JPH08129879A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH08129879A
JPH08129879A JP6265595A JP26559594A JPH08129879A JP H08129879 A JPH08129879 A JP H08129879A JP 6265595 A JP6265595 A JP 6265595A JP 26559594 A JP26559594 A JP 26559594A JP H08129879 A JPH08129879 A JP H08129879A
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Memory System Of A Hierarchy Structure (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】キャッシュ保持手段を有するメモリにおいて、
消費電流を増加させることなくセルフリフレッシュ終了
時にキャッシュデータを保持可能とする。 【構成】コントロール回路11が、リフレッシュ信号R
EFとクロック信号φ1,φ2とを発生するリフレッシ
ュ制御回路12と、信号φ1の供給に応答してリフレッ
シュアドレスARを発生するカウンタ6と、信号φ2の
供給に応答して各々のリフレッシュ動作の直前に実行さ
れたキャッシュデータの読出または書込アクセス対応の
選択行アドレスをレジスタアドレスa〜dとして保持す
るレジスタ7A〜7Dと、比較アドレスRRを保持する
レジスタ15と、アドレスAR,RRとの一致に応答し
て信号S2を発生する比較器13と、信号S2の供給に
応答してアドレスARとアドレスa〜dの1つとのいず
れか一方を選択して出力するセレクタ14とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体記憶装置に関し、
特に行単位のデータを一時保持して動作するキャッシュ
保持手段を備える半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の半導体記憶装置は、メインメモ
リである低速大容量のDRAMのアクセスの高速化のた
め、このDRAMの行単位のデータを一時保持する高速
小容量のレジスタやバイポーラRAMなどから成るバッ
ファメモリすなわちキャッシュメモリを備える。また、
高価なキャッシュメモリを備える代りに、DRAMのペ
ージモードやスタテイックコラムモード等の高速アクセ
ス機構を利用して簡易なキャッシュメモリの代替とする
ものもある。以下にこれらキャッシュメモリおよびその
代替手段をキャッシュ保持手段と呼ぶ。
【0003】このキャッシュ保持手段はCPUが必要と
しそうな行アドレス単位のデータ(キャッシュデータ)
をメインメモリからコピーして保持し、CPUのメモリ
アクセス時のアドレスのデータが上記キャッシュデータ
と一致すると、すなわちキャッシュヒットすると、CP
Uは高速のキャッシュ保持手段のアクセス時間でこのキ
ャッシュデータを取込む。一方、上記メモリアクセス時
のアドレスのデータが上記キャッシュデータと不一致
(キャッシュミス)の場合は、CPUはメインメモリか
ら通常のメモリアクセスサイクルで所要のデータを取込
む。したがって、キャッシュヒット時にはキャッシュミ
ス時と比較して高速にアクセスを実行できる。
【0004】従来のこの種の一般的な半導体記憶装置を
ブロックで示す図6を参照すると、この従来の半導体記
憶装置は、メモリセルを行および列状に配列したメモリ
ブロックおよびその周辺回路から成るメモリ部1と、リ
フレッシュアドレスを保持しリフレッシュに従ってカウ
ントアップするとともにコントロール回路9の出力信号
φ1の供給を受け保持リフレッシュアドレスを内部リフ
レッシュ時にはリフレッシュアドレスARとして行デコ
ーダ7A〜7Dに出力するカウンタ6と、メモリブロッ
ク3A〜3Dの各々の最後にアクセスされた行の行アド
レスである直前行アドレスをそれぞれ保持するレジスタ
7A〜7Dと、列デコーダにより選択されたセンスアン
プのデータDMを入力もしくは出力制御するデータ入出
力回路8と、行アドレスAXとレジスタ7A〜7D対応
のレジスタアドレスa〜dとタイマ信号φ0とセルフリ
フレッシュエントリ信号反転(以下バー)SRとの供給
を受けリフレッシュアドレスARによるリフレッシュ動
作を制御するコントロール回路9と、自動的な内部リフ
レッシュ動作であるセルフリフレッシュ動作の周期を設
定するタイマ信号φ0を出力するタイマ10とを備え
る。
【0005】メモリ部1は、行アドレスAXの供給に応
答して対応のメモリブロック3A〜3Dの各々に行アド
レスをそれぞれ指定する行デコーダ2A〜2Dと、メモ
リセルアレイ3を構成するメモリブロック3A〜3D
と、メモリブロック3A〜3Dのそれぞれのメモリアレ
イのデータの増幅・保持を行うセンスアンプ4A〜4D
と、列アドレスAYの供給に応答してメモリブロック3
A,3Bおよび3C,3D対応のセンスアンプ4A,4
Bおよび4C,4Dのそれぞれの列アドレスを指定する
列デコーダ5Aおよび5Bとを備える。
【0006】ここで、この半導体記憶装置は、キャッシ
ュ保持手段としてセンスアンプ4A〜4Dを用い、これ
らセンスアンプ4A〜4Dが最終行アドレスのメモリブ
ロック3A〜3Dの各々の1行分のデータをキャッシュ
データとしてそれぞれ保持する。レジスタ7A〜7Dの
各々は、これらセンスアンプ4A〜4Dのキャッシュデ
ータのメモリブロック内の行アドレスをレジスタアドレ
スa〜dとしてそれぞれ保持する。
【0007】次に、図6および動作のフローチャートを
示す図7を参照して、従来の半導体記憶装置の動作につ
いて説明すると、まず待機状態(ステップP1)からメ
モリアクセスがはじまると(ステップP2)、最初の判
定ステップP3においてこのメモリアクセスがメモリリ
フレッシュと読出し・書込みアクセスとのいずれである
かのモード判定を行う。
【0008】ステップP3のモード判定にて読出し・書
込みアクセスと判定した場合は、ステップP4に進み行
アドレスAXに対するレジスタアドレスが一致している
か否かの判定を行う。ここで両アドレスが一致すると
(キャッシュヒット)列アドレスACに従ってセンスア
ンプ4に保持されているキャッシュデータに対してデー
タ入出力が行なわれる(ステップP5,P6)。これに
よりメモリアクセスが直接キャッシュ保持手段であるセ
ンスアンプに対するアクセスにより可能であるため高速
動作することが可能である。
【0009】ステップP4でレジスタアドレスとアクセ
ス行アドレスAXと一致しない場合には(キャッシュミ
ス)行デコーダ2により行アドレスを変更し、これまで
保持していたキャッシュデータを放棄し、新たに選択行
のデータを増幅する同時にレジスタ7の内容を新たな行
アドレスに変更しておく(ステップP7,P8)。
【0010】次に、ステップP5,P6で列アドレスに
よりアクセスを行ってデータ入出力を行う。このためこ
の場合のメモリアクセスは上記のキャッシュヒットした
場合に比べて遅くなる。
【0011】ステップP3のモード判定にて上記アクセ
スがリフレッシュモードであった場合では、リフレッシ
ュアドレスに従ってリフレッシュを実行(ステップP
9)した後、ステップP10で、リフレッシュアドレス
対応のメモリブロックのレジスタアドレスに従って再読
出しを実行する。これによりリフレッシュ動作では保持
されていたキャッシュデータの放棄後リフレッシュを行
うため、リフレッシュ後は直前行アドレスのデータが放
棄されてしまうが、上記レジスタアドレスにより再読出
しが実行されることによりリフレッシュ以前の状態を再
現できる。
【0012】これによりリフレッシュによるキャッシュ
データの消失を防止し、特性の向上が可能となる。
【0013】次に、セルフリフレッシュの処理フローを
示す図8を参照してセルフリフレッシュ動作について説
明すると、このセルフリフレッシュは内部のカウンタ6
による自動的なメモリセルのリフレッシュ動作であり、
一定周期で連続してリフレッシュを実行し全メモリセル
のデータの保持を行う。
【0014】ステップP11の待機状態から、ステップ
P12でセルフリフレッシュエントリ信号バーSRを受
け付けるとセルフリフレッシュモードへ移行する。ステ
ップP13の判定では、タイマ10の一定周期の信号φ
0に同期して出力されるリフレッシュ要求信号がなけれ
ばステップP16に進み、セルフリフレッシュ終了コマ
ンドの発生の有無を判定し終了コマンドが発生していれ
ばステップP11の待機状態へ戻る。またステップP1
6でリフレッシュ終了コマンドが発生していなければ判
定ステップP13に戻り、これを繰返し実行する。判定
ステップP13にてリフレッシュ要求信号の発生を受付
けるとカウンタ6から出力されるリフレッシュアドレス
に従ってメモリセルのリフレッシュを実行し(ステップ
P14)、カウンタ6を次のリフレッシュに備えて1イ
ンクリメントし(ステップP14)、ステップP16の
セルフリフレッシュ終了判定へ戻り、同様にこれを繰返
して実行する。
【0015】このセルフリフレッシュの場合には、レジ
スタアドレスによるキャッシュデータの再読出しを実施
していないため、上記キャッシュデータは消去されてし
まう。また、読出し書込み動作と同様に、セルフリフレ
ッシュモードのリフレッシュ動作毎に再読出しを実行す
るとセルフリフレッシュの消費電流が2倍となってしま
う。さらに、セルフリフレッシュモード終了時に全ての
キャッシュデータの再読出しを実行するとセルフリフレ
ッシュ解除の所要時間が長くなってしまう。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
記憶装置は、セルフリフレッシュにおいてレジスタアド
レスによる再読出しを実施していないため、頻繁にセル
フリフレッシュを実行するアプリケーションにおいて
は、このセルフリフレッシュの実行の度にキャッシュデ
ータを消去してしまうため、キャッシュ保持による性能
向上が困難であるという欠点があった。
【0017】上記欠点を解消するためセルフリフレッシ
ュモードのリフレッシュ動作毎に再読出しを実行すると
消費電流が大幅に増大するという欠点があった。
【0018】さらに、セルフリフレッシュモード終了時
に全てのキャッシュデータの再読出しを実行すると上記
終了所要時間が長くなってしまうという欠点があった。
【0019】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
は、各々が情報を記憶するメモリセルを行および列状に
配列して成り行アドレスおよび列アドレスを指定するこ
とにより前記情報の入出力を行うメモリセルアレイを予
め定めた第1の数の行毎に分割して成る複数のメモリセ
ルブロックを含み、前記メモリセルブロックの各々が予
め指定した行アドレスである選択行アドレス対応の一行
分のメモリセルの情報をキャッシュデータとして保持す
るキャッシュ保持機能を有するセンスアンプと前記行ア
ドレスおよび列アドレスの供給に応答して前記情報の入
出力を制御するコントロール手段とを備え、外部から指
定した外部行アドレスと前記選択行アドレスとが一致し
たとき前記センスアンプに対して前記キャッシュデータ
の読出または書込を行うとともに周期的なリフレッシュ
動作を行うダイナミック型の半導体記憶装置において、
前記コントロール手段が、予め定めた周期のタイミング
信号の供給に応答して前記リフレッシュ動作を実行する
ためのリフレッシュ信号と第1および第2の制御信号と
を発生するリフレッシュ制御手段と、前記第1の制御信
号の供給に応答して前記リフレッシュの対象行アドレス
を順次発生するリフレッシュアドレス発生手段と、前記
第2の制御信号の供給に応答して各々の前記リフレッシ
ュ動作の直前に実行された前記キャッシュデータの読出
または書込アクセス対応の前記選択行アドレスをキャッ
シュアドレスとして保持するキャッシュアドレス保持手
段と、前記リフレッシュ動作の予め定めた回数毎に前記
キャッシュアドレス保持手段から前記キャッシュアドレ
スの読出を行うキャッシュアドレス読出し手段とを備え
て構成されている。
【0020】
【実施例】次に、本発明の実施例を図7と共通の構成要
素には共通の参照文字/数字を付して同様にブロックで
示す図1を参照すると、この図に示す本実施例の半導体
記憶装置は、従来と共通のメモリ部1と、データ入出力
回路8と、タイマ10とに加えて、コントロール回路9
の代りに従来と同様のカウンタ6と、レジスタ7A〜7
Dと、タイマ信号φ0とセルフリフレッシュ信号バーS
Rとカウンタ/レジスタ切替用の信号S2との供給を受
けリフレッシュ動作制御用のリフレッシュ制御信号RE
Fとクロック信号φ1,φ2と外部/内部アドレス切替
用の信号S1と比較器13の強制活性化用の信号RLと
を発生するリフレッシュ制御回路12と、クロック信号
φ1の供給に応答してレジスタ15の格納アドレスRR
とカウンタ6からのリフレッシュアドレスARとを比較
して信号S2を発生する比較器13と、行アドレスAX
またはリフレッシュアドレスARの供給に応答してレジ
スタ7A〜7Dの格納データa〜dの1つを選択し選択
レジスタアドレスASRとして入出力するセレクタ14
と、メモリ再読出の間隔を決定するアドレスRRを格納
したレジスタ15と、信号S1,S2の供給に応答して
リフレッシュアドレスARまたは選択レジスタアドレス
ASRのいずれか一方を選択しメモリ1への内部アドレ
スAIとして出力するセレクタ16とを備えるコントロ
ール回路12を備える。
【0021】リフレッシュ制御回路12は、リフレッシ
ュ信号REFを発生するリフレッシュ信号発生回路21
と、タイマ信号φ0とリフレッシュ信号REFとの供給
に応答してカウント用のクロック信号φ1を発生するク
ロック発生回路22と、セルフリフレッシュ信号バーS
Rと信号REFとの供給に応答して信号RLを発生する
RL信号発生回路23と、信号S2の活性化に応答して
信号S1を活性化する切替信号発生回路24と、レジス
タ7A〜7Dの読出書込制御用のクロック信号φ2を発
生するクロック発生回路25とを備える。
【0022】次に、図1および動作タイムチャートであ
る図2(A)を参照して本実施例の動作について説明す
ると、従来と同様にタイマ10はリフレッシュのための
リフレッシュトリガである一定周期のタイマ信号φ0を
発生する。リフレッシュ信号発生回路21は、供給を受
けたタイマ信号φ0に同期してリフレッシュ信号REF
を活性化する。また、後述の信号S2の活性化に応答し
て信号REFを活性化する。クロック発生回路22は信
号REFのリセットタイミングに同期してクロック信号
φ1を発生する。カウンタ6はクロック信号φ1の供給
に応答して出力のリフレッシュアドレスARをインクリ
メントする。レジスタ15に格納されたアドレスRR
は、1回の再読出当りのリフレッシュ回数を規定する。
比較器13はクロック信号φ1の供給に応答して活性化
され、アドレスRRとARとを比較して一致していた場
合には、信号S2を活性化する。上述のように、これら
アドレスRR,ARの比較は、1回の再読出しに対する
リフレッシュ回数を決定するためであり、必ずしも全ビ
ットを比較する必要はない。
【0023】ここで信号S2が活性化されなければこの
セルフリフレッシュモード中では信号S1も非活性であ
り、これら信号S1,S2の非活性に応答してセレクタ
14はアドレスARを選択し、内部アドレスAIとして
出力する。
【0024】レジスタ7A〜7Dは従来と同様に、各メ
モリブロック3A〜3Dに対応する直前行アドレスa〜
dをそれぞれ保持している。次に、信号S2が活性化さ
れると、リフレッシュアドレスARにしたがってセレク
タ16はこの時点までリフレッシュに使用したセンスア
ンプ4、例えば4Aに対応したレジスタ7の1つ、この
場合レジスタ7Aのアドレスaを直前行アドレスASR
として選択し、セレクタ14にこの直前行アドレスAS
Rを出力する。セレクタ14は、このアドレスASRを
活性化された信号S2により選択し内部アドレスAIと
して出力する。同時に、信号S2の活性化に応答してリ
フレッシュ信号発生回路21がリフレッシュ信号REF
を活性化する。この信号S2,REFの活性化に応答し
て、上述のアドレスASR(アドレスa)にしたがって
メモリ再読出が実行される。次に、信号S2の非活性化
に応答してセレクタ14はアドレスARを選択するよう
切替る。引続いて、タイマ信号φ0の供給毎にリフレッ
シュ動作を反復する。
【0025】ここでメモリ再読出のタイミングを、連続
するリフレッシュ動作がたとえばメモリブロック3Aか
ら3Bに移行する時点とするように設定できる。このよ
うに設定することにより、複数のメモリブロック対応の
複数組のセンスアンプのうち、データ再読出が実行され
ないセンスアンプを1組のみに限定することができる。
【0026】次に、図2(B)を併せて参照して、セル
フリフレッシュ終了コマンド受領後の動作について説明
すると、まず、上述のように、1組のセンスアンプにつ
いては、リフレッシュ動作により保持データが放棄され
た状態となっている。ここで、リフレッシュ制御回路1
2のRL信号発生回路23は、セルフリフレッシュ信号
バーSRのリセットに応答するとともにこのセルフリフ
レッシュ信号バーSRと信号REFの反転信号とのAN
D演算結果の信号SREの後縁に同期した信号RLを発
生する。比較器13はこの信号RLの供給に応答して強
制的に信号S2を活性化し、セレクタ14により上記終
了コマンド受領時点の最後のリフレッシュ実行アドレス
を含むレジスタアドレスに対応して再読出を実行する。
これにより全てのセンスアンプ4A〜4Dに対してデー
タの再読出が実行されセルフリフレッシュ実行前の状態
に完全に復旧可能となる。
【0027】上記動作のフローチャートを図8と共通の
処理には同一のステップ番号で示す図3を併せて参照す
ると、ここでステップP11〜P15の後に、従来の動
作フローと比較してステップS6の判断処理以降のステ
ップS6〜S9が新規に追加されておりデータ再読出し
のリフレッシュに対応する頻度を決定する。ステップS
6において一致した場合では、ステップS7にて対応レ
ジスタアドレスの再読出を実行し、不一致の場合はステ
ップP3に戻りリフレッシュ動作を継続して実行する。
【0028】ステップP16でセルフリフレッシュが終
了している場合には、ステップS8,S9において、リ
フレッシュによるデータ放棄の有無について判定し、デ
ータ放棄が発生している場合には、対応レジスタの再読
出を実行してからセルフリフレッシュを解除する。
【0029】ここでセルフリフレッシュ期間中は、1つ
のメモリブロック例えば3Aの全部のメモリセルのリフ
レッシュがすべて完了したのち次のメモリブロック3B
のリフレッシュを実行するようにリフレッシュアドレス
ARの進行順序を設定し、先のメモリブロック3Aのリ
フレッシュの完了時点で次のメモリブロック3Bのリフ
レッシュの実行前にメモリブロック3Aに対して上記再
読出が行なわれるように設定する。
【0030】このようにするとリフレッシュによりデー
タが放棄されているメモリブロックは最大1個でありセ
ルフリフレッシュ解除時に次の1サイクルですべてのデ
ータが復旧可能となる。
【0031】またセルフリフレッシュ消費電流について
も所要のリフレッシュ回数に対してメモリブロック数分
の回数が増加するだけであり、その増加分は無視でき
る。
【0032】たとえば16MbのDRAMにおいてはリ
フレッシュ回数は2048程度に比して分割ブロック数
は8程度であり、これによる消費電流の増加分は0.4
%程度でしかない。
【0033】次に、本発明の第2の実施例を特徴ずける
コントロール回路31を図1と共通の構成要素には共通
の参照文字/数字を付して同様にブロックで示す図4を
参照すると、この図に示す本実施例のコントロール回路
31の前述の第1の実施例のコントロール回路11との
相違点は、レジスタ15および比較器13の代りに所定
の行のデコーダアドレス対応の設定アドレスRQを格納
したレジスタ35と、カウンタ6から供給されるリフレ
ッシュアドレスARとアドレスRQとの一致に応答して
信号S0を発生する比較器33を備え、さらにリフレッ
シュ制御回路12の代りに信号S0の供給に応答してク
ロック信号φ1の発生を停止するとともに信号S2を発
生するクロック制御回路36を備えるリフレッシュ制御
回路32を備えることである。
【0034】動作タイムチャートを示す図5を併せて参
照して動作について説明すると、第1の実施例と同様
に、タイマ信号φ0の供給に応答してリフレッシュ信号
REFが発生し、この信号REFにより周期的にリフレ
ッシュ動作を実行する。信号REFのリセットに同期し
て発生する信号φ1の供給に応答してカウンタ6はアド
レスARをカウントアップし、このアドレスARがアド
レスRQと一致すると、すなわちARがn+1となると
比較器33が信号S0を発生する。上述のように、アド
レスRQは行デコーダアドレス(この場合n+1)であ
るので、対応のメモリブロックの選択アドレスが全て’
0’であることを意味し、したがって、上記メモリブロ
ックのアクセスの終了時点で信号S0が発生することに
なる。この信号S0の供給に応答してクロック制御回路
36は上記終了時点の次のタイマ信号φ0対応のクロッ
ク信号φ1のパルスPの発生を停止し、信号S2をセレ
クタ14に供給して対応のレジスタアドレスを選択し再
読出を実行する。上記再読出実行後、次のタイマ信号φ
0の供給を受けて次のメモリブロックのリフレッシュを
継続する。
【0035】本実施例では、キャッシュデータ復旧のた
めのメモリデータ再読出をメモリブロック毎にリフレッ
シュ周期のタイミングで実行することにより、セルフリ
フレッシュ時の電流増加を抑圧できる。また、リフレッ
シュピリオドの増加は無視できる。
【0036】一例として、典型的な16MbDRAMの
リフレッシュピリオドは32msであるが、本実施例に
よる増加分はわずか0.125ms程度、すなわち0.
4%以下にすぎない。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体記
憶装置は、コントロール手段が、リフレッシュ制御手段
と、リフレッシュアドレス発生手段と、キャッシュアド
レス保持手段と、上記リフレッシュ動作の設定回数毎に
上記キャッシュアドレスの読出を行うキャッシュアドレ
ス読出手段とを備え、セルフリフレッシュ時において任
意のメモリブロックに対し連続する所定回数のリフレッ
シュ動作毎に上記キャッシュアドレス対応のメモリデー
タの再読出しを実行することにより、このメモリブロッ
ク対応のキャッシュデータはこの時点で最悪1行分のみ
放棄するだけで復旧するととともに、セルフリフレッシ
ュ終了後に上記放棄されたキャッシュデータ対応の再読
出しを実行することにより、完全な上記キャッシュデー
タの復旧を可能とするので、キャッシュヒット率向上に
よる特性向上を確実に達成可能とするとともに消費電流
を抑制することができるという効果がある。
【0038】さらに、セルフリフレッシュ完了時に上記
放棄キャッシュデータのみの再読出を実行するので、上
記終了所要時間の延長を無視できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体記憶装置の第1の実施例を示す
ブロック図である。
【図2】本実施例の半導体記憶装置における動作の一例
を示すタイムチャートである。
【図3】本実施例の半導体記憶装置における動作の一例
を示すフローチャートである。
【図4】本発明の半導体記憶装置の第2の実施例を示す
ブロック図である。
【図5】本実施例の半導体記憶装置における動作の一例
を示すタイムチャートである。
【図6】従来の半導体記憶装置の一例を示すブロック図
である。
【図7】従来の半導体記憶装置における動作を示すフロ
ーチャートである。
【図8】従来の半導体記憶装置における他の動作を示す
フローチャートである。
【符号の説明】
1 メモリ部 2A〜2D 行デコーダ 3A〜3D メモリブロック 4A〜4D センスアンプ 5A,5B 列デコーダ 6 カウンタ 7A〜7D,15,35 レジスタ 8 データ入出力回路 9,11,31 コントロール回路 10 タイマ 12 リフレッシュ制御回路 13,33 比較器 14,16 セレクタ 21 リフレッシュ信号発生回路 22,25 クロック発生回路 23 RL信号発生回路 24 切替信号発生回路 36 クロック制御回路

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 各々が情報を記憶するメモリセルを行お
    よび列状に配列して成り行アドレスおよび列アドレスを
    指定することにより前記情報の入出力を行うメモリセル
    アレイを予め定めた第1の数の行毎に分割して成る複数
    のメモリセルブロックを含み、前記メモリセルブロック
    の各々が予め指定した行アドレスである選択行アドレス
    対応の一行分のメモリセルの情報をキャッシュデータと
    して保持するキャッシュ保持機能を有するセンスアンプ
    と前記行アドレスおよび列アドレスの供給に応答して前
    記情報の入出力を制御するコントロール手段とを備え、
    外部から指定した外部行アドレスと前記選択行アドレス
    とが一致したとき前記センスアンプに対して前記キャッ
    シュデータの読出または書込を行うとともに周期的なリ
    フレッシュ動作を行うダイナミック型の半導体記憶装置
    において、 前記コントロール手段が、予め定めた周期のタイミング
    信号の供給に応答して前記リフレッシュ動作を実行する
    ためのリフレッシュ信号と第1および第2の制御信号と
    を発生するリフレッシュ制御手段と、 前記第1の制御信号の供給に応答して前記リフレッシュ
    の対象行アドレスを順次発生するリフレッシュアドレス
    発生手段と、 前記第2の制御信号の供給に応答して各々の前記リフレ
    ッシュ動作の直前に実行された前記キャッシュデータの
    読出または書込アクセス対応の前記選択行アドレスをキ
    ャッシュアドレスとして保持するキャッシュアドレス保
    持手段と、 前記リフレッシュ動作の予め定めた回数毎に前記キャッ
    シュアドレス保持手段から前記キャッシュアドレスの読
    出を行うキャッシュアドレス読出手段とを備えることを
    特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記キャッシュアドレス保持手段が前記
    第2の制御信号の供給に応答して前記キャッシュアドレ
    スの読出および書込が制御される複数のキャッシュアド
    レスレジスタを備え、 前記リフレッシュアドレス発生手段が前記第1の制御信
    号の供給に応答してカウントアップすることにより前記
    リフレッシュアドレスを発生するカウンタを備え、 前記キャッシュアドレス読出手段が、予め定めた比較ア
    ドレスを格納する比較レジスタと、前記リフレッシュア
    ドレスと前記比較アドレスとを比較し一致した場合第3
    の制御信号を出力する比較回路と、前記リフレッシュア
    ドレスの供給に応答して前記複数のキャッシュアドレス
    レジスタのうちの一つを選択して選択キャッシュアドレ
    スを出力する第1のセレクタと、前記第3の制御信号の
    供給に応答して前記リフレッシュアドレスと前記選択キ
    ャッシュアドレスとのいずれか一方を選択する第2のセ
    レクタとを備えることを特徴とする請求項1記載の半導
    体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記リフレッシュ制御回路がセルフリフ
    レッシュ制御信号の供給に応答して前記リフレッシュア
    ドレス発生手段から供給されるリフレッシュアドレスに
    より順次前記リフレッシュ動作を実行するセルフリフレ
    ッシュ動作モードを有し、このセルフリフレッシュ動作
    モードの解除に対応する前記セルフリフレッシュ制御信
    号のリセットに同期して第4の制御信号を発生する第1
    の制御信号発生回路を備え、 前記比較回路が前記第4の制御信号の供給に応答して前
    記第3の制御信号を発生することを特徴とする請求項1
    および2記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記キャッシュアドレス読出手段が、前
    記選択行の行デコーダアドレスを第2の比較アドレスと
    して格納する第2の比較レジスタと、 前記リフレッシュアドレスと前記比較アドレスとを比較
    し一致した場合第5の制御信号を出力する第2の比較回
    路とを備え、 前記リフレッシュ制御回路が前記第5の制御信号の供給
    に応答してこの第5の制御信号供給時点の次のリフレッ
    シュ周期の前記第1の制御信号の発生を停止するととも
    に前記第3の制御信号を発生する第2の制御信号発生回
    路を備えることを特徴とする請求項1および2記載の半
    導体記憶装置。
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