JPH08141883A - 工作機械の熱変位補正方法 - Google Patents
工作機械の熱変位補正方法Info
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- JPH08141883A JPH08141883A JP28849094A JP28849094A JPH08141883A JP H08141883 A JPH08141883 A JP H08141883A JP 28849094 A JP28849094 A JP 28849094A JP 28849094 A JP28849094 A JP 28849094A JP H08141883 A JPH08141883 A JP H08141883A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 19
- 238000000611 regression analysis Methods 0.000 claims description 8
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 12
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D3/00—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents
- B24D3/02—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent
- B24D3/20—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents the constituent being used as bonding agent and being essentially organic
- B24D3/28—Resins or natural or synthetic macromolecular compounds
- B24D3/285—Reaction products obtained from aldehydes or ketones
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
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- B24D3/34—Physical features of abrasive bodies, or sheets, e.g. abrasive surfaces of special nature; Abrasive bodies or sheets characterised by their constituents characterised by additives enhancing special physical properties, e.g. wear resistance, electric conductivity, self-cleaning properties
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】工作機械にて被工作物を加工し、この加工中に
工作機械を構成する各部位の温度を検出するとともに、
この時加工された被工作物の寸法を測定する。これを数
回行い複数のデータを取る。このデータを基に温度の変
化と寸法の変化の関係から重回帰分析を使用して温度を
測定した各部位毎の相関関係値を求め、この相関関係値
が任意に選定した値より大きい部位を抽出する。次に、
この抽出された部位の温度変化と被工作物の寸法変化の
みで関係式を重回帰分析から求めて、この関係式に基づ
いて抽出した部位の温度変化量を測定し、寸法変化量を
求めて工作機械の工具の送り量を補正する。 【効果】熱変位によって被工作物の寸法に影響を与える
部位の選定を正確に行うことができるとともに、、正解
な寸法制度の補償を行うことができる
工作機械を構成する各部位の温度を検出するとともに、
この時加工された被工作物の寸法を測定する。これを数
回行い複数のデータを取る。このデータを基に温度の変
化と寸法の変化の関係から重回帰分析を使用して温度を
測定した各部位毎の相関関係値を求め、この相関関係値
が任意に選定した値より大きい部位を抽出する。次に、
この抽出された部位の温度変化と被工作物の寸法変化の
みで関係式を重回帰分析から求めて、この関係式に基づ
いて抽出した部位の温度変化量を測定し、寸法変化量を
求めて工作機械の工具の送り量を補正する。 【効果】熱変位によって被工作物の寸法に影響を与える
部位の選定を正確に行うことができるとともに、、正解
な寸法制度の補償を行うことができる
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加工中に発生する工作
機械の熱変位により、工作物の加工寸法が変化すること
を防止する工作機械の熱変位補正方法に関する。
機械の熱変位により、工作物の加工寸法が変化すること
を防止する工作機械の熱変位補正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、工作機械の熱変位による工作物の
加工寸法への影響を考慮し、熱変位に応じて工作機械の
工具の送り量を補正して高精度な加工を行うようにする
試みが種々なされている。図６は、その１例を示したも
ので、１０は研削加工機である。この研削加工機１０に
はベッド１２上に第１支持部材１３と第２支持部材１４
が設けられ、第１支持部材１３には工作物Ｗを保持する
治具１５が取付けられ、第２支持部材１４には、治具１
５に対して進退する送りテーブル１６が設けられてお
り、この送りテーブル１６上に工具Ｔを取り付けた主軸
台１７が設けられている。
加工寸法への影響を考慮し、熱変位に応じて工作機械の
工具の送り量を補正して高精度な加工を行うようにする
試みが種々なされている。図６は、その１例を示したも
ので、１０は研削加工機である。この研削加工機１０に
はベッド１２上に第１支持部材１３と第２支持部材１４
が設けられ、第１支持部材１３には工作物Ｗを保持する
治具１５が取付けられ、第２支持部材１４には、治具１
５に対して進退する送りテーブル１６が設けられてお
り、この送りテーブル１６上に工具Ｔを取り付けた主軸
台１７が設けられている。
【０００３】そして、治具１５に保持された工作物Ｗの
加工は送りテーブル１６を進退制御することにより行わ
れる。また、第１支持部材１３の側面には低熱膨張材で
作られた基準棒１８の一端が固定され、この基準棒１８
は他端は自由端として第２支持部材１４に保持されてい
る。
加工は送りテーブル１６を進退制御することにより行わ
れる。また、第１支持部材１３の側面には低熱膨張材で
作られた基準棒１８の一端が固定され、この基準棒１８
は他端は自由端として第２支持部材１４に保持されてい
る。
【０００４】さらに、第２支持部材には基準棒１８の先
端と対向するように距離検出器１９が取付けられてお
り、この基準棒１８との間の距離を測定するようになっ
ている。これによって第１支持部材と第２支持部材の間
の距離が熱によって変位すると、基準棒１８が移動して
基準棒１８と距離検出器１９との間の距離が変化する。
その変化量によって送りテーブル１６の送り量を補正す
ることで、熱変位による加工誤差を防止していた。
端と対向するように距離検出器１９が取付けられてお
り、この基準棒１８との間の距離を測定するようになっ
ている。これによって第１支持部材と第２支持部材の間
の距離が熱によって変位すると、基準棒１８が移動して
基準棒１８と距離検出器１９との間の距離が変化する。
その変化量によって送りテーブル１６の送り量を補正す
ることで、熱変位による加工誤差を防止していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のような熱変位の
補正を行う機構を取付ける場合には、工作機械のどの各
部位に取り付ければ熱変位の補正を効果的に行えるか正
確に選定する必要がある。しかしながら、従来ではこの
取付け位置を設計者の経験と勘から選定していたため、
実際にはあまり熱の影響のない部位に取付けてしまい、
正確な熱変位補正が行えなかったり、取り付ける必要の
ない部位にまで基準棒１８と距離検出器１９を取付けて
しまい、熱変位の補正を効果的に行える部位を選定する
のに多大な労力と時間が必要となる問題があった。
補正を行う機構を取付ける場合には、工作機械のどの各
部位に取り付ければ熱変位の補正を効果的に行えるか正
確に選定する必要がある。しかしながら、従来ではこの
取付け位置を設計者の経験と勘から選定していたため、
実際にはあまり熱の影響のない部位に取付けてしまい、
正確な熱変位補正が行えなかったり、取り付ける必要の
ない部位にまで基準棒１８と距離検出器１９を取付けて
しまい、熱変位の補正を効果的に行える部位を選定する
のに多大な労力と時間が必要となる問題があった。
【０００６】また、基準棒１８の先端位置を距離検出器
１９にて測定するのでは、加工時の切粉が付着すると正
確な距離測定が出来なくなり、現場等の環境条件のあま
りよくない場所では使用できなっかった。本発明は、上
述のような事情に鑑みなされたもので、基準棒１８と距
離検出器１９を使用して基準棒１８の先端位置を測定す
る機構に代え、環境条件のあまりよくない場所でも使用
でき、その取付け位置も必要最少限ですむような熱変位
補正方法を提案するものである。
１９にて測定するのでは、加工時の切粉が付着すると正
確な距離測定が出来なくなり、現場等の環境条件のあま
りよくない場所では使用できなっかった。本発明は、上
述のような事情に鑑みなされたもので、基準棒１８と距
離検出器１９を使用して基準棒１８の先端位置を測定す
る機構に代え、環境条件のあまりよくない場所でも使用
でき、その取付け位置も必要最少限ですむような熱変位
補正方法を提案するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は工作機械の複数
部位の温度と工作物の加工寸法を測定し、この測定した
複数部位の温度の変化と工作物の加工寸法の変化の相関
関係を重回帰分析により求め、この重回帰分析により得
られた相関関係値が所定値より高い工作機械の部位を選
択し、この選択された工作機械の部位の温度の変化と工
作物の加工寸法の変化の関係式を重回帰分析から求め、
この関係式から前記工作物の加工寸法を予測し、この予
測された加工物の加工寸法に基づいて前記工作機械の工
具の送り量を補正するようにしたものである。
部位の温度と工作物の加工寸法を測定し、この測定した
複数部位の温度の変化と工作物の加工寸法の変化の相関
関係を重回帰分析により求め、この重回帰分析により得
られた相関関係値が所定値より高い工作機械の部位を選
択し、この選択された工作機械の部位の温度の変化と工
作物の加工寸法の変化の関係式を重回帰分析から求め、
この関係式から前記工作物の加工寸法を予測し、この予
測された加工物の加工寸法に基づいて前記工作機械の工
具の送り量を補正するようにしたものである。
【０００８】
【作用】本発明の作用は、工作機械にて工作物を加工
し、この加工中に工作機械を構成する各部位の温度を検
出するとともに、この時加工された工作物の寸法を測定
する。これを数回行い複数のデータを取る。このデータ
を基に温度の変化と寸法の変化の関係から重回帰分析に
より温度を測定した各部位毎の相関関係値を求め、この
相関関係値が任意に選定した値より大きい部位を抽出す
る。
し、この加工中に工作機械を構成する各部位の温度を検
出するとともに、この時加工された工作物の寸法を測定
する。これを数回行い複数のデータを取る。このデータ
を基に温度の変化と寸法の変化の関係から重回帰分析に
より温度を測定した各部位毎の相関関係値を求め、この
相関関係値が任意に選定した値より大きい部位を抽出す
る。
【０００９】次に、この抽出された部位の温度変化と工
作物の寸法変化のみで関係式を重回帰分析から求めて、
この関係式に基づいて抽出した部位の温度変化量を測定
し、寸法変化量を求めて工作機械の工具の送り量を補正
する。
作物の寸法変化のみで関係式を重回帰分析から求めて、
この関係式に基づいて抽出した部位の温度変化量を測定
し、寸法変化量を求めて工作機械の工具の送り量を補正
する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を等速ジョイントの
ボール溝を加工機に適用した例について図面に基づいて
説明する。図１は、等速ジョイントを加工する研削盤の
平面図であり、２０はベッドであり、このベッド２０に
は治具テーブル２１と、ベッド２０上で移動可能に工具
テーブル２２が載置されている。
ボール溝を加工機に適用した例について図面に基づいて
説明する。図１は、等速ジョイントを加工する研削盤の
平面図であり、２０はベッドであり、このベッド２０に
は治具テーブル２１と、ベッド２０上で移動可能に工具
テーブル２２が載置されている。
【００１１】治具テーブル２１には工具テーブル２２の
移動方向に対して直交する軸線Ｏにて軸承された揺動台
２３が取付けられており、この揺動台２３は工作物Ｗを
割出しモータ２７によって工作物Ｗの軸線ｄを中心に回
転させ、加工位置に割り出せるようになっている。一
方、工具テーブル２２には、この工具テーブル２２の移
動方向と所定の角度で交差する方向に移動可能な主軸台
２４が取付けられており、この主軸台２４には主軸モー
タ２５が取付けられている。
移動方向に対して直交する軸線Ｏにて軸承された揺動台
２３が取付けられており、この揺動台２３は工作物Ｗを
割出しモータ２７によって工作物Ｗの軸線ｄを中心に回
転させ、加工位置に割り出せるようになっている。一
方、工具テーブル２２には、この工具テーブル２２の移
動方向と所定の角度で交差する方向に移動可能な主軸台
２４が取付けられており、この主軸台２４には主軸モー
タ２５が取付けられている。
【００１２】主軸台２４の軸２６の先端には工具である
砥石Ｇが装着されている。前記主軸台２４は図２に示す
ように工作物Ｗの軸線に対して鉛直面内で所定角度で交
差しており、これによって主軸台２４の移動により工作
物Ｗに切り込みが与えられる。また、ベッド２０の周辺
には、主軸台２４に装着された図略のクーラントノズル
にクーラントを供給するクーラント供給装置３０と、ク
ーラントを回収するクーラント回収装置３１および、研
削盤を制御する制御装置３２が備えられている。
砥石Ｇが装着されている。前記主軸台２４は図２に示す
ように工作物Ｗの軸線に対して鉛直面内で所定角度で交
差しており、これによって主軸台２４の移動により工作
物Ｗに切り込みが与えられる。また、ベッド２０の周辺
には、主軸台２４に装着された図略のクーラントノズル
にクーラントを供給するクーラント供給装置３０と、ク
ーラントを回収するクーラント回収装置３１および、研
削盤を制御する制御装置３２が備えられている。
【００１３】以上のような構成の研削盤において、熱変
位補正を行うための温度測定個所の選定手順について説
明する。この研削盤の主要構成部であるベッド２０、治
具テーブル２１、工具テーブル２３揺動台２３、主軸台
２４、クーラント供給装置３０およびクーラント回収装
置３１のそれぞれに図３に示すような温度測定用の熱電
対３４の測定部を埋め込み、この熱電対３４と測定部位
の間にはシールワッシャ３３にて先端の測定部にクーラ
ントが付着しないようにしてある。
位補正を行うための温度測定個所の選定手順について説
明する。この研削盤の主要構成部であるベッド２０、治
具テーブル２１、工具テーブル２３揺動台２３、主軸台
２４、クーラント供給装置３０およびクーラント回収装
置３１のそれぞれに図３に示すような温度測定用の熱電
対３４の測定部を埋め込み、この熱電対３４と測定部位
の間にはシールワッシャ３３にて先端の測定部にクーラ
ントが付着しないようにしてある。
【００１４】このようにして工作物Ｗを加工したときの
図２に示す工作物Ｗの加工位置の寸法Ｌの変化と各部
位、ベッド２０、治具テーブル２１、工具テーブル２３
揺動台２３、主軸台２４、クーラント供給装置３０およ
びクーラント回収装置３０の温度変化との関係は次の重
回帰式にて表される。
図２に示す工作物Ｗの加工位置の寸法Ｌの変化と各部
位、ベッド２０、治具テーブル２１、工具テーブル２３
揺動台２３、主軸台２４、クーラント供給装置３０およ
びクーラント回収装置３０の温度変化との関係は次の重
回帰式にて表される。
【００１５】
【数１】 Ｌ＝ｂ０＋ｂ１・Ｘ１＋ｂ２・Ｘ２＋．．． （１） で表される。ここで、Ｘ１，Ｘ２は研削盤の前記構成部
の温度変化にそれぞれ対応し、ｂ０，ｂ１，ｂ２はそれ
ぞれ未知の回帰係数となる。この未知の回帰係数を求め
るとともに、ベッド２０、治具テーブル２１、工具テー
ブル２２、揺動台２３、主軸台２４、クーラント供給装
置３０およびクーラント回収装置３０の内で前記寸法Ｌ
の変化に最も影響を与える部位を特定する寄与率Ｒを求
める。
の温度変化にそれぞれ対応し、ｂ０，ｂ１，ｂ２はそれ
ぞれ未知の回帰係数となる。この未知の回帰係数を求め
るとともに、ベッド２０、治具テーブル２１、工具テー
ブル２２、揺動台２３、主軸台２４、クーラント供給装
置３０およびクーラント回収装置３０の内で前記寸法Ｌ
の変化に最も影響を与える部位を特定する寄与率Ｒを求
める。
【００１６】この寄与率Ｒは、図４に示すように各構成
部の温度変化と寸法の変化を測定した測定テーブルの偏
差平方和・積和行列Ｓijは下記（２）式から求められ、
部の温度変化と寸法の変化を測定した測定テーブルの偏
差平方和・積和行列Ｓijは下記（２）式から求められ、
【００１７】
【数２】
【００１８】ここで、Ｘai，Ｘajを各構成部の温度変化
とし、Ｘ’を各構成部の測定結果の平均値とすると、各
構成部の温度変化と寸法Ｌの相関関係を示す相関係数ｒ
は、
とし、Ｘ’を各構成部の測定結果の平均値とすると、各
構成部の温度変化と寸法Ｌの相関関係を示す相関係数ｒ
は、
【００１９】
【数３】
【００２０】で示される。これから各構成部における相
関係数ｒを求めると、実験測定結果から揺動台２３と主
軸台２４の寄与率が高くなった。次にこの相関係数ｒの
高い揺動台２３と主軸台２４のみの温度変化のデータと
寸法Ｌの変化との重回帰式を求める。
関係数ｒを求めると、実験測定結果から揺動台２３と主
軸台２４の寄与率が高くなった。次にこの相関係数ｒの
高い揺動台２３と主軸台２４のみの温度変化のデータと
寸法Ｌの変化との重回帰式を求める。
【００２１】（１）式の偏回帰係数ｂ１，ｂ２．．は次
式にて求められる。
式にて求められる。
【００２２】
【数４】
【００２３】ここでｄはＸi とΔＬの偏差積和のベクト
ルで次式にて表される。
ルで次式にて表される。
【００２４】
【数５】
【００２５】さらに、（１）式の定数項ｂ０は次式より
表される
表される
【００２６】
【数６】
【００２７】これより下記（７）式の重回帰式が求まる
わけである。
わけである。
【００２８】
【数７】
【００２９】この重回帰式を制御装置３２に記憶させ、
寸法Ｌの変化ΔＬを補正するのに主軸２４による切り込
み量を工作物Ｗを加工する前に補正することで寸法精度
の補償を行うことができる。次にこの求められた重回帰
式を制御装置３２に記憶させて主軸台２４の送りを補正
するときの動作を図５のフローチャートで説明する。
寸法Ｌの変化ΔＬを補正するのに主軸２４による切り込
み量を工作物Ｗを加工する前に補正することで寸法精度
の補償を行うことができる。次にこの求められた重回帰
式を制御装置３２に記憶させて主軸台２４の送りを補正
するときの動作を図５のフローチャートで説明する。
【００３０】このフローチャートは加工を開始する時に
実行されるもので、ステップ１００において、揺動台２
３と主軸台２４の温度Ｘ１とＸ２が測定される。次にス
テップ１０２にて揺動台２３の測定温度Ｘ１と前回測定
された温度との差ΔＸ１が求められる。そして、スッテ
ップ１０４ではステップ１０２と同様に主軸台２４の測
定温度Ｘ２と前回測定された温度との差ΔＸ２が求めら
れ、ステップ１０６に進む。
実行されるもので、ステップ１００において、揺動台２
３と主軸台２４の温度Ｘ１とＸ２が測定される。次にス
テップ１０２にて揺動台２３の測定温度Ｘ１と前回測定
された温度との差ΔＸ１が求められる。そして、スッテ
ップ１０４ではステップ１０２と同様に主軸台２４の測
定温度Ｘ２と前回測定された温度との差ΔＸ２が求めら
れ、ステップ１０６に進む。
【００３１】ステップ１０６に進むと既に（４）式およ
び（６）式にて求められた偏回帰係数ｂ１，ｂ２および
定数項ｂ０が代入された式に入力され、熱変位補正量Δ
Ｌが演算される。そして、このΔＬにて主軸台２４の送
り量の補正をステップ１０８にて行い、処理を終了す
る。
び（６）式にて求められた偏回帰係数ｂ１，ｂ２および
定数項ｂ０が代入された式に入力され、熱変位補正量Δ
Ｌが演算される。そして、このΔＬにて主軸台２４の送
り量の補正をステップ１０８にて行い、処理を終了す
る。
【００３２】なお、上記の実施例にて用いた各構成部に
埋め込んだ熱電対３４は実際の加工時に必要のないもの
を取り外してもよいし、また、熱変位補正に必要な部位
の熱電対３４からの測定データを取り込むようにしても
よい。
埋め込んだ熱電対３４は実際の加工時に必要のないもの
を取り外してもよいし、また、熱変位補正に必要な部位
の熱電対３４からの測定データを取り込むようにしても
よい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、工
作機械の各部位を温度を測定し、この各部位の温度変化
と工作物の加工寸法の変化を測定し、重回帰分析により
相関関係値を求め、この相関関係値が所定値より高い部
位を選定し、この相関関係値の高い部位の温度変化と工
作物の加工寸法の変化から重回帰式を求めるようにした
ので、熱変位によって工作物の寸法に影響を与える部位
の選定を正確に行うことができるとともに、正解な寸法
精度の補償を行うことができる利点がある。
作機械の各部位を温度を測定し、この各部位の温度変化
と工作物の加工寸法の変化を測定し、重回帰分析により
相関関係値を求め、この相関関係値が所定値より高い部
位を選定し、この相関関係値の高い部位の温度変化と工
作物の加工寸法の変化から重回帰式を求めるようにした
ので、熱変位によって工作物の寸法に影響を与える部位
の選定を正確に行うことができるとともに、正解な寸法
精度の補償を行うことができる利点がある。
【図１】本発明の実施例を説明する研削盤の平面図であ
る。
る。
【図２】本発明の実施例におえける加工状態を説明する
図である。
図である。
【図３】本実施例における温度測定を行う熱伝対の取付
け状態を示す図である。
け状態を示す図である。
【図４】本実施例における工作物と各部位の温度の関係
を示すデータ表である。
を示すデータ表である。
【図５】本実施例における熱変位の補正を説明するため
のフローチャートである。
のフローチャートである。
【図６】従来における熱変位補正機構を備えた工作機械
の一例を示す図である。
の一例を示す図である。
２０ ベッド ２１ 治具テーブル ２２ 工具テーブル ２３ 揺動台 ２４ 主軸台 ３４ 熱電対
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野内 宗一 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田工 機株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 工作機械の複数部位の温度と工作物の加
工寸法を測定し、この測定した複数部位の温度の変化と
工作物の加工寸法の変化の相関関係を重回帰分析により
求め、この重回帰分析により得られた相関関係値が所定
値より高い工作機械の部位を選択し、この選択された工
作機械の部位の温度の変化と工作物の加工寸法の変化の
関係式を重回帰分析から求め、この関係式から前記工作
物の加工寸法を予測し、この予測された工作物の加工寸
法に基づいて前記工作機械の送り量を補正するようにし
た工作機械の熱変位補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28849094A JPH08141883A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 工作機械の熱変位補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28849094A JPH08141883A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 工作機械の熱変位補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08141883A true JPH08141883A (ja) | 1996-06-04 |
Family
ID=17730892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28849094A Pending JPH08141883A (ja) | 1994-11-24 | 1994-11-24 | 工作機械の熱変位補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08141883A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001341049A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-12-11 | Okuma Corp | 工作機械の熱変位補正方法 |
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1994
- 1994-11-24 JP JP28849094A patent/JPH08141883A/ja active Pending
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