JPH08128911A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPH08128911A JPH08128911A JP26944394A JP26944394A JPH08128911A JP H08128911 A JPH08128911 A JP H08128911A JP 26944394 A JP26944394 A JP 26944394A JP 26944394 A JP26944394 A JP 26944394A JP H08128911 A JPH08128911 A JP H08128911A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】装置の異常を自己診断でき、装置の信頼性を向
上できる差圧測定装置を提供するにある。 【構成】半導体チップに設けられ測定流体の差圧と静圧
とに感度を有する第１のセンサと、半導体チップに設け
られ測定流体の差圧と静圧とに感度を有し第１のセンサ
の出力信号と差圧において逆相で静圧において同相の出
力信号を出力する第２のセンサと、第１，第２のセンサ
の測定信号より測定流体の差圧と静圧を演算し静圧の演
算結果に基づき測定流体の差圧の演算結果に静圧補償を
する演算回路とを具備する差圧測定装置において、半導
体チップに設けられ主に静圧に感度を有する第３のセン
サと、第３のセンサの測定信号とあるいは測定信号を演
算処理した出力信号と第１，第２のセンサの測定信号よ
り演算された静圧信号とを比較して装置の異常の有無を
診断する診断手段とを具備したことを特徴とする差圧測
定装置である。
上できる差圧測定装置を提供するにある。 【構成】半導体チップに設けられ測定流体の差圧と静圧
とに感度を有する第１のセンサと、半導体チップに設け
られ測定流体の差圧と静圧とに感度を有し第１のセンサ
の出力信号と差圧において逆相で静圧において同相の出
力信号を出力する第２のセンサと、第１，第２のセンサ
の測定信号より測定流体の差圧と静圧を演算し静圧の演
算結果に基づき測定流体の差圧の演算結果に静圧補償を
する演算回路とを具備する差圧測定装置において、半導
体チップに設けられ主に静圧に感度を有する第３のセン
サと、第３のセンサの測定信号とあるいは測定信号を演
算処理した出力信号と第１，第２のセンサの測定信号よ
り演算された静圧信号とを比較して装置の異常の有無を
診断する診断手段とを具備したことを特徴とする差圧測
定装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、装置の異常を自己診断
でき、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置に関する
ものである。更に、詳述すれば、従来測定している２つ
の信号の他に、差圧の影響が小さく主に静圧によって変
化する信号を検出することで、センサの異常を判断でき
るようにして、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置
に関するものである。
でき、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置に関する
ものである。更に、詳述すれば、従来測定している２つ
の信号の他に、差圧の影響が小さく主に静圧によって変
化する信号を検出することで、センサの異常を判断でき
るようにして、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は、先願に係わる発明の構成説明図
で、例えば、本願出願人が出願した、特願平５−１９２
３１４号、発明の名称「半導体差圧測定装置」、平成５
年８月３日出願に示されている。図９は図８の平面図で
ある。
で、例えば、本願出願人が出願した、特願平５−１９２
３１４号、発明の名称「半導体差圧測定装置」、平成５
年８月３日出願に示されている。図９は図８の平面図で
ある。
【０００３】図において、１は半導体チップである。こ
の場合は、シリコンよりなる。２は半導体チップ１に設
けられ半導体チップ１に起歪部たる測定ダイアフラム３
を構成する内部空所である。
の場合は、シリコンよりなる。２は半導体チップ１に設
けられ半導体チップ１に起歪部たる測定ダイアフラム３
を構成する内部空所である。
【０００４】４は、測定ダイアフラム３に設けられ、測
定流体の差圧と静圧とに感度を有する半導体圧力検出素
子よりなる第１のセンサである。この場合は、振動子が
使用されている。
定流体の差圧と静圧とに感度を有する半導体圧力検出素
子よりなる第１のセンサである。この場合は、振動子が
使用されている。
【０００５】５は、ダイアフラム３の周縁部に設けら
れ、測定流体の差圧と静圧とに感度を有し、第１のセン
サ４の出力信号と差圧において、図１０に示す如く逆相
で、静圧において、図１１に示す如く同相の出力信号を
出力する、半導体圧力検出素子よりなる第２のセンサで
ある。この場合は、振動子が使用されている。ここで、
Ｓ1は第１のセンサ４の信号、Ｓ2は第２のセンサ５の信
号である。
れ、測定流体の差圧と静圧とに感度を有し、第１のセン
サ４の出力信号と差圧において、図１０に示す如く逆相
で、静圧において、図１１に示す如く同相の出力信号を
出力する、半導体圧力検出素子よりなる第２のセンサで
ある。この場合は、振動子が使用されている。ここで、
Ｓ1は第１のセンサ４の信号、Ｓ2は第２のセンサ５の信
号である。
【０００６】６は、図１２に示す如く、第１，第２のセ
ンサ４，５の測定信号より、測定流体の差圧と静圧を演
算し、静圧の演算結果に基づき、測定流体の差圧の演算
結果に静圧補償をする演算回路である。１１は、半導体
チップ１に一面が接続され、ガラスよりなるチップ支持
基板である。
ンサ４，５の測定信号より、測定流体の差圧と静圧を演
算し、静圧の演算結果に基づき、測定流体の差圧の演算
結果に静圧補償をする演算回路である。１１は、半導体
チップ１に一面が接続され、ガラスよりなるチップ支持
基板である。
【０００７】１２は、半導体チップ１とチップ支持基板
１１に設けられ、内部空所２に連通する第１の連通孔で
ある。
１１に設けられ、内部空所２に連通する第１の連通孔で
ある。
【０００８】以上の構成において、内部空所２に測定圧
ＰLが導入され、ダイアフラム３の外側から測定圧ＰHが
加わると、ダイアフラム３は、測定圧ＰL―測定圧ＰHの
差圧により変位する。この変位を第１，第２のセンサ
４，５により電気的に検出する。第１，第２のセンサ
４，５の測定信号より、演算回路６により、下記の式に
より、測定流体の差圧Ｐdと静圧ＰSを演算し、静圧ＰS
の演算結果に基づき、測定流体の差圧Ｐdの演算結果に
静圧補償をおこない、測定差圧Ｐｍに対応した電気信号
出力が得られる。
ＰLが導入され、ダイアフラム３の外側から測定圧ＰHが
加わると、ダイアフラム３は、測定圧ＰL―測定圧ＰHの
差圧により変位する。この変位を第１，第２のセンサ
４，５により電気的に検出する。第１，第２のセンサ
４，５の測定信号より、演算回路６により、下記の式に
より、測定流体の差圧Ｐdと静圧ＰSを演算し、静圧ＰS
の演算結果に基づき、測定流体の差圧Ｐdの演算結果に
静圧補償をおこない、測定差圧Ｐｍに対応した電気信号
出力が得られる。
【０００９】 Ｐd＝Ｋ1（Ｓ1−Ｓ2） （１） ＰS＝Ｋ2（Ｓ1＋Ｓ2） （２） Ｐd：差圧信号 ＰS：静圧信号 Ｓ1：第１のセンサ４の信号 Ｓ2：第２のセンサ５の信号 Ｋ1：補正係数 Ｋ2：補正係数
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、センサ部への異物の混入、センサ部
の破損等の理由により第１，第２のセンサ４，５の信号
Ｓ1，Ｓ2が異常であった場合でも、異常であるか否かの
判断ができない。本発明は、この問題点を、解決するも
のである。
な装置においては、センサ部への異物の混入、センサ部
の破損等の理由により第１，第２のセンサ４，５の信号
Ｓ1，Ｓ2が異常であった場合でも、異常であるか否かの
判断ができない。本発明は、この問題点を、解決するも
のである。
【００１１】本発明の目的は、装置の異常を自己診断で
き、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置を提供する
にある。
き、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置を提供する
にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、半導体チップに設けられ測定流体の差圧
と静圧とに感度を有する第１のセンサと、前記半導体チ
ップに設けられ測定流体の差圧と静圧とに感度を有し該
第１のセンサの出力信号と差圧において逆相で静圧にお
いて同相の出力信号を出力する第２のセンサと、前記第
１，第２のセンサの測定信号より測定流体の差圧と静圧
を演算し該静圧の演算結果に基づき該測定流体の差圧の
演算結果に静圧補償をする演算回路とを具備する差圧測
定装置において、前記半導体チップに設けられ主に静圧
に感度を有する第３のセンサと、該第３のセンサの測定
信号とあるいは該測定信号を演算処理した出力信号と前
記第１，第２のセンサの測定信号より演算された静圧信
号とを比較して装置の異常の有無を診断する診断手段と
を具備したことを特徴とする差圧測定装置を構成したも
のである。
に、本発明は、半導体チップに設けられ測定流体の差圧
と静圧とに感度を有する第１のセンサと、前記半導体チ
ップに設けられ測定流体の差圧と静圧とに感度を有し該
第１のセンサの出力信号と差圧において逆相で静圧にお
いて同相の出力信号を出力する第２のセンサと、前記第
１，第２のセンサの測定信号より測定流体の差圧と静圧
を演算し該静圧の演算結果に基づき該測定流体の差圧の
演算結果に静圧補償をする演算回路とを具備する差圧測
定装置において、前記半導体チップに設けられ主に静圧
に感度を有する第３のセンサと、該第３のセンサの測定
信号とあるいは該測定信号を演算処理した出力信号と前
記第１，第２のセンサの測定信号より演算された静圧信
号とを比較して装置の異常の有無を診断する診断手段と
を具備したことを特徴とする差圧測定装置を構成したも
のである。
【００１３】
【作用】以上の構成において、第１のセンサで測定流体
の差圧と静圧とから決まる第１の信号を出力し、第２の
センサで、測定流体の差圧と静圧とから決まる第２の信
号を出力する。第２のセンサの出力信号は第１のセンサ
の出力信号と差圧において逆相で静圧において同相の出
力信号を出力する。
の差圧と静圧とから決まる第１の信号を出力し、第２の
センサで、測定流体の差圧と静圧とから決まる第２の信
号を出力する。第２のセンサの出力信号は第１のセンサ
の出力信号と差圧において逆相で静圧において同相の出
力信号を出力する。
【００１４】演算回路で、第１，第２のセンサの測定信
号より測定流体の差圧と静圧を演算し、静圧の演算結果
に基づき、測定流体の差圧の演算結果に静圧補償をす
る。第３のセンサで、静圧を演算するための信号を測定
する。判断手段で、第３のセンサの測定信号、あるい
は、この測定信号を演算処理した出力信号と、第１，第
２のセンサの測定信号より演算された静圧信号とを比較
して、装置の異常の有無を判断する。以下、実施例に基
づき詳細に説明する。
号より測定流体の差圧と静圧を演算し、静圧の演算結果
に基づき、測定流体の差圧の演算結果に静圧補償をす
る。第３のセンサで、静圧を演算するための信号を測定
する。判断手段で、第３のセンサの測定信号、あるい
は、この測定信号を演算処理した出力信号と、第１，第
２のセンサの測定信号より演算された静圧信号とを比較
して、装置の異常の有無を判断する。以下、実施例に基
づき詳細に説明する。
【００１５】
【実施例】図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図２は図１の平面図である。図において、図８と同一記
号の構成は同一機能を表わす。以下、図８と相違部分の
み説明する。
図２は図１の平面図である。図において、図８と同一記
号の構成は同一機能を表わす。以下、図８と相違部分の
み説明する。
【００１６】２１は、半導体チップ１に設けられ、主に
静圧に感度を有する第３のセンサである。この場合は、
第１のセンサ４、第２のセンサ５、第３のセンサ２１
は、振動式センサが使用されている。
静圧に感度を有する第３のセンサである。この場合は、
第１のセンサ４、第２のセンサ５、第３のセンサ２１
は、振動式センサが使用されている。
【００１７】２２は、第３のセンサ２１の測定信号ある
いはこの測定信号を演算処理した出力信号と、第１，第
２のセンサ４，５の測定信号より演算された静圧信号と
を比較して、装置の異常の有無を判断する判断手段で、
この場合は、ＣＰＵが使用されている。
いはこの測定信号を演算処理した出力信号と、第１，第
２のセンサ４，５の測定信号より演算された静圧信号と
を比較して、装置の異常の有無を判断する判断手段で、
この場合は、ＣＰＵが使用されている。
【００１８】より具体的には、図３に示す如く、センサ
４，５，２１で検出した周波数信号（f1,f2,f3）はマル
チプレクサ３１、カウンタ３２を介しＣＰＵ２２に入力
され、ＣＰＵ２２ではその信号から差圧演算、静圧演
算、センサの異常判定を行い、出力値をＤ／Ａ変換器３
３、Ｖ／Ｉ変換器３４を介して出力するとともに、出力
値或はエラーコード等をＬＣＤ３５に表示する。
４，５，２１で検出した周波数信号（f1,f2,f3）はマル
チプレクサ３１、カウンタ３２を介しＣＰＵ２２に入力
され、ＣＰＵ２２ではその信号から差圧演算、静圧演
算、センサの異常判定を行い、出力値をＤ／Ａ変換器３
３、Ｖ／Ｉ変換器３４を介して出力するとともに、出力
値或はエラーコード等をＬＣＤ３５に表示する。
【００１９】以上の構成において、図４に示す様な差圧
を、測定ダイアフラム３が受けた場合、第１のセンサ４
は圧縮応力が働き、第２のセンサ５には引張り応力が働
く。第３のセンサ２１は差圧の影響が小さい部分に配置
されているので、差圧による応力変化は微少である。
を、測定ダイアフラム３が受けた場合、第１のセンサ４
は圧縮応力が働き、第２のセンサ５には引張り応力が働
く。第３のセンサ２１は差圧の影響が小さい部分に配置
されているので、差圧による応力変化は微少である。
【００２０】また、図４の様に配置された第１，第２，
第３のセンサ４，５，２１が静圧を受けた場合、第１，
第２，第３のセンサ４，５，２１には、いずれも圧縮応
力が働く。振動式センサの場合、引張り応力を受けた時
は出力周波数は大きくなり、逆に圧縮応力を受けた時は
出力周波数は小さくなる。従って、差圧及び静圧が印加
された場合のセンサ出力変化は、図５，図６の様にな
る。図５，図６の関係より、次式が導出できる。
第３のセンサ４，５，２１が静圧を受けた場合、第１，
第２，第３のセンサ４，５，２１には、いずれも圧縮応
力が働く。振動式センサの場合、引張り応力を受けた時
は出力周波数は大きくなり、逆に圧縮応力を受けた時は
出力周波数は小さくなる。従って、差圧及び静圧が印加
された場合のセンサ出力変化は、図５，図６の様にな
る。図５，図６の関係より、次式が導出できる。
【００２１】 ｆ1−ｆ10＝−Ｋ1×Ｐd−Ｋ2×Ｐs（ｆ1、ｆ2） ……（３） ｆ2−ｆ20＝＋Ｋ3×Ｐd−Ｋ4×Ｐs（ｆ1、ｆ2） ……（４） ｆ3−ｆ20＝ −Ｋ5×Ｐs（ｆ3） ……（５） ｆ1、ｆ2、ｆ3：差圧Ｐd 、静圧Ｐs が印加された時の
第１，第２，第 ３のセンサ４，５，２１の出力周波数 ｆ10、ｆ20、ｆ30：差圧ゼロ、静圧ゼロ時の第１，第
２，第３のセンサ４，５，２１の出力周波数 Ｐd：差圧 Ｐs（ｆ1、ｆ2）：ｆ1とｆ2の関数で表せる静圧 Ｐs（ｆ3）：ｆ3の関数で表せる静圧 Ｋ1 〜Ｋ5 ：補正係数 である。
第１，第２，第 ３のセンサ４，５，２１の出力周波数 ｆ10、ｆ20、ｆ30：差圧ゼロ、静圧ゼロ時の第１，第
２，第３のセンサ４，５，２１の出力周波数 Ｐd：差圧 Ｐs（ｆ1、ｆ2）：ｆ1とｆ2の関数で表せる静圧 Ｐs（ｆ3）：ｆ3の関数で表せる静圧 Ｋ1 〜Ｋ5 ：補正係数 である。
【００２２】予め、差圧ゼロ、静圧ゼロ時の出力周波数
ｆ10、ｆ20、ｆ30及び補正係数Ｋ1〜Ｋ5 を求めておけ
ば（３）、（４）式よりセンサの出力周波数ｆ1、ｆ2を
測定すれば差圧Ｐd 及び静圧Ｐs（ｆ1、ｆ2）が算出す
ることができる。また（５）式よりｆ3を測定すれば静
圧Ｐs（ｆ3）が算出できる。
ｆ10、ｆ20、ｆ30及び補正係数Ｋ1〜Ｋ5 を求めておけ
ば（３）、（４）式よりセンサの出力周波数ｆ1、ｆ2を
測定すれば差圧Ｐd 及び静圧Ｐs（ｆ1、ｆ2）が算出す
ることができる。また（５）式よりｆ3を測定すれば静
圧Ｐs（ｆ3）が算出できる。
【００２３】センサ及びセンサ信号検出回路が正常であ
る場合、 Ｐs（ｆ1、ｆ2）≒Ｐs（ｆ3） ……（６） であるので設定値ＤＰsを設け、ＤＰsと│Ｐs（ｆ1、ｆ
2）−Ｐs（ｆ3）│の値を比較することでセンサに異常
があるか否かを判断する事が出来る。 ＤＰｓ＜│Ｐs（ｆ1、ｆ2）−Ｐs（ｆ3）│＝＝＝＞
センサ異常 ＤＰｓ＞│Ｐs（ｆ1、ｆ2）−Ｐs（ｆ3）│＝＝＝＞
センサ正常
る場合、 Ｐs（ｆ1、ｆ2）≒Ｐs（ｆ3） ……（６） であるので設定値ＤＰsを設け、ＤＰsと│Ｐs（ｆ1、ｆ
2）−Ｐs（ｆ3）│の値を比較することでセンサに異常
があるか否かを判断する事が出来る。 ＤＰｓ＜│Ｐs（ｆ1、ｆ2）−Ｐs（ｆ3）│＝＝＝＞
センサ異常 ＤＰｓ＞│Ｐs（ｆ1、ｆ2）−Ｐs（ｆ3）│＝＝＝＞
センサ正常
【００２４】センサが異常である場合、ＬＣＤに予め決
めておいたエラーコードを出力するとか、出力電流を発
振させるとかして、早期にセンサ異常を伝えることで、
プロセスの信頼性を向上させることが出来る。
めておいたエラーコードを出力するとか、出力電流を発
振させるとかして、早期にセンサ異常を伝えることで、
プロセスの信頼性を向上させることが出来る。
【００２５】この結果、差圧を演算する第１，第２のセ
ンサ４，５の信号から求まる静圧値の他に、差圧による
信号変化の小さい第３のセンサ２１の信号より静圧値を
求め、それらの値を比較するようにしたために、センサ
信号が正常であるか否かを検出でき、センサ信号が異常
である場合、アラームが出せるので差圧測定装置の信頼
性を向上できる。
ンサ４，５の信号から求まる静圧値の他に、差圧による
信号変化の小さい第３のセンサ２１の信号より静圧値を
求め、それらの値を比較するようにしたために、センサ
信号が正常であるか否かを検出でき、センサ信号が異常
である場合、アラームが出せるので差圧測定装置の信頼
性を向上できる。
【００２６】図７は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、装置の圧力感度を大き
く取り、外乱の影響を小さくするために、第１，第２の
測定ダイアフラム４５，４６を設け、第１の測定ダイア
フラム４５に第２のセンサ５を、第２の測定ダイアフラ
ム４６に第１のセンサ４を、第２の半導体チップ４２に
第３のセンサ２１を設けたものである。圧力感度を大き
く取り、外乱の影響を小さくする事が出来ると共に、第
１図実施例と同様の効果が得られる。
図である。本実施例においては、装置の圧力感度を大き
く取り、外乱の影響を小さくするために、第１，第２の
測定ダイアフラム４５，４６を設け、第１の測定ダイア
フラム４５に第２のセンサ５を、第２の測定ダイアフラ
ム４６に第１のセンサ４を、第２の半導体チップ４２に
第３のセンサ２１を設けたものである。圧力感度を大き
く取り、外乱の影響を小さくする事が出来ると共に、第
１図実施例と同様の効果が得られる。
【００２７】なお、ここでは、振動式センサについて説
明を行ったが、ピエゾ抵抗式センサなど他方式のセンサ
についても、差圧を演算するセンサ信号から静圧を算出
できる方式のものに関しては、異常検出は可能である。
明を行ったが、ピエゾ抵抗式センサなど他方式のセンサ
についても、差圧を演算するセンサ信号から静圧を算出
できる方式のものに関しては、異常検出は可能である。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、半導体
チップに設けられ測定流体の差圧と静圧とに感度を有す
る第１のセンサと、前記半導体チップに設けられ測定流
体の差圧と静圧とに感度を有し該第１のセンサの出力信
号と差圧において逆相で静圧において同相の出力信号を
出力する第２のセンサと、前記第１，第２のセンサの測
定信号より測定流体の差圧と静圧を演算し該静圧の演算
結果に基づき該測定流体の差圧の演算結果に静圧補償を
する演算回路とを具備する差圧測定装置において、前記
半導体チップに設けられ主に静圧に感度を有する第３の
センサと、該第３のセンサの測定信号とあるいは該測定
信号を演算処理した出力信号と前記第１，第２のセンサ
の測定信号より演算された静圧信号とを比較して装置の
異常の有無を診断する診断手段とを具備したことを特徴
とする差圧測定装置を構成した。
チップに設けられ測定流体の差圧と静圧とに感度を有す
る第１のセンサと、前記半導体チップに設けられ測定流
体の差圧と静圧とに感度を有し該第１のセンサの出力信
号と差圧において逆相で静圧において同相の出力信号を
出力する第２のセンサと、前記第１，第２のセンサの測
定信号より測定流体の差圧と静圧を演算し該静圧の演算
結果に基づき該測定流体の差圧の演算結果に静圧補償を
する演算回路とを具備する差圧測定装置において、前記
半導体チップに設けられ主に静圧に感度を有する第３の
センサと、該第３のセンサの測定信号とあるいは該測定
信号を演算処理した出力信号と前記第１，第２のセンサ
の測定信号より演算された静圧信号とを比較して装置の
異常の有無を診断する診断手段とを具備したことを特徴
とする差圧測定装置を構成した。
【００２９】この結果、差圧を演算する第１，第２のセ
ンサの信号から求まる静圧値の他に、差圧による信号変
化の小さい第３のセンサの信号より静圧値を求め、それ
らの値を比較するようにしたために、センサ信号が正常
であるか否かを検出でき、センサ信号が異常である場
合、アラームが出せるので差圧測定装置の信頼性を向上
できる。
ンサの信号から求まる静圧値の他に、差圧による信号変
化の小さい第３のセンサの信号より静圧値を求め、それ
らの値を比較するようにしたために、センサ信号が正常
であるか否かを検出でき、センサ信号が異常である場
合、アラームが出せるので差圧測定装置の信頼性を向上
できる。
【００３０】従って、本発明によれば、装置の異常を自
己診断でき、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置が
得られる。
己診断でき、装置の信頼性を向上できる差圧測定装置が
得られる。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の具体的説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【図６】図１の動作説明図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図８】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図９】図８の平面図である。
【図１０】図８の動作説明図である。
【図１１】図８の動作説明図である。
【図１２】図８の回路説明図である。
１…半導体チップ ２…内部空所 ３…測定ダイアフラム ４…第１のセンサ ５…第２のセンサ ６…演算回路 １１…チップ支持基板 １２…第１の導通孔 ２１…第３のセンサ ２２…ＣＰＵ ３１…マルチプレクサ ３２…カウンタ ３３…Ｄ／Ａ変換器 ３４…Ｖ／Ｉ変換器 ３５…ＬＣＤ ４１…第１の半導体チップ ４２…第２の半導体チップ ４３…第１の内部空所 ４４…第２の内部空所 ４５…第１の測定ダイアフラム ４６…第２の測定ダイアフラム ５１…第１のチップ支持基板 ５２…第２のチップ支持基板 ５３…第１の導通孔 ５４…第２の導通孔 ５５…第１の導通管 ５６…第２の導通管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 兼平 敦子 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】半導体チップに設けられ測定流体の差圧と
静圧とに感度を有する第１のセンサと、前記半導体チッ
プに設けられ測定流体の差圧と静圧とに感度を有し該第
１のセンサの出力信号と差圧において逆相で静圧におい
て同相の出力信号を出力する第２のセンサと、前記第
１，第２のセンサの測定信号より測定流体の差圧と静圧
を演算し該静圧の演算結果に基づき該測定流体の差圧の
演算結果に静圧補償をする演算回路とを具備する差圧測
定装置において、 前記半導体チップに設けられ主に静圧に感度を有する第
３のセンサと、 該第３のセンサの測定信号とあるいは該測定信号を演算
処理した出力信号と前記第１，第２のセンサの測定信号
より演算された静圧信号とを比較して装置の異常の有無
を診断する診断手段とを具備したことを特徴とする差圧
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06269443A JP3129613B2 (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06269443A JP3129613B2 (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08128911A true JPH08128911A (ja) | 1996-05-21 |
| JP3129613B2 JP3129613B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=17472511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06269443A Expired - Fee Related JP3129613B2 (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3129613B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005274501A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Yokogawa Electric Corp | 圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法 |
| WO2010042233A3 (en) * | 2008-10-06 | 2010-07-22 | Rosemount Inc. | Pressure-based diagnostic system for process transmitter |
| CN102252798A (zh) * | 2010-04-13 | 2011-11-23 | 株式会社山武 | 压力传感器 |
| CN102252789A (zh) * | 2010-04-13 | 2011-11-23 | 株式会社山武 | 压力传感器 |
| US8387463B2 (en) | 2008-10-06 | 2013-03-05 | Rosemount Inc. | Pressure-based diagnostic system for process transmitter |
| CN103064440A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-04-24 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 基于半导体制冷器的液体压力调节装置及调节方法 |
| CN103983401A (zh) * | 2014-05-31 | 2014-08-13 | 福州大学 | 一种用于差压传感器的等精度测量方法 |
| CN104483062A (zh) * | 2014-12-23 | 2015-04-01 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 高可靠多余度压差传感器 |
| CN110763395A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-02-07 | 南京高华科技股份有限公司 | 压力测量装置 |
| WO2021027847A1 (zh) * | 2019-08-12 | 2021-02-18 | 联合汽车电子有限公司 | 压力传感器 |
-
1994
- 1994-11-02 JP JP06269443A patent/JP3129613B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005274501A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Yokogawa Electric Corp | 圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法 |
| US8387463B2 (en) | 2008-10-06 | 2013-03-05 | Rosemount Inc. | Pressure-based diagnostic system for process transmitter |
| WO2010042233A3 (en) * | 2008-10-06 | 2010-07-22 | Rosemount Inc. | Pressure-based diagnostic system for process transmitter |
| US7918134B2 (en) | 2008-10-06 | 2011-04-05 | Rosemount Inc. | Thermal-based diagnostic system for process transmitter |
| US8671765B2 (en) | 2010-04-13 | 2014-03-18 | Azbil Corporation | Pressure sensor having a diaphragm |
| CN102252789A (zh) * | 2010-04-13 | 2011-11-23 | 株式会社山武 | 压力传感器 |
| US8522619B2 (en) | 2010-04-13 | 2013-09-03 | Azbil Corporation | Pressure sensor |
| CN102252798A (zh) * | 2010-04-13 | 2011-11-23 | 株式会社山武 | 压力传感器 |
| CN103064440A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-04-24 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 基于半导体制冷器的液体压力调节装置及调节方法 |
| CN103064440B (zh) * | 2012-11-30 | 2015-07-22 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 基于半导体制冷器的液体压力调节装置及调节方法 |
| CN103983401A (zh) * | 2014-05-31 | 2014-08-13 | 福州大学 | 一种用于差压传感器的等精度测量方法 |
| CN104483062A (zh) * | 2014-12-23 | 2015-04-01 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 高可靠多余度压差传感器 |
| CN104483062B (zh) * | 2014-12-23 | 2016-08-03 | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 | 高可靠多余度压差传感器 |
| WO2021027847A1 (zh) * | 2019-08-12 | 2021-02-18 | 联合汽车电子有限公司 | 压力传感器 |
| US12304805B2 (en) | 2019-08-12 | 2025-05-20 | United Automotive Electronic Systems Co., Ltd. | Pressure sensor |
| CN110763395A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-02-07 | 南京高华科技股份有限公司 | 压力测量装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3129613B2 (ja) | 2001-01-31 |
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