JPH0813137A - アルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ - Google Patents
アルミニウム蒸着用黒鉛るつぼInfo
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- JPH0813137A JPH0813137A JP14420794A JP14420794A JPH0813137A JP H0813137 A JPH0813137 A JP H0813137A JP 14420794 A JP14420794 A JP 14420794A JP 14420794 A JP14420794 A JP 14420794A JP H0813137 A JPH0813137 A JP H0813137A
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- Japan
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- graphite crucible
- heat generating
- crucible
- graphite
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Links
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 15
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 アルミニウムの蒸発を妨げることなく、寿命
の長いアルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ（以下黒鉛るつぼ
とする）を提供する。 【構成】 外周部を発熱部２とした黒鉛るつぼ１におい
て、発熱部２が黒鉛るつぼ１の上端部から下端部まで位
置し、かつ黒鉛るつぼの底部の外壁で、発熱部２下端部
の内側に円形状の溝４を形成してなる黒鉛るつぼ。
の長いアルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ（以下黒鉛るつぼ
とする）を提供する。 【構成】 外周部を発熱部２とした黒鉛るつぼ１におい
て、発熱部２が黒鉛るつぼ１の上端部から下端部まで位
置し、かつ黒鉛るつぼの底部の外壁で、発熱部２下端部
の内側に円形状の溝４を形成してなる黒鉛るつぼ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアルミニウム蒸着用黒鉛
るつぼ（以下黒鉛るつぼとする）の改良に関する。
るつぼ（以下黒鉛るつぼとする）の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウムの蒸着は、アルミニウムの
インゴットを黒鉛るつぼの中に入れ、これを真空蒸着装
置に収納し、１０-2〜１０-5torrに減圧すると共に、誘
導加熱などの方法で加熱してアルミニウムを溶融し、１
４００〜１５００℃に保持して、発生するアルミニウム
の蒸気を装置の上部を走行するポリエステルなどのフィ
ルムに蒸着させる方法が多用されている。
インゴットを黒鉛るつぼの中に入れ、これを真空蒸着装
置に収納し、１０-2〜１０-5torrに減圧すると共に、誘
導加熱などの方法で加熱してアルミニウムを溶融し、１
４００〜１５００℃に保持して、発生するアルミニウム
の蒸気を装置の上部を走行するポリエステルなどのフィ
ルムに蒸着させる方法が多用されている。
【０００３】上記のようなものに使用される従来の黒鉛
るつぼは、人造黒鉛材を図３及び図４に示すような形状
に機械加工したものが一般に知られている。なお図３及
び図４において１は黒鉛るつぼ、２は発熱部となる部分
及び３は誘導コイルである。
るつぼは、人造黒鉛材を図３及び図４に示すような形状
に機械加工したものが一般に知られている。なお図３及
び図４において１は黒鉛るつぼ、２は発熱部となる部分
及び３は誘導コイルである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図３に示
す黒鉛るつぼ１は、底部が肉厚のため熱容量が大きくな
り発熱効率が悪く、また図４に示す黒鉛るつぼ１は、有
効発熱部２が短く発熱効率が低下する。このため図３及
び図４に示す黒鉛るつぼ１はいずれも底部の温度が低く
なり、溶融アルミニウムの撹拌が不十分で、表面にカー
バイドからなる膜が発生し易くなる。この膜がアルミニ
ウムの蒸発を妨げ、黒鉛るつぼの寿命低下を招く原因と
なっている。
す黒鉛るつぼ１は、底部が肉厚のため熱容量が大きくな
り発熱効率が悪く、また図４に示す黒鉛るつぼ１は、有
効発熱部２が短く発熱効率が低下する。このため図３及
び図４に示す黒鉛るつぼ１はいずれも底部の温度が低く
なり、溶融アルミニウムの撹拌が不十分で、表面にカー
バイドからなる膜が発生し易くなる。この膜がアルミニ
ウムの蒸発を妨げ、黒鉛るつぼの寿命低下を招く原因と
なっている。
【０００５】本発明は、上記の問題を解決し、寿命の長
い黒鉛るつぼを提供するものである。
い黒鉛るつぼを提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、外周部を発熱
部とした黒鉛るつぼにおいて、発熱部が黒鉛るつぼの上
端部から下端部まで位置し、かつ黒鉛るつぼの底部の外
壁で、発熱部の下端部の内側に円形状の溝を形成してな
る黒鉛るつぼに関する。
部とした黒鉛るつぼにおいて、発熱部が黒鉛るつぼの上
端部から下端部まで位置し、かつ黒鉛るつぼの底部の外
壁で、発熱部の下端部の内側に円形状の溝を形成してな
る黒鉛るつぼに関する。
【０００７】本発明において黒鉛るつぼの底部に形成す
る溝の形状は、黒鉛るつぼの亀裂の発生防止及び強度の
点で隅の丸みが１〜５mmの範囲であることが好ましい。
なお隅の丸みとは、ＪＩＳ Ｂ０７０１に規定する切削
加工によって作る機械部品の隅の丸みの値を示したもの
である。
る溝の形状は、黒鉛るつぼの亀裂の発生防止及び強度の
点で隅の丸みが１〜５mmの範囲であることが好ましい。
なお隅の丸みとは、ＪＩＳ Ｂ０７０１に規定する切削
加工によって作る機械部品の隅の丸みの値を示したもの
である。
【０００８】本発明になる黒鉛るつぼの発熱部は、該黒
鉛るつぼの上端部から下端部まで位置し、円形状の溝は
黒鉛るつぼの底部の外壁で、発熱部下端部の内側に形成
することが必要とされ、この条件から外れると本発明の
目的を達成することができない。黒鉛るつぼの材質につ
いては公知のものが用いられ特に制限はないが、例えば
人造黒鉛を用いることが好ましい。
鉛るつぼの上端部から下端部まで位置し、円形状の溝は
黒鉛るつぼの底部の外壁で、発熱部下端部の内側に形成
することが必要とされ、この条件から外れると本発明の
目的を達成することができない。黒鉛るつぼの材質につ
いては公知のものが用いられ特に制限はないが、例えば
人造黒鉛を用いることが好ましい。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を説明する。 実施例１ 人造黒鉛材（日立化成工業製、商品名ＰＸ−１１ＰＹ）
を図１に示すように肉厚が１０mm、外径が１１０mm、内
径が９０mm、高さが１００mm、内側の底部までの深さが
９０mm及び底部の内側に隅の丸みｒ1が２０mmの寸法に
なるように機械加工した後、底部の外壁で、発熱部２下
端部の内側に隅の丸みｒ2が３mmの円形状の溝４を形成
した黒鉛るつぼ１を得た。なお図２に溝Ａ部の拡大図を
示す。図２においてｔ1の寸法は４mm及びｔ2の寸法は３
０mmとした。
を図１に示すように肉厚が１０mm、外径が１１０mm、内
径が９０mm、高さが１００mm、内側の底部までの深さが
９０mm及び底部の内側に隅の丸みｒ1が２０mmの寸法に
なるように機械加工した後、底部の外壁で、発熱部２下
端部の内側に隅の丸みｒ2が３mmの円形状の溝４を形成
した黒鉛るつぼ１を得た。なお図２に溝Ａ部の拡大図を
示す。図２においてｔ1の寸法は４mm及びｔ2の寸法は３
０mmとした。
【００１０】比較例１ 実施例１と同様の人造黒鉛材を用い、図３に示すように
肉厚が１０mm、外径が１１０mm、内径が９０mm、高さが
１００mm、内側の底部までの深さが９０mm及び底部の内
側に隅の丸みｒ3が２０mmの寸法に機械加工した黒鉛る
つぼ１を得た。
肉厚が１０mm、外径が１１０mm、内径が９０mm、高さが
１００mm、内側の底部までの深さが９０mm及び底部の内
側に隅の丸みｒ3が２０mmの寸法に機械加工した黒鉛る
つぼ１を得た。
【００１１】比較例２ 実施例１と同様の人造黒鉛材を用い、図４に示すように
肉厚が１０mm、外径が１１０mm、内径が９０mm、高さが
１００mm、内側の底部までの深さが９０mm、底部の内側
に隅の丸みｒ4が２０mm及び底部の外側に隅の丸みｒ5が
３０mmの寸法に機械加工した黒鉛るつぼ１を得た。
肉厚が１０mm、外径が１１０mm、内径が９０mm、高さが
１００mm、内側の底部までの深さが９０mm、底部の内側
に隅の丸みｒ4が２０mm及び底部の外側に隅の丸みｒ5が
３０mmの寸法に機械加工した黒鉛るつぼ１を得た。
【００１２】次に実施例１、比較例１及び比較例２で得
た黒鉛るつぼにアルミニウムのインゴットを入れ真空蒸
着装置に収納し、１０-3torrに減圧し、高周波誘導で１
４５０℃で２時間加熱してアルミニウムを蒸発させる実
験を繰り返し行い、合計で２４時間（１２回）実験を行
った後外観を観察した。その結果を表１に示す。なお実
験は各々１０個の黒鉛るつぼを用いて行った。
た黒鉛るつぼにアルミニウムのインゴットを入れ真空蒸
着装置に収納し、１０-3torrに減圧し、高周波誘導で１
４５０℃で２時間加熱してアルミニウムを蒸発させる実
験を繰り返し行い、合計で２４時間（１２回）実験を行
った後外観を観察した。その結果を表１に示す。なお実
験は各々１０個の黒鉛るつぼを用いて行った。
【００１３】
【表１】
【００１４】表１に示されるように実施例１の本発明に
なる黒鉛るつぼは、使用電力は１０kWと少なく、アルミ
ニウム蒸着量が多く、カーバイドの膜張りは認められ
ず、また割れもなく、比較例１及び比較例２の従来の黒
鉛るつぼに比較して優れることが示される。
なる黒鉛るつぼは、使用電力は１０kWと少なく、アルミ
ニウム蒸着量が多く、カーバイドの膜張りは認められ
ず、また割れもなく、比較例１及び比較例２の従来の黒
鉛るつぼに比較して優れることが示される。
【００１５】
【発明の効果】本発明になる黒鉛るつぼは、溶融して用
いるアルミニウムの表面にカーバイドの膜が発生しない
ためアルミニウムを多く蒸着することができ、しかも割
れが生じないため寿命が長いという効果を奏し、工業的
に極めて好適な黒鉛るつぼである。
いるアルミニウムの表面にカーバイドの膜が発生しない
ためアルミニウムを多く蒸着することができ、しかも割
れが生じないため寿命が長いという効果を奏し、工業的
に極めて好適な黒鉛るつぼである。
【図１】本発明の実施例になる黒鉛るつぼの断面図であ
る。
る。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】従来の黒鉛るつぼの断面図である。
【図４】従来の黒鉛るつぼの断面図である。
１ 黒鉛るつぼ ２ 発熱部 ３ 誘導コイル ４ 溝
Claims (2)
- 【請求項１】 外周部を発熱部としたアルミニウム蒸着
用黒鉛るつぼ（以下黒鉛るつぼとする）において、発熱
部が黒鉛るつぼの上端部から下端部まで位置し、かつ黒
鉛るつぼの底部の外壁で、発熱部下端部の内側に円形状
の溝を形成してなる黒鉛るつぼ。 - 【請求項２】 溝の隅の丸みが１〜５mmである請求項１
記載の黒鉛るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14420794A JPH0813137A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | アルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14420794A JPH0813137A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | アルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0813137A true JPH0813137A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15356724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14420794A Pending JPH0813137A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | アルミニウム蒸着用黒鉛るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0813137A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1683886A3 (en) * | 2005-01-21 | 2007-05-02 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Vacuum vapor deposition apparatus |
-
1994
- 1994-06-27 JP JP14420794A patent/JPH0813137A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1683886A3 (en) * | 2005-01-21 | 2007-05-02 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Vacuum vapor deposition apparatus |
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