JPH0812462A - 導電性セラミックとその製造方法及び用途 - Google Patents
導電性セラミックとその製造方法及び用途Info
- Publication number
- JPH0812462A JPH0812462A JP6140285A JP14028594A JPH0812462A JP H0812462 A JPH0812462 A JP H0812462A JP 6140285 A JP6140285 A JP 6140285A JP 14028594 A JP14028594 A JP 14028594A JP H0812462 A JPH0812462 A JP H0812462A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- silicon carbide
- nitrogen
- porosity
- electroconductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐熱性と耐酸化性を向上させ、セラミックフ
ィルタ材質として好適な導電性セラミックを提供するこ
と。 【構成】 窒素及び／又は窒化物の合計を窒素分として
１〜５重量％含み、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下である多
孔質β型炭化珪素焼結体からなることを特徴とする導電
性セラミック、炭化珪素粉末、水、解膠剤、有機バイン
ダー及び有機系発泡剤を混合して発泡スラリーを調製
し、それを吸水性のある型で流し込み成形してから乾燥
・脱脂し、窒素ガス圧５ｋｇ／ｃｍ2 以上、温度２００
０℃以上で焼成することを特徴とする導電性セラミック
の製造方法、及び気孔径５〜３００μｍ、気孔率３０〜
９０％の上記導電性セラミックで構成されてなることを
特徴とするセラミックフィルタ。
ィルタ材質として好適な導電性セラミックを提供するこ
と。 【構成】 窒素及び／又は窒化物の合計を窒素分として
１〜５重量％含み、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下である多
孔質β型炭化珪素焼結体からなることを特徴とする導電
性セラミック、炭化珪素粉末、水、解膠剤、有機バイン
ダー及び有機系発泡剤を混合して発泡スラリーを調製
し、それを吸水性のある型で流し込み成形してから乾燥
・脱脂し、窒素ガス圧５ｋｇ／ｃｍ2 以上、温度２００
０℃以上で焼成することを特徴とする導電性セラミック
の製造方法、及び気孔径５〜３００μｍ、気孔率３０〜
９０％の上記導電性セラミックで構成されてなることを
特徴とするセラミックフィルタ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、導電性セラミック特に
ディーゼルエンジン等から排出される可燃性微粒子（パ
ティキュレート）を捕集し焼却を行うフィルタとして好
適な導電性セラミックとその製造方法及び用途に関す
る。
ディーゼルエンジン等から排出される可燃性微粒子（パ
ティキュレート）を捕集し焼却を行うフィルタとして好
適な導電性セラミックとその製造方法及び用途に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、パティキュレートを補集するフィ
ルタとしては、一般にコーディエライト等の低熱膨張性
セラミックが使用されている。このようなフィルタは、
一定量の濾過を行うと圧力損失が増大し捕集効率が低下
するので補集したパティキュレートを定期的に焼却しフ
ィルタを再生している。
ルタとしては、一般にコーディエライト等の低熱膨張性
セラミックが使用されている。このようなフィルタは、
一定量の濾過を行うと圧力損失が増大し捕集効率が低下
するので補集したパティキュレートを定期的に焼却しフ
ィルタを再生している。
【０００３】フィルタの再生方法としては、バーナの燃
焼ガスをフィルタに噴射しその燃焼熱でパティキュレー
トを焼却する方法、フィルタにニクロム線ヒータあるい
は発熱金属層を組み合わせて通電加熱しパティキュレー
トを焼却する方法がある。しかしながら、これらの方法
はいずれも外部からフィルタを直接加熱するものである
ため、捕集されたパティキュレートの燃焼に伴って局所
的な発熱と大きな温度勾配を生じ、フィルタが熱応力割
れや溶損割れを起こした。また、外部加熱装置等の特殊
な装置を取り付ける必要があったのでコンパクト化が困
難であった。
焼ガスをフィルタに噴射しその燃焼熱でパティキュレー
トを焼却する方法、フィルタにニクロム線ヒータあるい
は発熱金属層を組み合わせて通電加熱しパティキュレー
トを焼却する方法がある。しかしながら、これらの方法
はいずれも外部からフィルタを直接加熱するものである
ため、捕集されたパティキュレートの燃焼に伴って局所
的な発熱と大きな温度勾配を生じ、フィルタが熱応力割
れや溶損割れを起こした。また、外部加熱装置等の特殊
な装置を取り付ける必要があったのでコンパクト化が困
難であった。
【０００４】そこで、近年、コンパクトで現存の装置を
大きく変更することなく捕集されたパティキュレートを
効率的に焼却する方法として、フィルタそのものを発熱
体とする方法が検討されている。この方法で使用される
フィルタ材質は、炭化珪素、珪化モリブデン、炭化チタ
ニウムあるいはランタンクロマイトを主成分とした導電
性セラミックである（特開昭５８−１１９３１７号公
報、特開平２−４２１１２号公報等）。
大きく変更することなく捕集されたパティキュレートを
効率的に焼却する方法として、フィルタそのものを発熱
体とする方法が検討されている。この方法で使用される
フィルタ材質は、炭化珪素、珪化モリブデン、炭化チタ
ニウムあるいはランタンクロマイトを主成分とした導電
性セラミックである（特開昭５８−１１９３１７号公
報、特開平２−４２１１２号公報等）。
【０００５】しかしながら、これらの導電性セラミック
であってもその耐熱性が小さいので熱応力割れが発生す
る。しかも、非酸化物系のセラミックでは気孔率を高く
してパティキュレートの補集効率を高めようとすると耐
酸化性が低下し容易に導電性が失われる問題があった。
であってもその耐熱性が小さいので熱応力割れが発生す
る。しかも、非酸化物系のセラミックでは気孔率を高く
してパティキュレートの補集効率を高めようとすると耐
酸化性が低下し容易に導電性が失われる問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、以上
の問題を解消し、耐熱性と耐酸化性を向上させ、セラミ
ックフィルタ材質として好適な導電性セラミックとその
製造方法及びその導電性セラミックで構成されたセラミ
ックフィルタを提供することにある。
の問題を解消し、耐熱性と耐酸化性を向上させ、セラミ
ックフィルタ材質として好適な導電性セラミックとその
製造方法及びその導電性セラミックで構成されたセラミ
ックフィルタを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、窒
素及び／又は窒化物の合計を窒素分として１〜５重量％
含み、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下である多孔質β型炭化
珪素焼結体からなることを特徴とする導電性セラミッ
ク、炭化珪素粉末、水、解膠剤、有機バインダー及び有
機系発泡剤を混合して発泡スラリーを調製し、それを吸
水性のある型で流し込み成形してから乾燥・脱脂し、窒
素ガス圧５ｋｇ／ｃｍ2 以上、温度２０００℃以上で焼
成することを特徴とする導電性セラミックの製造方法、
及び気孔径５〜３００μｍ、気孔率３０〜９０％である
上記導電性セラミックで構成されてなることを特徴とす
るセラミックフィルタである。
素及び／又は窒化物の合計を窒素分として１〜５重量％
含み、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下である多孔質β型炭化
珪素焼結体からなることを特徴とする導電性セラミッ
ク、炭化珪素粉末、水、解膠剤、有機バインダー及び有
機系発泡剤を混合して発泡スラリーを調製し、それを吸
水性のある型で流し込み成形してから乾燥・脱脂し、窒
素ガス圧５ｋｇ／ｃｍ2 以上、温度２０００℃以上で焼
成することを特徴とする導電性セラミックの製造方法、
及び気孔径５〜３００μｍ、気孔率３０〜９０％である
上記導電性セラミックで構成されてなることを特徴とす
るセラミックフィルタである。
【０００８】以下、更に詳しく本発明について説明す
る。
る。
【０００９】炭化珪素焼結体は、一般にα型又はβ型の
炭化珪素粉末をＢ−Ｃ系焼結助剤を用い常圧焼結又はホ
ットプレス焼結によって製造されている。この場合、β
型炭化珪素粉末を２０００℃以上の高温で焼成して炭化
珪素焼結体を製造すると高温安定型のα型炭化珪素とな
るので、従来より研削材、耐火材、セラミックフイルタ
等の用途に供されているのは主としてα型炭化珪素焼結
体であり、β型炭化珪素焼結体については殆どこれらの
用途に供されることはなかった。
炭化珪素粉末をＢ−Ｃ系焼結助剤を用い常圧焼結又はホ
ットプレス焼結によって製造されている。この場合、β
型炭化珪素粉末を２０００℃以上の高温で焼成して炭化
珪素焼結体を製造すると高温安定型のα型炭化珪素とな
るので、従来より研削材、耐火材、セラミックフイルタ
等の用途に供されているのは主としてα型炭化珪素焼結
体であり、β型炭化珪素焼結体については殆どこれらの
用途に供されることはなかった。
【００１０】しかしながら、β型炭化珪素焼結体にはα
型炭化珪素焼結体にはみられない導電性に優れるという
特性がある。この特性は、特にセラミックフイルタにと
って好都合なものであるが、添加された焼結助剤の影響
を強く受けてその導電性が打ち消されてしまい室温比抵
抗１０Ωｃｍ以下の導電性を示さなくなる。
型炭化珪素焼結体にはみられない導電性に優れるという
特性がある。この特性は、特にセラミックフイルタにと
って好都合なものであるが、添加された焼結助剤の影響
を強く受けてその導電性が打ち消されてしまい室温比抵
抗１０Ωｃｍ以下の導電性を示さなくなる。
【００１１】このような現象をなくするには、Ｂ−Ｃ系
焼結助剤等の導電性を低下させる物質を添加しないで炭
化珪素粉末を焼成すればよいが、炭化珪素粉末は非常に
難焼結物質であるので得られた焼結体は著しく多孔質と
なる。この多孔質もセラミックフイルタにとって好都合
な条件であるが耐酸化性が著しく低下し、セラミックフ
イルタ等の用途には不適当となる。
焼結助剤等の導電性を低下させる物質を添加しないで炭
化珪素粉末を焼成すればよいが、炭化珪素粉末は非常に
難焼結物質であるので得られた焼結体は著しく多孔質と
なる。この多孔質もセラミックフイルタにとって好都合
な条件であるが耐酸化性が著しく低下し、セラミックフ
イルタ等の用途には不適当となる。
【００１２】本発明の導電性セラミックは、多孔質β型
炭化珪素焼結体が有する導電性を著しく損なわせること
なく室温比抵抗１０Ωｃｍ以下を維持し、窒素及び／又
は窒化物の合計を窒素分として１〜５重量％含ませるこ
とによって耐酸化性を改善させたものである。
炭化珪素焼結体が有する導電性を著しく損なわせること
なく室温比抵抗１０Ωｃｍ以下を維持し、窒素及び／又
は窒化物の合計を窒素分として１〜５重量％含ませるこ
とによって耐酸化性を改善させたものである。
【００１３】本発明において、β型炭化珪素焼結体のβ
型結晶相の割合は１００％である必要はなく６０％もあ
れば十分である。残りはα型結晶相の多形２Ｈ、４Ｈ、
６Ｈ等である。
型結晶相の割合は１００％である必要はなく６０％もあ
れば十分である。残りはα型結晶相の多形２Ｈ、４Ｈ、
６Ｈ等である。
【００１４】本発明において、窒素及び／又は窒化物の
合計を窒素分として１〜５重量％の範囲に限定したの
は、１重量％未満では耐酸化性の改善効果が十分でなく
なり、また５重量％をこえると窒化珪素等の絶縁相とな
る化合物が多くなって導電性が低下することによる。こ
のような窒素及び／又は窒化物は、粒界相又は粒内に固
溶あるいは単独、更には窒化珪素、炭窒化珪素化物等の
化合物として存在する。
合計を窒素分として１〜５重量％の範囲に限定したの
は、１重量％未満では耐酸化性の改善効果が十分でなく
なり、また５重量％をこえると窒化珪素等の絶縁相とな
る化合物が多くなって導電性が低下することによる。こ
のような窒素及び／又は窒化物は、粒界相又は粒内に固
溶あるいは単独、更には窒化珪素、炭窒化珪素化物等の
化合物として存在する。
【００１５】本発明の導電性セラミックの導電性の程度
としては、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下であり、これをこ
えると例えばセラミックフイルタ等の発熱体としての機
能が低下する。また、多孔質の程度については、気孔率
３０〜９０％程度であることが望ましい。
としては、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下であり、これをこ
えると例えばセラミックフイルタ等の発熱体としての機
能が低下する。また、多孔質の程度については、気孔率
３０〜９０％程度であることが望ましい。
【００１６】本発明の導電性セラミックの用途として
は、セラミックフィルタ、ダクトヒータ、大型ドライヤ
ーの熱源に使用される熱風発生機用ヒータ等種々ある。
これらの用途の中で、多孔質の程度をセラミックフィル
タ機能として最適な気孔径５〜３００μｍ、気孔率３０
〜９０％にしたのが請求項３の発明である。
は、セラミックフィルタ、ダクトヒータ、大型ドライヤ
ーの熱源に使用される熱風発生機用ヒータ等種々ある。
これらの用途の中で、多孔質の程度をセラミックフィル
タ機能として最適な気孔径５〜３００μｍ、気孔率３０
〜９０％にしたのが請求項３の発明である。
【００１７】すなわち、セラミックフィルタの気孔径が
５μｍ未満では目詰まりが顕著になり短時間で圧力損失
が大きくなる。一方、気孔径が３００μｍをこえるとパ
ティキュレートの捕集効率が低下しフィルター機能を果
たさなくなる。また、気孔率が３０％よりも小さいと圧
力損失が大きくなり、９０％をこえると機械的強度が低
下する。
５μｍ未満では目詰まりが顕著になり短時間で圧力損失
が大きくなる。一方、気孔径が３００μｍをこえるとパ
ティキュレートの捕集効率が低下しフィルター機能を果
たさなくなる。また、気孔率が３０％よりも小さいと圧
力損失が大きくなり、９０％をこえると機械的強度が低
下する。
【００１８】次に、本発明の導電性セラミックの製造方
法について説明すると、炭化珪素粉末原料としては、α
型、β型のいずれをも使用することができ、純度９０％
以上、比表面積５ｍ2 ／ｇ以上であることが好ましい。
法について説明すると、炭化珪素粉末原料としては、α
型、β型のいずれをも使用することができ、純度９０％
以上、比表面積５ｍ2 ／ｇ以上であることが好ましい。
【００１９】スラリー調合の一例を示せば、炭化珪素粉
末１００部（部は重量部。以下同じ）に対し、水１５〜
３０部、解膠剤０．１〜５部、有機バインダー１〜５部
及び有機系発泡剤０．１〜３部である。
末１００部（部は重量部。以下同じ）に対し、水１５〜
３０部、解膠剤０．１〜５部、有機バインダー１〜５部
及び有機系発泡剤０．１〜３部である。
【００２０】解膠剤としては、ポリカルボン酸アンモニ
ウム、ポリアクリル酸アンモニウム、アクリル酸エステ
ル共重合体、トリメチルアミン等、有機バインダーとし
ては、アクリル系ポリマー、メチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、ポリオレフィン等のポリマー又はオリ
ゴマー等、また有機系発泡剤としては、ラウリル酸塩、
ステアリン酸塩、カプリン酸塩、パルミチン酸塩等のア
ルキル酸塩系発泡剤が使用される。
ウム、ポリアクリル酸アンモニウム、アクリル酸エステ
ル共重合体、トリメチルアミン等、有機バインダーとし
ては、アクリル系ポリマー、メチルセルロース、ポリビ
ニルアルコール、ポリオレフィン等のポリマー又はオリ
ゴマー等、また有機系発泡剤としては、ラウリル酸塩、
ステアリン酸塩、カプリン酸塩、パルミチン酸塩等のア
ルキル酸塩系発泡剤が使用される。
【００２１】得られたスラリーは石膏型等の吸水性のあ
る型材に流し込み成形した後それを乾燥・脱脂し焼成す
ることによって本発明の導電性セラミックを製造するこ
とができる。
る型材に流し込み成形した後それを乾燥・脱脂し焼成す
ることによって本発明の導電性セラミックを製造するこ
とができる。
【００２２】乾燥は、温度１００℃以下の温風乾燥、遠
赤外線乾燥等で行われ、また脱脂は空気等の雰囲気下、
温度４００〜５００℃程度で３０分以上で行われる。
赤外線乾燥等で行われ、また脱脂は空気等の雰囲気下、
温度４００〜５００℃程度で３０分以上で行われる。
【００２３】焼成は、成形体を５ｋｇ／ｃｍ2 以上の窒
素加圧下、温度２０００℃以上で行われる。窒素加圧が
５ｋｇ／ｃｍ2 未満ではβ型炭化珪素の安定化と窒素分
を１％以上含ませることが困難となる。窒素加圧の上限
については特に制限はないが耐圧容器等の設備の面から
３０ｋｇ／ｃｍ2 が望ましい。また、焼成温度が２００
０℃未満では炭化珪素粉末原料がα型炭化珪素である場
合、β型炭化珪素に転移させることが難しくなり室温比
抵抗１０Ωｃｍ以下の焼結体を製造することが困難とな
る。焼成温度の上限については特に制限はないが耐熱容
器等の設備の面から２３００℃が望ましい。
素加圧下、温度２０００℃以上で行われる。窒素加圧が
５ｋｇ／ｃｍ2 未満ではβ型炭化珪素の安定化と窒素分
を１％以上含ませることが困難となる。窒素加圧の上限
については特に制限はないが耐圧容器等の設備の面から
３０ｋｇ／ｃｍ2 が望ましい。また、焼成温度が２００
０℃未満では炭化珪素粉末原料がα型炭化珪素である場
合、β型炭化珪素に転移させることが難しくなり室温比
抵抗１０Ωｃｍ以下の焼結体を製造することが困難とな
る。焼成温度の上限については特に制限はないが耐熱容
器等の設備の面から２３００℃が望ましい。
【００２４】
【実施例】次に実施例と比較例を挙げてさらに具体的に
本発明を説明する。
本発明を説明する。
【００２５】実施例１〜５ 比較例１〜４ 出発原料として平均粒径０．８μｍ、純度９６％のα型
又はβ型炭化珪素粉末１００部、水２０部、解膠剤とし
てトリメチルアミン２部、有機バインダーとしてメチル
セルロースを２部を配合し、ボールミルで３時間の湿式
混合を行った。得られたスラリーに有機系発泡剤として
ラウリル硫酸アンモニウム１部を添加し、発泡機で撹拌
して泥漿の体積を３倍に泡立てた。この発泡スラリーを
吸水性石膏型に流し込み、温度１００℃の温風乾燥機で
乾燥後、大気中、温度４５０℃×３時間の脱脂を行って
連通気孔を有する多孔質成形体を成形し、表１に示す窒
素加圧下と温度条件で焼成した。
又はβ型炭化珪素粉末１００部、水２０部、解膠剤とし
てトリメチルアミン２部、有機バインダーとしてメチル
セルロースを２部を配合し、ボールミルで３時間の湿式
混合を行った。得られたスラリーに有機系発泡剤として
ラウリル硫酸アンモニウム１部を添加し、発泡機で撹拌
して泥漿の体積を３倍に泡立てた。この発泡スラリーを
吸水性石膏型に流し込み、温度１００℃の温風乾燥機で
乾燥後、大気中、温度４５０℃×３時間の脱脂を行って
連通気孔を有する多孔質成形体を成形し、表１に示す窒
素加圧下と温度条件で焼成した。
【００２６】得られたセラミックについて、以下の特性
を測定し表１〜２に示した。 （１）気孔率：アルキメデス法。 （２）連通気孔径：走査型電子顕微鏡観察により計測し
た。 （３）β型炭化珪素の割合（β化率）：Ｘ線回折を行い
以下により算出した。 β化率（％）＝１００／（１＋ａ＋ｂ） 但し、ａ＝４．５７Ｉａ／（１００−２．７２Ｉａ−
０．６６５Ｉｂ） ｂ＝２．５３Ｉｂ／（１００−２．７２Ｉａ−０．６６
５Ｉｂ） ここで、ＩａはＣｕＫα２θが３４．３°におけるピー
ク強度、Ｉｂは３４．９°におけるピーク強度であり、
ＣｕＫα２θ＝３６．５°におけるピーク強度を１００
とした場合の相対値である。
を測定し表１〜２に示した。 （１）気孔率：アルキメデス法。 （２）連通気孔径：走査型電子顕微鏡観察により計測し
た。 （３）β型炭化珪素の割合（β化率）：Ｘ線回折を行い
以下により算出した。 β化率（％）＝１００／（１＋ａ＋ｂ） 但し、ａ＝４．５７Ｉａ／（１００−２．７２Ｉａ−
０．６６５Ｉｂ） ｂ＝２．５３Ｉｂ／（１００−２．７２Ｉａ−０．６６
５Ｉｂ） ここで、ＩａはＣｕＫα２θが３４．３°におけるピー
ク強度、Ｉｂは３４．９°におけるピーク強度であり、
ＣｕＫα２θ＝３６．５°におけるピーク強度を１００
とした場合の相対値である。
【００２７】（４）窒素含有量：ＬＥＣＯ社製Ｏ／Ｎ同
時分析計で測定した。 （５）室温比抵抗：４端子法。 （６）耐酸化性：大気中、温度１０００℃×１００時間
処理後の比抵抗を測定した。 （７）発熱特性：５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚み３０ｍｍの
試験片の両端に銀ペーストで電極を形成し、試料中央部
の温度が室温から６００℃までに昇温するのに必要な印
加電圧とその時の昇温時間を測定した。
時分析計で測定した。 （５）室温比抵抗：４端子法。 （６）耐酸化性：大気中、温度１０００℃×１００時間
処理後の比抵抗を測定した。 （７）発熱特性：５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚み３０ｍｍの
試験片の両端に銀ペーストで電極を形成し、試料中央部
の温度が室温から６００℃までに昇温するのに必要な印
加電圧とその時の昇温時間を測定した。
【００２８】
【表１】
【００２９】
【表２】
【００３０】表１〜２から明らかなように、本発明の範
囲内にある導電性セラミックは、室温比抵抗１０Ωｃｍ
以下でしかも気孔率の高い状態で優れた耐酸化性を示
し、短時間、低電圧で昇温することが可能であり、セラ
ミックフィルタとして優れた特性を有する。
囲内にある導電性セラミックは、室温比抵抗１０Ωｃｍ
以下でしかも気孔率の高い状態で優れた耐酸化性を示
し、短時間、低電圧で昇温することが可能であり、セラ
ミックフィルタとして優れた特性を有する。
【００３１】
【発明の効果】本発明の導電性セラミックとその製造方
法によれば、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下でしかも耐酸化
性に優れた多孔質β型炭化珪素焼結体が提供される。本
発明の導電性セラミックは、暖房機器、乾燥機、焼成炉
等のセラミックヒータとして使用することができる。
法によれば、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下でしかも耐酸化
性に優れた多孔質β型炭化珪素焼結体が提供される。本
発明の導電性セラミックは、暖房機器、乾燥機、焼成炉
等のセラミックヒータとして使用することができる。
【００３２】また、本発明のセラミックフイルタによれ
ば、捕集されたパティキュレートの燃焼に伴う破損が少
なくなり、外部加熱装置等の特殊な装置を取り付ける必
要もないのでコンパクト化が可能となる。
ば、捕集されたパティキュレートの燃焼に伴う破損が少
なくなり、外部加熱装置等の特殊な装置を取り付ける必
要もないのでコンパクト化が可能となる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯崎 啓 福岡県大牟田市新開町１ 電気化学工業株 式会社大牟田工場内
Claims (3)
- 【請求項１】 窒素及び／又は窒化物の合計を窒素分と
して１〜５重量％含み、室温比抵抗１０Ωｃｍ以下であ
る多孔質β型炭化珪素焼結体からなることを特徴とする
導電性セラミック。 - 【請求項２】 炭化珪素粉末、水、解膠剤、有機バイン
ダー及び有機系発泡剤を混合して発泡スラリーを調製
し、それを吸水性のある型で流し込み成形してから乾燥
・脱脂し、窒素ガス圧５ｋｇ／ｃｍ2 以上、温度２００
０℃以上で焼成することを特徴とする導電性セラミック
の製造方法。 - 【請求項３】 気孔径５〜３００μｍ、気孔率３０〜９
０％である請求項１記載の導電性セラミックで構成され
てなることを特徴とするセラミックフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6140285A JPH0812462A (ja) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | 導電性セラミックとその製造方法及び用途 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6140285A JPH0812462A (ja) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | 導電性セラミックとその製造方法及び用途 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0812462A true JPH0812462A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15265232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6140285A Pending JPH0812462A (ja) | 1994-06-22 | 1994-06-22 | 導電性セラミックとその製造方法及び用途 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812462A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1364930A1 (en) | 2001-02-02 | 2003-11-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Honeycomb structure and method for preparation thereof |
| WO2005063652A1 (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Bridgestone Corporation | ヒータ用炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| US7347966B2 (en) | 2002-02-27 | 2008-03-25 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method for manufacturing ceramic heater |
| JP2010105862A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Ngk Insulators Ltd | 炭化珪素質多孔体及びその製造方法 |
| JP2016183081A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 東京窯業株式会社 | 導電性炭化珪素質焼結体の製造方法及び導電性炭化珪素質焼結体 |
| JP2019172495A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 東京窯業株式会社 | 導電性炭化珪素質焼結体の製造方法及び導電性炭化珪素質焼結体 |
-
1994
- 1994-06-22 JP JP6140285A patent/JPH0812462A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1364930A1 (en) | 2001-02-02 | 2003-11-26 | Ngk Insulators, Ltd. | Honeycomb structure and method for preparation thereof |
| US7347966B2 (en) | 2002-02-27 | 2008-03-25 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method for manufacturing ceramic heater |
| WO2005063652A1 (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Bridgestone Corporation | ヒータ用炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| JP2005206449A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-08-04 | Bridgestone Corp | ヒータ用炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| JP2010105862A (ja) * | 2008-10-30 | 2010-05-13 | Ngk Insulators Ltd | 炭化珪素質多孔体及びその製造方法 |
| JP2016183081A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 東京窯業株式会社 | 導電性炭化珪素質焼結体の製造方法及び導電性炭化珪素質焼結体 |
| JP2019172495A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 東京窯業株式会社 | 導電性炭化珪素質焼結体の製造方法及び導電性炭化珪素質焼結体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5733352A (en) | Honeycomb structure, process for its production, its use and heating apparatus | |
| EP1364928B1 (en) | Honeycomb structure | |
| JP3548914B2 (ja) | 触媒担体の製造方法 | |
| JP4246802B2 (ja) | ハニカム構造体とその製造方法及び用途、並びに加熱装置 | |
| JP4215936B2 (ja) | ハニカム構造体の製造方法 | |
| US6770111B2 (en) | Pollucite-based ceramic with low CTE | |
| JP3789579B2 (ja) | コーディエライトハニカム構造体およびその製造方法 | |
| JP3681780B2 (ja) | 多孔質導電性炭化珪素焼結体とその製造方法及び用途 | |
| JP3185960B2 (ja) | 多孔質チタン酸アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| CN113999046B (zh) | 一种低温反应烧结碳化硅陶瓷膜的制备方法 | |
| JP3642836B2 (ja) | 炭化珪素ハニカム構造体及びその製造方法 | |
| JPH0812462A (ja) | 導電性セラミックとその製造方法及び用途 | |
| JP3983838B2 (ja) | 高強度多孔質α−ＳｉＣ焼結体の製造方法 | |
| JP2000016872A (ja) | 多孔質炭化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| KR100369210B1 (ko) | 다공성 세라믹 발열체, 그의 제조방법 및 그를 이용한 배기가스 필터 | |
| JP3691536B2 (ja) | 多孔質導電性炭化珪素焼結体の製造方法 | |
| JP3611345B2 (ja) | セラミック及びその用途 | |
| JP2634612B2 (ja) | 炭化ケイ素質ハニカム状フィルター及びその製造方法 | |
| JPH09202671A (ja) | 炭化珪素質ハニカムフィルタの製造方法 | |
| JP4468541B2 (ja) | 再結晶ＳｉＣの製造方法 | |
| KR100356736B1 (ko) | 탄화규소(SiC)질 요도구와 그의 제조방법 | |
| JPH11217270A (ja) | ハニカム構造体 | |
| JPH0826827A (ja) | 導電性反応焼結炭化珪素焼結体とその製造方法及び用途 | |
| JPH07330462A (ja) | 多孔質ＳｉＣ焼結体とその製造方法 | |
| JP2636978B2 (ja) | 導電性セラミック焼結体およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040202 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040120 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040326 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040727 |