る。この装置２１は、従来のＣＣＤカメラやレーザ等を
利用した検査と比較して、ベースフィルムが透過性材料
でできていても、ベースフィルムとセラミックスグリー
ンシートが同色であっても検査できること、また、セラ
ミックスとバインダーの識別が可能であるためセラミッ
クスのみの不具合を検査できること等の利点がある。
されたＸ線２６を微小スポット化するための穴２４ａを
設けた遮蔽板２４が配設されている。ケース２５には被
測定物であるベースフィルム１０上のセラミックスグリ
ーンシート１１を装置２１内に搬入するための穴２５ａ
と装置２１外に搬出するための穴２５ｂが設けられてい
る。Ｘ線源２２から放射されたＸ線２６はセラミックス
グリーンシート１１とベースフィルム１０を透過した
後、Ｘ線カメラ２３に到達する。Ｘ線カメラで把えられ
た画像は、電気信号に変換され、図示しない画像処理部
に送られる。この画像処理部にて適宜処理され、セラミ
ックスグリーンシート１１のピンホール、セラミックス
の偏析、フィッシュアイ等の検査が実行されることにな
る。この装置２１は、従来のＣＣＤカメラやレーザ等を
利用した検査と比較して、ベースフィルムが透過性材料
でできていても、ベースフィルムとセラミックスグリー
ンシートが同色であっても検査できること、また、セラ
ミックスとバインダーの識別が可能であるためセラミッ
クスのみの不具合を検査できること等の利点がある。
【００１４】なお、本発明に係るセラミックスシート厚
さ測定器は前記実施例に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変形することができる。特に、前記
実施例では検査装置２１を増設しているが、必らずしも
必要なものではない。
さ測定器は前記実施例に限定するものではなく、その要
旨の範囲内で種々に変形することができる。特に、前記
実施例では検査装置２１を増設しているが、必らずしも
必要なものではない。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、Ｘ線を利用してベースフィルム上に形成された
セラミックスグリーンシートの厚さを測定するので、ベ
ースフィルムの厚さばらつきとは関係なく、セラミック
スグリーンシートの厚さのみを精度良く測定することが
できる測定器が得られる。
よれば、Ｘ線を利用してベースフィルム上に形成された
セラミックスグリーンシートの厚さを測定するので、ベ
ースフィルムの厚さばらつきとは関係なく、セラミック
スグリーンシートの厚さのみを精度良く測定することが
できる測定器が得られる。
【図１】本発明に係るセラミックスシート厚さ測定器の
一実施例を示す正面図。
一実施例を示す正面図。
１…セラミックスシート厚さ測定器 ２…Ｘ線源 ３…Ｘ線検出器 ５…Ｘ線 １０…ベースフィルム １１…セラミックスグリーンシート
Claims (1)
- 【請求項１】 ベースフィルム上に形成されたセラミッ
クスグリーンシートにＸ線を照射するためのＸ線源と、 ベースフィルム上に形成されたセラミックスグリーンシ
ートを透過したＸ線を検出するためのＸ線検出器と、 を備えたことを特徴とするセラミックスシート厚さ測定
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25631294A JPH08122038A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | セラミックスシート厚さ測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25631294A JPH08122038A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | セラミックスシート厚さ測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122038A true JPH08122038A (ja) | 1996-05-17 |
Family
ID=17290922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25631294A Pending JPH08122038A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | セラミックスシート厚さ測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08122038A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012007955A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Toyota Motor Corp | 検査装置、検査方法、及び、電池の製造方法 |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP25631294A patent/JPH08122038A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012007955A (ja) * | 2010-06-23 | 2012-01-12 | Toyota Motor Corp | 検査装置、検査方法、及び、電池の製造方法 |
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