JPH08122648A - 微分干渉顕微鏡 - Google Patents
微分干渉顕微鏡Info
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- JPH08122648A JPH08122648A JP27719794A JP27719794A JPH08122648A JP H08122648 A JPH08122648 A JP H08122648A JP 27719794 A JP27719794 A JP 27719794A JP 27719794 A JP27719794 A JP 27719794A JP H08122648 A JPH08122648 A JP H08122648A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コントラスト増強法との組み合わせにおい
て、最適な解像力が得られる微分干渉顕微鏡を提供す
る。 【構成】 光源7からの光を常光と異常光とに分離して
被観察物体1に照射し、その被観察物体1の像を結像光
学系3により常光および異常光を重ね合わせて結像面に
結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、結像光
学系3の結像面に電子撮像素子4を配置し、被観察物体
1に照射される常光および異常光の物体面における分離
幅Δを、観察する光の波長をλ、結像光学系3の観察物
体側の開口数をNAとするとき、Δ<0.25・λ/N
Aを満足するよう構成して、電子撮像素子4からの画像
信号を処理してコントラストを増強する。
て、最適な解像力が得られる微分干渉顕微鏡を提供す
る。 【構成】 光源7からの光を常光と異常光とに分離して
被観察物体1に照射し、その被観察物体1の像を結像光
学系3により常光および異常光を重ね合わせて結像面に
結像させるようにした微分干渉顕微鏡において、結像光
学系3の結像面に電子撮像素子4を配置し、被観察物体
1に照射される常光および異常光の物体面における分離
幅Δを、観察する光の波長をλ、結像光学系3の観察物
体側の開口数をNAとするとき、Δ<0.25・λ/N
Aを満足するよう構成して、電子撮像素子4からの画像
信号を処理してコントラストを増強する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、細胞やバク
テリア等の微細物体を高解像力で観察するのに用いられ
る微分干渉顕微鏡に関するものである。
テリア等の微細物体を高解像力で観察するのに用いられ
る微分干渉顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、光学顕微鏡を用いて、生きた細胞
の微細構造やバクテリア等の外部刺激に対する反応を観
察することが多くなっていることから、より高解像力の
光学顕微鏡が求められてきている。
の微細構造やバクテリア等の外部刺激に対する反応を観
察することが多くなっていることから、より高解像力の
光学顕微鏡が求められてきている。
【0003】このようなことから、顕微鏡の解像力を向
上させる種々の方法が提案されており、その一つの方法
として、例えば、「Video-Enhanced Contrast, Differe
ntial Interference Contrast(AVEC-DIC) Microscopy:
A New Method Capable of Analyzing Microtubule-Rela
ted Motility in the Reticulopodial Network of Allo
gromia Iaticollaris 」R.D.Allen, N.S.Allen, J.L.Tr
avis, Cell Motility1:291-302 (1981) や、「光学顕
微鏡システム最近の進歩」早川 毅、藤分 秀司、日本
物理学会誌、第40巻、第1号、P.47-55(1985) 等に、コ
ントラスト増強法が開示されている。このコントラスト
増強法を用いれば、従来の目視観察ではコントラストが
低くて識別が困難な画像でも、コストラストが強調され
て識別が可能となる。
上させる種々の方法が提案されており、その一つの方法
として、例えば、「Video-Enhanced Contrast, Differe
ntial Interference Contrast(AVEC-DIC) Microscopy:
A New Method Capable of Analyzing Microtubule-Rela
ted Motility in the Reticulopodial Network of Allo
gromia Iaticollaris 」R.D.Allen, N.S.Allen, J.L.Tr
avis, Cell Motility1:291-302 (1981) や、「光学顕
微鏡システム最近の進歩」早川 毅、藤分 秀司、日本
物理学会誌、第40巻、第1号、P.47-55(1985) 等に、コ
ントラスト増強法が開示されている。このコントラスト
増強法を用いれば、従来の目視観察ではコントラストが
低くて識別が困難な画像でも、コストラストが強調され
て識別が可能となる。
【0004】かかるコントラスト増強法は、微分干渉顕
微鏡と組み合わされることが多く、微分干渉顕微鏡の高
解像力化に効果を奏している。
微鏡と組み合わされることが多く、微分干渉顕微鏡の高
解像力化に効果を奏している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】微分干渉顕微鏡におい
て、観察物体面上での常光と異常光との分離幅は、シェ
ア量と呼ばれており、このシェア量は、微分干渉顕微鏡
の解像力やコントラストを決める重要なパラメータであ
ることが知られている。
て、観察物体面上での常光と異常光との分離幅は、シェ
ア量と呼ばれており、このシェア量は、微分干渉顕微鏡
の解像力やコントラストを決める重要なパラメータであ
ることが知られている。
【0006】しかしながら、従来の微分干渉顕微鏡にお
けるシェア量の決定は、理論的解析による物ではなく、
目視観察で最も良く見えるように経験的経過によって決
められている。上記の2つの文献においても、シェア量
については、理論的考察がされていない。
けるシェア量の決定は、理論的解析による物ではなく、
目視観察で最も良く見えるように経験的経過によって決
められている。上記の2つの文献においても、シェア量
については、理論的考察がされていない。
【0007】また、「光学顕微鏡の解像力の限界」大木
裕史、超解像セミナー講演要旨集、日本分光学会、P.
1-15(1992)や、「Modulation Transfar Function」S. I
noue, VIDEO MICROSCOPY, Plenum publising CO, 5.7,
p122-125 には、微分干渉顕微鏡の結像特性について解
析されているが、これらの文献にも、シェア量が結像特
性に及ぼす影響については何ら言及されていない。
裕史、超解像セミナー講演要旨集、日本分光学会、P.
1-15(1992)や、「Modulation Transfar Function」S. I
noue, VIDEO MICROSCOPY, Plenum publising CO, 5.7,
p122-125 には、微分干渉顕微鏡の結像特性について解
析されているが、これらの文献にも、シェア量が結像特
性に及ぼす影響については何ら言及されていない。
【0008】このように、従来の微分干渉顕微鏡におい
ては、コントラスト増強法を組み合わせることで、高解
像力化を実現することが行われているが、シェア量につ
いての考慮が成されていないために、必ずしも最適な解
像力が得られないという問題がある。
ては、コントラスト増強法を組み合わせることで、高解
像力化を実現することが行われているが、シェア量につ
いての考慮が成されていないために、必ずしも最適な解
像力が得られないという問題がある。
【0009】この発明は、上記の点に鑑みてなされたも
ので、コントラスト増強法との組み合わせにおいて、最
適な解像力が得られるよう適切に構成した微分干渉顕微
鏡を提供することを目的とする。
ので、コントラスト増強法との組み合わせにおいて、最
適な解像力が得られるよう適切に構成した微分干渉顕微
鏡を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、光源からの光を常光と異常光とに分離
して被観察物体に照射し、その被観察物体の像を結像光
学系により常光および異常光を重ね合わせて結像面に結
像させるようにした微分干渉顕微鏡において、前記結像
光学系の結像面に電子撮像素子を配置し、前記被観察物
体に照射される前記常光および異常光の物体面における
分離幅Δを、観察する光の波長をλ、前記結像光学系の
観察物体側の開口数をNAとするとき、Δ<0.25・
λ/NAを満足するよう構成して、前記電子撮像素子か
らの画像信号を処理してコントラストを増強するように
したことを特徴とするものである。
め、この発明は、光源からの光を常光と異常光とに分離
して被観察物体に照射し、その被観察物体の像を結像光
学系により常光および異常光を重ね合わせて結像面に結
像させるようにした微分干渉顕微鏡において、前記結像
光学系の結像面に電子撮像素子を配置し、前記被観察物
体に照射される前記常光および異常光の物体面における
分離幅Δを、観察する光の波長をλ、前記結像光学系の
観察物体側の開口数をNAとするとき、Δ<0.25・
λ/NAを満足するよう構成して、前記電子撮像素子か
らの画像信号を処理してコントラストを増強するように
したことを特徴とするものである。
【0011】前記分離幅Δは、0.08・λ/NA≦Δ
を満足するのが、最適な解像力を得る点で好ましい。
を満足するのが、最適な解像力を得る点で好ましい。
【0012】
【作用】図1は、この発明の原理を説明するための微分
干渉顕微鏡の一例の構成を示すものである。この微分干
渉顕微鏡は、標本1を照明する照明光学系2と、標本1
の像を拡大して結像する結像光学系3と、この結像光学
系3の結像面に配置した電子撮像素子4と、この電子撮
像素子4からの画像信号を処理してコントラストを増強
する画像処理装置5と、この画像処理装置5で処理され
た画像信号を表示する出力装置6とを有する。
干渉顕微鏡の一例の構成を示すものである。この微分干
渉顕微鏡は、標本1を照明する照明光学系2と、標本1
の像を拡大して結像する結像光学系3と、この結像光学
系3の結像面に配置した電子撮像素子4と、この電子撮
像素子4からの画像信号を処理してコントラストを増強
する画像処理装置5と、この画像処理装置5で処理され
た画像信号を表示する出力装置6とを有する。
【0013】照明光学系2は、光源7、偏光子8、ノマ
ルスキープリズム9およびコンデンサレンズ10を有
し、光源7からの光を偏光子8で直線偏光にしてノマル
スキープリズム9に入射させ、ここで常光と異常光とに
分離してコンデンサレンズ10を経て標本1を照明する
ようにする。また、結像光学系3は、対物レンズ11、
ノマルスキープリズム12および検光子13を有し、標
本1を透過した常光および異常光を対物レンズ11を経
てノマルスキープリズム12で合波し、その合波した常
光および異常光を、検光子13を経て干渉させて結像面
に干渉像を形成するようにする。
ルスキープリズム9およびコンデンサレンズ10を有
し、光源7からの光を偏光子8で直線偏光にしてノマル
スキープリズム9に入射させ、ここで常光と異常光とに
分離してコンデンサレンズ10を経て標本1を照明する
ようにする。また、結像光学系3は、対物レンズ11、
ノマルスキープリズム12および検光子13を有し、標
本1を透過した常光および異常光を対物レンズ11を経
てノマルスキープリズム12で合波し、その合波した常
光および異常光を、検光子13を経て干渉させて結像面
に干渉像を形成するようにする。
【0014】以下、図1に示す微分干渉顕微鏡の結像に
ついて、1次元のモデルを用いて説明する。いま、照明
光学系2の瞳関数をQ(ξ) 、結像光学系3の瞳関数をP
(ξ) 、標本1の位相分布をφ(x) として、ボルン近
似、 exp i φ(x) =1 + iφ(x) を行うと、標本1の像強度分布I(x)は、部分的コヒーレ
ント結像理論より、
ついて、1次元のモデルを用いて説明する。いま、照明
光学系2の瞳関数をQ(ξ) 、結像光学系3の瞳関数をP
(ξ) 、標本1の位相分布をφ(x) として、ボルン近
似、 exp i φ(x) =1 + iφ(x) を行うと、標本1の像強度分布I(x)は、部分的コヒーレ
ント結像理論より、
【数1】 で与えられる。ただし、Φ(f) はφ(x) のフーリエ変換
を表し、fは空間周波数を示す。
を表し、fは空間周波数を示す。
【0015】上記(1)式におけるR(f,f') は、部分的
コヒーレント結像での伝達関数を表し、第2および3項
はfまたはf’のいずれかが0のときの計算であり、第
4項はf≠0で、かつf’≠0のときの計算を表してい
る。
コヒーレント結像での伝達関数を表し、第2および3項
はfまたはf’のいずれかが0のときの計算であり、第
4項はf≠0で、かつf’≠0のときの計算を表してい
る。
【0016】ここで、微分干渉顕微鏡は、偏光干渉を利
用しているので、ノマルスキープリズム12における常
光と異常光との振動方向を、座標軸の方向とする偏光座
標を考える。
用しているので、ノマルスキープリズム12における常
光と異常光との振動方向を、座標軸の方向とする偏光座
標を考える。
【0017】光源7から発せられた光は、偏光子8によ
り直線偏光となってノマルスキープリズム9に入射し、
ここで常光と異常光との互いに直交する偏光成分に分離
される。したがって、結像光学系3の瞳関数P(ξ) はベ
クトルで表され、 P(ξ) =(a Px(ξ), b Py(ξ)) となる。なお、a,bは、偏光子8による直線偏光の偏
光成分を表す。
り直線偏光となってノマルスキープリズム9に入射し、
ここで常光と異常光との互いに直交する偏光成分に分離
される。したがって、結像光学系3の瞳関数P(ξ) はベ
クトルで表され、 P(ξ) =(a Px(ξ), b Py(ξ)) となる。なお、a,bは、偏光子8による直線偏光の偏
光成分を表す。
【0018】この分離された常光および異常光は、標本
1をシェア量Δだけ分離した2点を通過し、結像光学系
3の対物レンズ11を経てノマルスキープリズム12に
より合波され、その後、検光子13を通過する際に干渉
して、その干渉像が結像面に形成される。したがって、
検光子13の偏光成分をα,βとすると、
1をシェア量Δだけ分離した2点を通過し、結像光学系
3の対物レンズ11を経てノマルスキープリズム12に
より合波され、その後、検光子13を通過する際に干渉
して、その干渉像が結像面に形成される。したがって、
検光子13の偏光成分をα,βとすると、
【数2】 で表される。
【0019】上記の Px(ξ) および Py(ξ) は、常光と
異常光との間の位相差(リターデーション)をθ、結像
光学系3の明視野の瞳関数をp(ξ) とすると、
異常光との間の位相差(リターデーション)をθ、結像
光学系3の明視野の瞳関数をp(ξ) とすると、
【数3】 で表されるので、偏光子8および検光子13が互いに直
交(クロスニコル)し、結像光学系3が理想光学系であ
るとすると、上記(1)式は、上記(2)および(3)
式を用いて、
交(クロスニコル)し、結像光学系3が理想光学系であ
るとすると、上記(1)式は、上記(2)および(3)
式を用いて、
【数4】 と書き表すことができる。
【0020】ここで、標本1が厚くなく、(4)式の第
4項が無視できるとすると、微分干渉顕微鏡のシェア方
向の像強度分布Is(x) は、近似的に、
4項が無視できるとすると、微分干渉顕微鏡のシェア方
向の像強度分布Is(x) は、近似的に、
【数5】 となり、明視野像と微分干渉像との合成として表すこと
ができる。
ができる。
【0021】一方、シェア方向に対し垂直な方向には、
光線は分離しないので、その像強度分布をIb(x) とする
と、(5)式でΔ=0と置けばよく、
光線は分離しないので、その像強度分布をIb(x) とする
と、(5)式でΔ=0と置けばよく、
【数6】 となり、明視野像だけになる。
【0022】微分干渉顕微鏡による観察像では、標本1
の位相勾配の方向(上り勾配、下り勾配)を、明暗のコ
ントラストに変えて立体的に見えるように、リターデー
ション量を調節している。したがって、θ=0になるよ
うに、リターデーションを調整すれば、(5)式および
(6)式は、
の位相勾配の方向(上り勾配、下り勾配)を、明暗のコ
ントラストに変えて立体的に見えるように、リターデー
ション量を調節している。したがって、θ=0になるよ
うに、リターデーションを調整すれば、(5)式および
(6)式は、
【数7】 となり、微分干渉像だけが得られ、シェア方向の上り勾
配または下り勾配のいずれかが明るい像になる。
配または下り勾配のいずれかが明るい像になる。
【0023】これに対して、リタデーション量が、θ≠
0の比較的小さい値を取る場合は、(5)および(6)
式は、近似的に、
0の比較的小さい値を取る場合は、(5)および(6)
式は、近似的に、
【数8】 で表される。これら(8)および(9)式から、微分干
渉顕微鏡におけるコントラストは、シェア方向のコント
ラストに依存する事が分かる。
渉顕微鏡におけるコントラストは、シェア方向のコント
ラストに依存する事が分かる。
【0024】また、上記(8)式から微分干渉顕微鏡に
おける結像特性を表すMTFは、 MTF(f)= sin(fΔ/2)∫Q(ξ) p(ξ+f)p* ( ξ)dξ (10) で与えられる。この(10)式から微分干渉顕微鏡の結
像特性は、シェア量に依存することが分かる。
おける結像特性を表すMTFは、 MTF(f)= sin(fΔ/2)∫Q(ξ) p(ξ+f)p* ( ξ)dξ (10) で与えられる。この(10)式から微分干渉顕微鏡の結
像特性は、シェア量に依存することが分かる。
【0025】ここで、照明光学系2の瞳と結像光学系3
の瞳とを、大きさが同じ円形とし、その瞳の半径を1に
規格化した座標系を用いて、シェア量をΔ=0.61λ
/NA,0.3λ/NA,0.15λ/NAとした場合
のそれぞれのMTFを計算した結果を図2に示す。図2
から、シェア量を小さくしていくと、解像力は上がるが
コントラストが低下することが分かり、目視観察でシェ
ア量を小さくすると、コントラストが悪くなるという結
果と同様の結果が得られる。
の瞳とを、大きさが同じ円形とし、その瞳の半径を1に
規格化した座標系を用いて、シェア量をΔ=0.61λ
/NA,0.3λ/NA,0.15λ/NAとした場合
のそれぞれのMTFを計算した結果を図2に示す。図2
から、シェア量を小さくしていくと、解像力は上がるが
コントラストが低下することが分かり、目視観察でシェ
ア量を小さくすると、コントラストが悪くなるという結
果と同様の結果が得られる。
【0026】一方目視観察の代わりに、電子撮像素子4
を用いて、その画像信号を画像処理装置5で処理してコ
ントラストを増強するコントラスト増強法を利用すれ
ば、画像のバックの明るさ(直流成分)を除き、コント
ラスト成分だけを強調することができるので、コントラ
ストの悪い画像でも画像強調できる。例えば、電子撮像
素子4の画像信号から、予め標本1の焦点を外す等によ
り得た光学系や電気的なノイズを引き算し、その引き算
した信号から、予め設定した適当なオフセットレベル
(閾値)を越える信号を取り出して増強する。
を用いて、その画像信号を画像処理装置5で処理してコ
ントラストを増強するコントラスト増強法を利用すれ
ば、画像のバックの明るさ(直流成分)を除き、コント
ラスト成分だけを強調することができるので、コントラ
ストの悪い画像でも画像強調できる。例えば、電子撮像
素子4の画像信号から、予め標本1の焦点を外す等によ
り得た光学系や電気的なノイズを引き算し、その引き算
した信号から、予め設定した適当なオフセットレベル
(閾値)を越える信号を取り出して増強する。
【0027】このようなコントラスト増強法を用いれ
ば、注目する標本1中の観察物体の背景や周りの比較的
空間周波数の低い成分、さらには透過した0次成分を小
さくできるので、低コントラストのために見えなかった
細部のコントラストを増強することができ、細部を明瞭
に観察することが可能となる。例えば、コントラスト増
強法を適用しない場合の観察物体の像の強度分布が図3
に示すものであったとする。図3において、注目する部
分の強度変化をxとし、強度分布の最大値をXとする
と、コントラストはx/Xとなる。このコントラストx
/Xは、約20%以下になると、識別できないことが知
られている。
ば、注目する標本1中の観察物体の背景や周りの比較的
空間周波数の低い成分、さらには透過した0次成分を小
さくできるので、低コントラストのために見えなかった
細部のコントラストを増強することができ、細部を明瞭
に観察することが可能となる。例えば、コントラスト増
強法を適用しない場合の観察物体の像の強度分布が図3
に示すものであったとする。図3において、注目する部
分の強度変化をxとし、強度分布の最大値をXとする
と、コントラストはx/Xとなる。このコントラストx
/Xは、約20%以下になると、識別できないことが知
られている。
【0028】そこで、コントラスト増強法を用い、図3
の強度分布を電子撮像素子4にて画像信号に変換し、こ
の画像信号から画像処理装置5において、照明ムラ等の
ノイズ成分除去した後、適当に設定した閾値Yを越える
信号X′を取り出して増幅する。このようにすれば、図
4に示すように、信号の最大値がX″に、注目する部分
の強度がx′に増幅されて、コントラストx′/X″が
20%を越えることになり、通常の黙視観察では識別で
きなかった部分のコントラストを増強することができ、
細部を識別することが可能になる。
の強度分布を電子撮像素子4にて画像信号に変換し、こ
の画像信号から画像処理装置5において、照明ムラ等の
ノイズ成分除去した後、適当に設定した閾値Yを越える
信号X′を取り出して増幅する。このようにすれば、図
4に示すように、信号の最大値がX″に、注目する部分
の強度がx′に増幅されて、コントラストx′/X″が
20%を越えることになり、通常の黙視観察では識別で
きなかった部分のコントラストを増強することができ、
細部を識別することが可能になる。
【0029】上記のコントラスト増強法を用いると、
(8)式は、
(8)式は、
【数9】 で表される。
【0030】したがって、MTFの規格化を変えること
ができ、MTFの最大値を1にすることができるので、
図2は図5のように書き換えることができる。図5から
明らかなように、コントラスト増強法を利用する場合、
微分干渉顕微鏡の解像力は、シェア量を小さくすれば有
利になることが分かる。
ができ、MTFの最大値を1にすることができるので、
図2は図5のように書き換えることができる。図5から
明らかなように、コントラスト増強法を利用する場合、
微分干渉顕微鏡の解像力は、シェア量を小さくすれば有
利になることが分かる。
【0031】しかし、シェア量を限り無く小さくして
も、ある限界値以下では、解像力は上がらない。この発
明は、この点に鑑み、微分干渉顕微鏡にコントラスト増
強法を適用した場合に、解像力を最適にするシェア量を
与えるものである。以下、この点について説明する。
も、ある限界値以下では、解像力は上がらない。この発
明は、この点に鑑み、微分干渉顕微鏡にコントラスト増
強法を適用した場合に、解像力を最適にするシェア量を
与えるものである。以下、この点について説明する。
【0032】先ず、微分干渉顕微鏡が、通常の明視野観
察と同じ限界解像力を有するためには、両者のカットオ
フ周波数が同じになる必要がある。これは、上記(7)
式よりシェア量Δが、Δ=0.5λ/NAのとき、微分
干渉顕微鏡と明視野観察とのカットオフ周波数が一致す
ることが分かる。しかし、この場合には、図6に示すよ
うに、カットオフ近傍の周波数特性が低くなって、高解
像力化には適さなくなる。したがって、微分干渉顕微鏡
を高解像力化するためには、カットオフ近傍の周波数特
性を改善する必要がある。
察と同じ限界解像力を有するためには、両者のカットオ
フ周波数が同じになる必要がある。これは、上記(7)
式よりシェア量Δが、Δ=0.5λ/NAのとき、微分
干渉顕微鏡と明視野観察とのカットオフ周波数が一致す
ることが分かる。しかし、この場合には、図6に示すよ
うに、カットオフ近傍の周波数特性が低くなって、高解
像力化には適さなくなる。したがって、微分干渉顕微鏡
を高解像力化するためには、カットオフ近傍の周波数特
性を改善する必要がある。
【0033】そこで、この発明においては、微分干渉顕
微鏡のシェア量Δを、Δ<0.25・λ/NAを満足す
るようにする。このようにすれば、図7に示すように、
カットオフ近傍において、微分干渉顕微鏡におけるMT
Fの周波数特性を、明視野観察におけると同じになるよ
うに改善することができる。
微鏡のシェア量Δを、Δ<0.25・λ/NAを満足す
るようにする。このようにすれば、図7に示すように、
カットオフ近傍において、微分干渉顕微鏡におけるMT
Fの周波数特性を、明視野観察におけると同じになるよ
うに改善することができる。
【0034】次に、シェア量Δの下限値について説明す
る。図8は、シェア量Δが、0.08λ/NA,0.0
7λ/NA,0.06λ/NAの場合の通常のそれぞれ
のMTF特性を、明視野観察におけるMTF特性と比較
して示すもので、図9は、図8におけるそれぞれのシェ
ア量Δにおいて、コントラスト増強を行ったときのMT
F特性を計算した結果を、明視野観察におけるMTF特
性と比較して示すものである。
る。図8は、シェア量Δが、0.08λ/NA,0.0
7λ/NA,0.06λ/NAの場合の通常のそれぞれ
のMTF特性を、明視野観察におけるMTF特性と比較
して示すもので、図9は、図8におけるそれぞれのシェ
ア量Δにおいて、コントラスト増強を行ったときのMT
F特性を計算した結果を、明視野観察におけるMTF特
性と比較して示すものである。
【0035】図9から明らかなように、シェア量Δは限
りなく小さくしても、コントラスト増強を行ったときの
MTFに変化はない。したがって、シェア量Δの下限値
は、限りなく小さくすることが可能である。ここで、コ
ントラスト増強法を用いる場合には、電子撮像素子4を
用いて微分干渉像を撮像するので、電子撮像素子4の電
気的ノイズを考慮すると、撮像する像の強度は大きいほ
ど良い。しかし、シェア量Δをあまり小さくすると、図
8から明らかなように、微分干渉像の強度が低下してし
まう。これらのことから、微分干渉顕微鏡にコントラス
ト増強法を用いる場合のシェア量Δは、0.08・λ/
NA≦Δとするのが好適である。
りなく小さくしても、コントラスト増強を行ったときの
MTFに変化はない。したがって、シェア量Δの下限値
は、限りなく小さくすることが可能である。ここで、コ
ントラスト増強法を用いる場合には、電子撮像素子4を
用いて微分干渉像を撮像するので、電子撮像素子4の電
気的ノイズを考慮すると、撮像する像の強度は大きいほ
ど良い。しかし、シェア量Δをあまり小さくすると、図
8から明らかなように、微分干渉像の強度が低下してし
まう。これらのことから、微分干渉顕微鏡にコントラス
ト増強法を用いる場合のシェア量Δは、0.08・λ/
NA≦Δとするのが好適である。
【0036】なお、図1において、シェア量Δは、ノマ
ルスキープリズム9における常光と異常光との分離角を
γ、コンデンサレンズ10の焦点距離をf0とすると、Δ
≒γf0で与えられる。したがって、ノマルスキープリズ
ム9および/またはコンデンサレンズ10を適切に構成
することにより、所望のシェア量Δを得ることが可能で
ある。
ルスキープリズム9における常光と異常光との分離角を
γ、コンデンサレンズ10の焦点距離をf0とすると、Δ
≒γf0で与えられる。したがって、ノマルスキープリズ
ム9および/またはコンデンサレンズ10を適切に構成
することにより、所望のシェア量Δを得ることが可能で
ある。
【0037】
【実施例】以下、この発明の実施例について説明する。
この発明の第1実施例では、図1に示す微分干渉顕微鏡
において、観察光の波長をλ、結像光学系3の物体側の
開口数をNAとするとき、シェア量Δを、Δ=0.20
λ/NAに構成する。ここで、照明光学系2の瞳と結像
光学系3の瞳とが、観察する標本1の物体面を介して共
役関係にあり、その大きさおよび形状が互いに一致する
として、結像光学系3の瞳の半径を1に規格化した座標
系を用いてMTFの計算を行うと、上記(10)式は、
この発明の第1実施例では、図1に示す微分干渉顕微鏡
において、観察光の波長をλ、結像光学系3の物体側の
開口数をNAとするとき、シェア量Δを、Δ=0.20
λ/NAに構成する。ここで、照明光学系2の瞳と結像
光学系3の瞳とが、観察する標本1の物体面を介して共
役関係にあり、その大きさおよび形状が互いに一致する
として、結像光学系3の瞳の半径を1に規格化した座標
系を用いてMTFの計算を行うと、上記(10)式は、
【数10】 となる。
【0038】図10は、この実施例におけるΔ=0.2
0λ/NAのときのMTF特性を、上記の座標系に変換
して、(12)式により計算したものである。また、図
11は、コントラスト増強法に対応させるために、MT
F特性を、最大値が1になるように規格化したものであ
る。なお、図10および図11には、それぞれ比較のた
めに、明視野観察におけるMTF特性を同時に示してあ
る。また、表1は、図10および図11におけるそれぞ
れのMTF特性の特徴を表す値を示すものである。
0λ/NAのときのMTF特性を、上記の座標系に変換
して、(12)式により計算したものである。また、図
11は、コントラスト増強法に対応させるために、MT
F特性を、最大値が1になるように規格化したものであ
る。なお、図10および図11には、それぞれ比較のた
めに、明視野観察におけるMTF特性を同時に示してあ
る。また、表1は、図10および図11におけるそれぞ
れのMTF特性の特徴を表す値を示すものである。
【表1】
【0039】ここで、DICは微分干渉顕微鏡を表し、
VEC−DICはコントラスト増強を行った微分干渉顕
微鏡を表す。また、f=1.64のMTFの値に注目し
たのは、f=1.64がレーリーの分解能に対応する周
波数であるからである。
VEC−DICはコントラスト増強を行った微分干渉顕
微鏡を表す。また、f=1.64のMTFの値に注目し
たのは、f=1.64がレーリーの分解能に対応する周
波数であるからである。
【0040】この発明の第2実施例では、図1に示す微
分干渉顕微鏡において、シェア量Δを、Δ=0.15λ
/NAに構成する。この場合の微分干渉顕微鏡のMTF
特性を図12に、コントラスト増強用に規格化を変えた
ときのMTF特性を図13にそれぞれ示す。また、第1
実施例と同様に、それぞれのMTF特性の特徴を表す値
を、表2に示す。
分干渉顕微鏡において、シェア量Δを、Δ=0.15λ
/NAに構成する。この場合の微分干渉顕微鏡のMTF
特性を図12に、コントラスト増強用に規格化を変えた
ときのMTF特性を図13にそれぞれ示す。また、第1
実施例と同様に、それぞれのMTF特性の特徴を表す値
を、表2に示す。
【表2】
【0041】この発明の第3実施例では、図1に示す微
分干渉顕微鏡において、シェア量Δを、Δ=0.10λ
/NAに構成する。この場合の微分干渉顕微鏡のMTF
特性を図14に、コントラスト増強用に規格化を変えた
ときのMTF特性を図15にそれぞれ示す。また、第1
実施例と同様に、それぞれのMTF特性の特徴を表す値
を、表3に示す。
分干渉顕微鏡において、シェア量Δを、Δ=0.10λ
/NAに構成する。この場合の微分干渉顕微鏡のMTF
特性を図14に、コントラスト増強用に規格化を変えた
ときのMTF特性を図15にそれぞれ示す。また、第1
実施例と同様に、それぞれのMTF特性の特徴を表す値
を、表3に示す。
【表3】
【0042】この発明の第4実施例では、図1に示す微
分干渉顕微鏡において、シェア量Δを、Δ=0.08λ
/NAに構成する。この場合の微分干渉顕微鏡のMTF
特性を図16に、コントラスト増強用に規格化を変えた
ときのMTF特性を図17にそれぞれ示す。また、第1
実施例と同様に、それぞれのMTF特性の特徴を表す値
を、表4に示す。
分干渉顕微鏡において、シェア量Δを、Δ=0.08λ
/NAに構成する。この場合の微分干渉顕微鏡のMTF
特性を図16に、コントラスト増強用に規格化を変えた
ときのMTF特性を図17にそれぞれ示す。また、第1
実施例と同様に、それぞれのMTF特性の特徴を表す値
を、表4に示す。
【表4】
【0043】以上、微分干渉顕微鏡にコントラスト増強
法を組み合わせたときに、高解像力が得られるシェア量
Δについて、4つの実施例を示したが、この発明は上記
の4つの実施例に限定されるものではなく、シェア量Δ
が、Δ<0.25・λ/NA、好ましくは0.08・λ
/NA≦Δ<0.25・λ/NAであれば、上記の実施
例と同様の効果を得ることができる。特に、現在市販さ
れている電子撮像素子における電気的なS/N特性を考
慮すると、シェア量Δは、第3実施例に示したように、
Δ=0.1λ/NAとするのが望ましい。
法を組み合わせたときに、高解像力が得られるシェア量
Δについて、4つの実施例を示したが、この発明は上記
の4つの実施例に限定されるものではなく、シェア量Δ
が、Δ<0.25・λ/NA、好ましくは0.08・λ
/NA≦Δ<0.25・λ/NAであれば、上記の実施
例と同様の効果を得ることができる。特に、現在市販さ
れている電子撮像素子における電気的なS/N特性を考
慮すると、シェア量Δは、第3実施例に示したように、
Δ=0.1λ/NAとするのが望ましい。
【0044】以下に、第3実施例で示したシェア量のノ
マルスキープリズム9を製作して、実際に観察を行った
例を示す。観察に用いた微分干渉顕微鏡は、オリンパス
光学工業(株)製BX−50で、照明光を干渉フィルタ
で準単色(λ=550nm)化し、対物レンズに油浸タ
イプのPLAPO60xO(NA1.4)を用い、2倍
の中間変倍装置と5倍の写真接眼レンズとを組み合わせ
て、電子撮像素子に総合倍率600倍で投影する。この
投影像を、電子撮像素子として浜松ホトニクス(株)製
のテレビカメラC2400−01で受像し、その画像信
号をオリンパス光学工業(株)製の画像処理装置XL−
10を介して、浜松ホトニクス(株)製のテレビモニタ
C1840−03に映像を映し出す。このモニタに映し
出た画像は、日立製作所製のビデオプリンタVY−10
0で画像出力する。
マルスキープリズム9を製作して、実際に観察を行った
例を示す。観察に用いた微分干渉顕微鏡は、オリンパス
光学工業(株)製BX−50で、照明光を干渉フィルタ
で準単色(λ=550nm)化し、対物レンズに油浸タ
イプのPLAPO60xO(NA1.4)を用い、2倍
の中間変倍装置と5倍の写真接眼レンズとを組み合わせ
て、電子撮像素子に総合倍率600倍で投影する。この
投影像を、電子撮像素子として浜松ホトニクス(株)製
のテレビカメラC2400−01で受像し、その画像信
号をオリンパス光学工業(株)製の画像処理装置XL−
10を介して、浜松ホトニクス(株)製のテレビモニタ
C1840−03に映像を映し出す。このモニタに映し
出た画像は、日立製作所製のビデオプリンタVY−10
0で画像出力する。
【0045】以上の装置を用いて、シェア量がこの発明
の第3実施例で示したΔ=0.1λ/NAにおける通常
の画像およびコントラスト増強法による画像と、通常の
顕微鏡に用いられている0.38λ/NAのノマルスキ
ープリズムを使用した場合の微分干渉顕微鏡の画像とを
示す。まず、ケイ藻を観察した結果について示す。Δ=
0.1λ/NAおよびΔ=0.38λ/NAで、コント
ラスト増強法を用いずに通常の観察を行った結果を、図
18および図19にそれぞれ示す。これらの結果からシ
ェア量Δを小さくすると、コントラストが低下すること
が分かる。
の第3実施例で示したΔ=0.1λ/NAにおける通常
の画像およびコントラスト増強法による画像と、通常の
顕微鏡に用いられている0.38λ/NAのノマルスキ
ープリズムを使用した場合の微分干渉顕微鏡の画像とを
示す。まず、ケイ藻を観察した結果について示す。Δ=
0.1λ/NAおよびΔ=0.38λ/NAで、コント
ラスト増強法を用いずに通常の観察を行った結果を、図
18および図19にそれぞれ示す。これらの結果からシ
ェア量Δを小さくすると、コントラストが低下すること
が分かる。
【0046】図20および図21は、それぞれ図18お
よび図19に示す画像にコントラスト増強処理を施した
ものである。図20および図21を比べると、図20の
方が明らかに解像力が向上していることが分かる。
よび図19に示す画像にコントラスト増強処理を施した
ものである。図20および図21を比べると、図20の
方が明らかに解像力が向上していることが分かる。
【0047】次に、マウス小腸の尾絨毛の観察に、コン
トラスト増強法を適用した画像を、図22および図23
にそれぞれ示す。また、豚の脳から抽出した微小管を観
察した画像を、図24および図25にそれぞれ示す。図
22と図23、図24と図25をそれぞれ比較すると、
コントラスト増強法を適用した場合には、シェア量Δを
0.1λ/NAとなるように構成することにより、微分
干渉顕微鏡の解像力を向上させることができることが分
かる。なお、図18〜図25は、光学系の結像倍率に、
モニタ倍率およびビデオプリンタの倍率が掛かった、総
合倍率4700倍の画像を示すものである。
トラスト増強法を適用した画像を、図22および図23
にそれぞれ示す。また、豚の脳から抽出した微小管を観
察した画像を、図24および図25にそれぞれ示す。図
22と図23、図24と図25をそれぞれ比較すると、
コントラスト増強法を適用した場合には、シェア量Δを
0.1λ/NAとなるように構成することにより、微分
干渉顕微鏡の解像力を向上させることができることが分
かる。なお、図18〜図25は、光学系の結像倍率に、
モニタ倍率およびビデオプリンタの倍率が掛かった、総
合倍率4700倍の画像を示すものである。
【0048】以上、生物標本の観察例について説明した
が、観察標本が結晶のような金属標本の場合でも、同様
の効果が得られる。
が、観察標本が結晶のような金属標本の場合でも、同様
の効果が得られる。
【0049】付記 1.光源からの光を常光と異常光とに分離して被観察物
体に照射し、その被観察物体の像を結像光学系により常
光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるよう
にした微分干渉顕微鏡において、前記結像光学系の結像
面に配置した電子撮像素子と、この電子撮像素子からの
画像信号から光学系の照明ムラ等のノイズ成分を除去す
ると共に、そのノイズ成分を除去した画像信号から予め
設定した所望の閾値を越える画像信号を抽出して増強す
る画像処理手段とを有し、前記被観察物体に照射される
前記常光および異常光の物体面における分離幅Δを、観
察する光の波長をλ、前記結像光学系の観察物体側の開
口数をNAとするとき、Δ<0.25・λ/NAを満足
するよう構成したことを特徴とする微分干渉顕微鏡。 2.前記1記載の微分干渉顕微鏡において、前記分離幅
Δが、0.08・λ/NA≦Δを満足することを特徴と
する微分干渉顕微鏡。
体に照射し、その被観察物体の像を結像光学系により常
光および異常光を重ね合わせて結像面に結像させるよう
にした微分干渉顕微鏡において、前記結像光学系の結像
面に配置した電子撮像素子と、この電子撮像素子からの
画像信号から光学系の照明ムラ等のノイズ成分を除去す
ると共に、そのノイズ成分を除去した画像信号から予め
設定した所望の閾値を越える画像信号を抽出して増強す
る画像処理手段とを有し、前記被観察物体に照射される
前記常光および異常光の物体面における分離幅Δを、観
察する光の波長をλ、前記結像光学系の観察物体側の開
口数をNAとするとき、Δ<0.25・λ/NAを満足
するよう構成したことを特徴とする微分干渉顕微鏡。 2.前記1記載の微分干渉顕微鏡において、前記分離幅
Δが、0.08・λ/NA≦Δを満足することを特徴と
する微分干渉顕微鏡。
【0050】
【発明の効果】この発明によれば、微分干渉顕微鏡にお
いて、その結像面に電子撮像素子を配置し、この電子撮
像素子からの画像信号を処理してコントラストを増強す
るにあたり、観察する光の波長をλ、結像光学系の観察
物体側の開口数をNAとするとき、観察する物体面上で
のシェア量Δが、Δ<0.25・λ/NAとなるように
構成したので、コントラスト増強法との組み合わせにお
いて、高解像力の微分干渉顕微鏡を実現することがで
き、目視観察では識別できなかった生体細胞の微細構造
等を容易に識別することができる。
いて、その結像面に電子撮像素子を配置し、この電子撮
像素子からの画像信号を処理してコントラストを増強す
るにあたり、観察する光の波長をλ、結像光学系の観察
物体側の開口数をNAとするとき、観察する物体面上で
のシェア量Δが、Δ<0.25・λ/NAとなるように
構成したので、コントラスト増強法との組み合わせにお
いて、高解像力の微分干渉顕微鏡を実現することがで
き、目視観察では識別できなかった生体細胞の微細構造
等を容易に識別することができる。
【図1】この発明の原理を説明するための微分干渉顕微
鏡の一例の構成を示す図である。
鏡の一例の構成を示す図である。
【図2】異なるシェア量におけるMTF特性を示す図で
ある。
ある。
【図3】観察物体像の一例の強度分布を示す図である。
【図4】図3に示す強度分布をコントラスト増強処理し
たときの強度分布を示す図である。
たときの強度分布を示す図である。
【図5】図2に示すMTF特性をコントラスト増強した
ときのMTF特性を示す図である。
ときのMTF特性を示す図である。
【図6】Δ=0.5λ/NAのときのMTF特性を示す
図である。
図である。
【図7】Δ=0.25λ/NAのときのMTF特性を示
す図である。
す図である。
【図8】異なるシェア量におけるMTF特性を示す図で
ある。
ある。
【図9】図8におけるそれぞれのシェア量において、コ
ントラスト増強を行ったときのMTF特性を示す図であ
る。
ントラスト増強を行ったときのMTF特性を示す図であ
る。
【図10】この発明の第1実施例において、コントラス
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
【図11】同じく、コントラスト増強処理したときのM
TF特性を示す図である。
TF特性を示す図である。
【図12】この発明の第2実施例において、コントラス
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
【図13】同じく、コントラスト増強処理したときのM
TF特性を示す図である。
TF特性を示す図である。
【図14】この発明の第3実施例において、コントラス
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
【図15】同じく、コントラスト増強処理したときのM
TF特性を示す図である。
TF特性を示す図である。
【図16】この発明の第4実施例において、コントラス
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
ト増強処理をしない場合のMTF特性を示す図である。
【図17】同じく、コントラスト増強処理したときのM
TF特性を示す図である。
TF特性を示す図である。
【図18】Δ=0.1λ/NAのこの発明にかかる微分
干渉顕微鏡でケイ藻を観察したときの顕微鏡写真であ
る。
干渉顕微鏡でケイ藻を観察したときの顕微鏡写真であ
る。
【図19】Δ=0.38λ/NAの従来の微分干渉顕微
鏡で、図18と同じ標本を観察したときの顕微鏡写真で
ある。
鏡で、図18と同じ標本を観察したときの顕微鏡写真で
ある。
【図20】図18に示す画像をコントラスト増強処理し
た顕微鏡写真である。
た顕微鏡写真である。
【図21】図19に示す画像をコントラスト増強処理し
た顕微鏡写真である。
た顕微鏡写真である。
【図22】Δ=0.1λ/NAのこの発明にかかる微分
干渉顕微鏡によるマウス小腸の尾絨毛の観察画像をコン
トラスト増強処理した顕微鏡写真である。
干渉顕微鏡によるマウス小腸の尾絨毛の観察画像をコン
トラスト増強処理した顕微鏡写真である。
【図23】Δ=0.38λ/NAの従来の微分干渉顕微
鏡で、図22と同じ標本の観察画像をコントラスト増強
処理した顕微鏡写真である。
鏡で、図22と同じ標本の観察画像をコントラスト増強
処理した顕微鏡写真である。
【図24】Δ=0.1λ/NAのこの発明にかかる微分
干渉顕微鏡による豚の脳から抽出した微小管の観察画像
をコントラスト増強処理した顕微鏡写真である。
干渉顕微鏡による豚の脳から抽出した微小管の観察画像
をコントラスト増強処理した顕微鏡写真である。
【図25】Δ=0.38λ/NAの従来の微分干渉顕微
鏡で、図24と同じ標本の観察画像をコントラスト増強
処理した顕微鏡写真である。
鏡で、図24と同じ標本の観察画像をコントラスト増強
処理した顕微鏡写真である。
1 標本 2 照明光学系 3 結像光学系 4 電子撮像素子 5 画像処理装置 6 出力装置 7 光源 8 偏光子 9,12 ノマルスキープリズム 10 コンデンサレンズ 11 対物レンズ 13 検光子
Claims (2)
- 【請求項1】 光源からの光を常光と異常光とに分離し
て被観察物体に照射し、その被観察物体の像を結像光学
系により常光および異常光を重ね合わせて結像面に結像
させるようにした微分干渉顕微鏡において、 前記結像光学系の結像面に電子撮像素子を配置し、 前記被観察物体に照射される前記常光および異常光の物
体面における分離幅Δを、観察する光の波長をλ、前記
結像光学系の観察物体側の開口数をNAとするとき、Δ
<0.25・λ/NAを満足するよう構成して、 前記電子撮像素子からの画像信号を処理してコントラス
トを増強するようにしたことを特徴とする微分干渉顕微
鏡。 - 【請求項2】 請求項1記載の微分干渉顕微鏡におい
て、 前記分離幅Δが、0.08・λ/NA≦Δを満足するこ
とを特徴とする微分干渉顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27719794A JP3415294B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 微分干渉顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27719794A JP3415294B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 微分干渉顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122648A true JPH08122648A (ja) | 1996-05-17 |
| JP3415294B2 JP3415294B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=17580165
Family Applications (1)
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