JPH08132264A - Laser processing machine - Google Patents
Laser processing machineInfo
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- JPH08132264A JPH08132264A JP6275129A JP27512994A JPH08132264A JP H08132264 A JPH08132264 A JP H08132264A JP 6275129 A JP6275129 A JP 6275129A JP 27512994 A JP27512994 A JP 27512994A JP H08132264 A JPH08132264 A JP H08132264A
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- Japan
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- bend mirror
- laser
- laser light
- optical axis
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光軸の調整を行なう場合に、個人差、また調
整に用いるレーザ光の特性による精度の低下が生じるこ
となく、また余り過大な時間・手間をかけることなく、
正確な光軸の調整ができるレーザ加工機を得ること。
【構成】 レーザ加工機において、レーザ光の光路を形
成する外部ビーム伝送路４と、この外部ビーム伝送路４
の第１の屈曲部に設けられたベンドミラーユニット４０
Ａと、このベンドミラーユニット４０Ａに設けられたベ
ンドミラー４１と、このベンドミラー４１によって光路
の方向を変更されたレーザ光が次に到達する第２の屈曲
部に設けられたベンドミラーユニット４０Ｂと、このベ
ンドミラーユニットＢのベンドミラー取り付け位置の中
心点に位置するように取り付けられたレーザ光の重心を
検知する位置検出器１０２と、この位置検出器１０２の
出力に基づきベンドミラー４１の反射角を調整する角度
調整ネジ４６とを備えた。
(57) [Abstract] [Purpose] When adjusting the optical axis, there is no reduction in accuracy due to individual differences or the characteristics of the laser light used for adjustment, and without taking too much time and effort.
To obtain a laser beam machine that can accurately adjust the optical axis. [Structure] In a laser processing machine, an external beam transmission path 4 that forms an optical path of laser light, and the external beam transmission path 4
Bend mirror unit 40 provided at the first bent portion of the
A, a bend mirror 41 provided in the bend mirror unit 40A, and a bend mirror unit 40B provided in a second bent portion where the laser light whose optical path direction is changed by the bend mirror 41 reaches next. , A position detector 102 for detecting the center of gravity of the laser light attached so as to be located at the center of the bend mirror attachment position of the bend mirror unit B, and a reflection angle of the bend mirror 41 based on the output of the position detector 102. And an angle adjusting screw 46 for adjusting.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ加工機に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing machine.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図６は、例えば米国特許第４６９８４８
３号公報に示された、従来のレーザ溶接加工機全体を示
す概略図であり、具体的には溶接用レーザロボット加工
機である。図７は図６に示された外部ベンドミラーユニ
ットの詳細図である。図６において、１はレーザ発振
器、２はレーザ発振器１から発振される加工用レーザ光
としてのＣＯ2 レーザ光、３はＣＯ2 レーザ光２と重畳
された可視レーザ光である。４はレーザ発振器１と後述
するレーザ溶接ロボット５とを連結し、内部をレーザ光
２及び３が通る外部ビーム伝送路である。４０Ａ及び４
０Ｂは外部ビーム伝送路４の屈曲部に設けられレーザ光
の光路の方向を９０度変更する外部ベンドミラーユニッ
トである。５は加工物に対しレーザ光を溶接個所に導き
レーザ加工を行なうレーザ溶接ロボットであり、この従
来例のものの場合、５軸垂直多関節型ロボットを使用し
ている。６Ａから６Ｆまでは基本的に同一形状・構造を
した内部ベンドミラーユニット（以下、適宜内部ミラー
ユニットと記す）であり、７は放物面鏡８などで構成さ
れレーザ光２及び３を集光する加工ヘッドである。８ａ
は放物面鏡８で集光されたレーザ光２及び３の焦点であ
り、またほぼこの位置が加工点でもある。９は外部ビー
ム伝送路４を構成するビームダクト部であり、９Ａ，９
Ｂ，９Ｃは個々のビームダクトである。2. Description of the Related Art FIG. 6 shows, for example, US Pat. No. 4,698,48.
It is the schematic which shows the whole conventional laser welding processing machine shown by the 3rd publication, and is a laser robot processing machine for welding specifically. FIG. 7 is a detailed view of the external bend mirror unit shown in FIG. In FIG. 6, 1 is a laser oscillator, 2 is a CO 2 laser beam as a processing laser beam oscillated from the laser oscillator 1, and 3 is a visible laser beam superposed on the CO 2 laser beam 2. Reference numeral 4 denotes an external beam transmission path that connects the laser oscillator 1 and a laser welding robot 5, which will be described later, through which the laser beams 2 and 3 pass. 40A and 4
Reference numeral 0B is an external bend mirror unit which is provided at the bent portion of the external beam transmission path 4 and changes the direction of the optical path of the laser light by 90 degrees. Reference numeral 5 denotes a laser welding robot that guides laser light to a workpiece at a welding point and performs laser processing. In the case of this conventional example, a 5-axis vertical articulated robot is used. Reference numerals 6A to 6F are basically internal bend mirror units (hereinafter appropriately referred to as internal mirror units) having the same shape and structure, and 7 is composed of a parabolic mirror 8 or the like to collect the laser beams 2 and 3. It is a processing head. 8a
Is the focal point of the laser beams 2 and 3 focused by the parabolic mirror 8, and this position is also the processing point. Reference numeral 9 denotes a beam duct portion that constitutes the external beam transmission line 4, and 9A and 9A
B and 9C are individual beam ducts.
【０００３】図７は従来の外部ベンドミラーユニット
（例えば外部ベンドミラーユニット４０Ａ）の詳細図で
ある。４１はＣＯ2 レーザ光２、可視レーザ光３の光路
を直角（９０度）に曲げるベンドミラー、４２はベンド
ミラー４１を保持するミラーホルダであり、４１ａはレ
ーザ光を曲げたときのベンドミラー４１の中心点であ
り、中心点４１ａを中心にしてミラーホルダ４２は回転
する。４３はベンドミラー４１を保持する押え板であ
る。４４Ａはミラーホルダ４２を保持するベンドブロッ
ク、４５は球面軸受け面、４６は角度調整ネジ、４７は
固定ナット、４８は支持板、４９は固定ネジである。FIG. 7 is a detailed view of a conventional external bend mirror unit (for example, external bend mirror unit 40A). Reference numeral 41 is a bend mirror that bends the optical paths of the CO 2 laser light 2 and the visible laser light 3 at a right angle (90 degrees), 42 is a mirror holder that holds the bend mirror 41, and 41a is a bend mirror 41 when the laser light is bent. The mirror holder 42 rotates about the center point 41a. A pressing plate 43 holds the bend mirror 41. 44A is a bend block for holding the mirror holder 42, 45 is a spherical bearing surface, 46 is an angle adjusting screw, 47 is a fixing nut, 48 is a support plate, and 49 is a fixing screw.
【０００４】次に動作について説明する。図６のレーザ
発振器１からＣＯ2 レーザ光２と可視レーザ光３とが出
射される。この２つのレーザ光は重畳されており、加工
動作時はＣＯ2 レーザ光２が出射され、非加工時は可視
レーザ光３が出射される。ＣＯ2 レーザ光２は加工に使
用するものであり、一方、可視レーザ光３は光軸の調整
時及び教示作業時の加工点の確認に使用する。Next, the operation will be described. A CO 2 laser beam 2 and a visible laser beam 3 are emitted from the laser oscillator 1 shown in FIG. The two laser beams are superposed, and the CO 2 laser beam 2 is emitted during the processing operation, and the visible laser beam 3 is emitted during the non-processing. The CO 2 laser light 2 is used for processing, while the visible laser light 3 is used for confirmation of a processing point during adjustment of the optical axis and teaching work.
【０００５】ＣＯ2 レーザ光２の出射時（レーザ加工）
の動作について説明する。ＣＯ2 レーザ光２は外部ベン
ドミラーユニット４０Ａで下方に曲げられ、外部ベンド
ミラーユニット４０Ｂで再度光路を曲げられてレーザ溶
接ロボット５に入る。外部ベンドミラーユニット４０
Ａ，４０Ｂには、ロボット５の正規な位置に入射出来る
ように光軸調整機能が設けられている。下部より入射し
たレーザ光２はロボットベースに取り付けられた内部ミ
ラーユニット６Ａで上方へ曲げられ旋回軸（第１軸）に
取り付けられた内部ミラーユニット６Ｂで一旦外へ出
る。下腕（第２軸）に取り付けられた内部ミラーユニッ
ト６Ｃ，６Ｄにより再びロボット５の内部へ入り、上腕
（第３軸）に取り付けられた内部ミラーユニット６Ｅに
より、手首軸の方へ向けられる。回転軸（第４軸）に取
り付けられた内部ミラーユニット６Ｆと振れ軸（第５
軸）に取り付けられた加工ヘッド７により手首軸を構成
する。加工ヘッド７（第５軸）では、放物面鏡８により
ＣＯ2 レーザ光２が絞られ焦点８ａに集光する。溶接加
工時には、被加工物の加工点を空気より遮断するために
加工ガスが必要であり、加工ガスはＣＯ2 レーザ光２と
同心状で加工点に吹き付けられ、一般にはアルゴンまた
はヘリウムガスが使用される。加工ガスを流し、移動と
同時にＣＯ2 レーザ光２を出射することでレーザ溶接加
工を行なう。When the CO 2 laser beam 2 is emitted (laser processing)
The operation of will be described. The CO 2 laser beam 2 is bent downward by the external bend mirror unit 40A, the optical path is bent again by the external bend mirror unit 40B, and enters the laser welding robot 5. External bend mirror unit 40
A and 40B are provided with an optical axis adjusting function so that they can be incident on the normal position of the robot 5. The laser beam 2 incident from the lower portion is bent upward by the internal mirror unit 6A attached to the robot base, and once goes out by the internal mirror unit 6B attached to the turning axis (first axis). The internal mirror units 6C and 6D attached to the lower arm (second axis) enter the inside of the robot 5 again, and the internal mirror unit 6E attached to the upper arm (third axis) directs it toward the wrist axis. The internal mirror unit 6F attached to the rotary shaft (fourth shaft) and the swing shaft (fifth shaft)
The processing head 7 attached to the shaft constitutes a wrist shaft. In the processing head 7 (fifth axis), the CO 2 laser beam 2 is focused by the parabolic mirror 8 and focused on the focal point 8a. During welding, a processing gas is required to shield the processing point of the workpiece from the air. The processing gas is blown to the processing point concentrically with the CO 2 laser beam 2, and generally argon or helium gas is used. To be done. Laser welding is performed by flowing a processing gas and emitting a CO 2 laser beam 2 simultaneously with the movement.
【０００６】次に、可視レーザ光３の用途（機能）につ
いて説明する。ＣＯ2 レーザ光２を出射していないと
き、この可視レーザ光３が出射される。可視レーザ光３
の用途は、光軸の調整、教示作業の加工点の確認、
ＣＯ2レーザ光の出射の有無の確認などである。Next, the use (function) of the visible laser light 3 will be described. The visible laser light 3 is emitted when the CO 2 laser light 2 is not emitted. Visible laser light 3
Is used for the adjustment of the optical axis, confirmation of the processing point of teaching work,
For example, confirmation of whether or not the CO 2 laser beam is emitted.
【０００７】光軸の調整を行なう場合、発振器１から出
射された可視レーザ光３は外部ベンドミラーユニット４
０Ａに入射し、下方へ曲がって外部ベンドミラーユニッ
ト４０Ｂを通るように調整する。具体的な調整方法とし
ては、まずビームダクト９Ｂをはずし、外部ベンドミラ
ーユニット４０Ｂのベンドブロック４４Ｂの入口にグラ
フ用紙など光軸の中心を確認出来るものを貼り、可視レ
ーザ光３が孔の中心に来るように外部ベンドミラーユニ
ット４０Ａの角度調整ネジ４６を使って調整する。ミラ
ーホルダ４２は中心点４１ａを中心に回転する構造にな
っている。次にビームダクト９Ｃをはずし、同様の調整
を行なう。この他、ロボット５内の内部ミラーユニット
６Ａ〜６Ｆも同様の方法で順次調整を行ない、放物面鏡
８まで光軸を調整する。When adjusting the optical axis, the visible laser light 3 emitted from the oscillator 1 is externally bent by the bend mirror unit 4.
It is adjusted so that it is incident on OA, bends downward, and passes through the external bend mirror unit 40B. As a specific adjusting method, first, the beam duct 9B is removed, and a graph paper or the like for confirming the center of the optical axis is attached to the entrance of the bend block 44B of the external bend mirror unit 40B, and the visible laser light 3 is placed at the center of the hole. Adjust it using the angle adjusting screw 46 of the external bend mirror unit 40A so that it comes. The mirror holder 42 has a structure that rotates around a center point 41a. Next, the beam duct 9C is removed and the same adjustment is performed. In addition, the internal mirror units 6A to 6F in the robot 5 are also sequentially adjusted by the same method to adjust the optical axis up to the parabolic mirror 8.
【０００８】教示時の焦点確認として、ＣＯ2 レーザ光
２と可視レーザ光３とは重畳されており、２つのレーザ
光の焦点位置は略一致する。従って可視レーザ光３の焦
点を被加工物の溶接作業点に合わせることにより、ＣＯ
2 レーザ光２の焦点も調整されることになる。As the focus confirmation at the time of teaching, the CO 2 laser beam 2 and the visible laser beam 3 are superposed, and the focal positions of the two laser beams are substantially coincident with each other. Therefore, by adjusting the focus of the visible laser light 3 to the welding work point of the workpiece, CO
2 The focus of the laser light 2 is also adjusted.
【０００９】ちなみに、ＣＯ2 レーザ光２と可視レーザ
光３とはスライドミラー（図示しない）による交替機構
となっており、ノズル先端に可視レーザ光３が出射され
ていることを目視することによりＣＯ2 レーザ光２が出
射されていないことを確認出来る。By the way, the CO 2 laser beam 2 and the visible laser beam 3 have an alternating mechanism using a slide mirror (not shown), and the CO 2 laser beam 2 is visible at the tip of the nozzle to visually confirm that the CO 2 laser beam 2 is emitted. 2 It can be confirmed that the laser light 2 is not emitted.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のレ
ーザ加工機では、ＣＯ2 レーザ光２の光軸を調整する場
合、各ベンドブロックにグラフ用紙等を貼り、ＣＯ2 レ
ーザ光２に重畳された可視レーザ光３の光軸が各ベンド
ブロックの中心を通るように目視によって調整するとい
う方法をとっているため、光軸の調整が、用紙の貼り方
・見る角度等の、作業者の個人差によってばらつき、正
確さに欠け、またビームダクトを取り外したりする必要
があり、調整に大変な手間がかかるという問題点があっ
た。In THE INVENTION It is an object of the conventional laser machining apparatus as described above, when adjusting the optical axis of the CO 2 laser beam 2, paste the graph paper or the like to each bend block, superimposed on the CO 2 laser beam 2 Since the optical axis of the visible laser light 3 is visually adjusted so as to pass through the center of each bend block, the adjustment of the optical axis depends on the operator such as how to stick the paper and the viewing angle. There was a problem that it varied due to individual differences, lacked accuracy, and that the beam duct had to be removed, which required a great deal of adjustment.
【００１１】また、可視レーザ光３にはＨｅ−Ｎｅレー
ザが使用されているが、可視レーザ光３は基準光である
ためＣＯ2 レーザ光２のポインティングスタビリティの
１０倍程度の安定性が要求されている。ところが実際に
はその特性が悪く、ＣＯ2 レーザ光２とほぼ同等の特性
を持つにとどまっている。周囲の温度変化、及び起動時
のウォーミング中に変化していくという問題点もあっ
た。特に溶接がむづかしい亜鉛メッキ鋼板等の重ね合わ
せ溶接等の場合、しばしばブローホールが発生するとい
った問題点もあった。A He--Ne laser is used as the visible laser light 3, but since the visible laser light 3 is a reference light, it is required to have a stability of about 10 times the pointing stability of the CO 2 laser light 2. Has been done. However, in reality, the characteristics are poor, and the characteristics are almost the same as those of the CO 2 laser beam 2. There is also a problem that the ambient temperature changes and changes during warming at startup. Particularly, in the case of lap welding of galvanized steel sheets, etc., which are difficult to weld, there is also a problem that blowholes often occur.
【００１２】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、個人差、また調整に用いるレー
ザ光の特性による精度の低下が生じることなく、また余
り過大な時間・手間がかかることなく、光軸の調整がで
きるレーザ加工機を得ることを目的とするものである。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and does not cause a decrease in accuracy due to individual differences or characteristics of laser light used for adjustment, and also requires an excessive amount of time and effort. It is an object of the present invention to obtain a laser processing machine capable of adjusting the optical axis without such a situation.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工機は、レーザ光の光路を形成するビーム伝送路と、こ
のビーム伝送路の第１の屈曲部に設けられた第１のベン
ドミラーユニットと、この第１のベンドミラーユニット
に設けられたベンドミラーと、このベンドミラーによっ
て光路の方向を変更された上記レーザ光が次に到達する
第２の屈曲部に設けられた第２のベンドミラーユニット
と、この第２のベンドミラーユニットのベンドミラー取
り付け位置の中心点に位置するように取り付けられレー
ザ光の重心を検知する位置検出器と、この位置検出器の
出力に基づき上記ベンドミラーの反射角を調整する光軸
調整手段とを備えたものである。A laser beam machine according to the present invention includes a beam transmission path forming an optical path of laser light and a first bend mirror unit provided at a first bent portion of the beam transmission path. And a bend mirror provided in the first bend mirror unit, and a second bend mirror provided in a second bent portion to which the laser beam whose optical path is changed by the bend mirror reaches next. A unit, a position detector attached to the center of the bend mirror attachment position of the second bend mirror unit to detect the center of gravity of the laser beam, and the reflection of the bend mirror based on the output of this position detector. And an optical axis adjusting means for adjusting the angle.
【００１４】また、光軸調整手段に、位置検出器の出力
に基づき自動的に光軸調整を行なうアクチュエータユニ
ットを取り付けたものである。Further, the optical axis adjusting means is provided with an actuator unit for automatically adjusting the optical axis based on the output of the position detector.
【００１５】また、安定型共振器から出射された加工用
レーザ光の光路を形成するビーム伝送路と、このビーム
伝送路の屈曲部に設けられたベンドミラーと、このベン
ドミラーの中心部に設けられた上記加工用レーザ光のビ
ーム径の１／１０以下の孔径の細孔と、上記ベンドミラ
ーの背面に取り付けられ上記細孔を通して可視レーザ光
を出射する可視レーザ光出射手段と、上記ベンドミラー
の反射角を調整する光軸調整手段とを備えたものであ
る。Further, a beam transmission path forming an optical path of the processing laser light emitted from the stable resonator, a bend mirror provided at a bent portion of the beam transmission path, and a central portion of the bend mirror. A hole having a hole diameter equal to or less than 1/10 of the beam diameter of the processing laser light, visible laser light emitting means attached to the back surface of the bend mirror and emitting visible laser light through the hole, and the bend mirror. And an optical axis adjusting means for adjusting the reflection angle of the.
【００１６】さらにまた、不安定型共振器から出射され
た加工用レーザ光の光路を形成するビーム伝送路と、こ
のビーム伝送路中の上記不安定型共振器からの光路長が
１０ｍ以下の位置の屈曲部に設けられたベンドミラー
と、このベンドミラーの中心部に設けられた細孔と、上
記ベンドミラーの背面に取り付けられ上記細孔を通して
可視レーザ光を出射する可視レーザ光出射手段と、上記
ベンドミラーの反射角を調整する光軸調整手段とを備え
たものである。Furthermore, a beam transmission path forming an optical path of the processing laser light emitted from the unstable resonator, and a bend in the beam transmission path where the optical path length from the unstable resonator is 10 m or less. Part, a pore provided in the center of the bend mirror, a visible laser light emitting means attached to the back surface of the bend mirror for emitting visible laser light through the pore, and the bend. And an optical axis adjusting means for adjusting the reflection angle of the mirror.
【００１７】さらにまた、ロボットの動作範囲に取り付
けられたレーザ出力検出器及びレーザ位置検出器へ加工
ヘッドを動かすことにより、レーザ発振出力及び光軸ず
れをチェックするようにしたものである。Furthermore, the laser oscillation output and the optical axis shift are checked by moving the processing head to the laser output detector and the laser position detector mounted in the operation range of the robot.
【００１８】[0018]
【作用】上記のように構成されたレーザ加工機において
は、ベンドブロックに取り付けられた位置検出器の出力
に基づき、光軸調整を行なう。In the laser beam machine constructed as described above, the optical axis is adjusted based on the output of the position detector attached to the bend block.
【００１９】また、光軸調整手段にアクチュエータユニ
ットを取り付けたことにより、光軸調整が全自動化され
る。Further, by mounting the actuator unit on the optical axis adjusting means, the optical axis adjustment is fully automated.
【００２０】また、ベンドミラーの背面に細孔を設け、
この細孔から可視光レーザを通すことにより、安定型共
振器から出射された加工用レーザ光と可視レーザ光との
重畳を行なう。Further, pores are provided on the back surface of the bend mirror,
By passing a visible light laser through the pores, the processing laser light emitted from the stable resonator and the visible laser light are superimposed.
【００２１】また、ベンドミラーの背面に細孔を設け、
この細孔から可視光レーザを通すことにより、不安定型
共振器から出射された加工用レーザ光と可視レーザ光と
の重畳を行なう。Further, a pore is provided on the back surface of the bend mirror,
By passing the visible light laser through the pores, the processing laser light emitted from the unstable resonator and the visible laser light are superimposed.
【００２２】さらに、加工機のノズルをレーザ出力検出
部へ動かすことにより安定したレーザ出力が確保されて
いるか否かを確認し、また、加工機のノズルをレーザ位
置検出部へ動かすことにより可視レーザ光の位置が変化
していないか確認する。Further, it is confirmed whether or not a stable laser output is secured by moving the nozzle of the processing machine to the laser output detecting section, and the visible laser is moved by moving the nozzle of the processing machine to the laser position detecting section. Check if the light position has changed.
【００２３】[0023]
実施例１．以下、この発明の第１の実施例を図１〜図３
を用いて説明する。図１はこの第１の実施例による可視
レーザ光の位置検出器を示す構成図であり、図２はこの
第１の実施例によるアクチュエータユニットをベンドミ
ラーユニットに取り付けた構成を示す概略図である。ま
た図３はアクチュエータユニットを説明するための概略
図である。なお、この第１の実施例において、位置検出
器によって検出されるレーザ光は、加工用レーザ光とは
別物の可視レーザ光である。また、図１〜３において、
符号２，３，９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，４０Ａ，４０Ｂ，４
１，４１ａ，４２，４３，４４Ａ、及び４５〜４９は従
来例のものと同一または相当するものにつき説明を省略
する。Example 1. Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
Will be explained. FIG. 1 is a configuration diagram showing a position detector for visible laser light according to the first embodiment, and FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration in which an actuator unit according to the first embodiment is attached to a bend mirror unit. . Further, FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the actuator unit. In addition, in the first embodiment, the laser light detected by the position detector is a visible laser light which is different from the processing laser light. In addition, in FIGS.
Reference numerals 2, 3, 9A, 9B, 9C, 40A, 40B, 4
1, 41a, 42, 43, 44A, and 45 to 49 are the same as or equivalent to those of the conventional example, and the description thereof will be omitted.
【００２４】図１において、４４Ｂはベンドブロックで
ある。１００は位置検出器ユニットであり、１０１は位
置検出器ホルダ、１０２は位置検出器、１０３はポジシ
ョンセンシングデバイス（ＰＳＤ）位置出力信号線、１
０４は受光面である。点Ｃ１は嵌合する外径部分１０５
の中心に位置し更に球面軸受け面４５の球の中心点でも
ある。In FIG. 1, 44B is a bend block. 100 is a position detector unit, 101 is a position detector holder, 102 is a position detector, 103 is a position sensing device (PSD) position output signal line, 1
Reference numeral 04 is a light receiving surface. The point C1 is the outer diameter portion 105 to be fitted
Is also the center point of the sphere of the spherical bearing surface 45.
【００２５】図２は可視レーザ光３の進行方向を直角に
変えるベンドミラーユニットにアクチュエータユニット
を取り付けた図である。図２において、１１０はアクチ
ュエータユニットであり、その詳細は図３において説明
する。１１４はモータ駆動用電線、１１６は回転位置検
出信号線である。１２０は光軸調整用制御ユニットであ
り、モータ駆動用ドライバ１２１と制御装置１２２から
構成されている。１０３は位置検出器ユニット１００か
らのＰＳＤ位置出力信号線である。FIG. 2 is a view in which an actuator unit is attached to a bend mirror unit that changes the traveling direction of the visible laser light 3 to a right angle. In FIG. 2, 110 is an actuator unit, the details of which will be described in FIG. Reference numeral 114 is a motor drive wire, and 116 is a rotational position detection signal wire. Reference numeral 120 is an optical axis adjusting control unit, which is composed of a motor driving driver 121 and a control device 122. Reference numeral 103 is a PSD position output signal line from the position detector unit 100.
【００２６】図３はアクチュエータユニット１１０を示
す図である。図３において、１１１はアクチュエータ駆
動軸、１１２は減速機、１１３はモータ、１１４はモー
タ駆動用電線、１１５は回転位置検出器（エンコー
ダ）、１１６は回転位置検出信号線である。FIG. 3 is a diagram showing the actuator unit 110. In FIG. 3, 111 is an actuator drive shaft, 112 is a speed reducer, 113 is a motor, 114 is a motor drive wire, 115 is a rotational position detector (encoder), and 116 is a rotational position detection signal line.
【００２７】次に動作について説明する。受光面１０４
に可視レーザ光３を受光した位置検出器１０２の出力信
号１０３は、光軸調整用制御ユニット１２０に入力され
る。ＰＳＤ位置出力が目標値に入るように、アクチュエ
ータユニット１１０からの回転位置検出信号１１６とを
比較検討して、差分をモータ駆動用ドライバ１２１より
出力し所定の位置になるように制御する。位置検出器１
０２は２軸（Ｘ軸及びＹ軸座標）出力し、１軸ずつ交互
に調整する。そのためにアクチュエータユニット１１０
は手で保持できてしかもベンドミラーユニット４０Ａに
設けられた光軸調整手段としての角度調整ネジ４６と簡
単に組み合わせられる構造となっている。この実施例で
は六角孔付きボルトを調整ネジに使用したので、アクチ
ュエータ駆動軸には六角ボルトの規格に合う六角柱を使
用した。これ以外にも例えば十字孔付きボルトでもよ
い。さらに、調整時間を短くするため、光軸調整用制御
ユニット１２０に２軸同時調整機能を設けたものを用い
てもよい。許容範囲内に入れば調整は完了し、固定ナッ
ト４７を締め、再度位置を確認することによりにベンド
ミラーユニット４０Ａの光軸調整は完了する。この調整
をベンドミラーユニット４０Ｂ及び内部ミラーユニット
６Ａ〜６Ｆについても同様に行なう。なお、内部ミラー
ユニット６Ｆを調整する場合には、位置検出器ユニット
１００を放物面鏡８の取り付け部に固定する必要があ
る。Next, the operation will be described. Light receiving surface 104
The output signal 103 of the position detector 102 that has received the visible laser light 3 is input to the optical axis adjustment control unit 120. The rotational position detection signal 116 from the actuator unit 110 is compared and examined so that the PSD position output falls within the target value, and the difference is output from the motor driving driver 121 and controlled so as to reach a predetermined position. Position detector 1
02 outputs two axes (X-axis and Y-axis coordinates), and adjusts each axis alternately. Therefore, the actuator unit 110
Has a structure that can be held by hand and can be easily combined with an angle adjusting screw 46 as an optical axis adjusting means provided on the bend mirror unit 40A. In this embodiment, since the hexagon socket head cap screw is used as the adjusting screw, the actuator drive shaft is formed of a hexagonal column that conforms to the standard of the hexagon head bolt. Other than this, for example, a bolt with a cross hole may be used. Further, in order to shorten the adjustment time, the optical axis adjustment control unit 120 may be provided with a two-axis simultaneous adjustment function. If it is within the allowable range, the adjustment is completed, the fixing nut 47 is tightened, and the position is confirmed again, whereby the optical axis adjustment of the bend mirror unit 40A is completed. This adjustment is similarly performed for the bend mirror unit 40B and the internal mirror units 6A to 6F. When adjusting the internal mirror unit 6F, it is necessary to fix the position detector unit 100 to the mounting portion of the parabolic mirror 8.
【００２８】アクチュエータユニット１１０はモータ１
１３の回転トルクを大きくするため減速機１１２を用い
る。また自分の位置を確認する回転位置検出器（この実
施例ではエンコーダ）を装備しており、光軸調整用制御
ユニット１２０とモータ駆動用電線１１４と回転位置出
力信号１１６で連結されている。The actuator unit 110 is the motor 1
The speed reducer 112 is used to increase the rotation torque of the gear 13. Further, it is equipped with a rotary position detector (encoder in this embodiment) for confirming its own position, and is connected to the optical axis adjusting control unit 120, the motor driving wire 114 and the rotary position output signal 116.
【００２９】このように構成されたレーザ加工機におい
ては、位置検出器１０２によって可視レーザ光３を検出
し、さらに位置検出器１０２からの出力信号に基づいた
アクチュエータユニット１１０の作動により、ベンドミ
ラー４１の角度すなわち光軸の調整を行なうため、調整
する個々の作業者による個人差を生じることがなく、短
時間で効率よく、しかも正確な光軸調整を行なえる。In the laser beam machine thus constructed, the bend laser 41 is detected by detecting the visible laser light 3 by the position detector 102 and operating the actuator unit 110 based on the output signal from the position detector 102. Since the angle, that is, the optical axis is adjusted, there is no individual difference due to each operator who adjusts, and the optical axis can be adjusted efficiently and accurately in a short time.
【００３０】なお、上記実施例では、位置検出器によっ
て検出されるレーザ光として、加工用レーザ光とは別物
の可視レーザ光を用いる場合について説明したが、検出
用のレーザ光としてはこれに限定されるものではなく、
例えば、加工用のレーザ光（ＣＯ2 レーザ光など）その
ものを、検出用のレーザ光として兼用することもでき、
同様の効果を奏するものである。また、アクチュエータ
ユニットは、それぞれ個別に各ベンドミラーユニットに
取り付ける構造のものでもよいし、或いは、着脱可能な
構造として、複数のベンドミラーユニットに対して兼用
されるものであってもよい。In the above embodiment, the visible laser light different from the processing laser light is used as the laser light detected by the position detector, but the detection laser light is not limited to this. Not what is done,
For example, the processing laser light (CO 2 laser light or the like) itself can also be used as the detection laser light,
It has the same effect. In addition, the actuator unit may have a structure that is individually attached to each bend mirror unit, or may have a structure that is detachable and is commonly used for a plurality of bend mirror units.
【００３１】実施例２．次にこの発明の第２の実施例を
図４を用いて説明する。図４はレーザロボット加工機内
の内部ミラーユニットに設けられたベンドミラーの背面
に半導体レーザを取り付けた場合の構成図である。図に
おいて、符号２，３，４５，４６，４７は従来例のもの
と同一または相当するものにつき説明を省略する。４５
ａは球面軸受けの回転中心点、５４は支持板、５５は細
孔付きミラーホルダ、５６は細孔付きベンドミラー、５
７は細孔である。７０は可視レーザ光出射手段としての
半導体レーザ、７１は半導体レーザホルダ、７２はホル
ダ７１を支える座、７３は半導体レーザ電源電線であ
る。Embodiment 2 FIG. Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a configuration diagram in which a semiconductor laser is attached to the back surface of a bend mirror provided in an internal mirror unit in the laser robot processing machine. In the figure, reference numerals 2, 3, 45, 46 and 47 are the same as or correspond to those of the conventional example, and the description thereof will be omitted. 45
a is the center of rotation of the spherical bearing, 54 is a support plate, 55 is a mirror holder with fine holes, 56 is a bend mirror with fine holes, 5
7 is a pore. Reference numeral 70 is a semiconductor laser as a visible laser light emitting means, 71 is a semiconductor laser holder, 72 is a seat for supporting the holder 71, and 73 is a semiconductor laser power supply wire.
【００３２】次に動作について説明する。安定型共振器
（図示せず）から出射された加工用レーザ光としてのＣ
Ｏ2 レーザ光２は外部ビーム伝送路４を通り、レーザ溶
接ロボット５へ入る。そして半導体レーザ７０から出射
される可視レーザ光３がＣＯ2 レーザ光２と重畳され
る。一般に使われている可能レーザ光はＨｅ−Ｎｅレー
ザであり、そのポインティングスタビリティはかなり悪
く、ＣＯ2 レーザ光と同程度である。それゆえ、ビーム
伝送路が長い（１０ｍを越える）と装置に及ぼす影響が
大きく基準光として用いることができない。それに対し
て、この実施例で用いた半導体レーザ７０は、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザと比較するとポインティングスタビリティがよ
い。但し、システムによっては半導体レーザ７０も取り
付ける位置が限定される。このためこの実施例では、加
工ヘッド７に最も近い内部ミラーユニット６Ｆに取り付
けた。加工点８ａまでほとんど距離がないので安定な基
準光として使用できる。この実施例のような安定型共振
器の場合、細孔５７の径がＣＯ2 レーザ光２のビーム径
の１／１０以下であれば、ビーム品質に与える影響は殆
どないことが確認されている。Next, the operation will be described. C as laser light for processing emitted from a stable resonator (not shown)
The O 2 laser beam 2 passes through the external beam transmission path 4 and enters the laser welding robot 5. Then, the visible laser light 3 emitted from the semiconductor laser 70 is superimposed on the CO 2 laser light 2. A possible laser beam that is generally used is a He-Ne laser, and its pointing stability is considerably poor, and is comparable to that of a CO 2 laser beam. Therefore, if the beam transmission path is long (more than 10 m), it has a great influence on the device and cannot be used as the reference light. On the other hand, the semiconductor laser 70 used in this embodiment is He--N.
The pointing stability is better than that of the e-laser. However, the position where the semiconductor laser 70 is also attached is limited depending on the system. Therefore, in this embodiment, the inner mirror unit 6F closest to the processing head 7 is attached. Since there is almost no distance to the processing point 8a, it can be used as stable reference light. In the case of the stable resonator as in this embodiment, it has been confirmed that if the diameter of the pore 57 is 1/10 or less of the beam diameter of the CO 2 laser light 2, the beam quality is hardly affected. .
【００３３】実施例３．なお、上記実施例２では、加工
用レーザ光の発振器として安定型共振器を用いた場合を
示したが、加工用レーザ光の発振器として不安定型共振
器を用いた場合も同様の効果を奏する。不安定型共振器
を用いた場合、ベンドミラーが不安定型共振器の近くに
ある場合には、安定型共振器と異なり、細孔の影響を全
く受けないという利点がある。その反面、ベンドミラー
の位置が共振器から遠くなると、細孔によるビーム品質
の劣化が現れる。それゆえ、不安定型共振器の場合に
は、ベンドミラーと不安定型共振器との光路距離を、お
よそ１０ｍ以下とする必要がある。Example 3. Although the stable resonator is used as the processing laser light oscillator in the second embodiment, the same effect can be obtained when the unstable resonator is used as the processing laser light oscillator. When using the unstable resonator, when the bend mirror is near the unstable resonator, unlike the stable resonator, there is an advantage that it is not affected by the pores. On the other hand, when the position of the bend mirror is far from the resonator, the beam quality deteriorates due to the pores. Therefore, in the case of the unstable resonator, it is necessary to set the optical path distance between the bend mirror and the unstable resonator to about 10 m or less.
【００３４】上記の実施例２及び３においては、レーザ
加工機の使用が長期にわたった場合でも、可視レーザ光
３のポインティングスタビリティの低下による影響を受
けることがなく、周囲の温度変化などの影響を受けるこ
となく、初期の光軸調整の精度を長期にわたり維持する
ことができる。また、ミラーホルダ５５が球面軸受けと
なっているため、調整ネジ５１により容易にＣＯ2 レー
ザ光２と重畳することができる。この場合、可視レーザ
光３は常に出射されているため、可視レーザ光３の出射
の有無によるＣＯ2 レーザ光２の出射の有無の確認はで
きないので注意をする必要がある。In Examples 2 and 3 described above, even if the laser processing machine is used for a long period of time, it is not affected by the deterioration of the pointing stability of the visible laser light 3 and the ambient temperature change or the like is prevented. The accuracy of the initial optical axis adjustment can be maintained for a long time without being affected. Further, since the mirror holder 55 is a spherical bearing, it can be easily superposed on the CO 2 laser beam 2 by the adjusting screw 51. In this case, since the visible laser light 3 is always emitted, it cannot be confirmed whether or not the CO 2 laser light 2 is emitted depending on whether or not the visible laser light 3 is emitted.
【００３５】実施例４．次に、この発明の第４の実施例
を図５を用いて説明する。図５は５軸垂直多関節ロボッ
トを使用したレーザ溶接加工機を示す概略図である。従
来例のものと異なり、レーザ溶接ロボット５の動作範囲
内の一角にレーザ出力検出器１４とレーザ位置検出器１
５とを配置したものである。ロボットは任意の位置へ加
工ヘッド７を移動できるので、ある一定周期ごとか或い
は加工が終わり次の加工物がセッティングされる間など
に、レーザ出力と加工点の位置をチェックすることがで
きる。この実施例４では、レーザ位置検出器１５は上述
の実施例１で用いた位置検出器１０２と同様の可視ＰＳ
Ｄセンサを用いた。データを記録することで、レーザ出
力と加工点の位置に関する安定性の有無を確認すること
ができる。特に、溶接加工条件が非常に厳しい場合（例
えば亜鉛メッキ鋼板の加工など）、レーザ出力が加工条
件に合っているかどうかを加工前にチェックすることが
でき、安定した製品の加工が可能になる。Example 4. Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic view showing a laser welding machine using a 5-axis vertical articulated robot. Unlike the conventional example, the laser output detector 14 and the laser position detector 1 are provided at one corner within the operation range of the laser welding robot 5.
5 and 5 are arranged. Since the robot can move the machining head 7 to an arbitrary position, it is possible to check the laser output and the position of the machining point at a certain fixed period or while machining is completed and the next workpiece is set. In the fourth embodiment, the laser position detector 15 has the same visible PS as the position detector 102 used in the first embodiment.
A D sensor was used. By recording the data, it is possible to confirm the stability of the laser output and the position of the processing point. In particular, when the welding processing conditions are extremely severe (for example, processing of a galvanized steel sheet), it is possible to check whether or not the laser output meets the processing conditions before processing, and stable product processing becomes possible.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、第２
のベンドミラーユニットのベンドミラー取り付け位置の
中心点に位置するようにレーザ光の重心を検知する位置
検出器を取り付け、この位置検出器の出力に基づき第１
のベンドミラーユニットに設けられたベンドミラーの反
射角を調整する光軸調整手段を備えたことにより、光軸
を調整する個々の作業者による個人差を生じることがな
く、短時間で効率よく、しかも正確な光軸調整を行なう
ことを可能とするという効果がある。As described above, according to the present invention, the second
A position detector for detecting the center of gravity of the laser beam is attached so as to be located at the center of the bend mirror mounting position of the bend mirror unit, and the first detector is based on the output of the position detector.
By including the optical axis adjusting means for adjusting the reflection angle of the bend mirror provided in the bend mirror unit, there is no individual difference due to individual workers who adjust the optical axis, and it is efficient in a short time. Moreover, there is an effect that it is possible to perform accurate optical axis adjustment.
【００３７】また、光軸調整手段にアクチュエータユニ
ットを取り付け、位置検出器の出力に基づき自動的に光
軸調整を行えるように構成したので、光軸調整が全自動
化され、より短時間で効率よく、正確な光軸調整を行な
うことを可能とするという効果がある。Further, since the actuator unit is attached to the optical axis adjusting means and the optical axis is automatically adjusted on the basis of the output of the position detector, the optical axis adjustment is fully automated and can be performed efficiently in a shorter time. There is an effect that it is possible to perform accurate optical axis adjustment.
【００３８】また、中心部に加工用レーザ光のビーム径
の１／１０以下の孔径の細孔を設けられたベンドミラー
の背面に取り付けられ可視レーザ光を細孔を通して出射
する可視レーザ光出射手段から出射される可視レーザ光
を加工用レーザ光と重畳させることにより、加工用レー
ザ光の光軸調整を行なうようにしたことにより、安定型
共振器から出射された加工用レーザ光と可視レーザ光と
の重畳を容易に行なうことが可能となり、周囲の温度変
化などの影響を受けることなく、長期にわたり加工用レ
ーザ光の正確な光軸調整を容易に行なうことを可能にす
るという効果がある。Visible laser light emitting means which is attached to the rear surface of a bend mirror having a hole having a hole diameter of 1/10 or less of the beam diameter of the processing laser light at the center and emits visible laser light through the hole. By adjusting the optical axis of the processing laser light by superimposing the visible laser light emitted from the processing laser light, the processing laser light and the visible laser light emitted from the stable resonator It is possible to easily superimpose with the laser beam, and there is an effect that it is possible to easily perform accurate optical axis adjustment of the processing laser light for a long period of time without being affected by ambient temperature changes and the like.
【００３９】また、不安定型共振器からの光路長が１０
ｍ以下の位置の屈曲部に設けられ中心部に細孔を設けら
れたベンドミラーの背面に取り付けられ可視レーザ光を
上記細孔を通して出射する可視レーザ光出射手段から出
射される可視レーザ光を加工用レーザ光と重畳させるこ
とにより、上記加工用レーザ光の光軸調整を行なうよう
にしたことにより、不安定型共振器から出射された加工
用レーザ光と可視レーザ光との重畳を容易に行なうこと
が可能となり、周囲の温度変化などの影響を受けること
なく、長期にわたり加工用レーザ光の正確な光軸調整を
容易に行なうことを可能にするという効果がある。The optical path length from the unstable resonator is 10
The visible laser light emitted from the visible laser light emitting means that is attached to the back surface of the bend mirror provided in the bent portion at a position of m or less and provided with a hole in the center and emits the visible laser light through the hole is processed. By adjusting the optical axis of the processing laser light by superimposing the processing laser light on it, the processing laser light emitted from the unstable resonator can be easily superimposed on the visible laser light. This makes it possible to easily perform accurate optical axis adjustment of the processing laser light for a long period of time without being affected by ambient temperature changes and the like.
【００４０】さらに、ロボットの動作範囲に取り付けら
れたレーザ出力検出器及びレーザ位置検出器へ加工ヘッ
ドを動かすことにより、レーザ発振出力及び光軸ずれを
チェックするようにした構成により、安定したレーザ出
力が確保されているか否かの確認及び、可視レーザ光の
位置が変化していないか否かの確認を容易に行なうこと
ができ、安定した製品の加工が可能になるといった効果
がある。Further, by moving the processing head to the laser output detector and the laser position detector attached to the operating range of the robot, the laser oscillation output and the optical axis shift are checked, so that the stable laser output is obtained. Can be easily confirmed and whether the position of the visible laser light has been changed can be easily confirmed, and there is an effect that a stable product can be processed.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】 本発明の実施例１に係る可視レーザ光の位置
検出器を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a position detector for visible laser light according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施例１に係るアクチュエータユニ
ットをベンドミラーユニットに取り付けた構成を示す概
略図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration in which the actuator unit according to the first embodiment of the present invention is attached to a bend mirror unit.
【図３】 本発明の実施例１に係るアクチュエータユニ
ットを説明するための概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining an actuator unit according to the first embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施例２及び３に係るレーザロボッ
ト加工機内の内部ミラーユニットに設けられたベンドミ
ラーの背面に半導体レーザを取り付けた場合の構成図で
ある。FIG. 4 is a configuration diagram in which a semiconductor laser is attached to the back surface of a bend mirror provided in an internal mirror unit in the laser robot processing machine according to the second and third embodiments of the present invention.
【図５】 本発明の実施例４に係る５軸垂直多関節ロボ
ットを使用したレーザ溶接加工機を示す概略図である。FIG. 5 is a schematic view showing a laser welding machine using a 5-axis vertical articulated robot according to a fourth embodiment of the present invention.
【図６】 従来のレーザ溶接加工機全体を示す概略図で
ある。FIG. 6 is a schematic view showing an entire conventional laser welding machine.
【図７】 従来の外部ベンドミラーユニットの詳細図で
ある。FIG. 7 is a detailed view of a conventional external bend mirror unit.
２ ＣＯ2 レーザ光、３ 可視レーザ光、４ 外部ビー
ム伝送路、１４ レーザ出力検出器、１５ レーザ位置
検出器、４０Ａ，４０Ｂ 外部ベンドミラーユニット、
４１ ベンドミラー、４６ 角度調整ネジ、５７ 細
孔、７０ 半導体レーザ、１０２ 位置検出器、１１０
アクチュエータユニット。2 CO 2 laser light, 3 visible laser light, 4 external beam transmission line, 14 laser output detector, 15 laser position detector, 40A, 40B external bend mirror unit,
41 bend mirror, 46 angle adjusting screw, 57 fine hole, 70 semiconductor laser, 102 position detector, 110
Actuator unit.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高木 勝美 名古屋市東区矢田南五丁目１番14号 三菱 電機株式会社名古屋製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Katsumi Takagi 5-14 Yanda Minami 5-chome, Higashi-ku, Nagoya City Mitsubishi Electric Corporation Nagoya Works
Claims (5)
と、このビーム伝送路の第１の屈曲部に設けられた第１
のベンドミラーユニットと、この第１のベンドミラーユ
ニットに設けられたベンドミラーと、このベンドミラー
によって光路の方向を変更された上記レーザ光が次に到
達する第２の屈曲部に設けられた第２のベンドミラーユ
ニットと、この第２のベンドミラーユニットのベンドミ
ラー取り付け位置の中心点に相当する位置に取り付けら
れ上記レーザ光の重心を検知する位置検出器と、この位
置検出器の出力に基づき上記ベンドミラーの反射角を調
整する光軸調整手段とを備えたことを特徴とするレーザ
加工機。1. A beam transmission path forming an optical path of laser light, and a first bending portion provided at a first bent portion of the beam transmission path.
Bend mirror unit, a bend mirror provided in the first bend mirror unit, and a second bend portion provided in the second bent portion to which the laser beam whose optical path is changed by the bend mirror reaches next. No. 2 bend mirror unit, a position detector attached to a position corresponding to the center point of the bend mirror attachment position of the second bend mirror unit, for detecting the center of gravity of the laser beam, and based on the output of this position detector A laser beam machine comprising: an optical axis adjusting means for adjusting a reflection angle of the bend mirror.
づき自動的に光軸調整を行なうアクチュエータユニット
を取り付けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ加
工機。2. The laser beam machine according to claim 1, wherein an actuator unit for automatically adjusting the optical axis based on the output of the position detector is attached to the optical axis adjusting means.
ザ光の光路を形成するビーム伝送路と、このビーム伝送
路の屈曲部に設けられたベンドミラーと、このベンドミ
ラーの中心部に設けられた上記加工用レーザ光のビーム
径の１／１０以下の孔径の細孔と、上記ベンドミラーの
背面に取り付けられ上記細孔を通して可視レーザ光を出
射する可視レーザ光出射手段と、上記ベンドミラーの反
射角を調整する光軸調整手段とを備えたことを特徴とす
るレーザ加工機。3. A beam transmission path forming an optical path of a processing laser beam emitted from a stable resonator, a bend mirror provided at a bent portion of the beam transmission path, and a central portion of the bend mirror. A hole having a hole diameter equal to or less than 1/10 of the beam diameter of the processing laser light, visible laser light emitting means attached to the back surface of the bend mirror and emitting visible laser light through the hole, and the bend mirror. An optical axis adjusting means for adjusting the reflection angle of the laser processing machine.
ーザ光の光路を形成するビーム伝送路と、このビーム伝
送路中の上記不安定型共振器からの光路長が１０ｍ以下
の位置の屈曲部に設けられたベンドミラーと、このベン
ドミラーの中心部に設けられた細孔と、上記ベンドミラ
ーの背面に取り付けられ上記細孔を通して可視レーザ光
を出射する可視レーザ光出射手段と、上記ベンドミラー
の反射角を調整する光軸調整手段とを備えたことを特徴
とするレーザ加工機。4. A beam transmission path forming an optical path of a processing laser beam emitted from an unstable resonator, and a bent portion at a position where an optical path length from the unstable resonator in the beam transmission path is 10 m or less. A bend mirror provided in the bend mirror, a fine hole provided in the center of the bend mirror, a visible laser light emitting means attached to the back surface of the bend mirror to emit visible laser light through the fine hole, and the bend mirror. An optical axis adjusting means for adjusting the reflection angle of the laser processing machine.
ーザ出力検出器及びレーザ位置検出器へ加工ヘッドを動
かすことにより、レーザ発振出力及び光軸ずれをチェッ
クするようにしたことを特徴とするレーザ加工機。5. Laser processing characterized in that a laser oscillation output and an optical axis shift are checked by moving a processing head to a laser output detector and a laser position detector attached to an operating range of a robot. Machine.
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