JPH08132260A

JPH08132260A - レーザ加工方法およびこれを用いた液体噴射記録ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH08132260A
Application number: JP6290599A
Authority: JP
Inventors: Shin Ishimatsu; 伸石松; Kiyomitsu Kudo; 清光工藤; Kazuaki Masuda; 和明益田; Hiroshi Sugitani; 博志杉谷; Jun Kawai; 潤河合; Torachika Osada; 虎近長田; Yohei Sato; 陽平佐藤; Masahiko Hikuma; 昌彦日隈; Yoichi Tanetani; 陽一種谷; Tadaki Inamoto; 忠喜稲本
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-10-31
Filing date: 1994-10-31
Publication date: 1996-05-28

Abstract

(57)【要約】【目的】レーザ加工の副成物によるトラブルを回避す
る。【構成】液体噴射記録ヘッドの樹脂製天板等の基体１
０の表面１０ａに界面活性剤等を塗布し、液状保護膜１
２を設ける。基体１０の所定の部分にエキシマレーザ等
のレーザ光Ａ₁ を照射して溝１１を形成し、このときの
副成物Ｂ₁ を液状保護膜１２に捕捉させる。レーザ加工
後に液状保護膜１２を軽く拭き取るだけで副成物Ｂ₁ を
除去できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液体噴射記録ヘッド等
に溝加工や穴開け加工等を行なうためのレーザ加工方法
およびこれを用いた液体噴射記録ヘッドの製造方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】記録液（インク）を、微細な吐出口（オ
リフィス）から飛翔液滴として吐出して被記録媒体（記
録紙等）に記録（印刷）を行なう液体噴射記録ヘッド
は、複数の電気熱変換素子とそのリード電極を有する基
板（ヒーターボード）を有し、該基板上に液流路（ノズ
ル）や共通液室を形成する樹脂製のノズル層を積層した
うえで、記録液の供給管を備えたガラス製の天板を重ね
たものが一般的であるが、最近では、ガラス製の天板を
省略し、液流路および共通液室に加えて記録液の供給管
等を一体的に設けた樹脂製の天板部材（以下、「樹脂製
天板」という）を射出成形等によって製作し、これを、
弾性部材によって基板に押圧し一体化した液体噴射記録
ヘッドが開発されている。このような液体噴射記録ヘッ
ドは、組立部品点数が大幅に低減され、かつ組立工程も
極めて簡略化されるため、液体噴射記録装置の低コスト
に大きく貢献するものとして期待されている。

【０００３】図１５は樹脂製天板を用いた液体噴射記録
ヘッドＥ₀ の主要部を、樹脂製天板の一部分を破断した
状態で示すもので、これは、複数の電気熱変換素子１０
０１ａを有する基板１００１と、各電気熱変換素子１０
０１ａ上に位置する液流路１００２ａとこれに連通する
共通液室１００２ｂを備えた樹脂製天板１００２を有
し、樹脂製天板１００２には、各液流路１００２ａに連
通する吐出口（オリフィス）１００２ｃを有するオリフ
ィスプレート部１００２ｄと、共通液室１００２ｂに開
口する記録液供給口１００２ｅを有する筒状突出部１０
０２ｆが一体的に設けられている。

【０００４】このように液流路１００２ａや共通液室１
００２ｂに加えてオリフィスプレート部１００２ｄと筒
状突出部１００２ｆを有する樹脂製天板１００２を射出
成形等によって一体的に形成し、各液流路１００２ａが
基板１００１の電気熱変換素子１００１ａ上に位置する
ように位置決めしたうえで、図示しない弾性部材によっ
て樹脂製天板１００２を基板１００１に押圧し、これと
一体的に結合させる。基板１００１は、各電気熱変換素
子１００１ａに電気信号を発生する駆動回路を搭載した
配線基板１００３とともに、ベースプレート１００４上
にビス止め等公知の方法で固着される。

【０００５】樹脂製天板１００２は、液流路１００２ａ
を設ける前の本体部分とオリフィス１００２ｃを設ける
前のオリフィスプレート部１００２ｄからなるブランク
を射出成形等によって一体成形したうえで、図１３に示
すように、エキシマレーザ等のレーザ光Ａ₀ を用いて樹
脂製天板１００２の本体部分の各液流路１００２ａを溝
加工し、続いて、同様のレーザ光を用いてオリフィスプ
レート部１００２ｄに各オリフィス１００２ｃを穴開け
加工することによって製作される。

【０００６】このように、射出成形とレーザ加工を組み
合わせれば、樹脂製天板１００２を安価に製造すること
ができるため、液体噴射記録ヘッドの低コスト化を一層
促進できる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、射出成形されたブランクにレーザ光に
よる溝加工を施すときにカーボンを主成分とする副成物
Ｂ₀ が発生し、これが各液流路１００２ａの間のリブ等
の端面に堆積する。また、オリフィスプレート部１００
２ｄに穴開け加工を施すときにも、図１４に示すよう
に、各オリフィス１００２ｃの周囲にカーボン等の粉末
Ｄ₀ が堆積する。

【０００８】これらのレーザ加工の副成物は、一般に、
樹脂との結合力が強いため、樹脂製天板の端面やオリフ
ィスプレート部の表面を軽くこすった位では除去するこ
とができない。

【０００９】そこで、粘着テープを用いたり、ヘリウム
ガスを吹きつけたり、あるいは超音波洗浄を採用する等
の清浄化の方法が提案されているが、樹脂製天板の表面
は比較的軟質であるから、粘着テープを用いたり、ある
いは強くこすったり、超音波洗浄することで微細な液流
路やオリフィスの形状精度が損なわれるおそれがあり、
また、ヘリウムガスを吹きつける方法は、ヘリウムガス
が高価であるために液体噴射記録ヘッドの高コスト化を
招くばかりでなく、ヘリウムガスを均一に吹きつけるこ
とが困難で充分な効果を期待できない。

【００１０】また、樹脂製天板の表面に予め易溶性の樹
脂からなる保護膜を塗布しておき、レーザ加工による副
成物を保護膜に捕捉させ、レーザ加工終了後に保護膜を
除去する方法も開発されているが（特開平４−２７９３
５５号公報参照）、レーザ加工による熱のために樹脂製
天板の表面に保護膜が溶着し、これを除去するのが難し
くなる。

【００１１】レーザ加工の副成物や不要な保護膜が樹脂
製天板等の表面に残ったままで基板等に対する組み付け
が行なわれると、著しい組付誤差を発生して液体噴射記
録装置の性能を劣化させたり、オリフィスの周囲に堆積
したカーボン粉末等のために記録紙等を汚染する等のト
ラブルを発生する。

【００１２】本発明は、上記従来の技術の有する未解決
の課題に鑑みてなされたものであって、液体噴射記録ヘ
ッドの樹脂製天板等にレーザー光を用いて溝加工や穴開
け加工を行なうに際して、被加工物の表面に堆積するレ
ーザ加工の副成物によるトラブルを容易に回避できるレ
ーザ加工方法およびこれを用いた液体噴射記録ヘッドの
製造方法を提供することを目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のレーザ加工方法は、被加工物の表面に液状
またはムース状の塗膜を設けたうえで前記被加工物にレ
ーザ光を照射して加工を行なう工程と、加工を行なった
被加工物から液状またはムース状の塗膜を除去する工程
を有することを特徴とする。

【００１４】また、被加工物にレーザ光を照射して加工
を行なう工程と、加工を行なった被加工物に熱衝撃を与
えて加工の副成物を分離する工程を有することを特徴と
する。

【００１５】被加工物を常温または加熱された水に浸し
たうえで液体窒素に浸すことで熱衝撃を与えるとよい。

【００１６】また、被加工物の表面に金属またはセラミ
ックからなる硬質膜を設けたうえで前記被加工物にレー
ザ光を照射して加工を行なう工程と、加工を行なった被
加工物の硬質膜の表面を清浄化する工程を有することを
特徴とする。

【００１７】また、被加工物にレーザ光を照射して加工
を行なう工程と、加工を行なった被加工物の表面に金属
またはセラミックからなる硬質膜を設けて加工の副成物
を覆う工程を有することを特徴とする。

【００１８】

【作用】上記レーザ加工方法によれば、被加工物の表面
に設けられた液状またはムース状の塗膜によって加工の
副成分を捕捉させ、加工後に軽く拭き取ることができ
る。

【００１９】軽く拭くだけであるから加工後の被加工物
を傷つけるおそれがない。

【００２０】また、被加工物にレーザ光を照射して加工
を行なう工程と、加工を行なった被加工物に熱衝撃を与
えて加工の副成物を分離する工程を有するレーザ加工方
法によれば、加工後の被加工物の表面に機械的刺激を一
切与えることなく加工の副成物を分離し、除去できる。

【００２１】従って、加工後の被加工物の形状精度を劣
化させるおそれが皆無であり、特に微細なレーザ加工に
好適である。

【００２２】また、被加工物の表面に金属またはセラミ
ックからなる硬質膜を設けたうえで前記被加工物にレー
ザ光を照射して加工を行なう工程と、加工を行なった被
加工物の硬質膜の表面を清浄化する工程を有するレーザ
加工方法によれば、加工の副成物が硬質膜の表面に堆積
するため、これを拭きとるのが極めて簡単である。加え
て、硬質膜によって被加工物の強度が向上するという利
点もある。

【００２３】また、被加工物にレーザ光を照射して加工
を行なう工程と、加工を行なった被加工物の表面に金属
またはセラミックからなる硬質膜を設けて加工の副成物
を覆う工程を有するレーザ加工方法によれば、加工の副
成物が硬質膜によって覆われるため、前記副成物が被加
工物に隣接する物体を汚染する等のトラブルを回避でき
る。加えて、硬質膜によって被加工物の強度が向上する
という利点もある。

【００２４】

【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

【００２５】図１は第１実施例によるレーザ加工方法を
説明するもので、被加工物であるポリサルフォン樹脂製
の基体１０にＫｒＦエキシマレーザのレーザ光Ａ₁ （λ
＝２４８ｎｍ）を用いて溝１１を加工するに際して、ま
ず（ａ）に示すように、基体１０の表面１０ａに界面活
性剤（サフィノールＳ−１４１）を塗布し、液状の塗膜
である液状保護膜１２を設けておく。レーザ光Ａ₁ が照
射されると、液状保護膜１２を透過したレーザエネルギ
ーによって基板１０の表面が局部的に溶融し、（ｂ）に
示すように、溝１１が形成される。このとき発生する副
成物はＢ₁ は、（ｃ）に示すように、基体１０の表面１
０ａを覆う液状保護膜１２によって捕捉され、基体１０
の表面１０ａに直接強固に被着することなく、（ｄ）に
示すように液状保護膜１２の表面に浮上した状態とな
る。レーザ光Ａ₁ による溝加工を終了後、基体１０の表
面１０ａを軽く拭くだけで副成物Ｂ₁ を液状保護膜１２
ごと除去することができる。

【００２６】本実施例によるレーザ加工方法を用いて図
２に示す液体噴射記録ヘッドの樹脂製天板２にオリフィ
ス２ａを形成する穴開け加工や液流路２ｂを形成する溝
加工を行なったところ、清浄化が不充分で副成物Ｂ₁ が
残ったままである部分は全体の汚染面積の略１０％にと
どまり、製品としての液体噴射記録ヘッドの不良品発生
率は０％であった。

【００２７】図３は第１実施例の一変形例を示す。これ
は、界面活性剤等の液状保護膜１２の替わりに、（ａ）
に示すように、トリエタノールアミン、ベンジンアルコ
ール、ポリオキシエチレンラノリンを主成分とする発泡
剤を用いたムース状の塗膜である発泡塗膜２２を設けた
ものであり、（ｂ）に示すように、レーザ光Ａ₁ の照射
によって発生した副成物Ｂ₂ は発泡塗膜２２の泡の中に
取り込まれ、（ｃ）に示すように発泡塗膜２２上へ浮上
する。

【００２８】発泡塗膜２２は基体１０の表面１０ａに密
着しないため、液状保護膜１２より拭きとりが容易であ
るという利点を有する。

【００２９】本変形例によるレーザ加工方法を用いて前
述と同様に液体噴射記録ヘッドの樹脂製天板に液流路を
形成する溝加工を行なったところ、副成物Ｂ₁ が残った
ままである部分は全体の汚染面積の略５％であり、製品
としての液体噴射記録ヘッドの不良品発生率は０％であ
った。

【００３０】また、前記発泡剤の替わりに、塩化ステア
リルメチルアモンニウム、塩化ジステアリルジメチルア
ンモニウム、セタノール、エデト酸塩、安息香酸塩、パ
ラベンを主成分とする発泡剤を用いてもよい。この方法
によって前述と同様に液体噴射記録ヘッドの樹脂製天板
に液流路を形成する溝加工を行なったところ、清浄化が
不充分なままである部分は全体の汚染面積の略５％であ
り、製品としての液体噴射記録ヘッドの不良品発生率は
０％であった。なお、液体噴射記録ヘッドは、図２の
（ｂ）に示すように表面１ａに複数の電気熱変換素子１
ｂを有する基板１に（ａ）に裏返した状態で示す樹脂製
天板２をかぶせて、図示しない弾性部材を用いて基板１
と樹脂製天板２を一体化することによって組み立てられ
る。液体噴射記録ヘッドの不良品発生率については、上
記のように組み立てた液体噴射記録ヘッドを１００個サ
ンプルとして取り出して印字し、所定の印字の品位に達
していないものを不良品とするテスト方法を採用した。

【００３１】本実施例によれば、液体噴射記録ヘッドの
樹脂製天板等にレーザ加工を施すに際して、レーザ加工
による副成物が堆積する表面に予め液状保護膜や発泡塗
膜を設けておくだけでレーザ加工後の副成物の除去を極
めて簡単に行なうことができる。

【００３２】従って、従来例のように副成物を除去する
工程で製品に傷がついて製品の歩留まりが低下したり、
高価なヘリウムガス等を必要とすることなく、液体噴射
記録ヘッド等の製造コストの低減に大きく貢献できる。

【００３３】図４は第２実施例による副成物除去方法を
説明するもので、これは、レーザ光による液流路の溝加
工とオリフィスの穴開け加工を施した樹脂製天板３２
を、オートハンドル３０に保持させて水槽３３内の常温
もしくは加熱した純水３３ａに浸したうえで、液体窒素
３４ａを入れた超低温槽３４に沈めて急激に冷却して熱
衝撃を与える熱衝撃工程を所定のサイクル数だけ繰り返
すことで、レーザ加工の副成物を分離し、最後に水洗槽
３５内の純水３５ａに浸して洗浄し、Ｎ₂ ブロー３６に
よって乾燥させるものである。

【００３４】レーザ加工によって樹脂製天板３２の端面
やオリフィスプレート部に堆積した例えば厚さ３μｍの
カーボン粉末は、熱衝撃によって分離され、水槽３３内
の純水３３ａ中や超低温槽３４の液体窒素３４ａ中に拡
散するものと推測される。

【００３５】本実施例によれば、樹脂製天板３２に機械
的刺激を一切与えることなくレーザ加工の副成物をほぼ
１００％除去することができる。従って、液体噴射記録
ヘッドの液流路やノズルの形状精度を損なうおそれが皆
無であり、極めて微細化された高性能な液体噴射記録ヘ
ッドを製造できる。

【００３６】なお、水槽３３内の純水３３ａに例えば１
％程度の界面活性剤を添加すると、純水１００％の場合
より少ないサイクル数でレーザ加工の副成物をほぼ１０
０％除去できることが判明している。この場合に使用す
る界面活性剤としては、サフィノールＳ−１４１、サフ
ィノール４６５、サフィノール１０４Ｅ等が望ましい。

【００３７】また、オートハンドル３０によって樹脂製
天板を１個ずつ処理する替わりに、図５に示すように、
複数の樹脂製天板４２を金網籠４０に入れて一括処理し
てもよい。すなわち、樹脂製天板４２を入れた金網籠４
０を水槽３３および超低温槽３４に繰り返し浸したうえ
で水洗槽３５に運び、最後にＮ₂ ブロー３６の替わりに
クリーンオーブン４６に搬入する。次に本実施例の具体
例について説明する。（第１具体例）ポリサルフォンを射出成形して得られた
樹脂製天板のブランクにＫｒＦエキシマレーザのレーザ
光（λ＝２４８ｎｍ）を用いて液流路とオリフィスをレ
ーザ加工し、９６℃の純水に１０秒間浸したのち、−１
９６℃の液体窒素に１０秒間浸す熱衝撃工程を３０サイ
クル繰り返し、Ｎ₂ ブローによって２０秒間乾燥させ
た。樹脂製天板の表面を調べたところ、レーザ加工によ
る副成物は１００％除去されていた。この場合は、１０
０％の純水を用いたため、水洗槽による水洗は不要であ
る。（第２具体例）９６℃の純水に１％の界面活性剤（サフ
ィノールＳ−１４１）を添加した以外は第１具体例と同
様の熱衝撃工程を１０サイクル繰り返したうえで、水洗
槽に２０秒間浸し、Ｎ₂ ブローによって２０秒間乾燥さ
せた。樹脂製天板の表面を調べたところ、レーザ加工に
よる副成物は１００％除去されていた。（第３具体例）第１具体例と同様にレーザ加工された樹
脂製天板を２０個金網籠に入れ、１％の界面活性剤（サ
フィノールＳ−１４１）を添加した９６℃の純水と−１
９６℃の液体窒素に交互に浸す熱衝撃工程を１０サイク
ル繰り返したうえで、水洗槽に２０秒間浸し、８０℃の
クリーンオーブン内で１２０秒間乾燥させた。２０個の
樹脂製天板の表面を調べたところ、レーザ加工の副成物
はすべての樹脂製天板において１００％除去されてい
た。

【００３８】第１具体例の樹脂製天板をサンプルＡ、熱
衝撃工程のサイクル数と純水の温度を変えて同様に処理
したものをサンプルＢ，Ｃ、第２具体例の樹脂製天板を
サンプルＤ、純水の温度やこれに添加する界面活性剤の
種類を変えて同様に処理したものをサンプルＥ〜Ｉ、純
水の替わりに２４℃のイソプロピルアルコール（ＩＰ
Ａ）を用いて処理したものをサンプルＪ、純水の替わり
に１％のサフィノールＳ−１４１を添加したアルカリイ
オン水を用いて温度を変えて処理したものをサンプル
Ｋ，Ｌ、水槽に入れることなく液体窒素に浸す工程だけ
を１０回繰り返したものをサンプルＭとして、処理後の
各サンプルの表面を調べた結果を表１に示す。

【００３９】

【表１】図６は第３実施例によるレーザ加工方法を説明するもの
で、（ａ）に示すようなポリサルフォン、ポリプロピレ
ン、ポリスチレン等の樹脂製の基体５０にＫｒＦエキシ
マレーザ等のレーザ光を用いて穴開け加工を施すに際し
て、まず、（ｂ）に示すように基体５０の表面５０ａお
よびその反対側に形成された溝５１の内面にメッキある
いは蒸着等によって硬質膜である金属またはセラミック
であるガラスの被覆膜５２を被着させ、（ｃ）に示すよ
うに、溝５１の側からレーザ光Ａ₃ を照射してオリフィ
ス等の貫通孔５３を形成する。このとき、レーザ加工に
よって発生するカーボン粉末等の副成物Ｂ₃ が被覆膜５
２の表面に堆積する。続いて、基体５０を純水に浸し、
シリコンゴムのブレードで副成物Ｂ₃ を拭きとる。

【００４０】副成物Ｂ₃ が堆積する表面は硬質の金属ま
たはガラスの被覆膜５２で覆われているため、レーザ加
工中にその熱で副成物が溶着するおそれはない。従っ
て、前述のようなワイピングによって簡単に除去するこ
とができる。

【００４１】なお、被覆膜５２の成膜は、例えば以下の
ように行なわれる。基体５０を７０℃のクロム硫酸溶液
に１０分間浸してエッチング処理を行ない、中和後、触
媒や反応促進剤等によって処理し、４０℃の無電解ニッ
ケル槽に１５分間浸して０．５μｍのニッケルメッキを
施す。

【００４２】ガラス製の被覆膜の場合には、公知の蒸着
等による成膜装置を用いて、例えばＳｉＯ₂ 膜等を被着
させればよい。

【００４３】本実施例において、基体５０が液体噴射記
録ヘッドの樹脂製天板であれば、そのオリフィスプレー
ト部にオリフィスを形成する穴開け加工による副成物が
オリフィスプレート部に残ってインクと反応し印字品位
が低下するおそれがないばかりでなく、オリフィスプレ
ート部の強度が金属やガラスの被覆膜によって大幅に強
化されるため、印字性能の安定した液体噴射記録ヘッド
を得ることができる。図７は第３実施例の一変形例によ
るレーザ加工方法を示す。これは、（ａ）に示す基体６
０に、まず、（ｂ）に示すようにレーザ光Ａ₄ によって
貫通孔６３を形成したうえで、（ｃ）に示すように、基
体６０の表面６０ａと溝６１の内面に金属またはガラス
の被覆膜６２を被着させるもので、レーザ加工の副成物
Ｂ₄ を被覆膜６２によって覆うことで、副成物Ｂ₄ によ
る印字品位低下等のトラブルを回避し、かつ、基体６０
の強度を向上させることができる。

【００４４】次に、本発明による液体噴射記録ヘッド
（以下、「インクジェットヘッドユニット」という。）
を装着するインクジェットヘッドカートリッジ（以下、
「カートリッジ」という。）ＩＪＣを図８ないし図１１
に基づいて説明する。

【００４５】このカートリッジＩＪＣは、液体噴射記録
装置であるインクジェット記録装置本体（ＩＪＲＡ）に
装備されるキャリッジ（ＨＣ）（図１２参照）の後述す
る位置決め手段および電気的接点によって固定支持され
るもので、キャリッジＨＣに対して着脱可能なディポー
ザブルタイプである。

【００４６】カートリッジＩＪＣは、電気信号に応じて
膜沸騰をインクに対して生じさせるための熱エネルギー
を生成する電気熱変換素子である電気熱変換体を用いて
記録を行なうバブルジェット方式ユニットである。

【００４７】図８において、１００は基板であるヒータ
ボードであり、ヒータボード１００にはＳｉ基板上に複
数の列状に配された電気熱変換体（吐出ヒーター）と、
これに電力を供給するＡ１等の電気配線とが成膜技術に
より形成されている。２００はヒータボード１００に対
する配線基板であり、ヒータボード１００の配線に対応
する配線（例えばワイヤボンディングにより接続され
る）と、この配線の端部に位置し本体内からの電気信号
を受けるパッド２０１とを有している。

【００４８】１３００は吐出口形成部材４００を有する
樹脂製天板（以下、「天板」という。）であり、天板１
３００には不図示の複数の液流路であるインク流路をそ
れぞれ区分するための隔壁や各インク流路へインクを与
えるためにインクを収納するための共通液室等が設けら
れていて、インクタンクＩＴから供給されるインクを受
けて上述の共通液室へ導入するインク受け口（供給口）
１５００と、各インク流路に対応した吐出口を複数有す
る吐出口形成部材４００とが天板１３００と一体成型さ
れている。なおこれらの一体成型材料としてはポリサル
フォンが好ましいが、他の成型用樹脂材料でもよい。

【００４９】３００は配線基板２００の裏面を平面で支
持する例えば金属製の支持体であり、インクジェットヘ
ッドユニット（ＩＪＵ）の底板となる。５００は弾性部
材である押えばねであり、ほぼＭ字形状をなし、そのＭ
字の中央部で天板１３００の不図示の共通液室近傍を軽
圧で押圧すると共にその前だれ部５０１で液路の一部、
好ましくは吐出口オリフィス近傍の領域を線圧で集中押
圧する。かくして、押えばね脚部が支持体３００の穴３
１２１を通って支持体３００の裏面側に係合することで
ヒータボード１００および天板１３００を支持体３００
との間に挟み込んだ状態で両者を係合させることがで
き、押えばね５００とその前だれ部５０１の集中付勢力
によってヒータボード１００と天板１３００とを圧着固
定する。

【００５０】また、支持体３００は、インクタンクＩＴ
の２つの位置決め凸起１０１２および位置決めと熱融着
保持兼用凸起１８００，１８０１（図１０参照）に係合
する位置決め用穴３１２，１９００，２０００を有する
他、装置本体ＩＪＲＡのキャリッジＨＣに対する位置決
め用の突起２５００，２６００を裏面側に有している。
加えて支持体３００はインクタンクＩＴからのインク供
給を機能とするインク供給管２２００（後述）を貫通可
能にする穴３２０も有している。なお、このような支持
体３００に対し、配線基板２００を取付けるにあたって
は、接着剤等で貼着して行なわれる。

【００５１】また、支持体３００の凹部２４００，２４
０１は、それぞれ位置決め用の突起２５００，２６００
の近傍に設けられており、組み立てられたカートリッジ
ＩＪＣ（図９）において、その支持体３００の周囲の３
辺に形成される平行溝３０００，３００１の複数によっ
て画成されるインクジェットヘッドユニットＩＪＵの先
端延長域にあって、ゴミやインク等の不要物が突起２５
００，２６００に至ることがないようになっている。

【００５２】蓋部材８００は、図８および図９からもわ
かるように、カートリッジＩＪＣの外壁を形成すると共
に、インクタンクＩＴとの間にインクジェットヘッドユ
ニットＩＪＵを収納する空間部を形成している。また、
上記の平行溝３００１が形成されているインク供給部材
６００側には、前述したインク供給管２２００に連続す
るインク導管１６００の供給管２２００側が固定の片持
ち梁として形成されており、インク導管１６００の固定
側とインク供給管２２００との間に毛管現象を確保する
ための封止ピン６０２が挿入されている。なお、６０１
はインクタンクＩＴと供給管２２００との間を結合シー
ルするパッキン、７００は供給管２２００のタンク側端
部に設けられたフィルタである。

【００５３】このインク供給部材６００は、モールド成
型されるもので、廉価でしかも位置精度が高く、形成上
の精度低下を無くしているだけでなく、導管１６００を
片持ち梁構造としたことによって大量生産においても導
管１６００の上述インク受け口１５００に対する安定し
た圧接状態が得られる。本例では、このような圧接状態
下で封止用接着剤をインク供給部材６００の側から流し
込むだけで、より完全な連通状態を確実に得ることがで
きている。なお、インク供給部材６００の支持体３００
に対する固定は、支持体３００の穴１９０１，１９０２
に対してインク供給部材６００の裏面側ピン（不図示）
を貫通突出させた上、その支持体３００の裏面側に突出
した部分を熱融着することで容易に行なわれる。なお、
この熱融着された裏面部のわずかな突出領域は、インク
タンクＩＴのインクジェットヘッドユニットＩＪＵ取付
面側壁面のくぼみ（不図示）内に収められるのでインク
ジェットヘッドユニットＩＪＵの位置決め面を正確に確
保することができる。

【００５４】インクタンクＩＴは、図８および図９に示
すようにカートリッジ本体１０００と、後に詳述するイ
ンク吸収体９００とインク吸収体９００をカートリッジ
本体１０００の上記インクジェットヘッドユニットＩＪ
Ｕ取付面とは反対側の側面から挿入した後、これを封止
する蓋部材１１００とで構成されている。

【００５５】９００はインクを含浸させるための吸収体
であり、カートリッジ本体１０００内に配置される。

【００５６】インク供給口１２００は上記各部１００〜
６００からなるインクジェットヘッドユニットＩＪＵに
対してインクを供給するための供給口であると共に、当
該インクジェットヘッドユニットＩＪＵをカートリッジ
本体１０００の内部に配置する前の工程でインクを注入
することにより吸収体９００のインク含浸を行なうため
の注入口でもある。

【００５７】本例のインクタンクＩＴでは、インクの供
給が可能な部分は、大気連通口１４０１とこのインク供
給口１２００とになるが、インク吸収体９００からのイ
ンク供給性を良好に行なうためにカートリッジ本体１０
００内にはリブ２３００が、また蓋部材１１００には部
分リブ２３０１，２３０２が設けられていて、これらに
より形成されたタンク内空気存在領域があり、かかる空
気存在領域が大気連通口１４０１側からインク供給口１
２００に最も遠い角部領域にわたって連続的に形成され
ているので、インク吸収体９００へのインクの良好かつ
均一な供給を、この供給口１２００側から行なうことが
できる。

【００５８】このことは実用上極めて有効であって、イ
ンクタンクＩＴはカートリッジ本体１０００の後面にお
いて、キャリッジ移動方向に平行なリブ２３００を４本
有し、インク吸収体９００が後面に密着することを防止
している。また、部分リブ２３０１，２３０２は、リブ
２３００に対して対応するその延長上の蓋部材１１００
の内面に設けられているが、リブ２３００とは異なり、
分割された状態となっていて、空気の存在空間を前者よ
り増加させている。なお、部分リブ２３０１，２３０２
は蓋部材１１００の全面積の半分以下の面に分散されて
おり、かくしてこれらのリブによりインク吸収体９００
のインク供給口１２００から最も遠い角部の領域のイン
クをより安定させつつ、しかも確実に、インク供給口１
２００側の毛細力で導くことができる。１４００は大気
連通口１４０１の内方に配置されている撥液材であり、
これにより大気連通口１４０１からのインク漏洩が防止
される。

【００５９】前述したインクタンクＩＴのインク収容空
間は長方体形状であり、その長辺がカートリッジ本体１
０００の側面となるので上述したリブの配置構成は特に
有効であるが、キャリッジの移動方向に長辺を持つ場合
または立方体の場合は、蓋部材１１００の全体にリブを
設けるようにすることでインク吸収体９００からのイン
ク供給を安定化できる。限られた空間内にインクをでき
るだけ収納するためには直方体形状が適しているが、こ
の収納されたインクを無駄なく記録に使用するために
は、上述したように、角部の領域に近接する２面領域に
上記作用を行なえるリブを受けることが重要である。

【００６０】さらに本実施例におけるインクタンクＩＴ
の内面リブは、直方体形状のインク吸収体９００の厚み
方向に対してほぼ均一な分布で配設されるので、このこ
とは、インク吸収体９００全体のインク消費に対して大
気圧分布を均一化しつつインク残量をほとんど無くする
ことができるために重要な構成となる。さらに、このリ
ブの配置上の技術思想を詳述すると、直方体の４角形上
面においてインク供給口１２００の投影位置を中心とし
て、長辺を半径とする円弧を描いたときに、その円弧よ
りも外側に位置するインク吸収体９００に対して、大気
圧状態が早期に与えられるようにその円弧よりも外側の
面に上記リブを配設することが重要となる。この場合、
インクタンクＩＴの大気連通口は、このリブ配設領域に
大気を導入できる位置であれば、本例の位置に限られる
ものではないことは勿論である。

【００６１】加えて、本実施例では、カートリッジＩＪ
ＣのヘッドＩＪＨに対する後面を平面化して、装置に組
み込まれたときの必要スペースを最小化ならしめるとと
もに、インクの収容量を最大化している構成としている
ために、装置の小型化を達成できるだけではなく、カー
トリッジＩＪＣの交換頻度を減少できるという優れた利
点が得られる。そして、インクジェットヘッドユニット
ＩＪＵを一体化するための空間の後方部を利用して、そ
こに、大気連通口１４０１用の突出部分を形成し、この
突出部分の内部を空洞化して、ここに前述した吸収体９
００の厚み全体に対する大気圧供給空間１４０２を形成
している。このように構成することで、従来には見られ
ない優れたカートリッジを提供することができた。

【００６２】なお、この大気圧供給空間１４０２は、従
来よりもはるかに大きい空間であり、上記大気連通口１
４０１が上方に位置しているので、何らかの異常で、イ
ンクが吸収体９００から遊離しても、この大気圧供給空
間１４０２により、そのインクが一時的に保持されて、
再びインクを確実に吸収体９００に回収させることがで
きる。

【００６３】図１０はインクタンクＩＴを上記インクジ
ェットヘッドユニットＩＪＵが取付けられる面の側から
見て示すもので、Ｌ₁ はインク吐出口形成部材４００の
突出口列のほぼ中央を通り、インクタンクＩＴの底面も
しくはキャリッジ表面の載置基準面に平行な直線であ
り、図８に示す支持体３００の孔３１２，３１２に係合
する２つの位置決め凸起１０１２，１０１２がそれぞれ
この直線Ｌ₁ 上にある。この凸起１０１２の高さは支持
体３００の厚みよりわずかに低く、支持体３００の位置
決めを行なう。また、図１０で直線Ｌ₁ の延長上には図
１１に示すキャリッジＨＣの位置決め用フック４００１
の９０゜角の係合面４００２が係合する爪２１００が配
設されていて、キャリッジＨＣに対する位置決めの作用
力がこの直線Ｌ₁ を含む上記基準面に平行な面領域で作
用するように構成されている。図１１で後述するが、こ
のような関係により、インクタンク自体の位置決め精度
をヘッドＩＪＨの吐出口位置決め精度と同等まで高める
という効果が得られる。

【００６４】また、支持体３００のインクタンク側面へ
の固定用孔１９００，２０００のそれぞれに対応するイ
ンクタンクの突起１８００，１８０１は前述の凸起１０
１２よりも長く、支持体３００を貫通して突出した部分
を熱溶着して支持体３００をその側面に固定するための
ものである。そこで上述の直線Ｌ₁ に垂直でこの突起１
８００を通る直線をＬ₃ 、突起１８０１を通る直線をＬ
₂ としたとき、直線Ｌ₃ 上には上記インク供給口１２０
０のほぼ中心が位置することになり、インク供給口１２
００と供給管２２００との結合状態を安定化する作用を
し、落下や衝撃によってもこれらの結合状態への負荷を
軽減することができる。また、直線Ｌ₂とＬ₃ とは一致
しておらず、ヘッドＩＪＨの吐出口側の凸起１０１２周
辺に突起１８００，１８０１が存在しているので、さら
にヘッドＩＪＨのタンクに対する位置決めの補強高かが
得られる。なお、Ｌ₄ で示される曲線は、インク供給部
材６００の装着時の外壁位置である。突起１８００，１
８０１はその曲線Ｌ₄ に沿っているので、ヘッドＩＪＨ
の先端側構成の重量に対しても充分な強度と位置精度を
与えている。２７００はインクタンクＩＴの先端ツバ
で、図１１に示すようにキャリッジＨＣの前板４０００
の溝孔に挿入されて、インクタンクＩＴの変位が極端に
悪くなるような異変時に対して備えている。また、図１
０および図１１に示す２１０１は、キャリッジＨＣに対
する抜け止めで、キャリッジＨＣの不図示のバーに対し
て設けられ、カートリッジＩＪＣが後述のように旋回装
着された位置でこのバーの下方に侵入して、不要に位置
決め位置から離脱させる上方方向への力が作用しても装
着状態を維持するための保護用部材である。

【００６５】インクタンクＩＴ、インクジェットユニッ
トＩＪＵが装着された後に蓋８００により覆蓋されるこ
とで、インクジェットユニットＩＪＵを下方開口を除
き、取囲む形となるが、カートリッジＩＪＣとしては、
キャリッジＨＣに搭載するための下方開口部がキャリッ
ジＨＣに近接するため、実質的にはここに４方包囲空間
が形成されることになる。従って、この包囲空間内にあ
るヘッドＩＪＨからの発熱がこの空間内に溜り、保温効
果として有効となるものの長期連続使用の場合は、わず
かながら昇温する結果を生じる。このために本実施例で
は、支持体３００の自然放熱を助けるためにカートリッ
ジＩＪＣの上方面に、この空間より小さい幅のスリット
１７００を設けて、消音を防止しつつインクジェットユ
ニットＩＪＵ全体の温度分布の均一化を図り、環境に左
右されないようにした。

【００６６】さて、カートリッジＩＪＣとして組み立て
られると、インクはカートリッジ内部で供給口１２０
０、支持体３００に設けた孔３２０およびインクタンク
ＩＴの中裏面側に設けた不図示の導入口を介してタンク
内に供給され、その内部を通った後、導出口から適宜の
供給管および天板１３００のインク導入口１５００を介
して共通液室内へと流入する。以上におけるインク連通
用の接続部には、例えばシリコンゴムやブチルゴム等の
パッキンが配設され、これによって封止が行なわれてイ
ンク供給路が確保される。

【００６７】なお、本実施例においてはヘッドＩＪＨの
天板１３００には耐インク性に優れたポリサルフォン、
ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、
ポリプロピレンなどの樹脂が用いられ、また、インク吐
出口形成部材４００と共に金型内で一体に同時成型され
る。

【００６８】上述のように、インク供給部材６００、天
板３００とインク吐出口形成部材４００とを一体化した
部材およびカートリッジ本体１０００をそれぞれ一体成
型部品としたので組立て精度が高水準になるばかりでな
く、大量生産の品質向上に極めて有効である。また、部
品点数の個数は従来に比較して減少できているので、優
れた所望特性を確実に発揮できる。

【００６９】また、本実施例では、上記組立後の形状に
おいて、図８ないし図１０で示されるように、インク供
給部材６００は、その上面部６０３がインクタンクＩＴ
のスリット１７００を備えた屋根部の端部４００８との
間に図８に示したようにスリットＳを形成し、また、イ
ンク供給部材６００の下面部６０４と底部蓋８００が接
着される薄板のヘッド側端部４０１１との間には上記ス
リットＳと同様のスリット（不図示）が形成される。こ
のようにしてインクタンクＩＴとインク供給部材６００
との間に形成したスリットにより、上記スリット１７０
０の放熱を一層促進させる作用を実質的に行なうととも
に、インクタンクＩＴへ加わる不要な圧力があってもこ
れを直接供給部材、強いてはインクジェットユニットＩ
ＪＵへ及ぼすことを防止する効果が得られる。

【００７０】上記構成は、従来にはない構成であって、
それぞれが単独で有効な効果をもたらすと共に、複合的
にも各構成要件によって相乗的な各種の構成効果をもた
らすことができる。

【００７１】図１１において、５０００はプラテンロー
ラで、記録媒体Ｐを紙面下方から上方へ案内する。キャ
リッジＨＣは、プラテンローラ５０００に沿って移動す
るもので、キャリッジＨＣにはその前方プラテン側に、
カートリッジＩＪＣのカートリッジ本体１０００の前面
側に位置する前板４０００（厚さが例えば２ｍｍ）と、
カートリッジＩＪＣの配線基板２００のパッド２０１に
対応するパッド２０１１を具備したフレキシブルシート
４００５およびこれを裏面側から各パッド２０１１に対
して押圧する弾発力を発生するためのポッチ付きゴムシ
ート４００７を保護する電気接続部用支持板４００３
と、カートリッジＩＪＣを記録位置に固定するための位
置決め用フック４００１とが設けられている。

【００７２】前板４０００は位置決め用突出面４０１０
をカートリッジＩＪＣの支持体３００の前述した位置決
め突起２５００，２６００にそれぞれ対応して２個有
し、カートリッジＩＪＣの装着後はこの位置決め用突出
面４０１０に垂直な力が負荷される。このため、不図示
の複数の補強用リブが力の方向に沿って前板４０００の
プラテンローラ側に、設けられている。なお、このリブ
は、カートリッジＩＪＣ装着時の前面位置Ｌ５よりもわ
ずかに（約０．１ｍｍ程度）プラテンローラ側に突出し
ているヘッド保護用突出部をも形成している。

【００７３】電気接続部用支持板４００３は、補強用リ
ブ４００４を紙面とは垂直の方向に複数有し、プラテン
５０００側からフック４００１側に向かって個々の側方
への突出割合を漸減させることにより、カートリッジ装
着時の位置を図のように傾斜させるための機能を持たせ
ている。また、支持板４００３は電気的接触状態を安定
化するため、上記２つの位置決め用突出面４０１０がカ
ートリッジＩＪＣに及ぼす作用方向と逆方向に、カート
リッジＩＪＣへの作用力を及ぼすためのフック側の位置
決め面４００６を位置決め用突出面４０１０に対応して
２個有し、これらの間にパッドコンタクト域を形成する
と共にパッド２０１１対応のポッチ付ゴムシート４００
７のポッチの変形量を一義的に規定する。これらの位置
決め面４００６は、カートリッジＩＪＣが記録可能な位
置に固定されると、配線基板３００の表面に当接した状
態に保たれる。

【００７４】なお、本実施例では、さらに配線基板３０
０のパッド２０１を前述した直線Ｌ₁ に関して対称とな
るように分布させているので、ポッチ付きゴムシート４
００７の各ポッチの変形量を均一化してパッド２００１
と２０１との当接圧をより安定化させることができる。
本実施例のパッド２０１の分布は、上方、下方、縦２列
である。

【００７５】フック４００１は、固定軸４００９に係合
する長孔を有し、この長孔の移動空間を利用して図の位
置から反時計方向に回動した後、プラテンローラ５００
０に沿って左方側へ移動することでキャリッジＨＣに対
するカートリッジＩＪＣの位置決めを行なう。このフッ
ク４００１の移動はどのようなものでもよいが、レバー
等で行なえる構成が好ましい。いずれにしてもこのフッ
ク４００１の回動時にカートリッジＩＪＣはプラテンロ
ーラ５０００側に移動しつつ位置決め突起２５００，２
６００が前板の位置決め用突出面４０１０に当接可能な
位置へ移動し、フック４００１の左方側移動によって９
０゜のフック面４００２がカートリッジ本体１００の爪
２１００の９０゜面に密着しつつカートリッジＩＪＣを
位置決め突出面２５００と位置決め用突出面４０１０同
志の接触域を中心に水平面内で旋回させて最終的にパッ
ド２０１，２０１１同志の接触が始まる。

【００７６】かくしてフック４００１が所定位置、すな
わち固定位置に保持されると、パッド２０１，２０１１
同志の完全接触状態と、位置決め突起２５００と位置決
め用突出面４０１０同志の完全面接触と、９０゜面４０
０２およびその爪の３９°面の２面接触と、配線基板３
００と位置決め面４００６との面接触が同時に形成さ
れ、キャリッジＨＣに対するカートリッジＩＪＣの保持
が完了する。

【００７７】図１２は液体噴射記録装置であるインクジ
ェット記録装置の全体を示す。ここで、５００３はキャ
リッジＨＣを矢印ａおよびｂ方向に案内する案内軸、５
００４はリードスクリュ５００５に形成されている螺旋
溝であり、キャリッジＨＣはリードスクリュー５００５
の正逆回転に従って案内軸５００３に沿い矢印ａまたは
ｂ方向に移動する。そして、移動しながらキャリッジＨ
Ｃに搭載されたカートリッジＩＪＣのインクジェットヘ
ッドＩＪＨにより記録シートＰに向けて記録が行なわれ
る。

【００７８】５０１３はキャリッジ駆動モータ、５００
９，５０１１はキャリッジ駆動モータ５０１３の駆動力
をリードスクリュー５００５に伝達するためのギヤ、５
００２は記録シートＰをプラテンローラ５０００に向け
て押付けているシート押え板である。また、本実施例で
は開口部５０２３を有し、インクジェットヘッドＩＪＨ
の吐出面形成部材４００を覆蓋するキャップ部材５０２
２、これに連結され、回復動作時にキャップ部材５０２
２を介してインクジェットヘッドＩＪＨからインクを吸
収する吸引手段５０１５、さらに回復動作の前後等に使
用されるクリーニングブレード５０１７、キャップ部材
５０２２を支持する支持部材５０１６を備えていて、ク
リーニングブレード５０１７は部材５０１９を介して矢
印方向に移動させられ、ヘッドの吐出面を掃拭する。

【００７９】５０２１はギヤ５０１０、カム５０２０を
介して吸引手段５０１５を駆動するためのレバーであ
り、吸引動作時にはキャリッジ駆動モータ５０１３によ
り不図示のクラッチ切換手段および上述の伝達手段を介
してその駆動力が伝達される。また、５００７および５
００８はキャリッジＨＣのホームポジションを検知する
ためのフォトカプラであり、キャリッジＨＣに設けられ
た吐出レバー５００６の光路遮断により、ホームポジシ
ョンが検知され、キャリッジ駆動モータ５０１３の正逆
回転方向の切換算が行なわれる。

【００８０】なお、本実施例ではこれらのキャッピン
グ、クリーニング、吸引回復は、キャリッジＨＣがホー
ムポジション側領域にきたときにリードスクリュー５０
０５の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行
なえるように構成されているが、周知のタイミングで所
望の作動を行なうように構成されるものであれば、どの
ような構成であってもよい。ただ、本実施例は本発明に
とって好ましい構成例を示したものである。

【００８１】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。

【００８２】液体噴射記録ヘッドの樹脂製天板等にレー
ザ光を用いて液流路やオリフイ等の溝加工や穴開け加工
を行なうに際して、レーザ加工の副成物によるトラブル
を容易に回避できる。

【００８３】請求項１記載の発明によれば、被加工物の
表面を軽く拭くだけで前記副成物を容易に除去すること
ができる。

【００８４】請求項２記載の発明によれば、被加工物に
機械的刺激を与えることなく前記副成物を除去できる。

【００８５】請求項６記載の発明によれば、前記副成物
を容易に除去できるばかりでなく、被加工物の強度を向
上させることができる。

【００８６】請求項７記載の発明によれば、前記副成物
が被加工物の表面に露出するのを防ぎ、加えて、被加工
物の強度を向上させることができる。

【００８７】このようなレーザ加工方法を用いて液体噴
射記録ヘッドの樹脂製天板の溝加工や穴開け加工を行な
えば、液体噴射記録ヘッドの性能向上や製造コストの削
減に大きく役立つ。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例によるレーザ加工方法を説明する説
明図である。

【図２】液体噴射記録ヘッドの主要部を示すもので、
（ａ）は樹脂製天板を裏返した状態で示す斜視図、
（ｂ）は基板を示す斜視図である。

【図３】第１実施例の一変形例を説明する説明図であ
る。

【図４】第２実施例による副成物除去方法を説明する説
明図である。

【図５】第２実施例の一変形例を説明する説明図であ
る。

【図６】第３実施例によるレーザ加工方法を説明する説
明図である。

【図７】第３実施例の一変形例を説明する説明図であ
る。

【図８】液体噴射記録ヘッドのカートリッジを分解した
状態で示す分解斜視図である。

【図９】図８の装置を組み立てた状態で示す斜視図であ
る。

【図１０】図８の装置のインクタンクを示す斜視図であ
る。

【図１１】図８の装置を液体噴射記録装置に装着した状
態を示す模式断面図である。

【図１２】液体噴射記録装置全体を示す斜視図である。

【図１３】従来例による溝加工を説明する説明図であ
る。

【図１４】従来例による穴開け加工を説明する説明図で
ある。

【図１５】液体噴射記録ヘッドを組み立てた状態で示す
斜視図である。

【符号の説明】

Ｂ₁ ，Ｂ₂ ，Ｂ₃ ，Ｂ₄ 副成物１基板２，３２，４２樹脂製天板２ａオリフィス２ｂ液流路１０，５０，６０基体１１，５１，６１溝１２液状保護膜２２発泡塗膜３３水槽３４超低温槽３５水洗槽３６Ｎ₂ ブロー４０金網籠５２，６２被覆膜５３，６３貫通孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ２３Ｋ 26/18 Ｂ４１Ｊ 2/135 (72)発明者杉谷博志東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者河合潤東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者長田虎近東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者佐藤陽平東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者日隈昌彦東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者種谷陽一東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者稲本忠喜東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物の表面に液状またはムース状の
塗膜を設けたうえで前記被加工物にレーザ光を照射して
加工を行なう工程と、加工を行なった被加工物から液状
またはムース状の塗膜を除去する工程を有するレーザ加
工方法。
【請求項２】被加工物にレーザ光を照射して加工を行
なう工程と、加工を行なった被加工物に熱衝撃を与えて
加工の副成物を分離する工程を有するレーザ加工方法。
【請求項３】熱衝撃を与える工程を所定の回数だけ繰
り返えすことを特徴とする請求項２記載のレーザ加工方
法。
【請求項４】被加工物を常温または加熱された水に浸
したうえで液体窒素に浸すことで熱衝撃を与えることを
特徴とする請求項２または３記載のレーザ加工方法。
【請求項５】水に界面活性剤を添加することを特徴と
する請求項４記載のレーザ加工方法。
【請求項６】被加工物の表面に金属またはセラミック
からなる硬質膜を設けたうえで前記被加工物にレーザ光
を照射して加工を行なう工程と、加工を行なった被加工
物の硬質膜の表面を清浄化する工程を有するレーザ加工
方法。
【請求項７】被加工物にレーザ光を照射して加工を行
なう工程と、加工を行なった被加工物の表面に金属また
はセラミックからなる硬質膜を設けて加工の副成物を覆
う工程を有するレーザ加工方法。
【請求項８】樹脂製天板のブランクを一体成形し、該
ブランクに液流路とオリフィスを形成する加工を請求項
１ないし７いずれか１項記載のレーザ加工方法によって
行なうことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
法。