JPH0812880B2 - 携帯型基板ハンドリング装置 - Google Patents
携帯型基板ハンドリング装置Info
- Publication number
- JPH0812880B2 JPH0812880B2 JP5390893A JP5390893A JPH0812880B2 JP H0812880 B2 JPH0812880 B2 JP H0812880B2 JP 5390893 A JP5390893 A JP 5390893A JP 5390893 A JP5390893 A JP 5390893A JP H0812880 B2 JPH0812880 B2 JP H0812880B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- edge
- grip
- clamp
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING, OR HOLDING
- B25B9/00—Hand-held gripping tools other than those covered by group B25B7/00
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S269/00—Work holders
- Y10S269/903—Work holder for electrical circuit assemblages or wiring systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、携帯型のワークピース
・ホルダ又はハンドリング装置に関し、更に詳細に言う
ならば、本発明は、基板、ウェハ、取付け工具、回路カ
ードなどを保持するための携帯型の基板ハンドリング装
置に関する。
・ホルダ又はハンドリング装置に関し、更に詳細に言う
ならば、本発明は、基板、ウェハ、取付け工具、回路カ
ードなどを保持するための携帯型の基板ハンドリング装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板の製造及びテスト中に、各種
のプロセス・ステップを実施し、かつあるプロセス・ス
テップから他のステップへ運搬ないし移送するために、
基板を頻繁に取り扱うことが必要となる。クリーン・ル
ーム環境において、このような取扱いは一般に、手動あ
るいは気圧作動いずれかのハンドリング工具を使用して
行われる。残念なことに、今日市販されている従来の基
板ハンドリング工具は通常、不適切であり、また効率の
悪いものである。これは今日の比較的大型で、重量のあ
る基板を取り扱う際に特に当てはまるものである。たと
えば、今日の基板は大きさが２００ｍｍ以上で、重量が
５ポンド以上となっている。これに関し、従来のハンド
リング工具は今日の基板を適切に取り扱う能力に欠けて
いるか、あるいは各種の必要なプロセスを遂行する際
に、ユーザが基板を適切に制御あるいは移動することが
できないものであるかのいずれかである。ハンドリング
工具が不適切なものであることによって、基板が落下
し、それ故基板に修理不能な損傷がもたらされたり、あ
るいは基板を汚染されたりすることがしばしばある。
のプロセス・ステップを実施し、かつあるプロセス・ス
テップから他のステップへ運搬ないし移送するために、
基板を頻繁に取り扱うことが必要となる。クリーン・ル
ーム環境において、このような取扱いは一般に、手動あ
るいは気圧作動いずれかのハンドリング工具を使用して
行われる。残念なことに、今日市販されている従来の基
板ハンドリング工具は通常、不適切であり、また効率の
悪いものである。これは今日の比較的大型で、重量のあ
る基板を取り扱う際に特に当てはまるものである。たと
えば、今日の基板は大きさが２００ｍｍ以上で、重量が
５ポンド以上となっている。これに関し、従来のハンド
リング工具は今日の基板を適切に取り扱う能力に欠けて
いるか、あるいは各種の必要なプロセスを遂行する際
に、ユーザが基板を適切に制御あるいは移動することが
できないものであるかのいずれかである。ハンドリング
工具が不適切なものであることによって、基板が落下
し、それ故基板に修理不能な損傷がもたらされたり、あ
るいは基板を汚染されたりすることがしばしばある。
【０００３】したがって、操作が簡単で、クリーン・ル
ーム環境で使用するのに適しており、比較的大きく、重
い基板を適切にハンドリングすることができ、かつ充分
な制御性及び操作性による基板のハンドリングを可能と
する携帯型の基板ハンドリング工具即ち装置が必要とさ
れている。
ーム環境で使用するのに適しており、比較的大きく、重
い基板を適切にハンドリングすることができ、かつ充分
な制御性及び操作性による基板のハンドリングを可能と
する携帯型の基板ハンドリング工具即ち装置が必要とさ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、新規
で改善された携帯型の基板ハンドリング装置を提供する
ことである。
で改善された携帯型の基板ハンドリング装置を提供する
ことである。
【０００５】本発明の他の目的は、操作が単純な携帯型
の基板ハンドリング装置を提供することである。
の基板ハンドリング装置を提供することである。
【０００６】本発明のさらに他の目的は、クリーン・ル
ーム環境で使用できる携帯型の基板ハンドリング装置を
提供することである。
ーム環境で使用できる携帯型の基板ハンドリング装置を
提供することである。
【０００７】本発明のさらにまた他の目的は、大型で、
重量の重い基板を取り扱うことができる携帯型の基板ハ
ンドリング装置を提供することである。
重量の重い基板を取り扱うことができる携帯型の基板ハ
ンドリング装置を提供することである。
【０００８】本発明のさらにまた他の目的は、充分な制
御性及び操作性による基板のハンドリングを可能とする
携帯型の基板ハンドリング装置を提供することである。
御性及び操作性による基板のハンドリングを可能とする
携帯型の基板ハンドリング装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的を達成
するために、本発明の携帯型の基板ハンドリング装置
は、 （イ）前縁及び後縁を有するフレーム本体と、該フレー
ム本体の後縁に取り付けられたグリップとからなるフレ
ームであって、上記フレーム本体の内部には、その前縁
と後縁とに開口を有する空洞が設けられ、上記グリップ
の内部には、その上縁と側縁とに開口を有する空洞が設
けられ、そして、上記フレーム本体の後縁の開口と上記
グリップの上縁の開口とは連通している上記フレーム
と、 （ロ）上記グリップの下端にその一端が枢着され、か
つ、その他端が上記グリップの上端に向かって延びる引
き金状のトリガ・ハンドルであって、上記一端を中心に
して上記グリップの側縁の開口から上記グリップ内部の
空洞内に回動する上記トリガ・ハンドルと、 （ハ）上記フレーム本体の内部の空洞内に配置され、か
つ、上記フレーム本体の前縁の側にある前端および上記
フレーム本体の後縁の側にある後端を有するシャフトで
あって、上記フレーム本体の前後方向に沿って摺動可能
な上記シャフトと、 （ニ）その中心部が上記グリップの内部の空洞内におい
て枢着され、その他端が上記シャフトの後端に係合し、
かつ、その一端が上記トリガ・ハンドルの他端に係合す
るロッドであって、上記トリガ・ハンドルがその一端を
中心にして上記グリップの側縁の開口から上記グリップ
の内部の空洞内に回動した時、上記トリガ・ハンドルの
他端の回動に基づいて上記ロッドの一端が回動され、そ
して該ロッドの一端が回動されることにより該ロッドの
中心部を中心にして該ロッドの他端も回動され、さらに
この回動に基づいて上記ロッドの他端に係合する上記シ
ャフトの後端を上記フレーム本体の前縁方向に向けて前
進させるように働く上記ロッドと、 （ホ）上記フレーム本体の内部の空洞内に配置され、上
記シャフトを上記フレーム本体の後縁方向に附勢するス
プリングと、 （ヘ）上記フレーム本体の前縁に接続され、かつ、該フ
レーム本体の前後方向に対して直交すると共に水平方向
に延びるカバーフレームであって、該カバーフレームの
内部には、その前縁と後縁に開口を有する空洞が設けら
れ、上記フレーム本体の前縁の開口と上記カバーフレー
ムの後縁の開口とは連通し、そして、上記カバーフレー
ムの前縁の開口は、水平方向に延びる細長いスロットで
あり、さらに、該細長いスロットの両端には、該スロッ
トを上下方向に横切るクランプピンが設けられている上
記カバーフレームと、 （ト）上記カバーフレームの内部の空洞内に配置され、
かつ、その前縁に上記スロットと平行な溝が設けられた
ブロックガイドであって、該ブロックガイドの後縁と上
記シャフトの前端とが連結されることにより、上記シャ
フトの前後方向の摺動に基づいて前後方向に摺動する上
記ブロックガイドと、 （チ）その後縁が上記ブロックガイドの溝に沿って水平
方向に摺動可能であり、かつ、その前縁が上記カバーフ
レームの前縁に設けられた上記細長いスロットより外部
に突出する第１クランプおよび第２クランプであって、
一方のクランプには、一方の端の上記クランプピンが貫
通する細長い穴が上記クランプの後縁から前縁に延びる
ように設けられ、同様に、他方のクランプには、他方の
端の上記クランプピンが貫通する細長い穴が上記クラン
プの後縁から前縁に延びるように設けられており、そし
て、両穴は、それぞれの穴に前端が近づくように傾斜し
ている上記第１クランプ及び第２クランプとを有する。
するために、本発明の携帯型の基板ハンドリング装置
は、 （イ）前縁及び後縁を有するフレーム本体と、該フレー
ム本体の後縁に取り付けられたグリップとからなるフレ
ームであって、上記フレーム本体の内部には、その前縁
と後縁とに開口を有する空洞が設けられ、上記グリップ
の内部には、その上縁と側縁とに開口を有する空洞が設
けられ、そして、上記フレーム本体の後縁の開口と上記
グリップの上縁の開口とは連通している上記フレーム
と、 （ロ）上記グリップの下端にその一端が枢着され、か
つ、その他端が上記グリップの上端に向かって延びる引
き金状のトリガ・ハンドルであって、上記一端を中心に
して上記グリップの側縁の開口から上記グリップ内部の
空洞内に回動する上記トリガ・ハンドルと、 （ハ）上記フレーム本体の内部の空洞内に配置され、か
つ、上記フレーム本体の前縁の側にある前端および上記
フレーム本体の後縁の側にある後端を有するシャフトで
あって、上記フレーム本体の前後方向に沿って摺動可能
な上記シャフトと、 （ニ）その中心部が上記グリップの内部の空洞内におい
て枢着され、その他端が上記シャフトの後端に係合し、
かつ、その一端が上記トリガ・ハンドルの他端に係合す
るロッドであって、上記トリガ・ハンドルがその一端を
中心にして上記グリップの側縁の開口から上記グリップ
の内部の空洞内に回動した時、上記トリガ・ハンドルの
他端の回動に基づいて上記ロッドの一端が回動され、そ
して該ロッドの一端が回動されることにより該ロッドの
中心部を中心にして該ロッドの他端も回動され、さらに
この回動に基づいて上記ロッドの他端に係合する上記シ
ャフトの後端を上記フレーム本体の前縁方向に向けて前
進させるように働く上記ロッドと、 （ホ）上記フレーム本体の内部の空洞内に配置され、上
記シャフトを上記フレーム本体の後縁方向に附勢するス
プリングと、 （ヘ）上記フレーム本体の前縁に接続され、かつ、該フ
レーム本体の前後方向に対して直交すると共に水平方向
に延びるカバーフレームであって、該カバーフレームの
内部には、その前縁と後縁に開口を有する空洞が設けら
れ、上記フレーム本体の前縁の開口と上記カバーフレー
ムの後縁の開口とは連通し、そして、上記カバーフレー
ムの前縁の開口は、水平方向に延びる細長いスロットで
あり、さらに、該細長いスロットの両端には、該スロッ
トを上下方向に横切るクランプピンが設けられている上
記カバーフレームと、 （ト）上記カバーフレームの内部の空洞内に配置され、
かつ、その前縁に上記スロットと平行な溝が設けられた
ブロックガイドであって、該ブロックガイドの後縁と上
記シャフトの前端とが連結されることにより、上記シャ
フトの前後方向の摺動に基づいて前後方向に摺動する上
記ブロックガイドと、 （チ）その後縁が上記ブロックガイドの溝に沿って水平
方向に摺動可能であり、かつ、その前縁が上記カバーフ
レームの前縁に設けられた上記細長いスロットより外部
に突出する第１クランプおよび第２クランプであって、
一方のクランプには、一方の端の上記クランプピンが貫
通する細長い穴が上記クランプの後縁から前縁に延びる
ように設けられ、同様に、他方のクランプには、他方の
端の上記クランプピンが貫通する細長い穴が上記クラン
プの後縁から前縁に延びるように設けられており、そし
て、両穴は、それぞれの穴に前端が近づくように傾斜し
ている上記第１クランプ及び第２クランプとを有する。
【００１０】そして、上記シャフトの摺動方向に垂直な
向きで、補助グリップが上記フレームから外部に突出し
て装着されている。
向きで、補助グリップが上記フレームから外部に突出し
て装着されている。
【００１１】
【実施例】図面には、携帯型の手動基板ハンドリング工
具即ち装置１０が示されている。工具１０はフレーム本
体１５、ピストル型のハンドル・グリップ２０、及びカ
バー・フレーム２２を含んでいる。カバー・フレーム２
２は上部カバー部分２５及び下部カバー部分３０からな
っていることが好ましい。ハンドル・グリップ２０がメ
イン・フレーム１５から約９０度の角度で延びているこ
とに留意されたい。フレーム本体１５の内部には、これ
の前縁と後縁とに開口を有する空洞が設けられ、そして
ハンドル・グリップ２０の内部には、これの上縁と側縁
とに開口を有する空洞が設けられ、そしてフレーム本体
１５の空洞の後縁とグリップ２０の空洞の上縁は連通し
ている。
具即ち装置１０が示されている。工具１０はフレーム本
体１５、ピストル型のハンドル・グリップ２０、及びカ
バー・フレーム２２を含んでいる。カバー・フレーム２
２は上部カバー部分２５及び下部カバー部分３０からな
っていることが好ましい。ハンドル・グリップ２０がメ
イン・フレーム１５から約９０度の角度で延びているこ
とに留意されたい。フレーム本体１５の内部には、これ
の前縁と後縁とに開口を有する空洞が設けられ、そして
ハンドル・グリップ２０の内部には、これの上縁と側縁
とに開口を有する空洞が設けられ、そしてフレーム本体
１５の空洞の後縁とグリップ２０の空洞の上縁は連通し
ている。
【００１２】引き金状のトリガ・ハンドル３５がハンド
ル・グリップ２０に取り付けられており、グリップ２０
の下端のハンドル・ピン４０を中心として枢動可能とな
っている。トリガ・ハンドル３５はグリップ２０の空洞
内に回動でき、そして、トリガ・ハンドル３５の枢動は
ハンドル３５の他端４５がメイン・フレーム１５の点Ａ
に衝合することによって制限される。さらに、トリガ・
ハンドル３５の部分５０はハンドル・グリップ２０外へ
延びているので、ハンドル・グリップ２０とともに引き
金状の機構を形成している。
ル・グリップ２０に取り付けられており、グリップ２０
の下端のハンドル・ピン４０を中心として枢動可能とな
っている。トリガ・ハンドル３５はグリップ２０の空洞
内に回動でき、そして、トリガ・ハンドル３５の枢動は
ハンドル３５の他端４５がメイン・フレーム１５の点Ａ
に衝合することによって制限される。さらに、トリガ・
ハンドル３５の部分５０はハンドル・グリップ２０外へ
延びているので、ハンドル・グリップ２０とともに引き
金状の機構を形成している。
【００１３】ロッド５５はトリガ・ハンドル３５の他端
に係合する一端６０と、シャフト・ピン７０によってシ
ャフト８０の後端７５に枢着された他端６５を有してい
る。ロッド５５はロッド・ピン８５を中心として枢動可
能である。
に係合する一端６０と、シャフト・ピン７０によってシ
ャフト８０の後端７５に枢着された他端６５を有してい
る。ロッド５５はロッド・ピン８５を中心として枢動可
能である。
【００１４】シャフト８０は、これの軸方向に摺動でき
るように、メイン・フレーム１５を貫通して延びてお
り、スプリング・バイアスされている。詳細にいえば、
シャフトはスプリング９０の中心に、かつスプリング９
０の長手方向軸に沿って配置されている。保持リング９
５がシャフト８０の周囲に取り付けられているので、ス
プリング９０が保持リング９５とメイン・フレーム１５
の間に閉じ込められ、これらの上に設置されている。ス
プリング９０は押し縮められるまでハンドリング工具１
０をリセット位置に維持し、そして押し縮められた後に
再び延びて工具１０をリセット位置に戻す。シャフト８
０の前端１００は、ブロック・ガイド１０５の後縁に取
り付けられている。ブロック・ガイド１０５は、カバー
フレーム２２の上部カバー部分２５と下部カバー部分３
０によって形成された空洞１１０内にスライド可能に配
置される。シャフト８０を任意の周知の手段、たとえ
ば、ネジ、接着剤などを使用してブロック・ガイド１０
５に固定し、この内部で往復するようにすることもでき
る。
るように、メイン・フレーム１５を貫通して延びてお
り、スプリング・バイアスされている。詳細にいえば、
シャフトはスプリング９０の中心に、かつスプリング９
０の長手方向軸に沿って配置されている。保持リング９
５がシャフト８０の周囲に取り付けられているので、ス
プリング９０が保持リング９５とメイン・フレーム１５
の間に閉じ込められ、これらの上に設置されている。ス
プリング９０は押し縮められるまでハンドリング工具１
０をリセット位置に維持し、そして押し縮められた後に
再び延びて工具１０をリセット位置に戻す。シャフト８
０の前端１００は、ブロック・ガイド１０５の後縁に取
り付けられている。ブロック・ガイド１０５は、カバー
フレーム２２の上部カバー部分２５と下部カバー部分３
０によって形成された空洞１１０内にスライド可能に配
置される。シャフト８０を任意の周知の手段、たとえ
ば、ネジ、接着剤などを使用してブロック・ガイド１０
５に固定し、この内部で往復するようにすることもでき
る。
【００１５】図８及び図９に詳細を示すブロック・ガイ
ド１０５はその長さに沿って延びている「Ｔ形」の溝１
１５を有しており、またシャフト８０をブロック・ガイ
ド１０５に固定できるようにする盲孔１２０を含んでい
る。
ド１０５はその長さに沿って延びている「Ｔ形」の溝１
１５を有しており、またシャフト８０をブロック・ガイ
ド１０５に固定できるようにする盲孔１２０を含んでい
る。
【００１６】一方が図６及び図７に詳細に示されている
クランプ１２５、１３０の各々は「Ｔ形」の後縁１３
５、１４０を有しており、これはブロック・ガイド１０
５の「Ｔ形」溝１１５にスライド可能に嵌合している。
クランプ１２５、１３０の各々は「Ｔ形」の後縁１３
５、１４０を有しており、これはブロック・ガイド１０
５の「Ｔ形」溝１１５にスライド可能に嵌合している。
【００１７】クランプ１２５、１３０の各々は一対の斜
めの細長い穴１４５、１５０及び１５５、１６０を有し
ており、これらの細長い穴１４５−１６０の各々は対応
するクランプ・ピン１６５にスライド可能に係合してい
る。細長い穴１４５−１６０が「Ｔ形」の後縁１３５、
１４０から前縁に向かって延びているので、クランプ１
２５の細長い穴１４５、１５０はクランプ１３０に向か
って傾斜するように配向されており、クランプ１３０の
細長い穴１５５、１６０はクランプ１２５に向かって傾
斜するように配向されている。即ち、図１及び図３で見
て、クランプ１２５の細長い穴１４５及び１５０は、こ
れらの下端部よりも上端部がクランプ１３０に近くなる
ように傾けられ、そしてクランプ１３０の細長い穴１５
５及び１６０は、これらの下端部よりも上端部がクラン
プ１２５に近くなるように傾けられている。この様に細
長い穴１４５及び１５０の前端と細長い穴１５５及び１
６０の前端を互いに近づけるように傾けることにより、
クランプ１２５及び１３０は、トリガ・ハンドル３５に
力が加えられていない時に、最も引き込まれた位置まで
後退させられることが出来る。
めの細長い穴１４５、１５０及び１５５、１６０を有し
ており、これらの細長い穴１４５−１６０の各々は対応
するクランプ・ピン１６５にスライド可能に係合してい
る。細長い穴１４５−１６０が「Ｔ形」の後縁１３５、
１４０から前縁に向かって延びているので、クランプ１
２５の細長い穴１４５、１５０はクランプ１３０に向か
って傾斜するように配向されており、クランプ１３０の
細長い穴１５５、１６０はクランプ１２５に向かって傾
斜するように配向されている。即ち、図１及び図３で見
て、クランプ１２５の細長い穴１４５及び１５０は、こ
れらの下端部よりも上端部がクランプ１３０に近くなる
ように傾けられ、そしてクランプ１３０の細長い穴１５
５及び１６０は、これらの下端部よりも上端部がクラン
プ１２５に近くなるように傾けられている。この様に細
長い穴１４５及び１５０の前端と細長い穴１５５及び１
６０の前端を互いに近づけるように傾けることにより、
クランプ１２５及び１３０は、トリガ・ハンドル３５に
力が加えられていない時に、最も引き込まれた位置まで
後退させられることが出来る。
【００１８】さらに、クランプ・ピン１６５の各々の一
方端部は上部カバー部分２５に固定されており、クラン
プ・ピン１６５の各々の他方端部は下部カバー部分３０
に固定されている。クランプ１２５、１３０の各々は前
縁１７０、１７５を有しており、これは図５に示すよう
に上部カバー部分２５及び下部カバー部分３０によって
形成された細長いスロット１８０を貫通して延びてい
る。スロット１８０はクランプ１２５、１３０がスロッ
ト１８０の長さに沿って自由にスライドすることがで
き、かつスロット１８０に対して自由に出入りできるよ
うな適切な寸法でなければならない。
方端部は上部カバー部分２５に固定されており、クラン
プ・ピン１６５の各々の他方端部は下部カバー部分３０
に固定されている。クランプ１２５、１３０の各々は前
縁１７０、１７５を有しており、これは図５に示すよう
に上部カバー部分２５及び下部カバー部分３０によって
形成された細長いスロット１８０を貫通して延びてい
る。スロット１８０はクランプ１２５、１３０がスロッ
ト１８０の長さに沿って自由にスライドすることがで
き、かつスロット１８０に対して自由に出入りできるよ
うな適切な寸法でなければならない。
【００１９】動作時に、トリガ・ハンドル３５をグリッ
プ２０の空洞内に回動させることによって、ハンドリン
グ工具１０が作動される。トリガ・ハンドル３５に圧力
を加えられてグリップ２０の空洞内に回動すると、ロッ
ト５５がロッド・ピン８５を中心として枢動する。ロッ
ドの他端５５はシャフト・ピン７０によってシャフト８
０の後端に枢着されており、ロッド５５の枢動がカバー
部分２５、３０に向かうシャフト８０の直線状の前進運
動に変わる。シャフト８０が前進すると、スプリング９
０が縮み、ブロック・ガイド１０５がシャフト８０によ
って空洞１１０内で前方へ押し出される。クランプ１２
５、１３０のＴ形の後縁１３５、１４０がブロック・ガ
イド１０５のＴ形溝１１５内に嵌合配置されているの
で、クランプ１２５、１３０はブロック・ガイド１０５
の前進運動とともに移動する。クランプ１２５、１３０
の運動はＴ形溝１１５によって、また斜めの細長い穴１
４５−１６０内のクランプ・ピン１６５のスライド係合
によって支配され、制御される。詳細にいえば、ブロッ
ク・ガイド１０５が前方へ移動した場合、クランプ１２
５、１３０は前進するだけではなく、斜めの細長い穴１
４５−１６０に沿ったクランプ・ピン１６５のスライド
係合によって移動されるので、互いに接近するように溝
１１５に沿ってスライドも行う。したがって、クランプ
１２５、１３０が互いに接近するように移動した場合、
基板すなわちワークピース１８５をそれぞれのクランプ
１２５、１３０のクランプ端部１７０、１７５の間に確
実に定置保持できる。さらに、トリガ・ハンドル３５に
かかる圧力を適切に維持すると、ワークピース１８５が
クランプ１２５、１３０の間に保持される。
プ２０の空洞内に回動させることによって、ハンドリン
グ工具１０が作動される。トリガ・ハンドル３５に圧力
を加えられてグリップ２０の空洞内に回動すると、ロッ
ト５５がロッド・ピン８５を中心として枢動する。ロッ
ドの他端５５はシャフト・ピン７０によってシャフト８
０の後端に枢着されており、ロッド５５の枢動がカバー
部分２５、３０に向かうシャフト８０の直線状の前進運
動に変わる。シャフト８０が前進すると、スプリング９
０が縮み、ブロック・ガイド１０５がシャフト８０によ
って空洞１１０内で前方へ押し出される。クランプ１２
５、１３０のＴ形の後縁１３５、１４０がブロック・ガ
イド１０５のＴ形溝１１５内に嵌合配置されているの
で、クランプ１２５、１３０はブロック・ガイド１０５
の前進運動とともに移動する。クランプ１２５、１３０
の運動はＴ形溝１１５によって、また斜めの細長い穴１
４５−１６０内のクランプ・ピン１６５のスライド係合
によって支配され、制御される。詳細にいえば、ブロッ
ク・ガイド１０５が前方へ移動した場合、クランプ１２
５、１３０は前進するだけではなく、斜めの細長い穴１
４５−１６０に沿ったクランプ・ピン１６５のスライド
係合によって移動されるので、互いに接近するように溝
１１５に沿ってスライドも行う。したがって、クランプ
１２５、１３０が互いに接近するように移動した場合、
基板すなわちワークピース１８５をそれぞれのクランプ
１２５、１３０のクランプ端部１７０、１７５の間に確
実に定置保持できる。さらに、トリガ・ハンドル３５に
かかる圧力を適切に維持すると、ワークピース１８５が
クランプ１２５、１３０の間に保持される。
【００２０】シャフト８０の軸方向に沿ったクランプ１
２５及び１３０の移動を考察すると、トリガ・ハンドル
３５に圧力が加えられていない状態では、クランプ１２
５及び１３０は、図１に示されているように、スプリン
グ９０により最も引き込まれた位置まで後退させられ、
そして、トリガ・ハンドル３５に圧力が加えられた状態
では、クランプ１２５及び１３０は、図３に示されてい
るように、スプリング９０の力に逆らって最も突出した
位置まで前進させられて、基板１８５を把持する。この
様に、トリガ・ハンドル３５に力が加えられていない状
態、即ち、操作者がこの基板ハンドリング装置を単に持
っているだけで、まだクランプ１２５及び１３０に被処
理基板１８５を把持していない時、若しくはこの基板ハ
ンドリング装置が机上に置かれている時には、クランプ
１２５及び１３０は、最も引き込まれた位置まで後退さ
れるので、クランプ１２５及び１３０が、他の作業員若
しくは周囲の物体に当たることが少なくなり、安全が確
保され、更に、収容時の寸法が小さくなる。
２５及び１３０の移動を考察すると、トリガ・ハンドル
３５に圧力が加えられていない状態では、クランプ１２
５及び１３０は、図１に示されているように、スプリン
グ９０により最も引き込まれた位置まで後退させられ、
そして、トリガ・ハンドル３５に圧力が加えられた状態
では、クランプ１２５及び１３０は、図３に示されてい
るように、スプリング９０の力に逆らって最も突出した
位置まで前進させられて、基板１８５を把持する。この
様に、トリガ・ハンドル３５に力が加えられていない状
態、即ち、操作者がこの基板ハンドリング装置を単に持
っているだけで、まだクランプ１２５及び１３０に被処
理基板１８５を把持していない時、若しくはこの基板ハ
ンドリング装置が机上に置かれている時には、クランプ
１２５及び１３０は、最も引き込まれた位置まで後退さ
れるので、クランプ１２５及び１３０が、他の作業員若
しくは周囲の物体に当たることが少なくなり、安全が確
保され、更に、収容時の寸法が小さくなる。
【００２１】本発明のハンドリング工具１０が操作、安
全性、収容性、制御及びハンドリングを容易とするため
人間工学的に設計されていることに留意するのが重要で
ある。詳細にいえば、トリガ・ハンドル３５はハンドル
・グリップ２０を備えた引き金状の機構を形成し、ワー
クピースのハンドリング時に最大限の制御性及び操作性
を提供する。さらに、ハンドル・グリップ２０の把持及
びトリガ・ハンドル３５への圧力の印加を、片手で簡単
に同時に行うことができる。そして、上述のように、安
全性及び収容性の点でも優れている。
全性、収容性、制御及びハンドリングを容易とするため
人間工学的に設計されていることに留意するのが重要で
ある。詳細にいえば、トリガ・ハンドル３５はハンドル
・グリップ２０を備えた引き金状の機構を形成し、ワー
クピースのハンドリング時に最大限の制御性及び操作性
を提供する。さらに、ハンドル・グリップ２０の把持及
びトリガ・ハンドル３５への圧力の印加を、片手で簡単
に同時に行うことができる。そして、上述のように、安
全性及び収容性の点でも優れている。
【００２２】今日の大型で重量のあるワークピースない
し基板に関して、オプションの補助トップ・グリップ１
９０を上部カバー部分２５に取り付けることができる。
補助トップ・グリップ１９０が約９０度の角度で上部カ
バー部分２５から延びているのが好ましい。この補助ト
ップ・グリップ１９０によって、ユーザが片手でハンド
ル・グリップ２０及びトリガ・ハンドル３５のところで
ハンドリング工具１０を保持し、活動化するとともに、
もう一方の手で補助トップ・グリップ１９０を把持ない
し保持することが可能となり、したがって、大型で重量
のある基板のハンドリング時に付加的な支持及び制御が
与えられる。必要に応じ、補助トップ・グリップ１９０
を脱着自在に上部カバー部分２５に取り付けることがで
きる。トップ・グリップ１９０の上部カバー部分２５へ
の取付けは、周知の任意の手段によって達成できる。た
とえば、上部カバー部分２５に設けられている外側にネ
ジを切った部分と適切に嵌合する内側にネジを切った部
分を、補助トップ・グリップ１９０に設けることができ
る。
し基板に関して、オプションの補助トップ・グリップ１
９０を上部カバー部分２５に取り付けることができる。
補助トップ・グリップ１９０が約９０度の角度で上部カ
バー部分２５から延びているのが好ましい。この補助ト
ップ・グリップ１９０によって、ユーザが片手でハンド
ル・グリップ２０及びトリガ・ハンドル３５のところで
ハンドリング工具１０を保持し、活動化するとともに、
もう一方の手で補助トップ・グリップ１９０を把持ない
し保持することが可能となり、したがって、大型で重量
のある基板のハンドリング時に付加的な支持及び制御が
与えられる。必要に応じ、補助トップ・グリップ１９０
を脱着自在に上部カバー部分２５に取り付けることがで
きる。トップ・グリップ１９０の上部カバー部分２５へ
の取付けは、周知の任意の手段によって達成できる。た
とえば、上部カバー部分２５に設けられている外側にネ
ジを切った部分と適切に嵌合する内側にネジを切った部
分を、補助トップ・グリップ１９０に設けることができ
る。
【００２３】本発明の他の有利な特徴は、多用途に使用
できるように簡単に分解できるように、工具１０が設計
されていることである。この点に関し、メイン・フレー
ム１５、ハンドル・グリップ２０、上部カバー部分２５
及び下部カバー部分３０を、取付けピン、ネジなどによ
って互いに一体的に接続できる個別の独立した構成要素
で構成することができる。分解することによって、故障
した任意の構成要素を交換することができ、またクラン
プ１２５、１３０の置き換えあるいは交換を行うことも
できる。この点に関し、ユーザの特定のニーズ及び用途
に合わせた異なるサイズ及び材料の各種のクランプを製
造することができる。たとえば、異なるサイズのクラン
プ端部を有するクランプを設け、各種の大きさの基板の
取り扱いに合わせてクランプを交換することができる。
さらに、クランプをクリーン・ルーム環境に適した材料
で構成することができる。このような材料としてはポリ
プロピレン、あるいはテフロンまたはデルリン（デラウ
ェア州ウィルミントンのE.I. DuPont Memoursが製造し
ている製品の商標）が挙げられる。ハンドリング工具１
０の他の構成要素を構成するのに使用される材料を、ユ
ーザが必要とする特定の用途に合わせて選択できること
はもちろんである。
できるように簡単に分解できるように、工具１０が設計
されていることである。この点に関し、メイン・フレー
ム１５、ハンドル・グリップ２０、上部カバー部分２５
及び下部カバー部分３０を、取付けピン、ネジなどによ
って互いに一体的に接続できる個別の独立した構成要素
で構成することができる。分解することによって、故障
した任意の構成要素を交換することができ、またクラン
プ１２５、１３０の置き換えあるいは交換を行うことも
できる。この点に関し、ユーザの特定のニーズ及び用途
に合わせた異なるサイズ及び材料の各種のクランプを製
造することができる。たとえば、異なるサイズのクラン
プ端部を有するクランプを設け、各種の大きさの基板の
取り扱いに合わせてクランプを交換することができる。
さらに、クランプをクリーン・ルーム環境に適した材料
で構成することができる。このような材料としてはポリ
プロピレン、あるいはテフロンまたはデルリン（デラウ
ェア州ウィルミントンのE.I. DuPont Memoursが製造し
ている製品の商標）が挙げられる。ハンドリング工具１
０の他の構成要素を構成するのに使用される材料を、ユ
ーザが必要とする特定の用途に合わせて選択できること
はもちろんである。
【００２４】さらに、改善されたノンスリップ、保護ク
ランプを提供するために、ワークピースに接触するクラ
ンプ端部の表面に適切な材料のライナ１９５（図７）を
設けることができる。たとえば、ライナ１９５を各クラ
ンプに取り付けられた複数のストリップで構成すること
ができ、ライナ１９５を構成するのに使用される材料は
ゴム、発泡材、軟質プラスチックなどである。さらに、
ライナ１９５を脱着可能で、交換可能にすることができ
る。
ランプを提供するために、ワークピースに接触するクラ
ンプ端部の表面に適切な材料のライナ１９５（図７）を
設けることができる。たとえば、ライナ１９５を各クラ
ンプに取り付けられた複数のストリップで構成すること
ができ、ライナ１９５を構成するのに使用される材料は
ゴム、発泡材、軟質プラスチックなどである。さらに、
ライナ１９５を脱着可能で、交換可能にすることができ
る。
【００２５】さらに、トリガ・ハンドル３５に力が加え
られていない状態、即ち、操作者がこの基板ハンドリン
グ装置を単に持っているだけで、まだクランプ１２５及
び１３０に被処理基板１８５を把持していない時、若し
くはこの基板ハンドリング装置が机上に置かれている時
には、クランプ１２５及び１３０は、最も引き込まれた
位置まで後退されるので、クランプ１２５及び１３０
が、他の作業員若しくは周囲の物体に当たることが少な
くなり、安全が確保され、更に、収容時の寸法が小さく
なる。
られていない状態、即ち、操作者がこの基板ハンドリン
グ装置を単に持っているだけで、まだクランプ１２５及
び１３０に被処理基板１８５を把持していない時、若し
くはこの基板ハンドリング装置が机上に置かれている時
には、クランプ１２５及び１３０は、最も引き込まれた
位置まで後退されるので、クランプ１２５及び１３０
が、他の作業員若しくは周囲の物体に当たることが少な
くなり、安全が確保され、更に、収容時の寸法が小さく
なる。
【００２６】本発明を特定の実施例について説明した
が、上記の説明に鑑み、各種の代替物、改変形及び変形
が当分野の技術者にとって明白であることは明かであ
る。それ故、本発明は本発明及び特許請求の範囲の範囲
及び精神に属するすべてのこのような代替物、改変形及
び変形を含むことを目的とするものである。
が、上記の説明に鑑み、各種の代替物、改変形及び変形
が当分野の技術者にとって明白であることは明かであ
る。それ故、本発明は本発明及び特許請求の範囲の範囲
及び精神に属するすべてのこのような代替物、改変形及
び変形を含むことを目的とするものである。
【図１】リセット位置にある本発明による携帯型のハン
ドリング装置の頂部一部断面図である。
ドリング装置の頂部一部断面図である。
【図２】図１のハンドリング装置の線２−２に沿って取
った側断面図である。
った側断面図である。
【図３】活動化位置にある本発明によるハンドリング装
置の頂部一部断面図である。
置の頂部一部断面図である。
【図４】図３の基板ハンドリング装置の線４−４に沿っ
て取った側断面図である。
て取った側断面図である。
【図５】本発明によるハンドリング装置の正面図であ
る。
る。
【図６】本発明によるクランプの頂面図である。
【図７】本発明によるクランプの側面図である。
【図８】本発明によるブロック・ガイドの頂面図であ
る。
る。
【図９】本発明によるブロック・ガイドの側面図であ
る。
る。
１０ 基板ハンドリング工具 １５ メイン・フレーム ２０ ハンドル・グリップ ２２ カバー・フレーム ２５ 上部カバー部分 ３０ 下部カバー部分 ３５ トリガ・ハンドル ５５ ロッド ８０ シャフト １０５ ブロック・ガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ・ユージン・スペンス アメリカ合衆国12540、ニューヨーク州ラ グランジェビル、トッド・ヒル・ロード 157 (56)参考文献 特開 昭51−4760（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−48177（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−97684（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】（イ）前縁及び後縁を有するフレーム本体
と、該フレーム本体の後縁に取り付けられたグリップと
からなるフレームであって、上記フレーム本体の内部に
は、その前縁と後縁とに開口を有する空洞が設けられ、
上記グリップの内部には、その上縁と側縁とに開口を有
する空洞が設けられ、そして、上記フレーム本体の後縁
の開口と上記グリップの上縁の開口とは連通している上
記フレームと、 （ロ）上記グリップの下端にその一端が枢着され、か
つ、その他端が上記グリップの上端に向かって延びる引
き金状のトリガ・ハンドルであって、上記一端を中心に
して上記グリップの側縁の開口から上記グリップ内部の
空洞内に回動する上記トリガ・ハンドルと、 （ハ）上記フレーム本体の内部の空洞内に配置され、か
つ、上記フレーム本体の前縁の側にある前端および上記
フレーム本体の後縁の側にある後端を有するシャフトで
あって、上記フレーム本体の前後方向に沿って摺動可能
な上記シャフトと、 （ニ）その中心部が上記グリップの内部の空洞内におい
て枢着され、その他端が上記シャフトの後端に係合し、
かつ、その一端が上記トリガ・ハンドルの他端に係合す
るロッドであって、上記トリガ・ハンドルがその一端を
中心にして上記グリップの側縁の開口から上記グリップ
の内部の空洞内に回動した時、上記トリガ・ハンドルの
他端の回動に基づいて上記ロッドの一端が回動され、そ
して該ロッドの一端が回動されることにより該ロッドの
中心部を中心にして該ロッドの他端も回動され、さらに
この回動に基づいて上記ロッドの他端に係合する上記シ
ャフトの後端を上記フレーム本体の前縁方向に向けて前
進させるように働く上記ロッドと、 （ホ）上記フレーム本体の内部の空洞内に配置され、上
記シャフトを上記フレーム本体の後縁方向に附勢するス
プリングと、 （ヘ）上記フレーム本体の前縁に接続され、かつ、該フ
レーム本体の前後方向に対して直交すると共に水平方向
に延びるカバーフレームであって、該カバーフレームの
内部には、その前縁と後縁に開口を有する空洞が設けら
れ、上記フレーム本体の前縁の開口と上記カバーフレー
ムの後縁の開口とは連通し、そして、上記カバーフレー
ムの前縁の開口は、水平方向に延びる細長いスロットで
あり、さらに、該細長いスロットの両端には、該スロッ
トを上下方向に横切るクランプピンが設けられている上
記カバーフレームと、 （ト）上記カバーフレームの内部の空洞内に配置され、
かつ、その前縁に上記スロットと平行な溝が設けられた
ブロックガイドであって、該ブロックガイドの後縁と上
記シャフトの前端とが連結されることにより、上記シャ
フトの前後方向の摺動に基づいて前後方向に摺動する上
記ブロックガイドと、 （チ）その後縁が上記ブロックガイドの溝に沿って水平
方向に摺動可能であり、かつ、その前縁が上記カバーフ
レームの前縁に設けられた上記細長いスロットより外部
に突出する第１クランプおよび第２クランプであって、
一方のクランプには、一方の端の上記クランプピンが貫
通する細長い穴が上記クランプの後縁から前縁に延びる
ように設けられ、同様に、他方のクランプには、他方の
端の上記クランプピンが貫通する細長い穴が上記クラン
プの後縁から前縁に延びるように設けられており、そし
て、両穴は、それぞれの穴に前端が近づくように傾斜し
ている上記第１クランプ及び第２クランプとを有する携
帯型基板ハンドリング装置。 - 【請求項２】上記シャフトの摺動方向に垂直な向きで、
補助グリップが上記フレームから外部に突出して装着さ
れていることを特徴とする請求項１記載の携帯型基板ハ
ンドリング装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US853194 | 1992-03-18 | ||
| US07/853,194 US5169132A (en) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Workpiece handler |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621202A JPH0621202A (ja) | 1994-01-28 |
| JPH0812880B2 true JPH0812880B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=25315326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5390893A Expired - Lifetime JPH0812880B2 (ja) | 1992-03-18 | 1993-03-15 | 携帯型基板ハンドリング装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5169132A (ja) |
| JP (1) | JPH0812880B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5308658A (en) * | 1993-02-03 | 1994-05-03 | Teledyne Industries, Inc. | Process and apparatus for efficient spray coating |
| US5454551A (en) * | 1993-11-10 | 1995-10-03 | Hobday Clamp Company | Clamping device |
| US5513836A (en) * | 1994-10-21 | 1996-05-07 | Hillenburg; Jerry | Clamping device for holding doors, panels and the like in an upright position |
| CA2220343A1 (en) * | 1995-05-10 | 1996-11-14 | Philip C. Shaw, Jr. | Ptc circuit protection device and manufacturing process for same |
| US6736386B1 (en) * | 2001-04-10 | 2004-05-18 | Dupont Photomasks, Inc. | Covered photomask holder and method of using the same |
| JP4618643B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2011-01-26 | ヤマハファインテック株式会社 | ワークの把持機構およびそれを用いた把持システム |
| CN103028999A (zh) * | 2012-12-27 | 2013-04-10 | 宁夏巨能机器人系统有限公司 | 自动化机械加工系统用料道 |
| US9925066B2 (en) * | 2013-08-13 | 2018-03-27 | Arthrex, Inc. | Surgical impactor/extractor assembly and method of use |
| CN103787030B (zh) * | 2014-01-17 | 2016-02-10 | 常州大学 | 一种基于机械手施行的自动收碗机构 |
| KR20180041900A (ko) * | 2016-10-17 | 2018-04-25 | 한미숙 | 슬라이딩지그 |
| CN106975939A (zh) * | 2017-04-30 | 2017-07-25 | 吉林东光奥威汽车制动系统有限公司 | 一种用于轴向竖孔加工的辅助夹紧装置 |
| CN107838732B (zh) * | 2017-12-15 | 2019-07-23 | 东莞长盈精密技术有限公司 | 用于薄片加工的夹具 |
| CN109877724B (zh) * | 2019-02-27 | 2022-02-25 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 一种晶圆取出装置 |
| CN111687773B (zh) * | 2020-06-24 | 2022-08-26 | 东风本田发动机有限公司 | 滚子摇臂安装夹具 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US662535A (en) * | 1900-05-22 | 1900-11-27 | Frank B Kendrick | Hand-vise. |
| CH405892A (de) * | 1963-05-21 | 1966-01-15 | Buehler Ag Geb | Einspannvorrichtung für einen Siebrahmenstapel |
| US3742571A (en) * | 1971-10-15 | 1973-07-03 | Amp Inc | Apparatus for trimming and inserting wires |
| JPS514760A (ja) * | 1974-06-27 | 1976-01-16 | Fuji Electric Co Ltd | Fuingasochi |
| US4244618A (en) * | 1979-08-15 | 1981-01-13 | Phd, Inc. | Pressure fluid operated gripping apparatus |
| DE3005089C2 (de) * | 1980-02-12 | 1982-02-04 | C. Behrens Ag, 3220 Alfeld | Vorrichtung zur auswechselbaren Halterung einer Matrize eines Werkzeugs in einer Metallbearbeitungsmaschine und Werkzeug zur Auswechslung der Matrize |
| US4278015A (en) * | 1980-06-05 | 1981-07-14 | Fluid And Electric Control Company | Material handling apparatus |
| US4437648A (en) * | 1981-05-28 | 1984-03-20 | Van F. Belknap Co. | Belt tensioning tool |
| US4377907A (en) * | 1981-06-18 | 1983-03-29 | Gte Automatic Electric Labs Inc. | Tool for inserting printed circuit cards |
| US4386461A (en) * | 1981-10-29 | 1983-06-07 | Arco Pipe Line Company | Ribbon cable connector tool |
| US4529182A (en) * | 1983-04-11 | 1985-07-16 | State Die & Engineering, Inc. | Wide opening gripping jaw assembly |
| US4618131A (en) * | 1985-05-24 | 1986-10-21 | Zenith Electronics Corporation | PC board hold down system |
| KR900003547A (ko) * | 1988-08-09 | 1990-03-26 | 페터슨 매뉴펙츄어링 캄퍼니, 인코포레이티드 | 급동 c- 클램프 |
| US4911490A (en) * | 1988-10-13 | 1990-03-27 | Intelmatec Corporation | Gripper assembly |
| JP2544380Y2 (ja) * | 1991-01-14 | 1997-08-20 | 株式会社西村製作所 | 巻取機の巻取コアつかみ装置 |
-
1992
- 1992-03-18 US US07/853,194 patent/US5169132A/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-03-15 JP JP5390893A patent/JPH0812880B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0621202A (ja) | 1994-01-28 |
| US5169132A (en) | 1992-12-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0812880B2 (ja) | 携帯型基板ハンドリング装置 | |
| US7290761B2 (en) | Multi-purpose flexible jaw universal vise with removable clamp feature | |
| US7798478B2 (en) | Parallel clamp and accessories therefor | |
| US6953188B2 (en) | Flexible jaw universal vise | |
| US5149071A (en) | Double-jaw vice for holding workpieces | |
| US6648315B1 (en) | Clamping device having indirect driving mechanism | |
| US5826310A (en) | Bar clamp apparatus | |
| US4660274A (en) | Robot tool changing apparatus | |
| US6579163B1 (en) | Blade sharpening assembly | |
| US20030079353A1 (en) | Reciprocating saw holder | |
| JPS6232077B2 (ja) | ||
| JPH0768472A (ja) | 手工具または改良バークランプ | |
| JPS643633B2 (ja) | ||
| US5346194A (en) | Adjustable clamp | |
| US4627604A (en) | Adjustable clamp | |
| GB2244669A (en) | Pliers wrench | |
| US4744552A (en) | Craftsman's jewelry support tool | |
| JPH04226870A (ja) | 手持式動力ねじ回し装置 | |
| US6978989B2 (en) | Holder for supporting workpiece in a fixed location pivotal about dual axes | |
| JPH06508068A (ja) | クランプ装置 | |
| US7059225B1 (en) | Holder device for attaching a circular saw to a T square | |
| US20230302529A1 (en) | Ergonomic Riveting Tool System | |
| US4922663A (en) | Sandpaper clamp mechanism for orbital finishing sander | |
| US5516088A (en) | Adjustable clamp | |
| JPH08171136A (ja) | 光学機器および写真機器を支持するためのクランプ |