JPH08129142A - Mirror driving device - Google Patents
Mirror driving deviceInfo
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- JPH08129142A JPH08129142A JP26592394A JP26592394A JPH08129142A JP H08129142 A JPH08129142 A JP H08129142A JP 26592394 A JP26592394 A JP 26592394A JP 26592394 A JP26592394 A JP 26592394A JP H08129142 A JPH08129142 A JP H08129142A
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- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
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- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ミラー駆動装置に関
し、特にレーザー光等の反射方向を変えるためのミラー
の反射面の角度を調整する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mirror driving device, and more particularly to a device for adjusting an angle of a reflecting surface of a mirror for changing a reflecting direction of laser light or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のミラー駆動装置は、モーターの回
転運動を直線運動に変換し、アームに伝達してミラーの
反射面の角度を調整している。具体的に説明すると、回
転体２０が一方向（矢印方向）に回転すると、ピストン
アーム２１を介してピストン２２をスライドホール２３
の中で往復運動させ、ピストン２２に回転可能に取付け
られたアーム２４をその一端に固定されたピン９を支点
として左右方向（矢印方向）に揺動させる。すると、ピ
ン９に固定されたミラー２は、ピン９を支点として角度
を矢印方向に調整する。2. Description of the Related Art A conventional mirror driving device converts the rotational movement of a motor into a linear movement and transmits it to an arm to adjust the angle of the reflecting surface of the mirror. More specifically, when the rotating body 20 rotates in one direction (arrow direction), the piston 22 slides the piston 22 through the slide hole 23.
The arm 24 rotatably attached to the piston 22 is swung in the left-right direction (arrow direction) with the pin 9 fixed at one end as a fulcrum. Then, the mirror 2 fixed to the pin 9 adjusts the angle in the arrow direction with the pin 9 as a fulcrum.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来のミラー駆動装置
は、モーターの回転運動を直線運動に変換してミラーの
角度を調整しているため、ミラーの角度調整範囲が一定
しており、一つの仕様にしか対応できなかった。また、
回転運動を直線運動に変換していることにより、ミラー
の回転角速度が一定でなかった。In the conventional mirror drive device, since the rotational movement of the motor is converted into the linear movement to adjust the angle of the mirror, the angle adjustment range of the mirror is constant, and one It was only possible to meet the specifications. Also,
The rotational angular velocity of the mirror was not constant because the rotational motion was converted into the linear motion.
【０００４】更に、ミラーを連続駆動する場合、ピスト
ンは、往復運動を反復するが、このとき、ピストンとス
ライドホールとの間のガタツキに起因して微小振動が生
じるという欠点があった。Further, when the mirror is continuously driven, the piston repeats reciprocating motion, but at this time, there is a drawback that minute vibration occurs due to rattling between the piston and the slide hole.
【０００５】そこで、本発明は、前記従来のミラー駆動
装置の欠点を改良し、ミラーの角度調整範囲を可変と
し、また、ミラーの回転角速度を一定とし、更に、ミラ
ーの駆動部のガタツキに起因する微小振動の発生を防止
しようとするものである。Therefore, the present invention has improved the drawbacks of the conventional mirror drive device described above, made the angle adjustment range of the mirror variable, made the rotation angular velocity of the mirror constant, and caused the rattling of the drive unit of the mirror. This is intended to prevent the occurrence of minute vibrations.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、ミラーを回転駆動する磁性体ピストンと、
前記磁性体ピストンを駆動する電磁コイルと、前記電磁
コイルの電流を制御する制御回路と、前記磁性体ピスト
ンを保持するホルダと、前記磁性体ピストンのガタツキ
による振動を抑えるばねと、前記ホルダに固定された空
気穴付プレートを備え、前記磁性体ピストンと前記空気
穴付プレートとの間に前記ばねをかけるミラー駆動装置
を構成する。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a magnetic piston for rotating a mirror,
An electromagnetic coil that drives the magnetic piston, a control circuit that controls the current of the electromagnetic coil, a holder that holds the magnetic piston, a spring that suppresses vibration due to rattling of the magnetic piston, and a fixed to the holder And a plate with an air hole formed therein, and a mirror driving device that applies the spring between the magnetic piston and the plate with an air hole.
【０００７】[0007]
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.
【０００８】図１は、本発明の一実施例の模式的平面図
である。ミラー２は、ピン９に固定され、ピン９を支点
として矢印方向に回転することができる。アーム５は、
ピン９に固定され、ピン９を支点として矢印方向に揺動
することができる。アーム５は、磁性体ピストン４の中
央部に回転可能に連結され、磁性体ピストン４は、その
一端側がホルダ６に保持され、他端側が電磁コイル３の
内側に配置される。ホルダ６に固定された空気穴付プレ
ート８と磁性体ピストン４の一端側との間に磁性体ピス
トン４に復元力を与えるばね７をかけ、電磁コイル３を
制御回路１により制御する。FIG. 1 is a schematic plan view of an embodiment of the present invention. The mirror 2 is fixed to the pin 9 and can rotate in the arrow direction with the pin 9 as a fulcrum. Arm 5
It is fixed to the pin 9 and can swing in the arrow direction with the pin 9 as a fulcrum. The arm 5 is rotatably connected to the center of the magnetic piston 4, and the magnetic piston 4 has one end thereof held by the holder 6 and the other end arranged inside the electromagnetic coil 3. A spring 7 for applying a restoring force to the magnetic piston 4 is applied between the plate 8 with air holes fixed to the holder 6 and one end of the magnetic piston 4, and the electromagnetic coil 3 is controlled by the control circuit 1.
【０００９】ばね７を引張ばねとするか圧縮ばねとする
かということ、ミラー２の基準位置と、ばね７の無負荷
の状態における磁性体ピストン４の位置との対応等の詳
細は、設計に際して決定する。Details such as whether the spring 7 is a tension spring or a compression spring, and the correspondence between the reference position of the mirror 2 and the position of the magnetic piston 4 in the unloaded state of the spring 7 are given in the design. decide.
【００１０】制御回路１は、切換信号の入力によって電
磁コイル３の電流を制御し、その電流の流れる方向及び
大小に応じて磁性体ピストン４の両矢印のいずれか一方
向への移動量及び移動速度を変化させる。磁性体ピスト
ン４が、移動すると、その動作がアーム５を介してミラ
ー２に伝達され、ミラー２の回転角度範囲及び回転角速
度を変化させることができる。The control circuit 1 controls the current of the electromagnetic coil 3 by the input of the switching signal, and the amount and movement of the magnetic piston 4 in either direction of the double-headed arrow depending on the direction and magnitude of the current flow. Change speed. When the magnetic piston 4 moves, its operation is transmitted to the mirror 2 via the arm 5, and the rotation angle range and the rotation angular velocity of the mirror 2 can be changed.
【００１１】ミラー２を連続駆動する場合には、磁性体
ピストン４は、往復運動を反復するが、このとき、ばね
７と空気穴付プレート８の穴から流出流入する空気のダ
ンパー効果とにより、磁性体ピストン４とホルダ６との
間に生じるガタツキによる微小振動を抑えることができ
る。When the mirror 2 is continuously driven, the magnetic piston 4 repeats reciprocating motion. At this time, due to the spring 7 and the damper effect of the air flowing in and out from the holes of the air hole plate 8, It is possible to suppress minute vibration due to rattling that occurs between the magnetic piston 4 and the holder 6.
【００１２】[0012]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるミラ
ー駆動装置は、制御回路による電磁コイル駆動としたた
め、ミラーの回転角度調整範囲及び回転角速度の制御が
可能となり、複数の仕様に対応できる。さらに、本発明
は、回転部を有しないため、摩耗部品が削減され、ミラ
ー駆動装置の寿命が長くなるという効果を奏する。As described above, since the mirror drive device according to the present invention is driven by the electromagnetic coil by the control circuit, the rotation angle adjustment range and the rotation angular velocity of the mirror can be controlled, and a plurality of specifications can be supported. Furthermore, since the present invention does not have a rotating portion, it has the effects of reducing wear parts and extending the life of the mirror driving device.
【００１３】また、ホルダにばね及び空気穴付プレート
を設けたため、ミラーを連続駆動する場合には、磁性体
ピストンは、往復運動を反復するが、このとき、ばねと
空気穴付プレートの穴から流出流入する空気のダンパー
効果とにより、磁性体ピストンとホルダとの間のガタツ
キに起因して発生する微小振動を抑えるという効果を奏
する。Further, since the holder is provided with the spring and the plate with the air hole, when the mirror is continuously driven, the magnetic piston repeats the reciprocating motion, but at this time, from the hole of the spring and the plate with the air hole. Due to the damper effect of the air flowing in and out, an effect of suppressing minute vibration caused by rattling between the magnetic piston and the holder is exerted.
【図１】本発明の一実施例の模式的平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view of an embodiment of the present invention.
【図２】従来のミラー駆動装置の模式的平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of a conventional mirror driving device.
１ 制御回路 ２ ミラー ３ 電磁コイル ４ 磁性体ピストン ５ アーム ６ ホルダ ７ ばね ８ 空気穴付プレート ９ ピン ２０ 回転体 ２１ ピストンアーム ２２ ピストン ２３ スライドホール ２４ アーム 1 Control Circuit 2 Mirror 3 Electromagnetic Coil 4 Magnetic Material Piston 5 Arm 6 Holder 7 Spring 8 Air Hole Plate 9 Pin 20 Rotating Body 21 Piston Arm 22 Piston 23 Slide Hole 24 Arm
Claims (2)
と、前記磁性体ピストンを駆動する電磁コイルと、前記
電磁コイルの電流を制御する制御回路と、前記磁性体ピ
ストンを保持するホルダと、前記磁性体ピストンのガタ
ツキによる振動を抑えるばねと、前記ホルダに固定され
た空気穴付プレートを備えることを特徴とするミラー駆
動装置。1. A magnetic material piston for rotating a mirror, an electromagnetic coil for driving the magnetic material piston, a control circuit for controlling a current of the electromagnetic coil, a holder for holding the magnetic material piston, and the magnetic material. A mirror driving device comprising: a spring for suppressing vibration due to rattling of a body piston; and a plate with air holes fixed to the holder.
ートとの間に前記ばねをかけることを特徴とする請求項
１記載のミラー駆動装置。2. The mirror driving device according to claim 1, wherein the spring is provided between the magnetic piston and the air hole plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26592394A JPH08129142A (en) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | Mirror driving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26592394A JPH08129142A (en) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | Mirror driving device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08129142A true JPH08129142A (en) | 1996-05-21 |
Family
ID=17423972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26592394A Withdrawn JPH08129142A (en) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | Mirror driving device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08129142A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013003452A (en) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Canon Inc | Lens barrel and camera system |
| CN112859284A (en) * | 2021-01-08 | 2021-05-28 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | Precise adjustment method based on electromagnetic force |
-
1994
- 1994-10-31 JP JP26592394A patent/JPH08129142A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013003452A (en) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Canon Inc | Lens barrel and camera system |
| CN112859284A (en) * | 2021-01-08 | 2021-05-28 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | Precise adjustment method based on electromagnetic force |
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